CN1460177A - 检测缺陷的检查方法及检查装置 - Google Patents

检测缺陷的检查方法及检查装置 Download PDF

Info

Publication number
CN1460177A
CN1460177A CN02800977.0A CN02800977A CN1460177A CN 1460177 A CN1460177 A CN 1460177A CN 02800977 A CN02800977 A CN 02800977A CN 1460177 A CN1460177 A CN 1460177A
Authority
CN
China
Prior art keywords
particulate
mentioned
defective
detected body
record
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN02800977.0A
Other languages
English (en)
Other versions
CN100468031C (zh
Inventor
榎本明夫
宫下晃一
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NGK Insulators Ltd
Original Assignee
NGK Insulators Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NGK Insulators Ltd filed Critical NGK Insulators Ltd
Publication of CN1460177A publication Critical patent/CN1460177A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN100468031C publication Critical patent/CN100468031C/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/42—Auxiliary equipment or operation thereof
    • B01D46/44—Auxiliary equipment or operation thereof controlling filtration
    • B01D46/442—Auxiliary equipment or operation thereof controlling filtration by measuring the concentration of particles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/0084—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours provided with safety means
    • B01D46/0086—Filter condition indicators
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D65/00—Accessories or auxiliary operations, in general, for separation processes or apparatus using semi-permeable membranes
    • B01D65/10—Testing of membranes or membrane apparatus; Detecting or repairing leaks
    • B01D65/102—Detection of leaks in membranes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D65/00—Accessories or auxiliary operations, in general, for separation processes or apparatus using semi-permeable membranes
    • B01D65/10—Testing of membranes or membrane apparatus; Detecting or repairing leaks
    • B01D65/104—Detection of leaks in membrane apparatus or modules
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/38—Investigating fluid-tightness of structures by using light
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N15/08—Investigating permeability, pore-volume, or surface area of porous materials
    • G01N15/082—Investigating permeability by forcing a fluid through a sample
    • G01N15/0826—Investigating permeability by forcing a fluid through a sample and measuring fluid flow rate, i.e. permeation rate or pressure change
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
    • G01N21/95692—Patterns showing hole parts, e.g. honeycomb filtering structures
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2273/00—Operation of filters specially adapted for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D2273/18—Testing of filters, filter elements, sealings

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Exhaust Gas After Treatment (AREA)
  • Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)

Abstract

一种检测缺陷的检查方法。在产生微粒子之后，将产生的上述微粒子导入上述被检测体内，其次，产生指向性很强的光使其通过上述被检测体的附近，上述光照射从被检测体排出的上述微粒子，使缺陷可视化。一种检测缺陷的检查装置包括：产生微粒子的微粒子发生装置；将上述微粒子导入被检测体内的微粒子导入装置；产生指向性很强的光，通过被检测体的附近，照射通过被检测体排出的微粒子，使上述微粒子可视化的光发生装置。若按照该检查方法和装置，能高灵敏度地检测出被检测体的缺陷，容易指出和记录缺陷的地点，检查时间短，检查前后的前处理及后处理的时间也短，甚至可以不要。

Description

检测缺陷的检查方法及检查装置
技术领域
本发明涉及检测被检测体的缺陷的检查方法及检查装置，特别涉及能以高的灵敏度检测缺陷，能在短时间内进行检查和后处理的被检测体的缺陷检查方法及检查装置。
背景技术
作为用来检测缺陷的检查所必要的被检测体，可以举出例如多孔质体。多孔质体大多用于过滤器或催化剂载体等，例如，内燃机等热力机或锅炉等燃烧装置的排气净化装置、液体燃料或气体燃料的改性装置、上下水的净化处理装置等都使用多孔质体。此外，为了收集除去象从柴油机引擎排出的废气那样的含尘流体中包含的粒子状物质，作为柴油机粒子过滤器或高温气体集尘装置，使用蜂窝形状的多孔质体。
这样的使用目的的多孔质体在多孔质体细孔中通过被处理流体时，或者收集除去不需要的粒子状物质，或者在多孔质体的表面和细孔中装载催化剂，使催化剂和被处理流体接触发生作用等。为了使这样的的作用高效率地进行，一般，将薄膜状或壁状多孔质体做成管状、独石状、蜂窝状等形状，以增加其与被处理流体的接触面积。因此，若存在象贯通多孔质体的膜或壁那样的孔、即缺陷，则不能发挥多孔质体的过滤性能或催化剂载体的性能。此外，当不是多孔质体时，若存在作为缺陷的孔，则大多不能发挥本来的性能。检查这样的多孔质体或非多孔质体的缺陷的最简易的方法是目视法。
但是，由于多孔质体或非多孔质体的被检测体的形状、应检测的缺陷的位置和大小的原因，有时检查起来很困难。例如，蜂窝构造体的结构一般如图8所示，具有很多由壁隔开的贯通轴方向(X方向)的流通孔。进而，如图2所示那样，流通孔的端部被封闭，且互不相同，利用多孔质的壁收集除去粒子状物质。因此，这种结构的壁的缺陷不能从外部进行观察。
作为这样的被检测体的缺陷的检查方法，过去已知的有称之为煤烟印迹法的方法，例如用白色的布将图8所示那样的蜂窝构造体的上端面覆盖，使由柴油机柴油燃料燃烧产生的煤烟状物质从蜂窝构造体的下端流入，从上端面排出的煤烟状物质附着在白布上，由此得到图7那样的的模样，从而检测出缺陷。这时，煤烟附着得多而变黑的部分表示有缺陷。该方法简便，且对缺陷多少的检测及缺陷地点的指定具有优势，但因使用煤烟状物质，故在检查后必须通过热处理除去附着在蜂窝构造体的煤烟状物质，为此，需要几小时的后处理时间。检查1个被检测体必需要5～6分钟的时间。
另一个方法是将蜂窝构造体放入水中，对一个端面加空气压力，通过另一个端面的发泡现象来检查有无缺陷的方法。在该方法下，不象上述煤烟印迹法那样需要那么多的后处理时间，但检查后必须干燥，此外，检查前还必须在水中脱泡，也需要时间。
此外，当形成多孔质体时，有时，在使原料按规定的形状成形后，通过烧制使其形成气孔，得到多孔质体。因此，若在烧制前，在非多孔质体的状态下检测已形成的缺陷，则能在烧制前排除缺陷品，这样做在经济上是有利的。
本发明是鉴于上述情况而提出的，其目的在于提供一种缺陷检查方法及检查装置，即使是从外部不能确认缺陷的被检测体的形状，不管被检测体是多孔质体还是非多孔质体，都能高灵敏度地检测其缺陷。
本发明的另一个目的在于提供一种容易指定缺陷地点的缺陷检查方法及检查装置。
本发明的又一个目的在于提供一种容易记录缺陷地点的缺陷检查方法及检查装置。
本发明的再一个目的在于提供一种缺陷检查方法及检查装置，检查时间和检查前后的前处理及后处理的时间都短，甚至不需要前处理及后处理的时间。
发明的公开
本发明的第1方面提供一种检测缺陷的检查方法，其特征在于：在产生微粒子之后，将产生的上述微粒子导入上述被检测体内，其次，产生指向性很强的光使其通过上述被检测体的附近，上述光照射从上述被检测体排出的上述微粒子，使微粒子可视化。
此外，在本发明的检查方法中，从容易指定缺陷地点的观点出发，最好产生面状的上述光，对缺陷进行二维检测。进而，从容易记录检测地点的观点出发，最好利用照相机记录已可视化检测出的微粒子像。进而，从检测灵敏度和容易后处理的观点出发，产生的微粒子的粒径最好是0.3～200μm，0.5～50μm更好，1～10μm最理想。此外，本发明的检测缺陷的检查方法可以适用于被检测体是多孔质体、蜂窝构造体、特别是柴油机粒子过滤器的情况。这时，从检测灵敏度的观点出发，最好使所产生的光通过微粒子排出面附近且大致与微粒子排出面平行。
本发明的第2方面提供一种检测缺陷的检查装置，其特征在于包括：产生微粒子的微粒子发生装置；将上述微粒子发生装置产生的微粒子导入被检测体内的微粒子导入装置；产生指向性很强的光使上述微粒子可视化的光发生装置。
此外，在本发明的检查装置中，从容易指定检测地点的观点出发，上述光发生装置最好产生面状的光。进而，从容易记录缺陷地点的观点出发，最好进而包括记录已可视化检测出的微粒子像的记录装置。进而，从检测灵敏度和容易后处理的观点出发，上述微粒子发生装置产生的微粒子的粒径最好是0.3～200m，0.5～50μm更好，1～10μm最理想。此外，本发明的检测缺陷的检查装置可以适用于被检测体是多孔质体、蜂窝构造体、特别是柴油机粒子过滤器的情况。这时，从检测灵敏度的观点出发，最好使光发生装置产生的光通过微粒子排出面附近且大致与微粒子排出面平行。
附图的简单说明
图1是本发明的最佳装置的模式图。
图2是表示本发明的原理的模式图。
图3是调查缺陷的种类和排出的微粒子的粒度分布的关系的装置的模式图。
图4是表示使用图3的装置得到的一例结果的图。
图5是表示由燃烧线香产生的微粒子的粒度分布的图。
图6(a)(b)(c)是表示由实施例1～3得到的被检测体的缺陷地点的图像的图。
图7(a)(b)(c)是表示由比较例1～3得到的被检测体的缺陷地点的图像的图。
图8是表示一例蜂窝构造体的透视图。
实施发明的最佳形态
以下根据本发明的最佳实施形态说明的本发明不限于以下的实施形态。
本发明的检查方法的重要特征在于产生指向性很强的光，通过被检测体的缺陷部分，照射排出的微粒子，并可视化检测出微粒子。通过向微粒子照射该光，即使是从外部不能确认缺陷的被检测体的形状，也能高灵敏度地检测缺陷。
下面，以图2所示的蜂窝构造体的缺陷的检测为例详细说明本发明的原理，但本发明不只是适用于蜂窝构造体，而可以适用于各种形状或材质的被检测体。
当图2所示的蜂窝构造体是多孔质体时，从A方向向壁58具有缺陷62的流通孔56导入微粒子。导入的微粒子通过缺陷62，从微粒子排出面54排出。若在微粒子排出面54附近的B方向照射指向性很强的光，则微粒子使光漫反射而可视。这里，当具有较大的缺陷时，会有更多的较大的微粒子从该流通孔排出，但较大的微粒子会使更多的光漫反射。因此，有较大缺陷的地点有更多的光漫反射，由此，可以检测出有缺陷的流通孔。此外，当密封部60有缺陷时，从有该缺陷的流通孔排出粒径较大的微粒子或较多的微粒子，可以检测出密封部有缺陷的流通孔。当被检测体是非多孔质体时，例如，当图2所示的蜂窝构造体是烧制前的成形体时，导入的微粒子只从密封部60的具有缺陷的流通孔排出。排出的微粒子使光漫反射而可视，由此，可以检测出有缺陷的流通孔。
从防止因排出的微粒子的扩散而使灵敏度降低的观点出发，最好使光通过微粒子排出面的正上方的5mm的范围，最理想的是在3mm的范围内。产生的光最好是平面状通过的光，但是，为了产生平面状的光，最好在光发生装置的前面放置透镜32，使光呈平面形状扩散。此外，通过扫描光发生装置30，可以产生平面形状的光。只要光的指向性很强，而且是能由本方法使用的微粒子漫反射的波长的光，此外没有特别的限制，但是，最好使用激光，固体激光、气体激光、半导体激光、色素激光、激元激光、自由电子激光等均可以使用。此外，对光的波长没有特别限制，例如，可以使用650nm左右的红色激光、532nm左右的绿色激光、400nm左右的紫色激光等。
其次，说明本发明的检测方法的整体构成。首先产生微粒子。对微粒子产生方法没有特别限制，例如，可以使用使线香等香料燃烧的方法，通过喷雾乙二醇和(或)水而产生它们的微粒子的方法，利用固体二氧化碳、液氮、喷雾器和超声波加湿器等产生水的微粒子的方法，使用市售标准粒子发生装置的方法，使用振动装置或鼓风机等产生碳酸钙等微粒子粉末的方法等。利用微粒子发生装置产生的微粒子的粒径可以根据检查对象的被检测体的形状或被检测体是多孔质体时的孔径等适当进行选择。例如，如后述的实施例那样，通过调查缺陷的种类和排出的微粒子的粒度分布的关系，可以选择符合检查对象的合适的粒径(参照图3、图4)，当被检测体是多孔质体时，当粒径太大时，则多孔质体的细孔内收集的微粒子量太多，必须通过后处理除去。若粒径太小，则如图4所示，很难反映出因有元缺陷而出现的排出微粒子量的差。粒径最好如前面所示，是0.3～200μm，0.5～50μm更好，1～1.0μm最理想。但是，即使产生的微粒子包含具有上述范围之外的粒径的微粒子，只要上述范围的微粒子的含有量是可以达到本发明的目的的量，则该范围就是最佳范围。此外，产生的理想微粒子是粒径不随时间变化的微粒子。
其次，将产生的微粒子导入作为检查对象的被检测体内。对导入方法没有特别的限制，但最好是例如使产生的微粒子存储在粒子室，在达到一定浓度之后，通过施加一定的压力将其导入被检测体内的方法，或者是在被检测体上部设置通风道，使用风扇排气，从粒子室将微粒子导入被检测体内的方法。对导入被检测体的微粒子的浓度没有特别的限制，只要是能由例如激光等指向性很强的光检测出的浓度即可，可以适当选择使缺陷部分和除此之外的部分的对比很明确的浓度。对所加的压力没有特别限制，可以与被检测体的种类或形状等对应进行适当选择，但因缺陷数越多或缺陷越大，被检测体内的压力损失越小，故可以以很小的压力检测缺陷，但是，因缺陷数越少或缺陷越大小被检测体内的压力损失越大，故必须增大压力。此外，施加压力越大从被检测体排出的微粒子层流距离变长，即使离开被检测体通过光，也能检测出来，当被检测体是多孔质体时，因当施加压力过大时，会有大量的微粒子通过多孔质体流出，故必需要很多微粒子或回收困难等情况对降低成本都不利。
作为检查对象的被检测体，只要有可能发生缺陷，则对形状、材质、多孔质体时的孔径、用途等没有特别限制，所有形状、材质、多孔质体时的孔径、用途等的被检测体都可以使用本发明的方法，但当例如被检测体是多孔质体时，被处理流体最好从面状部分排出，最理想的是从平面状部分排出。此外，无论被检测体是多孔质体还是非多孔质体，在本发明中，微粒子最好从面状部分、最理想的是从平面状部分排出。因本发明能适用于被检测体是多孔质体的情况，故被检测体最好是多孔质体。此外最好是从外部难以直接检测缺陷的被检测体，例如蜂窝构造体，最理想的是柴油机粒子过滤器或高温气体收集装置等使用的被检测体。此外，将非多孔质体烧制后形成的多孔质体、例如成形之后烧制之前的状态下的蜂窝构造体等作为被检测体也很好，因为在烧制之前的阶段能够发现缺陷。这时，最好是在按一定形状成形并为了保持形状而干燥之后再作为被检测体。
其次，如上所述，产生指向性强的光并使其通过作为检查对象的被检测体的附近，通过观察光在从被检测体排出的微粒子上漫反射的像，可以检测缺陷。为了记录可视化像，适合使用照相机、光学摄影机、CCD照相机等。
下面，根据图1说明本发明的检查装置。
图1是表示本发明的检查装置的一个很好的实施形态的图。在图1中，本发明的检查装置具有粒子室1、2个设置台22、作为光发生装置30的2个激光发生装置、2个护罩34和2个CCD照相机。再有，图1的构成可检查2个被检测体，但本发明的检查装置也可以作为1个、3个或3个以上的被检测体用。
在粒子室1内，作为微粒子发生装置，在线香台3上立起线香4，通过线香4燃烧，产生线香烟。线香烟是粒径为0.3～10μm左右的微粒子。在本发明中，对微粒子发生装置没有特别限制，除使上述线香等香类燃烧的装置之外，可以使用以下装置，即通过喷雾乙二醇和(或)水而产生它们的微粒子的装置，利用固体二氧化碳、液氮、喷雾器和超声波加湿器等产生水的微粒子的装置，使用市售标准粒子发生装置的装置，使用振动装置或鼓风机等产生碳酸钙等微粒子粉末的装置等。微粒子发生装置不必在粒子室1内，也可以在粒子室1外设置微粒子发生装置，再将产生的微粒子导入粒子室1内。
在粒子室1的上部，设置从该粒子室1向被检测体20导入微粒子的微粒子导入口6，作为微粒子导入装置，设置加压机构10。粒子室的内部利用加压机构10加压，粒子室1内的微粒子通过微粒子导入口6导入作为检查对象的被检测体20内。从使粒子室1内的压力保持一定的观点出发，加压机构10适合使用具有调节器的压缩机等。最佳的加压力当被检测体是多孔质体时为1～30Pa，当被检测体是非多孔质体时为100～20000Pa，所以，加压机构最好在该范围内施加压力。
粒子室1具有压力计11和微粒子浓度计13，可以管理粒子室1内的压力和微粒子的浓度。进而，设置用来使排出的微粒子返回粒子室1内的微粒子循环口8和微粒子循环管9。图1中的本发明的装置构成为能检查2个被检测体20，2个微粒子导入口6分别具有与活塞17连结的微粒子导入口盖16，利用活塞17的上下运动使微粒子导入口6开闭。利用该活塞17的上下运动，可以使微粒子导入口6开闭，使不使用的微粒子导入口6关闭。
在微粒子导入口6上，设置具有与微粒子导入口6连接的开口部的设置台22，可以装卸被检测体20。被检测体20在利用封口24将外周密封的状态下防止在设置台22上。封口24与作为检查对象的被检测体的形状吻合，可以取各种形状。因设置台22是这样构成的，故通过微粒子导入口6的微粒子全部导入被检测体20内。
在被检测体20的上方具有与活塞35连接的护罩34，检查时，护罩34向下方移动，防止风等扰乱从被检测体20排出的微粒子的流动。
进而，在被检测体20的上方具有作为光发生装置30的激光发生装置。作为指向性强的光发生装置的激光发生装置最好也能上下移动，检查时，光最好在排出面的正上方5mm、理想的是3mm的范围内通过。因光扩散后呈面状与被检测体20的微粒子排出面平行通过，故在光发生装置3-0的前面设置透镜32。在图1中，作为光发生装置，有He-Ne激光发生装置，但对本发明的光发生装置没有特别限制，只要是能由本方法的微粒子发生装置发生的微粒子漫反射的波长的指向性强的光即可，但是，最好是激光、例如固体激光、气体激光、半导体激光、色素激光、受激二聚物激元激光、自由电子激光等光发生装置。这样的光发生装置发生的光例如有650nm左右的红色激光、532nm左右的绿色激光和400nm左右的紫色激光等。
在被检测体20的上方垂直向下设置与作为记录装置的监视器38连接的CCD照相机36，可以对漫反射后的激光进行摄影、记录。作为记录装置，除CCD照相机之外，可以使用照相机和光学摄影机等。进而，在CCD照相机36的镜头的垂直下方具有空气净化机构37，可以加正压来防止微粒子附着在照相机的镜头上。
下面，根据实施例进一步详细说明本发明，但本发明并不限于这些实施例。再有，在以下的试验中，将作为柴油机粒子过滤器使用的蜂窝密度为40个/cm2的直径150mm、长度150mm的圆形多孔质的蜂窝构造体(以下简称为过滤器)作为评估用被检测体使用。此外，在实施例和比较例中，使用了3个上述过滤器(a)、(b)和(c)。
(缺陷的种类和排出的微粒子的粒度分布的关系)
准备具有分别有直径0.1mm的圆形、直径0.3mm的圆形和0.8mm×2mm的长方形的缺陷的流通孔(蜂窝)和没有缺陷的蜂窝(正常蜂窝)的过滤器，使用图3所示的装置，利用粒子计数器吸引通过缺陷蜂窝的微粒子并测定吸引的微粒子的粒度分别。图4表示缺陷62的种类和通过缺陷蜂窝向微粒子排出面5 4排出的微粒子的粒度分布的测定例子。从缺陷蜂窝排出的微粒子的个数在0.3～1μm的范围内比正常蜂窝少，但在发出更多漫反射光的1～10μm的范围内却比正常蜂窝多。因此可知，若检查对象是上述过滤器且作为对象的缺陷的直径为0.1～0.8mm左右，则粒径为1～10μm左右的微粒子适合缺陷的检测。
(实施例1)
使用封口24在图1所示的被检测体的缺陷检查装置的设置台22上设置过滤器(a)。其次，燃烧线香，产生具有图5所示的粒度分布的微粒子。当微粒子的浓度达到300个/cc时，利用加压机构10加10Pa的压力，将微粒子导入过滤器(a)。使用He-Ne激光发生器作为光发生装置30，经透镜32产生激光，使激光呈面状与过滤器(a)的上部平面(微粒子排出面54)大致平行通过过滤器(a)的上面3mm的地方。利用CCD照相机36对由排出的微粒子漫反射的激光进行摄影，由监视器38进行观察记录。从检查开始到摄影的时间是5秒钟。此外，即使检查之后不进行后处理也不损害过滤器的功能。摄影的图像示于图6(a)。在图6(a)中，明亮的部分是微粒子漫反射激光较多的地方，表示该部分大的微粒子排出得多一些，即，该部分有缺陷。
(实施例2和3)
和实施例1一样对过滤器(b)和(c)进行了检查。从检查开始到摄影的时间是5秒钟。此外，即使检查之后不进行后处理也不损害过滤器的功能。摄影的图像分别示于图6(b)H和图6(c)。
(比较例1～3)
使用煤烟印迹法对过滤器(a)、(b)和(c)进行了检查。从检查开始到能进行煤烟印迹的时间是5秒钟。检查后各过滤器内附着大量的煤烟，必须耗费8个小时进行加热燃烧来将其除去。得到的煤烟印迹图像分别示于图7(a)、图7(b)和图7(c)。
若将图7(a)～(c)(先有的煤烟印迹法)与图6(a)～(c)(本发明的方法)比较，发现它们非常一致，从而可以确认本发明的方法的可靠性。此外，由本发明的方法得到的图像每一个蜂窝的明暗鲜明，可以以更高的灵敏度指出缺陷的地点。
工业上利用的可能性
通过使用本发明的方法和装置，即使是从外部不能确认缺陷的形状的被检测体，也能够高灵敏度地检测缺陷。此外，容易指出缺陷地点，容易记录缺陷地点。进而，检查时间短，检查前后的前处理及后处理的时间也短，甚至可以不要。

Claims (16)

1.一种检测缺陷的检查方法，其特征在于：在产生微粒子之后，将产生的上述微粒子导入上述被检测体内，其次，产生指向性很强的光使其通过上述被检测体的附近，上述光照射从上述被检测体排出的上述微粒子，使微粒子可视化。
2.权利要求1记载的检测缺陷的检查方法，其特征在于：产生面状的上述光，对缺陷进行二维检测。
3.权利要求1或2记载的检测缺陷的检查方法，其特征在于：利用照相机记录已可视化检测出的微粒子像。
4.权利要求1至3的任何一项记载的检测缺陷的检查方法，其特征在于：产生的上述微粒子的粒径是0.3～200μm。
5.权利要求1至4的任何一项记载的检测缺陷的检查方法，其特征在于：上述被检测体是多孔质体。
6.权利要求1至5的任何一项记载的检测缺陷的检查方法，其特征在于：上述被检测体是蜂窝构造体。
7.权利要求6记载的检测缺陷的检查方法，其特征在于：上述蜂窝构造体是柴油机粒子过滤器。
8.权利要求6或7记载的检测缺陷的检查方法，其特征在于：使所产生的光通过上述微粒子排出面附近且大致与微粒子排出面平行。
9.一种检测缺陷的检查装置，其特征在于包括：
产生微粒子的微粒子发生装置；
将上述微粒子发生装置产生的微粒子导入被检测体内的微粒子导入装置；
产生指向性很强的光使其通过上述被检测体附近并照射从上述被检测体排出的微粒子，使上述微粒子可视化的光发生装置。
10.权利要求9记载的检测缺陷的检查装置，其特征在于：上述光发生装置产生面状的光。
11.权利要求9或10记载的检测缺陷的检查装置，其特征在于：进而包括记录已可视化检测出的微粒子像的记录装置。
12.权利要求9至11的任何一项记载的检测缺陷的检查装置，其特征在于：上述微粒子发生装置产生的微粒子的粒径是0.3～200μm。
13.权利要求9至12的任何一项记载的检测缺陷的检查装置，其特征在于：上述被检测体是多孔质体。
14.权利要求9至13的任何一项记载的检测缺陷的检查装置，其特征在于：上述被检测体是蜂窝构造体。
15.权利要求14记载的检测缺陷的检查装置，其特征在于：上述蜂窝构造体是柴油机粒子过滤器。
16.权利要求14或15记载的检测缺陷的检查装置，其特征在于：具有使产生的光通过蜂窝构造体的微粒子排出面附近且大致与微粒子排出面平行的光发生装置。
CNB028009770A 2001-03-30 2002-02-12 检测缺陷的检查方法及检查装置 Expired - Lifetime CN100468031C (zh)

Applications Claiming Priority (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001101182 2001-03-30
JP101182/01 2001-03-30
JP101182/2001 2001-03-30
JP18474/02 2002-01-28
JP18474/2002 2002-01-28
JP2002018474A JP3904933B2 (ja) 2001-03-30 2002-01-28 欠陥を検出する検査方法及び検査装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1460177A true CN1460177A (zh) 2003-12-03
CN100468031C CN100468031C (zh) 2009-03-11

Family

ID=26612839

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNB028009770A Expired - Lifetime CN100468031C (zh) 2001-03-30 2002-02-12 检测缺陷的检查方法及检查装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US7012678B2 (zh)
EP (1) EP1296125B1 (zh)
JP (1) JP3904933B2 (zh)
CN (1) CN100468031C (zh)
WO (1) WO2002082035A1 (zh)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102539079A (zh) * 2010-12-08 2012-07-04 财团法人纺织产业综合研究所 滤材泄漏检测装置及滤材泄漏检测方法
CN102596376A (zh) * 2009-10-19 2012-07-18 陶氏环球技术有限责任公司 测试螺旋卷组件的完整性的方法
CN102735598A (zh) * 2011-03-30 2012-10-17 日本碍子株式会社 过滤器的检查方法以及过滤器的检查装置
CN101539532B (zh) * 2008-03-21 2013-01-02 日本碍子株式会社 蜂窝结构体缺陷检查装置
US8422014B2 (en) 2007-08-30 2013-04-16 Ngk Insulators, Ltd. Method for inspecting defect of article to be inspected
CN103154711A (zh) * 2010-10-01 2013-06-12 陶氏环球技术有限责任公司 分析基体孔径的系统和方法
CN104865019A (zh) * 2015-05-11 2015-08-26 广西汽车集团有限公司 一种整车密封性试验方法
CN105008886A (zh) * 2012-11-28 2015-10-28 康宁股份有限公司 测试蜂窝状过滤器的方法
CN111077156A (zh) * 2019-11-26 2020-04-28 凯龙蓝烽新材料科技有限公司 蜂窝陶瓷过滤体内部缺陷检测装置及方法

Families Citing this family (42)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004286703A (ja) * 2003-03-25 2004-10-14 Ngk Insulators Ltd ハニカム構造体の検査方法及び検査装置
JP2005283547A (ja) 2004-03-31 2005-10-13 Ngk Insulators Ltd セラミック構造体の検査方法
TWI240403B (en) * 2004-04-29 2005-09-21 Via Tech Inc Electrostatic discharge protection circuit
ES2389171T3 (es) * 2004-08-31 2012-10-23 Dow Global Technologies Llc Método de ensayo de módulos de separación de membrana
US7299681B2 (en) * 2004-09-27 2007-11-27 Idc, Llc Method and system for detecting leak in electronic devices
US7410528B2 (en) * 2004-11-30 2008-08-12 Corning Incorporated Method and system for testing the integrity of green plugged honeycomb structure
CN101184545B (zh) * 2004-12-21 2011-07-20 康宁股份有限公司 用于鉴别和修复填塞蜂窝结构体中缺陷孔的方法和系统
PL1910802T3 (pl) 2005-07-29 2013-08-30 Corning Inc Sposób i system do wykrywania defektów w korpusie typu plaster miodu z użyciem płynu cząstek
KR20080109031A (ko) 2006-03-28 2008-12-16 니뽄 가이시 가부시키가이샤 다공질체의 결함 검출 방법
US7674309B2 (en) * 2006-03-31 2010-03-09 Corning Incorporated Honeycomb filter defect detecting method and apparatus
US20070266547A1 (en) * 2006-05-16 2007-11-22 Zhiqiang Shi Pulse echo ultrasonic testing method for ceramic honeycomb structures
US7614304B2 (en) * 2006-05-16 2009-11-10 Corning Incorporated Ultrasonic testing system and method for ceramic honeycomb structures
US8499633B2 (en) * 2006-05-16 2013-08-06 Corning Incorporated Non-contact ultrasonic testing method and device for ceramic honeycomb structures
JP2008056534A (ja) * 2006-08-31 2008-03-13 Denso Corp ハニカム構造体におけるセルの閉塞状態検査方法
US20080173071A1 (en) * 2007-01-22 2008-07-24 Park Timothy A Honeycomb filter defect detecting method
US7870779B2 (en) * 2007-04-24 2011-01-18 Thermo King Corporation Structure and method to verify diesel particulate filter operation
JP2009085673A (ja) * 2007-09-28 2009-04-23 Ngk Insulators Ltd 目封止ハニカム構造体の欠陥検査方法及び欠陥検査装置
JP2009092480A (ja) * 2007-10-05 2009-04-30 Ngk Insulators Ltd 欠陥検出方法及び欠陥検出装置
JP4913707B2 (ja) * 2007-11-07 2012-04-11 日本碍子株式会社 フィルタの検査方法及びフィルタ検査装置
US8049878B2 (en) * 2008-08-22 2011-11-01 Corning Incorporated Systems and methods for detecting defects in ceramic filter bodies
JP5535505B2 (ja) * 2009-03-19 2014-07-02 住友化学株式会社 多孔質セラミックス成形体の製造方法および多孔質セラミックス成形体
JP5528717B2 (ja) * 2009-01-07 2014-06-25 住友化学株式会社 チタン酸アルミニウム系焼成体の製造方法および多孔質セラミックス成形体
CN102272073A (zh) * 2009-01-07 2011-12-07 住友化学株式会社 多孔陶瓷成形体及其制造方法
JP4665039B2 (ja) 2009-03-26 2011-04-06 日本碍子株式会社 ハニカム構造体欠陥検査装置、及びハニカム構造体欠陥検査方法
US8991235B2 (en) * 2009-05-07 2015-03-31 Dow Global Technologies Llc Method of testing membranes and membrane-based systems
US8234909B2 (en) 2009-08-26 2012-08-07 Corning Incorporated Method and apparatus for inspecting ceramic wall flow filters
US8537215B2 (en) * 2009-11-30 2013-09-17 Corning Incorporated Multi-camera skin inspection system for extruded ceramic honeycomb structures
US8348499B2 (en) 2010-01-12 2013-01-08 Dow Global Technologies Llc Method of testing spiral wound modules by thermal imaging
KR101737663B1 (ko) 2010-02-17 2017-05-18 다우 글로벌 테크놀로지스 엘엘씨 필터 및 멤브레인 결함 검출 시스템
JP5969386B2 (ja) 2010-03-31 2016-08-17 日本碍子株式会社 ハニカムフィルタ
WO2011142268A1 (ja) * 2010-05-13 2011-11-17 住友化学株式会社 グリーンハニカム成形体の欠陥を検査する方法、及び、グリーンハニカム成形体の欠陥の検査装置
KR20130097777A (ko) * 2010-09-24 2013-09-03 스미또모 가가꾸 가부시끼가이샤 허니컴 구조체의 검사 방법 및 검사 장치
JP2014094318A (ja) * 2011-02-28 2014-05-22 Hitachi Metals Ltd セラミックハニカムフィルタの製造方法、及びセラミックハニカムフィルタ
WO2012176889A1 (ja) * 2011-06-24 2012-12-27 住友化学株式会社 ハニカムフィルタの検査方法、製造方法、及び、検査装置
JP2013132585A (ja) 2011-12-26 2013-07-08 Ngk Insulators Ltd ハニカム構造体及びその製造方法
JP5481498B2 (ja) 2012-01-12 2014-04-23 住友化学株式会社 グリーンハニカム成形体の欠陥を検査する方法、グリーンハニカム構造体の製造方法及びグリーンハニカム成形体の欠陥の検査装置
JP2013174492A (ja) * 2012-02-24 2013-09-05 Denso Corp 検査装置および検査方法
US9038439B2 (en) 2012-11-28 2015-05-26 Corning Incorporated Apparatus and methods for testing a honeycomb filter
US9523623B2 (en) 2012-11-28 2016-12-20 Corning Incorporated Methods for testing a honeycomb filter
CN107646124B (zh) * 2015-05-21 2021-04-02 康宁股份有限公司 用于检查多孔制品的方法
JP6708191B2 (ja) * 2017-09-21 2020-06-10 株式会社デンソー 漏れ検査装置及び漏れ検査方法
WO2020018346A1 (en) * 2018-07-20 2020-01-23 Corning Incorporated System and method for detecting defects in a honeycomb body

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4055075A (en) * 1976-04-08 1977-10-25 Flanders Filters, Inc. Method and apparatus for the leak testing of filters
JPH02191517A (ja) * 1989-01-20 1990-07-27 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 高効率フイルタの漏洩検査装置
JPH03255934A (ja) * 1990-03-06 1991-11-14 Ngk Insulators Ltd 排ガス浄化用ハニカム構造体の検査方法及び装置
JPH04104038A (ja) 1990-08-24 1992-04-06 Kawasaki Steel Corp バグフィルタ式集塵機における濾布の破損状況検知方法および装置
JPH076378B2 (ja) * 1992-03-16 1995-01-30 日本碍子株式会社 ディーゼルパティキュレートフィルタの端部目封じ検査修正装置
JPH06134268A (ja) * 1992-10-30 1994-05-17 Nok Corp 中空糸膜モジュールの欠陥位置検出方法およびその装置並びに欠陥補修方法
JPH07136476A (ja) * 1993-11-18 1995-05-30 Nok Corp 中空糸膜モジュールの欠陥位置検出方法
JPH07174660A (ja) 1993-12-17 1995-07-14 Toyota Motor Corp 漏洩箇所検出方法及びその装置
US5572327A (en) * 1995-02-01 1996-11-05 W. L. Gore & Associates, Inc. Remote leak detection sensing method and device
JP3929612B2 (ja) * 1998-08-20 2007-06-13 新日本空調株式会社 クリーンルーム類におけるフィルタリーク検査装置およびその方法
JP3839177B2 (ja) 1998-12-28 2006-11-01 イビデン株式会社 多孔質セラミック部材のピンホール検査装置

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101796381B (zh) * 2007-08-30 2013-05-01 日本碍子株式会社 被检体的缺陷检查方法
US8422014B2 (en) 2007-08-30 2013-04-16 Ngk Insulators, Ltd. Method for inspecting defect of article to be inspected
CN101539532B (zh) * 2008-03-21 2013-01-02 日本碍子株式会社 蜂窝结构体缺陷检查装置
CN102596376A (zh) * 2009-10-19 2012-07-18 陶氏环球技术有限责任公司 测试螺旋卷组件的完整性的方法
CN102596376B (zh) * 2009-10-19 2014-11-19 陶氏环球技术有限责任公司 测试螺旋卷组件的完整性的方法
CN103154711A (zh) * 2010-10-01 2013-06-12 陶氏环球技术有限责任公司 分析基体孔径的系统和方法
CN106290399A (zh) * 2010-10-01 2017-01-04 陶氏环球技术有限责任公司 分析基体孔径的系统和方法
CN102539079A (zh) * 2010-12-08 2012-07-04 财团法人纺织产业综合研究所 滤材泄漏检测装置及滤材泄漏检测方法
CN102735598A (zh) * 2011-03-30 2012-10-17 日本碍子株式会社 过滤器的检查方法以及过滤器的检查装置
CN105008886A (zh) * 2012-11-28 2015-10-28 康宁股份有限公司 测试蜂窝状过滤器的方法
CN105008886B (zh) * 2012-11-28 2018-02-06 康宁股份有限公司 测试蜂窝状过滤器的方法
CN104865019A (zh) * 2015-05-11 2015-08-26 广西汽车集团有限公司 一种整车密封性试验方法
CN111077156A (zh) * 2019-11-26 2020-04-28 凯龙蓝烽新材料科技有限公司 蜂窝陶瓷过滤体内部缺陷检测装置及方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP1296125B1 (en) 2015-10-14
US7012678B2 (en) 2006-03-14
JP3904933B2 (ja) 2007-04-11
EP1296125A4 (en) 2006-12-13
EP1296125A1 (en) 2003-03-26
CN100468031C (zh) 2009-03-11
JP2002357562A (ja) 2002-12-13
US20030112437A1 (en) 2003-06-19
WO2002082035A1 (fr) 2002-10-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN100468031C (zh) 检测缺陷的检查方法及检查装置
CN101796381B (zh) 被检体的缺陷检查方法
EP2001576B1 (en) Honeycomb filter defect detecting method and apparatus
US7701570B2 (en) Collimated light method and system for detecting defects in honeycombs
US7520918B2 (en) Method and system for identifying and repairing defective cells in a plugged honeycomb structure
US6666070B1 (en) Method for testing the integrity of DPFs
US7410528B2 (en) Method and system for testing the integrity of green plugged honeycomb structure
US7504057B2 (en) Manufacturing method of exhaust gas purifying filter
US20080173071A1 (en) Honeycomb filter defect detecting method
CN101539532B (zh) 蜂窝结构体缺陷检查装置
JP4913707B2 (ja) フィルタの検査方法及びフィルタ検査装置
EP2031378A1 (en) Method of detecting porous material defect
CN108979797A (zh) 用于离线吹扫车载微粒捕集器的再生装置及方法
US7043964B1 (en) Method and system for detecting leaks in a plugged honeycomb structure
JP2009092480A (ja) 欠陥検出方法及び欠陥検出装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CX01 Expiry of patent term

Granted publication date: 20090311

CX01 Expiry of patent term