JP2009092480A - 欠陥検出方法及び欠陥検出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】レーザー光がハニカム構造体の端面及びセルの開口端部に入射することを防止し、ハニカム構造体の欠陥を感度よく検出することができる欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】多孔質の隔壁によって複数のセルが区画形成された筒状のハニカム構造体１２の一方の端面１２ａ側に、一方の端面１２ａを覆うように格子状の反射防止部材２０を配置し、微粒子をハニカム構造体１２の他方の端面側からハニカム構造体１２内に導入し、一方の端面１２ａ側に排出させ、反射防止部材２０を通過させ、反射防止部材２０を通過させた微粒子に、一方の端面１２ａに略平行なレーザー光１３を照射し、微粒子を可視化する欠陥検出方法。
【選択図】図２

Description

本発明は、多孔質のハニカム構造体の欠陥を検出するための欠陥検出方法及び欠陥検出装置に関し、更に詳しくは、多孔質のハニカム構造体の欠陥を感度よく検出することができる欠陥検出方法及び欠陥検出装置に関する。

従来、内燃機関、ボイラー等の排ガス中に含まれる粒子状物質を捕集するフィルタや、排ガス浄化用触媒の触媒担体等としてハニカム構造体が用いられている。特に、セラミックス製のハニカム構造体は、耐熱性、耐熱衝撃性、耐酸化性に優れた特性を有するため、広く使用されている。

このセラミックス製のハニカム構造体は、セラミックスの粉体を有機バインダ、水等とともに混練して粘土状の坏土とし、この坏土を押出成形法等により、複数のセルが隔壁によって区画形成されたハニカム形状に成形し、必要に応じ乾燥、仮焼等を行った後、焼成することにより製造される。このようなハニカム構造体の製造工程において、ハニカム構造体の隔壁を貫通する穴が形成される等の欠陥が発生する場合がある。このような欠陥が発生すると、ハニカム構造体がフィルタや触媒担体として十分に機能しない場合があった。従って、製造したハニカム構造体について欠陥の発生の有無を検査する必要がある。

欠陥の検査方法としては、例えば、図１に示すように、噴霧器１１によって水の微粒子（水煙）を発生させた後、この水煙をハニカム構造体１２内へ導入し、次いで、ハニカム構造体１２の排出側端面１２ａと略平行に通過するように、指向性の強い光（レーザー光１３）を発生させて、このレーザー光１３が、ハニカム構造体１２の排出側端面１２ａ側に排出される水煙を照射して、水煙中に含まれる水の微粒子を可視化することによってハニカム構造体の欠陥を検出する方法が提案されている（例えば、特許文献１）。

特許第３９０４９３３号公報

特許文献１に記載の検査方法は、外部から欠陥の確認できないハニカム構造体であっても、欠陥を感度よく検出することができ、欠陥場所の特定が容易となり、欠陥場所の記録が容易にできるようになり、更に、検査時間及び検査前後の前処理、後処理時間が短くまたは不要となるという利点がある。

ここで、通常、レーザー光は、良好な指向性を有する光である。即ち、レーザー光発生装置から出射されたレーザー光は、その幅をほとんど変化させることなく進行する。しかしながら、微視的には、図３に示すように、レーザー光１３は、平行光成分１３ａ以外に、交差光成分１３ｂ，１３ｃを有するため、進行するに従ってその幅が広くなる。

従って、図１に示すように、ハニカム構造体１２の排出側端面１２ａの近傍に略平行に通過するレーザー光１３を発生させた場合、レーザー光１３の交差光成分１３ｂがハニカム構造体１２の排出側端面１２ａを照射することがあった。このような場合、光成分１３ｂが排出側端面１２ａで反射されて反射光（端面反射光）を生じ、微粒子による反射光と、端面反射光との判別が困難になるため、可視化した微粒子の観察を正確に行うことができなかった。即ち、十分な感度で欠陥検出することができなかった。

また、ハニカム構造体１２のセル１５ａの開口端部がレーザー光１３によって照射されると、図８に示すように、セル１５ａの開口端部が、Ｌ字状に光ってしまうということがあった。このような場合、微粒子による反射光と、セル１５ａの開口端部で反射された反射光３３との判別が困難になるため、可視化した微粒子の観察を正確に行うことができなかった。即ち、十分な感度で欠陥検出することができなかった。

特に、撮像装置などを用いた機械的な欠陥検出を行う場合には、端面からの反射光と微粒子による反射光、及びセルの開口端部からの反射光と微粒子による反射光を判別することが困難であった。

本発明は、このような従来技術の有する問題点に鑑みてなされたものであり、その課題とするところは、ハニカム構造体の端面及びセルの開口端部が光に照射されることに起因して反射光が発生することを防止することによって、十分な検出感度でハニカム構造体の欠陥を検出することができる欠陥検出方法及び欠陥検出装置を提供する。

本発明者らは上記課題を達成すべく鋭意検討した結果、レーザー光とハニカム構造体の一方の端面との間に、このハニカム構造体の一方の端面を覆うように格子状の反射防止部材を配置することによって、上記課題を解決することが可能であることを見出し、本発明を完成するに至った。

即ち、本発明によれば、以下に示す、欠陥検出方法及び欠陥検出装置が提供される。

［１］ 多孔質の隔壁によって複数のセルが区画形成された筒状のハニカム構造体の一方の端面側に、前記一方の端面を覆うように格子状の反射防止部材を配した状態とし、微粒子を前記ハニカム構造体の他方の端面側から前記ハニカム構造体内に導入し、前記一方の端面側に排出させた後、前記反射防止部材を通過させ、前記反射防止部材を通過させた前記微粒子に、前記一方の端面に略平行なレーザー光を照射し、前記微粒子を可視化する欠陥検出方法。

［２］ 前記反射防止部材の材質が、金属または合成樹脂である前記［１］に記載の欠陥検出方法。

［３］ 前記反射防止部材の材質が、金属または合成樹脂であり、その表面が黒色塗装、または無光沢処理されている前記［１］または［２］に記載の欠陥検出方法。

［４］ 前記反射防止部材の目開が、５〜１０００μｍである前記［１］〜［３］のいずれかに記載の欠陥検出方法。

［５］ 前記反射防止部材の厚さが、５〜１０００μｍである前記［１］〜［４］のいずれかに記載の欠陥検出方法。

［６］ 前記レーザー光が、平面状である前記［１］〜［５］のいずれかに記載の欠陥検出方法。

［７］ 可視化した前記微粒子の像を撮像する前記［１］〜［６］のいずれかに記載の欠陥検出方法。

［８］ 微粒子を発生させる微粒子発生器と、多孔質の隔壁によって複数のセルが区画形成された筒状の測定対象であるハニカム構造体の一方の端面側に接続され、前記微粒子発生器で発生させた前記微粒子が供給される導入部、及び前記導入部内を加圧する加圧器を有し、前記微粒子を前記ハニカム構造体内に導入する微粒子導入装置と、前記ハニカム構造体内に導入され、前記ハニカム構造体の他方の端面側に排出される前記微粒子に、前記ハニカム構造体の前記他方の端面に略平行なレーザー光を照射し、前記微粒子を可視化するレーザー光発生装置と、測定対象である前記ハニカム構造体の前記他方の端面と、前記レーザー光発生装置が出射する前記レーザー光との間に、前記他方の端面を覆うように配置される格子状の反射防止部材と、を備えた欠陥検出装置。

［９］ 前記反射防止部材の材質が、金属または合成樹脂である前記［８］に記載の欠陥検出装置。

［１０］ 前記反射防止部材の材質が、金属または合成樹脂であり、その表面が黒色塗装、または無光沢処理されている前記［８］または［９］に記載の欠陥検出装置。

［１１］ 前記反射防止部材の目開が、５〜１０００μｍである前記［８］〜［１０］のいずれかに記載の欠陥検出装置。

［１２］ 前記反射防止部材の厚さが、５〜１０００μｍである前記［８］〜［１１］のいずれかに記載の欠陥検出装置。

［１３］ 前記レーザー光が、平面状である前記［８］〜［１２］のいずれかに記載の欠陥検出装置。

［１４］ 更に、可視化した前記微粒子の像を撮像する撮像装置を備える前記［８］〜［１３］のいずれかに記載の欠陥検出装置。

本発明の欠陥検出方法によれば、ハニカム構造体の端面とレーザー光との間に配置した格子状の反射防止部材が、ハニカム構造体の端面及びセルの開口端部に光が入射することを防止するとともに、ハニカム構造体から排出される微粒子の流れを阻害することなく通過させるものであるため、十分な検出感度でハニカム構造体の欠陥を検出することができるという効果を奏するものである。

本発明の欠陥検出装置は、ハニカム構造体の端面とレーザー光との間に配置した格子状の反射防止部材が、ハニカム構造体の端面及びセルの開口端部に光が入射することを防止するとともに、ハニカム構造体から排出される微粒子の流れを阻害することなく通過させるものであるため、十分な検出感度でハニカム構造体の欠陥を検出することができるという効果を奏するものである。

以下、本発明の実施の最良の形態について説明するが、本発明は以下の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、当業者の通常の知識に基づいて、以下の実施の形態に対し適宜変更、改良等が加えられたものも本発明の範囲に入ることが理解されるべきである。

［１］欠陥検出方法：
本発明の欠陥検出方法の一実施形態は、多孔質の隔壁によって複数のセルが区画形成された筒状のハニカム構造体の一方の端面（以下、「排出側端面」と記す場合がある）側に、この一方の端面を覆うように格子状の反射防止部材を配置した状態とし、微粒子をハニカム構造体の他方の端面（以下、「導入側端面」と記す場合がある）側からハニカム構造体内に導入し、一方の端面側に排出させ、上記反射防止部材を通過させ、上記反射防止部材を通過させた微粒子に、ハニカム構造体の一方の端面に略平行なレーザー光を照射し、微粒子を可視化するものである。

このようにハニカム構造体の端面とレーザー光との間に配置した格子状の反射防止部材が、ハニカム構造体の端面に照射される光（以下、「端面照射光」という場合がある）の一部を反射または吸収するため、上記端面照射光による反射光を少なくすることができる。そのため、検出感度が向上する。

上記端面照射光としては、図３に示すレーザー光１３の交差光成分１３ｂ以外に、レーザー光を微粒子に照射することによって生じる回折散乱光の一部などがある。ここで、粒子径５μｍ程度の微粒子を用いて欠陥検出を行う場合、回折散乱光は、レーザー光の進行方向と同一方向に進む強い光となる。この回折散乱光は、その一部が、端面照射光となり、欠陥として検出されていた。しかし、上記反射防止部材によれば、回折散乱光に由来する端面照射光も反射または吸収することができるため、検出感度を向上させることができる。

また、粒子径５μｍ程度の微粒子を多数用いる場合、回折散乱光は、主に、レーザー光の進行方向と同一方向に進む光であるため、微粒子の像を撮像する撮像装置に入射する光が少なくなる。従って、得られる微粒子の像が暗くなる傾向がある。このような傾向があることに加え、従来の欠陥検出方法においては、反射光を欠陥として検出してしまうため、十分な検出感度が得られなかった。一方、本実施形態の欠陥検出方法は上記反射防止部材を用いることによって、反射光を少なくすることができるため、正確な欠陥検出ができる。

図９は、レーザー光１３を微粒子２９に照射して生じた回折散乱光のうちハニカム構造体１２の端面（排出側端面１２ａ）に向かう光（端面照射光）の入射を、格子状の反射防止部材２０によって防止している状態を示す例である。

また、格子状の反射防止部材は、ハニカム構造体から排出される微粒子を、その流れを阻害することなく通過させることができる。

［１−１］ハニカム構造体の配置：
本実施形態の欠陥検出方法は、多孔質の隔壁によって複数のセルが区画形成された筒状のハニカム構造体の一方の端面側に、前記一方の端面を覆うように格子状の反射防止部材を配置した状態とする。このような状態とするには、まず、測定対象であるハニカム構造体を所定の位置に配置し、その後、このハニカム構造体の一方の端面側に、反射防止部材を配置してもよいし、予め反射防止部材を所定の位置に配置しておき、その後、反射防止部材が一方の端面を覆うようにハニカム構造体を配置してもよい。

測定対象であるハニカム構造体は、多孔質の隔壁によって複数のセルが区画形成された筒状のものである限り特に制限はなく、例えば、炭化珪素やコージェライト等のセラミックスの粉体を、有機バインダ、水等とともに混練して粘土状の坏土とし、この坏土を押出成形機などによってハニカム形状に成形し、乾燥、仮焼等を行った後、焼成することにより製造することができる。

このハニカム構造体は、その複数のセルの少なくとも一つであって、このセル内のいずれかの位置に配置される目封止部を有するものである。この目封止部（目封止部１６）は、図３に示すように、所定のセル１５ａの一方の端面（排出用端面１２ａ）側、及び残余のセル１５ｂの他方の端面（導入側端面１２ｂ）側に好適に配置される。このように配置される目封止部１６は、更に、排出用端面１２ａ側、及び導入側端面１２ｂ側において、それぞれ市松模様を形成するように配置されることが好適である。

所定の位置に配置するハニカム構造体は、その両端面が鉛直方向に直交するように配置されることが好ましい。即ち、図３に示すように、その両端面（排出側端面１２ａと、この排出側端面１２ａと反対側に位置する導入側端面１２ｂ）が鉛直方向に直交するように上下に（排出側端面１２ａが上方、導入側端面１２ｂが下方に）ハニカム構造体１２を配置することが好ましい。このように配置すると、より精度良く欠陥を検出することができる。即ち、微粒子は、その粒子径が数μｍの大きさであって軽いため、空気と共に加圧されてハニカム構造体から排出されると、鉛直方向上方に向かう。そのため、仮に、その両端面が鉛直方向に平行するようにハニカム構造体を配置すると、ハニカム構造体から排出された微粒子は、鉛直方向上方に向かうため、欠陥が生じているセルから排出された微粒子と、正常なセルから排出された微粒子との区別が困難になり、観察される微粒子の像がハニカム構造体中の欠陥を正確に反映しなくなるおそれがある。従って、例えば、図３に示すようにハニカム構造体を配置することによって、ハニカム構造体中の欠陥をより正確に反映した微粒子の像を得ることができるため、より良好な精度で欠陥を検出することができる。

本実施形態の欠陥検出方法に用いる格子状の反射防止部材は、ハニカム構造体の一方の端面（排出側端面）側に、この一方の端面を覆うように配置されるものである。この格子状の反射防止部材によって、ハニカム構造体の端面及びセルの開口端部に光（端面照射光の一部）が入射することを防止することができる。

即ち、ハニカム構造体の端面及びセルの開口端部で反射光が生じることを防止することができ、端面及びセルの開口端部で反射された光（反射光）を欠陥部分として検出してしまうことを防止することができる。

このように、反射光の発生を防止すると、特に、撮像装置などによって機械的にハニカム構造体の欠陥を検査する場合に、良好に欠陥を検出することができ、欠陥の検出感度を向上させることができる。

格子状の反射防止部材としては、例えば、図４に示すように、一の平面上に位置し、一方向に平行に配置された７本の縦方向格子２１ａと、上記一の平面とは異なる平面上に位置し、縦方向格子２１ａに直交するように配置され、縦方向格子２１ａに接する７本の横方向格子２１ｂと、これら縦方向格子２１ａ及び横方向格子２１ｂを固定する固定枠２３と備えた反射防止部材２０を例示することができる。

なお、横方向格子２１ｂは、図４に示す反射防止部材２０のように、縦方向格子２１ａ上に配置してもよいし、縦方向格子２１ａと交互に編み込んでもよい。

また、図５に示すように、一の平面上に位置し、一方向に平行に配置された７本の縦方向格子２１ａと、上記一の平面と同じ平面上に位置し、縦方向格子２１ａに直交する７本の横方向格子２１ｂと、これら縦方向格子２１ａ及び横方向格子２１ｂを固定する固定枠２３と備えた反射防止部材１２０を例示することができる。

また、図６に示すように、一平面上に位置し、一方向に平行に配置された７本の格子２１ａと、これらの格子２１ａを固定する円形の固定枠２３とからなる反射防止部材２２０を例示することができる。

更に、図７に示すように、一平面上に位置し、一方向に平行に配置された７本の格子２１ａと、これらの格子２１ａを固定する固定棒２４とからなる反射防止部材３２０を例示することができる。

なお、図４及び図５に示す反射防止部材は、縦方向格子と横方向格子との数が同じであるが、異なっていてもよい。また、図４及び図５に示す反射防止部材は、縦方向格子及び横方向格子が直交している（縦方向格子と横方向格子とのなす角９０°である）が、３０°以上９０°未満であってもよい。

図４から図７に示す反射防止部材の格子は、それぞれ隣合う格子の間隔が、同じであっても、異なっていてもよい。また、図４から図７に示す反射防止部材の格子の断面形状は、例えば、円形、三角形、四角形、多角形などとすることができる。なお、断面形状が円形である場合、その直径は、５〜１０００μｍであることが好ましく、１００〜３００μｍであることが更に好ましい。

図４から図７に示す反射防止部材の格子は、各格子が互いに同じ断面形状であってもよいし、異なっていてもよい。また、図４から図７に示す反射防止部材の格子は、各格子が互いに同じ直径であってもよく、互いに異なっていてもよい。

図４から図７に示す反射防止部材の最外周は、円形であるが、例えば、楕円形、三角形、四角形、多角形などであってもよい。

なお、本実施形態の欠陥検出方法に用いる格子状の反射防止部材が、図５または図６に示す形状のものである場合、複数の格子の長さ方向とレーザー光の照射方向とのなす角が、１０〜９０°となるように配置することが好ましく、４５〜９０°となるように配置することが更に好ましく、７５〜９０°となるように配置することが特に好ましい。上記なす角が１０〜９０°の範囲外であると、レーザー光がハニカム構造体の端面及びセルの開口端部に入射するおそれがある。

本実施形態の欠陥検出方法に用いる格子状の反射防止部材の材質は、光（好ましくはレーザー光）を反射し難い材質である限り特に制限はないが、測定対象であるハニカム構造体（特に、微粒子が排出される側の端部）における光の反射率よりも低い反射率を有する材質であることが好ましい。具体的には、金属、合成樹脂などを使用することができる。これらの中でも、合成樹脂が好ましい。上記金属としては、例えば、ステンレス、黄銅、燐青銅、銅、亜鉛などを挙げることができる。合成樹脂としては、例えば、ナイロン樹脂、フッ素樹脂、カーボンファイバー、ポリエチレン樹脂、ナイロン樹脂にカーボンファイバーを織り込んだもの、ナイロン樹脂にカーボンファイバーを表面コートしたもの、ポリエステル樹脂にカーボンファイバーを織り込んだものなどを挙げることができる。

格子状の反射防止部材は、金属を材質とする場合、ステンレス、黄銅、燐青銅、銅、亜鉛などの金属を線状に形成し、これをブラスト処理したものを用いて形成することが好ましく、具体的には、形成する格子がブラスト処理されたステンレス金網、黄銅金網などを挙げることができる。

上記反射防止部材の製作方法としては、例えば、フォトエッチングによる方法、金属、合成樹脂などを線状に形成したものを織り込んで形成する方法などを挙げることができる。

また、本実施形態の欠陥検出方法に用いる格子状の反射防止部材は、その表面を、黒色塗装処理、めっき処理、または無光沢処理したものであることが更に好ましい。このようにその表面を、黒色塗装処理、めっき処理、または無光沢処理すると、照射された光がより反射し難くなるという利点がある。即ち、反射防止部材に端面照射光が入射した場合に、反射光が生じ難く、または端面照射光が吸収され、反射光が生じないという利点がある。なお、黒色塗装処理は、例えば、合成樹脂系塗料（例えば、ウレタン、アクリルなど）を反射防止部材の表面に塗装することにより行うことができる。めっき処理としては、例えば、四三酸化鉄皮膜の形成（いわゆる、黒染め）、低温黒色クロムめっきなどを挙げることができる。無光沢処理としては、例えば、ブラスト処理などを挙げることができる。

格子状の反射防止部材の厚さは、レーザー光の入射角と、格子状の反射防止部材を構成する格子の、隣合う格子間の距離との関係によって適宜選択されるものであるが、１ｍｍ以下であることが好ましく、０．００５〜０．３ｍｍであることが更に好ましい。上記厚さが１ｍｍ超であると、微粒子が反射防止部材に付着捕集されるおそれがある。

格子状の反射防止部材の目開は、ハニカム構造体に形成されるセルの位置、大きさなどによって適宜選択することができるが、５〜１０００μｍであることが好ましく、３０〜２００μｍであることが更に好ましい。上記目開が５μｍ以下であると、微粒子が付着捕集されるおそれがある。一方、１０００μｍであると、反射防止の機能を果たさなくなるおそれがある。ここで、本明細書において、「目開」とは、隣合う格子間の距離を意味する。

具体的には、格子状の反射防止部材の目開は、微粒子の粒子径が５〜１０μｍである場合、その粒子径に対して５倍以上の大きさであることが好ましい。また、縦方向格子と横方向格子によって網目が形成されている場合、格子状の反射防止部材には、１つのセルに対して、１〜１０の網目が形成されたものであることが好ましい。

「一方の端面を覆うように格子状の反射防止部材を配置」とは、ハニカム構造体の一方の端面から排出される微粒子の流れを妨げることなく、ハニカム構造体の一方の端面（排出側端面）に光（端面照射光）が入射することを防止することが可能な状態で格子状の反射防止部材を配置することを意味する。従って、格子状の反射防止部材は、排出側端面に平行となるように配置することが好ましいが、排出側端面に対して０°を超えて３０°以下の角度を有するように配置することもできる。

格子状の反射防止部材をハニカム構造体の排出用端面に対して平行に配置する場合、これらの間の距離は０〜５０ｍｍであることが好ましく、０〜１０ｍｍであることが更に好ましく、０〜３ｍｍであることが特に好ましい。上記距離が、５０ｍｍ超であると、各セル（ハニカム構造体）から排出された微粒子が容易に拡散したり、または微粒子の流れが乱れたりしてしまうため、微粒子に反射した光によってセルの位置を特定することができなくなるおそれがある。

本発明の欠陥検出方法に用いる格子状の反射防止部材の別の実施形態として、以下のようにして得られるものを用いることができる。

まず、光（特にレーザー光）を反射し難い材質からなるフィルムを用意し、このフィルムを測定対象であるハニカム構造体の排出側端面に貼り付け、その後、フィルムに、上記排出側端面に開口している複数のセルの開口部と同様の位置に同様の形状の排出孔を形成する。このようにして得られたものを格子状の反射防止部材として用いることができる。

上記フィルムは、光を反射し難い材質として上述した材質からなるフィルムを好適に用いることができる。上記フィルムの厚さは、孔の開け易さ等の観点から１０〜１００μｍが好ましい。上記フィルムを排出側端面に貼り付ける方法は、例えば、予め接着層を有する上記フィルムを用いる方法、接着剤などにより貼り付ける方法などが挙げられる。また、排出孔を形成する方法は、例えば、上記フィルムに排出孔を形成可能なレーザー光を照射する穿孔用レーザー光発生装置を用いて排出孔を形成する方法、一本の針で一つずつ孔を形成する方法、セルのピッチに対応した所定の形状を有する剣山状の針を使用して多数の孔をまとめて形成する方法などを挙げることができる。

［１−２］微粒子の導入、排出、通過：
次に、本実施形態の欠陥検出方法は、微粒子をハニカム構造体の他方の端面側からハニカム構造体内に導入し、一方の端面側に排出させた後、上記反射防止部材を通過させる。

本実施形態の欠陥検出方法に用いる微粒子を得るための方法としては、例えば、線香などの香類を燃焼させる方法、グリコール類及び／又は水を噴霧することによりこれらの微粒子を発生させる方法、固体二酸化炭素、液体窒素、噴霧器、超音波加湿器などにより水の微粒子を発生させる方法（水煙を発生させる方法）、市販の標準粒子発生装置を用いる方法、炭酸カルシウム等の微粒子粉末を振動装置やブロアなどで発塵させる方法などを挙げることができる。これらの方法の中でも、水の微粒子を発生させる方法が好ましい。即ち、本実施形態の欠陥検出方法に用いる微粒子は、水の微粒子であることが好ましい。水の微粒子を用いることによって、下記従来の欠陥検出方法（スートプリント法）に比べて、検査後の後処理が容易であるという利点がある。

従来の欠陥検出方法は、例えば、ハニカム構造体の一方の端面を白色の布で覆い、ディーゼル燃料軽油の燃焼により発生させたすす状物質を、ハニカム構造体の他方の端面側から流入させた後、上記白色の布に付着させたすす状物質により形成された模様を観察することによって欠陥を検出する方法（スートプリント法）などが報告されているが、このスートプリント法は、検査後に、ハニカム構造体に付着したすす状物質を、熱処理により取り除く後処理が必要であった。この後処理は時間と手間がかかっていた。

水の微粒子は、例えば、噴霧器などにより製造されるものを用いることができる。噴霧器としては、例えば、超音波加湿器、２流体ノズルなどを挙げることができる。

本実施形態の欠陥検出方法に用いる微粒子の粒子径は、測定対象であるハニカム構造体の細孔径により適宜選択することができるが、０．３〜２００μｍであることが好ましく、０．５〜５０μｍであることが更に好ましく、１〜１０μｍであることが特に好ましい。上記粒子径が０．３μｍ未満であると、微粒子がハニカム構造体の平均細孔径より小さいため、欠陥セルと正常セルとの見分けがつかなくなるおそれがある。一方、２００μｍ超であると、粒子径が大きすぎるため、微粒子が欠陥部分を通過できなくなり、欠陥を検出できなくなるおそれがある。

水の微粒子を用いる場合、その粒子径は、ハニカム構造体の多孔質の隔壁を通過可能である限り特に制限はないが、１〜３０μｍであることが好ましく、１〜２０μｍであることが更に好ましく、１〜１０μｍであることが特に好ましい。上記粒子径が１μｍ未満であると、微粒子がハニカム構造体の平均細孔径より小さいため、欠陥セルと正常セルとの見分けがつかなくなるおそれがある。一方、３０μｍ超であると、粒子径が大きすぎるため、微粒子が欠陥部分を通過できなくなり、欠陥を検出できなくなるおそれがある。

上記微粒子をハニカム構造体内に導入する方法は、特に制限はないが、例えば、ハニカム構造体の一方の端面側に接続され、微粒子発生器などにより発生させた微粒子が供給される導入部、及びこの導入部内を加圧することが可能な加圧器を備える微粒子導入装置などを用いる方法がある。この微粒子導入装置としては、例えば、図２に示すように、噴霧器１１により発生させた水の微粒子（水煙）が供給されるとともに、測定対象であるハニカム構造体１２の端部が着脱可能に接続される接続部（不図示）を備える水煙貯留タンク（導入部）４２、この水煙貯留タンク４２内を加圧することが可能なコンプレッサー（加圧器）（不図示）、噴霧器１１と水煙貯留タンク４２とを接続する水煙供給配管４１、水煙供給配管４１と水煙貯留タンク４２との間に配置される逆止弁（不図示）を備える水煙導入装置４０などを挙げることができる。

このような水煙導入装置４０を用いると、噴霧器１１で発生させた水の微粒子（水煙）を、水煙供給配管４１を介して水煙貯留タンク４２に供給し、水煙貯留タンク４２内に貯めた後、コンプレッサーで水煙貯留タンク４２内を陽圧にすることによって、水煙貯留タンク４２に接続されたハニカム構造体１２内に微粒子を、導入し、ハニカム構造体１２の排出用端面１２ａ側に排出させた後、反射防止部材２０を通過させることができる。

なお、ハニカム構造体１２に微粒子を導入する際、水煙導入装置４０の水煙貯留タンク４２内の圧力（内圧）は、所定の流速（微粒子の排出速度）が得られれば特に制限はなく、ハニカム構造体の形状等に応じて適宜選択することができるが、１〜３０Ｐａとすることが好ましい。上記内圧が１Ｐａ未満であると、ハニカム構造体から排出される微粒子の排出速度が遅くなるため、欠陥が十分に検出できなくなるおそれがある。一方、３０Ｐａ超であると、多量の水の微粒子が排出されることになるため、水が無駄に使われ、欠陥検出におけるコストが高くなるおそれがある。

ここで、ハニカム構造体内の欠陥の数が多い程、又は欠陥の大きさが大きい程、ハニカム構造体内の圧力損失は小さいため、内圧が小さい場合であっても欠陥の検出が可能となるが、欠陥の数が少ない程、又は欠陥の大きさが小さい程、ハニカム構造体内の圧力損失が大きく、内圧を大きくする必要がある。また、内圧が大きい程、ハニカム構造体から排出される微粒子が層流で流れる距離が長くなり、ハニカム構造体の排出側端面から離れた位置にレーザー光を通過させても欠陥を検出することができるが、多孔質体であるハニカム構造体の場合、内圧が大きすぎると、多量の微粒子が多孔質体を通って排出されるため、欠陥検出に際して必要となる微粒子の量が多くなることや、欠陥検出に使用した微粒子の回収が困難になる等の問題があり、特にコストの面において好ましくない。

［１−３］微粒子の可視化：
次に、本実施形態の欠陥検出方法は、反射防止部材を通過させた微粒子に、一方の端面に略平行なレーザー光を照射し、微粒子を可視化する。

このようにレーザー光を照射することにより、レーザー光に照射された微粒子を可視化することができる。ここで、本明細書において「微粒子を可視化する」とは、レーザー光に照射された部分における微粒子の分布を観察可能にすることを意味する。そして、隔壁に欠陥が発生しているセルは、排出する微粒子の量が多いため、微粒子を可視化することにより（微粒子の分布を観察することにより）欠陥の発生の有無を検出することができる。

本実施形態の欠陥検出方法に用いられるレーザー光は、本実施形態の欠陥検出方法に用いられる微粒子により乱反射される指向性が強い光であり、その種類に特に制限はなく、固体レーザー、気体レーザー、半導体レーザー、色素レーザー、エキシマレーザー、自由電子レーザーなどを好適に用いることができる。また、波長も特に制限はなく、例えば、６５０ｎｍ程度（赤色レーザー光）、５３２ｎｍ程度（緑色レーザー光）、４００ｎｍ程度（紫色レーザー光）など波長を好適に用いることができる。

レーザー光は、ハニカム構造体の一方の端面に略平行に照射する限り特に制限はないが、レーザー光とハニカム構造体の排出側端面との距離が、５ｍｍ以下であることが好ましく、３ｍｍ以下であることが更に好ましい。上記距離が５ｍｍ超であると、各セル（ハニカム構造体）から排出された微粒子が容易に拡散したり、または微粒子の流れが乱れたりしてしまうため、微粒子で反射する光によってセルの位置を特定することができなくなるおそれがある。

レーザー光は、その照射方向に垂直な方向の幅が、２ｍｍ以下であることが好ましく、１ｍｍであることが特に好ましい。上記幅が、２ｍｍ超であると、微粒子の像を観察する際に明確な画像が得られないおそれがある。

「一方の端面に略平行なレーザー光」とは、ハニカム構造体の一方の端面（排出側端面）に平行なレーザー光、及び排出側端面とのなす角が０．１°以下であるレーザー光を意味する。

なお、本実施形態の欠陥検出方法に用いるレーザー光は、平面状であることが好ましい。平面状のレーザー光を微粒子に照射することにより、ハニカム構造体の端面全体を同時に観察することが可能になるため、欠陥部分の位置を容易に確認することができる。

本発明者らは、撮像装置などによって機械的に検出される微粒子の像には、レーザー光によって可視化した微粒子の像と、ハニカム構造体の端面及びセルの開口端部の像（反射光）とが混在し、上記端面及びセルの開口端部の像を検出してしまうことに起因して欠陥の検出感度が十分に得られないことに着眼し、本発明を完成させた。例えば、レーザー光は、指向性が強い光であり、拡散し難い性質を有するものであるが、図３に示すレーザー光１３のように、微視的には拡散しているものである。通常、レーザー光の微小な拡散は、特に問題にならないが、特許文献１に記載の検査方法のように、レーザー光１３とハニカム構造体１２の端面との距離が近い場合、拡散したレーザー光１３の一部がハニカム構造体１２の端面（排出側端面１２ａ）に入射してしまうことがあった。このような場合、排出側端面１２ａに入射したレーザー光１３は、排出側端面１２ａ及びセルの開口端部で反射されて撮像装置などで観察され、欠陥部分として検出されることがあった。

このように、排出側端面１２ａ及びセルの開口端部での反射光が欠陥として検出されてしまい、特に撮像装置などによる機械的な欠陥検出においては、検出感度が十分に得られない一因であった。そこで、本発明者らは、ハニカム構造体の端面とレーザー光との間に、格子状の反射防止部材を配置し、ハニカム構造体の端面及びセルの開口端部に光が入射することを防止することを見出した。

［１−４］微粒子の像の撮像：
更に、本実施形態の欠陥検出方法は、可視化した微粒子の像を撮像することが好ましい。撮像方法としては、例えば撮像装置を用いることなどが挙げられる。撮像装置を用いて微粒子の像を撮像することによって、欠陥検出の測定対象である各ハニカム構造体を容易に観察することができる。また、撮像装置に記録装置を接続することによって、撮像装置で撮像した微粒子の像を電子データとして保存し、管理することができる。

微粒子の像を撮像するための撮像装置は、特に制限はないが、例えば、ＣＣＤカメラなどが挙げられる。撮像装置を配置する位置は、カメラ、レンズの選定により適宜決定される。

［２］欠陥検出装置：
図２は、本発明の欠陥検出装置の一実施形態を模式的に示す説明図である。図２に示す欠陥検出装置１００は、水の微粒子を発生させる噴霧器１１と、多孔質の隔壁によって複数のセルが区画形成された筒状の測定対象であるハニカム構造体１２の一方の端面（導入側端面１２ｂ）側に接続され、噴霧器１１で発生させた水の微粒子が供給される導入部４２、及び導入部４２内を加圧する加圧器（不図示）を備え、水の微粒子をハニカム構造体１２内に導入する水煙導入装置４０と、ハニカム構造体１２内に導入された後、ハニカム構造体１２の他方の端面（排出側端面）側に排出される水の微粒子に、ハニカム構造体１２の他方の端面（排出側端面１２ａ）に略平行なレーザー光１３を照射し、水の微粒子を可視化するレーザー光発生装置３０と、測定対象であるハニカム構造体１２の他方の端面（排出側端面１２ａ）と、レーザー光発生装置３０が出射するレーザー光１３との間に、他方の端面（排出側端面１２ａ）を覆うように配置される格子状の反射防止部材２０と、を備えたものである。

レーザー光とハニカム構造体の一方の端面との間に、このハニカム構造体の一方の端面を覆うように格子状の反射防止部材を配置することによって、ハニカム構造体の端面及びセルの開口端部にレーザー光が照射されてしまうことを防止し、ハニカム構造体の欠陥を感度よく検出することができる。

［２−１］微粒子発生器：
本実施形態の欠陥検出装置に用いる微粒子発生器は、微粒子を発生させるものである限り特に制限はなく、上述した本発明の欠陥検出方法に用いる微粒子を製造するための微粒子発生器を好適に用いることができる。また、微粒子の粒子径は、上述した本発明の欠陥検出方法に用いる微粒子と同様の粒子径とすることができる。

［２−２］微粒子導入装置：
本実施形態の欠陥検出装置に用いる微粒子導入装置は、多孔質の隔壁によって複数のセルが区画形成された筒状の測定対象であるハニカム構造体の一方の端面側に接続され、前記微粒子発生器で発生させた前記微粒子が供給される導入部、及び前記導入部内を加圧する加圧器を備え、前記微粒子を前記ハニカム構造体内に導入するものである。このような微粒子導入装置としては、例えば、上述した本発明の欠陥検出方法において、微粒子をハニカム構造体内に導入する方法に使用する水煙導入装置４０を好適に用いることができる。

［２−３］レーザー光発生装置：
本実施形態の欠陥検出装置に用いるレーザー光発生装置は、ハニカム構造体内に導入され、このハニカム構造体の他方の端面（排出側端面）側に排出される微粒子に、ハニカム構造体の他方の端面（排出側端面）に略平行なレーザー光を照射し、微粒子を可視化するものである。上記レーザー光発生装置は、上記レーザー光を照射することができるものである限り特に制限はなく、公知の装置を用いることができる。このレーザー光発生装置から照射されるレーザー光は、上述した本発明の欠陥検出方法において、微粒子に照射されるレーザー光の中から適宜選択して用いることができる。

照射されるレーザー光は、平面状であることが好ましい。平面状のレーザー光を照射することにより、ハニカム構造体から排出される微粒子の像を平面的に観察することが可能になるため、欠陥が発生しているセルの位置を容易に確認することができる。平面状のレーザー光は、レーザー光発生装置から出射されるレーザー光の光路中に、このレーザー光を平面状にするレンズ（例えば、広角レンズ）を配置することによって得ることができる。また、平面状のレーザー光は、上記レーザー光発生装置をハニカム構造体の排出側端面に平行に走査させることによっても得ることができる。

なお、上記レーザー光発生装置は、鉛直方向上下に自在に移動可能であることが好ましい。鉛直方向上下に自在に移動可能であると、照射するレーザー光とハニカム構造体の排出側端面との距離を所望の位置に容易に調整することができる。

［２−４］格子状の反射防止部材：
本実施形態の欠陥検出装置に用いる格子状の反射防止部材は、測定対象であるハニカム構造体の他方の端面（排出側端面）と、レーザー光発生装置が照射するレーザー光との間に、他方の端面（排出側端面）を覆うように配置されるものである。

この格子状の反射防止部材によって、ハニカム構造体の端面及びセルの開口端部に照射される端面照射光のうち一部の光の入射を防止することができる。即ち、ハニカム構造体の端面及びセルの開口端部からの反射光を欠陥として検出してしまうおそれが低減され、欠陥の検出感度を向上させることができる。

なお、上記格子状の反射防止部材は、上述した本発明の欠陥検出方法の一の実施形態に用いる格子状の反射防止部材を好適に用いることができる。

［２−５］撮像装置：
なお、本実施形態の欠陥検出装置は、更に、可視化した微粒子の像を撮像する撮像装置を備えるものであることが好ましい。撮像装置を用いて微粒子の像を撮像することによって、欠陥検査の測定対象である各ハニカム構造体を容易に観察することができる。また、撮像装置に記録装置を接続することによって、撮像装置で撮像した微粒子の像を電子データとして保存し、管理することができる。なお、撮像装置としては、上述した本発明の欠陥検出方法において、微粒子の像を撮像する方法に使用する撮像装置を好適に用いることができる。

なお、本実施形態の欠陥検出装置は、上述したもの以外に、微粒子の像を表示するモニタ、撮像装置のためのＬＥＤなどの照明装置、ハニカム構造体の排出側端面とレーザー光との距離を検知する検知器を備え、この検知器の信号を受信してレーザー光発生装置を鉛直方向に移動させるレーザー位置調整装置、微粒子発生器により発生させた微粒子の供給量を調整可能な微粒子供給ファン、ハニカム構造体などを収納する検査ケースなどを備えることができる。

以下、本発明を実施例に基づいて具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。

（実施例１）
まず、測定対象として、多孔質の隔壁１７によって複数のセル１５が区画形成され、所定のセル１５ａの一方の端面（排出用端面１２ａ）側、及び残余のセル１５ｂの他方の端面側に配置される目封止部１６が、相補的な市松模様を形成するものであって、直径２２９ｍｍ、長さ２７９ｍｍの円筒形であり、セル密度が４６．５個／ｃｍ^２であるハニカム構造体１２を用意した。

このハニカム構造体１２について、図２に示す欠陥検出装置１００を用いて欠陥検出を行った。図２に示す欠陥検出装置１００は、水の微粒子を発生させる噴霧器１１として超音波加湿器、この噴霧器１１により発生させた水の微粒子が供給されるとともに、測定対象であるハニカム構造体１２の端部が着脱可能に接続される４２、この水煙貯留タンク４２内を加圧することが可能なコンプレッサー（不図示）、噴霧器１１と水煙貯留タンク４２とを接続する水煙供給配管４１、水煙供給配管４１と水煙貯留タンク４２との間に配置される逆止弁（不図示）を備える水煙導入装置４０、ハニカム構造体１２の排出用端面１２ａ側に配置された格子状の反射防止板２０（材質がＳＵＳ製であり、目開が１００μｍであり、厚さが１５０μｍである）、反射防止部材２０の上方に配置され、反射防止部材２０を通過する微粒子を撮像可能なＣＣＤカメラ（撮像装置）５０、ＣＣＤカメラ５０と反射防止部材２０との間に排出用端面１２ａに略平行なレーザー光１３を照射するレーザー光発生装置３０、ＣＣＤカメラ５０の両側に位置する照明装置としてＬＥＤ５１，５１、ＣＣＤカメラ５０に接続された画像処理装置（不図示）、画像処理装置に接続されたモニタ（不図示）を備えている。なお、格子状の反射防止板２０は、一の平面上に位置し、一方向に平行に配置された縦方向格子２１ａ（直径１５０μｍ）と、上記一の平面とは異なる平面上に位置し、縦方向格子２１ａに直交するように配置され、縦方向格子２１ａに接する横方向格子２１ｂ（直径１５０μｍ）と、これら縦方向格子２１ａ及び横方向格子２１ｂを固定する固定枠２３と備え、縦方向格子２１ａの隣合う格子の間隔が１００μｍであり、横方向格子２１ｂの隣合う格子の間隔が１００μｍであるものである。

また、欠陥検査の測定対象であるハニカム構造体１２は、その欠陥検査に際して、検査ケース５２内に収納し、検査ケース５２内に収納することによって、ハニカム構造体１２から排出される微粒子の流れを乱し、検査を阻害する風などを排除している。検査ケース５２は、ハニカム構造体１２を出入りさせることができる出入口（不図示）と、この出入口に取り付けられたシャッター（不図示）とを備えている。

次に、上記欠陥検出装置１００を用いた、ハニカム構造体１２の欠陥検出手順について説明する。まず、ハニカム構造体１２の端部を水煙貯留タンク（導入部）４２の接続部（不図示）に接続した。なお、この接続部は、ハニカム構造体１２の端部と接する部分に、例えば、合成樹脂製のパッキンなどを備え、水煙貯留タンク４２とハニカム構造体１２とが隙間なく接続されている。次に、ハニカム構造体１２の排出用端面１２ａと格子状の反射防止部材２０との距離が２ｍｍとなる位置に格子状の反射防止部材２０を配置した。

その後、超音波加湿器（噴霧器１１）によって、粒子径５μｍの微粒子を発生させ超音波加湿器に付属した微粒子供給ファンにより微粒子を水煙供給配管４１内に導入し、水煙貯留タンク４２内で微粒子の濃度を均一化させた後、微粒子をハニカム構造体１２の複数のセル内に導入し、排出側端面側に排出させ、格子状の反射防止部材２０を通過させた。その後、レーザー光発生装置３０によって、排出側端面１２ａとの距離が４ｍｍである位置に、排出側端面１２ａに略平行な平面状のＨｅ−Ｎｅレーザー光を出射し、このＨｅ−Ｎｅレーザー光によって微粒子を照射し、微粒子を可視化した。可視化させた微粒子の像をＣＣＤカメラ５０によって撮像し、モニタ上で確認した。

（比較例１）
図２に示す欠陥検出装置１００において、格子状の反射防止部材２０を用いなかった以外は、実施例１と同様にして、図２に示す欠陥検出装置１００を用いてハニカム構造体１２の欠陥検出を行った。

図１に示す実施例１の欠陥検出装置は、図２に示す比較例１の欠陥検出装置に比べて、検出率が７％（Ｎ数２０個）上昇し、欠陥の発生しているセルから排出された微粒子の像がはっきりと明るく見えた。従って、実施例１の欠陥検出装置は、欠陥を容易に検出することが可能であることが確認できた。また、実施例１の欠陥検出装置は、欠陥が発生しているものの、セルの隔壁に形成された孔が小さく、その微粒子の排出量が、欠陥の発生していないセルにおける微粒子の排出量に対して微差である場合であっても、格子状の反射防止部材を用いているため、ハニカム構造体の排出側端面からの反射光が少なく、良好に欠陥を検出することが可能であることが確認できた。このように本発明の欠陥検出方法は、欠陥の検出感度を向上させる方法であることが確認できた。

なお、検出率は、具体的には以下のように測定した。まず、欠陥を有するハニカム構造体２０個を、それぞれ実施例１の欠陥検出装置と比較例１の欠陥検出装置とによって欠陥検出を行い、欠陥の発生しているセル数（検出欠陥数）を測定した。この結果より、｛（実施例１の欠陥検出装置によって検出された検出欠陥数（個））／（比較例１の欠陥検出装置によって欠陥が検出された検出欠陥数（個））×１００｝−１００（％）を算出して検出数上昇割合とした。例えば、ハニカム構造体Ａを、実施例１の欠陥検出装置で検査した際、検出欠陥数が１１個であり、比較例１の欠陥検出装置で検査した際、検出欠陥数が１０個であった場合には、検出数上昇割合は１０％である。このようにして各ハニカム構造体（２０個）について検出数上昇割合を得、得られた検出数上昇割合の平均値を算出して検出率とした。なお、微粒子の像は目視により観察（検査）し、検出率は２回測定した。

本発明の欠陥検出方法は、ハニカム構造体の欠陥の検出に際し、良好な感度を有する欠陥検出方法として好適に利用することができる。

本発明の欠陥検出装置は、ハニカム構造体の欠陥の検出に際し、良好な感度を有する欠陥検出装置として好適に利用することができる。

従来の欠陥検出装置を模式的に示す側面図である。 本発明の欠陥検出装置の一の実施形態を模式的に示す側面図である。 図２の欠陥検出装置１００の一部を拡大し、レーザー光照射装置３０の側面、及び格子状の反射防止部材２０とハニカム構造体１２の断面を示す模式図である。 本発明の欠陥検出装置に用いる格子状の反射防止部材の一の実施形態を示す模式図である。 本発明の欠陥検出装置に用いる格子状の反射防止部材の別の実施形態を示す模式図である。 本発明の欠陥検出装置に用いる格子状の反射防止部材の別の実施形態を示す模式図である。 本発明の欠陥検出装置に用いる格子状の反射防止部材の別の実施形態を示す模式図である。 従来の欠陥検出装置に配置されたハニカム構造体の端面を拡大して示す平面図である。 図２の欠陥検出装置１００の一部を拡大し、レーザー光１３に照射された微粒子２９と、格子状の反射防止部材２０と、ハニカム構造体１２との断面を示す模式図である。

符号の説明

１１：噴霧器、１２：ハニカム構造体、１２ａ：排出側端面、１３：レーザー光、１３ａ：平行光成分、１３ｂ，１３ｃ：交差光成分、１５ａ，１５ｂ：セル、１６：目封止部、１７：隔壁、２０，１２０，２２０，３２０：格子状の反射防止部材、２１ａ：縦方向格子、２１ｂ：横方向格子、２３：固定枠、２４：固定棒、２９：微粒子、３０：レーザー光照射装置、３３：反射光、４０：水煙導入装置、４１：水煙供給配管、４２：水煙貯留タンク（導入部）、５０：ＣＣＤカメラ（撮像装置）、５１：ＬＥＤ（照明装置）、５２：収納ケース、１００：欠陥検出装置。

Claims (14)

1. 多孔質の隔壁によって複数のセルが区画形成された筒状のハニカム構造体の一方の端面側に、前記一方の端面を覆うように格子状の反射防止部材を配置した状態とし、微粒子を前記ハニカム構造体の他方の端面側から前記ハニカム構造体内に導入し、前記一方の端面側に排出させた後、前記反射防止部材を通過させ、
   前記反射防止部材を通過させた前記微粒子に、前記一方の端面に略平行なレーザー光を照射し、前記微粒子を可視化する欠陥検出方法。
2. 前記反射防止部材の材質が、金属または合成樹脂である請求項１に記載の欠陥検出方法。
3. 前記反射防止部材の材質が、金属または合成樹脂であり、その表面が黒色塗装、または無光沢処理されている請求項１または２に記載の欠陥検出方法。
4. 前記反射防止部材の目開が、５〜１０００μｍである請求項１〜３のいずれか一項に記載の欠陥検出方法。
5. 前記反射防止部材の厚さが、５〜１０００μｍである請求項１〜４のいずれか一項に記載の欠陥検出方法。
6. 前記レーザー光が、平面状である請求項１〜５のいずれか一項に記載の欠陥検出方法。
7. 可視化した前記微粒子の像を撮像する請求項１〜６のいずれか一項に記載の欠陥検出方法。
8. 微粒子を発生させる微粒子発生器と、
   多孔質の隔壁によって複数のセルが区画形成された筒状の測定対象であるハニカム構造体の一方の端面側に接続され、前記微粒子発生器で発生させた前記微粒子が供給される導入部、及び前記導入部内を加圧する加圧器を有し、前記微粒子を前記ハニカム構造体内に導入する微粒子導入装置と、
   前記ハニカム構造体内に導入され、前記ハニカム構造体の他方の端面側に排出される前記微粒子に、前記ハニカム構造体の前記他方の端面に略平行なレーザー光を照射し、前記微粒子を可視化するレーザー光発生装置と、
   測定対象である前記ハニカム構造体の前記他方の端面と、前記レーザー光発生装置が出射する前記レーザー光との間に、前記他方の端面を覆うように配置される格子状の反射防止部材と、
   を備えた欠陥検出装置。
9. 前記反射防止部材の材質が、金属または合成樹脂である請求項８に記載の欠陥検出装置。
10. 前記反射防止部材の材質が、金属または合成樹脂であり、その表面が黒色塗装、または無光沢処理されている請求項８または９に記載の欠陥検出装置。
11. 前記反射防止部材の目開が、５〜１０００μｍである請求項８〜１０のいずれか一項に記載の欠陥検出装置。
12. 前記反射防止部材の厚さが、５〜１０００μｍである請求項８〜１１のいずれか一項に記載の欠陥検出装置。
13. 前記レーザー光が、平面状である請求項８〜１２のいずれか一項に記載の欠陥検出装置。
14. 更に、可視化した前記微粒子の像を撮像する撮像装置を備える請求項８〜１３のいずれか一項に記載の欠陥検出装置。

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