JP2002335149A - 半導体集積回路 - Google Patents
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Abstract
ャンクション温度及びジッタが殆ど変動せず、時間的に
高い精度が要求される半導体集積回路試験装置等の測定
装置で用いて好適な半導体集積回路を提供する。 【解決手段】 論理回路11−1と、論理回路11−1
に対応して設けられた複数の補助論理回路13a〜13
eと、論理回路11−1に供給される信号CLK2Sの
周期に応じて、動作させる補助論理回路13a〜13e
を選択する回路(14a〜14h)とを備える。
Description
係り、特に製造された半導体集積回路を試験する半導体
集積回路試験装置(いわゆるICテスタ)等の時間的に
高い精度が要求される測定装置に設けられる半導体集積
回路に関する。
(Integrated Circuit)やLSI(Large Scaled Integ
ration)等の半導体集積回路は消費電力の低減等のため
にCMOSで構成されることが多い。CMOSで例えば
インバータ回路を構成する場合には、Pチャネルトラン
ジスタとNチャンネルトランジスタとが用いられる。図
6は、従来のCMOSのインバータ回路の構成を示す回
路図である。図6に示したインバータ回路20は、単位
インバータ回路20a,20b,…を従属接続して構成
される。通常、単位インバータ回路20a,20b,…
が数十個従属接続されてインバータ回路20を構成す
る。
バータ回路20aは、PチャネルのMOSトランジスタ
(以下、PMOSトランジスタという)21aとNチャ
ネルのMOSトランジスタ(以下、NMOSトランジス
タという)22aから構成される。PMOSトランジス
タ21aのゲート電極及びNMOSトランジスタ22a
のゲート電極は入力端23aに接続され、PMOSトラ
ンジスタ21aのドレイン電極及びNMOSトランジス
タ22aのソース電極は出力端24aに接続されてい
る。また、PMOSトランジスタ21aのソース電極は
電源に接続され、NMOSトランジスタ22aのドレイ
ン電極は接地されている。
タ回路20aと同様の構成であり、PMOSトランジス
タ21bとNMOSトランジスタ22bとを有し、PM
OSトランジスタ21bのゲート電極及びNMOSトラ
ンジスタ22bのゲート電極が入力端23bに接続さ
れ、PMOSトランジスタ21bのドレイン電極及びN
MOSトランジスタ22bのソース電極が出力端24b
に接続されており、PMOSトランジスタ21bのソー
ス電極が電源に接続され、NMOSトランジスタ22b
のドレイン電極が接地されている。そして、単位インバ
ータ回路20aの出力端24aと単位インバータ回路2
0bの入力端23bとが接続されることにより、単位イ
ンバータ回路20aと単位インバータ回路20bとが従
属接続されている。
の動作タイミングを示すタイミングチャートである。図
6に示した単位インバータ回路20aの入力端23aに
は、クロックCLK1が入力されている。このクロック
CLK1は、最小1サイクル周期を単位として周波数を
可変させることが可能である。クロックCLK1の最小
1サイクル周期は、例えば2〜10ns程度である。
ンジスタ21a及びNMOSトランジスタ22aがスイ
ッチングする際に流れる過渡電流(充電電流、放電電
流、及び貫通電流を含む)であり、tjはジャンクショ
ン温度である。また、図7中のtpdとは、図8に示すよ
うに、インバータ回路20に入力される入力信号と、イ
ンバータ回路20から出力される出力信号との時間差で
ある。図8は、応答時間tpdを説明するための図であ
る。以下、本明細書では、便宜上このtpdを応答時間と
称する。
クロックCLK1の周波数が高く、例えば最小1サイク
ル周期(2〜10ns程度)でクロックパルスが単位イ
ンバータ回路20aに入力されるとする。この時刻t31
〜時刻t34の間、PMOSトランジスタ21a及びNM
OSトランジスタ22aは高速なスイッチング動作を繰
り返し、PMOSトランジスタ21a及びNMOSトラ
ンジスタ22aには図中の平均電流IAVが流れる。
ョン温度tjはクロックCLK1が入力されないときの
ジャンクション温度(25℃)から徐々に上昇し、75
℃に達する。ジャンクション温度tjの上昇に伴い、応
答時間tpdはクロックCLK1が入力されないときの応
答時間1600psから2000psと長くなる。尚、
図7に示した例ではPMOSトランジスタ21a及びN
MOSトランジスタ22aは高速なスイッチング動作を
行っている時のジャンクション温度tjが75℃とな
り、応答時間が2000psとなる場合を例に挙げて説
明しているが、この値はヒートシンクの付加等の放熱対
策を行うことにより変化する。
の間の期間T2においては、単位インバータ回路20a
に入力するクロックCLK1の周波数が低く、例えば1
0msの間で1つのクロックパルスしか入力されないと
する。この時刻t34〜時刻t 35の間、PMOSトランジ
スタ21a及びNMOSトランジスタ22aのスイッチ
ング動作は1回のみ行われ、PMOSトランジスタ21
a及びNMOSトランジスタ22aに過渡電流が殆ど流
れないため、ジャンクション温度tjがクロックCLK
1が入力されないときのジャンクション温度25℃まで
低下する。これに伴い、応答時間tpdはクロックCLK
1が入力されないときの応答時間1600psに変化す
る。
うに従来の単位インバータ回路20aは高速動作期間
(例えば、図7中の時刻t31〜時刻t34の期間)の間の
みPMOSトランジスタ21a及びNMOSトランジス
タ22aに過渡電流が流れ、低速動作期間(例えば、図
7中の時刻t34〜時刻t35の期間)の間は殆ど過渡電流
が流れない。これは単位インバータ回路20b等につい
ても同様である。
て単位インバータ回路20a等の消費電流にばらつきが
生ずる。その結果、図7に示した例では高速動作時のジ
ャンクション温度tjと高速動作時のジャンクション温
度tjとは50℃の差が生じ、更に高速動作時の応答時
間tpdと高速動作時の応答時間tpdとは400psの差
が生じる。
ことになるが、LSIテスタ等の高精度な測定装置で
は、規格上のジッタ値が例えば200ps以下であるこ
とが必要であるため、上述した従来のインバータ回路は
高精度な測定装置に用いることができないという問題が
あった。尚、図6〜図8ではインバータ回路を例に挙げ
て説明したが、この問題はCMOSで構成される半導体
集積回路一般について生ずる問題である。
あり、入力されるクロックの周波数が変動してもジャン
クション温度及びジッタが殆ど変動せず、時間的に高い
精度が要求される半導体集積回路試験装置等の測定装置
で用いて好適な半導体集積回路を提供することを目的と
する。
に、本発明の半導体集積回路は、論理回路(11−1)
と、前記論理回路に対応して設けられた複数の補助論理
回路(13a〜13e)と、前記論理回路に供給される
信号(CLK2)の周期(T2)に応じて、動作させる
前記補助論理回路を選択する選択回路(14a〜14
h)とを備えることを特徴としている。この発明によれ
ば、論理回路に供給される信号の周期に応じて動作させ
る補助論理回路を選択するようにしている。よって、論
理回路に周期の長い信号が供給されて論理回路に流れる
平均電流が低下しても、論理回路に供給される信号の周
期に応じて補助論理回路が選択されて電流が流されるた
め、論理回路を構成するトランジスタのジャンクション
温度及びジッタが殆ど変動しない。しかも、選択される
補助論理回路は、論理回路に供給される信号の周期に応
じて選択されるため、ジャンクション温度及びジッタの
変動量を高精度に制御することができる。その結果とし
て、半導体集積回路試験装置等の高精度の測定装置で用
いて好適な半導体集積回路を提供することができる。こ
こで、本発明の半導体集積回路は、前記複数の補助論理
回路は、対応する前記論理回路と同様の論理回路である
ことが好ましい。また、本発明の半導体集積回路は、前
記選択回路が、選択した前記補助論理回路を異なるタイ
ミングで順次動作させることを特徴としている。また、
本発明の半導体集積回路は、前記選択回路が、前記論理
回路に供給される信号の周期が予め設定された最短周期
(T1)以上の周期である場合に、動作させる前記補助
論理回路を選択することを特徴としている。ここで、前
記選択回路は、前記最短周期よりも短い周期を有するク
ロック(CLK1)で規定されるタイミングで選択した
前記補助論理回路を順次動作させることを特徴としてい
る。また、本発明の半導体集積回路は、前記補助論理回
路が、対応する前記論理回路の近傍に形成されているこ
とが好ましい。更に、本発明の半導体集積回路は、前記
補助論理回路に含まれるトランジスタのトランジスタサ
イズが、前記論理回路に含まれるトランジスタのトラン
ジスタサイズの1/nであることが好適である。
実施形態による半導体集積回路について詳細に説明す
る。図1は、本発明の一実施形態による半導体集積回路
の構成を示す回路図である。図1に示したように、本発
明の一実施形態による半導体集積回路は、大別すると論
理回路部10−1,10−2と論理回路部10−1,1
0−2の動作を制御する回路部とから構成されている。
び補助論理回路13a〜13eを含んで構成される。論
理回路11−1は任意の論理回路素子を含んで構成され
るが、図1では論理回路11−1が複数の単位インバー
タ回路12a〜12fを従属接続して構成されたインバ
ータ回路である場合を例に挙げて図示している。この論
理回路11−1には、周期(周波数)が可変のクロック
CLK2Sが供給されている。尚、クロックCLK2S
についての詳細は後述する。
1−1に対応して設けられる回路である。図2は、補助
論理回路13aの構成の一例を示す図である。図2に示
した例では補助論理回路13aは、単位インバータ回路
15a,15bから構成されている。補助論理回路13
aの単位インバータ回路15aは論理回路11−a内の
単位インバータ回路12aに対応して形成され、単位イ
ンバータ回路15bは論理回路11−a内の単位インバ
ータ回路12bに対応して形成されている。
数の単位インバータ回路12a〜12fを従属接続して
構成されたインバータ回路である場合には、他の補助論
理回路13b〜13eも図2に示した補助論理回路13
aと同様に構成される。このように、本実施形態では、
補助論理回路13a〜13eが対応する論理回路11−
1と同様の論理回路である場合を例に挙げて説明する。
論理回路11−1の近傍に形成されることが好ましい。
また、論理回路11−1内の単位インバータ回路12a
〜12f及び補助論理回路13a〜13e内に形成され
ている単位インバータ回路15a,15bは、例えば図
6に示した単位インバータ回路20aと同様にPMOS
トランジスタとNMOSトランジスタとからなるCMO
Sで構成されることが好ましい。
12a〜12fと補助論理回路13a〜13e内に形成
されている単位インバータ回路15a,15bとをCM
OSで構成する場合には、補助論理回路13a〜13e
内に形成されている単位インバータ回路15a,15b
を構成するPMOSトランジスタ及びNMOSトランジ
スタのトランジスタサイズ(ゲート幅)は、論理回路1
1−1内の単位インバータ回路12a〜12fを構成す
るPMOSトランジスタ及びNMOSトランジスタのト
ランジスタサイズ(ゲート幅)の1/n(nは自然数)
に設定される。これは、論理回路11−1を流れる平均
電流と補助論理回路13a〜13eを流れる平均電流と
を同一に設定するためである。
説明したが、論理回路部10−2も論理回路部10−1
と同様に論理回路部及び論理回路部に対応付けられた補
助論理回路部13a〜13eから構成される。次に、論
理回路部10−1を制御する回路部の構成について説明
する。
Dフリップフロップ14a〜14hを従属接続して構成
される。Dフリップフロップ14a〜14hは、前段の
出力端と後段のデータ入力端とが接続されることにより
従属接続されている。Dフリップフロップ14a〜14
hの各々のリセット端RSTにはリセット信号CLK2
Rが供給されており、Dフリップフロップ14b〜14
hの各々のクロック端CLKにはクロックCLK1が供
給されている。また、Dフリップフロップ14aのデー
タ入力端は電源電圧に設定され、クロック入力端CLK
にはクロックCLK2Cが供給されている。
論理回路13aに、Dフリップフロップ14eの出力端
は補助論理回路14bに、Dフリップフロップ14fの
出力端は補助論理回路13cに、Dフリップフロップ1
4gの出力端は補助論理回路13dに、Dフリップフロ
ップ14hの出力端は補助論理回路13eにそれぞれ接
続されており、補助論理回路13a〜13eには、クロ
ックCLK3a〜CLK3eがそれぞれ供給されてい
る。
理回路11−1に入力されるクロックCLK2Sの周期
に応じて動作させる補助論理回路13a〜13eを選択
する回路を構成しており、Dフリップフロップ14a〜
14hを含んで構成される回路は本発明にいう選択回路
に相当する。次に、論理回路11−1に供給されるクロ
ックCLK2S並びにDフリップフロップ14a〜14
hを含んで構成される回路に供給されるクロックCLK
2S及びリセット信号CLK2Rを生成するクロック回
路について説明する。
ロックCLK2S並びにDフリップフロップ14a〜1
4hを含んで構成される回路に供給されるクロックCL
K2S及びリセット信号CLK2Rを生成するクロック
生成回路回路の構成を示す図である。図3に示したよう
に、クロック生成回路は前段の出力端と後段のデータ入
力端とが接続されることにより従属接続されたDフリッ
プフロップ16a〜16dと、Dフリップフロップ16
dの出力端に接続された微分回路17と、微分回路の出
力端に接続されたインバータ回路18と、インバータ回
路18の出力端及びDフリップフロップ16dの出力端
に接続されたAND回路19とから構成される。
ット端RSTにはリセット信号RSTが供給され、クロ
ック端にはクロックCLK1が供給されている。また、
Dフリップフロップ16aのデータ入力端にはクロック
CLK2が供給されている。クロックCLK2は、本発
明にいう論理回路に供給される信号に相当する信号であ
り、その周期は最短周期(例えば、10ns)T1以上
であれば可変することが可能である。
期よりも短い周期を有するクロックに相当するクロック
である。尚、本実施形態では、説明の簡単化のためにク
ロックCLK1の周期は、クロックCLK2の最短周期
T1の1/4(例えば、2.5ns)に設定されている
とする。また、本実施形態では、便宜的にクロックCL
K2をクロックCLK2の最短周期T1分だけ遅延させ
たクロックCLK2Sを論理回路11−1に供給してい
る。
態による半導体集積回路の動作について図1〜図4を参
照して詳細に説明する。図4は、本発明の一実施系他に
よる半導体集積回路の動作を示すタイミングチャートで
ある。尚、図4において、I 1は論理回路11−1に流
れる過渡電流(充電電流、放電電流、及び貫通電流を含
む)であり、I2は補助論理回路13a〜13eに流れ
る電流であり、ITは過渡電流I1の平均値と電流I2の平
均値との和である。更に、tjはジャンクション温度で
あり、tpdは、論理回路11−1の応答時間である(応
答時間tpdの定義は図8及びその説明の該当箇所を参照
されたい。)。
と、図3に示したDフリップフロップ16a〜16d各
々がリセットされる。クロックCLK1は一定の周期
(例えば2.5ns)で、図3に示したDフリップフロ
ップ16a〜16d及び図1に示したDフリップフロッ
プ14b〜14hに供給されている。
ように、クロックCLK2の最短周期(例えば、10n
s)T1でクロックCLK2が順次供給されているとす
ると、このクロックCLK2は図3に示したDフリップ
フロップ16a〜16dによってクロックCLK2の最
短周期T1分だけ遅延して、クロックCLK2Sとして
出力される。また、クロックCLK2Sは微分回路17
に入力されているため、クロックCLK2Sの立ち上が
り部分を示す信号がリセット信号CKL2Sとして出力
される。更に、インバータ18によってリセット信号C
LK2Sを反転した信号とクロックCLK2Sとの論理
積を示す信号がAND回路19からクロックCLK2C
として出力される。
供給され、クロックCLK2CはDフリップフロップ1
4aに供給され、リセット信号CLK2RはDフリップ
フロップ14a〜14hに供給される。上述したよう
に、リセット信号CLK2RはクロックCLK2Sの立
ち上がりを示す信号であり、このリセット信号CLK2
RはDフリップフロップ14a〜14h各々に供給され
ているため、Dフリップフロップ14a〜14hはクロ
ックCLK2Sの立ち上がり部分で必ずリセットされる
ことになる。Dフリップフロップ14a〜14hがリセ
ットされると、クロック2Cが入力されるためDフリッ
プフロップ14aの出力端は“H”レベルとなる。
ロックCLK1が供給されているため、クロックCLK
1が入力される度にDフリップフロップ14b及びDフ
リップフロップ14cの出力端が順に“H”レベルとな
る。しかしながら、クロックCLK2Sの最短周期T1
の時間が経過して次のクロックCLK2Sが入力される
と、クロックCLK2Sの立ち上がり時点においてリセ
ット信号CLK2Rが入力されるので、Dフリップフロ
ップ14a〜14hはリセットされる。従って、クロッ
クCLK2の最短周期T1でクロックCLK2が順次供
給されている間は、補助論理回路13a〜13eへはク
ロックCLK3a〜CLK3eが供給されないため、補
助論理回路13a〜13eは動作しない。
K2Sが供給されている間(図4において、時刻t12〜
時刻t16の間)は、論理回路11−1に平均電流がIAV
の過渡電流I1が流れる。この状態においては、ジャン
クション温度tjは75℃まで上昇し、応答時間tpdは
2000psとなる。尚、本実施形態では論理回路11
−1にクロックCLK2Sが供給され続けている間のジ
ャンクション温度tjが75℃となり、応答時間が20
00psとなる場合を例に挙げて説明しているが、この
値はヒートシンクの付加等の放熱対策を行うことにより
変化する。
供給されている間(図4において、時刻t12〜時刻t16
の間)は、補助論理回路13a〜13eは動作しないた
め、電流I2は0である。従って、論理回路11−1に
流れる電流I1と補助論理回路13a〜13eに流れる
電流の平均値の和ITはIAVとなる。
おいてクロックCLK2の周期がT2(>T1)になっ
たとする。よって、時刻t15以降は時刻t18になるまで
クロックCLK2が入力されなくなる。時刻t14におい
て入力したクロックCLK2によって、時刻t15におい
てはクロックCLK2S,CLK2C及びリセット信号
CLK2Rが図3に示した回路により生成される。
RはDフリップフロップ14a〜14hに供給されるた
め、Dフリップフロップ14a〜14hはリセットされ
る。次に、クロックCLK2CがDフリップフロップ1
4aに供給されてDフリップフロップ14aの出力端は
“H”レベルとなる。Dフリップフロップ14b〜14
dにはクロックCLK1が供給されているため、クロッ
クCLK1が入力される度にDフリップフロップ14b
及びDフリップフロップ14cの出力端が順に“H”レ
ベルとなる。
2が供給されなくなったため、時刻t16においては論理
回路11−1にクロックCLK2Sが供給されなくな
る。その結果、論理回路11−1に流れる過渡電流I1
は小さくなる。また、時刻t16においては、Dフリップ
フロップ14a〜14hにリセット信号CLK2Rが供
給されないため、クロックCLK1が入力されるとDフ
リップフロップ14dの出力端が“H”レベルとなり、
クロックCLK3aが補助論理回路13aに供給され
る。その結果、補助論理回路13aが動作して電流I2
が流れる。
クロックCLK1が入力すると、Dフリップフロップ1
4eの出力端が“H”レベルとなり、クロックCLK3
bが補助論理回路13bに供給される。その結果、補助
論理回路13bが動作するため、電流I2は、補助論理
回路13a,13bに流れる電流の和となる。同様に、
クロックCLK1が入力される度に、補助論理回路13
c〜13eにクロックCLK3c〜クロックCLK3e
が順に供給されて補助論理回路13c〜13eに電流が
流れる。
フロップ14a〜14hを含む回路は、論理回路11−
1に供給されるクロックCLK2の周期が予め設定され
た最短周期T1以上の周期となったときに、動作させる
補助論理回路13a〜13eを選択して、選択した補助
論理回路を異なるタイミングで順次動作させている。こ
のときに、Dフリップフロップ14a〜14hは、クロ
ックCLK1の立ち上がりタイミングで選択した補助論
理回路を順次動作させている。
供給されなくなると、図4中の時刻t16〜t18の間、論
理回路11−1には殆ど電流が流れなくなるが、順次補
助論理回路13a〜13eが動作して補助論理回路13
a〜13eに電流が流れるため、論理回路11−1に流
れる電流I1と補助論理回路13a〜13eに流れる電
流I2の平均値の和ITはIAVとなる。
に電流が流れなくとも、補助論理回路13a〜13eに
平均電流IAVが流れるため、ジャンクション温度tjは
トランジスタサイズのばらつきや製造誤差等に起因して
僅かに2.5℃低下するが殆ど変動がない。また、ジャ
ンクション温度tjの変動が殆どないため、応答時間t
pdも僅か20psだけ変動するのみで殆ど変動せずに安
定している。
−1に供給されなくなった直後においては、タイミング
をずらして補助論理回路13a〜13eを順に動作させ
ている。従って、図4中の時刻t16〜t17の間における
論理回路11−1に流れる電流I1と補助論理回路13
a〜13eに流れる電流I2の平均値の和ITを細かく、
高い精度で制御することができる。
入力されると、時刻t19においてクロックCLK2Sが
論理回路11−1に供給されて論理回路11−1に電流
が再び流れる。また、時刻t19においては、リセット信
号CLK2RがDフリップフロップ14a〜14hに供
給されてDフリップフロップ14a〜14hがリセット
されるため、補助論理回路13a〜13e各々へのクロ
ックCLK3a〜CLK3eの供給が停止する。その結
果、補助論理回路13a〜13eには電流が流れなくな
る。
たが、本発明は上記実施形態に制限されず本発明の範囲
内で自由に変更することができる。例えば、上記実施形
態では、クロックCLK1とクロックCLK2とが同期
している場合について説明したが、クロックCLK1と
クロックCLK2とが同期していない場合についても適
用することができる。
3a〜13eを順にクロックCLK1の1周期毎に順に
動作させる場合を例に挙げて説明したが、補助論理回路
13a〜13eを動作させる順序及び動作タイミングは
任意に設定することができる。例えば、クロックCLK
1の周期をTCK1とすると、補助論理回路13a〜13
eの各々の動作開始タイミングを、それぞれTCK1後、
2・TCK1後、4・TCK 1後、8・TCK1後、16・TCK1
後、…といった具合に制御しても良い。
て、論理回路11−1に供給される電力(パワー)の不
足分及び補助論理回路によるパワーの追加分を示す図表
である。図5において、論理回路11−1にクロックC
LK2が最短周期T1で供給されている場合には、論理
回路11−1に5Wのパワーが供給される。しかしなが
ら、クロックCLK2の周期が12.5nsの場合に
は、論理回路11−1に供給されるパワーは4Wに低減
する。そのため、不足する1Wのパワーの発熱分を補助
論理回路を動作させて補う必要がある。このときに動作
させる補助論理回路は13aのみである。
sの場合には、論理回路11−1に供給されるパワーは
3.35Wに低減する。そのため、不足する1.65W
のパワーの発熱分を補助論理回路を動作させて補う必要
がある。このときに動作させる補助論理回路は13aと
補助論理回路13bである。このように、補助論理回路
13a〜13eの内部構成を同一に設計するのではな
く、クロックCLK2の周期に応じて論理回路11−1
で不足するパワーを補うという観点から補助論理回路1
3a〜13eを設計するとともに、その動作順序を設定
するようにしても良い。
論理回路に供給される信号の周期に応じて動作させる補
助論理回路を選択するようにしている。よって、論理回
路に周期の長い信号が供給されて論理回路に流れる平均
電流が低下しても、論理回路に供給される信号の周期に
応じて補助論理回路が選択されて電流が流されるため、
論理回路を構成するトランジスタのジャンクション温度
及びジッタが殆ど変動しないという効果が得られる。し
かも、選択される補助論理回路は、論理回路に供給され
る信号の周期に応じて選択されるため、ジャンクション
温度及びジッタの変動量を高精度に制御することができ
るという効果が得られる。その結果として、半導体集積
回路試験装置等の高精度の測定装置で用いて好適な半導
体集積回路を提供することができるという効果が得られ
る。
構成を示す回路図である。
ある。
K2S並びにDフリップフロップ14a〜14hを含ん
で構成される回路に供給されるクロックCLK2S及び
リセット信号CLK2Rを生成するクロック生成回路回
路の構成を示す図である。
動作を示すタイミングチャートである。
11−1に供給される電力(パワー)の不足分及び補助
論理回路によるパワーの追加分を示す図表である。
す回路図である。
ミングを示すタイミングチャートである。
を有するクロック) CLK2 クロック(論理回路に供給される信
号) T1 最短周期 T2 周期
Claims (8)
- 【請求項1】 論理回路と、 前記論理回路に対応して設けられた複数の補助論理回路
と、 前記論理回路に供給される信号の周期に応じて、動作さ
せる前記補助論理回路を選択する選択回路とを備えるこ
とを特徴とする半導体集積回路。 - 【請求項2】 前記複数の補助論理回路は、対応する前
記論理回路と同様の論理回路であることを特徴とする請
求項1記載の半導体集積回路。 - 【請求項3】 前記選択回路は、選択した前記補助論理
回路を異なるタイミングで順次動作させることを特徴と
する請求項1又は請求項2記載の半導体集積回路。 - 【請求項4】 前記選択回路は、前記論理回路に供給さ
れる信号の周期が予め設定された最短周期以上の周期で
ある場合に、動作させる前記補助論理回路を選択するこ
とを特徴とする請求項1から請求項3の何れか一項に記
載の半導体集積回路。 - 【請求項5】 前記選択回路は、前記最短周期よりも短
い周期を有するクロックで規定されるタイミングで選択
した前記補助論理回路を順次動作させることを特徴とす
る請求項4記載の半導体集積回路。 - 【請求項6】 前記補助論理回路は、対応する前記論理
回路の近傍に形成されていることを特徴とする請求項1
から請求項5の何れか一項に記載の半導体集積回路。 - 【請求項7】 前記論理回路及び前記補助論理回路はC
MOSで形成されていることを特徴とする請求項1から
請求項6の何れか一項に記載の半導体集積回路。 - 【請求項8】 前記補助論理回路に含まれるトランジス
タのトランジスタサイズは、前記論理回路に含まれるト
ランジスタのトランジスタサイズの1/nであることを
特徴とする請求項1から請求項7の何れか一項に記載の
半導体集積回路。
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