JP2002328016A - 多点計測厚み計 - Google Patents
多点計測厚み計Info
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 被測定物に対し、幅方向で電離箱の放射線感
度に対する差が少ない、より精度の高い板厚測定が可能
となる多点計測厚み計を提供する。 【解決手段】 検出部２内に配列される電離箱５を、被
測定物４の流れ方向に対し、時計方向もしくは反時計方
向に回転させた配置とする。これにより、従来の電離箱
の配置で存在した放射線に対する感度の低い領域、すな
わち不感帯を無くすことが可能となり、被測定物４の幅
方向測定を、連続的に精度良く行うことが出来る。
度に対する差が少ない、より精度の高い板厚測定が可能
となる多点計測厚み計を提供する。 【解決手段】 検出部２内に配列される電離箱５を、被
測定物４の流れ方向に対し、時計方向もしくは反時計方
向に回転させた配置とする。これにより、従来の電離箱
の配置で存在した放射線に対する感度の低い領域、すな
わち不感帯を無くすことが可能となり、被測定物４の幅
方向測定を、連続的に精度良く行うことが出来る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、放射線を用いて被
測定物の厚さを非接触で測定する多点計測厚み計に関す
る。
測定物の厚さを非接触で測定する多点計測厚み計に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】近年、鉄鋼業における圧延の形状制御の
ニーズの高まりによって、より制御に適した板形状の測
定器が求められている。従来、板幅方向の厚み測定は走
査型厚み計などで行ってきているが、被測定物は板厚測
定中も連続的に移動している場合が殆どであるため、そ
のままでは板形状を求めることは出来ない。従って多く
の場合、走査型厚み計の他に、板中心を測定する厚み計
を導入し、これによって得られたデータを基に補正を行
って板形状を求めている。
ニーズの高まりによって、より制御に適した板形状の測
定器が求められている。従来、板幅方向の厚み測定は走
査型厚み計などで行ってきているが、被測定物は板厚測
定中も連続的に移動している場合が殆どであるため、そ
のままでは板形状を求めることは出来ない。従って多く
の場合、走査型厚み計の他に、板中心を測定する厚み計
を導入し、これによって得られたデータを基に補正を行
って板形状を求めている。
【０００３】多点計測厚み計について、図１５を参照し
て説明する。水平に配置された板状の被測定物４の板方
向上下にやや距離をおいて対向するようにコ字型フレー
ム１の上側に検出部２、下側に発生器３を配置する。検
出部２の出力信号は厚み演算器７に送られる。検出部２
と発生器３はコ字型フレーム１に固定されている。検出
部２内には円筒状の電離箱５が被測定物２の幅方向に複
数個平行に配置され、これらが発生器３より出力される
扇形状の放射線を感知するが、電離箱５の形状は円筒状
であり、その中心部と端部では放射線に対する感度に大
きな差がある。これについて、図１６〜図１８を用いて
更に説明する。
て説明する。水平に配置された板状の被測定物４の板方
向上下にやや距離をおいて対向するようにコ字型フレー
ム１の上側に検出部２、下側に発生器３を配置する。検
出部２の出力信号は厚み演算器７に送られる。検出部２
と発生器３はコ字型フレーム１に固定されている。検出
部２内には円筒状の電離箱５が被測定物２の幅方向に複
数個平行に配置され、これらが発生器３より出力される
扇形状の放射線を感知するが、電離箱５の形状は円筒状
であり、その中心部と端部では放射線に対する感度に大
きな差がある。これについて、図１６〜図１８を用いて
更に説明する。
【０００４】図１６は、電離箱５と被測定物４の位置関
係を表す斜視図である。発生器３から出力される扇形上
の放射線を破線で表している。図１７は、電離箱５の真
上から見た状態を示すＡＡ’矢視図である。電離箱５
は、図１７に示すように、被測定物４に対し平行に配列
している。電離箱５の端部は中心部に比べ感度が低いた
め、被測定物４のハイスポット（欠陥）の検出が困難で
ある。
係を表す斜視図である。発生器３から出力される扇形上
の放射線を破線で表している。図１７は、電離箱５の真
上から見た状態を示すＡＡ’矢視図である。電離箱５
は、図１７に示すように、被測定物４に対し平行に配列
している。電離箱５の端部は中心部に比べ感度が低いた
め、被測定物４のハイスポット（欠陥）の検出が困難で
ある。
【０００５】図１８に電離箱５を被測定物４に対し平行
に配列した場合の感度分布を示す。図１８に示すよう
に、電離箱５の感度が低いため精度良く板厚測定を出来
なくなる不感帯が周期的に存在する事になり、幅方向の
連続的な厚み値が得られなくなる。
に配列した場合の感度分布を示す。図１８に示すよう
に、電離箱５の感度が低いため精度良く板厚測定を出来
なくなる不感帯が周期的に存在する事になり、幅方向の
連続的な厚み値が得られなくなる。
【０００６】また、エッジ部を高分解能・高精度で測定
可能な装置のニーズも高まってきているが、従来の多点
計測厚み計では電離箱と電離箱の間に存在する放射線に
対する感度の低い領域（以後不感帯と呼ぶ）で精度の良
い測定を行うことが出来ず、連続的なエッジ形状を得る
ことが困難である。
可能な装置のニーズも高まってきているが、従来の多点
計測厚み計では電離箱と電離箱の間に存在する放射線に
対する感度の低い領域（以後不感帯と呼ぶ）で精度の良
い測定を行うことが出来ず、連続的なエッジ形状を得る
ことが困難である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上述のように、多点計
測厚み計においては、測定位置における板厚は電離箱の
高さ方向で入射した放射線量の総和の平均をとって板厚
に変換するが、電離箱は円筒状のため、中心部が最も放
射線に対する感度が高く、端に近づくにつれその感度は
低いという特性がある。
測厚み計においては、測定位置における板厚は電離箱の
高さ方向で入射した放射線量の総和の平均をとって板厚
に変換するが、電離箱は円筒状のため、中心部が最も放
射線に対する感度が高く、端に近づくにつれその感度は
低いという特性がある。
【０００８】そのため、測定ポイントがちょうど不感帯
であった場合、電離箱の高さ方向全域が不感帯というこ
とになる。そのため、この位置において感度が著しく低
くなり、被測定物の幅方向の板厚測定時に測定出来ない
箇所が出て来る。
であった場合、電離箱の高さ方向全域が不感帯というこ
とになる。そのため、この位置において感度が著しく低
くなり、被測定物の幅方向の板厚測定時に測定出来ない
箇所が出て来る。
【０００９】また、被測定物のエッジ部から任意の距離
における位置の厚さ測定を行う場合において、幅計等の
外部装置より被測定物の幅値を演算器に入力し、被測定
物の蛇行量に合わせて多点計測厚み計を移動装置６によ
り移動させ測定を行っているが、台車が目標位置に移動
するまでは目標位置での測定が行えない。
における位置の厚さ測定を行う場合において、幅計等の
外部装置より被測定物の幅値を演算器に入力し、被測定
物の蛇行量に合わせて多点計測厚み計を移動装置６によ
り移動させ測定を行っているが、台車が目標位置に移動
するまでは目標位置での測定が行えない。
【００１０】一方、電離箱を隣接させて配列した場合、
隣接する電離箱からの散乱線が電離箱に入射するために
エッジ部の精度低下、分解能低下など測定結果に悪影響
を及ぼす恐れがある。
隣接する電離箱からの散乱線が電離箱に入射するために
エッジ部の精度低下、分解能低下など測定結果に悪影響
を及ぼす恐れがある。
【００１１】本発明は、以上の事情を考慮してなされた
ものであり、その目的は、測定位置による放射線に対す
る感度の差を減らし、より良い幅方向測定が可能となる
多点計測厚み計を提供することである。
ものであり、その目的は、測定位置による放射線に対す
る感度の差を減らし、より良い幅方向測定が可能となる
多点計測厚み計を提供することである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１に係る発明は、放射線源と、電離箱を有
し、放射線源から放射され被測定物を透過して入射され
た放射線のレベルに関連した出力信号を得る検出手段
と、この検出手段の出力信号から被測定物の厚みを演算
する演算手段とを備え、電離箱を、被測定物の流れ方向
に対し、任意の角度回転させて配列したことを特徴とす
る。
に、請求項１に係る発明は、放射線源と、電離箱を有
し、放射線源から放射され被測定物を透過して入射され
た放射線のレベルに関連した出力信号を得る検出手段
と、この検出手段の出力信号から被測定物の厚みを演算
する演算手段とを備え、電離箱を、被測定物の流れ方向
に対し、任意の角度回転させて配列したことを特徴とす
る。
【００１３】請求項１に係る発明によれば、従来の電離
箱の配置で存在した不感帯の部分を無くすことが可能と
なり、被測定物の厚みの幅方向測定を連続的に精度良く
行うことが出来る。
箱の配置で存在した不感帯の部分を無くすことが可能と
なり、被測定物の厚みの幅方向測定を連続的に精度良く
行うことが出来る。
【００１４】請求項２に係る発明は、請求項１に記載の
多点計測厚み計において、演算手段が、被測定物の幅を
測定する手段により測定された幅値が入力され、被測定
物のエッジ位置、または中心位置を演算し、検出手段の
出力信号から演算した厚みについての被測定物のエッジ
位置、または中心位置からの位置を特定できるものであ
ることを特徴とする。
多点計測厚み計において、演算手段が、被測定物の幅を
測定する手段により測定された幅値が入力され、被測定
物のエッジ位置、または中心位置を演算し、検出手段の
出力信号から演算した厚みについての被測定物のエッジ
位置、または中心位置からの位置を特定できるものであ
ることを特徴とする。
【００１５】請求項３に係る発明は、請求項１の多点計
測厚み計において、前記演算手段が、被測定物のエッジ
を検出する手段からの出力信号が入力され、被測定物の
エッジ位置を演算し、検出手段の出力信号から演算した
厚みについての被測定物のエッジ位置からの位置を特定
できるものであることを特徴とする。
測厚み計において、前記演算手段が、被測定物のエッジ
を検出する手段からの出力信号が入力され、被測定物の
エッジ位置を演算し、検出手段の出力信号から演算した
厚みについての被測定物のエッジ位置からの位置を特定
できるものであることを特徴とする。
【００１６】請求項４に係る発明は、請求項１に記載の
多点計測厚み計において、演算手段が、外部装置からの
中心ずれ量が入力され、被測定物の中心位置を演算し、
検出手段の出力信号から演算した厚みについての被測定
物の中心位置からの位置を特定できるものであることを
特徴とする。
多点計測厚み計において、演算手段が、外部装置からの
中心ずれ量が入力され、被測定物の中心位置を演算し、
検出手段の出力信号から演算した厚みについての被測定
物の中心位置からの位置を特定できるものであることを
特徴とする。
【００１７】請求項５に係る発明は、請求項１に記載の
多点計測厚み計において、電離箱が、目標測定位置を含
む所定範囲の位置に配列されているものとし、演算手段
が、被測定物の幅を測定する手段、または被測定物のエ
ッジを検出する手段、または外部装置からの出力信号が
入力され、被測定物の蛇行量を求めるとともに、複数の
測定位置の厚み値を基に測定位置間の厚み値を算出する
ための補間関数を求め、補間関数により目標測定位置か
ら蛇行量ずれた位置の厚み値を演算するものであること
を特徴とする。
多点計測厚み計において、電離箱が、目標測定位置を含
む所定範囲の位置に配列されているものとし、演算手段
が、被測定物の幅を測定する手段、または被測定物のエ
ッジを検出する手段、または外部装置からの出力信号が
入力され、被測定物の蛇行量を求めるとともに、複数の
測定位置の厚み値を基に測定位置間の厚み値を算出する
ための補間関数を求め、補間関数により目標測定位置か
ら蛇行量ずれた位置の厚み値を演算するものであること
を特徴とする。
【００１８】請求項５に係る発明によれば、目標測定位
置から被測定物がずれた場合でも連続的に厚みが測定で
きる。
置から被測定物がずれた場合でも連続的に厚みが測定で
きる。
【００１９】請求項６に係る発明は、請求項１に記載の
多点計測厚み計において、電離箱は、円筒の側面から放
射線を入射する構造のものとし、電離箱の全長と、電離
箱側壁の肉厚に安全率を乗じて求めた不感帯の値とを用
いて、被測定物の流れ方向に対し、不感帯が無くなるよ
うな電離箱の回転角度を決定したことを特徴とする。
多点計測厚み計において、電離箱は、円筒の側面から放
射線を入射する構造のものとし、電離箱の全長と、電離
箱側壁の肉厚に安全率を乗じて求めた不感帯の値とを用
いて、被測定物の流れ方向に対し、不感帯が無くなるよ
うな電離箱の回転角度を決定したことを特徴とする。
【００２０】請求項７に係る発明は、請求項１に記載の
多点計測厚み計において、電離箱は、円筒の側面から放
射線を入射する構造のものとし、電離箱の全長と、電離
箱内径および電離箱中心部に対するガス量比を用いて求
めた不感帯の値とを用いて、被測定物の流れ方向に対
し、不感帯が無くなるような電離箱の回転角度を決定し
たことを特徴とする。
多点計測厚み計において、電離箱は、円筒の側面から放
射線を入射する構造のものとし、電離箱の全長と、電離
箱内径および電離箱中心部に対するガス量比を用いて求
めた不感帯の値とを用いて、被測定物の流れ方向に対
し、不感帯が無くなるような電離箱の回転角度を決定し
たことを特徴とする。
【００２１】請求項８に係る発明は、請求項１に記載の
多点計測厚み計において、電離箱は、円筒の側面から放
射線を入射する構造のものとし、電離箱の全長と、電離
箱外径およびガス充満係数を用いて求めた不感帯の値と
を用いて、被測定物の流れ方向に対し、不感帯が無くな
るような電離箱の回転角度を決定したことを特徴とす
る。
多点計測厚み計において、電離箱は、円筒の側面から放
射線を入射する構造のものとし、電離箱の全長と、電離
箱外径およびガス充満係数を用いて求めた不感帯の値と
を用いて、被測定物の流れ方向に対し、不感帯が無くな
るような電離箱の回転角度を決定したことを特徴とす
る。
【００２２】請求項９に係る発明は、請求項１乃至請求
項８のいずれかに記載の多点計測厚み計において、隣接
する２つの電離箱間にしきい板を挿入したことを特徴と
する。
項８のいずれかに記載の多点計測厚み計において、隣接
する２つの電離箱間にしきい板を挿入したことを特徴と
する。
【００２３】請求項９に係る発明によれば、隣接した電
離箱から入射する散乱線の影響がなくなり、エッジ部の
精度低下、分解能低下など測定結果に悪影響を及ぼす要
因のない優れた測定を行うことが出来る。
離箱から入射する散乱線の影響がなくなり、エッジ部の
精度低下、分解能低下など測定結果に悪影響を及ぼす要
因のない優れた測定を行うことが出来る。
【００２４】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。なお、以下の図において、
従来例を示す図を含めて、同符号は同一部分または対応
部分を示す。
施の形態について説明する。なお、以下の図において、
従来例を示す図を含めて、同符号は同一部分または対応
部分を示す。
【００２５】（第１の実施形態）図１〜図４を参照して
本発明の第１の実施形態について説明する。
本発明の第１の実施形態について説明する。
【００２６】図１において、板状の被測定物４の板厚を
測定出来るように、多点計測厚み計移動装置６によるコ
字型フレーム１の幅方向移動操作が行われる。コ字型フ
レーム１には、下側に発生器３、上側に検出部２が固定
されている。また検出部２内には電離箱５が配列されて
いる。
測定出来るように、多点計測厚み計移動装置６によるコ
字型フレーム１の幅方向移動操作が行われる。コ字型フ
レーム１には、下側に発生器３、上側に検出部２が固定
されている。また検出部２内には電離箱５が配列されて
いる。
【００２７】発生器３より出力される放射線は被測定物
４を透過し、電離箱５に入射する。入射した放射線は電
離箱５内に封入された気体を光電吸収、コンプトン散
乱、電子対生成などの作用によって電離し、この際発生
した電荷は電極間に加えられた電界によって電極に引き
寄せられ、電極で再結合して中性の原子に戻る。この時
流れ出た電流が検出部２の出力信号となり、Ａ／Ｄ変換
された後に厚み演算器７に送られ、被測定物４の厚み値
に変換される。
４を透過し、電離箱５に入射する。入射した放射線は電
離箱５内に封入された気体を光電吸収、コンプトン散
乱、電子対生成などの作用によって電離し、この際発生
した電荷は電極間に加えられた電界によって電極に引き
寄せられ、電極で再結合して中性の原子に戻る。この時
流れ出た電流が検出部２の出力信号となり、Ａ／Ｄ変換
された後に厚み演算器７に送られ、被測定物４の厚み値
に変換される。
【００２８】従来例においては、上述のように、電離箱
５を被測定物４に対し平行に配列しているため不感帯が
周期的に存在し、幅方向の連続的な厚み値が得られなか
った。そこで、この実施形態においては、電離箱５の配
列を変更し、不感帯を無くすようにしている。
５を被測定物４に対し平行に配列しているため不感帯が
周期的に存在し、幅方向の連続的な厚み値が得られなか
った。そこで、この実施形態においては、電離箱５の配
列を変更し、不感帯を無くすようにしている。
【００２９】図２は、この実施形態における電離箱５と
被測定物４の位置関係を表す斜視図である。発生器３か
ら出力される扇形上の放射線を破線で表している。図３
は、電離箱５の真上から見た状態を示すＡＡ’矢視図で
ある。電離箱５の配列を図３に示すように被測定物４に
対し斜めに配列した構造とする。このように、電離箱５
を、被測定物４の真上から見た平面上で、被測定物４の
流れ方向に対し、時計方向若しくは反時計方向に任意の
角度回転させた状態に配置にすることで、従来の電離箱
の配置で存在した不感帯の部分を無くすことが可能とな
り、被測定物４の幅方向測定を連続的に精度良く行うこ
とが出来る。
被測定物４の位置関係を表す斜視図である。発生器３か
ら出力される扇形上の放射線を破線で表している。図３
は、電離箱５の真上から見た状態を示すＡＡ’矢視図で
ある。電離箱５の配列を図３に示すように被測定物４に
対し斜めに配列した構造とする。このように、電離箱５
を、被測定物４の真上から見た平面上で、被測定物４の
流れ方向に対し、時計方向若しくは反時計方向に任意の
角度回転させた状態に配置にすることで、従来の電離箱
の配置で存在した不感帯の部分を無くすことが可能とな
り、被測定物４の幅方向測定を連続的に精度良く行うこ
とが出来る。
【００３０】図４に、電離箱５を被測定物４の流れ方向
に対し、時計方向もしくは反時計方向に回転させたこの
実施形態における感度分布を示す。図より明らかなよう
に、被測定物４の板幅方向について、一定以上の感度を
得ることが可能となる。従って、被測定物４に局所的に
ハイスポット（欠陥）があった場合、これを容易に検出
することができる。
に対し、時計方向もしくは反時計方向に回転させたこの
実施形態における感度分布を示す。図より明らかなよう
に、被測定物４の板幅方向について、一定以上の感度を
得ることが可能となる。従って、被測定物４に局所的に
ハイスポット（欠陥）があった場合、これを容易に検出
することができる。
【００３１】（第２の実施形態）図５は、本発明の第２
の実施形態の構成を示す図である。この実施形態におい
ては、厚み演算器７において、第１の実施形態の場合と
同様に検出部２の出力信号から被測定物４の厚み値を演
算するとともに、幅計８で測定された板幅値を厚み演算
器７に入力し、被測定物４の板エッジ位置、または板中
心位置を演算する。
の実施形態の構成を示す図である。この実施形態におい
ては、厚み演算器７において、第１の実施形態の場合と
同様に検出部２の出力信号から被測定物４の厚み値を演
算するとともに、幅計８で測定された板幅値を厚み演算
器７に入力し、被測定物４の板エッジ位置、または板中
心位置を演算する。
【００３２】従って、演算器７においては、検出部２の
出力信号から演算した厚みについて、被測定物４の板エ
ッジ位置、または板中心位置からの位置を特定すること
ができる。
出力信号から演算した厚みについて、被測定物４の板エ
ッジ位置、または板中心位置からの位置を特定すること
ができる。
【００３３】（第３の実施形態）図６は、本発明の第３
の実施形態の構成を示す図である。この実施形態におい
ては、厚み演算器７において、第１の実施形態の場合と
同様に検出部２の出力信号から被測定物４の厚み値を演
算するとともに、エッジセンサー９で検出された信号を
厚み演算器７に入力し、被測定物の板エッジ位置を演算
する。
の実施形態の構成を示す図である。この実施形態におい
ては、厚み演算器７において、第１の実施形態の場合と
同様に検出部２の出力信号から被測定物４の厚み値を演
算するとともに、エッジセンサー９で検出された信号を
厚み演算器７に入力し、被測定物の板エッジ位置を演算
する。
【００３４】従って、演算器７においては、検出部２の
出力信号から演算した厚みについて、被測定物の板エッ
ジ位置からの位置を特定することができる。
出力信号から演算した厚みについて、被測定物の板エッ
ジ位置からの位置を特定することができる。
【００３５】（第４の実施形態）図７は、本発明の第４
の実施形態の構成を示す図である。この実施形態におい
ては、厚み演算器７において、第１の実施形態の場合と
同様に検出部２の出力信号から被測定物４の厚み値を演
算するとともに、上位の計算機などの外部装置１０より
板中心ずれ量を厚み演算器７に入力し、板中心位置を演
算する。
の実施形態の構成を示す図である。この実施形態におい
ては、厚み演算器７において、第１の実施形態の場合と
同様に検出部２の出力信号から被測定物４の厚み値を演
算するとともに、上位の計算機などの外部装置１０より
板中心ずれ量を厚み演算器７に入力し、板中心位置を演
算する。
【００３６】従って、演算器７においては、検出部２の
出力信号から演算した厚みについて、被測定物４の板中
心位置からの位置を特定することができる。
出力信号から演算した厚みについて、被測定物４の板中
心位置からの位置を特定することができる。
【００３７】（第５の実施形態）図８〜図１０は、本発
明の第５の実施形態を説明する図である。
明の第５の実施形態を説明する図である。
【００３８】図８は、第１の実施形態のような構成の多
点計測厚み計を、被測定物４のエッジ部より任意の距離
離れた目標位置の板厚を測定するために用いる場合の構
成を示している。多点計測厚み計は被測定物４のエッジ
より任意の距離離れた目標位置を測定するため、この位
置を中心とした所定範囲の位置に、板厚を測定出来るよ
う電離箱５を配列する。
点計測厚み計を、被測定物４のエッジ部より任意の距離
離れた目標位置の板厚を測定するために用いる場合の構
成を示している。多点計測厚み計は被測定物４のエッジ
より任意の距離離れた目標位置を測定するため、この位
置を中心とした所定範囲の位置に、板厚を測定出来るよ
う電離箱５を配列する。
【００３９】厚み演算器７において、検出部２の出力信
号から目標測定位置近傍の所定範囲の複数の測定位置に
おける板厚値１１、１２、１３が求められ、また、幅計
８、またはエッジセンサー９からの出力信号によりエッ
ジ位置が求められると、図９に示すように、板厚値１
１、１２、１３を、それぞれエッジ位置から測定位置ま
での距離に対応した位置にプロットし、これらの板厚測
定結果を補間関数１４で結び、グラフ化することができ
る。目標測定位置が、実際の測定位置同士の間に位置す
る場合でも、補間関数１４より、エッジ位置から任意の
距離１５離れた目標測定位置の板厚値１６を求めること
ができる。
号から目標測定位置近傍の所定範囲の複数の測定位置に
おける板厚値１１、１２、１３が求められ、また、幅計
８、またはエッジセンサー９からの出力信号によりエッ
ジ位置が求められると、図９に示すように、板厚値１
１、１２、１３を、それぞれエッジ位置から測定位置ま
での距離に対応した位置にプロットし、これらの板厚測
定結果を補間関数１４で結び、グラフ化することができ
る。目標測定位置が、実際の測定位置同士の間に位置す
る場合でも、補間関数１４より、エッジ位置から任意の
距離１５離れた目標測定位置の板厚値１６を求めること
ができる。
【００４０】また、被測定物４は通板されて来る際に幅
方向に蛇行しながら来る場合が殆どである。幅計８、ま
たはエッジセンサー９、または外部装置１０等からの板
幅、またはエッジ位置、または中心ずれ量（蛇行量）な
どを表わす出力信号を厚み演算器７に入力し、被測定物
４の蛇行量を演算する。そして、目標測定位置近傍の板
厚測定結果を補間関数で結び、図１０に示すようにグラ
フ化する。即ち、目標測定位置での板厚値１７とその近
傍の位置における板厚値１８、１９を補間関数２０で結
ぶ。幅計８等より得たエッジ位置によって板ずれ量即ち
蛇行量２１が算出された場合、補間関数２０より板厚値
２２が求められる。この値を目標測定位置の板厚値とす
ることで、目標測定位置から被測定物４がずれた場合で
も連続的に板厚が測定できるようになる。
方向に蛇行しながら来る場合が殆どである。幅計８、ま
たはエッジセンサー９、または外部装置１０等からの板
幅、またはエッジ位置、または中心ずれ量（蛇行量）な
どを表わす出力信号を厚み演算器７に入力し、被測定物
４の蛇行量を演算する。そして、目標測定位置近傍の板
厚測定結果を補間関数で結び、図１０に示すようにグラ
フ化する。即ち、目標測定位置での板厚値１７とその近
傍の位置における板厚値１８、１９を補間関数２０で結
ぶ。幅計８等より得たエッジ位置によって板ずれ量即ち
蛇行量２１が算出された場合、補間関数２０より板厚値
２２が求められる。この値を目標測定位置の板厚値とす
ることで、目標測定位置から被測定物４がずれた場合で
も連続的に板厚が測定できるようになる。
【００４１】（第６の実施形態）図１１〜図１３は本発
明の第６の実施形態を説明する図である。電離箱５の放
射線に対する感度は電離箱５内のガス量に比例する。電
離箱５端部ではガス量が少ないため感度が低下し、電離
箱５の側壁部分では放射線に対する感度が無くなる。
明の第６の実施形態を説明する図である。電離箱５の放
射線に対する感度は電離箱５内のガス量に比例する。電
離箱５端部ではガス量が少ないため感度が低下し、電離
箱５の側壁部分では放射線に対する感度が無くなる。
【００４２】この実施形態では、電離箱５が円筒の側面
から放射線を入射する構造のものとし、図１１に示すよ
うに、被測定物の流れ方向に対し、この不感帯がなくな
るような電離箱５の回転角度αを決定する。
から放射線を入射する構造のものとし、図１１に示すよ
うに、被測定物の流れ方向に対し、この不感帯がなくな
るような電離箱５の回転角度αを決定する。
【００４３】まず、回転角度αを決定する第１の方法と
して、電離箱の全長と、電離箱側壁の肉厚に安全率を乗
じて求めた不感帯の値とを用いて求めることができる。
すなわち、電離箱５の全長を２Ｌとし、電離箱側壁の肉
厚ｔに安全率γを乗じて求めた不感帯１１の値をＴ（＝
ｔ・γ）とした場合、被測定物４の流れ方向に対し、不
感帯がなくなるような電離箱５の回転角度αはα＝ｔａ
ｎ-1（Ｔ／Ｌ）として求められる。安全率γは任意の定
数（例えば、２）とする。
して、電離箱の全長と、電離箱側壁の肉厚に安全率を乗
じて求めた不感帯の値とを用いて求めることができる。
すなわち、電離箱５の全長を２Ｌとし、電離箱側壁の肉
厚ｔに安全率γを乗じて求めた不感帯１１の値をＴ（＝
ｔ・γ）とした場合、被測定物４の流れ方向に対し、不
感帯がなくなるような電離箱５の回転角度αはα＝ｔａ
ｎ-1（Ｔ／Ｌ）として求められる。安全率γは任意の定
数（例えば、２）とする。
【００４４】次に、回転角度αを決定する第２の方法と
して、電離箱の全長と、電離箱内径および電離箱中心部
に対するガス量比を用いて求めた不感帯の値とを用いて
求めることができる。図１２に示すように、電離箱５の
中心部Ｏに対しガス量比がｃとなる位置を不感帯１１と
の境界となる位置とし、中心部Ｏを通る水平線上のこの
位置をＢとする。すなわち、位置Ｂは、電離箱内径を２
ｒとしたとき、位置Ｂからその上方の内壁の位置Ｃまで
の距離をｌ1とすると、ｌ1＝ｃ・ｒとなるような位置と
する。また、図において、中心部Ｏの上方の内壁の位置
をＡ、中心部Ｏから位置Ｂまでの距離をｔ”、位置Ｂか
らその水平方向の内壁の位置Ｄまでの距離をｔ’とし、
ＯＡとＯＣのなす角度をβとする。
して、電離箱の全長と、電離箱内径および電離箱中心部
に対するガス量比を用いて求めた不感帯の値とを用いて
求めることができる。図１２に示すように、電離箱５の
中心部Ｏに対しガス量比がｃとなる位置を不感帯１１と
の境界となる位置とし、中心部Ｏを通る水平線上のこの
位置をＢとする。すなわち、位置Ｂは、電離箱内径を２
ｒとしたとき、位置Ｂからその上方の内壁の位置Ｃまで
の距離をｌ1とすると、ｌ1＝ｃ・ｒとなるような位置と
する。また、図において、中心部Ｏの上方の内壁の位置
をＡ、中心部Ｏから位置Ｂまでの距離をｔ”、位置Ｂか
らその水平方向の内壁の位置Ｄまでの距離をｔ’とし、
ＯＡとＯＣのなす角度をβとする。
【００４５】ここで、ｌ1＝ｃ・ｒであるが、図より、
ｌ1＝ｒｃｏｓβとなるので、ｃ＝ｃｏｓβとなり、従
って、電離箱中心部に対するガス量比ｃが与えられる
と、角度βを求めることができる。また、図より、ｔ”
＝ｒｓｉｎβであるので、不感帯１１の値Ｔは次のよう
にして求めることができる。
ｌ1＝ｒｃｏｓβとなるので、ｃ＝ｃｏｓβとなり、従
って、電離箱中心部に対するガス量比ｃが与えられる
と、角度βを求めることができる。また、図より、ｔ”
＝ｒｓｉｎβであるので、不感帯１１の値Ｔは次のよう
にして求めることができる。
【００４６】
【数１】Ｔ＝ｔ＋ｔ’ ＝ｔ＋（ｒ−ｔ”） ＝ｔ＋ｒ（１−ｓｉｎβ） そして、このようにして求めた不感帯１１の値Ｔと電離
箱５の全長２Ｌとから、被測定物４の流れ方向に対し、
不感帯がなくなるような電離箱５の回転角度αをα＝ｔ
ａｎ-1（Ｔ／Ｌ）として求めることができる。なお、電
離箱中心部に対するガス量比ｃは任意の定数（例えば、
０．５）とすることができる。
箱５の全長２Ｌとから、被測定物４の流れ方向に対し、
不感帯がなくなるような電離箱５の回転角度αをα＝ｔ
ａｎ-1（Ｔ／Ｌ）として求めることができる。なお、電
離箱中心部に対するガス量比ｃは任意の定数（例えば、
０．５）とすることができる。
【００４７】また、第３の方法として、電離箱の全長
と、電離箱外径およびガス充満係数（ガスが充満してい
る有効径の係数）を用いて求めた不感帯の値とを用いて
求めることができる。電離箱外径を２Ｒとしたとき、図
１３に示すように、電離箱５の中心部Ｏを通る水平線上
で、中心部Ｏからの距離が、電離箱外径の半分の値Ｒに
ガス充満係数ｃ’を乗じた値の位置Ｅを不感帯１１との
境界とし、不感帯１１の値Ｔを次のようにして求める。
と、電離箱外径およびガス充満係数（ガスが充満してい
る有効径の係数）を用いて求めた不感帯の値とを用いて
求めることができる。電離箱外径を２Ｒとしたとき、図
１３に示すように、電離箱５の中心部Ｏを通る水平線上
で、中心部Ｏからの距離が、電離箱外径の半分の値Ｒに
ガス充満係数ｃ’を乗じた値の位置Ｅを不感帯１１との
境界とし、不感帯１１の値Ｔを次のようにして求める。
【００４８】
【数２】Ｔ＝Ｒ−ｃ’Ｒ ＝Ｒ（１−ｃ’） そして、このようにして求めた不感帯１１の値Ｔと電離
箱５の全長２Ｌとから、被測定物４の流れ方向に対し、
不感帯がなくなるような電離箱５の回転角度αをα＝ｔ
ａｎ-1（Ｔ／Ｌ）として求めることができる。なお、ガ
ス充満係数ｃ’は任意の定数（例えば、０．７〜０．８
程度の値）とすることができる。
箱５の全長２Ｌとから、被測定物４の流れ方向に対し、
不感帯がなくなるような電離箱５の回転角度αをα＝ｔ
ａｎ-1（Ｔ／Ｌ）として求めることができる。なお、ガ
ス充満係数ｃ’は任意の定数（例えば、０．７〜０．８
程度の値）とすることができる。
【００４９】（第７の実施形態）図１４は本発明の第７
の実施形態を説明する図である。第１〜第６の実施形態
のように、電離箱５を複数個隣接させて配列している場
合、電離箱５には発生器３から放射された放射線１４以
外に、隣接する電離箱５からの散乱線１３が入射するた
めエッジ部の精度低下、分解能低下など測定結果に悪影
響を及ぼすことがある。
の実施形態を説明する図である。第１〜第６の実施形態
のように、電離箱５を複数個隣接させて配列している場
合、電離箱５には発生器３から放射された放射線１４以
外に、隣接する電離箱５からの散乱線１３が入射するた
めエッジ部の精度低下、分解能低下など測定結果に悪影
響を及ぼすことがある。
【００５０】そこで、この実施形態では、このような散
乱線１３の影響を低減させるため、隣接する電離箱５間
にしきい板１２を配置している。
乱線１３の影響を低減させるため、隣接する電離箱５間
にしきい板１２を配置している。
【００５１】しきい板１２の厚みは散乱線を十分に吸収
できる厚さとし、しきい板１２の長さ、高さについて
は、それぞれ電離箱５の長さ、高さと同等以上とする。
できる厚さとし、しきい板１２の長さ、高さについて
は、それぞれ電離箱５の長さ、高さと同等以上とする。
【００５２】また、しきい板１２の材質は、ステンレス
鋼（例えばＳＵＳ３０４）を用いることができるが、散
乱線を吸収できる材質であればこの限りでない。例え
ば、タングステン、鉛などを用いることもできる。
鋼（例えばＳＵＳ３０４）を用いることができるが、散
乱線を吸収できる材質であればこの限りでない。例え
ば、タングステン、鉛などを用いることもできる。
【００５３】また、線吸収係数の大きい材質のものほ
ど、板厚を薄くすることが出来る。
ど、板厚を薄くすることが出来る。
【００５４】なお、このように、しきい板１２を用いた
場合、被測定物４の流れ方向に対し、不感帯がなくなる
ような電離箱５の回転角度α’は、しきい板１２の板厚
をｔ 2としたとき、第６の実施形態の場合のＴの代わり
に、（Ｔ＋０．５ｔ2）を用いて、α’＝ｔａｎ-1{（Ｔ
＋０．５ｔ2）／Ｌ}として求めることができる。
場合、被測定物４の流れ方向に対し、不感帯がなくなる
ような電離箱５の回転角度α’は、しきい板１２の板厚
をｔ 2としたとき、第６の実施形態の場合のＴの代わり
に、（Ｔ＋０．５ｔ2）を用いて、α’＝ｔａｎ-1{（Ｔ
＋０．５ｔ2）／Ｌ}として求めることができる。
【００５５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
電離箱の配置を被測定物の流れ方向に対し、時計方向も
しくは反時計方向に回転させることで、放射線感度の低
い領域が減り、測定領域全体に渡って感度の変化が少な
い多点計測厚み計を得ることが出来、被測定物に局所的
にハイスポット（欠陥）がある場合に、これを容易に検
出することができる。
電離箱の配置を被測定物の流れ方向に対し、時計方向も
しくは反時計方向に回転させることで、放射線感度の低
い領域が減り、測定領域全体に渡って感度の変化が少な
い多点計測厚み計を得ることが出来、被測定物に局所的
にハイスポット（欠陥）がある場合に、これを容易に検
出することができる。
【００５６】また、入力された信号から蛇行量を求め、
これを、各測定位置間を補間した関数に適用すること
で、被測定物の蛇行による目標測定位置のずれに対応で
き、目標測定位置付近の測定を連続的に行うことが出来
る。
これを、各測定位置間を補間した関数に適用すること
で、被測定物の蛇行による目標測定位置のずれに対応で
き、目標測定位置付近の測定を連続的に行うことが出来
る。
【図１】 本発明の第１の実施形態に係る多点計測厚み
計の構成を示す正面図。
計の構成を示す正面図。
【図２】 第１の実施形態における電離箱の配列を示す
斜視図。
斜視図。
【図３】 図２において電離箱の真上から見た状態を示
すＡＡ’矢視図。
すＡＡ’矢視図。
【図４】 第１の実施形態における電離箱の幅方向につ
いての感度分布を示す図。
いての感度分布を示す図。
【図５】 本発明の第２の実施形態に係る多点計測厚み
計の構成を示す図。
計の構成を示す図。
【図６】 本発明の第３の実施形態に係る多点計測厚み
計の構成を示す図。
計の構成を示す図。
【図７】 本発明の第４の実施形態に係る多点計測厚み
計の構成を示す図。
計の構成を示す図。
【図８】 本発明の第５の実施形態に係る多点計測厚み
計の構成を示す図。
計の構成を示す図。
【図９】 第５の実施形態における目標測定位置が実際
の測定位置同士の間にある場合に目標測定位置の板厚値
を補間して求めるグラフを示す図。
の測定位置同士の間にある場合に目標測定位置の板厚値
を補間して求めるグラフを示す図。
【図１０】第５の実施形態における被測定物が蛇行した
場合に目標測定位置の板厚値を補間して求めるグラフを
示す図。
場合に目標測定位置の板厚値を補間して求めるグラフを
示す図。
【図１１】本発明の第６の実施形態における電離箱の回
転角度を決定する方法を説明するための図。
転角度を決定する方法を説明するための図。
【図１２】本発明の第６の実施形態における電離箱内
径、電離箱中心部に対するガス量比等を用いて電離箱の
回転角度を決定する方法を説明するための図。
径、電離箱中心部に対するガス量比等を用いて電離箱の
回転角度を決定する方法を説明するための図。
【図１３】本発明の第６の実施形態における電離箱外
径、ガス充満係数等を用いて電離箱の回転角度を決定す
る方法を説明するための図。
径、ガス充満係数等を用いて電離箱の回転角度を決定す
る方法を説明するための図。
【図１４】本発明の第７の実施形態に係る多点計測厚み
計の主要部の構成を示す図。
計の主要部の構成を示す図。
【図１５】従来例の構成を示す正面図。
【図１６】従来例における電離箱の配列を示す斜視図。
【図１７】図１６において電離箱の真上から見た状態を
示すＡＡ’矢視図。
示すＡＡ’矢視図。
【図１８】従来例における電離箱の幅方向についての感
度分布を示す図。
度分布を示す図。
１…コ字型フレーム ２…検出部 ３…発生器 ４…被測定物 ５…電離箱 ６…多点計測厚み計移動装置 ７…厚み演算器 ８…幅計 ９…エッジセンサー １０…外部装置 １１…不感帯 １２…しきい板 １３…散乱線 １４…放射線
フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F067 AA27 BB12 CC05 HH09 JJ08 KK06 KK07 LL11 NN03 PP03 UU37 2G001 BA11 DA02 DA03 DA06 FA14 GA08 KA03 KA11 LA02 MA05 PA11
Claims (9)
- 【請求項１】放射線源と、電離箱を有し、前記放射線源
から放射され被測定物を透過して入射された放射線のレ
ベルに関連した出力信号を得る検出手段と、この検出手
段の出力信号から前記被測定物の厚みを演算する演算手
段とを備え、前記電離箱を、前記被測定物の流れ方向に
対し、任意の角度回転させて配列したことを特徴とする
多点計測厚み計。 - 【請求項２】請求項１に記載の多点計測厚み計におい
て、前記演算手段は、前記被測定物の幅を測定する手段
により測定された幅値が入力され、前記被測定物のエッ
ジ位置、または中心位置を演算し、前記検出手段の出力
信号から演算した厚みについての前記被測定物のエッジ
位置、または中心位置からの位置を特定できるものであ
ることを特徴とする多点計測厚み計。 - 【請求項３】請求項１の多点計測厚み計において、前記
演算手段は、前記被測定物のエッジを検出する手段から
の出力信号が入力され、前記被測定物のエッジ位置を演
算し、前記検出手段の出力信号から演算した厚みについ
ての前記被測定物のエッジ位置からの位置を特定できる
ものであることを特徴とする多点計測厚み計。 - 【請求項４】請求項１に記載の多点計測厚み計におい
て、前記演算手段は、外部装置からの中心ずれ量が入力
され、前記被測定物の中心位置を演算し、前記検出手段
の出力信号から演算した厚みについての前記被測定物の
中心位置からの位置を特定できるものであることを特徴
とする多点計測厚み計。 - 【請求項５】請求項１に記載の多点計測厚み計におい
て、前記電離箱は、目標測定位置を含む所定範囲の位置
に配列されているものとし、前記演算手段は、前記被測
定物の幅を測定する手段、または前記被測定物のエッジ
を検出する手段、または外部装置からの出力信号が入力
され、前記被測定物の蛇行量を求めるとともに、複数の
測定位置の厚み値を基に測定位置間の厚み値を算出する
ための補間関数を求め、前記補間関数により前記目標測
定位置から前記蛇行量ずれた位置の厚み値を演算するも
のであることを特徴とする多点計測厚み計。 - 【請求項６】請求項１に記載の多点計測厚み計におい
て、前記電離箱は、円筒の側面から放射線を入射する構
造のものとし、前記電離箱の全長と、前記電離箱側壁の
肉厚に安全率を乗じて求めた不感帯の値とを用いて、前
記被測定物の流れ方向に対し、前記不感帯が無くなるよ
うな前記電離箱の回転角度を決定したことを特徴とする
多点計測厚み計。 - 【請求項７】請求項１に記載の多点計測厚み計におい
て、円筒の側面から放射線を入射する構造のものとし、
前記電離箱の全長と、前記電離箱の内径および前記電離
箱中心部に対するガス量比を用いて求めた不感帯の値と
を用いて、前記被測定物の流れ方向に対し、前記不感帯
が無くなるような前記電離箱の回転角度を決定したこと
を特徴とする多点計測厚み計。 - 【請求項８】請求項１に記載の多点計測厚み計におい
て、円筒の側面から放射線を入射する構造のものとし、
前記電離箱の全長と、前記電離箱外径およびガス充満係
数を用いて求めた不感帯の値とを用いて、前記被測定物
の流れ方向に対し、前記不感帯が無くなるような前記電
離箱の回転角度を決定したことを特徴とする多点計測厚
み計。 - 【請求項９】請求項１乃至請求項８のいずれかに記載の
多点計測厚み計において、隣接する２つの前記電離箱間
にしきい板を挿入したことを特徴とする多点計測厚み
計。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002013937A JP3948965B2 (ja) | 2001-03-01 | 2002-01-23 | 多点計測厚み計 |
| TW091103292A TWI272371B (en) | 2001-03-01 | 2002-02-25 | Multipoint thickness measurement system |
| KR10-2002-0010420A KR100491019B1 (ko) | 2001-03-01 | 2002-02-27 | 다점계측 두께 측정계 |
| CNB02119825XA CN1223827C (zh) | 2001-03-01 | 2002-02-28 | 多点测厚计 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001056817 | 2001-03-01 | ||
| JP2001-56817 | 2001-03-01 | ||
| JP2002013937A JP3948965B2 (ja) | 2001-03-01 | 2002-01-23 | 多点計測厚み計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002328016A true JP2002328016A (ja) | 2002-11-15 |
| JP3948965B2 JP3948965B2 (ja) | 2007-07-25 |
Family
ID=26610434
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002013937A Expired - Lifetime JP3948965B2 (ja) | 2001-03-01 | 2002-01-23 | 多点計測厚み計 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3948965B2 (ja) |
| KR (1) | KR100491019B1 (ja) |
| CN (1) | CN1223827C (ja) |
| TW (1) | TWI272371B (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004251906A (ja) * | 2003-02-21 | 2004-09-09 | Sikora Ag | 導電路領域の平形リボンケーブルの絶縁体厚さの測定方法および装置 |
| JP2006170883A (ja) * | 2004-12-17 | 2006-06-29 | Toshiba Corp | 厚さプロファイル測定装置 |
| JP2009098095A (ja) * | 2007-10-19 | 2009-05-07 | Yasuto Ioka | 電離箱型ｘ線異物検出装置および筒状電離箱 |
| KR100921417B1 (ko) * | 2007-12-17 | 2009-10-14 | 한국원자력연구원 | 단일 지점 동위원소 방사선원을 이용한 다면적 두께 측정장치 및 측정 방법 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5847674B2 (ja) * | 2012-09-10 | 2016-01-27 | 株式会社東芝 | Ｘ線厚さ計 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5890112A (ja) * | 1981-11-26 | 1983-05-28 | Toshiba Corp | 放射線厚さ計 |
| JPS60230008A (ja) * | 1984-04-28 | 1985-11-15 | Toshiba Corp | 放射線厚さ計 |
| FR2704643B1 (fr) * | 1993-04-26 | 1995-06-23 | Lorraine Laminage | Procede et dispositf d'etalonnage pour un ensemble de mesure du profil transversal d'epaisseur d'un produit plat. |
-
2002
- 2002-01-23 JP JP2002013937A patent/JP3948965B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2002-02-25 TW TW091103292A patent/TWI272371B/zh not_active IP Right Cessation
- 2002-02-27 KR KR10-2002-0010420A patent/KR100491019B1/ko active IP Right Grant
- 2002-02-28 CN CNB02119825XA patent/CN1223827C/zh not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004251906A (ja) * | 2003-02-21 | 2004-09-09 | Sikora Ag | 導電路領域の平形リボンケーブルの絶縁体厚さの測定方法および装置 |
| JP2006170883A (ja) * | 2004-12-17 | 2006-06-29 | Toshiba Corp | 厚さプロファイル測定装置 |
| JP2009098095A (ja) * | 2007-10-19 | 2009-05-07 | Yasuto Ioka | 電離箱型ｘ線異物検出装置および筒状電離箱 |
| KR100921417B1 (ko) * | 2007-12-17 | 2009-10-14 | 한국원자력연구원 | 단일 지점 동위원소 방사선원을 이용한 다면적 두께 측정장치 및 측정 방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100491019B1 (ko) | 2005-05-24 |
| CN1378067A (zh) | 2002-11-06 |
| JP3948965B2 (ja) | 2007-07-25 |
| TWI272371B (en) | 2007-02-01 |
| CN1223827C (zh) | 2005-10-19 |
| KR20020070824A (ko) | 2002-09-11 |
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| A977 | Report on retrieval |
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