JP2001147116A - 板厚測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】被測定物の厚みにかかわらず高精度に測定する
こと。 【解決手段】厚み測定の対象となる板状の被測定物１の
表面にレーザ光を照射してその反射光から距離を測定す
る２つの距離計2a,2b を、被測定物１を介して対向させ
て配置してなり、各距離計2a,2b と被測定物１との間の
それぞれの距離を検出することで、被測定物１の厚みを
測定するレーザ式厚み計と、放射線を発生する放射線発
生器6a、および放射線を検出する放射線検出器6bを、被
測定物１を介して対向させて配置してなり、被測定物１
に放射線発生器6aから放射線を照射して被測定物１を透
過した放射線量を放射線検出器6bで検出することで、被
測定物１の厚みを測定する放射線厚み計と、被測定物１
の厚みに基づいて、レーザ式厚み計による厚み測定値、
または放射線厚み計による厚み測定値のいずれか一方
を、最終的な厚み測定値として切換出力する手段とを備
える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、板状の被測定物の
厚みを測定する板厚測定装置に係り、特にレーザ式厚み
計と放射線厚み計とを併用して、被測定物の厚みを高精
度に測定できるようにした板厚測定装置に関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】最近、各種計測・制御の分野において
は、被測定物の厚みを測定する厚み計が多く用いられて
きている。この厚み計としては、例えばレーザ式厚み
計、放射線厚み計等がある。

【０００３】図４（ａ）は、この種の従来のレーザ式厚
み計の構成例を示す概略図である。

【０００４】図４（ａ）に示すように、レーザ式厚み計
は、厚み測定の対象となる板状の被測定物１の表面にレ
ーザ光を照射してその反射光から三角測量の原理で距離
を測定する２つの距離計のセンサ（上部距離センサ２ａ
および下部距離センサ２ｂ）を、一つのコの字型の取付
フレーム３に、被測定物１を介して対向させるように取
付け配置してなり、上部距離センサ２ａおよび下部距離
センサ２ｂと被測定物１との間のそれぞれの距離を検出
することで、被測定物１の厚みを測定するようになって
いる。

【０００５】ここで、上部距離センサ２ａおよび下部距
離センサ２ｂは、レーザ光を発生するレーザ４ａおよび
４ｂと、レーザ光を受光する受光器５ａおよび５ｂとを
備えている。

【０００６】図４（ｂ）は、この種の従来の放射線厚み
計の構成例を示す概略図である。なお、図４（ａ）と同
一要素には同一符号を付して示している。

【０００７】図４（ｂ）に示すように、放射線厚み計
は、放射線（例えばＸ線）を発生する放射線源である放
射線発生器（例えばＸ線発生器）６ａ、および放射線を
検出する放射線検出器（例えばＸ線検出器）６ｂを、一
つのコの字型の取付フレーム７に、厚み測定の対象とな
る板状の被測定物１を介して対向させるように取付け配
置してなり、被測定物１を透過した放射線発生器６ａか
らの放射線を放射線検出器６ｂで検出することで、被測
定物１の厚みを測定するようになっている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、以上の
ような従来のレーザ式厚み計、放射線厚み計において
は、以下に述べるような解決すべき課題がある。

【０００９】（ａ）レーザ式厚み計は、その特性上、測
定範囲に対する割合で精度が定義される。すなわち、測
定範囲のものであれば、被測定物１の厚みが薄くとも厚
くとも、同じ精度で測定することができる。これに対し
て、放射線厚み計は、被測定物１の放射線透過量を測定
する性質上、被測定物１の厚みが厚くなればなるほど、
測定精度が低下する。被測定物１の厚みが薄いものから
厚いものまである場合、レーザ式厚み計であれば、被測
定物１の厚みが厚いものは測定精度が十分であるが、被
測定物１の厚みが薄いものには測定精度が足りない。ま
た、放射線厚み計であれば、被測定物１の厚みが薄いも
のは測定精度が十分であるが、被測定物１の厚みが厚い
ものには測定精度が足りない場合が多い。このように、
被測定物１の厚みの薄いものから厚いものまでを、一つ
の厚み計で精度良く測定することができないという課題
がある。

【００１０】（ｂ）放射線厚み計は、被測定物１を透過
する放射線量を測定することで、被測定物１の厚みを測
定することから、同じ厚みの被測定物１でも、材質が異
なれば透過する放射線量が変化する。このため、あらか
じめ被測定物１と同じ材質で厚みが既知のものを測定し
て被測定物１の材質補正値を演算するか、あるいは材質
の成分比から演算して被測定物１の材質補正値を求める
等の作業が必要である。

【００１１】このように、材質毎の材質補正値を持つこ
とで、測定値は同じとなるが、材質補正値を求めるため
に、事前に測定をしたり、材質の成分比を調べたりする
必要があり、手間がかかるという課題がある。

【００１２】本発明の目的は、被測定物の厚みにかかわ
らず高精度に測定することが可能な板厚測定装置を提供
することにある。

【００１３】また、本発明の他の目的は、放射線厚み計
における被測定物の材質補正値が不明である時、あるい
は材質の成分が不明で被測定物の材質補正値が得られな
いような時でも、被測定物の材質補正値を自動的に求め
て厚み測定を行なうことができ、事前に測定をしたり、
材質の成分比を調べたりすることが一切不要な板厚測定
装置を提供することにある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１に対応する発明では、厚み測定の対象と
なる板状の被測定物の表面にレーザ光を照射してその反
射光から距離を測定する２つの距離計を、被測定物を介
して対向させて配置してなり、各距離計と被測定物との
間のそれぞれの距離を検出することで、被測定物の厚み
を測定するレーザ式厚み計と、放射線を発生する放射線
発生器、および放射線を検出する放射線検出器を、被測
定物を介して対向させて配置してなり、被測定物に放射
線発生器から放射線を照射して当該被測定物を透過した
放射線量を放射線検出器で検出することで、被測定物の
厚みを測定する放射線厚み計と、被測定物の厚みに基づ
いて、レーザ式厚み計による厚み測定値、または放射線
厚み計による厚み測定値のいずれか一方を、最終的な厚
み測定値として出力する手段とを備えている。

【００１５】また、請求項２に対応する発明では、上記
請求項１に対応する発明の板厚測定装置において、上記
手段としては、レーザ式厚み計による厚み測定値が厚み
のしきい値未満の時には、放射線厚み計による厚み測定
値を、またレーザ式厚み計による厚み測定値が厚みのし
きい値以上の時には、レーザ式厚み計による厚み測定値
を、最終的な厚み測定値として出力するようにしてい
る。

【００１６】従って、請求項１および請求項２に対応す
る発明の板厚測定装置においては、レーザ式厚み計と放
射線厚み計とを組み合わせて被測定物の厚み測定を行な
い、被測定物の厚みに応じて、レーザ式厚み計による厚
み測定値と放射線厚み計による厚み測定値とを切換え
る、すなわちレーザ式厚み計による厚み測定値が厚みの
しきい値未満の時には、放射線厚み計による厚み測定値
を、またレーザ式厚み計による厚み測定値が厚みのしき
い値以上の時には、レーザ式厚み計による厚み測定値
を、最終的な厚み測定値として採用することにより、レ
ーザ式厚み計と放射線厚み計のそれぞれの特性を生かし
て、被測定物の厚みにかかわらず高精度に測定すること
ができる。

【００１７】一方、請求項３に対応する発明では、厚み
測定の対象となる板状の被測定物の表面にレーザ光を照
射してその反射光から距離を測定する２つの距離計を、
被測定物を介して対向させて配置してなり、各距離計と
被測定物との間のそれぞれの距離を検出することで、被
測定物の厚みを測定するレーザ式厚み計と、放射線を発
生する放射線発生器、および放射線を検出する放射線検
出器を、被測定物を介して対向させて配置してなり、被
測定物に放射線発生器から放射線を照射して当該被測定
物を透過した放射線量を放射線検出器で検出すること
で、被測定物の厚みを測定する放射線厚み計と、レーザ
式厚み計による厚み測定値に基づいて、放射線厚み計に
おける厚み測定に用いられる被測定物の材質補正値を求
める手段とを備えている。

【００１８】従って、請求項３に対応する発明の板厚測
定装置においては、レーザ式厚み計による厚み測定値か
ら、放射線厚み計における厚み測定に用いられる被測定
物の材質補正値を求めることにより、放射線厚み計にお
ける被測定物の材質補正値が不明である時、あるいは材
質の成分が不明で被測定物の材質補正値が得られないよ
うな時でも、被測定物の材質補正値を自動的に求めて厚
み測定を行なうことができ、もって前述したように、事
前に測定をしたり、材質の成分比を調べたりすることが
一切不要となり、手間がかからなくなる。

【００１９】また、請求項４に対応する発明では、上記
請求項３に対応する発明の板厚測定装置において、被測
定物と同材質の材質補正値をあらかじめ求めておき、当
該材質補正値と上記手段により求められた被測定物の材
質補正値とを比較し、各材質補正値の差が第１の所定値
以上の時、あるいは各材質補正値の比が第２の所定値未
満でかつ第３の所定値（第２の所定値＜第３の所定値）
以上の時に、被測定物の材質異常の旨を出力する手段を
付加している。

【００２０】従って、請求項４に対応する発明の板厚測
定装置においては、被測定物と同材質の材質補正値をあ
らかじめ求めておき、この材質補正値と求められた被測
定物の材質補正値とを比較した結果、各材質補正値の差
が第１の所定値以上の時、あるいは各材質補正値の比が
第２の所定値未満でかつ第３の所定値（第２の所定値＜
第３の所定値）以上の時に、被測定物の材質異常の旨を
出力することにより、上記請求項３に対応する発明と同
様の作用を奏するのに加えて、被測定物の材質が異常で
ある場合には、その旨を測定者に迅速に報知することが
できる。

【００２１】さらに、請求項５に対応する発明では、上
記請求項１または請求項３に対応する発明の板厚測定装
置において、レーザ式厚み計と放射線厚み計とを一体に
構成している。

【００２２】従って、請求項５に対応する発明の板厚測
定装置においては、レーザ式厚み計と放射線厚み計とを
装置として一体に構成することにより、上記２種の厚み
計を個別に設ける場合に比して、据付および調整に要す
る労力と時間を大幅に削減することができる。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。

【００２４】（第１の実施の形態）図１は、本実施の形
態による板厚測定装置の構成例を示す概要図であり、図
４と同一要素には同一符号を付して示している。

【００２５】図１において、厚み測定の対象となる板状
の被測定物１の流れ方向に沿って、レーザ式厚み計およ
び放射線厚み計の各センサを並べて配置し、さらに演算
部８を備えている。

【００２６】すなわち、レーザ式厚み計は、被測定物１
の表面にレーザ光を照射してその反射光から三角測量の
原理で距離を測定する２つの距離計のセンサ（上部距離
センサ２ａおよび下部距離センサ２ｂ）を、一つのコの
字型の取付フレーム３に、被測定物１を介して対向させ
るように取付け配置してなり、上部距離センサ２ａおよ
び下部距離センサ２ｂと被測定物１との間のそれぞれの
距離を検出するようにしている。

【００２７】ここで、上部距離センサ２ａおよび下部距
離センサ２ｂは、その図示を省略しているが前記図４
（ａ）の場合と同様に、レーザ光を発生するレーザ４ａ
および４ｂと、レーザ光を受光する受光器５ａおよび５
ｂとを備えている。

【００２８】また、放射線厚み計は、放射線（Ｘ線）を
発生する放射線源である放射線発生器（Ｘ線発生器）６
ａ、および放射線を検出する放射線検出器（Ｘ線検出
器）６ｂを、上記取付フレーム３に、厚み測定の対象と
なる板状の被測定物１を介して対向させるように取付け
配置してなり、被測定物１に放射線発生器６ａから放射
線を照射して被測定物１を透過した放射線量を放射線検
出器６ｂで検出するようにしている。

【００２９】なお、レーザ式厚み計と放射線厚み計と
は、板状の被測定物１の流れ方向に沿って、一つのコの
字型の取付フレーム３に取付け配置することにより、装
置として一体に構成している。

【００３０】一方、演算部８は、測定部８ａと、測定部
８ｂと、切換判定部８ｃとからなっている。

【００３１】測定部８ａは、上部距離センサ２ａおよび
下部距離センサ２ｂにより検出された距離測定値に基づ
いて、被測定物１の厚みを測定する。

【００３２】測定部８ｂは、放射線検出器６ｂにより検
出された被測定物１の放射線透過量に基づいて、被測定
物１の厚みを測定する。

【００３３】切換判定部８ｃは、測定部８ａからの厚み
測定値と、測定部８ｂからの厚み測定値とを入力し、被
測定物１の厚みに基づいて、この各厚み測定値のいずれ
か一方を、最終的な装置の厚み測定値として切換出力す
る。

【００３４】ここで、切換判定部８ｃは、測定部８ａか
らの厚み測定値が厚みのしきい値未満の時には、測定部
８ｂからの厚み測定値を、また測定部８ａからの厚み測
定値が上記厚みのしきい値以上の時には、測定部８ａか
らの厚み測定値を、最終的な厚み測定値として切換出力
する。

【００３５】次に、以上のように構成した本実施の形態
の板厚測定装置の作用について説明する。

【００３６】図１において、レーザ式厚み計では、被測
定物１の表面に、上部距離センサ２ａおよび下部距離セ
ンサ２ｂからレーザ光を照射し、その反射光から三角測
量の原理で距離を測定して、上部距離センサ２ａおよび
下部距離センサ２ｂと被測定物１との間のそれぞれの距
離測定値ａおよびｂが得られる。

【００３７】また、放射線厚み計では、被測定物１に放
射線発生器６ａから放射線を照射して、被測定物１を透
過した放射線量Ｉが放射線検出器６ｂで検出される。

【００３８】次に、演算部８では、測定部８ａにより、
上部距離センサ２ａおよび下部距離センサ２ｂからの距
離測定値ａおよびｂを基に、以下のような式により、被
測定物１の厚みｔｌが測定される。

【００３９】すなわち、上部距離センサ２ａと下部距離
センサ２ｂとの間の取付距離をＬとした場合、被測定物
１の厚みｔｌは、 ｔｌ＝Ｌ−ａ−ｂ により求められる。

【００４０】また、演算部８では、測定部８ｂにより、
放射線検出器６ｂからの被測定物１の放射線透過量Ｉを
基に、以下のような式により、被測定物１の厚みｔｘが
測定される。

【００４１】Ｉ＝Ｉ０＊ｅｘｐ（−μｔｘ） Ｉ０は被測定物１のない時の放射線量、μは線吸収係数 例えば、基本（例えば純鉄）の線吸収係数をμａとした
場合、実際に測定する鉄は他の成分が混じっており、線
吸収係数はμａ＊μｂとなる。

【００４２】 ｔｘ＝（１／μｂ）＊（１／μａ）＊Ｉｎ（Ｉ０／Ｉ） ｋ＝１／μｂ 材質補正値 よって、被測定物１の厚みｔｘは、 ｔｘ＝ｋ＊（１／μａ）＊Ｉｎ（Ｉ０／Ｉ） さらに、演算部８では、切換判定部８ｃにより、被測定
物１の厚みを基に、測定部８ａからの厚み測定値ｔｌ、
または測定部８ｂからの厚み測定値ｔｘのうちのいずれ
か一方が、最終的な装置の厚み測定値ｔとして出力され
る。

【００４３】すなわち、切換判定部８ｃでは、厚みのし
きい値をｙとした場合、測定部８ａからの厚み測定値ｔ
ｌが厚みのしきい値ｙ未満の時には、測定部８ｂからの
厚み測定値ｔｘ、すなわち放射線厚み計による厚み測定
値ｔｘが、装置の厚み測定値ｔとして出力される。ま
た、測定部８ａからの厚み測定値ｔｌが厚みのしきい値
ｙ以上の時には、測定部８ａからの厚み測定値ｔｌ、す
なわちレーザ式厚み計による厚み測定値ｔｌが、装置の
厚み測定値ｔとして出力される。

【００４４】上述したように、本実施の形態の板厚測定
装置では、レーザ式厚み計と放射線厚み計とを組み合わ
せて被測定物１の厚み測定を行ない、被測定物１の厚み
に応じて、レーザ式厚み計による厚み測定値と放射線厚
み計による厚み測定値とを切換える、すなわちレーザ式
厚み計による厚み測定値ｔｌが厚みのしきい値ｙ未満の
時には、放射線厚み計による厚み測定値ｔｘを、またレ
ーザ式厚み計による厚み測定値ｔｌが厚みのしきい値ｙ
以上の時には、レーザ式厚み計による厚み測定値ｔｌ
を、最終的な厚み測定値ｔとして採用するようにしてい
るので、レーザ式厚み計と放射線厚み計のそれぞれの特
性を生かして、被測定物１の厚みにかかわらず、極めて
高精度に測定することが可能となる。

【００４５】さらに、レーザ式厚み計と放射線厚み計と
を、装置として一体に構成するようにしているので、上
記２種の厚み計を個別に設ける場合に比して、据付およ
び調整に要する労力と時間を大幅に削減することが可能
となる。

【００４６】（第２の実施の形態）図２は、本実施の形
態による板厚測定装置の構成例を示す概要図であり、図
４と同一要素には同一符号を付して示している。

【００４７】図１において、厚み測定の対象となる板状
の被測定物１の流れ方向に沿って、レーザ式厚み計およ
び放射線厚み計の各センサを並べて配置し、さらに演算
部９を備えている。

【００４８】すなわち、レーザ式厚み計は、被測定物１
の表面にレーザ光を照射してその反射光から三角測量の
原理で距離を測定する２つの距離計のセンサ（上部距離
センサ２ａおよび下部距離センサ２ｂ）を、一つのコの
字型の取付フレーム３に、被測定物１を介して対向させ
るように取付け配置してなり、上部距離センサ２ａおよ
び下部距離センサ２ｂと被測定物１との間のそれぞれの
距離を検出するようにしている。

【００４９】ここで、上部距離センサ２ａおよび下部距
離センサ２ｂは、その図示を省略しているが前記図４
（ａ）の場合と同様に、レーザ光を発生するレーザ４ａ
および４ｂと、レーザ光を受光する受光器５ａおよび５
ｂとを備えている。

【００５０】また、放射線厚み計は、放射線（Ｘ線）を
発生する放射線源である放射線発生器（Ｘ線発生器）６
ａ、および放射線を検出する放射線検出器（Ｘ線検出
器）６ｂを、上記取付フレーム３に、厚み測定の対象と
なる板状の被測定物１を介して対向させるように取付け
配置してなり、被測定物１に放射線発生器６ａから放射
線を照射して被測定物１を透過した放射線量を放射線検
出器６ｂで検出するようにしている。

【００５１】なお、レーザ式厚み計と放射線厚み計と
は、板状の被測定物１の流れ方向に沿って、一つのコの
字型の取付フレーム３に取付け配置することにより、装
置として一体に構成している。

【００５２】一方、演算部９は、測定部９ａと、測定部
９ｂとからなっている。

【００５３】測定部９ａは、上部距離センサ２ａおよび
下部距離センサ２ｂにより検出された距離測定値に基づ
いて、被測定物１の厚みを測定する。

【００５４】測定部９ｂは、放射線検出器６ｂにより検
出された被測定物１の放射線透過量に基づいて、被測定
物１の厚みを測定する。

【００５５】さらに、測定部９ｂは、測定部９ａからの
厚み測定値、すなわちレーザ式厚み計による厚み測定値
に基づいて、測定部９ｂにおける厚み測定、すなわち放
射線厚み計における厚み測定に用いられる被測定物１の
材質補正値を求める。

【００５６】次に、以上のように構成した本実施の形態
の板厚測定装置の作用について説明する。

【００５７】図２において、レーザ式厚み計では、被測
定物１の表面に、上部距離センサ２ａおよび下部距離セ
ンサ２ｂからレーザ光を照射し、その反射光から三角測
量の原理で距離を測定して、上部距離センサ２ａおよび
下部距離センサ２ｂと被測定物１との間のそれぞれの距
離測定値ａおよびｂが得られる。

【００５８】また、放射線厚み計では、被測定物１に放
射線発生器６ａから放射線を照射して、被測定物１を透
過した放射線量Ｉが放射線検出器６ｂで検出される。

【００５９】次に、演算部９では、測定部９ａにより、
上部距離センサ２ａおよび下部距離センサ２ｂからの距
離測定値ａおよびｂを基に、以下のような式により、被
測定物１の厚みｔｌが測定される。

【００６０】すなわち、上部距離センサ２ａと下部距離
センサ２ｂとの間の取付距離をＬとした場合、被測定物
１の厚みｔｌは、 ｔｌ＝Ｌ−ａ−ｂ により求められる。

【００６１】また、演算部９では、測定部９ｂにより、
放射線検出器６ｂからの被測定物１の放射線透過量Ｉを
基に、以下のような式により、被測定物１の厚みｔｘが
測定される。

【００６２】Ｉ＝Ｉ０＊ｅｘｐ（−μｔｘ） Ｉ０は被測定物１のない時の放射線量、μは線吸収係数 例えば、基本（例えば純鉄）の線吸収係数をμａとした
場合、実際に測定する鉄は他の成分が混じっており、線
吸収係数はμａ＊μｂとなる。

【００６３】 ｔｘ＝（１／μｂ）＊（１／μａ）＊Ｉｎ（Ｉ０／Ｉ） ｋ＝１／μｂ 材質補正値 よって、被測定物１の厚みｔｘは、 ｔｘ＝ｋ＊（１／μａ）＊Ｉｎ（Ｉ０／Ｉ） 一方、演算部９では、測定部９ｂにおいて被測定物１の
厚みｔｘを求める場合に、事前に、被測定物１の材質補
正値ｋがわからないような時、あるいは材質の成分が不
明で被測定物１の材質補正値ｋが得られないような時に
は、測定部８ａからの厚み測定値ｔｌを基に、以下のよ
うな式により、被測定物１の材質補正値ｋが求められ
る。

【００６４】 ｋ＝ｔｌ／（（１／μａ）＊Ｉｎ（Ｉ０／Ｉ）） そして、この求めた被測定物１の材質補正値ｋを基に、
上記式により、被測定物１の厚みｔｘが測定される。

【００６５】上述したように、本実施の形態の板厚測定
装置では、レーザ式厚み計による厚み測定値ｔｌから、
放射線厚み計における厚み測定に用いられる被測定物１
の材質補正値ｋを求めるようにしているので、放射線厚
み計における被測定物１の材質補正値ｋが不明である
時、あるいは材質の成分が不明で被測定物１の材質補正
値ｋが得られないような時でも、被測定物１の材質補正
値ｋを自動的に求めて厚み測定を行なうことが可能とな
る。これにより、前述したように、事前に測定をした
り、材質の成分比を調べたりすることが一切不要とな
る。

【００６６】さらに、レーザ式厚み計と放射線厚み計と
を、装置として一体に構成するようにしているので、上
記２種の厚み計を個別に設ける場合に比して、据付およ
び調整に要する労力と時間を大幅に削減することが可能
となる。

【００６７】（第３の実施の形態）図３は、本実施の形
態による板厚測定装置の構成例を示す概要図であり、図
２と同一要素には同一符号を付してその説明を省略し、
ここでは異なる部分についてのみ述べる。

【００６８】すなわち、本実施の形態の板厚測定装置
は、図３に示すように、図２における演算部９に、異常
判定部９ｃを付加した構成としている。

【００６９】異常判定部９ｃは、被測定物１と同材質の
材質補正値ｋ０をあらかじめ求めておき、この材質補正
値ｋ０と前記測定部９ｂにより求められた被測定物１の
材質補正値ｋとを比較し、これら各材質補正値ｋ０，ｋ
の差が第１の所定値Ｇ以上の時、あるいはこれら各材質
補正値ｋ０，ｋの比が第２の所定値Ｈ未満でかつ第３の
所定値Ｊ（第２の所定値Ｈ＜第３の所定値Ｊ）以上の時
に、被測定物１の材質異常の旨を、例えば接点信号とし
て出力する。

【００７０】次に、以上のように構成した本実施の形態
の板厚測定装置の作用について説明する。

【００７１】なお、前述した第２の実施の形態と同一部
分の作用についてはその説明を省略し、ここでは異なる
部分の作用についてのみ述べる。

【００７２】図３において、演算部９では、異常判定部
９ｃにより、あらかじめ求められた被測定物１と同材質
の材質補正値ｋ０と、前記測定部９ｂにより求められた
被測定物１の材質補正値ｋとが比較される。

【００７３】その結果、各材質補正値ｋ０，ｋの差が、
第１の所定値Ｇ以上の時、すなわち（ｋ−ｋ０）の絶対
値＞Ｇの時、あるいは、各材質補正値ｋ０，ｋの比が第
２の所定値Ｈ未満でかつ第３の所定値Ｊ（第２の所定値
Ｈ＜第３の所定値Ｊ）以上の時、すなわち（ｋ／ｋ０）
＜Ｈでかつ（ｋ／ｋ０）＞Ｊの時には、事前に、被測定
物１の材質補正値ｋ０がわかっていても、被測定物１の
材質異常として、被測定物１の材質補正値ｋ０が異常で
ある旨が出力される。

【００７４】上述したように、本実施の形態の板厚測定
装置では、被測定物１と同材質の材質補正値ｋ０をあら
かじめ求めておき、この材質補正値ｋ０と求められた被
測定物１の材質補正値とを比較した結果、各材質補正値
ｋ０，ｋの差が第１の所定値以上Ｇの時、あるいは各材
質補正値ｋ０，ｋの比が第２の所定値Ｈ未満でかつ第３
の所定値Ｊ（第２の所定値Ｈ＜第３の所定値Ｊ）以上の
時に、被測定物１の材質異常の旨を出力するようにして
いるので、前述した第２の実施の形態と同様の効果が得
られるのに加えて、被測定物１の材質異常を測定者に迅
速に報知することが可能となる。

【００７５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の板厚測定
装置によれば、被測定物の厚みにかかわらず高精度に測
定することが可能となる。

【００７６】また、本発明の板厚測定装置によれば、放
射線厚み計における被測定物の材質補正値が不明である
時、あるいは材質の成分が不明で被測定物の材質補正値
が得られないような時でも、被測定物の材質補正値を自
動的に求めて厚み測定を行なうことができ、事前に測定
をしたり、材質の成分比を調べたりすることが一切不要
となり、手間がかからなくなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による板厚測定装置の第１の実施の形態
を示す概要図。

【図２】本発明による板厚測定装置の第２の実施の形態
を示す概要図。

【図３】本発明による板厚測定装置の第３の実施の形態
を示す概要図。

【図４】従来のレーザ式厚み計、放射線厚み計の構成例
をそれぞれ示す概略図。

【符号の説明】

１…被測定物 ２ａ…上部距離センサ ２ｂ…下部距離センサ ３…取付フレーム ４ａ，４ｂ…レーザ ５ａ，５ｂ…受光器 ６ａ…放射線発生器（Ｘ線発生器） ６ｂ…放射線検出器（Ｘ線検出器） ７…取付フレーム ８…演算部 ８ａ…測定部 ８ｂ…測定部 ８ｃ…切換判定部 ９…演算部 ９ａ…測定部 ９ｂ…測定部 ９ｃ…異常判定部 Ｉ０…被測定物１のない時の放射線量 μ…線吸収係数 ｋ０…既知の被測定物１の材質補正値 ｋ…被測定物１の材質補正値 ｔｌ…厚み測定値 ｔｘ…厚み測定値 ｔ…装置の厚み測定値 ｙ…厚みのしきい値 Ｇ…第１の所定値 Ｈ…第２の所定値 Ｊ…第３の所定値。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F065 AA06 AA30 BB13 BB15 FF44 FF63 GG04 HH04 JJ05 MM03 PP01 QQ25 2F067 AA27 BB01 EE04 EE10 FF07 GG05 HH04 KK06 LL15 PP03 RR24 RR29 UU33 2F069 AA46 BB34 CC06 DD19 DD20 EE20 GG04 GG07 GG08 GG59 GG72 HH09 HH30

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 厚み測定の対象となる板状の被測定物の
   表面にレーザ光を照射してその反射光から距離を測定す
   る２つの距離計を、前記被測定物を介して対向させて配
   置してなり、前記各距離計と被測定物との間のそれぞれ
   の距離を検出することで、前記被測定物の厚みを測定す
   るレーザ式厚み計と、 放射線を発生する放射線発生器、および放射線を検出す
   る放射線検出器を、前記被測定物を介して対向させて配
   置してなり、前記被測定物に放射線発生器から放射線を
   照射して当該被測定物を透過した放射線量を前記放射線
   検出器で検出することで、前記被測定物の厚みを測定す
   る放射線厚み計と、 前記被測定物の厚みに基づいて、前記レーザ式厚み計に
   よる厚み測定値、または前記放射線厚み計による厚み測
   定値のいずれか一方を、最終的な厚み測定値として出力
   する手段と、 を備えて成ることを特徴とする板厚測定装置。
2. 【請求項２】 前記請求項１に記載の板厚測定装置にお
   いて、 前記手段としては、 前記レーザ式厚み計による厚み測定値が厚みのしきい値
   未満の時には、前記放射線厚み計による厚み測定値を、
   また前記レーザ式厚み計による厚み測定値が前記厚みの
   しきい値以上の時には、前記レーザ式厚み計による厚み
   測定値を、最終的な厚み測定値として出力するようにし
   たことを特徴とする板厚測定装置。
3. 【請求項３】 厚み測定の対象となる板状の被測定物の
   表面にレーザ光を照射してその反射光から距離を測定す
   る２つの距離計を、前記被測定物を介して対向させて配
   置してなり、前記各距離計と被測定物との間のそれぞれ
   の距離を検出することで、前記被測定物の厚みを測定す
   るレーザ式厚み計と、 放射線を発生する放射線発生器、および放射線を検出す
   る放射線検出器を、前記被測定物を介して対向させて配
   置してなり、前記被測定物に放射線発生器から放射線を
   照射して当該被測定物を透過した放射線量を前記放射線
   検出器で検出することで、前記被測定物の厚みを測定す
   る放射線厚み計と、 前記レーザ式厚み計による厚み測定値に基づいて、前記
   放射線厚み計における厚み測定に用いられる前記被測定
   物の材質補正値を求める手段と、 を備えて成ることを特徴とする板厚測定装置。
4. 【請求項４】 前記請求項３に記載の板厚測定装置にお
   いて、 前記被測定物と同材質の材質補正値をあらかじめ求めて
   おき、当該材質補正値と前記手段により求められた被測
   定物の材質補正値とを比較し、 前記各材質補正値の差が第１の所定値以上の時、あるい
   は前記各材質補正値の比が第２の所定値未満でかつ第３
   の所定値（第２の所定値＜第３の所定値）以上の時に、
   前記被測定物の材質異常の旨を出力する手段を付加した
   ことを特徴とする板厚測定装置。
5. 【請求項５】 前記請求項１または請求項３に記載の板
   厚測定装置において、 前記レーザ式厚み計と前記放射線厚み計とを一体に構成
   したことを特徴とする板厚測定装置。