JPH0861943A - Ｘ線測定装置 - Google Patents
Ｘ線測定装置Info
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- JPH0861943A JPH0861943A JP21784594A JP21784594A JPH0861943A JP H0861943 A JPH0861943 A JP H0861943A JP 21784594 A JP21784594 A JP 21784594A JP 21784594 A JP21784594 A JP 21784594A JP H0861943 A JPH0861943 A JP H0861943A
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- measured
- ray
- measuring head
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 測定ヘッド３の設置箇所に制約を受けたり、
装置コストの上昇を招くことなく、正確な測定結果が得
られるＸ線測定装置を提供する。 【構成】 Ｘ線源４とＸ線検出器５を備えた測定ヘッド
３と、これに装着されて被測定物２までの距離を測定す
る複数の距離計６Ａ，６Ｂと、測定ヘッド３から被測定
物２までの実距離を求める距離算出手段８と、被測定物
２の測定ヘッド３に対する傾斜角を求める傾斜量算出手
段９と、Ｘ線検出器５で検出される二次Ｘ線強度の上記
距離および傾斜角の変動に対する補正量を記憶するメモ
リ１０と、距離算出手段８および傾斜角算出手段９で求
められた距離および傾斜角に基づき、これらに対応した
上記補正量を演算する演算手段１１と、Ｘ線検出器５で
検出された二次Ｘ線強度を上記補正量で補正する補正手
段１３とを備えた。
装置コストの上昇を招くことなく、正確な測定結果が得
られるＸ線測定装置を提供する。 【構成】 Ｘ線源４とＸ線検出器５を備えた測定ヘッド
３と、これに装着されて被測定物２までの距離を測定す
る複数の距離計６Ａ，６Ｂと、測定ヘッド３から被測定
物２までの実距離を求める距離算出手段８と、被測定物
２の測定ヘッド３に対する傾斜角を求める傾斜量算出手
段９と、Ｘ線検出器５で検出される二次Ｘ線強度の上記
距離および傾斜角の変動に対する補正量を記憶するメモ
リ１０と、距離算出手段８および傾斜角算出手段９で求
められた距離および傾斜角に基づき、これらに対応した
上記補正量を演算する演算手段１１と、Ｘ線検出器５で
検出された二次Ｘ線強度を上記補正量で補正する補正手
段１３とを備えた。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、たとえば圧延装置か
ら複数の送りロールを介して移動される金属板の表面に
塗膜を設ける場合で、その厚みを測定するとき、又は、
上記金属板に設けられたメッキの付着量を金属板の移動
状態で測定するような場合に使用されるＸ線測定装置に
関するものである。
ら複数の送りロールを介して移動される金属板の表面に
塗膜を設ける場合で、その厚みを測定するとき、又は、
上記金属板に設けられたメッキの付着量を金属板の移動
状態で測定するような場合に使用されるＸ線測定装置に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、移動状態にある被測定物の厚み
などを測定するときには、被測定物の移動ライン上にＸ
線源とＸ線検出器を備えた測定ヘッドを配置して、この
測定ヘッドのＸ線源から一次Ｘ線を上記被測定物に照射
し、この被測定物から発生する二次Ｘ線強度を上記Ｘ線
検出器で検出し、その検出結果に基づいて上記被測定物
の厚みなどを測定するようにしている。
などを測定するときには、被測定物の移動ライン上にＸ
線源とＸ線検出器を備えた測定ヘッドを配置して、この
測定ヘッドのＸ線源から一次Ｘ線を上記被測定物に照射
し、この被測定物から発生する二次Ｘ線強度を上記Ｘ線
検出器で検出し、その検出結果に基づいて上記被測定物
の厚みなどを測定するようにしている。
【０００３】ところが、上記被測定物を複数の送りロー
ルを介して移動させるときには、これら送りロール間で
上記被測定物のバタ付きが発生し、つまり、この被測定
物が上下方向に移動して、上記測定ヘッドから被測定物
までの距離が変動することがあり、その場合、Ｘ線検出
器で検出される二次Ｘ線強度が変化するので、上記被測
定物の厚みなどを正確には測定できなかった。
ルを介して移動させるときには、これら送りロール間で
上記被測定物のバタ付きが発生し、つまり、この被測定
物が上下方向に移動して、上記測定ヘッドから被測定物
までの距離が変動することがあり、その場合、Ｘ線検出
器で検出される二次Ｘ線強度が変化するので、上記被測
定物の厚みなどを正確には測定できなかった。
【０００４】そこで、従来では、上記測定ヘッドから被
測定物までの距離変動に伴うＸ線強度の変動を補正し
て、測定精度を向上させる方法が提案されている。
測定物までの距離変動に伴うＸ線強度の変動を補正し
て、測定精度を向上させる方法が提案されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記被測定物
の移動時には、この被測定物が自重などにより上記各送
りロール間で撓んだりして、上記被測定物の測定ヘッド
に対する傾斜角度が変動することがあり、この場合従来
の方法では対応できなかった。このため、上記被測定物
の角度変動が発生しにくい送りロールの真上に上記測定
ヘッドを配置したり、また、多数の送りロールを短い間
隔で配置して、上記被測定物の角度変動が起こりにくい
ようにしていた。ところが、このような方法でも、正確
な測定結果が得られないばかりか、上記測定ヘッドの設
置箇所に制約を受けたり、また、多くの送りロールを用
いることにより装置のライン設置コストが高くなる問題
がある。
の移動時には、この被測定物が自重などにより上記各送
りロール間で撓んだりして、上記被測定物の測定ヘッド
に対する傾斜角度が変動することがあり、この場合従来
の方法では対応できなかった。このため、上記被測定物
の角度変動が発生しにくい送りロールの真上に上記測定
ヘッドを配置したり、また、多数の送りロールを短い間
隔で配置して、上記被測定物の角度変動が起こりにくい
ようにしていた。ところが、このような方法でも、正確
な測定結果が得られないばかりか、上記測定ヘッドの設
置箇所に制約を受けたり、また、多くの送りロールを用
いることにより装置のライン設置コストが高くなる問題
がある。
【０００６】この発明は、以上のような問題に鑑みてな
されたもので、その目的は、測定ヘッドの設置箇所に制
約を受けたり、また、装置のライン設置コストの上昇を
招くことがなく、しかも、たとえ被測定物の角度変動が
発生した場合でも、正確な測定結果を得ることができる
Ｘ線測定装置を提供することにある。
されたもので、その目的は、測定ヘッドの設置箇所に制
約を受けたり、また、装置のライン設置コストの上昇を
招くことがなく、しかも、たとえ被測定物の角度変動が
発生した場合でも、正確な測定結果を得ることができる
Ｘ線測定装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、第１発明にかかるＸ線測定装置は、被測定物に一次
Ｘ線を照射するＸ線源と被測定物から発生する二次Ｘ線
を検出するＸ線検出器を備えた測定ヘッドと、この測定
ヘッドに装着されて被測定物までの距離に対応した信号
を出力する複数の距離計と、上記距離計からの信号に基
づいて測定ヘッドから被測定物までの実距離を求める距
離算出手段と、上記距離計からの信号に基づいて被測定
物の上記測定ヘッドに対する傾斜角を求める傾斜量算出
手段と、上記Ｘ線検出器で検出される二次Ｘ線強度の上
記距離および傾斜角の変動に対する補正量を記憶するメ
モリと、上記距離算出手段および傾斜角算出手段で求め
られた距離および傾斜角と上記メモリに記憶された補正
量とに基づいて距離および傾斜角に対応した上記補正量
を演算する演算手段と、上記Ｘ線検出器で検出された二
次Ｘ線強度を上記補正量で補正する補正手段とを備えて
いる。
め、第１発明にかかるＸ線測定装置は、被測定物に一次
Ｘ線を照射するＸ線源と被測定物から発生する二次Ｘ線
を検出するＸ線検出器を備えた測定ヘッドと、この測定
ヘッドに装着されて被測定物までの距離に対応した信号
を出力する複数の距離計と、上記距離計からの信号に基
づいて測定ヘッドから被測定物までの実距離を求める距
離算出手段と、上記距離計からの信号に基づいて被測定
物の上記測定ヘッドに対する傾斜角を求める傾斜量算出
手段と、上記Ｘ線検出器で検出される二次Ｘ線強度の上
記距離および傾斜角の変動に対する補正量を記憶するメ
モリと、上記距離算出手段および傾斜角算出手段で求め
られた距離および傾斜角と上記メモリに記憶された補正
量とに基づいて距離および傾斜角に対応した上記補正量
を演算する演算手段と、上記Ｘ線検出器で検出された二
次Ｘ線強度を上記補正量で補正する補正手段とを備えて
いる。
【０００８】また、第２発明のＸ線測定装置では、被測
定物に一次Ｘ線を照射するＸ線源と被測定物から発生す
る二次Ｘ線を検出するＸ線検出器とを備えた測定ヘッド
と、この測定ヘッドに装着されて被測定物までの距離に
対応した信号を出力する複数の距離計と、上記距離計か
らの信号に基づいて被測定物の上記測定ヘッドに対する
傾斜角を求める傾斜量算出手段と、上記測定ヘッドを回
動させる駆動手段と、上記傾斜角算出手段で求められた
傾斜角に基づき上記駆動手段を作動させて、上記傾斜角
を基準値に設定する制御手段とを備えている。
定物に一次Ｘ線を照射するＸ線源と被測定物から発生す
る二次Ｘ線を検出するＸ線検出器とを備えた測定ヘッド
と、この測定ヘッドに装着されて被測定物までの距離に
対応した信号を出力する複数の距離計と、上記距離計か
らの信号に基づいて被測定物の上記測定ヘッドに対する
傾斜角を求める傾斜量算出手段と、上記測定ヘッドを回
動させる駆動手段と、上記傾斜角算出手段で求められた
傾斜角に基づき上記駆動手段を作動させて、上記傾斜角
を基準値に設定する制御手段とを備えている。
【０００９】
【作用】第１の発明によれば、上記測定ヘッドに設けら
れた各距離計で上記被測定物までの距離に対応した信号
が生成され、その信号に基づいて、上記距離算出手段に
より上記測定ヘッドから被測定物までの実距離が、上記
傾斜量算出手段により上記測定ヘッドに対する被測定物
の傾斜角が、それぞれ求められる。
れた各距離計で上記被測定物までの距離に対応した信号
が生成され、その信号に基づいて、上記距離算出手段に
より上記測定ヘッドから被測定物までの実距離が、上記
傾斜量算出手段により上記測定ヘッドに対する被測定物
の傾斜角が、それぞれ求められる。
【００１０】そして、上記距離算出手段および傾斜角算
出手段で求められた実距離および傾斜角と、上記メモリ
により記憶された上記Ｘ線検出器で検出される二次Ｘ線
強度の上記距離および傾斜角の変動に対する補正量と
が、上記演算手段に入力されて、この演算手段により上
記各算出手段で求められた実距離および傾斜角に対応し
た補正量が演算される。
出手段で求められた実距離および傾斜角と、上記メモリ
により記憶された上記Ｘ線検出器で検出される二次Ｘ線
強度の上記距離および傾斜角の変動に対する補正量と
が、上記演算手段に入力されて、この演算手段により上
記各算出手段で求められた実距離および傾斜角に対応し
た補正量が演算される。
【００１１】また、上記演算手段による補正量が上記補
正手段に入力されて、この補正手段により上記Ｘ線検出
器で検出された二次Ｘ線強度が上記補正量で補正され、
この補正量で補正された補正値が測定結果として取出さ
れる。従って、上記被測定物と測定ヘッドの間に距離変
動が発生したとき、また、この測定ヘッドに対する被測
定物の角度変動が発生した何れの場合でも、これら距離
および角度変動による測定誤差を補正して、正確な測定
結果が得られる。
正手段に入力されて、この補正手段により上記Ｘ線検出
器で検出された二次Ｘ線強度が上記補正量で補正され、
この補正量で補正された補正値が測定結果として取出さ
れる。従って、上記被測定物と測定ヘッドの間に距離変
動が発生したとき、また、この測定ヘッドに対する被測
定物の角度変動が発生した何れの場合でも、これら距離
および角度変動による測定誤差を補正して、正確な測定
結果が得られる。
【００１２】また、第２の発明は、第１発明の場合とは
異なり、上記Ｘ線検出器で検出された二次Ｘ線強度を上
記補正手段を用いて補正するのではなく、上記傾斜量傾
斜手段で求められた傾斜角に基づいて測定ヘッドの方を
回動させ、上記測定ヘッドの傾斜角が所定基準値となる
ように直接調整する。
異なり、上記Ｘ線検出器で検出された二次Ｘ線強度を上
記補正手段を用いて補正するのではなく、上記傾斜量傾
斜手段で求められた傾斜角に基づいて測定ヘッドの方を
回動させ、上記測定ヘッドの傾斜角が所定基準値となる
ように直接調整する。
【００１３】即ち、第２発明の場合には、上記測定ヘッ
ドに設けられた各距離計で上記被測定物までの距離に対
応した信号が生成され、その信号に基づき上記傾斜量算
出手段により上記測定ヘッドに対する被測定物の傾斜角
が求められる。
ドに設けられた各距離計で上記被測定物までの距離に対
応した信号が生成され、その信号に基づき上記傾斜量算
出手段により上記測定ヘッドに対する被測定物の傾斜角
が求められる。
【００１４】そして、上記傾斜量算出手段で求められた
傾斜角に基づき、上記制御手段により上記駆動手段が作
動され、この駆動手段を介して上記測定ヘッドの傾斜角
が所定基準値となるように回動調整される。従って、上
記測定ヘッドに対する被測定物の角度変動が発生したと
き、この角度変動を調整することにより正確な測定結果
が得られる。
傾斜角に基づき、上記制御手段により上記駆動手段が作
動され、この駆動手段を介して上記測定ヘッドの傾斜角
が所定基準値となるように回動調整される。従って、上
記測定ヘッドに対する被測定物の角度変動が発生したと
き、この角度変動を調整することにより正確な測定結果
が得られる。
【００１５】
【実施例】以下、第１発明にかかるＸ線測定装置につい
て説明する。図２は、複数の送りロール１を介して移動
される被測定物２の上部側にＸ線測定装置を構成する測
定ヘッド３を配置して、上記被測定物２の厚みなどを測
定する場合の実施例を示している。そして、上記測定ヘ
ッド３の内部には、上記被測定物２にロジウムＬα線の
ような一次Ｘ線を照射するＸ線源４と、このＸ線源４か
らのＸ線照射により上記被測定物２から発生するコンプ
トン散乱線のような二次Ｘ線強度を検出するＸ線検出器
５を設ける。
て説明する。図２は、複数の送りロール１を介して移動
される被測定物２の上部側にＸ線測定装置を構成する測
定ヘッド３を配置して、上記被測定物２の厚みなどを測
定する場合の実施例を示している。そして、上記測定ヘ
ッド３の内部には、上記被測定物２にロジウムＬα線の
ような一次Ｘ線を照射するＸ線源４と、このＸ線源４か
らのＸ線照射により上記被測定物２から発生するコンプ
トン散乱線のような二次Ｘ線強度を検出するＸ線検出器
５を設ける。
【００１６】また、上記測定ヘッド３の両側壁で、上記
Ｘ線源４およびＸ線検出器５による被測定物２の測定中
心Ａに対してその前後に、それぞれ第１および第２レー
ザ距離計６Ａ，６Ｂを取付けて、その各レーザ発振位置
から各距離計６Ａ，６Ｂと対向する上記被測定物２まで
の距離Ｄ1 ，Ｄ2 を測定する。なお、同実施例では、２
つの距離計６Ａ，６Ｂを設けているが、これ以上の距離
計を用いることも可能であり、たとえば二次元的な傾斜
が発生するときには、３個の距離計が使用される。
Ｘ線源４およびＸ線検出器５による被測定物２の測定中
心Ａに対してその前後に、それぞれ第１および第２レー
ザ距離計６Ａ，６Ｂを取付けて、その各レーザ発振位置
から各距離計６Ａ，６Ｂと対向する上記被測定物２まで
の距離Ｄ1 ，Ｄ2 を測定する。なお、同実施例では、２
つの距離計６Ａ，６Ｂを設けているが、これ以上の距離
計を用いることも可能であり、たとえば二次元的な傾斜
が発生するときには、３個の距離計が使用される。
【００１７】そして、上記測定ヘッド３内のＸ線検出器
５に処理回路７を接続する。この処理回路７は、図１で
示すように、上記各距離計６Ａ，６Ｂから出力される測
定距離Ｄ1 ，Ｄ2 に対応した信号に基づき上記測定ヘッ
ド３から被測定物２までの距離ｄ1 ，ｄ2 を算出し、こ
の算出結果に基づき上記測定ヘッド３と被測定物２間の
測定中心Ａに対する実距離ｄA を算出する距離算出手段
８と、上記距離ｄ1 ，ｄ2 に基づき上記被測定物２の上
記測定ヘッド３に対する傾斜角θA を算出する傾斜量算
出手段９を備えている。
５に処理回路７を接続する。この処理回路７は、図１で
示すように、上記各距離計６Ａ，６Ｂから出力される測
定距離Ｄ1 ，Ｄ2 に対応した信号に基づき上記測定ヘッ
ド３から被測定物２までの距離ｄ1 ，ｄ2 を算出し、こ
の算出結果に基づき上記測定ヘッド３と被測定物２間の
測定中心Ａに対する実距離ｄA を算出する距離算出手段
８と、上記距離ｄ1 ，ｄ2 に基づき上記被測定物２の上
記測定ヘッド３に対する傾斜角θA を算出する傾斜量算
出手段９を備えている。
【００１８】また、上記処理回路７には、上記Ｘ線検出
器５で検出される二次Ｘ線強度の上記実距離ｄA および
傾斜角θA の変動に対する補正量が記憶されたメモリ１
０と、上記距離算出手段８および傾斜角算出手段９で算
出された実距離ｄA および傾斜角θA に基づき、これら
に対応して上記メモリ１０に記憶された補正量を演算す
る演算手段１１と、上記Ｘ線検出器５で検出された二次
Ｘ線強度を検知するＸ線強度検知手段１２と、この検知
手段１２で検知されるＸ線強度を上記補正量で補正する
補正手段１３とを備えている。なお、上記Ｘ線強度検知
手段１２は、二次Ｘ線を計数するための波高値分析回路
や計数回路などを備えている。
器５で検出される二次Ｘ線強度の上記実距離ｄA および
傾斜角θA の変動に対する補正量が記憶されたメモリ１
０と、上記距離算出手段８および傾斜角算出手段９で算
出された実距離ｄA および傾斜角θA に基づき、これら
に対応して上記メモリ１０に記憶された補正量を演算す
る演算手段１１と、上記Ｘ線検出器５で検出された二次
Ｘ線強度を検知するＸ線強度検知手段１２と、この検知
手段１２で検知されるＸ線強度を上記補正量で補正する
補正手段１３とを備えている。なお、上記Ｘ線強度検知
手段１２は、二次Ｘ線を計数するための波高値分析回路
や計数回路などを備えている。
【００１９】次に、以上のＸ線測定装置による作用につ
いて説明する。図２の送りロール１上を移動する被測定
物２の厚みなどを測定する場合には、先ず、上記測定ヘ
ッド３に設けられた第１，第２距離計６Ａ，６Ｂで上記
被測定物２までの距離Ｄ1 ，Ｄ2 に対応した信号が生成
される。これら信号に基づき上記処理回路７に備えた距
離算出手段８により、上記測定ヘッド３から被測定物２
までの距離ｄ1 ，ｄ2 が算出され、この算出結果に基づ
き上記測定ヘッド３および被測定物２の測定中心Ａに対
する実距離ｄA が算出され、また、上記距離ｄ1，ｄ2
に基づき、上記傾斜量算出手段９により上記測定ヘッド
３に対する被測定物２の傾斜角θA が算出される。
いて説明する。図２の送りロール１上を移動する被測定
物２の厚みなどを測定する場合には、先ず、上記測定ヘ
ッド３に設けられた第１，第２距離計６Ａ，６Ｂで上記
被測定物２までの距離Ｄ1 ，Ｄ2 に対応した信号が生成
される。これら信号に基づき上記処理回路７に備えた距
離算出手段８により、上記測定ヘッド３から被測定物２
までの距離ｄ1 ，ｄ2 が算出され、この算出結果に基づ
き上記測定ヘッド３および被測定物２の測定中心Ａに対
する実距離ｄA が算出され、また、上記距離ｄ1，ｄ2
に基づき、上記傾斜量算出手段９により上記測定ヘッド
３に対する被測定物２の傾斜角θA が算出される。
【００２０】上記距離ｄ1 ，ｄ2 は、上記距離計６Ａ，
６Ｂで測定される各距離Ｄ1 ，Ｄ2から、これら各距離
計６Ａ，６Ｂの下端と上記測定ヘッド３の下端までの距
離Ｍを差し引くことにより算出される。
６Ｂで測定される各距離Ｄ1 ，Ｄ2から、これら各距離
計６Ａ，６Ｂの下端と上記測定ヘッド３の下端までの距
離Ｍを差し引くことにより算出される。
【００２１】また、上記実距離ｄA は、次の計算式によ
って求められる。 ｄA ＝（ｄ1 Ｌ2 ＋ｄ2 Ｌ1 ）／（Ｌ1 ＋Ｌ2 ）……（１） ここで、Ｌ1 ，Ｌ2 は、両距離計６Ａ，６Ｂの設置位置
を結んだ基準線Ｓに沿って、各距離計６Ａ，６Ｂのそれ
ぞれから測定中心Ａまでの距離である。
って求められる。 ｄA ＝（ｄ1 Ｌ2 ＋ｄ2 Ｌ1 ）／（Ｌ1 ＋Ｌ2 ）……（１） ここで、Ｌ1 ，Ｌ2 は、両距離計６Ａ，６Ｂの設置位置
を結んだ基準線Ｓに沿って、各距離計６Ａ，６Ｂのそれ
ぞれから測定中心Ａまでの距離である。
【００２２】さらに、上記傾斜角θA は、次の計算式に
よって求められる。 θA ＝ｔａｎ-1［（ｄ1 −ｄ2 ）／Ｌ］……（２） ここで、Ｌ＝Ｌ1 ＋Ｌ2 である。また、θA は測定ヘッ
ド３の水平軸、つまり両距離計６Ａ，６Ｂの設置位置を
結んだ基準線Ｓからの傾斜角度である。
よって求められる。 θA ＝ｔａｎ-1［（ｄ1 −ｄ2 ）／Ｌ］……（２） ここで、Ｌ＝Ｌ1 ＋Ｌ2 である。また、θA は測定ヘッ
ド３の水平軸、つまり両距離計６Ａ，６Ｂの設置位置を
結んだ基準線Ｓからの傾斜角度である。
【００２３】また、上記メモリ１０においては、上記Ｘ
線検出器５で検出される二次Ｘ線強度の上記実距離ｄA
および傾斜角θA の変動に対する補正量が記憶される。
線検出器５で検出される二次Ｘ線強度の上記実距離ｄA
および傾斜角θA の変動に対する補正量が記憶される。
【００２４】図３は、縦軸に、上記Ｘ線検出器５による
二次Ｘ線測定値を実距離ｄA が基準値ｄA0である場合の
二次Ｘ線測定値によって除して無次元化した値を、横軸
に、上記被測定物２までの距離の変化量Δｄ、つまり、
実距離ｄA の基準値ｄA0からの変化量Δｄ（＝ｄA −ｄ
A0）をとったグラフを示しており、この実距離の変化量
に対する上記二次Ｘ線測定値の変化量は、二次関数とな
って、次のように表される。 ｙ＝ｆ（Δｄ）……（３）
二次Ｘ線測定値を実距離ｄA が基準値ｄA0である場合の
二次Ｘ線測定値によって除して無次元化した値を、横軸
に、上記被測定物２までの距離の変化量Δｄ、つまり、
実距離ｄA の基準値ｄA0からの変化量Δｄ（＝ｄA −ｄ
A0）をとったグラフを示しており、この実距離の変化量
に対する上記二次Ｘ線測定値の変化量は、二次関数とな
って、次のように表される。 ｙ＝ｆ（Δｄ）……（３）
【００２５】また、図４は、縦軸に、上記Ｘ線検出器５
による二次Ｘ線測定値を傾斜角θAが零度（基準値）で
ある場合の二次Ｘ線測定値によって除して無次元化した
値を、横軸に上記被測定物２の傾斜角θA をとったグラ
フを示しており、この傾斜角θA に対する上記二次Ｘ線
測定値の変化量は、一次関数となって、次のように表さ
れる。 Ｙ＝ｇ（θ）……（４）
による二次Ｘ線測定値を傾斜角θAが零度（基準値）で
ある場合の二次Ｘ線測定値によって除して無次元化した
値を、横軸に上記被測定物２の傾斜角θA をとったグラ
フを示しており、この傾斜角θA に対する上記二次Ｘ線
測定値の変化量は、一次関数となって、次のように表さ
れる。 Ｙ＝ｇ（θ）……（４）
【００２６】二次Ｘ線の測定値、つまりＸ線検出器への
入射量が被測定物２の傾斜角度により変動する理由はつ
ぎのとおりである。すなわち、図２のＸ線源４からの一
次Ｘ線は一定の幅を持った光束であり、通常は被測定物
２に対して９０°以外の斜めの角度で照射される。した
がって、Ｘ線源４からの被測定物２までの光路長および
被測定物２から検出器５までの光路長が、被測定物２の
傾斜角度の変化により変動する。その結果、検出器５に
入射する二次Ｘ線の量が変動する。
入射量が被測定物２の傾斜角度により変動する理由はつ
ぎのとおりである。すなわち、図２のＸ線源４からの一
次Ｘ線は一定の幅を持った光束であり、通常は被測定物
２に対して９０°以外の斜めの角度で照射される。した
がって、Ｘ線源４からの被測定物２までの光路長および
被測定物２から検出器５までの光路長が、被測定物２の
傾斜角度の変化により変動する。その結果、検出器５に
入射する二次Ｘ線の量が変動する。
【００２７】上記（３），（４）が、上記Ｘ線検出器５
で検出される二次Ｘ線強度の上記実距離ｄA および傾斜
角θA の変動に対する補正式として、予め上記メモリ１
０に記憶される。
で検出される二次Ｘ線強度の上記実距離ｄA および傾斜
角θA の変動に対する補正式として、予め上記メモリ１
０に記憶される。
【００２８】そして、上記メモリ１０に記憶された上記
各補正式（３）（４）と、上記実距離ｄA および傾斜角
θA とが上記演算手段１１に入力され、この演算回路１
１で、上記実距離ｄA の変化量Δｄおよび傾斜角θA に
対応した補正量が演算される。
各補正式（３）（４）と、上記実距離ｄA および傾斜角
θA とが上記演算手段１１に入力され、この演算回路１
１で、上記実距離ｄA の変化量Δｄおよび傾斜角θA に
対応した補正量が演算される。
【００２９】つまり、上記実距離ｄA から得られた変化
量Δｄ＝ｄA −ｄA0を上記式（３）に代入することによ
り、次式に示すように、上記実距離ｄA に対応した補正
量ｙが求められる。 ｙ＝ｆ（ｄA ）……（５）
量Δｄ＝ｄA −ｄA0を上記式（３）に代入することによ
り、次式に示すように、上記実距離ｄA に対応した補正
量ｙが求められる。 ｙ＝ｆ（ｄA ）……（５）
【００３０】また、上記傾斜角θA を上記式（４）に代
入することにより、次式に示すように、上記傾斜角θA
に対応する補正量Ｙが求められる。 Ｙ＝ｇ（θA ）……（６）
入することにより、次式に示すように、上記傾斜角θA
に対応する補正量Ｙが求められる。 Ｙ＝ｇ（θA ）……（６）
【００３１】そして、上記演算手段１１による上記各補
正量が、上記Ｘ線強度検知手段１２により検知された二
次Ｘ線強度ととともに、上記補正手段１３に入力され
て、この補正手段１３により上記Ｘ線強度検知器１２で
検知された二次Ｘ線強度が上記各式（５）（６）の補正
量に基づいて補正される。
正量が、上記Ｘ線強度検知手段１２により検知された二
次Ｘ線強度ととともに、上記補正手段１３に入力され
て、この補正手段１３により上記Ｘ線強度検知器１２で
検知された二次Ｘ線強度が上記各式（５）（６）の補正
量に基づいて補正される。
【００３２】つまり、上記Ｘ線強度検知器１２で検知さ
れた二次Ｘ線強度をＩ0 とし、その補正済強度をＩとし
たときには、次式で示すように、 Ｉ＝Ｉ0 ×ｆ（ｄA ）×ｇ（θA ）……（７） が求められ、この式により上記補正済強度Ｉが算出され
て、この補正済強度Ｉが測定結果として上記処理回路７
から出力され、プリンタのような出力手段１５に入力さ
れて表示される。
れた二次Ｘ線強度をＩ0 とし、その補正済強度をＩとし
たときには、次式で示すように、 Ｉ＝Ｉ0 ×ｆ（ｄA ）×ｇ（θA ）……（７） が求められ、この式により上記補正済強度Ｉが算出され
て、この補正済強度Ｉが測定結果として上記処理回路７
から出力され、プリンタのような出力手段１５に入力さ
れて表示される。
【００３３】次に、具体的な測定試験を行った結果につ
いて説明する。亜鉛メッキ付着量測定器を用いて、下記
の表１，表２に示すように、距離変動（ｍｍ）に対する
Ｘ線測定誤差（Ｘ線強度変化％）と、傾斜量変動（角
度）に対するＸ線測定誤差とを測定したところ、以下の
結果が得られた。
いて説明する。亜鉛メッキ付着量測定器を用いて、下記
の表１，表２に示すように、距離変動（ｍｍ）に対する
Ｘ線測定誤差（Ｘ線強度変化％）と、傾斜量変動（角
度）に対するＸ線測定誤差とを測定したところ、以下の
結果が得られた。
【００３４】
【表１】
【００３５】
【表２】
【００３６】なお、上記各表１，２は、補正を行なわな
い場合のデータである。
い場合のデータである。
【００３７】以上の各表１，２に示すデータでは、距離
変動や傾斜量変動に対応して大きなＸ線測定誤差が発生
したのに対し、第１発明による補正を行った結果、上記
各表に示した距離変動や傾斜量変動のデータに対し、そ
の何れの場合でもＸ線測定誤差が±０．２％以下となっ
た。このことから、上記被測定物２と測定ヘッド３の間
に距離変動が発生し、また、この測定ヘッド３に対する
被測定物２の角度変動が発生した何れの場合でも、正確
な測定結果が得られることが理解できる。
変動や傾斜量変動に対応して大きなＸ線測定誤差が発生
したのに対し、第１発明による補正を行った結果、上記
各表に示した距離変動や傾斜量変動のデータに対し、そ
の何れの場合でもＸ線測定誤差が±０．２％以下となっ
た。このことから、上記被測定物２と測定ヘッド３の間
に距離変動が発生し、また、この測定ヘッド３に対する
被測定物２の角度変動が発生した何れの場合でも、正確
な測定結果が得られることが理解できる。
【００３８】次に、第２発明にかかるＸ線測定装置を、
図５に基づいて説明する。同図においては、第１発明の
場合と同様に、測定ヘッド３にＸ線源４とＸ線検出器５
を内装するとともに、この測定ヘッド３の両側壁で測定
中心Ａに対し等距離位置に、それぞれ第１および第２距
離計６Ａ，６Ｂを取付けている。
図５に基づいて説明する。同図においては、第１発明の
場合と同様に、測定ヘッド３にＸ線源４とＸ線検出器５
を内装するとともに、この測定ヘッド３の両側壁で測定
中心Ａに対し等距離位置に、それぞれ第１および第２距
離計６Ａ，６Ｂを取付けている。
【００３９】そして、上記測定ヘッド３に、これを矢印
２０方向に回動させるステップモータのような駆動手段
２１を連結するとともに、この駆動手段２１を作動させ
る制御手段２２を設ける。また、この制御手段２２に
は、上記各距離計６Ａ，６Ｂによる測定距離に基づいて
被測定物２の傾斜角θA を算出する傾斜量算出手段９を
設ける。
２０方向に回動させるステップモータのような駆動手段
２１を連結するとともに、この駆動手段２１を作動させ
る制御手段２２を設ける。また、この制御手段２２に
は、上記各距離計６Ａ，６Ｂによる測定距離に基づいて
被測定物２の傾斜角θA を算出する傾斜量算出手段９を
設ける。
【００４０】次に、以上のＸ線測定装置による作用につ
いて説明する。先ず、第１発明の場合と同様に、上記測
定ヘッド３に設けられた第１，第２距離計６Ａ，６Ｂで
上記被測定物２までの距離Ｄ1 ，Ｄ2 がそれぞれ測定さ
れ、これら各測定距離Ｄ1 ，Ｄ2 に基づき上記制御手段
２２に備えた傾斜量算出手段９により、上記測定ヘッド
３に対する被測定物２の傾斜角θA が算出される。この
とき傾斜角は、θA ＝ｔａｎ-1［（Ｄ1 −Ｄ2 ）／Ｌ］
の式で求められる。
いて説明する。先ず、第１発明の場合と同様に、上記測
定ヘッド３に設けられた第１，第２距離計６Ａ，６Ｂで
上記被測定物２までの距離Ｄ1 ，Ｄ2 がそれぞれ測定さ
れ、これら各測定距離Ｄ1 ，Ｄ2 に基づき上記制御手段
２２に備えた傾斜量算出手段９により、上記測定ヘッド
３に対する被測定物２の傾斜角θA が算出される。この
とき傾斜角は、θA ＝ｔａｎ-1［（Ｄ1 −Ｄ2 ）／Ｌ］
の式で求められる。
【００４１】そして、上記傾斜角算出手段９で算出され
た傾斜角θA に基づき上記制御手段２２から駆動手段２
１に制御信号が出力され、この駆動手段２１が作動し
て、上記測定ヘッド３の傾斜角θA が所定の基準値とな
るように回動調整される。この基準値は、通常、上記被
測定物２に対する測定ヘッド３の傾斜角がゼロとなるよ
うに、つまり、被測定物２と、距離計６Ａ，６Ｂの設置
位置を結んだ基準線Ｓとが平行になるように設定され
る。また、場合によっては、ゼロ以外の所定角度に設定
されることもある。
た傾斜角θA に基づき上記制御手段２２から駆動手段２
１に制御信号が出力され、この駆動手段２１が作動し
て、上記測定ヘッド３の傾斜角θA が所定の基準値とな
るように回動調整される。この基準値は、通常、上記被
測定物２に対する測定ヘッド３の傾斜角がゼロとなるよ
うに、つまり、被測定物２と、距離計６Ａ，６Ｂの設置
位置を結んだ基準線Ｓとが平行になるように設定され
る。また、場合によっては、ゼロ以外の所定角度に設定
されることもある。
【００４２】
【発明の効果】以上のように第１発明によれば、測定ヘ
ッドの設置箇所に制約を受けたり、また、装置のライン
設置コストの上昇を招くことなく、被測定物と測定ヘッ
ドの間に距離変動が発生したとき、また、この測定ヘッ
ドに対する被測定物の角度変動が発生した何れの場合で
も、これら距離および角度変動による測定誤差を補正し
て、正確な測定結果が得ることができる。
ッドの設置箇所に制約を受けたり、また、装置のライン
設置コストの上昇を招くことなく、被測定物と測定ヘッ
ドの間に距離変動が発生したとき、また、この測定ヘッ
ドに対する被測定物の角度変動が発生した何れの場合で
も、これら距離および角度変動による測定誤差を補正し
て、正確な測定結果が得ることができる。
【００４３】また、第２発明によれば、上記測定ヘッド
に対する被測定物の角度変動が発生したとき、この角度
変動を調整することができるため、正確な測定結果を得
ることができる。この場合にも、第１発明の場合と同様
に、上記測定ヘッドの設置箇所に制約を受けたり、ま
た、装置のライン設置コストの上昇を招くことはない。
に対する被測定物の角度変動が発生したとき、この角度
変動を調整することができるため、正確な測定結果を得
ることができる。この場合にも、第１発明の場合と同様
に、上記測定ヘッドの設置箇所に制約を受けたり、ま
た、装置のライン設置コストの上昇を招くことはない。
【図１】第１発明にかかるＸ線測定装置のブロック図で
ある。
ある。
【図２】同Ｘ線測定装置の全体構造を簡略的に示す側面
図である。
図である。
【図３】被測定物の距離変化量に対する二次Ｘ線測定値
の変化量を示すグラフである。
の変化量を示すグラフである。
【図４】被測定物の傾斜量に対する二次Ｘ線測定値の変
化量を示すグラフである。
化量を示すグラフである。
【図５】第２発明にかかるＸ線測定装置の全体構造を簡
略的に示す側面図である。
略的に示す側面図である。
【符号の説明】 ２…被測定物、３…測定ヘッド、４…Ｘ線源、５…Ｘ線
検出器、６Ａ，６Ｂ…距離計、８…距離算出手段、９…
傾斜量検出手段、１０…メモリ、１１…演算手段、１３
…補正手段、２１…駆動手段、２２…制御手段、ｄA …
実距離。
検出器、６Ａ，６Ｂ…距離計、８…距離算出手段、９…
傾斜量検出手段、１０…メモリ、１１…演算手段、１３
…補正手段、２１…駆動手段、２２…制御手段、ｄA …
実距離。
フロントページの続き (72)発明者 柴田 誠也 大阪府高槻市赤大路町14番８号 理学電機 工業株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 被測定物に一次Ｘ線を照射するＸ線源と
被測定物から発生する二次Ｘ線を検出するＸ線検出器を
備えた測定ヘッドと、 上記測定ヘッドに装着されて被測定物までの距離に対応
した信号を出力する複数の距離計と、 上記距離計からの信号に基づいて上記測定ヘッドから被
測定物までの実距離を求める距離算出手段と、 上記距離計からの信号に基づいて上記被測定物の測定ヘ
ッドに対する傾斜角を求める傾斜量算出手段と、 上記Ｘ線検出器で検出される二次Ｘ線強度の上記実距離
および傾斜角の変動に対する補正量を記憶するメモリ
と、 上記距離算出手段および傾斜角算出手段で求められた実
距離および傾斜角と上記メモリに記憶された補正量とに
基づいて、実距離および傾斜角に対応した上記補正量を
演算する演算手段と、 上記Ｘ線検出器で検出された二次Ｘ線強度を上記補正量
で補正する補正手段とを備えてなるＸ線測定装置。 - 【請求項２】 被測定物に一次Ｘ線を照射するＸ線源と
被測定物から発生する二次Ｘ線を検出するＸ線検出器を
備えた測定ヘッドと、 上記測定ヘッドに装着されて被測定物までの距離に対応
した信号を出力する複数の距離計と、 上記距離計からの信号に基づいて上記被測定物の測定ヘ
ッドに対する傾斜角を求める傾斜量算出手段と、 上記測定ヘッドを回動させる駆動手段と、 上記傾斜角算出手段で求められた傾斜角に基づき上記駆
動手段を作動させて、上記傾斜角を基準値に設定する制
御手段とを備えてなるＸ線測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21784594A JPH0861943A (ja) | 1994-08-19 | 1994-08-19 | Ｘ線測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21784594A JPH0861943A (ja) | 1994-08-19 | 1994-08-19 | Ｘ線測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0861943A true JPH0861943A (ja) | 1996-03-08 |
Family
ID=16710667
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21784594A Withdrawn JPH0861943A (ja) | 1994-08-19 | 1994-08-19 | Ｘ線測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0861943A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001304844A (ja) * | 2000-03-17 | 2001-10-31 | Helmut Fischer Gmbh & Co Inst Fuer Elektronik & Messtechnik | Ｘ線蛍光による層厚測定において測定対象の位置を設定する方法 |
| JP2002213935A (ja) * | 2001-01-15 | 2002-07-31 | Murata Mfg Co Ltd | 膜厚測定方法 |
-
1994
- 1994-08-19 JP JP21784594A patent/JPH0861943A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001304844A (ja) * | 2000-03-17 | 2001-10-31 | Helmut Fischer Gmbh & Co Inst Fuer Elektronik & Messtechnik | Ｘ線蛍光による層厚測定において測定対象の位置を設定する方法 |
| JP2002213935A (ja) * | 2001-01-15 | 2002-07-31 | Murata Mfg Co Ltd | 膜厚測定方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20011106 |