JPS60230008A - 放射線厚さ計 - Google Patents
放射線厚さ計Info
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- JPS60230008A JPS60230008A JP8638084A JP8638084A JPS60230008A JP S60230008 A JPS60230008 A JP S60230008A JP 8638084 A JP8638084 A JP 8638084A JP 8638084 A JP8638084 A JP 8638084A JP S60230008 A JPS60230008 A JP S60230008A
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- Japan
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- radiation
- measured
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- channel
- ray
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B15/00—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons
- G01B15/02—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons for measuring thickness
- G01B15/025—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons for measuring thickness by measuring absorption
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- Electromagnetism (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、鋼板等の被測定物の断面形状を測定する放射
ｌｌＡ厚さ計の改良に関する。
ｌｌＡ厚さ計の改良に関する。
圧延工程に流れる鋼板等の被測定物の冷間圧延コイルＣ
の断面形状（プロフィール）は、圧延工程において例え
ばコイルを巻くうえに度合の良いように第１図に示す如
くクラウン形状となってぃる。よって、圧延工程を円滑
に動かすために被測定物のクラウン形状を正確に測定す
ることが要求されている。
の断面形状（プロフィール）は、圧延工程において例え
ばコイルを巻くうえに度合の良いように第１図に示す如
くクラウン形状となってぃる。よって、圧延工程を円滑
に動かすために被測定物のクラウン形状を正確に測定す
ることが要求されている。
第２図は、クラウン形状を測定するための従来のＸ線厚
さ計の構成図である。このＸ線厚さ計には、高速で走行
する鋼板等の被測定物１の中央部１ａに固定設置された
ｘｌ！発生器２およびＸ線検出器３から構成される検出
部４と、この検出部４に隣接して設けられ被測定物１の
幅方向の走査を行なうＸ線発生器５およびＸａ検出器６
から構成される検出部７とが備えられ、これら検出部４
゜７の厚み検出動作はそれぞれ制御部８，９により制御
されている。これら制御部８，９の制御により各検出部
４，７から出力された各厚み検出信号は、制御部８．９
を介してプロフィール演算部１０に送られ、このプロフ
ィール演算部１０により入力した各厚み検出信号の差か
ら被測定物１の断１ 面形状が演算しめられる。このめ
られた断面形状はパターン化されて表示部１１に表示さ
れる。
さ計の構成図である。このＸ線厚さ計には、高速で走行
する鋼板等の被測定物１の中央部１ａに固定設置された
ｘｌ！発生器２およびＸ線検出器３から構成される検出
部４と、この検出部４に隣接して設けられ被測定物１の
幅方向の走査を行なうＸ線発生器５およびＸａ検出器６
から構成される検出部７とが備えられ、これら検出部４
゜７の厚み検出動作はそれぞれ制御部８，９により制御
されている。これら制御部８，９の制御により各検出部
４，７から出力された各厚み検出信号は、制御部８．９
を介してプロフィール演算部１０に送られ、このプロフ
ィール演算部１０により入力した各厚み検出信号の差か
ら被測定物１の断１ 面形状が演算しめられる。このめ
られた断面形状はパターン化されて表示部１１に表示さ
れる。
以上のような厚さ計では、被測定物１が高速で矢印（イ
）方向に走行している状態に検出部７が矢印（ロ）に走
゛行して断面形状が測定される。このため、検出部７が
走査した部分は第２図に示す（ハ）部分となる。しかし
て、実際に測定された断面形状は被測定物１の幅方向に
対して傾斜した部分のものであるという問題がある。そ
して、この走査のために検出部７を機械的に走行させな
げればならず、また、１回の断面形状測定に１分近くの
時間がかかってしまう。
）方向に走行している状態に検出部７が矢印（ロ）に走
゛行して断面形状が測定される。このため、検出部７が
走査した部分は第２図に示す（ハ）部分となる。しかし
て、実際に測定された断面形状は被測定物１の幅方向に
対して傾斜した部分のものであるという問題がある。そ
して、この走査のために検出部７を機械的に走行させな
げればならず、また、１回の断面形状測定に１分近くの
時間がかかってしまう。
さらに、２台の検出部４．７を用いているので、これら
検出部４，７間の距離を補正して断面形状をめなければ
ならない。
検出部４，７間の距離を補正して断面形状をめなければ
ならない。
本発明は上記実情に基づいてなされたもの、で、その目
的とするところは、被測定物の幅方向の断面形状を機械
的な走査なしに測定し得る放射線厚さ計を提供すること
にある。 （ 〔発明の概要〕 本発明は、鋼板等の被測定物の幅方向に放射線発生器か
ら放射線を所定の角度をもって放射し、前記被測定物を
通過した放射線の検出を次のような手段、つまり前記放
射線発生器に対向して設けられ前記被測定物の中央１部
に対応する部分に比較的大きな放射線入射面積をもった
放射線検出体が配置されるとともに、前記被測定物の両
端部に対応する部分に比較的小さな放射線入射面積をも
った放射線検出体が配置された多チヤンネル放射線検出
手段により行ない、この多チヤンネル放射線検出手段か
ら出力された検出信号に基づいて前記被測定物の断面形
状をめるようにした放射線厚さ計である。
的とするところは、被測定物の幅方向の断面形状を機械
的な走査なしに測定し得る放射線厚さ計を提供すること
にある。 （ 〔発明の概要〕 本発明は、鋼板等の被測定物の幅方向に放射線発生器か
ら放射線を所定の角度をもって放射し、前記被測定物を
通過した放射線の検出を次のような手段、つまり前記放
射線発生器に対向して設けられ前記被測定物の中央１部
に対応する部分に比較的大きな放射線入射面積をもった
放射線検出体が配置されるとともに、前記被測定物の両
端部に対応する部分に比較的小さな放射線入射面積をも
った放射線検出体が配置された多チヤンネル放射線検出
手段により行ない、この多チヤンネル放射線検出手段か
ら出力された検出信号に基づいて前記被測定物の断面形
状をめるようにした放射線厚さ計である。
以下、本発明に係る放射線厚さ計の一実施例をＸ線厚さ
計に適用した場合について第３図を参照して説明する。
計に適用した場合について第３図を参照して説明する。
第３図はＸ線厚さ計の構成図である。同区において２０
はコテ形をしたフレーム（以下、Ｃフレームと称す）で
あって、このＣフレーム２０の下部フレーム２０ａには
Ｘ線発生器２１が設けられ、上部フレーム２０ｂにはＸ
ｗＡ発生器２１と対向する位置に多チヤンネルＸ線検出
器２２が設けられている。なお、このＣフレーム２０は
、下部フレーム２０ａと上部フレーム２０ｂ、との間つ
まりＸ線発生器２１と多チヤンネルＸ線検出器２２との
間に鋼板等の被測定物Ｓが走行するように設置される。
はコテ形をしたフレーム（以下、Ｃフレームと称す）で
あって、このＣフレーム２０の下部フレーム２０ａには
Ｘ線発生器２１が設けられ、上部フレーム２０ｂにはＸ
ｗＡ発生器２１と対向する位置に多チヤンネルＸ線検出
器２２が設けられている。なお、このＣフレーム２０は
、下部フレーム２０ａと上部フレーム２０ｂ、との間つ
まりＸ線発生器２１と多チヤンネルＸ線検出器２２との
間に鋼板等の被測定物Ｓが走行するように設置される。
そこで、Ｘ線発生器２１は、被測定物Ｓの幅方向に被測
定物Ｓを含む如く所定の角度をもってＸ線２１ａを放射
するものである。Ｋは基準板であって、被測定物Ｓの測
定時には取り外される。
定物Ｓを含む如く所定の角度をもってＸ線２１ａを放射
するものである。Ｋは基準板であって、被測定物Ｓの測
定時には取り外される。
さて、多チヤンネルＸ線検出器２２は、電離箱型検出器
２２−１〜２２−ｎを複数被測定物Ｓの幅方向に配列し
て構成されるもので、これら電離箱型検出器２２−１〜
２２−ｎのＸ線入射面積は、被測定物Ｓの中央部に対応
する部分〈２２−℃・＋１〜２２−ｍ−１）を比較的大
きくし、被測定物Ｓの両端部に対応する部分（２２−１
〜２２−℃。
２２−１〜２２−ｎを複数被測定物Ｓの幅方向に配列し
て構成されるもので、これら電離箱型検出器２２−１〜
２２−ｎのＸ線入射面積は、被測定物Ｓの中央部に対応
する部分〈２２−℃・＋１〜２２−ｍ−１）を比較的大
きくし、被測定物Ｓの両端部に対応する部分（２２−１
〜２２−℃。
２２−ｍ〜２２−ｎ）を比較的小さくしたものである。
具体的に電離箱型検出器２ｌ−ｊ２＋１〜２２−ｍ＋１
のＸ線入射窓の一辺は数十Ｍであり電前箱型検出器２２
−１〜２２−β、２２−ｍ−２２−ｎのＸｆａ入射窓の
一辺は数ｍである。また、Ｘ線入射面積の小さい′ｒＸ
離箱型箱型検出器２２−１〜２２２．２２−ｍ 〜２２
−ｎの配列数は、被測定物Ｓの幅に応じて決められるが
、例えば被測定物Ｓの板幅が２ｍのものであって、多チ
ヤンネルＸ線検出器２２の全長が２．５ｍであれば、多
チヤンネルＸ線検出器２２の両端からそれぞれ１ｍに当
たる部分の個数だけＸｇＡ入射面積の小さいものが用い
られる。
のＸ線入射窓の一辺は数十Ｍであり電前箱型検出器２２
−１〜２２−β、２２−ｍ−２２−ｎのＸｆａ入射窓の
一辺は数ｍである。また、Ｘ線入射面積の小さい′ｒＸ
離箱型箱型検出器２２−１〜２２２．２２−ｍ 〜２２
−ｎの配列数は、被測定物Ｓの幅に応じて決められるが
、例えば被測定物Ｓの板幅が２ｍのものであって、多チ
ヤンネルＸ線検出器２２の全長が２．５ｍであれば、多
チヤンネルＸ線検出器２２の両端からそれぞれ１ｍに当
たる部分の個数だけＸｇＡ入射面積の小さいものが用い
られる。
２３は上部フレーム２０ｂに内設された増幅器群であっ
て、この増幅器群２３は多チヤンネルＸ線検出器２２の
各電離箱型検出器２２−１〜２２−ｎから出力される各
電離箱型検出器２２−１〜２２−ｎに入射するＸ線の強
度に応じて変化する各チャンネルの厚み検出信号を各チ
ャンネルごと１ に所定レベルに増幅し、さらにＡ／Ｄ
変換して信号処理部２４に送出する機能をもったもので
ある。
て、この増幅器群２３は多チヤンネルＸ線検出器２２の
各電離箱型検出器２２−１〜２２−ｎから出力される各
電離箱型検出器２２−１〜２２−ｎに入射するＸ線の強
度に応じて変化する各チャンネルの厚み検出信号を各チ
ャンネルごと１ に所定レベルに増幅し、さらにＡ／Ｄ
変換して信号処理部２４に送出する機能をもったもので
ある。
・ 信号処理部２４は、所定期間毎に各チャンネルの厚
み検出信号を同時に取込んで、これら各チャンネルの厚
み検出信号から被測定物Ｓの断面形状をめるものである
。この信号処理部２４によりめられた断面形状はＣＲ７
表示装置２５に表示されるように構成されている。
み検出信号を同時に取込んで、これら各チャンネルの厚
み検出信号から被測定物Ｓの断面形状をめるものである
。この信号処理部２４によりめられた断面形状はＣＲ７
表示装置２５に表示されるように構成されている。
次に上記の如く構成されたＸ線厚み計の作用について説
明する。被測定物Ｓが走行している状態にＸＩｍ発生器
２１からＸ線２１ａを放飼させると、このＸ線２１ａは
被測定物Ｓ内を通過することにより被測定物Ｓの厚さに
応じて減衰して多チヤンネルＸ線検出器２２の各電離箱
型検出器２２−１〜２２−ｎに入射する。つまり、大き
なＸ線入射面積をもった電離箱型検出器２２−Ｍ＋１〜
２２−ｍ−１は例えば第３図に示すＡ部分を通過したＸ
線を検出し、−万事さなｘｍ入射面積をも。た電離箱型
検出器２２−１〜２２−り、２２−ｒｊｌ〜２２−ｎは
例えばＢ部分を通過したＸ線を検出することになり、Ｘ
線の通過する体積が異なっている。このようにして、各
電離箱型検出器２２−１ ’〜２２−ｎには、入射した
Ｘ線の強度に応じた微小な電離電流が流れる２憎幅器群
２３は各電離箱型検出器２２〜１〜２２−ｎの電ｗｉ電
流を後段の信号処理部２４において処理しやすい電圧レ
ベルまで増幅し、ざらにＡ／Ｄ変換して厚み検出信号と
して送出する。信号処理部２４は厚み検出信号を所定間
隔毎に取込んで、この厚み検出信号から被測定物Ｓの断
面形状を演算しめる。そして、このめられた断面形状は
ＣＲＴ表示装！２５の画面に表示される。
明する。被測定物Ｓが走行している状態にＸＩｍ発生器
２１からＸ線２１ａを放飼させると、このＸ線２１ａは
被測定物Ｓ内を通過することにより被測定物Ｓの厚さに
応じて減衰して多チヤンネルＸ線検出器２２の各電離箱
型検出器２２−１〜２２−ｎに入射する。つまり、大き
なＸ線入射面積をもった電離箱型検出器２２−Ｍ＋１〜
２２−ｍ−１は例えば第３図に示すＡ部分を通過したＸ
線を検出し、−万事さなｘｍ入射面積をも。た電離箱型
検出器２２−１〜２２−り、２２−ｒｊｌ〜２２−ｎは
例えばＢ部分を通過したＸ線を検出することになり、Ｘ
線の通過する体積が異なっている。このようにして、各
電離箱型検出器２２−１ ’〜２２−ｎには、入射した
Ｘ線の強度に応じた微小な電離電流が流れる２憎幅器群
２３は各電離箱型検出器２２〜１〜２２−ｎの電ｗｉ電
流を後段の信号処理部２４において処理しやすい電圧レ
ベルまで増幅し、ざらにＡ／Ｄ変換して厚み検出信号と
して送出する。信号処理部２４は厚み検出信号を所定間
隔毎に取込んで、この厚み検出信号から被測定物Ｓの断
面形状を演算しめる。そして、このめられた断面形状は
ＣＲＴ表示装！２５の画面に表示される。
このように本発明のＸ＃Ｉ厚さ計においては、Ｘ線発生
器２１からＸＩｓを被測定物Ｓの幅方向に所定の角度を
もって放射し、この被測定物Ｓを通ｉしてきたＸ線検出
を、中央部が比較的大きなＸＩＩ入射面積をもった電離
箱型検出器２２−β千１〜２２−ｎｎ−１を配列し、両
端部が比較的小さなＸ線入射面積をもっ′だ電離箱型検
出器２２−１〜２２−１１．２２−ｉｎ〜２２−ｎをそ
れぞれ配列した多チヤンネルＸ線検出器２２により行な
うようにしたので、凋械的に検出部を走行させずに被測
定物Ｓの幅方向の断面形状を測定できる。特に多チヤン
ネルＸ線検出器２２の両端は比較的小さなＸ線入射面積
をもった電離箱型検出器２２−１〜２２−Ｎ、２２−ｍ
〜２２−ｎを配設したので、被測定物Ｓの両端部の断面
形状を細かく測定できる。
器２１からＸＩｓを被測定物Ｓの幅方向に所定の角度を
もって放射し、この被測定物Ｓを通ｉしてきたＸ線検出
を、中央部が比較的大きなＸＩＩ入射面積をもった電離
箱型検出器２２−β千１〜２２−ｎｎ−１を配列し、両
端部が比較的小さなＸ線入射面積をもっ′だ電離箱型検
出器２２−１〜２２−１１．２２−ｉｎ〜２２−ｎをそ
れぞれ配列した多チヤンネルＸ線検出器２２により行な
うようにしたので、凋械的に検出部を走行させずに被測
定物Ｓの幅方向の断面形状を測定できる。特に多チヤン
ネルＸ線検出器２２の両端は比較的小さなＸ線入射面積
をもった電離箱型検出器２２−１〜２２−Ｎ、２２−ｍ
〜２２−ｎを配設したので、被測定物Ｓの両端部の断面
形状を細かく測定できる。
なお、多チヤンネルＸ線検出器２２として同一のＸ線入
射面積をもったＸ＃ｌ検出器を配列したものを用いるこ
とも考えられるが、このような検出器ではチャンネル数
が参りなりて信号処理が膨大となってしまう。そのうえ
費用も高価になってしまい実用的でない。これに対して
本発明の検出器では、チャンネル数が少なくなって十分
実用化できる。
射面積をもったＸ＃ｌ検出器を配列したものを用いるこ
とも考えられるが、このような検出器ではチャンネル数
が参りなりて信号処理が膨大となってしまう。そのうえ
費用も高価になってしまい実用的でない。これに対して
本発明の検出器では、チャンネル数が少なくなって十分
実用化できる。
また、多チヤンネルＸ線検出器２２の中央部は比較的大
きなＸ線入射窓をもった電離箱型検出器２２−ｆｉ＋１
〜２２−ｍ−１を配置しであるので、雑音特性が良く°
、そのまま板厚制ｔ［ｌ装置（ＡＧＣ信号）として用い
ることができ、さらに機械的に堅固な構造とすることが
でき、これにより全長の長い検出器作製できる。
きなＸ線入射窓をもった電離箱型検出器２２−ｆｉ＋１
〜２２−ｍ−１を配置しであるので、雑音特性が良く°
、そのまま板厚制ｔ［ｌ装置（ＡＧＣ信号）として用い
ることができ、さらに機械的に堅固な構造とすることが
でき、これにより全長の長い検出器作製できる。
なお、本発、明は上記一実施例に限定されるものではな
い。上記一実施例では放射線としてＸ線を用いたが、被
測定物ｓ辷応じてβ線やγ線を用いてもよい。
い。上記一実施例では放射線としてＸ線を用いたが、被
測定物ｓ辷応じてβ線やγ線を用いてもよい。
また、多チヤンネルＸＳ検出器２２とＸ線発生器２１と
を被測定物Ｓの横ブレに応じて移動させるようにしても
よい。この場合、被測定物Ｓの横ブレは固定装置された
位置検出器により検出すればよい。
を被測定物Ｓの横ブレに応じて移動させるようにしても
よい。この場合、被測定物Ｓの横ブレは固定装置された
位置検出器により検出すればよい。
さらに、多チヤンネル放射線検出手段としては次のよう
な構成のものでもよい。すなわち、第４図に示すように
５組の放射線発生器３０〜３４および多チャンネル放射
線検出器３５〜３９をＣフレーム４０に設けたもので、
被測定物ｓ１の中央に対応する部分の多チャンネル放射
線検出器３６〜３８を放射線入射面積の比較的大きなも
のとし、被測定物Ｓ１の両端部に対応する部分の多チャ
ンネル放射線検出器３５．３９を放射線入射面積の１
比較的小さなものとする。なお、４１〜４５は各多チャ
ンネル放射線検出器３５〜３９．に：対応した増幅器群
であり、４６〜５０は基準板である。このように構成し
ても上記一実施例と同一の効果を奏することができる。
な構成のものでもよい。すなわち、第４図に示すように
５組の放射線発生器３０〜３４および多チャンネル放射
線検出器３５〜３９をＣフレーム４０に設けたもので、
被測定物ｓ１の中央に対応する部分の多チャンネル放射
線検出器３６〜３８を放射線入射面積の比較的大きなも
のとし、被測定物Ｓ１の両端部に対応する部分の多チャ
ンネル放射線検出器３５．３９を放射線入射面積の１
比較的小さなものとする。なお、４１〜４５は各多チャ
ンネル放射線検出器３５〜３９．に：対応した増幅器群
であり、４６〜５０は基準板である。このように構成し
ても上記一実施例と同一の効果を奏することができる。
また、第５図に示すように同一の放射線入射面積をもっ
た放射線検出器６０−１〜６０−ｎを配列した多チャン
ネル放射線検出器の中央部の放射線検出器の出力端を例
えば２ケづつ並列接続して増幅器群６１に接続してもよ
い。なお、被測定物Ｓの幅に応じて放射線検出器の出力
端を並列接続する箇所を選択的に換えてもよい。
た放射線検出器６０−１〜６０−ｎを配列した多チャン
ネル放射線検出器の中央部の放射線検出器の出力端を例
えば２ケづつ並列接続して増幅器群６１に接続してもよ
い。なお、被測定物Ｓの幅に応じて放射線検出器の出力
端を並列接続する箇所を選択的に換えてもよい。
本発明によれば、所定角度をもって放射線を放射する放
射線発生器と、中央部に比較的大きな放射線入射面積を
もった放射線検出体を配設するとともに、両端部に比較
的小さな放射線入射面積をもった放射線検出体を配列し
た多チヤンネル放射線検出手段とを設けたので、被測定
物の幅方向の断面形状を機械的な走査なしに測定し得る
放射線厚さ計を提供６゜
射線発生器と、中央部に比較的大きな放射線入射面積を
もった放射線検出体を配設するとともに、両端部に比較
的小さな放射線入射面積をもった放射線検出体を配列し
た多チヤンネル放射線検出手段とを設けたので、被測定
物の幅方向の断面形状を機械的な走査なしに測定し得る
放射線厚さ計を提供６゜
第１図は圧延コイルの断面形状を示す図、第２図は従来
のＸ線厚さ計の構成図、第３図は本発明に係る放射線厚
さ計をＸＩ厚さ計に適用した場合の構成図、第４図およ
び第５図は本発明に係る放射線厚さ計め変形例を示す構
成図である。 ２０・・・Ｃフレーム、２１・・・ｘＩＩ発生器、２２
・・・多チヤンネルＸＳ検出器、２２−１〜２２− ｎ
−・・電離箱型検出器、２３・・・増幅器群、２４・
・・信号処理部、２５・・・ＣＲ７表示装置。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第１ 図 ２１ 第４ 図 ；ＪＵ Ｊｌ ；（、？ ＪＪ ｊ４ 第５図
のＸ線厚さ計の構成図、第３図は本発明に係る放射線厚
さ計をＸＩ厚さ計に適用した場合の構成図、第４図およ
び第５図は本発明に係る放射線厚さ計め変形例を示す構
成図である。 ２０・・・Ｃフレーム、２１・・・ｘＩＩ発生器、２２
・・・多チヤンネルＸＳ検出器、２２−１〜２２− ｎ
−・・電離箱型検出器、２３・・・増幅器群、２４・
・・信号処理部、２５・・・ＣＲ７表示装置。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第１ 図 ２１ 第４ 図 ；ＪＵ Ｊｌ ；（、？ ＪＪ ｊ４ 第５図
Claims (2)
- （１）鋼板等の被測定物の断面形状を測定する放射線厚
さ計において、前記被測定物の幅方向に所定の角度をも
って放射線を放射する放射線発生器と、この放射線発生
器から前記被測定物を介して設けられ、前記被測定物の
中央部に対応する部分に比較的大きな放射線入射面積を
もった放射線検出体を複数配置するとともに、前記被測
定物の両端部に対応する部分に比較的小さな放射線入射
面積をもった放射線検出体を複数配置した多チヤンネル
放射線検出手段と、この多チヤンネル放射線検出手段の
各放射線検出体から出力される各検出信号に基づいて前
記被測定物の断面形状をめる演算処理部とを具備し、前
記被測定物の両端部の断面形状の変化をめることを特徴
とする放射線厚さ計。 - （２）多チヤンネル放射線門出手段は、中央部に前記比
較的大きな放射線入射面積をもった放射線検出体からな
る多チャンネル放射線検出器を設け、両端部に前記比較
的小さな放射線入射面積をもった放射線検出体からなる
多チャンネル放射線検出器をそれぞれ設けた特許請求の
範囲第（１）項記載の放射線厚さ計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8638084A JPS60230008A (ja) | 1984-04-28 | 1984-04-28 | 放射線厚さ計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8638084A JPS60230008A (ja) | 1984-04-28 | 1984-04-28 | 放射線厚さ計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60230008A true JPS60230008A (ja) | 1985-11-15 |
Family
ID=13885264
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8638084A Pending JPS60230008A (ja) | 1984-04-28 | 1984-04-28 | 放射線厚さ計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60230008A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100491019B1 (ko) * | 2001-03-01 | 2005-05-24 | 가부시끼가이샤 도시바 | 다점계측 두께 측정계 |
| JP2006170883A (ja) * | 2004-12-17 | 2006-06-29 | Toshiba Corp | 厚さプロファイル測定装置 |
| KR100921417B1 (ko) * | 2007-12-17 | 2009-10-14 | 한국원자력연구원 | 단일 지점 동위원소 방사선원을 이용한 다면적 두께 측정장치 및 측정 방법 |
-
1984
- 1984-04-28 JP JP8638084A patent/JPS60230008A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100491019B1 (ko) * | 2001-03-01 | 2005-05-24 | 가부시끼가이샤 도시바 | 다점계측 두께 측정계 |
| JP2006170883A (ja) * | 2004-12-17 | 2006-06-29 | Toshiba Corp | 厚さプロファイル測定装置 |
| KR100921417B1 (ko) * | 2007-12-17 | 2009-10-14 | 한국원자력연구원 | 단일 지점 동위원소 방사선원을 이용한 다면적 두께 측정장치 및 측정 방법 |
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