JP2820440B2 - 組織を分析する方法および装置 - Google Patents

組織を分析する方法および装置

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JP2820440B2
JP2820440B2 JP1194423A JP19442389A JP2820440B2 JP 2820440 B2 JP2820440 B2 JP 2820440B2 JP 1194423 A JP1194423 A JP 1194423A JP 19442389 A JP19442389 A JP 19442389A JP 2820440 B2 JP2820440 B2 JP 2820440B2
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ヘツシユ・シユタール・アクチエンゲゼルシヤフト
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    • G01N23/00Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/20Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
    • G01N23/20091Measuring the energy-dispersion spectrum [EDS] of diffracted radiation

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Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、圧延されるシートおよび帯状体を、これら
を透過するレントゲン−又はガンマ線ビームを用いて組
織を分析する方法であって、この場合このビームの、結
晶格子構造体において生ぜしめられる回折を分析し、こ
れからシートおよび帯状体の形の組織のある試料の回折
された反射の強さである組織特性値を算出し、この組織
特性値と組織のない試料の相応する回折された反射の強
さとの商をとることによって組織係数を算出する方法
と、 圧延される金属シート及び帯状体における組織係数を
測定及び算出するための装置であって、 該装置はレントゲン−又はガンマ線ビームのビーム源
を備え、さらに該ビーム源から間隔をおいてビーム束の
範囲内に固定される1チャネル分析器または複数チャネ
ル分析器を備え、およびこれに接続されるコンピュータ
の形式の評価装置を備え、さらに前記ビーム源と検出器
との間に設けられる検査されるべき前記金属シート又は
前記帯状体に対する貫通部を備えている装置に関する。
従来技術 ドイツ連邦共和国特許第2817742号公報に平均の異方
性値rmを算出する方法が示されている。
この方法は、品質体−これと共に組織の種類が変化す
る−が替えられると、測定装置をそれぞれの組織の種類
の試料との比較により新たに較正しなければららない欠
点を有する。さらにこの測定装置によりrm値のほかに、
この回折に依存する別の値が十分正確には算出されな
い。
刊行物“Theoretical Methods of Texture Analysis"
1987、出版社DGM Informationsgesellschaftに、“Comp
utational Problems in Low Resolution Texture Analy
sis"BungeおよびWang著、163〜173頁に、著しくわずか
な測定値により、材料特性値の算出のために必要とされ
る組織係数を定める方法が示されている。第165頁の例
えば第1図(Bunge,Wang)に測定値を得ることが示され
ている。
Bungeの第1図の説明によれば、個々のレントゲンビ
ームが、検査されるべき近似的には点状の小さい面に入
射される。このレントゲンビームを回折させる結晶平面
は入射ビームに対して種々の異なる角度を有する。その
ためポリクロマテイツクなレントゲンビームが各平面に
おいて1つの別の角度において回折される。個個の回折
されるビームは、Bungeの第1図の検出器1〜3へ入射
する。検出器へ入射するビームの回折角度からおよびレ
ントゲン量子ないし波長のエネルギー分布からわずかな
検出器により最も有利な前提の下に、材料特性値の算出
に対して必要とされる組織係数を計算器において、Bung
eおよびWangにより示された計算法により算出できるよ
うに十分な情報が得られる。
BungeおよびWangにより用いられた有利な前提は、3
つおよびそれより多くの検出器をプリズムビームの回折
円錐の中に取り付けることができることであるが、この
前提は実際には著しく薄いシートの測定の場合にしか実
施できない。厚さが1mm以下のシートの場合にだけ回折
円錐は、この内部で測定技術的に有利な個所に3つの検
出器に対する場所が設けられる位の大きさである。
8゜およびこれより大きい回折角度−この中に複数個
の検出器も配置される−を有する大きい回折角度は、公
知のようにエネルギーのわずかなレントゲンビーム−こ
れは厚いシートを十分には透過できない−の場合にしか
用いることができない。厚いシートたとえば1mmを越え
るシート厚さの場合は、さらに60KVよりも大きい作動電
圧を有するエネルギーの十分なレントゲンビームを管で
発生させる必要がある。このエネルギーの十分なレント
ゲンビームの場合は、8゜よりも小さい回折角度で動作
させなければならず、そのため著しく小さい回折円錐し
か形成できない。
検査されるべきシートと検出器との間隔を、回折円錐
中に多くの場所を得るために、拡大することもできな
い。この間隔はすべての場合にできるだけ小さく保つ必
要がある、何故ならば強さは距離の平方で減少しさらに
多くの回折反射は距離が著しく大きいと測定可能の限界
を下回わるおそれがあることによる。
この理由によりおよび最近はより薄いシートの検査に
対しても1゜よりも大きい入射角度が必要とされるた
め、BungeおよびWangによりその第1図に示された測定
法は稀にしか使用できず、これに対して、測定結果の評
価のための算出法が一般的に適用性がある。
発明の解決すべき問題点 本発明の課題は、厚いシートの場合も回折係数を著し
く正確に算出できて、さらに品質体を交替した場合に新
たな目盛較正のために既知の組織特性値を有する試料セ
ツトを必要とせず、さらに測定が運動中のシートまたは
帯状体の場合も実施できるようにした、透過性のレント
ゲン−またはガンマ線ビームによる測定法および測定装
置を提供することである。
問題点を解決するための手段 上記課題の方法は、レントゲン−又はガンマ線ビーム
を同時に又は時間的に相次いで異なる角度の下に、検査
されるべき前記シート又は前記帯状体の複数個の部分面
へ照射するようにし、さらに同時に又は時間的に相続い
て前記各部分面においてビーム分析し、さらに該複数個
の部分面から得られた測定値の以後の処理の際に周知の
Bunge及びWangの計算法で処理することによって解決さ
れ、 上記課題の装置は、 ビーム源の出口窓の直前にコリメータ装置が設けら
れ、 さらに各コリメータ貫通部の部分ビームに対して、後
置接続される前記1チャネル分析器または複数チャネル
分析器を有する少なくとも1つの検出器が各々の円形リ
ング状の回折ビームの領域に設けられ、 該検出器の位置に対して、組織のない試料による測定
値が求められており、該測定値が基準値として計算器の
プログラムの中へ組み込まれていることによって解決さ
れる。さらに本発明の方法および装置は、それぞれ請求
項2〜4ないし5〜13に示されたように実施することが
できる。
実施例の説明 次に本発明の実施例を図面を用いて説明する。
レントゲン管11から発生されたレントゲン線ビームは
ビーム縁12および13により区画される。ビームはコリメ
ータ14へ入射し、コリメータの孔を部分ビーム15〜19だ
けが通過させられる。これらの部分ビームは、検査され
るべきシート20の上の部分面21〜25へ入射する。これら
の部分面は実施例においては直径が2mmであり、さらに
これらの部分面はこの実施例においては全部が、直径が
約10cmの大きい円が境界として、描ける位の領域内にあ
る。しかしこの2mmとか10cmとかの値は決定的に重要で
はない、何故ならばこれらの数字はより大きくも小さく
も選定できるからである。シート20において回折された
ビームは、シート20の下方で、検出器26〜30へ入射す
る。回折されたビームは検出器の平面において、幅の狭
い円形リングだけを形成する。これは測定技術的に重要
である。
シート20は静止したシートテーブルから形成すること
ができる。しかし、シート20を運動中に例えば速度10〜
30m/secで測定装置の中を通つて運動する時も、シート
は測定して評価することができる。
第1図において見やすくするために検出器の大きさ
は、円形リングの大きさに比較して、実際よりも著しく
小さく示されている。円形リング上のわずかな位置が検
出器の取り付けのために適する。同じ回折円錐の中に第
2の検出器を取り付ける場合は、付加的な測定値が得ら
れる。
各々の検出器の前方にはコリメータが取り付けられて
おり、これは第1図には示されていない。
検出器26〜30はこの実施例の場合はケーシング内に取
り付けられている。このケーシングは、閉じたヘリウム
冷却循環路により約−190℃へ冷却される。
検出器26は到来したビームを電圧パルスに変換する。
この電圧パルスは前置増幅器38を介して増幅される。電
圧パルスは4チヤンネル分析器31においてパルス高さに
より分析されて所定の回折反射へ配属される。
各々の検出器26〜30に、前置増幅器38〜42の1つおよ
び多チヤンネル分析器31〜35の1つが、後置接続されて
いる。
パルス高さ−ないし多チヤンネル分析器31〜35から、
個々の検出器により分類された種種異なる回折反射の強
さに関する情報が、計算器36へ転送される。計算器は冒
頭に述べたBungeの計算法に相応するようにプログラミ
ングされている。そのため計算器は情報から組織特性値
を算出し、これを出力装置37において表示するかまたは
印刷する。円形リング状の回折ビーム上の検出器26〜30
の位置と、円形リング状の回折ビームの位置とは、相互
の関係を、恣意に自由には選定できない。組織の変化に
関連して際立った強度変化が示される位置だけが選定さ
れる。例えば異方性値rの測定の場合に検出器の個数が
4つの場合、1つの検出器あたり少くとも5つの回折反
射を十分に正確に、多チヤンネル−ないしパルス高さ分
析器により検出する必要がある。5つよりも少ない回折
反射が検出される場合は、このことは検出器の個数を増
加することにより補償され、これにより装置が一層複雑
にかつ高価になる。シートの厚さが4mmまでの場合は、
1つの検出器につき5つの回折反射を評価できることが
示された。
有利な位置を、例えば検出器の移動により見出すこと
もできる。しかし当業者が最も有利な位置を算出すれば
好適である、何故ならば結晶格子における回折とその強
さは周知の法則に従がうからである。
測定結果の評価の場合に考慮すべきことは、異方性の
組織ではなく等方性の組織を有するシートもビームの回
折を生ぜさせることである。なお本発明においては、
「組織」という表現は一貫して「異方性の組織構造」を
指す。よって、「組織のない」という表現は「異方性の
組織構造ではなく等方性の組織構造を有する」という意
味を有している。測定値は、帯状体またはシートの形の
組織化された試料の回折された反射の強さと、組織のな
い試料の相応の強さとの商である。
そのため結晶格子により生ぜさせられた回折は計算器
35のプログラムにおいて、前もつて部分面21〜25の位置
に対して組織がないと見なされたシートの回折の強さが
求められる時にだけ、求められる。この目的で、検査さ
れるべきシートに代えて、組織のない試料が測定装置の
中へ、各部分面の位置へ挿入される。測定された値は計
算器により周知の法則により別のシート厚さへも換算さ
れる。組織のない試料は、鉄粉の満たされるプラスチツ
クから成る平らな壁薄の容器から形成される。
充てん物を有する組織のない試料の測定結果は次の目
的で補正される、即ち純粋なプラスチツクの分散の強さ
および吸収を考慮するために、試料は鉄粉の充てんが無
くても測定されるように補正される。
組織の試料における測定は、最初に製造された測定装
置の最初の作動開始の場合にだけ必要とされる。それ以
後の同様の構成の測定装置が製作される時は、最初の装
置の、組織のない試料に関する測定値を用いることがで
きる。組織のない試料は、以後の測定の場合も測定装置
の調整のために有利に用いることができる。従って、組
織のある試料、すなわち圧延されるシート及び帯状体を
交替した場合でも装置の較正を行う必要がない。
この方法と装置は、鋼鉄シートの組織の測定の場合に
有利に用いることができる。これらの組織から、組織に
依存する材料特性を例えばr値,磁気特性およびEモジ
ユールを算出することができる。
複数個のコリメータにより発生される複数個のビーム
を有する1つのビーム源に代えて、ただ一つのコリメー
タと一つのビームを有するビーム源を、ビーム源または
そのコリメータがストツパにより固定される位置におい
て旋回可能にされている時は、使用することもできる。
回折されるビームの分析は、この場合、時間的に相次い
で旋回運動に応じてだけ行なうことができる。
レントゲンビームに代えてガンマ線ビームを用いる場
合は、例えば異方値の測定の場合は、5回も部分面を場
合により異なる回折角度の下に照射する必要がある。何
故ならばモノクロームのビーム源が用いられ、さらに検
出器ごとに1つの回折反射しか得られないからである。
異なるビームエネルギを有する複数個のガンマ線ビーム
源の使用は、照射されるべき部分面の個数をさらに低減
させる。
このビーム源の変形によつても本発明は実施可能では
あるが、しかし装置はより複雑になりさらにいくらか障
害を受けやすくなる。
本発明の最も有利な実施例は詳述したようにレントゲ
ン管を含み、そのレントゲン管のビームはコリメータに
より部分ビームへ分割される。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の測定装置の原理図、第2図は測定値処
理に関連するブロツク図を示す。 11……レントゲン線ビーム、12,13……レントゲン線ビ
ームの区画面、14……コリメータ、15,16,17,18,19……
部分ビーム、20……シート、21,22,23,24,25……部分
面、26,27,28,29,30……検出器、31,32,33,34,35……多
チヤンネル分析器、36……計算器、37……表示装置。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭51−7982(JP,A) 特開 昭61−35304(JP,A) 特開 昭50−23281(JP,A) 米国特許4982417(US,A) 欧州特許352423(EP,B1) 独国特許3825830(DE,C) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G01N 23/00 - 23/227

Claims (6)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】圧延されるシート(20)および帯状体を、
    これらを透過するレントゲン−又はガンマ線ビームを用
    いて組織を分析する方法であって、この場合このビーム
    の、結晶格子構造体において生ぜしめられる回折を分析
    し、これから前記シート(20)および帯状体の形の組織
    のある試料の回折された反射の強さである組織特性値を
    算出し、この組織特性値と組織のない試料の相応する回
    折された反射の強さとの商をとることによって組織係数
    を算出する方法において、 前記レントゲン−又はガンマ線ビームを同時に又は時間
    的に相次いで異なる角度の下に、検査されるべき前記シ
    ート(20)又は前記帯状体の複数個の部分面(21、22)
    へ照射するようにし、さらに同時に又は時間的に相続い
    て前記各部分面においてビーム分析し、さらに該複数個
    の部分面(21、22)から得られた測定値の以後の処理の
    際に周知のBunge−Wangの計算法で処理することを特徴
    とする組織を分析する方法。
  2. 【請求項2】各々の部分面(21、22)に対するビーム
    を、ビーム源(11)のビームをコリメータを通過させて
    得るようにした請求項1記載の方法。
  3. 【請求項3】長手方向に運動するシート(20)及び帯状
    体を測定して分析するようにした請求項1又は2記載の
    方法。
  4. 【請求項4】請求項1〜3までのいずれか1項記載の方
    法に従って圧延される金属シート(20)及び帯状体にお
    ける組織係数を測定及び算出するための装置であって、 該装置はレントゲン−又はガンマ線ビームのビーム源を
    備え、さらに該ビーム源から間隔をおいてビーム束の範
    囲内に固定される1チャネル分析器または複数チャネル
    分析器を備え、およびこれに接続されるコンピュータの
    形式の評価装置を備え、さらに前記ビーム源と検出器と
    の間に設けられる検査されるべき前記金属シート(20)
    又は前記帯状体に対する貫通部を備えている装置におい
    て、 前記ビーム源(11)の出口窓の直前にコリメータ装置
    (14)が設けられ、 さらに各コリメータ貫通部の部分ビーム(15、16)に対
    して、後置接続される前記1チャネル分析器または複数
    チャネル分析器(31、32)を有する少なくとも1つの検
    出器(26、27)が各々の円形リング状の回折ビームの領
    域に設けられ、 該検出器(26、27)の位置に対して、組織のない試料に
    よる測定値が求められており、該測定値が基準値として
    計算器(36)のプログラムの中へ組み込まれていること
    を特徴とする組織を分析する装置。
  5. 【請求項5】複数個の検出器は、1つの冷却される検出
    器装置にまとめられる請求項4記載の装置。
  6. 【請求項6】検出器(26、27)は、各々の帯状体及びシ
    ートの下方において帯状体及びシートの組織の変化に関
    連して際立った回折反射強度の変化が発生するような位
    置に位置決めされる請求項4又は5記載の装置。
JP1194423A 1988-07-29 1989-07-28 組織を分析する方法および装置 Expired - Lifetime JP2820440B2 (ja)

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