JP2002326061A - ダイシングフレーム洗浄機及びダイシングフレーム乾燥装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 公知のダイサーで使用した後の糊剤の付着し
たダイシングフレームから糊剤を能率的に除去すると共
にダイシングフレームをこれの上下表面に不純物の付着
しないように高速で乾燥させる。 【解決手段】 処理液に浸漬されて軟化した糊剤の付着
しているダイシングフレームを供給される搬送部１を形
成し、この搬送部１の搬送途中に供給側から順に、ダイ
シングフレームの上下面を摺擦するものとしたブラシ装
置２と、このブラシ装置２で摺擦されたダイシングフレ
ームに注水するための注水ノズル部３と、ダイシングフ
レームに付着した水分を空気流により除去するものとし
た乾燥装置２６とを設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ダイシングフレー
ム洗浄機及びダイシングフレーム乾燥装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ダイサーでウエハをダイシングする際、
予めステンレス材などの略円板状の金属板からなる図に
示すような厚さ数ｍｍ程度のダイシングフレームの上面
に糊剤を介してウエハを接着するのであり、ダイサーは
このように接着されたウエハを切刃で切り込むように作
動する。このように使用されるダイシングフレームは、
ダイシングの終了した後、その上面からウエハを取り除
かれ、上面の糊剤を洗浄除去された後、再使用される。

【０００３】上記糊剤の洗浄除去は、現状では、溶剤の
一種であるエヌメチルピィロリドン（ＮＭＰ）液にウエ
ハを取り除かれたダイシングフレームを浸漬して糊剤を
ゼリー状に軟化させた後、手作業により一枚毎その糊剤
をダイシングフレームから水で洗い流すように行ってい
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記ダイシ
ングフレームの糊剤除去を省力的に行うことのできるも
のとしたダイシングフレーム洗浄機を提供すると共に、
この洗浄機に使用して有益であるダイシングフレーム乾
燥装置を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１に記載したダイシングフレーム洗浄機で
は、処理液に浸漬されて軟化した糊剤の付着しているダ
イシングフレームを供給される搬送部を形成し、この搬
送部の搬送途中に供給側から順に、ダイシングフレーム
の上下面を摺擦するものとしたブラシ装置と、このブラ
シ装置で摺擦されたダイシングフレームに注水するため
の注水ノズル部と、ダイシングフレームに付着した水分
を空気流により除去するものとした乾燥装置とを設けた
構成となす。

【０００６】これによれば、搬送部がダイシングフレー
ムを後方へ搬送し、この搬送中において、ブラシ装置は
ダイシングフレームの上下面をブラシ毛で擦って予め軟
化されている糊剤をその表面から剥離させるのであり、
また注水ノズル部はダイシングフレームに水を注いで、
その表面に剥離された状態で付着している糊剤を綺麗に
洗い流すように作用するのであり、さらに乾燥装置は空
気流によりダイシングフレームを傷付けることなくそれ
に付着した水分を効果的に飛散させ乾燥させるものとな
る。従って、糊剤の付着したダイシングフレームを搬送
部に供給するのみで、このダイシングフレームは糊剤を
除去され乾燥された状態となされる。

【０００７】また請求項２に記載したダイシングフレー
ム乾燥装置では、真空圧を付与される密閉室を形成し、
この密閉室の前壁面と後壁面とにダイシングフレームの
厚さと直径とに適合させた細長状の透孔を設けると共
に、ダイシングフレームを前記２つの透孔を通じて密閉
室を通過するように搬送する搬送部を設け、ダイシング
フレームが各透孔を通過するとき、このダイシングフレ
ームに付着した水分が前記真空圧の生成させた密閉室外
方からその内方へ向かう空気流により流動飛散され密閉
室内で真空圧下で蒸発される構成となす。

【０００８】これによれば、各透孔箇所に真空圧による
高速の空気流が生成されるのであり、この空気流はダイ
シングフレームの表面に付着した水分をダイシングフレ
ームを傷付けることなく飛散させて下流側へ流動させる
と同時に、水分を真空圧下で効果的に蒸発させるものと
なる。

【０００９】

【発明の実施の形態】図１は本発明に係るダイシングフ
レーム洗浄機の側面図、図２は前記洗浄機の平面図、図
３は前記洗浄機の乾燥装置の使用状況を示す斜視図、図
４は前記乾燥装置周辺を示す側面図、図５はダイシング
フレームを示す平面図である。

【００１０】図１及び図２において、１は搬送部であ
り、この搬送部１の搬送経路途中に前側から順にブラシ
装置２、注水ノズル部３及び乾燥要部４が設けてある。

【００１１】搬送部１はローラ搬送部５とロープ搬送部
６からなっている。先ずローラ搬送部５について説明す
ると、次のとおりである。即ち、機体フレーム７の左右
側部間の前後方向の複数箇所に左右向きとなされた上下
一対の挟持搬送ローラ８ａ、８ｂからなる挟持搬送ロー
ラ組９を図５に示すダイシングフレームｇの直径に関連
した適当間隔に並設すると共に、各挟持搬送ローラ組９
の下側の挟持搬送ローラ８ｂに回転動力を付与し、上側
の挟持搬送ローラ８ａを図示しないスプリングの弾力で
下側の挟持搬送ローラ８ｂに向け付勢している。各挟持
搬送ローラ８ａ、８ｂは直円筒形状となされ、少なくと
も円筒状の周面をゴムとか合成樹脂のような弾性に富み
摩擦係数が大きくて耐水性に優れた材料で形成したもの
となされている。複数の挟持搬送ローラ組９の前後配列
間の特定の箇所には断面形状が半円形状の支持条部材１
０が左右向きの上下一対となされて固定されており、上
下の支持条部材１０、１０はダイシングフレームｇの厚
さ寸法よりも少し大きい距離だけ離して配置される。各
支持条部材１０、１０の対向側円弧表面は摩擦係数が小
さくて弾性変形し難く耐水性に優れた材料で形成されて
いる。

【００１２】ロープ搬送部６は、ローラ搬送部５の後方
に連続して配置されており、機体フレーム７の左右側部
間の後部に一対の案内ローラ１１ａ、１１ｂを前後方向
で対向するように配設すると共に、各案内ローラ１１
ａ、１１ｂの周面の中心線方向の適当間隔箇所に環状ベ
ルト溝を形成し、一対の案内ローラ１１ａ、１１ｂの対
応した環状ベルト溝間に無端状のゴム質材からなる搬送
ロープ１２を掛け回したものとなされている。

【００１３】上記ローラ搬送部５とロープ搬送部６の駆
動装置１３について説明すると、各挟持搬送ローラ組９
の下側の挟持搬送ローラ８ｂの回転中心軸の一端にスプ
ロケット１４を固定すると共に、前側の案内ローラ１１
ａの回転中心軸の一端にもスプロケット１５を固定し、
また機体フレーム７の中間高さ位置に搬送用モータｍ１
を固設し、このモータｍ１の出力軸にスプロケット１６
を固定し、またこれらスプロケット１４、１５、１６間
の適当箇所にテンションスプロケット１７とアイドルス
プロケット１８を装着し、これらスプロケット１４、１
５、１６、１７、１８に無端状の駆動チェーン１９を掛
け回している。この際、テンションスプロケット１７
は、駆動チェーン１９を図示しないスプリングの弾力で
下方へ押圧するものとなされている。

【００１４】上記ブラシ装置２について説明すると、前
から二番目の挟持搬送ローラ組９と三番目の挟持搬送ロ
ーラ組９との間に左右向きとなされた上下一対の円筒形
回転ブラシ２０ａ、２０ｂを設け、各回転ブラシ２０
ａ、２０ｂの回転軸の端部にプーリ２１ａ、２１ｂを固
設し、一方では機体フレーム７の中間高さ箇所に二つの
ブラシ用モータｍ２を設け、このモータｍ２で駆動され
る一対の駆動軸２２ａ、２２ｂの端部にプーリ２３ａ、
２３ｂを固設し、プーリ２０ａとプーリ２３ａとの間、
及び、プーリ２０ｂとプーリ２３ｂとの間に無端状の伝
動ベルト２４ａ、２４ｂを掛け回し、モータ２２の作動
により一対の回転ブラシ２０ａ、２０ｂが、これらの対
向部位が後方へ移動するように回転する構成としてい
る。

【００１５】上記注水ノズル部３は、前から三番目の挟
持搬送ローラ組９と四番目の挟持搬送ローラ組９との間
に形成してあり、搬送部１の搬送経路の上側と下側のそ
れぞれの左右方向箇所に、水を噴射するものとした複数
の注水ノズル２５を列設して形成してある。

【００１６】上記乾燥要部４は乾燥装置２６の一部をな
すものであり、この乾燥装置２６は前記乾燥要部４のほ
か、機体フレーム７の下部に設けられた気水分離タンク
２７及び空気吸引部２８を備えている。

【００１７】ここに、乾燥要部２６は次のようなものと
なされるのであって、即ち、図３及び図４に示すよう
に、真空圧を付与される箱形の密閉室２９を形成し、こ
の密閉室２９の一部をなす左右向き突状部２９ａを最後
の２つの挟持搬送ローラ組９、９の間に位置させ、この
突状部２９ａの前壁面３０ａと後壁面３０ｂとにダイシ
ングフレームｇの厚さと直径とに適合させた左右向き細
長状の透孔３１を設けると共に、密閉室２９底面に密閉
室２９内から空気や水を排除するための流出口３２を設
けている。

【００１８】気水分離タンク２７は密閉状の容器となさ
れており、密閉室２９の流出口３２と密閉室２９の内部
とを傾斜状の連通管３３を介して連通させると共に、密
閉室２９の上面壁に密閉室２９内の空気を吸引するため
の吸引孔３４を形成するほか、既遂分離タンク２７内の
水を外方へ排出するための適宜な手段を形成している。

【００１９】空気吸引部２８はブロア３５と消音器３６
からなり、ブロア３５の空気吸引口３５ａと気水分離タ
ンク２７の吸引孔３４とを連通管３６１を介して連通さ
せると共に、ブロア３５の空気排出口と消音器３６の空
気流入口とを連通させ、消音器３６の空気流出口３６ａ
は大気に開放させている。

【００２０】３７は機体フレーム７の上部に設けたドレ
ン受けであり、搬送部１の前部とブラシ装置２を取り囲
むものとした前室３７ａと、搬送部１の後部と乾燥要部
４を取り囲むものとした後室３７ｂとからなり、各室３
７ａ、３７ｂ内に落下した水を外方の特定箇所へ流出さ
せるようになされている。

【００２１】前室３７ａと後室３７ｂとを隔てた左右向
き縦壁面３７ｃには図３に示すように、搬送部１で搬送
されるダイシングフレームｇを前室３７ａ側から後室３
７ｂ側へ移行させるための透孔ｃを設けており、この透
孔ｃにダイシングフレームｇ用の水切り手段３８が組み
付けてある。この水切り手段３８は縦壁面３７ｃに四角
枠３９を介して固定された上下一対の軟らかいゴム板
（スポンジ板でもよい）４０ａ、４０ｂを備え、各ゴム
板４０ａ、４０ｂが搬送装置１で搬送されるダイシング
フレームｇの上下各面に摺接するものとなしてある。

【００２２】４１はダイシングフレームｇを搬送部１の
搬送始端に投入するための投入支持台であり、４２はダ
イシングフレームｇを搬送部１の搬送終端から取り出す
ための取出支持台である。

【００２３】次に上記のように構成した本発明の洗浄機
の使用例及び作用について説明する。公知のダイサーで
使用した多数のダイシングフレームｇを溶剤の一種であ
るエヌメチルピィロリドン（ＮＭＰ）液などに浸漬して
その上面に付着した糊剤をゼリー状に軟化させるのであ
り、この後、溶剤から引き揚げて投入支持台４１の近傍
に移動し積み上げておく。

【００２４】そして、各部を作動状態となす。具体的に
は、搬送用モータｍ１を始動させてスプロケット１６を
回転させるのであり、スプロケット１６の回転は駆動チ
ェーン１９を介して他のスプロケット１４などを回転さ
せ、各挟持搬送ローラ組９の下側の挟持搬送ローラ８ｂ
や前側の案内ローラ１１ａを回転させ、さらに下側の挟
持搬送ローラ８ｂの回転はその上側の挟持搬送ローラ８
ａを従動回転させ、また前側の案内ローラ１１ａは搬送
ロープ１２を周回移動させると共に後側の案内ローラ１
１ｂを従動回転させる。

【００２５】またブラシ用モータｍ２を始動させてプー
リ２３ａ、２３ｂを回転させるのであり、これらプーリ
２３ａ、２３ｂの回転は伝動ベルト２４ａ、２４ｂを介
してプーリ２１ｂ、２１ａを回転させると共に上下の各
回転ブラシ２０ａ、２０ｂをその対向部位が前方へ移動
するように回転させる。

【００２６】またブロアー３５を始動させ、連通管３６
１を通じて気水分離タンク２７内の空気を吸引させるの
であり、これにより乾燥要部４の前後の透孔３１、３１
から空気が流入し連通管３３、気水分離タンク２７及び
連通管３６１を経てブロア３５の空気吸引口３５ａに達
し、この後、消音器３６を経て消音された状態で流出口
３６ａから大気に排出される。さらに各注水ノズル２５
には水が供給されてその噴射口から搬送部１の搬送経路
へ向けて噴射される。

【００２７】作業者はこの状態の下でダイシングフレー
ムｇの一枚づつを投入支持台４１上に適当間隔で送り込
むのである。この送込み処理は手作業により行ってもよ
いし或いは搬入ロボットにより自動的に行わせるも任意
である。

【００２８】このように送り込まれた各ダイシングフレ
ームｇは挟持搬送ローラ組９の上下の挟持搬送ローラ８
ａ、８ｂに挟み付けられたり上下の左右向き支持条部材
１０、１０間を経るなどして搬送経路を下流側へ搬送さ
れるのであり、この搬送中に、上下の回転ブラシ２０
ａ、２０ｂがダイシングフレームｇの上下各面をそのブ
ラシ毛で摺擦して、ゼリー状に付着した糊剤をダイシン
グフレームｇの表面から剥離させ、次に注水ノズル２５
から噴射された水がダイシングフレームｇの上下表面に
剥離状態で存在している糊剤を洗い流しドレン受け３７
の底面上に落下し、次に上下一対のゴム板４０ａ、４０
ｂがダイシングフレームｇの上下面に付着した水滴を軽
く掻き落として水切りを行い、ここで掻き落とされた水
はドレン受け３７の前室３７ａや後室３７ｂ内の底面上
に落下する。

【００２９】この後、ダイシングフレームｇは図３及び
図４に示すように乾燥要部４の前後の透孔３１、３１内
を通過するようになり、この通過中、ブロア３５の作動
により、各透孔３１、３１を経て勢いよく密閉室２９内
に流入する空気流がダイシングフレームｇの上下面に残
存している水滴を飛散分離させて密閉室２９内に流入さ
せると共にダイシングフレームｇの上下面の水分を積極
的に蒸発させてダイシングフレームｇを乾燥させる。こ
の際、前側の透孔３１を通過する空気流がダイシングフ
レームｇを十分に乾燥させることができなくても、後側
の透孔３１を通過する空気流がさらにダイシングフレー
ムｇを乾燥させるようになる。

【００３０】上記空気流による乾燥処理においては、ダ
イシングフレームｇは上下面に布などの有形物を押し付
けられることなく水分を除去されて乾燥されるため、そ
の表面を、繊維片などの付着の生じることなく清浄に保
持されるのである。また密閉室２９内ではダイシングフ
レームｇの上下面に付着した微細な水分が効果的に蒸発
される。

【００３１】密閉室２９内の底面には空気流の運んだ水
分が存在するものとなるが、この水分は空気と共に気水
分離タンク２７内に流下し、ここで水分は、その比重が
大きいことから空気流の存在にも拘わらず落下して気水
分離タンク２７内に蓄積され、一方、空気は気水分離タ
ンク２７内の上部から連通管３６１を経てブロア２７に
至り大気に排出され、空気と水分が分離されるのであ
る。

【００３２】前後の透孔３１、３１を通過した後のダイ
シングフレームｇはロープ搬送部６に到達し、ここでは
複数の搬送ロープ１２がダイシングフレームｇの下面の
極狭い部分を支持して送出支持台４２上に払い出す。従
って、ダイシングフレームｇはロープ搬送部６において
その下面を汚染されることなく搬送されるのである。こ
の払い出された各ダイシングフレームｇは手作業により
特定位置に取り出したり或いは搬出ロボットなどにより
自動的に特定位置に取り出すようになされる。

【００３３】

【発明の効果】上述した本発明によれば、次のような効
果が得られる。即ち、請求項１に記載した洗浄機によれ
ば、ダイサーで使用した後の糊剤の付着したダイシング
フレームから糊剤を能率的に除去すると共にダイシング
フレームをこれの表面に不純物の付着しないように、し
かも高速で乾燥させることができるものである。

【００３４】請求項２に記載した乾燥装置によれば、ダ
イシングフレームをこれの表面に不純物の付着しないよ
うに高速で乾燥させることができるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るダイシングフレーム洗浄機の側面
視断面図である。

【図２】前記洗浄機の平面図である。

【図３】前記洗浄機の乾燥要部の作動状態を示す図であ
る。

【図４】前記乾燥要部の透孔にダイシングフレームが入
っている状況を示す図である。

【図５】ダイシングフレームを示す平面図である。

【符号の説明】

１ 搬送部 ２ ブラシ装置 ３ 注水ノズル部 ４ 乾燥要部 ２６ 乾燥装置 ２９ 密閉室 ３０ａ 前面壁 ３０ｂ 後面壁 ３１ 透孔 ｇ ダイシングフレーム

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 処理液に浸漬されて軟化した糊剤の付着
   しているダイシングフレームを供給される搬送部を形成
   し、この搬送部の搬送途中に供給側から順に、ダイシン
   グフレームの上下面を摺擦するものとしたブラシ装置
   と、このブラシ装置で摺擦されたダイシングフレームに
   注水するための注水ノズル部と、ダイシングフレームに
   付着した水分を空気流により除去するものとした乾燥装
   置とを設けたことを特徴とするダイシングフレーム洗浄
   機。
2. 【請求項２】 真空圧を付与される密閉室を形成し、こ
   の密閉室の前壁面と後壁面とにダイシングフレームの厚
   さと直径とに適合させた細長状の透孔を設けると共に、
   ダイシングフレームを前記２つの透孔を通じて密閉室を
   通過するように搬送する搬送部を設け、ダイシングフレ
   ームが各透孔を通過するとき、このダイシングフレーム
   に付着した水分が前記真空圧の生成させた密閉室外方か
   らその内方へ向かう空気流により流動飛散され密閉室内
   で真空圧下で蒸発される構成を特徴とするダイシングフ
   レーム乾燥装置。