JP2002320895A

JP2002320895A - 流体塗布装置

Info

Publication number: JP2002320895A
Application number: JP2001132142A
Authority: JP
Inventors: Masaru Yamauchi; 大山内; Teruo Maruyama; 照雄丸山; Koji Sonoda; 孝司園田; Shuji Ono; 修治大野; Eishin Nishikawa; 英信西川; Yoichi Nakamura; 洋一中村
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2001-04-27
Filing date: 2001-04-27
Publication date: 2002-11-05

Abstract

(57)【要約】【課題】高速で間欠的に微少量かつ高精度にて流体の
塗布が可能でメンテナンス容易な、流体塗布装置を提供
する。【解決手段】回転装置１１８にて吐出用部材１０８を
回転させることで流体に生じる供給圧力及びシール圧力
が均衡する均衡位置を境として、上記吐出用部材を回転
させながら移動装置１０１に備わる電磁歪素子１０５に
て軸方向に移動させ、上記供給圧力及び上記シール圧力
の均衡をくずすことで流体の吐出及び吐出遮断を行なう
ように構成した。したがって、上記電磁歪素子にて上記
吐出用部材の微小な移動を実現でき、かつ高速で間欠的
に微少量かつ高精度にて流体の塗布が可能である。さら
に移動装置１０１に対して収納部材１１３及び吐出用部
材１０８を着脱自在に構成したことから接液部分のメン
テナンスが容易となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば電子部品、
家電製品などの分野における生産工程に用いることがで
き、接着剤、クリームハンダ、蛍光体、グリース、ペイ
ント、ホットメルト、薬品、食品などの各種液体を定量
に吐出するための流体塗布装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】液体吐出装置（ディスペンサー）は従来
から様々な分野で用いられているが、近年の電子部品の
小形化・高記録密度化のニーズにともない、微少量の流
体材料を高精度でかつ安定して吐出制御する技術が要求
されるようになっている。例えば、電子部品における表
面実装技術（ＳＭＴ）の分野を例にとれば、部品実装の
高速化、微小化、高密度化、高品位化、無人化の要求の
中で、上記ディスペンサーに対する要求内容の要約は以
下のようになる。（１）塗布量の高精度化及び１回の塗布量の微少化、
（２）吐出時間の短縮、つまり高速吐出、遮断、及び開
始ができる、（３）高粘度の粉流体に対応できる。従
来、微少流量の液体を吐出させるために、エアパルス方
式、ねじ溝式、電磁歪素子によるマイクロポンプ方式な
どのディスペンサーが実用化されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上述の各種ディスペン
サーの内、図７に示すようなエアパルス方式によるディ
スペンサーが広く用いられており、例えば「自動化技術
９３．２５巻７号」等にその技術が紹介されている。
この方式によるディスペンサーは、定圧源２０から供給
される定量の空気をシリンダ状の容器１０内へパルス状
に供給し、容器１０内の圧力上昇分に対応する一定量の
液体２５を吐出ノズル１２から吐出する。このようなエ
アパルス方式のディスペンサー１０は、液体２５の吐出
応答性が悪いという欠点があった。該欠点は、容器１０
内に封じ込められた空気２１の圧縮性と、エアーパルス
を狭い隙間に通過させる際のノズル抵抗とに起因する。
即ち、上記エアーパルス方式の場合、容器１０の容積Ｃ
と、ノズル１２における抵抗Ｒとの積で求まる流体回路
の時定数Ｔが大きく、容器１０内にパルス状の空気を供
給後、吐出開始までに、例えば０．０７〜０．１秒程度
の時間遅れを見込まねばならない。

【０００４】このような上記エアーパルス方式の欠点を
解消するために、吐出ノズル１２の入口部にニードルバ
ルブを設けて、このニードルバルブを構成する細径のス
プールを容器１０の軸方向に高速で移動させることによ
り、吐出ノズル１２を開閉させるディスペンサーが実用
化されている。しかしこの場合、流体の遮断時、吐出ノ
ズル１２と上記ニードルバルブとの隙間はゼロとなり、
数ミクロン〜数十ミクロンの平均粒径の粉体は、機械的
に圧搾作用を受け破壊される。その結果発生する様々な
不具合のため、粉体を含む接着材、導電性ペースト、蛍
光体等の塗布に対して、上記エアーパルス方式のディス
ペンサーは適用困難な場合が多い。

【０００５】又、上記欠点解消のために、粘性ポンプで
あるねじ溝式のディスペンサーも既に実用化されてい
る。ねじ溝式の場合、ノズル抵抗に依存しくいポンプ特
性を選ぶことができるため、連続塗付の場合には好まし
い結果を得られるが、間欠塗布は粘性ポンプの特性上不
得手である。そのため従来のねじ溝式では、（１）ねじ
を回転させるモータと、ねじ軸（ポンプ軸）との間に電
磁クラッチを介在させ、吐出のオン、オフは、上記電磁
クラッチの連結あるいは開放にて実行する、（２）上記
モータにＤＣサーボモータを用いて、急速な回転開始あ
るいは急速な停止を行なう、という工夫が講じられてい
る。しかし、上述の構造では、いずれも機械的構造部分
の時定数で応答性が決まるため、高速間欠動作には制約
があった。吐出応答性はエアーパルス方式と比較すると
良好であるが、しかし吐出応答時間は、０．０５秒程度
が限界であった。又、上記ねじ軸の過渡応答時（回転始
動時と停止時）の回転特性に不確定要因が多いため、吐
出流量の厳密な制御は難しく、塗布精度にも限界があっ
た。

【０００６】又、微少流量の流体を吐出することを目的
として、積層型の圧電素子を利用したマイクロポンプが
開発されている。このマイクロポンプには、通常機械式
の受動的な吐出弁、吸入弁が用いられる。しかし、バネ
とボールから構成され圧力差によって上記吐出弁、吸入
弁を開閉させる上記マイクロポンプでは、流動性の悪
い、数万〜数十万センチポワズの高粘度のレオロジー流
体を、高い流量精度でかつ０．１秒以下という高速で間
欠吐出させることは極めて困難である。

【０００７】近年、さらに高精度化、超微細化していく
回路形成の分野、あるいはＰＤＰ（プラズマディスプレ
イパネル）やＣＲＴ等の映像管の電極とリブ形成、液晶
パネルのシール材塗布、光ディスク等の分野における製
造行程では、微細塗布技術に関して、以下のような要望
が強い。（１）連続塗布後、すばやく塗布を止め、かつ短時間後
に再び連続塗布を急峻に開始できること。そのために
は、例えば０．０１秒のオーダーで流量制御できること
が理想である。（２）粉粒体に対応できること。たとえば流路の機械的
な遮断により、粉体の圧搾破損、流路の詰まり等のトラ
ブルがないこと。（３）流体に接する部分のメンテナンスが容易なこと。

【０００８】本発明は、上述したような問題点を解決す
るためになされたもので、高速で間欠的に微少量かつ高
精度にて流体の塗布が可能で、かつ接液部分のメンテナ
ンスが容易な、流体塗布装置を提供することを目的とす
る。

【０００９】

【課題を解決するための手段及びその作用】上記目的を
達成するために本発明は以下のように構成する。即ち、
本発明の第１態様の流体塗布装置は、塗付する流体の吐
出動作を行なう円筒状の吐出用部材と、上記吐出用部材
の直径方向に第１隙間を介して、及び軸方向に第２隙間
を介して上記吐出用部材を収納する凹形状を有し、かつ
上記第１隙間へ上記流体を供給する流体供給通路を有
し、かつ上記第１隙間に供給され上記第２隙間へ移動し
た上記流体を外部へ吐出するための通路であって上記吐
出用部材の中心軸に沿って延在し上記第２隙間に開口す
る吐出用通路を有する収納部材と、上記吐出用部材をそ
の軸方向に沿って移動させ上記吐出用通路を通して上記
流体の外部への吐出開始及び停止を制御する電磁歪素子
を有し、かつ上記吐出用部材及び上記収納部材と着脱自
在な移動装置と、上記吐出用部材をその周方向に沿って
回転させる回転装置と、上記第１隙間に面する上記吐出
用部材の周囲面及び上記収納部材の上記周囲面に対向す
る第１対向面の少なくとも一方に設けられ、上記回転装
置による上記吐出用部材の回転により上記第１隙間に存
在する上記流体を上記第２隙間へ移動させる移動用溝
と、上記第２隙間に面する上記吐出用部材の吐出側端面
及び上記収納部材の上記吐出側端面に対向する第２対向
面の少なくとも一方に設けられ、上記回転装置にて上記
吐出用部材が回転しているとき上記吐出用通路からの上
記流体の吐出を停止する遮断用溝と、を備えたことを特
徴とする。

【００１０】上述のように構成することで、上記移動装
置において上記吐出用部材を着脱自在とすることは、上
記吐出用部材のメンテナンスを容易にする。上記移動用
溝は、上記回転装置による上記吐出用部材の回転により
上記第１隙間に存在する上記流体を上記第２隙間へ移動
させ、上記流体に供給圧力を生じさせるように作用す
る。又、上記遮断用溝は、上記回転装置にて上記吐出用
部材が回転しているとき上記流体の吐出を停止させるよ
うなシール圧力を上記流体に生じさせるように作用す
る。上記供給圧力は、上記第２隙間の隙間寸法にほとん
ど左右されずほぼ一定である。一方、上記シール圧力
は、上記第２隙間の隙間寸法に対して対数関数的に変化
する。よって、上記供給圧力と上記シール圧力とが均衡
している状態では、上記流体は、上記吐出用通路から吐
出も吸引もされない状態となる。上記移動装置にて上記
吐出用部材を上記軸方向へ移動させて上記第２隙間の寸
法を変化させることで、即ち上記均衡状態を解除するこ
とで、上記シール圧力が変化する。該シール圧力の変化
は、上記吐出用通路からの上記流体の吐出開始及び停止
を行なうように作用する。さらに、上記吐出用部材の上
記軸方向への移動は、上記移動装置に備わる電磁歪素子
にて発生し、該電磁歪素子は、上記吐出用部材を上記軸
方向へ微小に移動させるように作用する。このように、
上記均衡状態を境として上記流体の吐出開始及び停止を
行なうことから、高速で間欠的に微少量かつ高精度にて
流体供給が可能となる。さらに、移動装置に対して収納
部材及び吐出用部材を着脱自在とすることは、流体に接
する部材のメンテナンスを容易するように作用する。

【００１１】又、上記移動装置に対して、上記吐出用部
材の上記軸方向への変位であって上記第２隙間の寸法再
現用の変位を検出する変位検出器をさらに備えることも
できる。

【００１２】さらに、上記収納部材は、上記移動装置に
備わるハウジングに締結部材にて着脱自在に取り付けら
れ、上記吐出用部材は、上記移動装置に備わるヨーク部
材に締結部材にて着脱自在に取り付けることもできる。

【００１３】又、上記吐出用部材に対して上記軸方向へ
滑動自在な状態にて上記吐出用部材に嵌合され、かつ上
記軸方向に沿って上記吐出用部材の中心部を通って延在
して上記回転装置に連結されて上記周方向へ回転される
中心シャフトであって、上記吐出用部材の上記吐出側端
面を構成し、かつ上記移動装置にて上記軸方向に沿って
上記吐出用部材が上記収納部材側へ移動したとき、相対
的に上記吐出用部材内へ収納されて上記第２隙間の全容
積の減少を防止する容積減少防止用空間を形成する中心
シャフトをさらに備えることもできる。

【００１４】

【発明の実施の形態】本発明の実施形態における流体塗
布装置について、図を参照しながら以下に説明する。
尚、各図において同じ構成部分については同じ符号を付
している。又、本実施形態では、流体塗布装置は、電子
部品を回路形成体上に実装する実装分野で使用される場
合を例に採り、よって対象とする流体は、電子部品を基
板に固定したり、電子部品の電極を基板の電極と接続し
たり、配線を有する基板同士やＬＣＤ等との接続を行な
うための固定用材料つまり一般的に言われる接着剤を例
に採る。しかしながら、本実施形態における流体塗布装
置は、該実装分野及び上記流体に限定されるものではな
く、例えば薬品、食品分野等における各種流体について
も適用可能である。

【００１５】図１に本実施形態の流体塗布装置１００を
示す。流体塗布装置１００の主たる構成部分として、円
筒状の吐出用部材１０８と、隙間を介して上記吐出用部
材１０８を収納し、塗布する流体を吐出する吐出用通路
を有する収納部材１１３と、上記吐出用部材１０８をそ
の軸方向へ移動させる移動装置１０１と、上記吐出用部
材１０８をその周方向へ回転させる回転装置１１８と、
図２に示すように吐出用部材１０８の周囲面に形成され
る移動用溝１３４と、図３に示すように遮断用溝１３２
とを備えることができ、本実施形態では、さらに、上記
吐出用部材１０８の上記軸方向における変位量を検出す
る変位検出器１２９、制御装置１８０、及び中心シャフ
ト１０９を備えている。

【００１６】概略このような構成部分を有する流体塗布
装置１００は、図１に示すように、上記回転装置１１
８、上記移動装置１０１のハウジング１１２、及び上記
収納部材１１３をこの順にて同軸上に配列して構成され
る。該流体塗布装置１００では、上記収納部材１１３と
上記吐出用部材１０８とによって形成される上記隙間
へ、塗布する流体が供給され、上記回転装置にて上記吐
出用部材１０８が回転することで上記移動用溝１３４及
び上記遮断用溝１３２によって上記流体に圧力を生じさ
せ、上記移動装置にて上記隙間の大きさを変化させて上
記圧力を変化させることで上記流体の吐出制御が行なわ
れる。以下に、このような流体塗布装置１００の構造及
び動作について詳しく説明する。

【００１７】まず、上記移動装置１０１について説明す
る。本実施形態では、高粘度流体を高速で間欠的に微少
量かつ高精度に供給するために、該移動装置１０１で
は、移動される部材の高い位置決め精度が得られ、かつ
高い応答性を持ち、かつ大きな発生荷重が得られる、超
磁歪素子を有する超磁歪ロッド１０５を駆動源として使
用している。尚、本実施形態では、電磁歪素子の機能を
果たす一例として上記超磁歪素子を使用している。該移
動装置１０１は、リア側ヨーク１０３、リア側永久磁石
１０４、上記超磁歪ロッド１０５、フロント側永久磁石
１０６、フロント側ヨーク１０７、磁界コイル１２０、
ヨーク材１２１、及びハウジング１１２を有する。具体
的には、図１に示すように、中空のハウジング１１２内
にて、該ハウジング１１２の内壁に設けたヨーク材１２
１に円環状の磁界コイル１２０が取り付けられ、該磁界
コイル１２０の中央部分を該磁界コイル１２０に非接触
な状態で貫通して円環状の上記超磁歪ロッド１０５が配
置される。該構成により、磁界コイル１２０は、超磁歪
ロッド１０５に対して、超磁歪ロッド１０５の延在方向
に磁界を作用させることができる。よって、磁界コイル
１２０にて発生させる磁界を制御することで、つまり電
流供給装置１６６から磁界コイル１２０へ供給する電流
を制御装置１８０にて制御することで、超磁歪ロッド１
０５の伸縮を外部から非接触な状態で制御することがで
きる。尚、超磁歪ロッド１０５を構成する超磁歪素子
は、希土類元素と鉄の合金であり、例えば、ＢＦｅ_２、
ＤｙＦｅ_２、ＳｍＦｅ_２等が知られている。

【００１８】さらに該超磁歪ロッド１０５の両端には、
円環状の上記リア側永久磁石１０４及び上記フロント側
永久磁石１０６が設けられ、さらにリア側永久磁石１０
４に隣接して上記リア側ヨーク１０３が設けられ、フロ
ント側永久磁石１０６に隣接して上記フロント側ヨーク
１０７が設けられる。上記リア側永久磁石１０４及び上
記フロント側永久磁石１０６は、上記超磁歪ロッド１０
５に予め磁界を作用させて磁界の動作点を高める磁石で
あり、この磁気バイアスにより磁界の強さに対する超磁
歪の線形性を改善することができる。尚、上記永久磁石
１０４、１０６は、必須の構成ではなく、設けない構成
を採ることもできる。

【００１９】上述のように構成される移動装置１０１で
は、一例として、超磁歪ロッド１０５→リア側永久磁石
１０４→リア側ヨーク１０３→ヨーク材１２１→フロン
ト側ヨーク１０７→フロント側永久磁石１０６→超磁歪
ロッド１０５の向きに作用する磁界により、超磁歪ロッ
ド１０５の伸縮を制御する閉ループ磁気回路を形成して
いる。尚、上述の磁界の向きは、上述の場合とは逆向き
の場合もある。即ち、上記リア側ヨーク１０３、リア側
永久磁石１０４、超磁歪ロッド１０５、フロント側永久
磁石１０６、フロント側ヨーク１０７、磁界コイル１２
０、及びヨーク材１２１によって、磁界コイル１２０に
供給する電流により、超磁歪ロッド１０５の延在方向、
即ち当該流体塗布装置１００の軸方向１７１における超
磁歪ロッド１０５の伸縮を制御できる超磁歪アクチェー
タとしての上記移動装置１０１を構成している。又、超
磁歪ロッド１０５が上記軸方向１７１へ伸縮すること
で、上記フロント側ヨーク１０７も軸方向１７１へ伸縮
する。

【００２０】上記ハウジング１１２のリア側には、締結
部材としてのボルト１２４にて上記回転装置１１８が固
定される。該回転装置１１８は、本実施形態ではモータ
を使用し上記制御装置１８０にて動作制御される。回転
装置１１８の出力軸１１８ａは、カップリング１１９を
介して上記リア側ヨーク１０３の一端部と連結される。
尚、カップリング１１９は、上記出力軸１１８ａの下記
の周方向１７２への回転力をリア側ヨーク１０３に伝え
るとともに、リア側ヨーク１０３を軸方向１７１へ移動
可能に把持する。又、リア側ヨーク１０３の一端側に
は、該リア側ヨーク１０３に対して上記軸方向１７１及
び下記の矢印１７２方向に滑動可能にしてリア側スリー
ブ１２２が嵌合されている。よって、リア側ヨーク１０
３は、回転装置１１８にて、例えば矢印１７２に示す周
方向へ上記ハウジング１１２内で回転可能であり、リア
側スリーブ１２２及び軸受１２３を介して上記ハウジン
グ１１２に回転可能に支持されている。

【００２１】当該流体塗布装置１００では、上述のリア
側ヨーク１０３から突出し当該流体塗布装置１００の中
心をその軸方向１７１に沿って延在する中心シャフト１
０９をさらに備える。尚、中心シャフト１０９は、上記
移動装置１０１の上述の磁気回路に影響を与えないよう
に、非磁性材料を用いている。上述のように、リア側ヨ
ーク１０３は回転装置１１８にて回転されるので、上記
中心シャフト１０９もその周方向、即ち上記矢印１７２
方向へ回転可能である。該中心シャフト１０９は、それ
ぞれ円環状の、リア側永久磁石１０４、超磁歪ロッド１
０５、フロント側永久磁石１０６、及びフロント側ヨー
ク１０７、さらに詳細後述する上記吐出用部材１０８の
各中央部分に対して、上記軸方向１７１に滑動可能でか
つ上記周方向１７２に回転可能な状態で嵌合される。但
し、フロント側ヨーク１０７と中心シャフト１０９との
間には、キー１１０を設けているので、フロント側ヨー
ク１０７は、中心シャフト１０９と一体的に同方向へ回
転する。又、フロント側ヨーク１０７には、フロント側
スリーブ１２５が嵌合されている。このようなフロント
側ヨーク１０７は、軸受１２６を介してハウジング１１
２に回転可能に支持されている。尚、上記キー１１０は
ピンでもよく、上記軸受１２６は、通常のベアリングで
もいいし回転及び軸方向移動が可能なガイド部材でもよ
い。

【００２２】さらに、リア側ヨーク１０３と上記リア側
スリーブ１２２との間、及びフロント側ヨーク１０７と
フロント側スリーブ１２５との間には、それぞれ付勢力
発生部材の一例としてバイアスバネ１２７、１２８を設
けている。これらのバネ１２７、１２８は、リア側永久
磁石１０４及びフロント側永久磁石１０６を介して、リ
ア側ヨーク１０３とフロント側ヨーク１０７とによって
超磁歪ロッド１０５を押圧する荷重を発生している。こ
の結果、超磁歪ロッド１０５には常に軸方向１７１に圧
縮応力が加わるため、磁界コイル１２０による、超磁歪
ロッド１０５の軸方向１７１への伸縮による繰り返し応
力が発生した場合に、引張応力に弱い超磁歪素子の欠点
を解消することができる。以上説明したような、移動装
置１０１の構成により、回転装置１１８による回転力
は、中心シャフト１０９及びフロント側ヨーク１０７の
みに伝達され、脆性材料である超磁歪素子に捻りトルク
は発生しない。

【００２３】上記フロント側ヨーク１０７の一端には、
締結部材の一例としてのボルト１６１にて着脱自在に上
記吐出用部材１０８が取り付けられる。該吐出用部材１
０８は、上記フロント側ヨーク１０７への取付部となる
つば部１０８１を一端に設け、該つば部１０８１より突
出した突出部１０８２がつば部１０８１と一体的に成形
されたＴ字形の部材であり、上記流体の吐出動作を行な
う部材である。本実施形態では、上記突出部１０８２は
円筒形であり、上述のように吐出用部材１０８の中心部
には、上記軸方向１７１に沿って上記中心シャフト１０
９が当該吐出用部材１０８に対して上記軸方向１７１及
び上記周方向１７２に滑動可能な状態にて嵌合されてい
る。該中心シャフト１０９は、通常状態では図２に示す
ように、吐出用部材１０８の他端に位置する吐出側端面
１０８３とほぼ同一面となるように延在している。尚、
上記突出部１０８２は中空な円筒形に限定されず、例え
ば後述の他の実施形態に示すように中心シャフト１０９
を設けないときには中実の部材となる。又、上記突出部
１０８２の周囲面１０８２ａには、螺旋状に移動用溝１
３４が形成されており、上記吐出側端面１０８３、及び
吐出側端面１０８３と同一面となる、中心シャフト１０
９の先端面１０９１には遮断用溝１３２が形成されてい
る。これらについては以下で詳しく説明する。

【００２４】このような吐出用部材１０８は、上述のよ
うにフロント側ヨーク１０７が上記移動装置１０１にて
上記軸方向１７１に伸縮移動することから、フロント側
ヨーク１０７と同方向へ同時に移動する。さらに、上記
回転装置１１８による上記中心シャフト１０９の上記周
方向１７２への回転により上記フロント側ヨーク１０７
を介して周方向１７２へ回転する。このように、吐出用
部材１０８は、軸方向１７１への運動と周方向１７２へ
の運動とを同時にかつ独立して行うことができる。

【００２５】上述の構成を有する吐出用部材１０８を収
納する収納部材１１３は、主部材１１３１と、吐出ノズ
ル１１６を有するノズル用部材１１３２と、取付用部材
１１３３とを備える。上記主部材１１３１は、図２に示
すように、上記吐出用部材１０８の上記突出部１０８２
の周囲面１０８２ａとの間で突出部１０８２の直径方向
に第１隙間１６２を介して、及び軸方向に第２隙間１６
３を介して吐出用部材１０８の突出部１０８２を収納す
る凹部１１３４を有し、さらに上記第１隙間１６２へ上
記流体１７５を供給する流体供給通路１１５を有する。
上記突出部１０８２は、上記凹部１１３４内で軸方向１
７１に移動可能である。該主部材１１３１は、図１に示
すように、締結部材の一例としてのボルト１６４にて、
上記ハウジング１１２に対して着脱自在に取り付けられ
る。又、ハウジング１１２には、上記主部材１１３１を
取り付ける際の位置決めが容易となるように、主部材１
３１と嵌合する溝部１１２１を設けている。尚、これと
は逆に、ハウジング１１２に突部を設け主部材１３１に
溝部を設けて位置決めを容易にしてもよく、要するに位
置決めを容易にする係合部をハウジング１１２及び主部
材１３１に設ければ良い。又、ハウジング１１２に収納
部材１１３が取り付けられた状態にて、吐出用部材１０
８の上記つば部１０８１が当該収納部材１１３内で軸方
向１７１に移動自在な空間を形成するように、収納部材
１１３は凹部１１３７を有する。

【００２６】上記ノズル用部材１１３２は、上記取付用
部材１１３３により上記主部材１１３１の端部へ着脱自
在に取り付けられる部材であり、主部材１１３１に取り
付けられたときに上記吐出側端面１０８３との間に第２
隙間１６３を形成する対向面１３１を有し、かつ上記軸
方向１７１に沿って吐出ノズル１１６を突出している。
ノズル用部材１１３２及び吐出ノズル１１６には、上記
第１隙間１６２に供給され上記吐出用部材１０８にて上
記第２隙間１６３へ移動した上記流体１７５を外部へ吐
出するための通路であって上記吐出用部材１０８の中心
軸に沿って延在し上記第２隙間１６３に開口する吐出用
通路１１３５が形成されている。上記取付用部材１１３
３は、主部材１１３１と係合するネジ部１１３６を有
し、主部材１１３１との間に上記ノズル用部材１１３２
を挟持するようにして、ネジ部１１３６で主部材１１３
１に螺合し、主部材１１３１に着脱自在な部材である。

【００２７】尚、上述のように上記主部材１１３１と吐
出用部材１０８との第１隙間１６２及び第２隙間１６３
には上記流体１７５が充填されることから、第１隙間１
６２からフロント側ヨーク１０７側への流体１７５の漏
れを防止するため、図１にしめすように、主部材１１３
１にはシール材としてＯ−リング１５０を設けている。
又、第１隙間１６２及び第２隙間１６３は、上記流体１
７５を上記吐出用通路１１３５へ供給する、いわゆるポ
ンプ室としての機能を果たす。又、上記流体供給通路１
１５には、制御装置１８０にて動作制御され、上記流体
の供給を行なう流体供給装置１６５が接続されている。

【００２８】以上の説明から明らかなように、上記主部
材１１３１から上記取付用部材１１３３を取り外すこと
で、ノズル用部材１１３２も取り外される。さらに、ボ
ルト１６４をはずすことで、主部材１１３１をハウジン
グ１１２から取り外すことができ、この状態にて、吐出
用部材１０８を露出させることができる。したがって、
さらにボルト１６１をはずすことで、フロント側ヨーク
１０７から吐出用部材１０８を取り外すことができる。
上記吐出用部材１０８には上記流体１７５が接すること
から、定期的なメンテナンス作業が必要となるが、上述
のように本実施形態では、フロント側ヨーク１０７に対
する吐出用部材１０８の着脱が可能であることから、吐
出用部材１０８のメンテナンス、清掃等を容易に行なう
ことができ、これらの作業性を従来に比べて大幅に改善
することができる。尚、フロント側ヨーク１０７から吐
出用部材１０８を取り外すために、取付用部材１１３３
及びノズル用部材１１３２の取り外しは行なわなくても
良く、ボルト１６４を取り除けば良い。又、勿論、収納
部材１１３を取り外すときには、流体供給通路１１５は
主部材１１３１から取り外される。

【００２９】次に、上述した上記突出部１０８２の周囲
面１０８２ａに形成された移動用溝１３４、並びに、本
実施形態では吐出用部材１０８の吐出側端面１０８３及
び中心シャフト１０９の先端面１０９１に形成されてい
る遮断用溝１３２について説明する。上記移動用溝１３
４は、図２に示すように、上記回転装置１１８による上
記吐出用部材１０８の上記周方向１７２への回転により
上記第１隙間１６２に存在する上記流体を上記第２隙間
１６３へ移動させる溝であり、いわゆるスパイラルグル
ーブ動圧軸受に使用され、又、ねじ溝ポンプに使用され
ている溝と同様の機能を有する。又、移動用溝１３４に
よる上記第１隙間１６２から第２隙間１６３への上記流
体１７５の移動により該流体１７５には供給圧力が生じ
る。該供給圧力は、移動用溝１３４の回転角速度、溝深
さ、溝角度、グルーブ幅、リッジ幅などで決定される。
本実施形態では、例えば１〜２条、溝ピッチ０．５〜４
ｍｍ、溝深さ０．０１〜１ｍｍ、溝幅０．１〜３ｍｍの
値を採ることができ、一例として１条、溝ピッチ１．５
ｍｍ、溝深さ０．０７ｍｍ、溝幅１ｍｍの値が好まし
い。尚、本実施形態では、上記移動用溝１３４は、上記
吐出用部材１０８の上記突出部１０８２における周囲面
１０８２ａに形成しているが、これに限定されるもので
はなく、上記第１隙間１６２に面する上記周囲面１０８
２ａ及び上記収納部材１１３の主部材１１３１におけ
る、上記周囲面１０８２ａに対向する第１対向面１１３
１ａの少なくとも一方に設ければよい。

【００３０】上記遮断用溝１３２は、図３に示すよう
に、中心シャフト１０９及び突出部１０８２の内、少な
くとも突出部１０８２の吐出側端面１０８３に形成さ
れ、突出部１０８２の中心側から周囲側へ向かって渦巻
き状に形成された溝であり、上記回転装置１１８による
上記中心シャフト１０９の上記周方向１７２への回転、
つまり同方向への突出部１０８２の回転により、上記流
体１７５を遠心方向へ移動させることに起因して流体１
７５の上記吐出用通路１１３５からの吐出を停止させる
溝であり、いわゆるスラスト動圧軸受に利用されている
溝と同様の機能を有する。即ち、図２に示すように、中
心シャフト１０９の中心軸上に、上記軸方向１７１に沿
って上記吐出用通路１１３５が形成されていることか
ら、少なくとも吐出用部材１０８の回転による遮断用溝
１３２の回転に伴い、第２隙間１６３に対する吐出用通
路１１３５の開口部分に存在する上記流体１７５は上記
遠心方向へ移動される。一方、上記吐出用部材１０８の
上記周方向１７２への回転による上記移動用溝１３４の
作用により、上記第１隙間１６２に存在する上記流体
は、上記第２隙間１６３へ移動される。よって、第２隙
間１６３において、遮断用溝１３２及び移動用溝１３４
によってそれぞれ移動される両流体がぶつかり圧縮され
圧力が高くなる高圧力部分が発生する。このように遮断
用溝１３２は、吐出用通路１１３５からの流体１７５の
吐出を停止させるシール圧力を上記流体１７５に生じさ
せることができる。尚、本実施形態では、上記吐出側端
面１０８３に上記遮断用溝１３２を形成しているが、こ
れに限定されるものではなく、上記吐出側端面１０８３
及び、該吐出側端面１０８３に対向する上記ノズル用部
材１１３２における対向面１３１の少なくとも一方に設
ければ良い。又、後述の実施形態のように、中心シャフ
ト１０９を設けない形態においては、上記遮断用溝１３
２は、吐出用部材１０８の上記吐出側端面１０８３に形
成される。

【００３１】上記遮断用溝１３２により発生可能な上記
シール圧力は、遮断用溝１３２の回転角速度、遮断用溝
１３２の内、外径寸法、溝深さ、溝角度、グルーブ幅、
リッジ幅などで決定される。これらの値の一例を下記の
表１に示す。

【００３２】

【表１】

【００３３】上述のように、吐出用部材１０８には、上
記移動装置１０１による軸方向１７１への運動と、上記
回転装置１１８による周方向１７２への運動とが同時に
かつ独立して作用させることができる。よって、吐出用
部材１０８を周方向１７２へ回転した状態で、軸方向１
７１へ移動させて第２隙間１６３の寸法を任意に制御す
ることができる。この機能を用いることで、上記流体供
給通路１１５から吐出用通路１１３５に至るいかなる流
通路の区間にいかなる吐出手段をも設けることなく、機
械的に非接触の状態で、上記流体の吐出及び吐出遮断を
行うことができる。

【００３４】以下に、上記供給圧力及び上記シール圧
力、並びにこれらの圧力と上記流体の吐出動作との関係
に基づいて、上記流体の吐出原理について説明する。図
４に示すグラフにおける曲線（イ）は、上記表１に示す
条件下で、遮断用溝１３２を用いた場合の上記第２隙間
の寸法δに対するシール圧力Ｐｓの特性を示す。曲線
（イ）から明らかなように、上記シール圧力は、上記寸
法δに依存し、寸法δが小さくなるほど大きくなる。
又、曲線（ロ）は、上記移動用溝１３４による供給圧力
と、上記寸法δとの関係を示している。曲線（ロ）から
明らかなように、上記供給圧力は、定性的には、上記寸
法δの変化に対して極めて鈍感でありほぼ一定であり、
上記寸法δに依存しないと言える。

【００３５】上記シール圧力について、上記寸法δが十
分大きいとき、例えば寸法δが１５μｍのとき、上記シ
ール圧力Ｐｓは、Ｐｓ＜９．８×１０^５Ｐａである。
又、中心シャフト１０９を上記周方向１７２へ回転させ
ながら、吐出用部材１０８を上記軸方向１７１に沿って
上記ノズル用部材１１３２側へ移動させて上記寸法δを
小さくした場合、上記寸法δが例えば１０．０μｍ未満
になると、上記シール圧力Ｐｓが上記供給圧力よりも大
きくなり、上記流体の吐出用通路１１３５への流出は遮
断される。

【００３６】図２は流体の流出が遮断された状態を示し
ている。つまり、上記遮断用溝１３２による上記シール
圧力により開口部１３３の近傍は負圧（大気圧以下）と
なり、吐出ノズル１１６の開口部１３３近傍における上
記流体が吐出用通路１１３５へ流出することはない。こ
の効果により、吐出終了後、吐出ノズル１１６の内部に
残存していた流体は、再び第２隙間１６３へ吸引され
る。したがって、吐出ノズル１１６の先端にて、上記流
体の表面張力による流体塊ができることはなく、糸引
き、液垂れを解消することができる。

【００３７】このように、上記供給圧力と上記シール圧
力とが均衡する均衡位置に、本実施形態では上記中心シ
ャフト１０９の上記先端面１０９１及び、上記吐出用部
材１０８の上記吐出側端面１０８３を位置させること
で、上記回転装置１１８にて吐出用部材１０８を上記周
方向１７２に回転させながら上記移動装置１０１にて吐
出用部材１０８が上記軸方向１７１に上、下動したと
き、上記第２隙間１６３の隙間寸法δが変化し、それに
よって上記シール圧力を変化させることができる。つま
り、上記均衡位置よりも上記第２隙間１６３の寸法δを
大きくすると上記シール圧力よりも上記供給圧力の方が
大きくなり、上記吐出用通路１１３５から上記流体を吐
出させることができ、逆に、上記均衡位置よりも上記第
２隙間１６３の寸法δを小さくすると上記シール圧力が
上記供給圧力よりも大きくなり、上記吐出用通路１１３
５からの上記流体の吐出を停止することができる。この
ように、上記シール圧力の変化により、上記吐出用通路
１１３５からの上記流体の吐出及び吐出遮断を制御する
ことができる。上記均衡位置として、本実施形態では、
上記第２隙間１６３の寸法δ内の上記δ１が相当する。

【００３８】上述のように、本実施形態では、上記移動
装置１０１により吐出用部材１０８を上記軸方向１７１
に沿って上記均衡位置を境としてわずか数μｍ程度移動
させることにより、上記流体の圧力変化に基づいて上記
流体の吐出開始及び停止を制御することができる。さら
に上記第２隙間１６３を変化させる移動装置１０１に上
記超磁歪ロッド１０５を用いたことから、上述のような
微小な移動を実現でき、よって高速で間欠的に微少量か
つ高精度にて流体供給が可能となる。

【００３９】本実施形態では上述のように、バイアスバ
ネ１２７及びバイアスバネ１２８の両方を設けている
が、該形態に限定されるものではなく、いずれか一方の
みを設ければ良い。又、上記バイアスバネ１２７の付勢
力をバイアスバネ１２８よりも大きくした場合、リア側
ヨーク１０３の軸方向１７１への移動が制限されること
から、中心シャフト１０９は軸方向１７１へほとんど移
動できないことになる。一方、図５に示すように、突出
部１０８２の吐出側端面１０８３とノズル用部材１１３
２の対向面１３１との第２隙間１６３の寸法が当初δで
あったとし、次に、移動装置１０１にて吐出用部材１０
８がノズル用部材１１３２側へ移動し、隙間寸法が上記
δから、これより小さいδ２になったとすると、上記第
２隙間１６３部分の容積は、突出部１０８２が下降した
分、減少する。既に説明したように、均衡位置に相当す
る隙間δ１よりも突出部１０８２を下降させたときに
は、流体１７５の吐出を停止するように作用する。しか
しながら上述のように第２隙間１６３部分の容積が減少
することに起因して、流体１７５を吐出させてしまう現
象が生じることも考えられる。そこで、上記バイアスバ
ネ１２７の付勢力をバイアスバネ１２８の付勢力以下に
設定することで、リア側ヨーク１０３の軸方向１７１へ
の移動を可能とし、図５に示すように、突出部１０８２
が下降するときに中心シャフト１０９を軸方向１７１へ
上昇させて凹部１６７を形成させる。該凹部１６７によ
り上記容積減少を補償することができる。

【００４０】又、上記流体が、微小粒子を含む接着材の
ような粉流体であるとき、上記第２隙間１６３の寸法δ
の最小値は、上記微小粒子の直径よりも大きく設定すれ
ばよい。又、同一の発生圧力に対して、より大きな値の
第２隙間１６３を得るためには、吐出用部材１０８の回
転数を高くするか、吐出用部材１０８の外径寸法を大き
くしかつ上記移動用溝１３４の溝深さ、溝角度等に適切
な値を選べば良い。

【００４１】又、さらに上記ハウジング１１２には、上
記吐出用部材１０８の上記つば部１０８１に対向して配
置され、かつ吐出用部材１０８の上記軸方向１７１への
変位を検出する変位検出センサ１２９を設けている。該
変位検出センサ１２９は制御装置１８０に接続され、制
御装置１８０にて吐出用部材１０８の変位量が求められ
る。該変位量は、後述するように上記流体の吐出動作に
おける吐出用部材１０８の上記軸方向１７１への移動量
として使用して吐出量の制御に使用可能であるととも
に、上述のようにフロント側ヨーク１０７に対して吐出
用部材１０８の着脱を行なったときにおける吐出用部材
１０８の設置位置確認用のデータとしても使用すること
ができる。即ち、本実施形態における効果を最大限に発
揮するためには、上記第２隙間１６３の寸法δを正確に
把握し制御する必要があることから、メンテナンスの際
における上記寸法δの再現性を確保するのに便利であ
る。

【００４２】上述したように、超磁歪ロッド１０５の超
磁歪素子に加えた入力電流と、超磁歪ロッド１０５にお
ける変位とは比例するため、上記変位検出センサ１２９
を設けず、オープンループ制御でも、吐出用部材１０８
の軸方向１７１における位置決め制御は可能である。し
かし、変位検出センサ１２９を設けてフィードバック制
御をすることで、上記超磁歪素子のヒステリシス特性も
改善できるため、より高い精度の位置決めを行うことが
できる。

【００４３】又、本実施形態では、吐出用部材１０８の
軸方向１７１への駆動手段として上記超磁歪ロッド１０
５を用いているが、微少流量を扱う場合には、上記シー
ル圧力を発生させ上記流体の吐出及び吐出停止を行なわ
せるための上記第２隙間１６３における上記吐出用部材
１０８の軸方向１７１への移動量は、大きくとも数十μ
ｍのオーダでよい。よって、上記駆動手段として超磁歪
素子やピエゾ素子などの電磁歪素子を用いた場合でも、
これらの素子にて発生可能な移動量について問題が生じ
ることはない。

【００４４】又、高粘度流体を吐出させる場合、上記移
動用溝１３４によるポンピング作用によって大きな吐出
圧の発生が予想される。この場合、移動装置１０１に
は、高い流体圧に抗する大きな推力が要求されるため、
数百〜数千Ｎの力が容易に出せる電磁歪型アクチェータ
が好ましい。電磁歪素子は、数ＭＨｚ以上の周波数応答
性を持っているため、吐出用部材１０８を高い応答性で
直線運動させることができる。そのため、高粘度流体の
吐出量を高いレスポンスで高精度にて制御できる。

【００４５】又、移動装置１０１に超磁歪素子を用いた
場合、圧電素子を用いる場合と比べて、伝導ブラシを省
略することができることから、回転装置１１８における
モータの負荷を軽減できると共に、全体構成を極めて簡
略化できる。よって、回転装置１１８にて回転される部
分の慣性モーメントを極力小さくすることができ、塗布
装置の細径化が可能である。

【００４６】以上のように構成される流体塗布装置１０
０を用いた流体塗布動作について以下に説明する。該流
体塗布動作は、制御装置１８０にて動作制御され、制御
装置１８０の記憶部１８１には、塗布する流体に対応し
て該流体の吐出及び吐出遮断を行なうための上記軸方向
１７１への吐出用部材１０８の移動量、回転装置１１８
による上記周方向１７２への回転数のデータが格納され
ており、制御装置１８０はこれらの値に基づいて塗布動
作を制御する。変形例として、塗布する流体を入力する
ことで、上記δ１や上記移動量及び上記回転数を求める
ように構成してもよい。又、当該粒体塗布装置１００を
組み立てたとき、上記吐出用部材１０８の上記吐出側端
面１０８３と、上記ノズル用部材１１３２の上記対向面
１３１との隙間、つまり上記第２隙間１６７の上記寸法
δは、０〜約５０μｍとなる。又、移動装置１０１によ
る吐出用部材１０８の移動量も上記約５０μｍである。
又、上記第１隙間１６２及び第２隙間１６３には、予め
流体供給装置１６５にて流体供給通路１１５を通して塗
布する流体１７５が注入されている。

【００４７】まず、塗布する流体に対応させて、吐出用
部材１０８の吐出側端面１０８３及び中心シャフト１０
９の先端面１０９１がほぼ上記隙間寸法δ１にて位置す
るように、移動装置１０１の超磁歪素子に電流を供給し
て超磁歪ロッド１０５を軸方向１７１に沿って移動させ
ておく。次に、上記回転装置１１８を動作させて、吐出
用部材１０８を上記周方向１７２へ回転させる。該回転
開始により、吐出用部材１０８の上記移動用溝１３４に
て上記第１隙間１６２に存在する流体１７５は、第２隙
間１６３側へ移動され、該流体１７５には上記供給圧力
が発生するとともに、中心シャフト１０９及び吐出用部
材１０８の上記吐出側端面１０８３における上記遮断用
溝１３２にて上記シール圧力が発生する。上記吐出側端
面１０８３及び上記先端面１０９１がほぼ上記隙間寸法
δ１に配置されていることから、上述のように上記供給
圧力と上記シール圧力とは均衡しており、第２隙間１６
３に存在する流体１７５が吐出用通路１１３５へ供給さ
れることはなく、現時点では塗布動作は行なわれない。

【００４８】次に、移動装置１０１の超磁歪素子に電流
を供給して超磁歪ロッド１０５を軸方向１７１に沿って
移動させる。該移動により、上記隙間寸法δ１を境とし
て吐出用部材１０８の吐出側端面１０８３が軸方向１７
１に移動することで、上記供給圧力と上記シール圧力と
の均衡状態がくずれ、既に説明したように流体１７５の
吐出、及び吐出停止を行なうことができ、塗布動作が行
なわれる。

【００４９】以上説明したように本実施形態の流体塗布
装置１００によれば、上記供給圧力と上記シール圧力と
が均衡する均衡位置に、本実施形態では上記中心シャフ
ト１０９の上記先端面１０９１及び、上記吐出用部材１
０８の上記吐出側端面１０８３を配置させ、さらに、吐
出用部材１０８を上記周方向１７２に回転させながら上
記軸方向１７１に上、下動させて上記第２隙間１６３の
隙間寸法δを変化させ、上記供給圧力と上記シール圧力
との均衡をくずすことで流体１７５の吐出及び吐出停止
を行なう。さらに上記第２隙間１６３を変化させる移動
装置１０１に上記超磁歪ロッド１０５を用いたことか
ら、上述のような微小な移動を実現でき、よって高速で
間欠的に微少量かつ高精度にて流体供給が可能となる。

【００５０】又、塗布される流体に粉粒体を含む場合で
も、従来のようにニードルバルブを有する構成ではない
ので、粉粒体の圧搾破損による流路の閉塞等のトラブル
を発生することはない。したがって本実施形態の流体塗
布装置１００は、表面実装の塗布用、ＰＤＰや、ＣＲＴ
ディスプレイにおける蛍光体塗布用、液晶パネルのシー
ル材塗布用等に用いれば、その長所をいかんなく発揮で
き、その効果は絶大である。

【００５１】次に、上述の実施形態の流体塗布装置１０
０の他の実施形態である流体塗布装置２００について説
明する。該流体塗布装置２００は、図６に示すように、
上記流体塗布装置１００に備わる中心シャフト１０９を
削除するとともに、該削除に伴いバイアスバネ１２７も
削除している。その他の構造は、流体塗布装置１００に
同じである。即ち、流体塗布装置２００では、上記リア
側永久磁石１０４に対応するリア側永久磁石２０４、上
記超磁歪ロッド１０５に対応する超磁歪ロッド２０５、
上記フロント側永久磁石１０６に対応するフロント側永
久磁石２０６、上記フロント側ヨーク１０７に対応する
フロント側ヨーク２０７、上記吐出用部材１０８に対応
する吐出用部材２０８は、それぞれ中実の部材にてな
る。又、バイアスバネ１２７、１２８は、少なくとも一
方を設ければ良く、当該流体塗布装置２００では、フロ
ント側にのみバイアスバネ１２８を設けている。又、吐
出用部材２０８には、その吐出側端面２０８３に上記遮
断用溝１３２を設けている。

【００５２】該流体塗布装置２００では、上記中心シャ
フト１０９が存在しないことから、吐出用部材２０８が
ノズル用部材１１３２側へ移動したときでも、図５を参
照して説明した上記凹部１６７が形成されることはない
ので、第２隙間１６３の容積減少を吸収することはでき
ない。しかしながら、電磁歪素子における５〜１０μｍ
程度の伸び量は、上記容積減少に伴う問題を生じさせな
い場合には、中心シャフト１０９が無いことや、バイア
スバネが片方で良いことから、構造が簡単で、製作、メ
ンテナンスが容易になり、より使い勝手の良い流体塗布
装置を提洪することができる。

【００５３】又、上記変位検出センサ１２９を利用した
他の実施形態として以下の構成を採ることもできる。即
ち、上記吐出用部材１０８の上記吐出側端面１０８３
と、上記ノズル用部材１１３２の上記対向面１３１との
上記第２隙間１６７が上記均衡位置よりもはるかに大き
い寸法となるように吐出用部材１０８等を組み立てる。
つまり、この他の実施形態では、上記均衡位置を境とし
て吐出側端面１０８３を昇降させることで流体１７５の
吐出、吐出停止は制御せず、吐出用部材１０８の昇降動
作により流体１７５の吐出、吐出停止を制御する。その
際、吐出用部材１０８の昇降量を変位検出センサ１２９
にて測定し、該測定結果に基づいて流体１７５の吐出、
吐出停止動作を制御するように構成する。

【００５４】

【発明の効果】以上詳述したように本発明の第１態様の
流体塗布装置によれば、吐出用部材と、収納部材と、移
動装置と、回転装置と、移動用溝と、遮断用溝とを備
え、上記回転装置による上記吐出用部材の回転にて流体
に生じる供給圧力及びシール圧力が均衡する均衡位置を
境として、上記吐出用部材を回転させながら上記移動装
置に備わる電磁歪素子にて軸方向に移動させる。該移動
により上記供給圧力及び上記シール圧力の均衡をくず
し、上記流体の吐出及び吐出遮断を行なうように構成し
た。したがって、上記電磁歪素子を使用したことで上記
軸方向へ上記吐出用部材を微小に移動させることがで
き、かつ該移動に伴い圧力変化が生じることから、高速
で間欠的に微少量かつ高精度にて流体の塗布が可能であ
る。

【００５５】又、上記収納部材及び吐出用部材は、上記
移動装置に対して着脱自在に構成していることから、上
記流体に接する吐出用部材のメンテナンスを容易に行な
うことができる。

【００５６】又、変位検出器を備えることで、上記吐出
用部材の上記軸方向への移動量を検出できるので、上記
移動装置に対して上記吐出用部材の着脱を行なったと
き、第２隙間の寸法の再現性を容易に確保することがで
きる。

【００５７】さらに又、容積減少防止用空間を形成する
中心シャフトを備えることで、吐出用部材の移動に伴う
第２隙間の容積の減少を補償することができ、不用意な
流体の吐出を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態における流体塗布装置の断
面図である。

【図２】図１に示す流体塗布装置の吐出用部材部分の
拡大図である。

【図３】図１に示す流体塗布装置に備わる遮断用溝の
形態を示す図である。

【図４】図１に示す流体塗布装置において流体に生じ
る供給圧力及びシール圧力と、第２隙間との関係を示す
グラフである。

【図５】図１に示す流体塗布装置の吐出用部材の先端
部分の拡大図である。

【図６】図１に示す流体塗布装置の他の実施形態の流
体塗布装置の断面図である。

【図７】従来の流体塗布装置の断面図である。

【符号の説明】

１００…流体塗布装置、１０１…移動装置、１０８…吐
出用部材、１０９…中心シャフト、１１３…収納部材、
１１５…流体供給通路、１１８…回転装置、１２９…変
位検出センサ、１３１…対向面、１３２…遮断用溝、１
３４…移動用溝、１６２…第１隙間、１６３…第２隙
間、１６７…凹部、１７５…流体、１８０…制御装置、
１０８２ａ…周囲面、１０８３…吐出用端面、１１３１
ａ…第１対向面、１１３５…吐出用通路。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者園田孝司大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内 (72)発明者大野修治大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内 (72)発明者西川英信大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内 (72)発明者中村洋一大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内Ｆターム(参考） 4F041 AA05 AB02 BA02 BA05 BA06 BA10 BA12 BA36 5E319 AA01 AC01 BB05 CC22 CC61 CD04 CD15 CD27 GG09 GG15

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】塗付する流体（１７５）の吐出動作を行
なう円筒状の吐出用部材（１０８）と、上記吐出用部材の直径方向に第１隙間（１６２）を介し
て、及び軸方向に第２隙間（１６３）を介して上記吐出
用部材を収納する凹形状を有し、かつ上記第１隙間へ上
記流体を供給する流体供給通路（１１５）を有し、かつ
上記第１隙間に供給され上記第２隙間へ移動した上記流
体を外部へ吐出するための通路であって上記吐出用部材
の中心軸に沿って延在し上記第２隙間に開口する吐出用
通路（１１３５）を有する収納部材（１１３）と、上記吐出用部材をその軸方向に沿って移動させ上記吐出
用通路を通して上記流体の外部への吐出開始及び停止を
制御する電磁歪素子（１０５）を有し、かつ上記吐出用
部材及び上記収納部材と着脱自在な移動装置（１０１）
と、上記吐出用部材をその周方向に沿って回転させる回転装
置（１１８）と、上記第１隙間に面する上記吐出用部材の周囲面（１０８
２ａ）及び上記収納部材の上記周囲面に対向する第１対
向面（１１３１ａ）の少なくとも一方に設けられ、上記
回転装置による上記吐出用部材の回転により上記第１隙
間に存在する上記流体を上記第２隙間へ移動させる移動
用溝（１３４）と、上記第２隙間に面する上記吐出用部材の吐出側端面（１
０８３）及び上記収納部材の上記吐出側端面に対向する
第２対向面（１３１）の少なくとも一方に設けられ、上
記回転装置にて上記吐出用部材が回転しているとき上記
吐出用通路からの上記流体の吐出を停止する遮断用溝
（１３２）と、を備えたことを特徴とする流体塗布装
置。
【請求項２】上記移動装置に対して、上記吐出用部材
の上記軸方向への変位であって上記第２隙間の寸法再現
用の変位を検出する変位検出器（１２９）をさらに備え
た、請求項１記載の流体塗布装置。
【請求項３】上記収納部材は、上記移動装置に備わる
ハウジング（１１２）に締結部材（１６４）にて着脱自
在に取り付けられ、上記吐出用部材は、上記移動装置に
備わるヨーク部材（１０７）に締結部材（１６１）にて
着脱自在に取り付けられる、請求項１又は２記載の流体
塗布装置。
【請求項４】上記吐出用部材に対して上記軸方向へ滑
動自在な状態にて上記吐出用部材に嵌合され、かつ上記
軸方向に沿って上記吐出用部材の中心部を通って延在し
て上記回転装置に連結されて上記周方向へ回転される中
心シャフト（１０９）であって、上記吐出用部材の上記
吐出側端面を構成し、かつ上記移動装置にて上記軸方向
に沿って上記吐出用部材が上記収納部材側へ移動したと
き、相対的に上記吐出用部材内へ収納されて上記第２隙
間の全容積の減少を防止する容積減少防止用空間（１６
７）を形成する中心シャフトをさらに備えた、請求項１
から３のいずれかに記載の流体塗布装置。