JP2006198608A - 液滴射出装置 - Google Patents
液滴射出装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006198608A JP2006198608A JP2005357576A JP2005357576A JP2006198608A JP 2006198608 A JP2006198608 A JP 2006198608A JP 2005357576 A JP2005357576 A JP 2005357576A JP 2005357576 A JP2005357576 A JP 2005357576A JP 2006198608 A JP2006198608 A JP 2006198608A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- injection
- liquid
- nozzle
- plunger
- piezoelectric element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
【解決手段】 縦細型ケーシング1の先端に微小径な射出孔30を有する射出ノズル5を設け、ケーシング内には、積層型の圧電素子3を配設するとともに該圧電素子を駆動源とするプランジャー4をシリンダ孔20内に微伸縮動自在に収納し、そのシリンダ孔の先端に前記射出孔へ連なる液溜室31を形成し、液溜室には射出液を導入する供給口管6の供給路34を接続して、該供給路34から供給された液溜室31内の射出液を前記圧電素子3の駆動によって加圧することにより射出ノズル5の射出孔30から射出させるようにする。
【選択図】 図1
Description
また、特開2004−207510号公報(特許文献2)に開示されるインクジェット装置は、電圧をかけると変形するピエゾ素子を用い、そのピエゾ素子の作用でインク(金属微粒子分散液)が貯められた圧力室の壁を撓ませることにより、又は圧力室の壁自身をピエゾ素子で形成することによって導電インクを微小液滴で吐出させる装置である。
しかるに、導電インクは、電子回路となる配線パターンを効率的に描画し作製するために、通常の印刷用インクの粘度(10mPa・s以下)に比べてより高粘度の分散液が要求されており、しかも、配線の微細線化に伴うノズル孔径の微小化と相俟って、従来のインクジェット方式より大きな射出力が必要である。
しかしながら、上記従来装置では、圧電アクチュエーターの出力限界から導電インクの円滑な液滴射出が望めなく高精度な配線パターンの直接描画を担保し得なかった。また、液滴射出装置として複数組を組み込むためには、細径縦長なペンシル型や短柱型などユニット化されたコンパクトな形態が要請されるが、上記従来装置では圧電アクチュエーターの構造、インクタンクや振動板及び圧電素子の配列構造からみてユニット化は望むべくもなかった。さらに、製作上の利便性やコストを勘案すれば、具体的構造において組立性、メンテナンスの容易性が求められる。
そして、これら問題点は、導電インクの液滴射出の場合に限らず、ある程度の高粘性の液体材料・試料を液滴射出させる場合にも同様である。
この本発明によれば、圧電素子が電圧をかけることにより微伸縮動するので、それを駆動源としてプランジャーがシリンダ孔先端の液溜室に向けて微伸縮動し、その伸長時に液溜室を圧縮して射出液を加圧することにより射出液が射出ノズルの射出孔より射出されるとともにプランジャーの収縮時に供給路を介して液溜室に射出液が補給され、この動作の高速反復により射出液を液滴として射出することができる。
この請求項2によれば、圧電素子を素子ホルダーと一体にして取り扱うことができるとともに、それ自体で収縮側に復元力の弱い圧電素子に、素子ホルダーの構造により復元力が付与されるので、別にバイアスバネ部材等を介装する必要がない。
すなわち、上記ケーシングが、圧電素子を収納する駆動ケース部と、プランジャー及び射出ノズルを配設する射出ケース部とにより構成され、その射出ケース部内に前記プランジャーを摺動自在に挿入して射出ノズルの液溜室に対面するシリンダ孔が開口され(請求項3)、また、上記素子ホルダーの先端部に波形組み合わせのカップリングを介して前記プランジャーが一体的に連結されるようにし(請求項4)、さらに、上記素子ホルダーの先端一部が前記射出ケース部内に挿入されて前記カップリングを射出ケース部内に配置し、射出ケース部にはカップリングの締付ネジを操作する窓孔を開口する(請求項5)。
この請求項7によれば、液溜室の加圧時において射出液が導入路へ逆流することが防止される。
勿論、上記射出ノズルの上部に供給リングを介在させないことも任意であり、その場合には、上記射出ノズルの上面に液溜室へ通じる導入路を形成するとともに該導入路を前記射出液の供給路に連通せしめ、さらに、導入路に逆流防止手段を形成すればよい(請求項8)。
すなわち、上記シリンダ孔と液溜室との臨界面にダイアフラムを配設するとともに該ダイアフラムを前記プランジャーの微伸縮動に追従させる連接部材を設け(請求項9)、その場合には、前述した射出ノズルの上面に導入路を形成することに代えて、ダイアフラムに導入路および逆流防止手段を形成することも可能である(請求項10)。
また、上記射出ノズルは先端に微小径の射出孔を有し、液溜室が前記射出孔に向けて径を順次に小さくなるよう、好ましくはホーン形状に形成し(請求項11)、さらに、上記液溜室に複数のガイド条縁又はガイド溝を螺旋状に形成した構成とする(請求項12)。
上記本発明においては、射出液としては前記導電インク、樹脂溶液など各種の液体材料や試料を使用することができるが、その選択材料の一つとして、導電インク、すなわち、金属微粒子を含んだ配線回路の描画用分散液に適用する(請求項12)。
また、請求項2によれば、圧電素子が取り扱い易くケーシングに取り付ける際の組み付け性がよいとともに圧電素子の収縮側復元力が素子ホルダーにより付与され、しかも、プランジャーとの一体性に優れ出力伝動性がよい。
一方、請求項6によれば、そのケーシング構造、圧電素子の支持構造により全体としての構成が簡素化されるとともに部品数を減じて製作容易かつ安価に提供できる。
また、請求項7及び8によれば、液溜室の加圧時において射出液が導入路へ逆流することを防止して、射出液の安定した供給・射出を可能にすることができる。
請求項11によれば、液溜室から射出孔に至る内面形状によって液溜室内における射出液の増圧作用をさらに高めることができる。
また、請求項12によれば、射出液が螺旋状のガイド条縁又はガイド溝による整流作用により射出孔の軸心へ誘導されるので、射出液の直進性を高めて所定位置へ高精度に射出させることができる。
また、請求項14によれば、配線パターンを効率よく確実に描画できるとともに射出孔を微小径とすることにより極微細なパターンを描画でき、従来のスクリーン印刷法やフォトリソエッチング法に代わる直接描画法を実用化する液滴射出装置を提供することができる。
図1〜図12は第1実施例を示し、図1は、装置全体を示す断面側面図であって、図中の符号1はケーシング、2は素子ホルダー、3は圧電素子、4はプランジャー、5は射出ノズル、6は導電インクを射出ノズル5へ供給する供給口管である。
駆動ケース部1a内には、圧電素子3を取り付け保持した素子ホルダー2を挿入し、該ホルダー2の上面をボルト11,11により前記蓋板1cに止着して固定し、この素子ホルダー2の略上半部は駆動ケース部1aの内面に密接させるが、下半一部は駆動ケース部1aの内面から離間させた状態にして微伸縮動が可能なようにする。
連結アーム2aの噛合い面13aには、プランジャー4の上部に一体に形成した波形カップリングの他半部を構成する噛合い部13bを噛合い状に接合させ、締付ネジ16により締結するものであり、この連結アーム2aを介してプランジャー4と素子ホルダー2とを一体的構造とする。
そして、素子ホルダー2の前記収納孔12内に圧電素子3が嵌め合い一体的に取り付けられる。
この圧電素子3は、素子ホルダー2の前記収納孔12内に嵌め合い収納して、その上面を素子ホルダー2に接着等により固定し、側面と素子ホルダー2との間には若干の間隙を形成しておく。また、圧電素子3の下面は前記収納孔12の底壁に当接させて素子ホルダー2に係合させるが、圧電素子3には伸張した後の収縮側の復元力が弱いので、素子ホルダー2の弾性部15に弾性力を残した状態、すなわち薄肉な波形を保持した状態で収納孔12に嵌め合い保持させる。
なお、圧電素子3の積層数によって素子ホルダー2の長さ、ひいてはケーシング1の長さが設定され、装置全体は、図示例のようなペンシル型に限らず、それより短い短柱型の外観形態となる。
また、上記素子ホルダー2の連結アーム2aは射出ケース部1b内に配置され、射出ケース部1bには、連結アーム2aとプランジャー4とを連結するカップリングの噛合い面13a,13bの配置に対応して窓孔26を開口し、この窓孔26を通して前記締付ネジ16を操作し得るようにする(図1参照)。
供給リング22は、その中央部にシリンダ孔20に連続する開口を形成して液溜室31の上部室となる液溜上部室31aとし、ノズル管5bは、その先端に小径な所定孔径からなる射出孔30を開口し、ノズルホルダー5aには、前記上部室31aと射出孔30との間に介在する液溜室31を形成する。この液溜室31は、実質的には液溜上部室31aと共に液溜室を構成するものである。
そして、上記シリンダ孔20、液溜上部室31a、液溜室31及び射出孔30は前記プランジャー4の軸心と同一軸心上に配置されるように形成し、プランジャー4の先端は前記液溜上部室31a内に位置させるようにする。また、プランジャー4の先端面には滑らかな凹面32を形成しておくことが好ましい。
射出孔30は微小長さを同一孔径とした微小孔であるが、液溜室31は、その上端を液溜上部室31aに連続する同一径にするとともにそこから射出孔30に向けて径を順次に小さく形成し、それには増圧形状として知られているホーン形状を含むものである。
そして、導入路33には、その通路を絞った構造、具体的には通路幅を狭くし又は通路高さを小さくした構造の堰33aを形成し、それにより、プランジャー4が下降する圧縮時に液溜室31内の導電インクが供給路34側へ逆流することを防止する。
そして、上記圧電素子3の出力と相俟って液溜室31の形状及びプランジャー4の下端面に形成した凹面32によりプランジャー4が液溜室31内の導電インクを圧縮する加圧力が増圧されるので、導電インクが高粘度であっても確実かつ円滑に射出することができる。また、液溜室31へ通じる導電インクの導入路33に堰33aを形成して導電インクの逆流を防止するようにしたので、プランジャー4による加圧時の圧力損失を最小にするとともに導電インクの補給遅れがなく、導電インクの液滴射出をさらに確実にすることができる。
図5は、上記シリンダ孔20と液溜上部室31a(実質的には液溜室31)との臨界面にダイアフラム 40を配設した構成である。具体的には、供給リング22の上面にダイアフラム40を接着して取り付け、それを射出ケース部1bに形成した凹部21の上面壁との間に狭着保持させるとともにプランジャー4の下端面を前記ダイアフラム40に当接させる。また、上記シリンダ孔20の下端部には、ダイアフラム40の上向き膨出を助成するように拡径部41を形成する。
また、図5においては、射出ノズル5の構成として、ノズルホルダー5a及びノズル管5bの二部材とすることなく、ノズルホルダー自体をノズル本体5a’とし、それに液溜室31、射出孔30を形成した場合を例示している。
なお、図5において、説明の重複を避けるために、図3と同一の部材は同一符号を付すことにより説明を省略する。
さらに、プランジャー4がダイアフラム40に当接する下端部の外径を変更すれば液溜室31内の加圧力を変更できるので、外径を違えたプランジャーと交換することにより導電インクの射出量を変更することができる。
図6及び図7は、供給リング22を使用しない場合を図5の実施形態に対応させて例示する。すなわち、射出ケース部材1bの下端部にノズル本体5a’のみを嵌め込む凹部42を形成し、その凹部42内にノズル本体5a’を嵌入して図示しないネジ又はビス止めすることにより取り付け、このノズル本体5a’の上面に、前記導入路33及び堰33aに相当する導入路43及び43aを形成したものである(図7参照)。
図8において、符号44はダイアフラム40の上面に接着したマグネットプレート、45はプランジャー4の下端に挿着されたマグネット(永久磁石)であり、このマグネット45をマグネットプレート44の上面に吸着させた構成である。
この図8の構成によれば、ダイアフラム40を具備するので図5の場合と同様の作用が得られる他に、プランジャー4が、マグネット45及びマグネットプレート44を介してダイアフラム40に連接されているので、プランジャー4の微伸縮動に対するダイアフラム40の追従性、特に上向きの収縮時における追従性に優れ高速射出に対応することができる。
なお、図8においても、説明の重複を避けるために、図3と同一の部材は同一符号を付すことにより説明を省略する。
同図に示すように、液溜室31を形成する内壁面に、下流へ向かうに従って螺旋状に湾曲した突条縁からなるガイド条縁50を等間隔で複数本形成し、それらを全体として平面視で渦巻状に配置した構成とする。
それにより、液溜室31から射出孔30へ圧流される導電インクは、ガイド条縁50…による整流作用を受けて射出孔30の軸心に向け流下するので、導電インクの射出時における直進性を高めることができる。
この構成においても、液溜室31から射出孔30へ圧流される導電インクは、ガイド溝52…による整流作用を受けるので、導電インクの射出時における直進性を高めることができる。また、ガイド溝52の場合には、前記ガイド条縁50に比べれば導電インクにかかる抵抗が小さいので、より高粘度の導電インクに対しても直進性の確保に効果がある。
図13において、ケーシング101は、前述のような駆動ケース部と射出ケース部とに分けることなく一体構造とし、その下端面にノズルホルダー105aとノズル管105bからなる射出ノズル105を組み付けて構成され、その射出ノズル105はボルト111により着脱可能に取り付けられる。
また、ケーシング101は、上端にキャップ部101cをボルト112により着脱可能に封着し、下部内にはシリンダ孔120を開口している。
圧電素子103は、上面を取付円板113に接着固定され、その取付円板113を前記ボルト112によりケーシング101とキャップ部101cとの間に共締めすることによって固定されるとともに、キャップ部101cに取り付けた配線プラグ114により電源コード117が接続される。
また、ケーシング101の外周、詳しくは前記取付円板113の外周に調整リング118を螺合つまりネジどうしの噛み合いにより回動自在に取り付け、この調整リング118を回動操作することによりケーシング101を微小な範囲で上下動させて高さ調整できるようにする。調整リング118にはスリット118aを形成しておき、そのスリット118aをクランプネジ116により狭圧することによって調整リング118の回動を規制、すなわちケーシング101を調整した位置で固定するようにする。
なお、図13中の符号115はプランジャー104を上向きに付勢して圧電素子103の収縮動作を助成する弾性部材(皿バネ)、同123はプランジャー104を摺動させるためのメタルブッシュ、同144はマグネットプレート、同145はマグネット(永久磁石)、同104aはプランジャー104の先端部に設けたプランジャーチップである。
具体的には、ダイアフラム140としてステンレス、ベリリュウム銅などバネ性の高い金属薄板を使用し、それにエッチング加工を施すことにより図14に示すように、前記供給路134へ通じる二又路133aとそれに連通する環状路133bとにより流入路133を形成し、その環状路133bが前記プランジャーチップ104aの外周縁との間に形成されて前記液溜室131の上面に開口するものである。
そして、上記二又路133aは、プランジャー104が下降する圧縮時に液溜室131内の導電インクが供給路134側へ逆流する際に合流点にて衝突するようにし、それにより導電インクの逆流を防止させる。
なお、図示の二又路133aは左右対称な溝形状とした場合を例示したが、それに限らず、例えば、一方を主として流入用とする曲線溝形状とし、他方を流入側の途中に接続した曲線溝であって環状路133b側の溝幅を大きく順次に溝幅を狭くするなどの変更を加えることも任意である。
なお、この第2実施例において、前述した第1実施例の図5〜図12で説明した実施態様を適宜に変更・適用することは任意であり、また、第1実施例において、第2実施例で説明したダイアフラム140および二又路133aを有する流入路133を適宜に変更・適用することも勿論自由である。
2:素子ホルダー 2a:連結アーム 3:圧電素子
4:プランジャー 5:射出ノズル 5a:ノズルホルダー
5a’:ノズル本体 5b:ノズル管 6:供給口管
13a:噛合い面 13b:噛合い面 15:弾性部
20:シリンダ孔 22:供給リング 26:窓孔
30:射出孔 31:液溜室 31a:液溜上部室
33:導入路 33a:堰 34:供給路
40:ダイアフラム 43:導入路 43a:堰
44:マグネットプレート 45:マグネット 50:ガイド条縁
52:ガイド溝
101:ケーシング 103:圧電素子 104:プランジャー
105:射出ノズル 105a:ノズルホルダー 105b:ノズル管
113:取付円板 120:シリンダ孔 131:液溜室
133:流入路 133a:二又路 133b:環状路
134:供給路
Claims (14)
- 縦細型ケーシングの先端に微小径な射出孔を有する射出ノズルを設け、ケーシング内には、積層型の圧電素子を配設するとともに該圧電素子を駆動源とするプランジャーをシリンダ孔内に微伸縮動自在に収納し、そのシリンダ孔の先端に前記射出孔へ連なる液溜室を形成し、液溜室には射出液を導入する供給口管の供給路を接続して、該供給路から供給された液溜室内の射出液を前記圧電素子の駆動によって加圧することにより射出ノズルの射出孔から射出させるようにした液滴射出装置。
- 上記圧電素子が素子ホルダーに嵌め合い一体的に取り付けられた長方体であり、素子ホルダーには、一部に薄肉弾性部を形成して圧電素子に収縮側の復元力を付与するようにし、その素子ホルダーの上端部を前記ケーシングに固定するとともに素子ホルダーの下端に前記プランジャーを形成してなることを特徴とする請求項1記載の液滴射出装置。
- 上記ケーシングが、圧電素子を収納する駆動ケース部と、プランジャー及び射出ノズルを配設する射出ケース部とにより構成され、その射出ケース部内に前記プランジャーを摺動自在に挿入して射出ノズルの液溜室に対面するシリンダ孔が開口されていることを特徴とする請求項1又は2記載の液滴射出装置。
- 上記素子ホルダーの先端部に波形組み合わせのカップリングを介して前記プランジャーが一体的に連結されていることを特徴とする請求項2又は3記載の液滴射出装置。
- 上記素子ホルダーの先端一部が前記射出ケース部内に挿入されて前記カップリングを射出ケース部内に配置し、射出ケース部にはカップリングの締付ネジを操作する窓孔を開口したことを特徴とする請求項4記載の液滴射出装置。
- 上記ケーシングが、下端面に射出ノズルを取り付けるとともにその上部にシリンダ孔を開口して該シリンダ孔にプランジャーを摺動可能に配設し、ケーシング内には、ケーシングに固定される取付部材に上端面を取り付けた積層型の圧電素子を配設して、その圧電素子の下端に前記プランジャーの上面を衝合させたことを特徴とする請求項1記載の液滴射出装置。
- 請求項1〜6のいずれか1項記載の液滴射出装置において、上記射出ノズルの上部には供給リングを配設し、その中央部に形成された開口によって前記液溜室の上部室を構成し、この供給リングには、裏面に前記上部室へ通じる導入路を備えるとともに該導入路を前記射出液の供給路に連通せしめ、さらに、導入路に逆流防止手段を形成したことを特徴とする液滴射出装置。
- 請求項1〜6のいずれか1項記載の液滴射出装置において、上記射出ノズルの上部に供給リングを介在させることなく、射出ノズルの上面に液溜室へ通じる導入路を形成するとともに該導入路を前記射出液の供給路に連通せしめ、さらに、導入路に逆流防止手段を形成したことを特徴とする液滴射出装置。
- 請求項7又は8記載の液滴射出装置において、上記シリンダ孔と液溜室との臨界面にダイアフラムを配設するとともに該ダイアフラムを前記プランジャーの微伸縮動に追従させる連接部材を設けたことを特徴とする液滴射出装置。
- 請求項9記載の液滴射出装置において、射出ノズルの上面に導入路を形成することに代えて、ダイアフラムに導入路および逆流防止手段を形成したことを特徴とする液滴射出装置。
- 請求項1〜6又は9又は10のいずれか1項記載の液滴射出装置において、上記射出ノズルは先端に微小径の射出孔を有し、液溜室が前記射出孔に向けて径を順次に小さくなるよう形成されていることを特徴とする液滴射出装置。
- 上記液溜室に複数のガイド条縁又はガイド溝が螺旋状に形成されていることを特徴とする請求項11記載の液滴射出装置。
- 上記射出ノズルがノズルホルダーとそれに嵌入されるノズル管との二部材により構成され、そのノズル管の先端に前記射出孔が形成され、ノズルホルダーとノズル管とにわたり前記液溜室が形成されていることを特徴とする請求項11又は12記載の液滴射出装置。
- 射出液が金属微粒子を含んだ配線回路の描画用分散液であることを特徴とする請求項1記載の液滴射出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005357576A JP4786326B2 (ja) | 2004-12-20 | 2005-12-12 | 液滴射出装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004367798 | 2004-12-20 | ||
JP2004367798 | 2004-12-20 | ||
JP2005357576A JP4786326B2 (ja) | 2004-12-20 | 2005-12-12 | 液滴射出装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011112808A Division JP5344262B2 (ja) | 2004-12-20 | 2011-05-19 | 液滴射出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006198608A true JP2006198608A (ja) | 2006-08-03 |
JP4786326B2 JP4786326B2 (ja) | 2011-10-05 |
Family
ID=36957054
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005357576A Active JP4786326B2 (ja) | 2004-12-20 | 2005-12-12 | 液滴射出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4786326B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007330917A (ja) * | 2006-06-16 | 2007-12-27 | Next I&D株式会社 | 液滴射出装置 |
TWI485006B (zh) * | 2010-10-14 | 2015-05-21 | Microjet Technology Co Ltd | 單孔噴嘴裝置 |
CN115298033A (zh) * | 2020-03-23 | 2022-11-04 | 株式会社理光 | 喷射头、喷射单元、液体喷射装置 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE112016001582T5 (de) | 2015-04-03 | 2018-03-08 | Musashi Engineering, Inc. | Tröpfchenabgabevorrichtung |
MY202316A (en) | 2016-01-16 | 2024-04-23 | Musashi Eng Inc | Liquid material ejection device |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63246254A (ja) * | 1987-04-01 | 1988-10-13 | Nec Corp | インクジエツトヘツド |
JPH0631867U (ja) * | 1992-10-05 | 1994-04-26 | 株式会社ニレコ | マーキングノズル |
JPH07290701A (ja) * | 1994-04-26 | 1995-11-07 | Seikosha Co Ltd | インクジェットヘッド |
JPH07299402A (ja) * | 1994-05-10 | 1995-11-14 | Nireco Corp | ムービングコイル駆動型ニードル弁 |
JP2002143746A (ja) * | 2000-11-08 | 2002-05-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 流体供給装置及び流体供給方法 |
JP2002532658A (ja) * | 1998-12-11 | 2002-10-02 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 圧電式のアクチュエータ |
JP2002320895A (ja) * | 2001-04-27 | 2002-11-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 流体塗布装置 |
JP2002324966A (ja) * | 2001-04-24 | 2002-11-08 | Harima Chem Inc | インクジェット印刷法を利用する回路パターンの形成方法 |
JP2003097418A (ja) * | 2001-07-18 | 2003-04-03 | Denso Corp | 圧電体素子の変位伝達構造 |
JP2004141866A (ja) * | 2002-09-30 | 2004-05-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 流体吐出方法及び流体吐出装置 |
-
2005
- 2005-12-12 JP JP2005357576A patent/JP4786326B2/ja active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63246254A (ja) * | 1987-04-01 | 1988-10-13 | Nec Corp | インクジエツトヘツド |
JPH0631867U (ja) * | 1992-10-05 | 1994-04-26 | 株式会社ニレコ | マーキングノズル |
JPH07290701A (ja) * | 1994-04-26 | 1995-11-07 | Seikosha Co Ltd | インクジェットヘッド |
JPH07299402A (ja) * | 1994-05-10 | 1995-11-14 | Nireco Corp | ムービングコイル駆動型ニードル弁 |
JP2002532658A (ja) * | 1998-12-11 | 2002-10-02 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 圧電式のアクチュエータ |
JP2002143746A (ja) * | 2000-11-08 | 2002-05-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 流体供給装置及び流体供給方法 |
JP2002324966A (ja) * | 2001-04-24 | 2002-11-08 | Harima Chem Inc | インクジェット印刷法を利用する回路パターンの形成方法 |
JP2002320895A (ja) * | 2001-04-27 | 2002-11-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 流体塗布装置 |
JP2003097418A (ja) * | 2001-07-18 | 2003-04-03 | Denso Corp | 圧電体素子の変位伝達構造 |
JP2004141866A (ja) * | 2002-09-30 | 2004-05-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 流体吐出方法及び流体吐出装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007330917A (ja) * | 2006-06-16 | 2007-12-27 | Next I&D株式会社 | 液滴射出装置 |
TWI485006B (zh) * | 2010-10-14 | 2015-05-21 | Microjet Technology Co Ltd | 單孔噴嘴裝置 |
CN115298033A (zh) * | 2020-03-23 | 2022-11-04 | 株式会社理光 | 喷射头、喷射单元、液体喷射装置 |
CN115298033B (zh) * | 2020-03-23 | 2024-04-26 | 株式会社理光 | 喷射头、喷射单元、液体喷射装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4786326B2 (ja) | 2011-10-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5344262B2 (ja) | 液滴射出装置 | |
JP4786326B2 (ja) | 液滴射出装置 | |
US5877580A (en) | Micromachined chemical jet dispenser | |
US20140252105A1 (en) | Viscous non-contact jetting method and apparatus | |
CN102574395B (zh) | 多通路打印头或计量头 | |
US8197031B2 (en) | Fluid dispensing subassembly with polymer layer | |
US9630403B2 (en) | Multichannel-printhead with mixing capability | |
US8177335B2 (en) | Transducer interconnect with conductive films | |
US8678299B2 (en) | Hollow actuator-driven droplet dispensing apparatus | |
EP3505351B1 (en) | Actuator | |
KR20140050042A (ko) | 액적 토출 장치 및 액적 토출 방법 | |
US8056827B2 (en) | Jet dispenser comprising magnetostrictive actuator | |
JP2010104986A (ja) | 中空型のアクチュエータ駆動方式の液滴ディスペンシング装置 | |
KR20040074003A (ko) | 유체 토출 방법 및 유체 토출 장치 | |
JP4786433B2 (ja) | 液滴射出装置 | |
AU752161B2 (en) | An electrostatically switched ink jet device and method of operating the same | |
US8608293B2 (en) | Process for adding thermoset layer to piezoelectric printhead | |
JP7186450B2 (ja) | 分注装置および液体の分注方法および細胞の分注方法 | |
Bergkvist et al. | Miniaturized flowthrough microdispenser with piezoceramic tripod actuation | |
Kagerer et al. | Fabrication and application of a chemical resistant low-cost microdrop generator | |
CN210022703U (zh) | 菱形放大结构压电驱动点胶阀 | |
KR101198007B1 (ko) | 미세 토출 장치 | |
JP2010164502A (ja) | 液滴吐出ヘッド | |
Lindemann et al. | PipeJet™-A Simple Disposable Dispenser for the Nanoliter Range | |
JP2006137060A (ja) | 静電吸引式液体吐出ヘッド及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081113 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110310 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110322 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110519 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20110519 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110614 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110713 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4786326 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140722 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140722 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140722 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |