JP2002293625A - アクチュエータ用圧電磁器及び積層型圧電アクチュエータ並びに噴射装置 - Google Patents
アクチュエータ用圧電磁器及び積層型圧電アクチュエータ並びに噴射装置Info
- Publication number
- JP2002293625A JP2002293625A JP2001097425A JP2001097425A JP2002293625A JP 2002293625 A JP2002293625 A JP 2002293625A JP 2001097425 A JP2001097425 A JP 2001097425A JP 2001097425 A JP2001097425 A JP 2001097425A JP 2002293625 A JP2002293625 A JP 2002293625A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- actuator
- strain constant
- site
- mol
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
(57)【要約】
【課題】キュリー温度が高く、しかも実効圧電歪定数が
大きいアクチュエータ用圧電磁器及び積層型圧電アクチ
ュエータ並びに噴射装置を提供する。 【解決手段】Ｐｂ、Ｚｒ及びＴｉを主成分とするペロブ
スカイト型複合酸化物であって、該ペロブスカイト型複
合酸化物のＡサイトをＣａ、Ｓｒ及びＢａのうち少なく
とも１種で８．０モル％以下置換するとともに、Ｂサイ
トを、Ｗと、Ｙ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｌｕ及びＹ
ｂのうち少なくとも１種で合計１．５〜４．５モル％置
換し、さらにＡ／Ｂサイト比が０．９５５〜０．９９５
である。
大きいアクチュエータ用圧電磁器及び積層型圧電アクチ
ュエータ並びに噴射装置を提供する。 【解決手段】Ｐｂ、Ｚｒ及びＴｉを主成分とするペロブ
スカイト型複合酸化物であって、該ペロブスカイト型複
合酸化物のＡサイトをＣａ、Ｓｒ及びＢａのうち少なく
とも１種で８．０モル％以下置換するとともに、Ｂサイ
トを、Ｗと、Ｙ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｌｕ及びＹ
ｂのうち少なくとも１種で合計１．５〜４．５モル％置
換し、さらにＡ／Ｂサイト比が０．９５５〜０．９９５
である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、アクチュエータ用
圧電磁器及び積層型圧電アクチュエータ並びに噴射装置
に関するもので、例えば、インクジェット用プリンター
ヘッド、積層型圧電アクチュエータ等に好適に用いられ
るアクチュエータ用圧電磁器及び積層型圧電アクチュエ
ータ並びに噴射装置に関するものである。
圧電磁器及び積層型圧電アクチュエータ並びに噴射装置
に関するもので、例えば、インクジェット用プリンター
ヘッド、積層型圧電アクチュエータ等に好適に用いられ
るアクチュエータ用圧電磁器及び積層型圧電アクチュエ
ータ並びに噴射装置に関するものである。
【０００２】
【従来技術】従来から、圧電磁器を利用した製品として
は、例えばセラミックフィルタ、超音波応用振動子、圧
電ブザー、圧電点火ユニット、超音波モータ、圧電ファ
ン、圧電アクチュエータ、及び加速度センサ、ノッキン
グセンサ、ＡＥセンサ等の圧電センサがある。
は、例えばセラミックフィルタ、超音波応用振動子、圧
電ブザー、圧電点火ユニット、超音波モータ、圧電ファ
ン、圧電アクチュエータ、及び加速度センサ、ノッキン
グセンサ、ＡＥセンサ等の圧電センサがある。
【０００３】ここで、圧電アクチュエータとは、圧電体
が有する逆圧電効果を利用ものであり、従来より、圧電
セラミックスと内部電極とを交互積層し圧電縦効果を応
用した積層型圧電アクチュエータがある。
が有する逆圧電効果を利用ものであり、従来より、圧電
セラミックスと内部電極とを交互積層し圧電縦効果を応
用した積層型圧電アクチュエータがある。
【０００４】この積層型圧電アクチュエータの圧電磁器
としては、比較的大きな圧電歪定数を有するジルコン酸
チタン酸鉛（ＰＺＴ）に、第三成分としてＰｂ（Ｎｉ、
Ｎｂ）Ｏ3やＰｂ（Ｍｇ、Ｎｂ）Ｏ3等を固溶させた系の
モルフォトロピック相境界（Ｍ．Ｐ．Ｂ．）近傍の組成
物が利用されていた。
としては、比較的大きな圧電歪定数を有するジルコン酸
チタン酸鉛（ＰＺＴ）に、第三成分としてＰｂ（Ｎｉ、
Ｎｂ）Ｏ3やＰｂ（Ｍｇ、Ｎｂ）Ｏ3等を固溶させた系の
モルフォトロピック相境界（Ｍ．Ｐ．Ｂ．）近傍の組成
物が利用されていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、一般に
圧電磁器では、圧電歪定数が大きくなるとキュリー温度
が低くなる傾向があるため、高温用途においては、積層
型圧電アクチュエータを構成する圧電セラミックスにキ
ュリー温度の高いものを用い、積層数を増加させること
によって必要変位量を確保してきた。
圧電磁器では、圧電歪定数が大きくなるとキュリー温度
が低くなる傾向があるため、高温用途においては、積層
型圧電アクチュエータを構成する圧電セラミックスにキ
ュリー温度の高いものを用い、積層数を増加させること
によって必要変位量を確保してきた。
【０００６】しかしながら、安易に積層数によって変位
量を大きくすることは、信頼性の低下、及び製品コスト
の増加につながるといった問題があった。
量を大きくすることは、信頼性の低下、及び製品コスト
の増加につながるといった問題があった。
【０００７】また、荷重を加えない状態でかつ低電界領
域で積層型圧電アクチュエータを変位させた場合、レー
ザ変位計などで測定される実際の変位量は、共振・反共
振法より測定された圧電歪定数を用いて算出した変位量
と比較的正確に一致するが、圧縮荷重下で高電界を印加
させて積層型圧電アクチュエータを変位させた場合に
は、圧電歪だけでなく自発分極の反転に起因すると考え
られる歪も加わるため、圧電歪定数を用いて算出した変
位量よりも実際の変位量の方が大きくなる。
域で積層型圧電アクチュエータを変位させた場合、レー
ザ変位計などで測定される実際の変位量は、共振・反共
振法より測定された圧電歪定数を用いて算出した変位量
と比較的正確に一致するが、圧縮荷重下で高電界を印加
させて積層型圧電アクチュエータを変位させた場合に
は、圧電歪だけでなく自発分極の反転に起因すると考え
られる歪も加わるため、圧電歪定数を用いて算出した変
位量よりも実際の変位量の方が大きくなる。
【０００８】その為、積層型圧電アクチュエータを車載
用途の燃料噴射弁など、予め圧縮荷重を加えた状態で使
用する場合、共振・反共振法によって求められる圧電歪
定数では、圧電磁器の歪の指標として不充分であり、実
際の変位量から求められる実効的な圧電歪定数の大きさ
を歪の指標とする必要がある。
用途の燃料噴射弁など、予め圧縮荷重を加えた状態で使
用する場合、共振・反共振法によって求められる圧電歪
定数では、圧電磁器の歪の指標として不充分であり、実
際の変位量から求められる実効的な圧電歪定数の大きさ
を歪の指標とする必要がある。
【０００９】即ち、従来よりアクチュエータ材料として
用いられている前記のＰＺＴ系圧電磁器組成物では、共
振・反共振法から求めた圧電歪定数を共振圧電歪定数、
実際の変位量から計算される実効的な圧電歪定数を実効
圧電歪定数とした場合、圧電歪定数比（実効圧電歪定数
／共振圧電歪定数）は、１．５程度で通常の圧電材料が
有する一般的な圧電歪定数比と同程度であり、大きな実
効圧電歪定数を実現するために、材料のキュリー温度が
低くなるといった問題や、積層数が増加し製品コストが
高くなってしまったり、信頼性が低下するといった問題
があった。
用いられている前記のＰＺＴ系圧電磁器組成物では、共
振・反共振法から求めた圧電歪定数を共振圧電歪定数、
実際の変位量から計算される実効的な圧電歪定数を実効
圧電歪定数とした場合、圧電歪定数比（実効圧電歪定数
／共振圧電歪定数）は、１．５程度で通常の圧電材料が
有する一般的な圧電歪定数比と同程度であり、大きな実
効圧電歪定数を実現するために、材料のキュリー温度が
低くなるといった問題や、積層数が増加し製品コストが
高くなってしまったり、信頼性が低下するといった問題
があった。
【００１０】それは、上述したように、一般に、圧電材
料のキュリー温度と圧電歪定数は負の相関関係があるた
め、圧電歪定数比が小さいと、キュリー温度が高い材料
では実効圧電歪定数も小さくなってしまうからである。
従って、高信頼性、低コスト及び高温での駆動が可能な
積層型圧電アクチュエータを実現するために、キュリー
温度が高く圧電歪定数比の大きな圧電磁器が切望されて
いた。
料のキュリー温度と圧電歪定数は負の相関関係があるた
め、圧電歪定数比が小さいと、キュリー温度が高い材料
では実効圧電歪定数も小さくなってしまうからである。
従って、高信頼性、低コスト及び高温での駆動が可能な
積層型圧電アクチュエータを実現するために、キュリー
温度が高く圧電歪定数比の大きな圧電磁器が切望されて
いた。
【００１１】本発明は、キュリー温度が高く、しかも実
効圧電歪定数が大きいアクチュエータ用圧電磁器及び積
層型圧電アクチュエータ並びに噴射装置を提供すること
を目的とする。
効圧電歪定数が大きいアクチュエータ用圧電磁器及び積
層型圧電アクチュエータ並びに噴射装置を提供すること
を目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明のアクチュエータ
用圧電磁器は、Ｐｂ、Ｚｒ及びＴｉを主成分とするペロ
ブスカイト型複合酸化物であって、該ペロブスカイト型
複合酸化物のＡサイトをＣａ、Ｓｒ及びＢａのうち少な
くとも１種で８．０モル％以下置換するとともに、Ｂサ
イトを、Ｗと、Ｙ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｌｕ及び
Ｙｂのうち少なくとも１種で合計１．５〜４．５モル％
置換し、さらにＡ／Ｂサイト比が０．９５５〜０．９９
５であることを特徴とする。
用圧電磁器は、Ｐｂ、Ｚｒ及びＴｉを主成分とするペロ
ブスカイト型複合酸化物であって、該ペロブスカイト型
複合酸化物のＡサイトをＣａ、Ｓｒ及びＢａのうち少な
くとも１種で８．０モル％以下置換するとともに、Ｂサ
イトを、Ｗと、Ｙ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｌｕ及び
Ｙｂのうち少なくとも１種で合計１．５〜４．５モル％
置換し、さらにＡ／Ｂサイト比が０．９５５〜０．９９
５であることを特徴とする。
【００１３】本発明のアクチュエータ用圧電磁器では、
キュリー温度を高くできるとともに、圧縮荷重下での実
効圧電歪定数を高くできる。
キュリー温度を高くできるとともに、圧縮荷重下での実
効圧電歪定数を高くできる。
【００１４】本発明では、一般式を、Ｐｂx-aＭa（Ｙｂ
2/3Ｗ1/3）y（Ｚｒ1-zＴｉz）1-yＯ 3と表したとき、前
記ｘ、ｙ、ｚ、ａが、０．９５５≦ｘ≦０．９９５、
０．０１５≦ｙ≦０．０４５、０．４５≦ｚ≦０．５
０、０３≦ａ≦０．０８、Ｍは、Ｃａ、Ｓｒ及びＢａの
うち少なくとも１種の関係を満足することが望ましい。
このような関係を満足することにより、本発明の圧電磁
器は特に優れたキュリー温度及び圧縮荷重下での実効圧
電歪定数を示すことができる。
2/3Ｗ1/3）y（Ｚｒ1-zＴｉz）1-yＯ 3と表したとき、前
記ｘ、ｙ、ｚ、ａが、０．９５５≦ｘ≦０．９９５、
０．０１５≦ｙ≦０．０４５、０．４５≦ｚ≦０．５
０、０３≦ａ≦０．０８、Ｍは、Ｃａ、Ｓｒ及びＢａの
うち少なくとも１種の関係を満足することが望ましい。
このような関係を満足することにより、本発明の圧電磁
器は特に優れたキュリー温度及び圧縮荷重下での実効圧
電歪定数を示すことができる。
【００１５】また、本発明の積層型圧電アクチュエータ
は、圧電体と電極とを交互に積層してなるとともに、前
記圧電体が、上記アクチュエータ用圧電磁器からなるこ
とを特徴とする。このような積層型圧電アクチュエータ
では、キュリー温度が高く、実効圧電歪定数の大きな圧
電体により構成されているため、高温での使用が可能で
あり、圧電体の積層数を増加させることなく、大きな変
位量を得ることができる。
は、圧電体と電極とを交互に積層してなるとともに、前
記圧電体が、上記アクチュエータ用圧電磁器からなるこ
とを特徴とする。このような積層型圧電アクチュエータ
では、キュリー温度が高く、実効圧電歪定数の大きな圧
電体により構成されているため、高温での使用が可能で
あり、圧電体の積層数を増加させることなく、大きな変
位量を得ることができる。
【００１６】このような積層型圧電アクチュエータで
は、圧縮荷重下での実効圧電歪定数が、共振・反共振法
により求めた圧電歪定数の１．８倍以上であることが望
ましい。
は、圧縮荷重下での実効圧電歪定数が、共振・反共振法
により求めた圧電歪定数の１．８倍以上であることが望
ましい。
【００１７】本発明の噴射装置は、噴射孔を有する収納
容器と、該収納容器内に収容された上記積層型圧電アク
チュエータと、該積層型圧電アクチュエータの駆動によ
り前記噴射孔から液体を噴出させるバルブとを具備して
なるものである。
容器と、該収納容器内に収容された上記積層型圧電アク
チュエータと、該積層型圧電アクチュエータの駆動によ
り前記噴射孔から液体を噴出させるバルブとを具備して
なるものである。
【００１８】
【発明の実施の形態】図１は本発明の積層型圧電アクチ
ュエータの縦断面図を示すもので、この積層型圧電アク
チュエータは、複数の圧電体１と複数の内部電極２とを
交互に積層してなる活性体３ａと、この活性体３ａの両
端面に形成された不活性体３ｂからなる柱状積層体３の
対向する側面において、内部電極２の端部に１層おきに
絶縁体４を形成し、絶縁体４を形成していない内部電極
２の端部を同一の外部電極５に接続して構成されてい
る。
ュエータの縦断面図を示すもので、この積層型圧電アク
チュエータは、複数の圧電体１と複数の内部電極２とを
交互に積層してなる活性体３ａと、この活性体３ａの両
端面に形成された不活性体３ｂからなる柱状積層体３の
対向する側面において、内部電極２の端部に１層おきに
絶縁体４を形成し、絶縁体４を形成していない内部電極
２の端部を同一の外部電極５に接続して構成されてい
る。
【００１９】活性体３ａと不活性体３ｂは同時焼成され
て柱状積層体３が形成されており、活性体３ａの圧電体
１と不活性体３ｂは、同一圧電セラミック材料から構成
されることが、焼成時における収縮差を小さくするとい
う点から望ましい。活性体３ａは、変位を発生させる部
分であり、不活性体３ｂは、柱状積層体３を機械的に保
持し、発生する力を外部へ伝達する機能を有する。
て柱状積層体３が形成されており、活性体３ａの圧電体
１と不活性体３ｂは、同一圧電セラミック材料から構成
されることが、焼成時における収縮差を小さくするとい
う点から望ましい。活性体３ａは、変位を発生させる部
分であり、不活性体３ｂは、柱状積層体３を機械的に保
持し、発生する力を外部へ伝達する機能を有する。
【００２０】内部電極２は、同時焼成時には柱状積層体
３の全ての側面に露出しているが、そのうち対向する側
面において、内部電極２端部を含む圧電体１の端部１層
おきに溝が形成され、該溝部にガラス、エポキシ樹脂、
ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、シリコーンゴ
ム等の絶縁体４が充填され、これにより、内部電極２の
一方の端部が絶縁されている。
３の全ての側面に露出しているが、そのうち対向する側
面において、内部電極２端部を含む圧電体１の端部１層
おきに溝が形成され、該溝部にガラス、エポキシ樹脂、
ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、シリコーンゴ
ム等の絶縁体４が充填され、これにより、内部電極２の
一方の端部が絶縁されている。
【００２１】なお、絶縁体４は低ヤング率の材質、例え
ばシリコーンゴム等が好ましい。このように、内部電極
２は互い違いに１層おきに絶縁され、絶縁されていない
内部電極２の他方の端面は、例えば、予め塗布しておい
た導電性耐熱接着剤５ａに導電性部材５ｂを密着させた
状態で、導電性耐熱接着剤５ａを加熱硬化させることに
より、外部電極５が形成されている。外部電極５の下側
端部にはリード線６が取り付けられている。
ばシリコーンゴム等が好ましい。このように、内部電極
２は互い違いに１層おきに絶縁され、絶縁されていない
内部電極２の他方の端面は、例えば、予め塗布しておい
た導電性耐熱接着剤５ａに導電性部材５ｂを密着させた
状態で、導電性耐熱接着剤５ａを加熱硬化させることに
より、外部電極５が形成されている。外部電極５の下側
端部にはリード線６が取り付けられている。
【００２２】活性体３ａの圧電体１の厚みは０．０５〜
０．２５ｍｍ、内部電極２の厚みは０．００３〜０．０
１ｍｍ、不活性体３ｂの厚みは、それぞれ０．５〜３．
０ｍｍとされ、圧電体１、内部電極２の積層数は、所望
の特性を得るためにそれぞれ１００〜４００層とされて
いる。
０．２５ｍｍ、内部電極２の厚みは０．００３〜０．０
１ｍｍ、不活性体３ｂの厚みは、それぞれ０．５〜３．
０ｍｍとされ、圧電体１、内部電極２の積層数は、所望
の特性を得るためにそれぞれ１００〜４００層とされて
いる。
【００２３】さらに、内部電極２間の沿面放電を防止
し、大きな電圧を印加するために、柱状積層体３の側面
がシリコーンゴムなどの伸縮性をもつ絶縁物からなる被
覆層（図示せず）で被覆されている。
し、大きな電圧を印加するために、柱状積層体３の側面
がシリコーンゴムなどの伸縮性をもつ絶縁物からなる被
覆層（図示せず）で被覆されている。
【００２４】内部電極２は、銀、または銀−パラジウム
あるいは、銀―白金を主成分として構成されている。
あるいは、銀―白金を主成分として構成されている。
【００２５】そして、本発明では、圧電体１が、Ｐｂ、
Ｚｒ及びＴｉを主成分とするペロブスカイト型複合酸化
物であって、該ペロブスカイト型複合酸化物のＡサイト
をＣａ、Ｓｒ及びＢａのうち少なくとも１種で８モル％
以下置換するとともに、Ｂサイトを、Ｗと、Ｙ、Ｄｙ、
Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｌｕ及びＹｂのうち少なくとも１種
で合計１．５〜４．５モル％置換し、さらにＡ／Ｂサイ
ト比が０．９５５〜０．９９５とされている。
Ｚｒ及びＴｉを主成分とするペロブスカイト型複合酸化
物であって、該ペロブスカイト型複合酸化物のＡサイト
をＣａ、Ｓｒ及びＢａのうち少なくとも１種で８モル％
以下置換するとともに、Ｂサイトを、Ｗと、Ｙ、Ｄｙ、
Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｌｕ及びＹｂのうち少なくとも１種
で合計１．５〜４．５モル％置換し、さらにＡ／Ｂサイ
ト比が０．９５５〜０．９９５とされている。
【００２６】即ち、本発明では、圧電体１が、一般式
を、 Ｐｂx-aＭa（Ｙｂ2/3Ｗ1/3）y（Ｚｒ1-zＴｉz）1-yＯ3 と表したとき、ｘ、ｙ、ｚ、ａが、０．９５５≦ｘ≦
０．９９５、０．０１５≦ｙ≦０．０４５、０．４５≦
ｚ≦０．５０、０．０３≦ａ≦０．０８、Ｍは、Ｃａ、
Ｓｒ及びＢａのうち少なくとも１種の関係を満足するも
のである。
を、 Ｐｂx-aＭa（Ｙｂ2/3Ｗ1/3）y（Ｚｒ1-zＴｉz）1-yＯ3 と表したとき、ｘ、ｙ、ｚ、ａが、０．９５５≦ｘ≦
０．９９５、０．０１５≦ｙ≦０．０４５、０．４５≦
ｚ≦０．５０、０．０３≦ａ≦０．０８、Ｍは、Ｃａ、
Ｓｒ及びＢａのうち少なくとも１種の関係を満足するも
のである。
【００２７】Ａ／Ｂサイト比を示すｘを０．９５５〜
０．９９５とした理由は、Ａ／Ｂサイト比が０．９５５
未満のときは圧電歪定数が小さくなり、実効圧電歪定数
としても小さくなるからであり、また、Ａ／Ｂサイト比
が０．９９５よりも大きくなると、実効圧電歪定数／共
振圧電歪定数比が小さくなるためである。Ａ／Ｂサイト
比を示すｘは、実効圧電歪定数を大きくし、実効圧電歪
定数／共振圧電歪定数比を大きくするという点から、
０．９７０〜０．９９０であることが望まししい。
０．９９５とした理由は、Ａ／Ｂサイト比が０．９５５
未満のときは圧電歪定数が小さくなり、実効圧電歪定数
としても小さくなるからであり、また、Ａ／Ｂサイト比
が０．９９５よりも大きくなると、実効圧電歪定数／共
振圧電歪定数比が小さくなるためである。Ａ／Ｂサイト
比を示すｘは、実効圧電歪定数を大きくし、実効圧電歪
定数／共振圧電歪定数比を大きくするという点から、
０．９７０〜０．９９０であることが望まししい。
【００２８】ペロブスカイト型複合酸化物のＡサイトの
Ｃａ、Ｓｒ及びＢａのうち少なくとも１種による置換量
を８モル％以下（ａ≦０．０８）としたのは、Ａサイト
のＣａ、Ｓｒ等による置換量が８モル％を越えると、キ
ュリー温度の低下が大きくなるからである。Ａサイトの
Ｃａ、Ｓｒ等による置換量は、高いキュリー温度を維持
するという点から、３〜８モル％が望ましく、特には、
４モル％が望ましい。
Ｃａ、Ｓｒ及びＢａのうち少なくとも１種による置換量
を８モル％以下（ａ≦０．０８）としたのは、Ａサイト
のＣａ、Ｓｒ等による置換量が８モル％を越えると、キ
ュリー温度の低下が大きくなるからである。Ａサイトの
Ｃａ、Ｓｒ等による置換量は、高いキュリー温度を維持
するという点から、３〜８モル％が望ましく、特には、
４モル％が望ましい。
【００２９】さらに、Ｂサイトの、Ｗと、Ｙ、Ｄｙ、Ｈ
ｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｌｕ及びＹｂのうち少なくとも１種に
よる置換量は、１．５〜４．５モル％（０．０１５≦ｙ
≦０．０４５）であることが必要である。置換量が１．
５モル％よりも小さい場合には、最適焼成温度が１１５
０℃より高くなり、例えば同時焼成型のアクチュエータ
を作製した場合に内部電極のコスト代が大きくなってし
まう。また、４．５ｍｏｌ％より置換量が多いときには
キュリー温度が低下するからである。Ｂサイトの、Ｗ
と、Ｙ等による置換量は、焼成温度を低下し、内部電極
材料を安価にするという点から、１．５〜２．５モル％
であることが望ましい。
ｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｌｕ及びＹｂのうち少なくとも１種に
よる置換量は、１．５〜４．５モル％（０．０１５≦ｙ
≦０．０４５）であることが必要である。置換量が１．
５モル％よりも小さい場合には、最適焼成温度が１１５
０℃より高くなり、例えば同時焼成型のアクチュエータ
を作製した場合に内部電極のコスト代が大きくなってし
まう。また、４．５ｍｏｌ％より置換量が多いときには
キュリー温度が低下するからである。Ｂサイトの、Ｗ
と、Ｙ等による置換量は、焼成温度を低下し、内部電極
材料を安価にするという点から、１．５〜２．５モル％
であることが望ましい。
【００３０】ＢサイトのＹ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、
Ｌｕ及びＹｂのうち少なくとも１種による置換は、実効
圧電歪定数の向上という点から、Ｙｂ、Ｙが望ましく、
特には、Ｙｂが望ましい。
Ｌｕ及びＹｂのうち少なくとも１種による置換は、実効
圧電歪定数の向上という点から、Ｙｂ、Ｙが望ましく、
特には、Ｙｂが望ましい。
【００３１】本発明では、特に、一般式、Ｐｂx-aＭ
a（Ｙｂ2/3Ｗ1/3）y（Ｚｒ1-zＴｉz）1 -yＯ3と表したと
きに、ｘが０．９７０〜０．９９０、ｙが０．０１５〜
０．０２５、ｚが０．４７〜０．４８、ａが０．０３〜
０．０８であり、ＭとしてはＳｒとＢａであることが望
ましい。
a（Ｙｂ2/3Ｗ1/3）y（Ｚｒ1-zＴｉz）1 -yＯ3と表したと
きに、ｘが０．９７０〜０．９９０、ｙが０．０１５〜
０．０２５、ｚが０．４７〜０．４８、ａが０．０３〜
０．０８であり、ＭとしてはＳｒとＢａであることが望
ましい。
【００３２】本発明のアクチュエータ用圧電磁器は、ペ
ロブスカイト型結晶を主結晶相とするもので、異相は殆
ど存在しないことが望ましい。また、Ａｇ、Ａｌ、Ｆ
ｅ、Ｓ、Ｃｌ、Ｅｕ、Ｋ、Ｐ、Ｃｕ、Ｍｇ、Ｓｉ等が不
可避不純物として混入する場合もあるが、特性上問題な
い。
ロブスカイト型結晶を主結晶相とするもので、異相は殆
ど存在しないことが望ましい。また、Ａｇ、Ａｌ、Ｆ
ｅ、Ｓ、Ｃｌ、Ｅｕ、Ｋ、Ｐ、Ｃｕ、Ｍｇ、Ｓｉ等が不
可避不純物として混入する場合もあるが、特性上問題な
い。
【００３３】このような積層型圧電アクチュエータで
は、圧電体のキュリー温度を高くできるとともに、圧縮
荷重下での実効圧電歪定数を高くできる。従って、圧電
体１のキュリー温度が高いため、高温において積層型圧
電アクチュエータを用いる場合でも、圧電体の積層数を
増加させることなく、大きな変位量を得ることができる
とともに、圧電体の圧縮荷重下での実効圧電歪定数が高
いため、大きな変位量を得ることができる。
は、圧電体のキュリー温度を高くできるとともに、圧縮
荷重下での実効圧電歪定数を高くできる。従って、圧電
体１のキュリー温度が高いため、高温において積層型圧
電アクチュエータを用いる場合でも、圧電体の積層数を
増加させることなく、大きな変位量を得ることができる
とともに、圧電体の圧縮荷重下での実効圧電歪定数が高
いため、大きな変位量を得ることができる。
【００３４】このような積層型圧電アクチュエータで
は、圧電体の圧縮荷重下での実効圧電歪定数を、共振・
反共振法により求めた圧電歪定数の１．８倍以上とする
ことができる。
は、圧電体の圧縮荷重下での実効圧電歪定数を、共振・
反共振法により求めた圧電歪定数の１．８倍以上とする
ことができる。
【００３５】図２は、本発明の噴射装置を示すもので、
図において符号３１は収納容器を示している。この収納
容器３１の一端には噴射孔３３が設けられ、また収納容
器３１内には、噴射孔３３を開閉することができるニー
ドルバルブ３５が収容されている。
図において符号３１は収納容器を示している。この収納
容器３１の一端には噴射孔３３が設けられ、また収納容
器３１内には、噴射孔３３を開閉することができるニー
ドルバルブ３５が収容されている。
【００３６】噴射孔３３には燃料通路３７が連通可能に
設けられ、この燃料通路３７は外部の燃料供給源に連結
され、燃料通路３７に常時一定の高圧で燃料が供給され
ている。従って、ニードルバルブ３５が噴射孔３３を開
放すると、燃料通路３７に供給されていた燃料が一定の
高圧で内燃機関の図示しない燃料室内に噴出されるよう
に形成されている。
設けられ、この燃料通路３７は外部の燃料供給源に連結
され、燃料通路３７に常時一定の高圧で燃料が供給され
ている。従って、ニードルバルブ３５が噴射孔３３を開
放すると、燃料通路３７に供給されていた燃料が一定の
高圧で内燃機関の図示しない燃料室内に噴出されるよう
に形成されている。
【００３７】また、ニードルバルブ３５の上端部は直径
が大きくなっており、収納容器３１に形成されたシリン
ダ３９と摺動可能なピストン４１を有している。そし
て、収納容器３１内には、上記した圧電アクチュエータ
４３が収納されている。
が大きくなっており、収納容器３１に形成されたシリン
ダ３９と摺動可能なピストン４１を有している。そし
て、収納容器３１内には、上記した圧電アクチュエータ
４３が収納されている。
【００３８】このような噴射装置では、圧電アクチュエ
ータ４３が電圧を印加されて伸長すると、ピストン４１
が押圧され、ニードルバルブ３５が噴射孔３３を閉塞
し、燃料の供給が停止される。また、電圧の印加が停止
されると圧電アクチュエータ４３が収縮し、皿バネ４５
がピストン４１を押し返し、噴射孔３３が燃料通路３７
と連通して燃料の噴射が行われるようになっている。
ータ４３が電圧を印加されて伸長すると、ピストン４１
が押圧され、ニードルバルブ３５が噴射孔３３を閉塞
し、燃料の供給が停止される。また、電圧の印加が停止
されると圧電アクチュエータ４３が収縮し、皿バネ４５
がピストン４１を押し返し、噴射孔３３が燃料通路３７
と連通して燃料の噴射が行われるようになっている。
【００３９】
【実施例】原料粉末として高純度のＰｂＯ、ＺｒＯ2、
ＴｉＯ2、ＢａＣＯ3、ＳｒＣｏ3、ＣａＣＯ3、ＷＯ3、
Ｙｂ2Ｏ3、Ｙ2Ｏ3、Ｄｙ2Ｏ3、Ｈｏ2Ｏ3、Ｅｒ2Ｏ3、Ｔ
ｍ2Ｏ3の各原料粉末を所定量秤量し、ボールミルで２０
時間湿式混合した。次いで、この混合物を脱水、乾燥し
た後、９００℃で３時間仮焼し当該仮焼物を再びボール
ミルで湿式粉砕し脱水、乾燥し、原料粉末を作製した。
ＴｉＯ2、ＢａＣＯ3、ＳｒＣｏ3、ＣａＣＯ3、ＷＯ3、
Ｙｂ2Ｏ3、Ｙ2Ｏ3、Ｄｙ2Ｏ3、Ｈｏ2Ｏ3、Ｅｒ2Ｏ3、Ｔ
ｍ2Ｏ3の各原料粉末を所定量秤量し、ボールミルで２０
時間湿式混合した。次いで、この混合物を脱水、乾燥し
た後、９００℃で３時間仮焼し当該仮焼物を再びボール
ミルで湿式粉砕し脱水、乾燥し、原料粉末を作製した。
【００４０】この原料粉末に有機バインダー（ＰＶＡ）
を混合し、造粒した。得られた粉末を１．５ｔ／ｃｍ2
の圧力でプレス成形し円柱形状の成形体を得た。更に、
これらの成形体をＭｇＯ等からなる容器内に密閉し、大
気中１１５０℃で２時間の条件で焼成した。得られた焼
結体は、直径３．５ｍｍ厚み７ｍｍの円柱形状となるよ
う加工し、磁器密度を測定した。
を混合し、造粒した。得られた粉末を１．５ｔ／ｃｍ2
の圧力でプレス成形し円柱形状の成形体を得た。更に、
これらの成形体をＭｇＯ等からなる容器内に密閉し、大
気中１１５０℃で２時間の条件で焼成した。得られた焼
結体は、直径３．５ｍｍ厚み７ｍｍの円柱形状となるよ
う加工し、磁器密度を測定した。
【００４１】また、この円柱の両主面にＡｇペーストを
焼付けることにより電極を形成し、８０℃のシリコンオ
イル中で２ｋＶ／ｍｍの直流電圧を３０分間印加して分
極処理した後、共振・反共振法による圧電歪定数ｄ33及
び比誘電率の温度特性からキュリー温度を求めた。
焼付けることにより電極を形成し、８０℃のシリコンオ
イル中で２ｋＶ／ｍｍの直流電圧を３０分間印加して分
極処理した後、共振・反共振法による圧電歪定数ｄ33及
び比誘電率の温度特性からキュリー温度を求めた。
【００４２】次に、上記原料粉末と、有機高分子からな
るバインダーと、可塑剤とを混合したスラリーを作製
し、スリップキャステイング法により、厚み１５０μｍ
のセラミックグリーンシートを作製した。
るバインダーと、可塑剤とを混合したスラリーを作製
し、スリップキャステイング法により、厚み１５０μｍ
のセラミックグリーンシートを作製した。
【００４３】このグリーンシートの片面に銀−パラジウ
ムを主成分とし、Ａｇ／Ｐｄ比が７０／３０の導電性ペ
ーストをスクリーン印刷法により５μｍの厚みに印刷
し、導電性ペーストを乾燥させた後、導電性ペーストが
塗布された複数のグリーンシートを２００枚積層し、こ
の積層体の積層方向の両端部に、導電性ペーストが塗布
されていないグリーンシートを１０枚積層した。
ムを主成分とし、Ａｇ／Ｐｄ比が７０／３０の導電性ペ
ーストをスクリーン印刷法により５μｍの厚みに印刷
し、導電性ペーストを乾燥させた後、導電性ペーストが
塗布された複数のグリーンシートを２００枚積層し、こ
の積層体の積層方向の両端部に、導電性ペーストが塗布
されていないグリーンシートを１０枚積層した。
【００４４】次に、この積層体を１００℃で加熱を行い
ながら加圧を行い、積層体を一体化し、１２ｍｍ×１２
ｍｍの大きさに切断した後、８００℃で１０時間の脱バ
インダを行い、１１００℃で５時間の本焼成を行った。
ながら加圧を行い、積層体を一体化し、１２ｍｍ×１２
ｍｍの大きさに切断した後、８００℃で１０時間の脱バ
インダを行い、１１００℃で５時間の本焼成を行った。
【００４５】その後、焼結体の対向する側面において、
内部電極端部を含む圧電磁器の端部に該２側面において
互い違いになるように、１層おきに深さ１００μｍ、積
層方向の幅５０μｍの溝を形成し、該溝にシリコーンゴ
ムを充填した。この後、焼結体の対向する側面に外部電
極を形成し、絶縁されていない内部電極の端部を外部電
極に接続した。
内部電極端部を含む圧電磁器の端部に該２側面において
互い違いになるように、１層おきに深さ１００μｍ、積
層方向の幅５０μｍの溝を形成し、該溝にシリコーンゴ
ムを充填した。この後、焼結体の対向する側面に外部電
極を形成し、絶縁されていない内部電極の端部を外部電
極に接続した。
【００４６】この後、正極用外部電極、負極用外部電極
にリード線を接続し、アクチュエータの外周面にデイッ
ピングにより、シリコーンゴムを被覆した後、１ｋＶの
分極電圧を印加し、アクチュエータ全体を分極処理して
積層型圧電アクチュエータを得た。
にリード線を接続し、アクチュエータの外周面にデイッ
ピングにより、シリコーンゴムを被覆した後、１ｋＶの
分極電圧を印加し、アクチュエータ全体を分極処理して
積層型圧電アクチュエータを得た。
【００４７】得られた積層型圧電アクチュエータについ
て、応力４０ＭＰａに相当する圧縮荷重を積層方向に印
加し、電圧を０〜１５０Ｖの範囲で変化させることによ
ってレーザー変位計で変位を測定し、変位量を積層数及
び印加電圧で割ることによって実効圧電歪定数を算出
し、その結果を表１〜４に記載した。
て、応力４０ＭＰａに相当する圧縮荷重を積層方向に印
加し、電圧を０〜１５０Ｖの範囲で変化させることによ
ってレーザー変位計で変位を測定し、変位量を積層数及
び印加電圧で割ることによって実効圧電歪定数を算出
し、その結果を表１〜４に記載した。
【００４８】尚、表１では、組成式を、Ｐｂx-0.07Ｂａ
0.04Ｓｒ0.03Ｙｂ0.02Ｗ0.01（Ｚｒ 0.52Ｔｉ0.48）0.97
Ｏ3と固定し、Ａ／Ｂサイト比を示すｘを変化させたと
きの磁器密度、キュリー温度、圧電歪定数、実効圧電歪
定数、圧電歪定数比を求め、記載した。
0.04Ｓｒ0.03Ｙｂ0.02Ｗ0.01（Ｚｒ 0.52Ｔｉ0.48）0.97
Ｏ3と固定し、Ａ／Ｂサイト比を示すｘを変化させたと
きの磁器密度、キュリー温度、圧電歪定数、実効圧電歪
定数、圧電歪定数比を求め、記載した。
【００４９】また、表２では、組成式を、Ｐｂ0.97-aＭ
a（Ｙｂ0.02Ｗ0.01）（Ｚｒ1-zＴｉ z）0.97Ｏ3と固定
し、Ｍとして元素を変化させ、またＡサイトのＭによる
置換量ａとＴｉ比ｚを変化させたときの磁器密度、キュ
リー温度、圧電歪定数、実効圧電歪定数、圧電歪定数比
を求め、記載した。
a（Ｙｂ0.02Ｗ0.01）（Ｚｒ1-zＴｉ z）0.97Ｏ3と固定
し、Ｍとして元素を変化させ、またＡサイトのＭによる
置換量ａとＴｉ比ｚを変化させたときの磁器密度、キュ
リー温度、圧電歪定数、実効圧電歪定数、圧電歪定数比
を求め、記載した。
【００５０】さらに、表３では、組成式を、Ｐｂ0.90Ｂ
ａ0.04Ｓｒ0.03Ｒ0.02Ｗ0.01（Ｚｒ 0.52Ｔｉ0.48）0.97
Ｏ3と固定し、希土類元素Ｒの元素を変化させたときの
磁器密度、キュリー温度、圧電歪定数、実効圧電歪定
数、圧電歪定数比を求め、記載した。
ａ0.04Ｓｒ0.03Ｒ0.02Ｗ0.01（Ｚｒ 0.52Ｔｉ0.48）0.97
Ｏ3と固定し、希土類元素Ｒの元素を変化させたときの
磁器密度、キュリー温度、圧電歪定数、実効圧電歪定
数、圧電歪定数比を求め、記載した。
【００５１】さらに、表４では、組成式を、Ｐｂ0.0 9Ｂ
ａ0.04Ｓｒ0.03（Ｙｂ2/3Ｗ1/3）y（Ｚｒ0.52Ｔ
ｉ0.48）1-yＯ3と固定し、Ｂサイトの（Ｙｂ2/3Ｗ1/3）
による置換量を変化させたときの磁器密度、キュリー温
度、圧電歪定数、実効圧電歪定数、圧電歪定数比を求
め、記載した。
ａ0.04Ｓｒ0.03（Ｙｂ2/3Ｗ1/3）y（Ｚｒ0.52Ｔ
ｉ0.48）1-yＯ3と固定し、Ｂサイトの（Ｙｂ2/3Ｗ1/3）
による置換量を変化させたときの磁器密度、キュリー温
度、圧電歪定数、実効圧電歪定数、圧電歪定数比を求
め、記載した。
【００５２】
【表１】
【００５３】
【表２】
【００５４】
【表３】
【００５５】
【表４】
【００５６】表１から、Ａ／Ｂサイト比が０．９５５〜
０．９９５の範囲内である本発明では、キュリー温度が
２９０℃以上、圧電歪定数が３０５ｐＣ／Ｎ以上、実効
圧電歪定数が５５０ｐｍ／Ｖ以上、圧電歪定数比が１．
８以上であった。これに対して、Ａ／Ｂサイト比が範囲
外の場合には、圧電歪定数、実効圧電歪定数が低いこと
が判る。
０．９９５の範囲内である本発明では、キュリー温度が
２９０℃以上、圧電歪定数が３０５ｐＣ／Ｎ以上、実効
圧電歪定数が５５０ｐｍ／Ｖ以上、圧電歪定数比が１．
８以上であった。これに対して、Ａ／Ｂサイト比が範囲
外の場合には、圧電歪定数、実効圧電歪定数が低いこと
が判る。
【００５７】また、表２から、ＡサイトのＣａ等による
置換では、キュリー温度、圧電歪定数、実効圧電歪定
数、圧電歪定数比を総合すると、ＢａとＳｒによる置換
の場合が最も良好であることが判る。さらに、置換量に
ついては、Ａサイトを８モル％以下置換することにより
高いキュリー温度を維持できるが、１０モル％となる
と、急激にキュリー温度が低下することが判る。
置換では、キュリー温度、圧電歪定数、実効圧電歪定
数、圧電歪定数比を総合すると、ＢａとＳｒによる置換
の場合が最も良好であることが判る。さらに、置換量に
ついては、Ａサイトを８モル％以下置換することにより
高いキュリー温度を維持できるが、１０モル％となる
と、急激にキュリー温度が低下することが判る。
【００５８】さらに、表３から、希土類元素としてＹｂ
を用いた場合に、圧電歪定数、実効圧電歪定数、圧電歪
定数比が最も高くなることが判る。
を用いた場合に、圧電歪定数、実効圧電歪定数、圧電歪
定数比が最も高くなることが判る。
【００５９】また、表４から、ＢサイトのＹｂとＷによ
る置換量が０、１モル％の場合には焼結不良となり、５
モル％の場合には、キュリー温度、圧電歪定数、実効圧
電歪定数が低下することが判る。
る置換量が０、１モル％の場合には焼結不良となり、５
モル％の場合には、キュリー温度、圧電歪定数、実効圧
電歪定数が低下することが判る。
【００６０】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明によれば、Ｐ
ｂ、Ｚｒ及びＴｉを主成分とするペロブスカイト型複合
酸化物であって、該ペロブスカイト型複合酸化物のＡサ
イトをＣａ、Ｓｒ及びＢａのうち少なくとも１種で８．
０モル％以下置換するとともに、Ｂサイトを、Ｗと、
Ｙ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｌｕ及びＹｂのうち少な
くとも１種で合計１．５〜４．５モル％置換し、さらに
Ａ／Ｂサイト比が０．９５５〜０．９９５であるため、
キュリー温度を高くできるとともに、圧縮荷重下での実
効圧電歪定数を高くでき、高温での駆動が可能であり、
かつ圧縮荷重下において大きな変位量を有する積層型圧
電アクチュエータを提供できる。
ｂ、Ｚｒ及びＴｉを主成分とするペロブスカイト型複合
酸化物であって、該ペロブスカイト型複合酸化物のＡサ
イトをＣａ、Ｓｒ及びＢａのうち少なくとも１種で８．
０モル％以下置換するとともに、Ｂサイトを、Ｗと、
Ｙ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｌｕ及びＹｂのうち少な
くとも１種で合計１．５〜４．５モル％置換し、さらに
Ａ／Ｂサイト比が０．９５５〜０．９９５であるため、
キュリー温度を高くできるとともに、圧縮荷重下での実
効圧電歪定数を高くでき、高温での駆動が可能であり、
かつ圧縮荷重下において大きな変位量を有する積層型圧
電アクチュエータを提供できる。
【図１】本発明の積層型圧電アクチュエータを示す斜視
図である。
図である。
【図２】本発明の噴射装置の説明図である。
１・・・圧電体 ２・・・内部電極 ３１・・・収納容器 ３３・・・噴射孔 ３５・・・バルブ ４３・・・圧電アクチュエータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｌ 41/18 １０１Ｊ
Claims (5)
- 【請求項１】Ｐｂ、Ｚｒ及びＴｉを主成分とするペロブ
スカイト型複合酸化物であって、該ペロブスカイト型複
合酸化物のＡサイトをＣａ、Ｓｒ及びＢａのうち少なく
とも１種で８．０モル％以下置換するとともに、Ｂサイ
トを、Ｗと、Ｙ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｌｕ及びＹ
ｂのうち少なくとも１種で合計１．５〜４．５モル％置
換し、さらにＡ／Ｂサイト比が０．９５５〜０．９９５
であることを特徴とするアクチュエータ用圧電磁器。 - 【請求項２】一般式を、 Ｐｂx-aＭa（Ｙｂ2/3Ｗ1/3）y（Ｚｒ1-zＴｉz）1-yＯ3 と表したとき、前記ｘ、ｙ、ｚ、ａが、 ０．９５５≦ｘ≦０．９９５ ０．０１５≦ｙ≦０．０４５ ０．４５≦ｚ≦０．５０ ０３≦ａ≦０．０８ Ｍは、Ｃａ、Ｓｒ及びＢａのうち少なくとも１種の関係
を満足することを特徴とする請求項１記載のアクチュエ
ータ用圧電磁器。 - 【請求項３】圧電体と電極とを交互に積層してなるとと
もに、前記圧電体が、請求項１又は２記載のアクチュエ
ータ用圧電磁器からなることを特徴とする積層型圧電ア
クチュエータ。 - 【請求項４】圧縮荷重下での実効圧電歪定数が、共振・
反共振法により求めた圧電歪定数の１．８倍以上である
ことを特徴とする請求項３記載の積層型圧電アクチュエ
ータ。 - 【請求項５】噴射孔を有する収納容器と、該収納容器内
に収容された請求項３又は４記載の積層型圧電アクチュ
エータと、該積層型圧電アクチュエータの駆動により前
記噴射孔から液体を噴出させるバルブとを具備してなる
ことを特徴とする噴射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001097425A JP4688329B2 (ja) | 2001-03-29 | 2001-03-29 | アクチュエータ用圧電磁器及び積層型圧電アクチュエータ並びに噴射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001097425A JP4688329B2 (ja) | 2001-03-29 | 2001-03-29 | アクチュエータ用圧電磁器及び積層型圧電アクチュエータ並びに噴射装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002293625A true JP2002293625A (ja) | 2002-10-09 |
| JP4688329B2 JP4688329B2 (ja) | 2011-05-25 |
Family
ID=18951210
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001097425A Expired - Fee Related JP4688329B2 (ja) | 2001-03-29 | 2001-03-29 | アクチュエータ用圧電磁器及び積層型圧電アクチュエータ並びに噴射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4688329B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005011009A1 (ja) | 2003-07-28 | 2005-02-03 | Kyocera Corporation | 積層型電子部品とその製造方法及び積層型圧電素子 |
| WO2005051862A1 (ja) * | 2003-11-26 | 2005-06-09 | Kyocera Corporation | 圧電磁器及び積層型圧電体素子 |
| JP2005179161A (ja) * | 2003-11-26 | 2005-07-07 | Kyocera Corp | 圧電磁器およびその製法、積層型圧電素子およびその製法、並びに噴射装置 |
| EP1780813A1 (en) * | 2004-06-24 | 2007-05-02 | Kyocera Corporation | Multilayer electronic component and injection system using same |
| JP2014529902A (ja) * | 2011-08-30 | 2014-11-13 | エプコス アクチエンゲゼルシャフトＥｐｃｏｓ Ａｇ | 圧電デバイスおよび圧電デバイスの製造方法 |
| JP2016138033A (ja) * | 2015-01-29 | 2016-08-04 | 京セラ株式会社 | 圧電磁器組成物、圧電素子および圧電振動装置 |
Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60103079A (ja) * | 1983-11-05 | 1985-06-07 | 住友特殊金属株式会社 | 圧電磁器組成物 |
| JPS6336061A (ja) * | 1986-07-29 | 1988-02-16 | Nippon Denso Co Ltd | 燃料噴射弁 |
| JPH01305856A (ja) * | 1988-06-03 | 1989-12-11 | Denki Kagaku Kogyo Kk | チタン酸ジルコン酸鉛系酸化物組成物 |
| JPH0710638A (ja) * | 1993-03-02 | 1995-01-13 | Korea Advanced Inst Of Sci Technol | 酸化物圧電材料 |
| JPH08119733A (ja) * | 1994-10-24 | 1996-05-14 | Tokin Corp | 圧電磁器組成物 |
| JP2000169223A (ja) * | 1998-11-30 | 2000-06-20 | Kyocera Corp | 圧電磁器組成物及びその製造方法 |
| JP2000327418A (ja) * | 1999-05-14 | 2000-11-28 | Tdk Corp | 圧電磁器組成物 |
| JP2001019542A (ja) * | 1999-07-02 | 2001-01-23 | Tdk Corp | 圧電セラミックスおよびこれを用いた圧電デバイス |
| JP2001068750A (ja) * | 1999-08-31 | 2001-03-16 | Kyocera Corp | 積層型圧電アクチュエータ |
-
2001
- 2001-03-29 JP JP2001097425A patent/JP4688329B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60103079A (ja) * | 1983-11-05 | 1985-06-07 | 住友特殊金属株式会社 | 圧電磁器組成物 |
| JPS6336061A (ja) * | 1986-07-29 | 1988-02-16 | Nippon Denso Co Ltd | 燃料噴射弁 |
| JPH01305856A (ja) * | 1988-06-03 | 1989-12-11 | Denki Kagaku Kogyo Kk | チタン酸ジルコン酸鉛系酸化物組成物 |
| JPH0710638A (ja) * | 1993-03-02 | 1995-01-13 | Korea Advanced Inst Of Sci Technol | 酸化物圧電材料 |
| JPH08119733A (ja) * | 1994-10-24 | 1996-05-14 | Tokin Corp | 圧電磁器組成物 |
| JP2000169223A (ja) * | 1998-11-30 | 2000-06-20 | Kyocera Corp | 圧電磁器組成物及びその製造方法 |
| JP2000327418A (ja) * | 1999-05-14 | 2000-11-28 | Tdk Corp | 圧電磁器組成物 |
| JP2001019542A (ja) * | 1999-07-02 | 2001-01-23 | Tdk Corp | 圧電セラミックスおよびこれを用いた圧電デバイス |
| JP2001068750A (ja) * | 1999-08-31 | 2001-03-16 | Kyocera Corp | 積層型圧電アクチュエータ |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005011009A1 (ja) | 2003-07-28 | 2005-02-03 | Kyocera Corporation | 積層型電子部品とその製造方法及び積層型圧電素子 |
| US7633210B2 (en) | 2003-07-28 | 2009-12-15 | Kyocera Corporation | Multi-layer electronic component and method for manufacturing the same, multi-layer piezoelectric element |
| EP2365553A1 (en) | 2003-07-28 | 2011-09-14 | Kyocera Corporation | Multi-layer piezoelectric element |
| WO2005051862A1 (ja) * | 2003-11-26 | 2005-06-09 | Kyocera Corporation | 圧電磁器及び積層型圧電体素子 |
| JP2005179161A (ja) * | 2003-11-26 | 2005-07-07 | Kyocera Corp | 圧電磁器およびその製法、積層型圧電素子およびその製法、並びに噴射装置 |
| JP4535721B2 (ja) * | 2003-11-26 | 2010-09-01 | 京セラ株式会社 | 圧電磁器および積層型圧電素子並びに噴射装置 |
| EP1780813A1 (en) * | 2004-06-24 | 2007-05-02 | Kyocera Corporation | Multilayer electronic component and injection system using same |
| EP1780813A4 (en) * | 2004-06-24 | 2010-07-07 | Kyocera Corp | MULTI-LAYER ELECTRONIC COMPONENT AND INJECTION SYSTEM USING THE SAME |
| JP2014529902A (ja) * | 2011-08-30 | 2014-11-13 | エプコス アクチエンゲゼルシャフトＥｐｃｏｓ Ａｇ | 圧電デバイスおよび圧電デバイスの製造方法 |
| US9570669B2 (en) | 2011-08-30 | 2017-02-14 | Epcos Ag | Piezoelectric component and method for producing a piezoelectric component |
| US10483454B2 (en) | 2011-08-30 | 2019-11-19 | Tdk Electronics Ag | Piezoelectric component and method for producing a piezoelectric component |
| JP2016138033A (ja) * | 2015-01-29 | 2016-08-04 | 京セラ株式会社 | 圧電磁器組成物、圧電素子および圧電振動装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4688329B2 (ja) | 2011-05-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5341094B2 (ja) | 積層型圧電素子および噴射装置ならびに燃料噴射システム | |
| JP4954897B2 (ja) | 積層型電子部品およびその製造方法 | |
| JP4925516B2 (ja) | 積層型圧電アクチュエータ及び噴射装置 | |
| JP2001342062A (ja) | 圧電磁器及び積層圧電素子並びに噴射装置 | |
| JP4925825B2 (ja) | 積層型電子部品及びこれを用いた噴射装置 | |
| EP1575100B1 (en) | Piezoelectric/electrostrictive ceramic composition and piezoelectric/electrostrictive film type device | |
| JP2003017768A (ja) | 積層型圧電素子及び噴射装置 | |
| JP2004146774A (ja) | 積層圧電体、アクチュエータ及び印刷ヘッド | |
| JP4688329B2 (ja) | アクチュエータ用圧電磁器及び積層型圧電アクチュエータ並びに噴射装置 | |
| JP4803956B2 (ja) | 圧電セラミックスおよびこれを用いた積層型圧電素子並びに噴射装置 | |
| US20090033179A1 (en) | Multilayer piezoelectric element | |
| CN100583480C (zh) | 叠层型压电元件 | |
| JP2005191049A (ja) | 積層型圧電素子およびその製法、並びに噴射装置 | |
| JP4373643B2 (ja) | 積層型圧電素子及びその製法並びに噴射装置 | |
| JP4535721B2 (ja) | 圧電磁器および積層型圧電素子並びに噴射装置 | |
| JP4683689B2 (ja) | 積層型圧電素子及び圧電アクチュエータ並びに噴射装置 | |
| JP4688330B2 (ja) | 圧電磁器及び積層型圧電素子並びに噴射装置 | |
| JP2002289932A (ja) | 積層型圧電素子及びその製法並びに噴射装置 | |
| JP2007013096A (ja) | 圧電アクチュエータおよびその駆動方法、並びに印刷ヘッド | |
| JP4671522B2 (ja) | 圧電磁器及び積層型圧電素子並びに噴射装置 | |
| JP2005191046A (ja) | 積層型圧電素子およびその製法、並びに噴射装置 | |
| JP5328750B2 (ja) | 積層型圧電素子およびこれを用いた噴射装置 | |
| JP4822664B2 (ja) | 積層型圧電素子およびその製法、並びに噴射装置 | |
| JP2002293624A (ja) | 圧電磁器およびその製造方法並びに圧電素子 | |
| KR100977420B1 (ko) | 고변위 적층형 압전액츄에이터용 저온소결 압전 자기 조성물 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080118 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100916 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100928 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101129 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110118 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110215 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4688329 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140225 Year of fee payment: 3 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |