JP2003017768A

JP2003017768A - 積層型圧電素子及び噴射装置

Info

Publication number: JP2003017768A
Application number: JP2001197116A
Authority: JP
Inventors: Susumu Ono; 進小野
Original assignee: Kyocera Corp
Current assignee: Kyocera Corp
Priority date: 2001-06-28
Filing date: 2001-06-28
Publication date: 2003-01-17

Abstract

(57)【要約】【課題】高温、高湿の環境下で、高電圧、高周波で駆動
しても、内部電極材のショートによる破損を抑制するこ
とができる積層型圧電素子及び噴射装置を提供する。【解決手段】複数の圧電体１と複数の内部電極２とを交
互に積層してなり、内部電極２が交互に接続された素子
本体３の外周面を、アルカリ金属及び／又はアルカリ土
類金属の含有合量が８００ｐｐｍ以下の外装樹脂１０で
被覆してなるものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、自動車用燃料噴射
弁、光学装置等の精密位置決め装置や振動防止用の駆動
素子等に用いられる積層型圧電素子及び噴射装置に関す
る。

【０００２】

【従来技術】従来より、電歪効果を利用して大きな変位
量を得るために、圧電体と内部電極層を交互に積層した
積層型圧電素子が提案されている。積層型圧電素子に
は、同時焼成タイプと圧電磁器と内部電極板を交互に積
層したスタックタイプの２種類に分類されており、低電
圧化、製造コスト低減の面から考慮すると、同時焼成タ
イプの積層型圧電素子が薄層化に対して有利であるため
に、その優位性を示しつつある。

【０００３】同時焼成タイプの積層型圧電素子として、
例えば、特開平４−２３７１７２号公報には、素子本体
の側面に露出した内部電極の端部に一層おきにガラスか
らなる絶縁層を被覆し、外部電極には、絶縁層と同じピ
ッチで、かつ絶縁層の断面よりやや大きい凹部を形成
し、この凹部内に絶縁層を収容するようにして、かつ、
凹部間の凸部に、絶縁層が形成されていない内部電極の
端部を導電性接着剤で接着することにより、外部電極と
一方の内部電極との電気的接続を確保し、他方の内部電
極との絶縁性を確保した積層型圧電素子が開示されてい
る。

【０００４】一方、近年における積層型圧電素子では、
大きな変位量を確保した状態で、積層型圧電素子の特徴
である高応答性を利用するため、高電界を印加し高周波
数で駆動することが行なわれている。

【０００５】このため、圧電体間に埋設された正極の内
部電極と、負極の内部電極との間で積層型圧電素子の表
面を介しての沿面放電を起こしたり、更に、湿度の高い
環境下で駆動させた場合、内部電極材のマイグレーショ
ンが発生し、ショートによる破損が発生し易いという問
題があった。

【０００６】これらの問題を解決する手段として、特開
平５−１６０４５８号公報、及び特開平５−２１８５１
６号公報に開示された積層型圧電素子では、シリコーン
樹脂を被覆し、内部電極材のマイグレーションを抑制し
ている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
シリコーン樹脂では、積層型圧電素子を高温、高湿の環
境下で、高電圧、高周波で駆動させた場合、内部電極間
のショートによる破損が発生し易いという問題があっ
た。

【０００８】本発明者は、内部電極間のショートによる
破損について鋭意検討した結果、従来のシリコーン樹脂
では、不純物としてアルカリ金属及び／又はアルカリ土
類金属を多く含有しており、シリコーン樹脂中のアルカ
リ金属及び／又はアルカリ土類金属が高電界により遊離
してアルカリ金属及び／又はアルカリ土類金属イオンと
なり、これらのイオンが負極側の内部電極端に集中し、
該アルカリ金属及び／又はアルカリ土類金属イオンによ
り磁器表面における正極と負極の内部電極端の絶縁距離
が短縮され、漏れ電流を生じさせショートに至ることを
見出し、本発明に至った。

【０００９】本発明は、高温、高湿の環境下で、高電
圧、高周波で駆動しても、内部電極間のショートによる
破損を抑制することができる積層型圧電素子及び噴射装
置を提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明の積層型圧電素子
は、複数の圧電体と複数の内部電極とを交互に積層して
なり、前記内部電極が交互に接続された素子本体の外周
面を、アルカリ金属及び／又はアルカリ土類金属の含有
合量が８００ｐｐｍ以下の外装樹脂で被覆してなるもの
である。

【００１１】本発明の積層型圧電素子では、外装樹脂中
のアルカリ金属及び／又はアルカリ土類金属の合量が８
００ｐｐｍ以下であるため、高温、高湿の環境下におい
て、高電界、高周波数で駆動させた場合においても、ア
ルカリ金属及び／又はアルカリ土類金属がイオンとなる
量を減少でき、正極と負極の内部電極端間の絶縁距離の
短縮を抑制することができ、内部電極間のショートによ
る破損を抑制できる。

【００１２】また、本発明では、圧電体側面の表面粗さ
Ｒａが０．０１〜１μｍであることが望ましい。即ち、
圧電体側面の表面粗さＲａが０．０１〜１μｍであるた
め、正極と負極の内部電極端間の圧電体側面の電流経路
が延長され、素子本体の側面における正極と負極の内部
電極端部間の絶縁距離を確保することができるととも
に、圧電体強度を高く維持することができる。止でき
るる及び／またはアルカリ土類金属イオンンであること
を特徴

【請求項５】図１（ａ）は本発明の積層型圧電アクチュ
エータからなる積層型圧電素子の一実施例を示す斜視図
であり、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ’に沿った縦断面図で
ある。

【００１３】本発明の積層型圧電アクチュエータは、図
１に示すように複数の圧電体１と複数の内部電極２とを
交互に積層して、四角柱状の素子本体３を形成し、この
素子本体３の対向する２つの側面に、それぞれ外部電極
４を設けて構成されている。外部電極４には、内部電極
２の端部が交互に電気的に接続されている。

【００１４】この素子本体３の外周面には外装樹脂１０
が被覆されている。即ち、素子本体３と外部電極４との
間、および外部電極４が形成されていない素子本体３の
側面に外装樹脂１０が被覆されている。言い換えれば、
正極及び負極の内部電極の端部が露出した、素子本体３
の外部電極が形成されない側面、正極及び負極の内部電
極の端部が交互に露出し、露出した内部電極の端部が外
部電極に接続された素子本体３の側面、並びに、外部電
極４の表面に外装樹脂１０が形成されている。

【００１５】外装樹脂１０の厚みは、沿面放電の防止、
水蒸気透過の防止、小型化という点から、０．０１〜２
ｍｍ、特に０．１〜１ｍｍであることが望ましい。

【００１６】また、本発明では、外装樹脂１０のアルカ
リ金属及び／又はアルカリ土類金属の含有合量が８００
ｐｐｍ以下とされている。外装樹脂１０中に含有するア
ルカリ金属とアルカリ土類金属の合量を８００ｐｐｍ以
下としたのは、８００ｐｐｍより多い場合には、高電
界、高周波数にて遊離するアルカリ金属及び／又はアル
カリ土類金属イオンが多く、負極の内部電極端に集中
し、負極と正極の内部電極端が近づき、絶縁距離が短縮
され、ショートを起こしやすいからである。

【００１７】外装樹脂１０のアルカリ金属及び／又はア
ルカリ土類金属は、不純物として含有するため、一般的
に外装樹脂１０中に必然的に含有されるが、アルカリ金
属及び／又はアルカリ土類金属の含有合量を低減するに
は、無機イオン交換樹脂にて前処理する。

【００１８】即ち、例えば、外装樹脂１０中に無機イオ
ン交換樹脂を添加し、攪拌してアルカリ金属及び／又は
アルカリ土類金属を沈殿させ、これらのアルカリ金属及
び／又はアルカリ土類金属の含有量が少ない上層部の樹
脂を外装樹脂１０として用いることが効果的である。特
に、アルカリ金属及び／又はアルカリ土類金属の中で
も、イオン化傾向の高い金属の含有合量を少なくするこ
とが金属のイオン化を防ぐという点から望ましい。

【００１９】外装樹脂１０中のアルカリ金属及び／又は
アルカリ土類金属含有量は、特には２００ｐｐｍ以下が
望ましい。外装樹脂１０中のアルカリ金属及び／又はア
ルカリ土類金属の含有合量は、イオンクロマト分析によ
って測定することができる。

【００２０】外装樹脂１０は、高耐熱性、低ヤング率、
低水蒸気透過性の点から、フッ素樹脂、シリコーン樹脂
からなることが望ましく、特には、低水蒸気透過性とい
う点からシリコーン樹脂を用いることが望ましい。

【００２１】さらに本発明では、外装樹脂１０中に無機
イオン交換樹脂を含有することが望ましい。この無機イ
オン交換樹脂を含有せしめることにより、遊離したアル
カリ金属及び／又はアルカリ土類金属イオンを効果的に
捕捉し、負極の内部電極端への集中を抑制できる。無機
イオン交換樹脂は、アルカリ金属及び／又はアルカリ土
類金属の含有合量が８００ｐｐｍ以下の主成分１００重
量部に対して、無機イオン交換樹脂を１〜３０重量部添
加含有することが望ましい。この場合における主成分と
は、上記したフッ素樹脂、シリコーン樹脂である。

【００２２】無機イオン交換樹脂を、主成分１００重量
部に対して１〜３０重量部添加したのは、無機イオン交
換樹脂が１重量部より少ない場合には、遊離したアルカ
リ金属及び／又はアルカリ土類金属イオンを捕捉する量
が少ないからであり、３０重量部より多い場合には、無
機イオン交換樹脂の量が多いため、アルカリ金属及び／
又はアルカリ土類金属イオンを捕捉するには十分である
が、コストが高くなるからである。

【００２３】無機イオン交換樹脂は、遊離したアルカリ
金属及び／又はアルカリ土類金属イオンを効果的に捕捉
し、低コスト化を促進するためには、主成分１００重量
部に対して１〜１０重量部添加含有することが望まし
い。

【００２４】また、本発明では、圧電体１の側面の表面
粗さＲａが０．０１〜１μｍであることが望ましい。圧
電体１の側面の表面粗さＲａは、素子本体３の側面の砥
石による研磨時に、砥石の粒度を変化させることにより
変更できる。

【００２５】圧電体１の側面の表面粗さＲａを０．０１
〜１μｍとしたのは、表面粗さＲａが０．０１μｍより
小さい場合には、側面が平滑化されるため、圧電体側面
の電流伝達経路が短く、絶縁距離が短くなり、圧電体側
面の絶縁距離を確保することが困難となるからであり、
１μｍより大きい場合には、圧電体１自体の磁器強度が
低くなるため、素子駆動時に破壊の起点となる恐れがあ
るからである。圧電体側面の表面粗さＲａは、絶縁距離
の確保と、磁器強度の低下を防止するという点から、
０．０５〜０．４μｍとすることが望ましい。

【００２６】圧電体１は、例えば、チタン酸ジルコン酸
鉛Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ₃（以下ＰＺＴと略す）或い
は、チタン酸バリウムＢａＴｉＯ₃を主成分とする圧電
セラミック材料などが使用されるが、これらに限定され
るものではなく、圧電性を有するセラミックスであれば
何れでも良い。なお、この圧電体材料としては、圧電歪
み定数ｄ₃₃が高いものが望ましい。また、圧電体１の厚
み、つまり内部電極２間の距離は、小型化及び高い電界
を印加するという点から０．０５〜０．２５ｍｍである
ことが望ましい。

【００２７】内部電極２は、素子本体の全ての側面に露
出しているが、そのうち対向する２つの側面において、
内部電極２端部を含む圧電体１の側面に溝が形成され、
この溝内に絶縁体が充填されている。溝が形成されてい
ない内部電極２の他方の端面は、予め塗布しておいた熱
硬化性導電性接着剤に板状の導電性部材からなる外部電
極を密着させた状態で、熱硬化性導電性接着剤を加熱硬
化させることにより、外部電極４を内部電極２に交互に
接続されている。尚、内部電極と外部電極は電気的に接
続されるが、外部電極と素子本体３の間には空隙が形成
されており、この空隙に溝が開口し、開口している溝内
に絶縁体が充填されている。さらに、外部電極４端部に
はリード線１３が取り付けられている。

【００２８】また、素子本体３の積層方向の両端面に
は、素子本体３を機械的に保持し、発生する力を外部へ
伝達するための不活性体２１が積層一体化されている。
更に、素子本体３の外周面を本発明の外装樹脂１０によ
って被覆すると同時に、素子本体３に設けられた溝内、
及び、外部電極４と素子本体３の間の空隙中に外装樹脂
材料が充填され、内部電極２の端部に１層おきに絶縁体
が設けられ、これにより、内部電極間のショートを防止
し高信頼性の積層型圧電アクチュエータを提供できる。

【００２９】以上のように構成された積層型圧電素子
は、以下のプロセスにより製造される。先ず、チタン酸
ジルコン酸鉛Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ₃などの圧電体セラ
ミックスの仮焼粉末と、有機高分子からなるバインダー
と、可塑剤とを混合したスラリーを作製し、スリップキ
ャステイング法により、厚み５０〜２５０μｍのセラミ
ックグリーンシートを作製する。

【００３０】このグリーンシートの片面に内部電極２と
なる銀−パラジウムを主成分とする導電性ペーストをス
クリーン印刷法により１〜１０μｍの厚みに印刷する。
この導電性ペーストを乾燥させた後、導電性ペーストが
塗布された複数のグリーンシートを所定の枚数だけ積層
し、この積層体の積層方向の両端部に、導電性ペースト
が塗布されていないグリーンシートを積層する。

【００３１】次に、この積層体を５０〜２００℃で加熱
を行いながら加圧を行い、積層体を一体化する。一体化
された積層体は所定の大きさに切断された後、３００〜
８００℃で５〜４０時間、脱バインダが行われ、９００
〜１２００℃で２〜５時間で本焼成が行われ、素子本体
となる積層焼結体を得る。この積層焼結体の側面には、
全内部電極２の端部が露出している。

【００３２】その後、該積層焼結体の対向する側面にお
いて、内部電極２端部を含む圧電体１の側面に該２側面
において互い違いになるように、１層おきに深さ５０〜
５００μｍ、積層方向の幅５０〜３００μｍの溝を形成
する。溝が形成されていない内部電極の他方の端面は、
予め塗布しておいた熱硬化性導電性接着剤に板状の導電
性部材からなる外部電極を密着させた状態で、熱硬化性
導電性接着剤を加熱硬化させることにより、外部電極４
を形成することができる。このようにして、内部電極２
は交互に同一の外部電極４に接続される。

【００３３】この後、正極用外部電極、負極用外部電極
にリード線１３を接続し、真空脱泡によるディッピング
等の方法により、素子本体３の外周面及び外部電極４の
表面に、外装樹脂１０を被覆し、この後、０．１〜３ｋ
Ｖの分極電圧を印加し、素子全体を分極処理すること
で、最終的な積層型圧電素子を得る。

【００３４】なお、本発明の積層型圧電素子は、四角
柱、六角柱、円柱等、どのような柱体であっても構わな
いが、切断の容易性から四角柱状が望ましい。また、上
記例では、対向する側面に外部電極を形成した例につい
て説明したが、本発明では、例えば隣設する側面に外部
電極を形成しても良い。

【００３５】以上のように構成された積層型圧電素子で
は、外装樹脂１０のアルカリ金属及び／又はアルカリ土
類金属の含有合量が８００ｐｐｍ以下であるため、高
温、高湿の環境下において、高電界、高周波数で駆動さ
せた場合においても、遊離するアルカリ金属及び／又は
アルカリ土類金属イオン量を減少させ、該イオンの負極
の内部電極端への集中を抑制でき、異なる極性の内部電
極端間における絶縁距離の短縮を抑制して、ショートの
発生を抑制でき、高耐久性を備えた積層型圧電素子を提
供できる。

【００３６】図２は、本発明の噴射装置を示すもので、
図において符号３１は収納容器を示している。この収納
容器３１の一端には噴射孔３３が設けられ、また収納容
器３１内には、噴射孔３３を開閉することができるニー
ドルバルブ３５が収容されている。

【００３７】噴射孔３３には燃料通路３７が連通可能に
設けられ、この燃料通路３７は外部の燃料供給源に連結
され、燃料通路３７に常時一定の高圧で燃料が供給され
ている。従って、ニードルバルブ３５が噴射孔３３を開
放すると、燃料通路３７に供給されていた燃料が一定の
高圧で内燃機関の図示しない燃料室内に噴出されるよう
に形成されている。

【００３８】また、ニードルバルブ３５の上端部は直径
が大きくなっており、収納容器３１に形成されたシリン
ダ３９と摺動可能なピストン４１となっている。そし
て、収納容器３１内には、上記した圧電アクチュエータ
４３が収納されている。

【００３９】このような噴射装置では、圧電アクチュエ
ータ４３が電圧を印加されて伸長すると、ピストン４１
が押圧され、ニードルバルブ３５が噴射孔３３を閉塞
し、燃料の供給が停止される。また、電圧の印加が停止
されると圧電アクチュエータ４３が収縮し、皿バネ４５
がピストン４１を押し返し、噴射孔３３が燃料通路３７
と連通して燃料の噴射が行われるようになっている。

【００４０】

【実施例】実施例１チタン酸ジルコン酸鉛Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ₃を主成分
とする圧電体セラミックスの仮焼粉末と、有機高分子か
らなるバインダーと、可塑剤とを混合したスラリーを作
製し、スリップキャステイング法により、厚み１５０μ
ｍのセラミックグリーンシートを作製した。

【００４１】このグリーンシートの片面に内部電極２と
なる銀−パラジウムを主成分とする導電性ペーストをス
クリーン印刷法により５μｍの厚みに印刷し、導電性ペ
ーストを乾燥させた後、導電性ペーストが塗布された複
数のグリーンシートを１００枚積層し、この積層体の積
層方向の両端面に、導電性ペーストが塗布されていない
グリーンシートを１０枚積層した。

【００４２】次に、この積層体を１００℃で加熱を行い
ながら加圧を行い、積層体を一体し、１０ｍｍ×１０ｍ
ｍの大きさに切断した後、８００℃で１０時間の脱バイ
ンダを行い、１１３０℃で２時間の本焼成を行ない、素
子本体となる積層焼結体を得た。

【００４３】この後、素子本体を砥石で研磨して、圧電
体側面の表面粗さＲａを０．０５μｍとした。

【００４４】その後、該積層焼結体の対向する側面にお
いて、内部電極２端部を含む圧電体１の端部に該２側面
において互い違いになるように、１層おきに深さ１００
μｍ、積層方向の幅５０μｍの溝を形成した。内部電極
２の他方の端面は、予め塗布しておいた熱硬化性導電性
接着剤に厚み０．５ｍｍの銀箔を密着させた状態で２０
０℃に加熱し、硬化させることにより、外部電極４を形
成し、素子本体３を作製した。

【００４５】この後、正極用外部電極、負極用外部電極
にリード線１３を接続し、素子の外周面に真空脱泡によ
るデイッピング法により、アルカリ金属及びアルカリ土
類金属の合量が、表１に示すような含有量のシリコーン
樹脂を被覆し、１ｋＶの分極電圧を印加し、素子全体を
分極処理して、図１に示すような本発明の積層型圧電素
子を得た。

【００４６】得られた積層型圧電素子の耐久性を比較す
るために、雰囲気温度９０℃、湿度９０％で、２００Ｖ
の直流電界を１０００時間印加する耐久試験を行い、シ
ョート発生までの時間を計測した。この結果を表１に示
す。

【００４７】

【表１】

【００４８】この表１から、外装樹脂のアルカリ金属及
びアルカリ土類金属の含有合量が本発明の範囲外の試料
Ｎｏ．４では短時間でショートが発生した。この試料Ｎ
ｏ．４の積層型圧電素子の負極の内部電極端を走査型電
子顕微鏡にて観察したところ、アルカリ金属及びアルカ
リ土類金属が集中していることを確認した。一方、本発
明の範囲内の試料Ｎｏ．１〜３では１０００時間までシ
ョートが発生することは無かった。

【００４９】実施例２また、外装樹脂の耐久評価試験を行うために、外装樹脂
を１ｍｍの厚さで硬化させ、両面に電極を形成し、これ
らの電極間に２０ｋＶの電圧を１５００時間印加し、絶
縁抵抗が初期より１０％の値に低下するまでの時間を測
定した。アルカリ金属及びアルカリ土類金属の含有合量
による、絶縁抵抗１０％低下時間を表２に示す。

【００５０】

【表２】

【００５１】この表２から、外装樹脂のアルカリ金属及
び／又はアルカリ土類金属の含有合量が本発明の範囲外
の試料Ｎｏ．１０に比べ、本発明の範囲内の試料Ｎｏ．
５〜９では絶縁抵抗１０％低下時間が２倍以上も向上し
ている。この試料Ｎｏ．１０の負極の電極端を走査型電
子顕微鏡にて観察したところ、アルカリ金属及びアルカ
リ土類金属が集中していた。この表２より外装樹脂のア
ルカリ金属及び／又はアルカリ土類金属の含有合量は４
００ｐｐｍ以下が望ましく、さらには２００ｐｐｍ以下
が望ましいことが判る。

【００５２】実施例３次に、外装樹脂のアルカリ金属及びアルカリ土類金属の
含有合量を８００ｐｐｍとし、圧電体側面の表面粗さＲ
ａを、素子本体の側面を研磨する砥石の粒度を変化さ
せ、表３に示す値に変更する以外は、上記実施例１と同
様にして積層型圧電アクチュエータを作製した。

【００５３】得られた積層型圧電アクチュエータの耐久
性を比較するために、雰囲気温度９０℃、湿度９０％
で、２００Ｖの直流電界を１５００時間印加する耐久試
験を行った。この結果を表３に示す。

【００５４】

【表３】

【００５５】この表３から、表面粗さＲａを０．０１〜
１μｍとした場合には、耐久試験後も１×１０⁸Ω以上
の高い絶縁抵抗が得られ、クラックの発生もなく、外見
も異常なかったが、圧電体側面の表面粗さＲａが０．０
１μｍの場合には０．１μｍの場合よりも絶縁抵抗が少
々低下し、絶縁抵抗の低下傾向が見られた。

【００５６】実施例４アルカリ金属及びアルカリ土類金属の含有合量が８００
ｐｐｍのシリコーン樹脂からなる外装樹脂を用い、この
シリコーン樹脂１００重量部に対して、表１に示す量だ
け無機イオン交換樹脂を添加する以外は、上記実施例２
と同様にして外装樹脂の耐久評価試験を行った。その結
果を表４に記載した。

【００５７】

【表４】

【００５８】この表４から、無機イオン交換樹脂を添加
することにより、絶縁抵抗１０％低下時間を延長できる
ことが判る。

【００５９】

【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の積層型圧電
素子では、素子本体の外周面に、アルカリ金属及び／又
はアルカリ土類金属を合量で８００ｐｐｍ以下の外装樹
脂を被覆したため、高温、高湿の環境下において、高電
界、高周波数で駆動させた場合においても、遊離するア
ルカリ金属及び／又はアルカリ土類金属イオン量を減少
させることができ、該イオンの負極の内部電極端への集
合を抑制でき、負極と正極の内部電極端の絶縁距離の短
縮を抑制でき、ショートを抑制し、高耐久性を備えた積
層型圧電素子を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の積層型圧電素子を示すもので、（ａ）
は斜視図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線に沿った縦断面図
である。

【図２】本発明の噴射装置を示す説明図である。

【符号の説明】

１・・・圧電体２・・・内部電極３・・・素子本体１０・・・外装樹脂３１・・・収納容器３３・・・噴射孔３５・・・バルブ４３・・・圧電アクチュエータ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数の圧電体と複数の内部電極とを交互に
積層してなり、前記内部電極が交互に接続された素子本
体の外周面を、アルカリ金属及び／又はアルカリ土類金
属の含有合量が８００ｐｐｍ以下の外装樹脂で被覆して
なることを特徴とする積層型圧電素子。
【請求項２】圧電体側面の表面粗さＲａが０．０１〜１
μｍであることを特徴とする請求項１記載の積層型圧電
素子。
【請求項３】外装樹脂は無機イオン交換樹脂を含有する
ことを特徴とする請求項１又は２記載の積層型圧電素
子。
【請求項４】噴射孔を有する収納容器と、該収納容器内
に収容された請求項１乃至３のうちいずれかに記載の積
層型圧電素子と、該積層型圧電素子の駆動により前記噴
射孔から液体を噴出させるバルブとを具備してなること
を特徴とする噴射装置。