JP2002287058A - 光ビーム方向調整方法、光源ユニット及びマルチビーム走査装置 - Google Patents

光ビーム方向調整方法、光源ユニット及びマルチビーム走査装置

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JP2002287058A
JP2002287058A JP2001090284A JP2001090284A JP2002287058A JP 2002287058 A JP2002287058 A JP 2002287058A JP 2001090284 A JP2001090284 A JP 2001090284A JP 2001090284 A JP2001090284 A JP 2001090284A JP 2002287058 A JP2002287058 A JP 2002287058A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】容易且つ確実に光ビームの方向を調整できる光
ビーム方向調整方法を実現する。 【解決手段】微小な発光部を有する光源素子1から放射
される光ビームの方向を調整する方法であって、少なく
とも一部に球面3B11を有する保持手段3Bにより、
光源素子1を固定的に保持し、保持手段3Bの球面3B
11に係合する円状係合縁部4B11を有する受け部材
4Bに、球面3B11を係合させ、この係合関係を保ち
つつ、保持手段3Bを回転させることにより放射光ビー
ムの方向を調整する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、光ビーム方向調
整方法、光源ユニット及びマルチビーム走査装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】近来、光プリンタや光製版装置、光描画
装置等の画像形成装置に用いられる光走査装置におい
て、一度に複数の走査線を走査する「マルチビーム走査
方式」が提案され、実用化されつつある。
【0003】このようなマルチビーム走査方式には、各
光スポットが隣接する走査線を走査する「隣接走査方
式」と、副走査方向に隣接する光スポットが、1以上の
走査線を飛び越して走査する「飛び越し走査方式」とが
あるが、何れの走査方式においても、良好なマルチビー
ム走査を行うには、「走査線ピッチ」即ち、隣接する光
スポットの副走査方向の間隔が適正に設定されねばなら
ない。
【0004】走査線ピッチの調整を行う方法としては、
光源から放射される光ビームの方向を調整するのが最も
直接的で確実である。
【0005】光ビームの方向の調整はまた、マルチビー
ム走査に限らず、通常のシングルビーム走査方式の場合
にも必要であるし、光走査装置に限らず、種々の光学装
置においても重要である。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、容易且つ
確実に光ビームの方向を調整できる光ビーム方向調整方
法の実現を課題とする。この発明はまた、上記光ビーム
方向調整方法を実施できる光源ユニットおよびこの光源
ユニットを用いるマルチビーム走査装置の実現を課題と
する。
【0007】
【課題を解決するための手段】この発明の光ビーム方向
調整方法は「微小な発光部を有する光源素子から放射さ
れる光ビームの方向を調整する方法」である。請求項1
記載の光ビーム方向調整方法は以下の如き特徴を有す
る。即ち、「少なくとも一部に円筒面を有する保持手
段」により、光源素子を「放射光ビームの方向が円筒面
の軸に非平行となる」ようにして固定的に保持する。
【0008】保持手段の円筒面の母線方向に平行な1対
の係合縁部を有する受け部材に、保持手段の円筒面を係
合させ、この係合関係を保ちつつ、保持手段を円筒面の
軸の回りに回転させることにより放射光ビームの方向を
調整する。
【0009】「受け部材に、保持手段の円筒面を係合さ
せる」とは、保持手段の円筒面を、受け部材の1対の係
合縁部の各々に、係合縁部の長手方向に沿って密着させ
ることを意味する。従って、係合関係を保って保持手段
を円筒面の軸の周りに回転させても、上記軸は空間的に
同位置に留まる。
【0010】請求項2記載の光ビーム方向調整方法は以
下の如き特徴を有する。即ち、「少なくとも一部に球面
を有する保持手段」により、光源素子を固定的に保持す
る。
【0011】保持手段の球面に係合する円状係合縁部を
有する受け部材に、保持手段の球面を係合させ、この係
合関係を保ちつつ、保持手段を回転させることにより放
射光ビームの方向を調整する。
【0012】受け部材の「円状係合縁部」は、円状の係
合縁部のみならず、円弧状の係合縁部をも含み、円弧状
の係合縁部の場合は、同一の円の部分を切り欠いた複数
の円弧状部分からなっていてもよい。
【0013】「受け部材に、保持手段の球面を係合させ
る」とは、保持手段の球面を、受け部材の円状係合部
に、縁部に沿って密着させることを意味する。従って、
係合関係を保って保持手段を回転させても、球面の中心
(球心)の位置は空間的に不変である。
【0014】この発明の光源ユニットは「微小な発光部
を有する光源素子から放射される光ビームの方向を調整
可能な光源ユニット」である。
【0015】請求項3記載の光源ユニットは、光源素子
と、保持手段と、受け部材とを有する。「光源素子」
は、微小な発光部を有し、光ビームを放射する。「保持
手段」は、少なくとも一部に円筒面を有し、光源素子
を、放射光ビームの方向が円筒面の軸に非平行となるよ
うにして、固定的に保持する。
【0016】「受け部材」は、保持手段の円筒面の母線
方向に平行な1対の係合縁部を有し、この係合縁部に保
持手段の円筒面を係合させ、且つ、この係合関係を保ち
つつ、保持手段を「円筒面の軸の回りに回転可能な状
態」で受ける。
【0017】この請求項3記載の光源ユニットにおい
て、「光源素子から放射される光ビームをカップリング
するカップリングレンズ」を保持手段に保持させること
ができる(請求項4)。また、請求項3または4記載の
光源ユニットにおいて「光源素子の微小な発光部を実質
的に、保持手段の円筒面の軸上に位置させ、放射光ビー
ムの主光線が上記円筒面の軸に直交するようにすること
ができる(請求項5)。
【0018】請求項6記載の光源ユニットは、光源素子
と、保持手段と、受け部材とを有する。「光源素子」
は、微小な発光部を有し、光ビームを放射する。「保持
手段」は、少なくとも一部に球面を有し、光源素子を固
定的に保持する手段である。
【0019】「受け部材」は、保持手段の球面に係合す
る円状係合縁部を有し、保持手段の球面を係合させ、且
つ、この係合関係を保ちつつ、保持手段を「2以上の方
向に回転可能な状態、即ち、球心を通る任意の2以上の
軸の回りに回転可能な状態」で受ける。
【0020】この請求項6記載の光源ユニットにおいて
「光源素子から放射される光ビームをカップリングする
カップリングレンズ」を保持手段に保持させることがで
きる(請求項7)。また、請求項6または7記載の光源
ユニットにおいて「光源素子の微小な発光部が実質的
に、保持手段の球心に位置する」ようにすることができ
る(請求項8)。
【0021】上記カップリングレンズの作用は、カップ
リング後の光ビームを、弱い発散性あるいは弱い集束性
とする作用でも良いし、平行ビームとする作用でも良
い。
【0022】上記請求項3〜8の任意の1に記載の光源
ユニットにおいて、光源素子としては「半導体レーザ」
が好適である(請求項9)。この請求項9記載の光源ユ
ニットの場合、光源素子から放射される光ビームをカッ
プリングするカップリングレンズを有することができ、
カップリングレンズの作用をコリメート作用とすること
ができる(請求項10)。
【0023】この発明のマルチビーム走査装置は「複数
の光源からの複数の光ビームを偏向させ、共通の走査結
像光学系により被走査面上に導光して、副走査方向に分
離した複数の光スポット(これら複数の光スポットは、
主走査方向には互いに分離していても良いし、分離せず
に副走査方向に同一線上に配列していても良い)を形成
し、これら複数の光スポットにより複数走査線を走査す
るマルチビーム走査装置」であって、光ビームを放射す
る光源ユニットを、複数ユニット有し、これら複数の光
源ユニットの1以上が請求項3〜10の任意の1に記載
の光源ユニットであることを特徴とする(請求項1
1)。
【0024】被走査面は、実体的には、光導電性の感光
体等の感光媒体の感光面である。
【0025】上記請求項11記載のマルチビーム走査装
置は「各光源ユニットから放射された光ビームを、マル
チビーム用の光ビーム群としてビーム合成するビーム合
成手段」を有することができる(請求項12)。
【0026】勿論、上記請求項3〜10の任意の1に記
載の光源ユニットは、マルチビーム走査装置以外に、シ
ングルビーム走査装置の光源用にも用いることもできる
し、光走査装置以外の光学装置の光源用に用いることも
できる。
【0027】
【発明の実施の形態】図1(a)において、符号1は光
源素子としての半導体レーザ、符号2はカップリングレ
ンズ、符号符号3Aは保持手段、符号4Aは受け部材、
符号5Aは固定部材、符号6Aは固定手段を示してい
る。
【0028】保持手段3Aの符号3A11で示す部分は
「円筒面」となっており、半導体レーザ1とカップリン
グレンズ2とは、保持手段の一部をなす適宜の固定手段
6Aにより保持手段3Aに固定的に保持されている。ま
た、保持手段3Aの破線で示す部分は「光ビーム射出用
の開口部3A0」となっている。
【0029】この例において、半導体レーザ1の微小な
発光部は、実質的に円筒面3A11の軸(図面に直交す
る方向を向いている)上に配置され、放射される発散性
の放射光ビームの方向(主光線の方向)が上記軸に直交
する方向を向くように配置態位を設定されている。
【0030】また、カップリングレンズ2は、半導体レ
ーザ1からの放射光ビームを実質的な平行光ビームに変
換する「コリメートレンズ」である。受け部材4Aは、
図1(b)に示すように矩形形状の開口孔を有し、この
開口孔の保持手段側の縁部のうち、図1(b)で上下の
縁部4A11が、保持手段3Aの円筒面3Aの母線方向
(図1(a)で図面に直交する方向)に平行な1対の係
合縁部をなしている。そして、これら1対の係合縁部4
A11は、図1(a)に示すように保持手段3Aの円筒
面に(円筒面の母線方向にわたって)係合(接触)して
いるが、保持手段3Aは、上記係合関係を保ちつつ(即
ち、円筒面3A11を常に係合縁部4A11に接触させ
た状態で)、円筒面3A11の軸の回りに、任意の向き
(時計回り・反時計回り)に回転可能である。
【0031】即ち、図1に実施の形態を示す光源ユニッ
トは、微小な発光部を有する光源素子1から放射される
光ビームの方向を調整可能な光源ユニットであって、微
小な発光部を有する光源素子1と、少なくとも一部に円
筒面3A11を有し、光源素子1を、放射光ビームの方
向が円筒面3A11の軸に非平行となるようにして、固
定的に保持する保持手段3Aと、保持手段の円筒面3A
11の母線方向に平行な1対の係合縁部4A11を有
し、この係合縁部4A11に円筒面3A11を係合さ
せ、且つ、この係合関係を保ちつつ、保持手段3Aを、
円筒面3A11の軸の回りに回転可能な状態で受ける受
け部材4Aとを有する(請求項3)。
【0032】また、光源素子1から放射される光ビーム
をカップリングするカップリングレンズ2が保持手段3
Aに保持され(請求項4)、光源素子1の微小な発光部
が実質的に、保持手段3Aの円筒面の軸上に位置し、放
射光ビームの主光線が円筒面3Aの軸に直交する(請求
項5)。
【0033】また、光源素子1は半導体レーザであり
(請求項9)、カップリングレンズ2の作用がコリメー
ト作用である(請求項10)。
【0034】図1の実施の形態において、半導体レーザ
1とカップリングレンズ2とは保持手段3Aに固定され
ているので、半導体レーザ1から放射され、カップリン
グレンズ2によりコリメートされた平行光ビームは、光
ビーム射出用の開口部3A0から射出して、受け部材4
Aの開口部を通過する。
【0035】保持手段3Aを、円筒面3A11の受け部
材4Aの1対の係合縁部4A11に係合させつつ、円筒
面3A11の軸の周りに回転調整することにより、保持
手段3Aから射出する光ビームの方向を、図1(a)の
図面内で調整することができる。このとき、半導体レー
ザの微小な発光部は円筒面3A11の軸上に位置するの
で、光ビームの方向を「軸を中心として回転」するよう
に調整することができる。図1(b)に矢印で示す方向
は、この調整による光ビームの方向変化が起こる向きを
示している。
【0036】即ち、図1の光源ユニットでは、微小な発
光部を有する光源素子1から放射される光ビームの方向
を調整する方法であって、少なくとも一部に円筒面3A
11を有する保持手段3Aにより、光源素子1を、放射
光ビームの方向が円筒面の軸に非平行となるようにし
て、固定的に保持し、保持手段3Aの円筒面3A11の
母線方向に平行な1対の係合縁部4A11を有する受け
部材4Aに、円筒面3A11を係合させ、この係合関係
を保ちつつ、保持手段3Aを円筒面3A11の軸の回り
に回転させることにより放射光ビームの方向を調整する
光ビーム方向調整方法(請求項1)が実施されることに
なる。
【0037】光ビームの方向調整を行った後は、適宜の
固定部材5Aにより、保持手段3Aと受け部材4Aとの
位置関係を固定する。上の実施の形態では、半導体レー
ザ1の微小な発光部を円筒面3A11の軸位置に位置さ
せたが、発光部を、上記軸位置から外して位置させるこ
ともできる。
【0038】例えば、カップリングレンズ2の光軸が円
筒面3A11の軸と直行するようにし、微小な発光部
が、上記軸から外れた位置で、上記光軸上に位置するよ
うにしても良い。この場合、カップリングレンズ2の作
用をコリメート作用とすれば、図1の実施の形態と同様
のビーム方向調整を行うことができる。
【0039】カップリングレンズ2のカップリング作用
が、コリメート作用でない場合には、微小な発光部が円
筒面3A11の軸位置にあるようにすると、発光部の位
置を不変に保ちつつ、光ビームの方向のみを調整するこ
とができる。
【0040】また、上の説明では、半導体レーザ1から
放射される光ビームが、円筒面3A11の軸に直行する
場合を説明したが、半導体レーザ1から放射される光ビ
ームの方向が、図1(a)の図面に直交する方向に成分
を有するようにしてもよい。この場合、光ビームは図1
(a)の図面に直交する方向に成分を持って射出するこ
とになるが、例えば、微小な発光部が円筒面3A11の
軸上に位置するようにすると、保持手段3Aの回転調整
により、光ビームの方向を、円筒面3A11の軸の回り
に歳差運動のように変化させることができる。
【0041】図2(a)において、符号1は光源素子と
しての半導体レーザ、符号2はカップリングレンズ、符
号符号3Bは保持手段、符号4Bは受け部材、符号5B
は固定部材、符号6Bは固定手段を示している。
【0042】保持手段3Bの符号3B11で示す部分は
「球面」となっており、半導体レーザ1とカップリング
レンズ2とは、保持手段の一部をなす適宜の固定手段6
Bにより保持手段3Bに固定的に保持されている。ま
た、保持手段3Bの破線で示す部分は「光ビーム射出用
の開口部3B0」となっている。
【0043】この例において、半導体レーザ1の微小な
発光部は、実質的に球面3B11の中心(球心)に配置
されている。
【0044】また、カップリングレンズ2は、半導体レ
ーザ1からの放射光ビームを実質的な平行光ビームに変
換する「コリメートレンズ」である。受け部材4Bは、
図2(b)に示すように円形状の開口孔を有し、この開
口孔の保持手段側の縁部4B11は「円状係合縁部」を
なしている。そして、この円状係合縁部4B11は、図
2(a)に示すように保持手段3Bの球面に係合(密
着)しているが、保持手段3Bは、この係合関係を保ち
つつ(即ち、球面3B11を常に円状係合縁部4B11
に接触させた状態で)、自由に回転可能である。
【0045】即ち、図2に実施の形態を示す光源ユニッ
トは、微小な発光部を有する光源素子1から放射される
光ビームの方向を調整可能な光源ユニットであって、微
小な発光部を有する光源素子1と、少なくとも一部に球
面3B11を有し、光源素子1を固定的に保持する保持
手段3Bと、この保持手段3Bの球面に係合する円状係
合縁部4B11を有し、球面3B11を係合させ、且
つ、この係合関係を保ちつつ、保持手段3Bを、2以上
の方向に回転可能な状態で受ける受け部材4Bとを有す
る光源ユニット(請求項6)である。
【0046】また、光源素子1から放射される光ビーム
をカップリングするカップリングレンズ2が保持手段3
Bに保持され(請求項7)、光源素子1の微小な発光部
が実質的に、保持手段3Bの球心に位置し(請求項
8)、光源素子1が半導体レーザであって(請求項
9)、光源素子1から放射される光ビームをカップリン
グするカップリングレンズ2の作用がコリメート作用で
ある(請求項10)。
【0047】図2の実施の形態において、半導体レーザ
1とカップリングレンズ2とは保持手段3Bに固定され
ているので、半導体レーザ1から放射され、カップリン
グレンズ2によりコリメートされた平行光ビームは、光
ビーム射出用の開口部3B0から射出して、受け部材4
Bの開口部を通過する。
【0048】保持手段3Bを、球面3B11の受け部材
4Bの円状係合縁部4B11に係合させつつ、球面3B
11の中心の周りに回転調整することにより、保持手段
3Bから射出する光ビームの方向を、図2(b)に示す
ように、縦方向にも横方向にも調整できる。このとき、
半導体レーザ1の微小な発光部は球面3B11の球心に
位置するので、光ビームの方向を「球心を中心として回
転」するように調整することができる。
【0049】即ち、図2の光源ユニットでは、微小な発
光部を有する光源素子から放射される光ビームの方向を
調整する方法であって、少なくとも一部に球面3B11
を有する保持手段3Bにより、光源素子1を固定的に保
持し、保持手段3Bの球面3B11に係合する円状係合
縁部4B11を有する受け部材4Bに、球面3B11を
係合させ、この係合関係を保ちつつ、保持手段3Bを回
転させることにより放射光ビームの方向を調整する光ビ
ーム方向調整方法(請求項2)が実施される。
【0050】光ビームの方向調整を行った後は、適宜の
固定部材5Bにより、保持手段3Bと受け部材4Bとの
位置関係を固定する。上の実施の形態では、半導体レー
ザ1の微小な発光部を球面3B11の球心に位置させた
が、発光部を、上記球心から外して位置させることもで
きる。例えば、カップリングレンズ2の光軸が球心を通
るようにし、微小な発光部が、球心から外れた位置で上
記光軸上に位置するようにしても良い。
【0051】この場合も、カップリングレンズ2の作用
をコリメート作用とすれば、図2の実施の形態と同様の
ビーム方向調整を行うことができる。
【0052】カップリングレンズ2のカップリング作用
が、コリメート作用でない場合には、微小な発光部が球
面3A11の球心位置にあるようにすると、発光部の位
置を不変に保ちつつ、光ビームの方向のみを調整するこ
とができる。
【0053】また、上の説明では、半導体レーザ1から
放射される光ビームが、受け部材4Bの開口部から射出
するようにした場合を説明したが、半導体レーザ1から
放射される光ビームの方向が、図2(a)の図面に直交
する方向に成分を有するようにしてもよい。即ち、保持
手段が球面を有する場合、受け部材と球面との係合位置
は、光ビームの射出方向に対して側方であってもよい。
【0054】図3は、2本の光ビームの合成方法の1例
を示している。光源ユニット7は半導体レーザを光源と
するものである。放射される光ビームは、ビーム合成プ
リズム9に入射する。ビーム合成プリズム9は、P偏光
を透過させ、S偏光を反射する偏光透過膜9Aを有して
いる。光源ユニット7の光源である半導体レーザは「光
源ユニット7から放射される光ビームが、偏光透過膜9
Aに対してP偏光となる」ように態位を設定されてい
る。
【0055】従って、光源ユニット7から放射される光
ビームは偏光透過膜9Aを透過してビーム合成プリズム
9から直進的に射出する。
【0056】光源ユニット8も半導体レーザを光源とす
るものであり、光源ユニット7と同様、放射される光ビ
ームが偏光透過膜9Aに対してP偏光となるように半導
体レーザの態位を設定されている。
【0057】光源ユニット8から放射された光ビーム
は、1/2波長板9Cを透過して、偏光面を90度旋回
されて偏光透過膜9Aに対してS偏光状態となり、プリ
ズム面9Bで反射され、さらに偏光透過膜9Aで反射さ
れてビーム合成プリズム9から射出する。
【0058】図3の如き方法でビーム合成された光ビー
ムを、マルチビーム走査において用いることができる。
この場合、図3の面内において、上下方向が「副走査方
向」に対応するものとすると、光源ユニット7、8とし
て、図1に即して説明した如きものを用いれば、ビーム
合成された各光ビームの方向を副走査方向に調整するこ
とができ、「被走査面上の光スポットの副走査方向の間
隔、即ち、走査線ピッチ」を調整することができる。
【0059】また、光源ユニット7、8の一方もしくは
双方に、図2に即して説明した如きものを用いると、被
走査面上における2つの光スポットの位置関係を、主走
査方向および副走査方向に調整することができる。
【0060】マルチビーム走査においては、複数の光ビ
ームを合成せず、主走査方向に互いに角をなすようにし
て光偏向器へ入射させるようにする方式のものも知られ
ているが、上に説明した図1や図2の光源ユニットは、
このような方式のマルチビームの光源ユニットとしても
勿論使用することができる。
【0061】図4は、マルチビーム走査装置を説明する
ための図である。図4において、符号10で示すマルチ
ビーム走査用光源装置は、複数の光源から放射される光
束を「マルチビーム走査用にビーム合成」して光ビーム
群(図の繁雑を避けるため、1本の光ビームのみを示し
ている)として射出させる。光ビーム群は「光偏向器」
である回転多面鏡12により偏向され、「走査結像光学
系」を構成する2枚のレンズ14、16により被走査面
18へ導光され、被走査面18上に、副走査方向(図面
に直交する方向)へ互いに分離した複数の光スポットを
形成する。これら複数の光スポットにより被走査面18
が複数走査線同時に走査される。
【0062】マルチビーム走査用光源装置10は、図3
に示した如きものであり、その光源ユニットとして、図
1または図2に即して説明した如きものが用いられる。
【0063】即ち、図4のマルチビーム走査装置は、複
数の光源からの複数の光ビームを偏向させ、共通の走査
結像光学系により被走査面18上に導光して、副走査方
向に分離した複数の光スポットを形成し、これら複数の
光スポットにより複数走査線を走査するマルチビーム走
査装置であって、光ビームを放射する光源ユニットを、
複数ユニット有し、これら複数の光源ユニットの1以上
が請求項3〜10の任意の1に記載の光源ユニットであ
るもの(請求項11)である。
【0064】また、各光源ユニットから放射された光ビ
ームを、マルチビーム用の光ビーム群としてビーム合成
するビーム合成手段9を有する(請求項12)。
【0065】
【発明の効果】以上に説明したように、この発明によれ
ば、新規な光ビーム方向調整方法、光源ユニット及びマ
ルチビーム走査装置を実現できる。この発明の光源ユニ
ットを用いる光ビーム方向調整方法は、上記の如く、放
射される光ビームの方向を容易且つ確実に調整すること
ができ、従って、この光源ユニットを用いるマルチビー
ム走査装置では、被走査面上における光スポット相互の
位置関係、特に走査線ピッチを容易且つ確実に調整する
ことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】光源ユニットの実施の1例を説明するための図
である。
【図2】光源ユニットの実施の別例を説明するための図
である。
【図3】光ビームのビーム合成の1例を説明するための
図である。
【図4】マルチビーム走査装置の1例を要部のみ略示す
る図である。
【符号の説明】
1 半導体レーザ(光源) 2 カップリングレンズ 3A、3B 保持手段 4A、4B 受け部材 3A11 円筒面 3B11 球面 4A11 1対の係合縁部 4B11 円状係合縁部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2C362 AA03 AA43 AA45 AA48 BA57 BA61 BA84 BA90 DA03 2H043 AA02 AB04 AB06 AB11 AB14 AB37 2H045 AA01 BA22 BA33 CB65 DA02 5C051 AA02 CA07 DA02 DB02 DB22 DB24 DB30 DB35 DC02 DC07 DE21 5C072 AA03 BA02 DA10 DA21 HA02 HA06 HA10 HA13 HB20 XA05

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】微小な発光部を有する光源素子から放射さ
    れる光ビームの方向を調整する方法であって、 少なくとも一部に円筒面を有する保持手段により、光源
    素子を、放射光ビームの方向が上記円筒面の軸に非平行
    となるようにして、固定的に保持し、 上記保持手段の円筒面の母線方向に平行な1対の係合縁
    部を有する受け部材に、上記円筒面を係合させ、この係
    合関係を保ちつつ、上記保持手段を上記円筒面の軸の回
    りに回転させることにより上記放射光ビームの方向を調
    整することを特徴とする光ビーム方向調整方法。
  2. 【請求項2】微小な発光部を有する光源素子から放射さ
    れる光ビームの方向を調整する方法であって、 少なくとも一部に球面を有する保持手段により、光源素
    子を固定的に保持し、 上記保持手段の球面に係合する円状係合縁部を有する受
    け部材に、上記球面を係合させ、この係合関係を保ちつ
    つ、保持手段を回転させることにより上記放射光ビーム
    の方向を調整することを特徴とする光ビーム方向調整方
    法。
  3. 【請求項3】微小な発光部を有する光源素子から放射さ
    れる光ビームの方向を調整可能な光源ユニットであっ
    て、 微小な発光部を有する光源素子と、 少なくとも一部に円筒面を有し、上記光源素子を、放射
    光ビームの方向が上記円筒面の軸に非平行となるように
    して、固定的に保持する保持手段と、 上記保持手段の円筒面の母線方向に平行な1対の係合縁
    部を有し、この係合縁部に上記円筒面を係合させ、且
    つ、この係合関係を保ちつつ、上記保持手段を、上記円
    筒面の軸の回りに回転可能な状態で受ける受け部材とを
    有することを特徴とする光源ユニット。
  4. 【請求項4】請求項3記載の光源ユニットにおいて、 光源素子から放射される光ビームをカップリングするカ
    ップリングレンズが保持手段に保持されることを特徴と
    する光源ユニット。
  5. 【請求項5】請求項3または4記載の光源ユニットにお
    いて、 光源素子の微小な発光部が実質的に、保持手段の円筒面
    の軸上に位置し、放射光ビームの主光線が上記円筒面の
    軸に直交することを特徴とする光源ユニット。
  6. 【請求項6】微小な発光部を有する光源素子から放射さ
    れる光ビームの方向を調整可能な光源ユニットであっ
    て、 微小な発光部を有する光源素子と、 少なくとも一部に球面を有し、光源素子を固定的に保持
    する保持手段と、 この保持手段の球面に係合する円状係合縁部を有し、上
    記球面を係合させ、且つ、この係合関係を保ちつつ、保
    持手段を、2以上の方向に回転可能な状態で受ける受け
    部材とを有することを特徴とする光源ユニット。
  7. 【請求項7】請求項6記載の光源ユニットにおいて、 光源素子から放射される光ビームをカップリングするカ
    ップリングレンズが保持手段に保持されることを特徴と
    する光源ユニット。
  8. 【請求項8】請求項6または7記載の光源ユニットにお
    いて、 光源素子の微小な発光部が実質的に、保持手段の球心に
    位置することを特徴とする光源ユニット。
  9. 【請求項9】請求項3〜8の任意の1に記載の光源ユニ
    ットにおいて、 光源素子が半導体レーザであることを特徴とする光源ユ
    ニット。
  10. 【請求項10】請求項9記載の光源ユニットにおいて、 光源素子から放射される光ビームをカップリングするカ
    ップリングレンズを有し、このカップリングレンズの作
    用がコリメート作用であることを特徴とする光源ユニッ
    ト。
  11. 【請求項11】複数の光源からの複数の光ビームを偏向
    させ、共通の走査結像光学系により被走査面上に導光し
    て、副走査方向に分離した複数の光スポットを形成し、
    これら複数の光スポットにより複数走査線を走査するマ
    ルチビーム走査装置において、 光ビームを放射する光源ユニットを複数ユニット有し、
    これら複数の光源ユニットの1以上が請求項3〜10の
    任意の1に記載の光源ユニットであることを特徴とする
    マルチビーム走査装置。
  12. 【請求項12】請求項11記載のマルチビーム走査装置
    において、 各光源ユニットから放射された光ビームを、マルチビー
    ム用の光ビーム群としてビーム合成するビーム合成手段
    を有することを特徴とするマルチビーム走査装置。
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