JP2002285325A - 薄膜形成用のターゲット組立体、蒸着源、薄膜形成装置及び薄膜形成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ターゲット材料の局所消耗の低減を図り、タ
ーゲット材料の長寿命化が得られる薄膜形成用のターゲ
ット組立体を提供する。 【解決手段】 ターゲット材料１の外周面から発生させ
たプラズマ原子を基板上に照射して、該基板上に薄膜を
形成する薄膜形成装置に用いるターゲット組立体１０に
おいて、ターゲット材料１の基板と対向する側の端面に
絶縁部材２を介してトリガー電極３を積み重ねて配置す
るとともに、前記ターゲット材料１の他端部にはターゲ
ットベース電極５を一体的に固定して形成したことを特
徴とするものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、薄膜形成等の蒸着
時に用いる薄膜成形用のターゲット組立体、蒸着源、薄
膜形成装置及び薄膜形成方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】固体のターゲット材料から、プラズマを
発生させて基板上に蒸着による薄膜を形成する薄膜形成
装置及び薄膜形成方法としては、例えば特許第２８５７
７４３号の発明がある。この発明は、図８に示すよう
に、円筒状の長尺な導電性物質からなるターゲット材料
４３の一端側に、このターゲット材料４３と同じ断面を
有するカソード電極４０を一体的に接続する。そして、
このカソード電極４０及びターゲット材料４３の一端側
の外周側面を覆い、かつ、前記ターゲット材料４３の他
端側を露出させて円筒状の絶縁部材４２を配置し、この
露出した側の絶縁部材４２の外周に円筒状のトリガー電
極４１を設置する。このようにして、ターゲット組立体
５０を作成する。

【０００３】尚、この図８では、絶縁部材４２の端面４
２ａと、トリガー電極４１の端面４１ａとは一致させて
いる。よって、前記ターゲット材料４３はトリガー電極
４１を設置した設置部よりも先端部分が露出部４３ａと
して露出されており、この露出部４３ａはプラズマを発
生させる際のアーク放電を起こさせる消耗部として使用
される。

【０００４】更に、ターゲット材料４３、絶縁部材４２
及びトリガー電極４１の周囲には、空間を介して、これ
らを取り囲むようにした円筒状のアーク電極４４（アノ
ード電極ともいう）が設置されている。アーク電極４４
には、ターゲット材料４３の一端側に接続したカソード
電極４０との間でアーク電源５１により設定された正の
電圧が定常的にかかっている。その状態において、トリ
ガー電極４１を正の電圧とし、トリガー電極４１とター
ゲット４３材料の一端側との間にトリガー電源５２によ
り瞬間的に高電圧をかけることで、トリガー電極４１と
ターゲット材料４３との間にトリガー放電を起こさせ
る。このトリガー放電は、絶縁部材４２の端面４２ａに
沿った沿面放電として起こり、あるいはターゲット材料
４３の露出部４３ａのうちで前記絶縁部材４２の端面４
２ａに近い部位（基端部側）と絶縁部材４２の端面４２
ａとの間で起こり、このトリガー放電によりターゲット
材料４３の外周側面にアークスポット４５の発生ととも
にプラズマが発生し、この発生したアークスポット４５
（カソードスポットあるいは局所溶融エリアともいう）
をきっかけとして、ターゲット材料４３のアークスポッ
ト４５とアーク電極４４との間にアーク放電を起こさ
せ、そして、アークスポット４５の成長と移動とによっ
て連続的にアーク放電を起こさせてターゲット材料４３
の外側側面からアークスポット４５の発生とともにプラ
ズマを発生させる。

【０００５】ターゲット材料４３の前記基端部側の外周
側面で発生するアークスポット４５からは、プラズマ原
子及び電気的に中性な液滴等からなる物質が様々な方向
に放出されて飛散するが、ターゲット材料４３に流れる
電流により発生したターゲット材料４３周囲の磁場によ
り、前記プラズマ原子のみが飛散方向をターゲット材料
４３の軸線方向へ曲げられ、ターゲット材料４３の軸線
の先方方向に設置された基板４８には、前記曲げられた
プラズマ原子のみが照射され、そして、この基板４８上
に堆積されて薄膜が形成される。一方、電気的に中性な
液滴は重く、磁場の影響をほとんど受けないのでアーク
電極４４の内周面に付着する。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】前述の従来例では、ト
リガー放電により、絶縁部材４２の端面４２ａに近いタ
ーゲット材料４３の露出部４３ａの基端部側外周側面に
アークスポット４５を発生させ、このアークスポット４
５の成長と移動によってアーク放電を起こさせるので、
ターゲット材料４３の基端部側の局所消耗が著しい。具
体的には、上述したようにアーク放電時にターゲット材
料４３の外周側面に発生するアークスポット４５は、タ
ーゲット材料４３の軸線方向の中で最もアーク電源５１
に接続したカソード電極４０側に近い底面方向、特にタ
ーゲット材料４３が絶縁部材４２から露出する端部（絶
縁部材４２の端面４２ａとの接触部）の外周側面に集中
する。

【０００７】一方、トリガー放電もターゲット材料４３
が絶縁部材４２の端面４２ａから露出した直下、即ち、
トリガー電極４１と露出したターゲット材料４３との最
短距離となる位置で発生しやすい（沿面放電となりやす
い）。

【０００８】このため、図９に示すように、トリガー電
極４１の設置部近傍の露出したターゲット材料４３の外
周側面が選択的に消耗してくびれ部４６が発生し、ター
ゲット材料４３の体積の大部分、即ち、ターゲット材料
４３の露出部４３ａにおける基板４８側の大部分が消耗
していないにも関わらず、くびれ部４６の発生によって
露出部４３ａが落下してしまいターゲット材料４３は早
期に寿命を迎えてしまうという不具合があった。

【０００９】本発明は、上記従来の課題に鑑みてなされ
たもので、ターゲット材料の局所消耗の低減を図り、タ
ーゲット材料の長寿命化が得られる薄膜形成用のターゲ
ット組立体、蒸着源、薄膜形成装置及び薄膜形成方法を
提供することを目的とするものである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するに
は、トリガー電極となる第１の電極をターゲット材料の
先端部（薄膜を形成する基板と対向する側の端面）に絶
縁部材を介して設置することにより、ターゲット材料の
露出部（アーク放電を起こさせるターゲット材料の側周
面部分）の全体でアークスポットによる消耗が発生する
ようにして、局部消耗をなくする。本発明のターゲット
組立体、蒸着源及び薄膜形成装置では、アーク放電によ
りターゲット材料の側表面に発生するアークスポット
は、ターゲット材料の側表面の先端側から他端側方向へ
移動しやすいため、トリガー放電により発生したターゲ
ット材料の側表面におけるトリガー電極近傍のアークス
ポットは、ターゲット材料とアーク電極との間でアーク
放電が起こっている間に先端から他端側へ移動する。１
回のアーク放電が終了する前にターゲットの露出部の他
端までアークスポットが行き着いてしまうと、アークス
ポットの発生位置はターゲット露出部の他端に集中し
て、該他端の消耗を速くするが、この露出部の他端での
アークスポットの集中する時間を短くすることにより、
その移動経路であった先端から露出部の他端までをアー
クスポットの発生域、即ち、プラズマ発生域として使用
することができる。

【００１１】従来例のように、アーク放電時にアークス
ポットが集中しやすいターゲット材料の露出部の近傍に
トリガー電極を設置したものと比べると、本発明の構成
のターゲット組立、蒸着源及びこれらを用いた薄膜形成
装置、並びに薄膜形成方法ではターゲット材料の局所消
耗を低減し、ターゲット材料の露出部の全体を消耗でき
るようになってターゲット材料の使用の寿命を延ばすと
ともに未使用部分として残るターゲット体積を小さくす
ることができる。

【００１２】以上の観点から、本発明のターゲット材料
を組み込んだ薄膜形成用のターゲット組立体及び蒸着源
並びにこれらを用いた薄膜形成装置及び薄膜形成方法
は、以下のような構成とした。

【００１３】すなわち、請求項１記載の発明は、ターゲ
ット材料の外周面から発生させたプラズマ原子を基板上
に照射して、該基板上に薄膜を形成する薄膜形成装置に
用いる薄膜成形用のターゲット組立体において、前記タ
ーゲット材料の前記基板と対向する側の端面に絶縁部材
を介して第１の電極を積み重ねて配置するとともに、前
記ターゲット材料の他端部には第２の電極を一体的に固
定して形成したことを特徴とするものである。

【００１４】請求項２記載の発明は、請求項１記載の薄
膜成形用のターゲット組立体において、前記ターゲット
材料は長尺棒からなり、この長尺棒の前記基板と対向す
る側の端面に、該端面を覆う絶縁材と該絶縁部材の端面
を覆う第１の電極が順次に積み重ねて配置されているこ
とを特徴とするものである。

【００１５】請求項３記載の発明は、請求項１記載の薄
膜成形用のターゲット組立体において、前記ターゲット
材料は、円筒形状の長尺棒からなり、この円筒形状の筒
部内に、軸部が円筒形状でかつ端部にフランジを有する
絶縁部材の前記軸部が嵌め込まれるとともに、前記フラ
ンジがターゲット材料の端面と当接し、前記絶縁部材の
円筒形状の軸部内には、軸部を有しかつ端部にフランジ
を有する第１の電極の軸部が嵌め込まれるとともに第１
の電極のフランジと前記絶縁部材のフランジとが当接し
ていることを特徴とするものである。

【００１６】請求項４記載の発明は、減圧雰囲気下でプ
ラズマを発生させるターゲット材料に絶縁部材を介して
設置されたトリガー放電を起こさせるトリガー電極と、
トリガー放電をきっかけとしてアーク放電を発生させる
ためのターゲット材料周囲に空間を介して設置されたア
ーク電極とを有する蒸着源において、前記ターゲット材
料の先端面に、前記絶縁部材を介して前記トリガー電極
を設置したことを特徴とするものである。

【００１７】請求項５記載の発明は、請求項４記載の蒸
着源において、前記ターゲット材料は、棒状又は中空円
筒状であり、その先端面に前記絶縁部材を介して前記ト
リガー電極を圧着して設置することを特徴とするもので
ある。

【００１８】請求項６記載の発明は、長尺のターゲット
材料に絶縁部材を介して固定したトリガー電極と、これ
らの全体を取り囲むように配置した筒状のアーク電極と
を有し、減圧雰囲気下で前記トリガー電極とターゲット
材料との間にてトリガー放電を起こさせるとともに該ト
リガー放電をきっかけとして前記ターゲット材料とアー
ク電極との間でアーク放電を発生させ、このアーク放電
で前記ターゲット材料の外周面に発生したプラズマのプ
ラズマ原子を基板の薄膜形成面上に照射して該基板上に
薄膜を形成する薄膜形成装置において、前記トリガー電
極は、前記基板と対向する側の前記長尺のターゲット材
料の端面に前記絶縁部材を介して積み重ねて形成されて
前記基板と対向し、前記ターゲット材料の前記基板と対
向しない側の端面には前記トリガー電極及びアーク電極
に対して負電圧となるベース電極が取り付けられている
ことを特徴とするものである。

【００１９】請求項７記載の発明は、長尺のターゲット
材料に絶縁部材を介して固定したトリガー電極と、これ
らの全体を取り囲むように配置した筒状のアーク電極と
にそれぞれ電圧を印加し、減圧雰囲気下で前記ターゲッ
ト材料の外周面に発生したプラズマのプラズマ原子を基
板の薄膜形成面上に照射して該基板上に薄膜を形成する
薄膜形成方法において、前記長尺のターゲット材料の一
端面に絶縁部材を介して前記トリガー電極を積み重ねて
形成したターゲットを作成し、このターゲットにおける
前記ターゲット材料の他端側に、前記トリガー電極及び
アーク電極に対して負電圧にするためのベース電極を取
り付け、前記トリガー電極を前記基板の薄膜形成面側に
対向して配設し、前記ターゲットのベース電極に負電圧
を印加しつつ前記トリガー電極とターゲット材料の間に
てトリガー放電を起こさせるとともに、このトリガー放
電をきっかけとして前記ターゲット材料とアーク電極と
の間でアーク放電を発生させ、このアーク放電によりタ
ーゲット材料の外周面に発生したプラズマのプラズマ原
子を、前記基板の薄膜形成面上に照射して該基板上に薄
膜を形成することを特徴とするものである。

【００２０】以下に上記構成の請求項１乃至７記載の各
発明の作用を説明する。

【００２１】請求項１記載のターゲット組立体によれ
ば、絶縁部材に隣接し露出したターゲット材料の端部外
周面、即ち、絶縁部材と隣接したターゲット材料の外周
面端部から、第２の電極側近傍までの外周面の領域全体
（ターゲット材料の側表面全体）に亙ってアークスポッ
トを発生できるようになり、ターゲット材料の長寿命化
が図れる。

【００２２】請求項２記載のターゲット組立体によれ
ば、ターゲット材料の端面が絶縁部材で覆われているの
で、トリガー放電によるアークスポットをターゲット材
料の外周面に発生することができ、続いて発生するアー
ク放電もターゲット材料の外周面に発生させることがで
きる。

【００２３】請求項３記載のターゲット組立体によれ
ば、ターゲット材料、絶縁部材及び第１の電極をそれぞ
れ当接させているので、薄膜形成時のアーク電流あるい
はアークスポット発生時にこれらの構成物以外の不純物
の飛散がないので、不純物のない薄膜形成を実現でき
る。

【００２４】請求項４記載の蒸着源、請求項６記載の薄
膜形成装置及び請求項７記載の薄膜形成方法によれば、
トリガー電極により絶縁部材の直下の露出したターゲッ
ト材料の端部外周面、即ち、絶縁部材と隣接したターゲ
ット材料の外周面端部からトリガー放電を発生させ、次
いでターゲット材料の他端側に向けてアークスポットの
移動を制御できるようになるので、ターゲット材料の側
表面全体が消耗できるようになり、ターゲット材料の長
寿命化が図れる。

【００２５】請求項５の蒸着源によれば、ターゲット材
料、絶縁部材及びトリガー電極が圧着されて当接してい
るので、薄膜形成時のアーク電流あるいはアークスポッ
ト発生時に、これらの構成物以外の不純物の飛散がない
ので、不純物のない薄膜形成を実現できる。

【００２６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。

【００２７】（実施の形態１）本発明の実施の形態１に
ついて、図１、図２を用いて説明する。

【００２８】本実施の形態１において、プラズマを発生
させるターゲット材料１は、純度９９．９％のＣｒを用
い、図１に示すように、長尺棒の形状、例えば直径４ｍ
ｍ、長さ４０mmの円柱形状としている。

【００２９】このターゲット材料１の一端面である上面
１ａには、このターゲット材料１の断面と同形状で厚さ
０．５ｍｍの円盤形状をしたＺｒＯ_２焼結体からなる絶
縁セラミクス焼結体、即ち、絶縁部材２が耐熱性接着剤
により接着されている。

【００３０】絶縁部材２上には、ターゲット材料１の外
周側面にトリガー放電を起こさせるための、第１の電極
としてのトリガー電極３（直径４ｍｍ、厚さ２ｍｍ、Ｓ
ＵＳ３０４製）が耐熱性接着剤により接着されている。
従って、このトリガー電極３も、前記ターゲット材料１
の断面と同形状であるので、ターゲット材料１の端面に
は、該端面を覆うように絶縁部材２及びトリガー電極３
が耐熱性接着剤（例えば、セラミックス粉末混入の接着
剤としてアルミナボンド（商品名 東亜合成（株）製
アロンセラミック））により接着され積み重ねられて形
成されている。

【００３１】そしてターゲット材料１の他端側には、図
２に示すように、第２の電極としてのＳＵＳ３０４製の
ターゲットベース電極５が複数本のネジにより固定さ
れ、薄膜形成時に用いられるターゲット組立体１０が構
成されている。即ち、図２に示すように、このターゲッ
トベース電極５は、前記ターゲット材料１の一端側と嵌
合する凹部５ａを穿設した小径突出部５ｂと、この小径
突出部５ｂを一体で支持する大径部５ｃとを有してお
り、この凹部５ａ内に前記ターゲット材料１の他端側を
嵌め込むとともに、前記小径突出部５ｂに備えられてタ
ーゲット材料１の中心軸線方向に進退する複数本のネジ
９の先端がターゲット材料１の外周側面を締め付けるこ
とによって、ターゲット材料１とターゲットベース電極
５とが固定されている。

【００３２】そして、ターゲットベース電極５における
ターゲット材料１の取り付け側の小径突出部５ｂ及び大
径部５ｃの表面には、これらの表面を覆うように形成さ
れて、後述のアーク電極４とターゲットベース電極５と
を絶縁状態に維持するための絶縁カバー８が取り付けら
れている。

【００３３】このように構成され、絶縁カバー８を取り
付けたターゲット組立体１０は、ターゲット材料１の周
囲の空間を介して円筒状に形成したアーク電極（ＳＵＳ
３０４製）４内に挿入され、アーク電極４の一端と絶縁
カバー８が当接されて両者は固定される。このとき円筒
状のアーク電極４の中心軸線と、ターゲット材料１の中
心軸線とは一致し、それぞれの内周面と外周側面とは等
距離としている。そして、図２のようにターゲットベー
ス電極５とトリガー電極３にはトリガー電源７の負電位
側の端子（陰極端子）と正電位側の端子（陽極端子）が
それぞれ接続され、ターゲットベース電極５を介してタ
ーゲット材料１とアーク電極４の一端側（即ち、ターゲ
ットベース電極５に近い側であって、トリガー電極３か
ら離れた側）にはアーク電源６の負電位側の端子と正電
位側の端子がそれぞれ接続されている。尚、アーク電源
６の正電位側の端子とアーク電極４との接続位置は、タ
ーゲット材料１が絶縁カバー８から露出した位置に対応
する位置が好ましい。

【００３４】このようにして、トリガー電源７により、
トリガー電極３（第１の電極）には正の電圧が、ターゲ
ットベース電極５（第２の電極）には負の電圧が印加さ
れるようになっており、またアーク電源６により、アー
ク電極４には正の電圧が、ターゲットベース電極５には
負の電圧が印加されるようになっている。

【００３５】上述した構成では、アーク電源６の負電位
側の端子は、ターゲットベース電極５に接続するように
したが、これに限らずターゲット材料１に直接に接続し
ても良いが、本実施の形態１では図２に基づいて前者の
例で説明する。

【００３６】前記アーク電源６は、図示しないが蓄電要
素であるコンデンサーを有し、例えば８８００μＦの電
気量を充電しておくことができ、電圧は０〜１００Ｖの
範囲で任意に設定できるようにしている。また、トリガ
ー電源７は、図示しないコンピューターからのパルス信
号により５μｓｅｃの周期で、ターゲットベース電極５
を介して、ターゲット材料１とトリガー電極３との間に
０〜５ｋＶの電圧範囲で任意に設定された電圧をパルス
状で印加するようにしている。

【００３７】上述したターゲット組立体１０に対し、ア
ーク電源６及びトリガー電源７をそれぞれ接続した構成
とした蒸着源１１を、図３に示すように、薄膜形成装置
１２の真空容器１３中に設置する。薄膜形成装置１２内
の前記ターゲット組立体１０の前方には、基板ホルダ１
４に保持された基板１５が薄膜形成面をトリガー電極３
側に対向して配置している。

【００３８】更に、薄膜形成装置１２に配備されている
不図示の真空ポンプにて真空容器１３の内部を１×１０
^−４Ｐａ以下の真空度まで減圧し、アーク電源６を９０
Ｖの電圧で作動させ、ターゲットベース電極５を介して
ターゲット材料１とアーク電極４の間に９０Ｖの電圧を
印加する。これにより、アーク電極４は正電位となり、
ターゲット材料１は負電位となる。このとき、真空容器
１３中は減圧下なので、ターゲット材料１とアーク電極
４の間に電圧をかけても放電は起こらず、待機状態とな
る。

【００３９】次に図示しないコンピューターにより、ト
リガー電源７へパルス信号を送り、トリガー電源７を作
動させ、ターゲットベース電極５を介してのターゲット
材料１とトリガー電極３の間に３ｋＶの電圧を５μｓｅ
ｃ間加える。これによりトリガー電極３は正の電位とな
り、ターゲット材料１は負の電位となる。

【００４０】このとき、ターゲット材料１とトリガー電
極３との間には絶縁部材２が存在するので、電気的には
導通しないが、接触しているために絶縁部材２の表面
（外周側面）を伝って瞬間的にターゲット材料１の側表
面（即ち、ターゲット材料１のトリガー電極設置側の外
周側面の縁部近傍）１ｂに電流が流れ、トリガー放電が
生成する。

【００４１】トリガー放電が起こると、その電気的エネ
ルギーによりターゲット材料１の前記トリガー放電が起
こった側表面（外周側面の縁部近傍）１ｂ上にアークス
ポットとよばれる局所溶融エリアが発生し、この局所溶
融エリアからの蒸発したターゲット材料１の物質がター
ゲット材料１の側表面１ｂとアーク電極４の内周面との
間の空間に飛び出して導電体の役割を担い、ターゲット
材料１の側表面１ｂとアーク電極４の内周面間でアーク
放電を起こさせる。

【００４２】そしてこのアーク放電によってターゲット
材料１の側表面１ｂに発生したアークスポットからの蒸
発で様々な方向に飛散した物質中のプラズマ原子は、ア
ーク放電によってターゲット材料１内を流れる電流、即
ち、ターゲット材料１内をトリガー電極３側からターゲ
ットベース電極５側に流れる電流（アーク電流）により
発生する磁場で、アーク電極４の開口部から基板１５に
向けて放出される。この放出によって、プラズマ原子は
基板１５の薄膜形成面（表面）に堆積することになり、
薄膜が形成される。アーク放電はアーク電源６に接続さ
れた前記コンデンサーに蓄積した電気量を放出し終わる
と終了する。本実施の形態１の場合には電気量を放出し
て１回のアーク放電を終了するまでのその所要時間は約
２００μｓｅｃ程度である。

【００４３】前記トリガー放電により前記ターゲット材
料１の側表面（外周側面のトリガー電極設置側の縁部近
傍）１ｂに発生したアークスポットＡｐ（図４に黒丸で
示す）は、アーク放電によってターゲット材料１内を流
れる電流（前記のアーク電流）により発生する磁場によ
る磁力の作用で、ターゲット材料１の先端方向への力
（真空容器１３内の基板１５の薄膜形成面へ向かう力）
を受け、この力によってアークスポットＡｐはトリガー
電極３側にとどまろうとする。しかし、このアークスポ
ットＡｐには、アーク放電時に電気抵抗が少なくなるよ
うに移動させる力も作用する。前記とどまる力よりもこ
の移動させる力の作用が勝ることにより、アークスポッ
トＡｐは、ターゲット材料１が絶縁部材２の直下の露出
した端部の側表面から、アーク電源６の負電位側の端子
を接続したターゲットベース電極５の方向へ移動する。
ターゲットベース電極５の方向へ移動する際のアークス
ポットＡｐは、ターゲット材料１の側表面１ｂにおい
て、１回のアーク放電で複数順次に発生するが、図４に
例示するように、これらのアークスポットＡｐはターゲ
ット材料１の中心軸線に平行な軸線上を連続して直線的
に移動するとは限らず、その発生位置が点在しつつ前記
ターゲットベース電極５方向へ移動する。図４において
ターゲット材料１の先端側から基端側に向いつつ、その
周方向ではランダムにアークスポットＡｐが発生して移
動する。尚、図４においてはアークスポットＡｐの位置
は、一連のアークスポット群の中で抜粋して示してい
る。

【００４４】そして、前記コンデンサーに蓄積した電気
量を放出し、１回のアーク放電が終了した後は、再度コ
ンデンサーに所要の電気量が充電され、２回目のトリガ
ー放電とそれに続く２回目のアーク放電が始まり、上述
と同様に繰り返され、アークスポットＡｐはトリガー電
極３の極めて近傍のターゲット材料１の側表面１ｂ側か
らターゲット材料の側面を移動しながら絶縁カバー８の
極めて近傍の露出したターゲット材料１の側表面１ｂま
で移動する。

【００４５】前記ターゲット材料１の側表面１ｂと、ト
リガー電極３との間のトリガー放電によって発生するア
ークスポットＡｐにおいて、前記トリガー電極３設置側
のターゲット材料１における外周側面の縁部近傍でのア
ークスポットＡｐの発生位置は、縁部近傍の円周方向に
てランダムなので、１回のトリガー放電によって複数回
のアーク放電をターゲット材料１の側表面１ｂとアーク
電極４の内周面との間で発生させれば、各アーク放電の
毎に発生するアークスポットＡｐをターゲット材料１の
側表面１ｂの全面を走らすことができるようになり、タ
ーゲット材料１の消耗をこのターゲット材料１の側表面
１ｂ全体でほぼ均等にできる。

【００４６】即ち、ターゲット材料１の消耗状況を踏ま
えアーク放電時間を微調整することにより、厳密にター
ゲット材料１の消耗分布を制御することができる。よっ
て、ターゲット材料１の局所消耗を低減し、ターゲット
材料１の寿命を延ばすことができる。

【００４７】本実施の形態１では、アーク放電時間を約
２００μｓｅｃとしたので、ターゲット材料１の中心軸
線方向での露出した側表面１ｂの全長Ｌに亙ってアーク
スポットＡｐを生じさせるように説明したが、アーク放
電時間を長くすると、絶縁カバー８の極めて近傍でのタ
ーゲット材料１の側表面１ｂでアークスポットＡｐが多
く生じることになり、従来例で述べたような外部のくび
れが生じることになって好ましくなくなる。

【００４８】本実施の形態１のターゲット組立体１０及
び蒸着源１１並びにこれらを用いた薄膜形成装置及び薄
膜形成方法によれば、ターゲット材料１の不均一消耗を
軽減し、ターゲット材料１の寿命を長くすることができ
る。

【００４９】本実施の形態１では、ターゲット材料１に
純度９９．９％のＣｒを用いたが、ターゲット材料１は
導電性の物質であれば良く、例えばＦｅ、Ｎｉ、Ｃｕ、
Ｐｔ、Ａｕ、ｌｒ、Ｒｅのような金属や、炭素、ＷＣの
ような炭化物などの導電性物質も用いることができる。

【００５０】尚、トリガー電極３、アーク電極４、ター
ゲットベース電極５は、ＳＵＳ３０４製に限らず、銅電
極や他の金属を用いることができる。純度９９．９％以
上の清浄な薄膜を成膜するためには９９．９ａｔ％以上
の純度のターゲット１を使用することが望ましいが、薄
膜が高純度である必要がなければ９９．９ａｔ％以下の
純度のターゲットを用いても本発明の効果を妨げること
はない。また、本実施の形態１では、アーク電極４とア
ーク電源６の正電位側の接続位置は、ターゲット材料１
が絶縁カバー８から露出した位置に対応するアーク電極
４の表面位置として説明したが、この対応する位置での
接続がしにくい場合には、前記絶縁カバー８から露出し
た範囲の約５ｍｍ以下の位置で接続しても、ターゲット
材料１の露出した大部分を薄膜形成用に使用でき、従来
よりもターゲット材料１の寿命を格別に延ばすことがで
きるものである。

【００５１】（実施の形態２）次に、本発明の実施の形
態２について、図５を参照して説明する。

【００５２】本実施の形態２は、ターゲット組立体１０
ａ又は蒸着源１１ａを構成する絶縁部材２ａとして、絶
縁性能を有する絶縁性接着剤層を用いたものである。

【００５３】尚、図５に示す本実施の形態２では、実施
の形態１と同様な部材には同一名称及び符号を用いて説
明する。

【００５４】図５において、プラズマを発生させるター
ゲット材料１は、純度９９．９％のＣｒを用い、長尺棒
形状、例えば直径４ｍｍ、長さ４０ｍｍの円柱形状とし
ている。このターゲット材料１の一端面には、ターゲッ
ト材料１の断面と同形状で、厚さ０．５ｍｍに形成され
た絶縁部材２ａが設けられ、その絶縁部材２ａの他端面
には、前記ターゲット材料１の外周側面にトリガー放電
を起こさせるための、第１の電極としてのトリガー電極
３（直径４ｍｍ、厚さ２ｍｍ、ＳＵＳ３０４製）が取り
付けられている。そして、トリガー電極３と反対側のタ
ーゲット材料１の他端部には、実施の形態１と同様に、
第２の電極としての金属製（ＳＵＳ３０４製）のターゲ
ットベース電極５が取り付けられて、ターゲット組立体
１０ａが構成されている。このターゲット組立体１０ａ
にそれぞれ接続されるアーク電源６、トリガー電源７の
構成は、実施の形態１の場合と同じである。

【００５５】前記ターゲット組立体１０ａの作製におい
ては、ターゲット材料１の前記絶縁部材２ａを形成する
一端側の円周側面に肉厚のテープ２ｂ（図中、点線で示
す）を巻き付け（又は円周側面に嵌合する筒体を被
せ）、そのテープ２ｂの内側にて形成される空間内に絶
縁性能を有する絶縁性接着剤を供給する。この絶縁性接
着剤としては、前記アルミナボンド（例えば、商品名；
アロンセラミック、東亜合成（株）製）がある。この絶
縁性接着剤の上にトリガー電極３を積み重ねて接着し、
その後絶縁性接着剤を硬化させることにより、所望厚さ
の絶縁部材２ａを得る。その後、前記テープ２ｂ（ある
いは筒体）を除去する。

【００５６】このようにして得られたターゲット組立体
１０ａ又はこのターゲット組立体１０ａを組み込んだ蒸
着源１１ａであっても、実施の形態１の薄膜形成装置及
び薄膜形成方法によって、ターゲット材料１の外周側面
の全体から実施の形態１と同様にアークスポットＡｐを
発生させ、基板１５上に所望の薄膜を形成することがで
きる。

【００５７】本実施の形態２では、絶縁部材２ａを構成
する絶縁性接着剤の層厚をターゲット材料１の種類によ
って適宜に調整できるので、所望厚さの絶縁部材２ａの
形成が容易である。

【００５８】（実施の形態３）次に、本発明の実施の形
態３について、図６を参照して説明する。

【００５９】本実施の形態３は、前記実施の形態１にお
いてターゲット材料１の形状と、ターゲット材料１の端
面に設置するトリガー電極３と絶縁セラミクス焼結体か
らな絶縁部材２とを直接に密着させたこと等が異なるこ
とが特徴である。

【００６０】図６に示すように、ターゲットとして中空
円柱状（円筒状）の長尺棒からなるターゲット材料２１
を用いる。

【００６１】このターゲット材料２１に対して、同じく
中空円柱状（円筒状）の軸部２２ａを有し、片端にター
ゲット材料２１の端面に密着すべくターゲット材料２１
の直径方向に広がった円盤形状のフランジ２２ｂを有
し、中空絶縁セラミクス焼結体からなる絶縁部材２２に
おける前記軸部２２ａを嵌め込み、フランジ２２ｂをタ
ーゲット材料２１の端面に当接して設置している。

【００６２】そして、トリガー電極２３の棒状の軸部２
３ａの一端には、トリガー放電を起こさせるためのフラ
ンジとなる傘部２５を設ける。また、軸部２３ａの他端
には、前記ターゲット材料２１の他端面（図では下端
面）、及び絶縁部材２２の他端面よりも軸部２３ａが突
出した状態で、ターゲット材料２１と絶縁部材２２を一
体的に固定するように圧着力を与えるためにネジ部２６
を設ける。

【００６３】このネジ部２６にナット３２をねじ込むこ
とで、軸部２３ａを外周面に設けた第２の電極としての
トリガー電極２３が絶縁部材２２と組み合わされて設置
されている。

【００６４】即ち、トリガー電極２３の軸部２３ａは、
絶縁部材２２の中空円筒状の軸部２２ａの内部に嵌め込
まれ、絶縁部材２２のフランジ２２ｂとトリガー電極２
３の傘部２５とが当接した状態で、トリガー電極締め付
け用のナット３２によりトリガー電極２３の傘部２５を
介してターゲット材料２１、絶縁部材２２、及びトリガ
ー電極２３を０．１ｇ／ｃｍ^２以上の圧力で締め付け、
傘部２５より絶縁部材２２を中空のターゲット材料２１
の端面に圧着させている。

【００６５】尚、ターゲット材料２１の他端面（図６で
は下端面）には、リング形状の絶縁物質からなる絶縁リ
ング３０を介装して、トリガー電極２３の軸部２３ａの
ナット３２を螺合している。また、絶縁部材２２の軸部
２２ａの下端面と、ナット３２との間には隙間が形成さ
れて、傘部２５により絶縁部材２２のフランジ２２ｂが
確実に圧着されるようになっている。

【００６６】また、傘部２５の外周と絶縁部材２２の外
周が確実に圧着され、軸部２３ａ周囲での中当たりがな
いように、金属製のトリガー電極２３の傘部２５の下面
側には軸部２３ａの周囲に凹状のくぼみ２４が穿設され
ている。よって、ナット３２による締め付け力（圧着
力）は、０．１ｇ／ｃｍ^２となって、ターゲット材料２
１、絶縁部材２２のフランジ２２ｂ及びトリガー電極２
３の傘部２５は密着し、一体化している。

【００６７】また、ターゲット材料２１の下端側の外周
側面は、リング形状で第２の電極として機能するターゲ
ットベース電極５の凹部に嵌め込まれ、このターゲット
ベース電極５の中心軸線方向に進退自在に設けられたネ
ジ３３により、下端側の外周側面が押圧されて固定さ
れ、ターゲット組立体１０ｂが構成されている。

【００６８】そしてこのターゲット組立体１０ｂのター
ゲットベース電極５の外周面が絶縁カバー２８で覆われ
て、ターゲット組立体１０ｂを取り囲む円筒状のアーク
電極４内に配置されている。

【００６９】また、アーク電源６の正電位側の接続端子
は、筒状のアーク電極４の下部側の下面、具体的には、
ターゲット材料２１が絶縁カバー２８から露出した位置
よりも下方側の、絶縁カバー２８の存在する部位と対応
した箇所で接続され、またアーク電源６の負電位側の接
続端子は、ターゲットベース電極５の下部側の下面で接
続されている。

【００７０】また、トリガー電源７の正電位側の接続端
子は、トリガー電極２３の軸部２３ａの下部側で接続さ
れ、また、負電位側の接続端子は、ターゲットベース電
極５の下部側の下面で接続されている。

【００７１】上記構成において、アーク電源６の正電位
側の接続端子の接続位置が、ターゲット材料２１の絶縁
カバー２８から露出した位置よりも下方側にあると、ア
ーク放電時のアークスポットＡｐの移動によってターゲ
ット材料２１の露出した側表面の全体を薄膜形成用に使
用できるようになる。

【００７２】本実施の形態３において、薄膜形成装置１
２の真空容器１３を、実施の形態１の場合と同様に減圧
雰囲気にした上でアーク電源６によりアーク電極４とタ
ーゲット材料２１間に９０Ｖの電圧を与えて放電待機状
態とする。次いで、トリガー電源７によりトリガー電極
２３とターゲット材料２１間に４．４ｋＶの電圧を５μ
ｓｅｃ与えると、トリガー電極２３の傘部２５の外周よ
り絶縁部材２２の側表面を伝ってターゲット材料２１側
表面へとトリガー放電が生じる。

【００７３】この際、トリガー電極２３及び絶縁部材２
２及びターゲット材料２１は接着剤などによる固定では
なく、これら各部材を直接に当接した状態での圧力によ
る固定であるため、トリガー放電時の前記接着剤等の介
在物の蒸発によって生ずる不純物の混入を低減すること
ができる。

【００７４】前記トリガー放電をきっかけとして、アー
ク電極４とターゲット材料２１間にアーク放電が起こ
り、ターゲット材料２１側表面に生じたアークスポット
Ａｐからプラズマが発生する。プラズマ発生時にターゲ
ット材料２１側表面にできるアークスポットＡｐは、実
施の形態１の場合と同様にターゲットベース電極５へ向
かう力を受けながらターゲット材料２１側表面を移動す
るため、アーク放電時間の制御を行うことでターゲット
材料２１の消耗を均一に制御することが可能となる。

【００７５】上述した本実施の形態３によれば、実施の
形態１の場合と同様な効果を奏することに加え、不純物
の少ないプラズマ供給が可能となり、不純物の少ない薄
膜を基板１５上に形成することができる。

【００７６】また、本実施の形態３では、ターゲット材
料２１及び絶縁部材２２を中空状とし、トリガー電極２
３の軸部２３ａに設けたネジ部２６に螺合した固定用の
ナット３２によりターゲット材料２１及び絶縁部材２２
及びリガー電極２３を圧着して、実施の形態１のような
接着剤等の介在物を介在させないで、直接に当接させる
ようにしたが、例えば、図７に示すように、ターゲット
材料２１、絶縁部材２２及びトリガー電極２３を順次に
積層して直接に当接させ、その中心位置で絶縁性材料か
らなる頭付きボルト３５と、ナット３６とでこれらを圧
着固定するようにしたクランプのような構成のターゲッ
ト組立体１０ｂとしても良い。

【００７７】図７においては、ターゲット材料２１は中
空円筒状である。また、絶縁部材２２はリング状であ
る。トリガー電極２３は中心部にくぼみ２４を形成した
リング状である。そして、これらのターゲット材料２
１、絶縁部材２２及びトリガー電極２３の中心部を貫通
して、絶縁性材料からなる頭付きボルト３５が挿入さ
れ、この頭付きボルト３５の下端のネジ部３５ａに絶縁
性材料からなるナット３６が螺合された構成となってい
る。

【００７８】そして、ターゲット材料２１の前記トリガ
ー電極２３とは反対側の他端部には、リング状のターゲ
ットベース電極５が嵌め込まれ、ターゲットベース電極
５に螺刻したネジ部に挿入されたネジ３３により、ター
ゲット材料２１の外周面が押圧されて、一体化されるこ
とにより、ターゲット組立体１０ｂが組み立てられてい
る。前記トリガー電極２３に形成されたくぼみ２４は、
ターゲット材料２１、絶縁部材２２、トリガー電極２３
の各外周面側が互いに密着するようにして、中当たりし
ないための構成である。

【００７９】そして、ターゲットベース電極５を覆うよ
うに、絶縁カバー２８が覆せられている。更に、アーク
電源６の正電位側の接続端子は、ターゲット材料２１が
絶縁カバー２８から露出した位置に対応するアーク電極
４の外周位置で接続され、負電位側の接続端子は、ター
ゲットベース電極５の下端面で接続されている。トリガ
ー電源７の正電位側はトリガー電極２３の外側面に接続
され、負電位側はターゲットベース電極５の下端面で接
続されている。

【００８０】図７に示す構成においても、トリガー電極
２３のくぼみ２４によってターゲット材料２１の端面と
絶縁部材２２及びトリガー電極２３とを直接に当接して
圧着することができる。尚、絶縁性のナット３６を金属
等の導電性ナットにすると、このナットとターゲット材
料２１は導電状態となるので、ターゲットベース電極５
として使用でき、新たにターゲットベース電極及びター
ゲット材料固定用ネジを使用しなくても良くなる。

【００８１】また、アーク電源６の正電位側の接続端子
位置は、ターゲット材料２１の前記絶縁カバー８からの
露出位置よりも例えば５ｍｍ上方と絶縁カバー８で覆わ
れた範囲内で適宜選択しても、同様にターゲット材料２
１の外周側面の大部分を薄膜形成時に有効利用できる。

【００８２】図７に示すターゲット組立体１０ｂ又はタ
ーゲット組立体１０ｂを用いた蒸着源１１ｂを、薄膜形
成装置に組み込み、既述した場合と同様な薄膜形成方法
を実施すれば、実施の形態１、３の場合と同様に所望の
薄膜を形成することが可能となる。

【００８３】上述した本発明によれば、以下の構成を付
記することができる。 （付記１）ターゲット材料の外周面から発生させたプラ
ズマのプラズマ原子を基板上に照射して、該基板上に薄
膜を形成する薄膜形成装置に用いる蒸着源において、前
記ターゲット材料の前記基板と対向する側の先端面に絶
縁部材を介して第１の電極を積み重ねて配置するととも
に、前記ターゲット材料の他端部には第２の電極を一体
的に固定して形成したターゲット組立体と、このターゲ
ット組立体のターゲット材料と絶縁部材と第１の電極を
取り囲んでこれらの外周面と空間を介して設置された筒
状のアーク電極と、前記ターゲット組立体の第１の電極
を正電位にし、前記ターゲット材料を負電位にするよう
に接続したトリガー電源と、前記ターゲット組立体のタ
ーゲット材料を負電位にし、前記アーク電極における前
記第２の電極側の近傍位置を正電位にするように接続し
たアーク電源とを有することを特徴とする蒸着源。

【００８４】付記１の構成の蒸着源によれば、トリガー
電源、アーク電源による電圧供給に基づき、前記トリガ
ー電源により絶縁部材の直下の露出したターゲット材料
の端部外周面、即ち、絶縁部材と隣接したターゲット材
料の外周面端部からトリガー放電を発生させ、次いでタ
ーゲット材料の他端側に向けてアークスポットの移動を
制御して、基板に対する蒸着による薄膜形成を行うこと
が可能となり、薄膜形成時にターゲット材料の側表面全
体に亙る消耗を実現してこのターゲット材料の長寿命化
を図ることが可能となる。

【００８５】

【発明の効果】本発明によれば、アークスポットの局所
的な発生を無くし、ターゲット材料の長寿命化を図るこ
とができるターゲット組立体を提供することができる。

【００８６】また、本発明によれば、ターゲット材料の
側表面全体に亙る消耗を行いつつ薄膜形成を実現するこ
とができ、ターゲット材料の長寿命化を図ることができ
る蒸着源を提供することができる。

【００８７】更に本発明によれば、ターゲット材料の側
表面全体に亙る消耗を行いつつ薄膜形成を実現すること
ができ、ターゲット材料の長寿命化を図りつつ基板への
薄膜形成を行うことができる薄膜形成装置及び薄膜形成
方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態１のターゲット組立体を示
す断面図である。

【図２】本発明の実施の形態１のターゲット組立体を組
み込んだ蒸着源を示す概略構成図である。

【図３】本発明の実施の形態１の薄膜形成装置を示す概
略構成図である。

【図４】本発明の実施の形態１のターゲット組立体のタ
ーゲット材料に生じるアークスポットを示す説明図であ
る。

【図５】本発明の実施の形態２のターゲット組立体を組
み込んだ蒸着源を示す概略構成図である。

【図６】本発明の実施の形態３のターゲット組立体を組
み込んだ薄膜形成装置を示す概略構成図である。

【図７】本発明の実施の形態３の蒸着源の他例を示す概
略構成図である。

【図８】従来の蒸着源の概略構成図である。

【図９】従来の蒸着源におけるターゲット材料に生じる
くぼみを示す説明図である。

【符号の説明】

１ ターゲット材料 １ｂ 側表面 ２ 絶縁部材 ２ａ 絶縁部材 ２ｂ テープ ３ トリガー電極 ４ アーク電極 ５ ターゲットベース電極 ５ａ 凹部 ５ｂ 小径突出部 ５ｃ 大径部 ６ アーク電源 ７ トリガー電源 ８ 絶縁カバー ９ ネジ １０ ターゲット組立体 １０ａ ターゲット組立体 １０ｂ ターゲット組立体 １１ 蒸着源 １１ａ 蒸着源 １１ｂ 蒸着源 １２ 薄膜形成装置 １３ 真空容器 １４ 基板ホルダ １５ 基板 ２１ ターゲット材料 ２２ 絶縁部材 ２２ａ 軸部 ２２ｂ フランジ ２３ トリガー電極 ２３ａ 軸部 ２４ くぼみ ２５ 傘部 ２６ ネジ部 ２８ 絶縁カバー ３０ 絶縁リング ３２ ナット ３２ａ ネジ部 ３３ ネジ ３５ 頭付きボルト ３６ ナット Ａｐ アークスポット

【手続補正書】

【提出日】平成１３年３月２８日（２００１．３．２
８）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】発明の名称

【補正方法】変更

【補正内容】

【発明の名称】 薄膜形成用のターゲット組立体、蒸着
源、薄膜形成装置及び薄膜形成方法

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】請求項１

【補正方法】変更

【補正内容】

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】請求項２

【補正方法】変更

【補正内容】

【手続補正４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】請求項３

【補正方法】変更

【補正内容】

【手続補正５】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００１

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、薄膜形成等の蒸着
時に用いる薄膜形成用のターゲット組立体、蒸着源、薄
膜形成装置及び薄膜形成方法に関するものである。

【手続補正６】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１３

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１３】すなわち、請求項１記載の発明は、ターゲ
ット材料の外周面から発生させたプラズマ原子を基板上
に照射して、該基板上に薄膜を形成する薄膜形成装置に
用いる薄膜形成用のターゲット組立体において、前記タ
ーゲット材料の前記基板と対向する側の端面に絶縁部材
を介して第１の電極を積み重ねて配置するとともに、前
記ターゲット材料の他端部には第２の電極を一体的に固
定して形成したことを特徴とするものである。

【手続補正７】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１４

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１４】請求項２記載の発明は、請求項１記載の薄
膜形成用のターゲット組立体において、前記ターゲット
材料は長尺棒からなり、この長尺棒の前記基板と対向す
る側の端面に、該端面を覆う絶縁材と該絶縁部材の端面
を覆う第１の電極が順次に積み重ねて配置されているこ
とを特徴とするものである。

【手続補正８】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１５

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１５】請求項３記載の発明は、請求項１記載の薄
膜形成用のターゲット組立体において、前記ターゲット
材料は、円筒形状の長尺棒からなり、この円筒形状の筒
部内に、軸部が円筒形状でかつ端部にフランジを有する
絶縁部材の前記軸部が嵌め込まれるとともに、前記フラ
ンジがターゲット材料の端面と当接し、前記絶縁部材の
円筒形状の軸部内には、軸部を有しかつ端部にフランジ
を有する第１の電極の軸部が嵌め込まれるとともに第１
の電極のフランジと前記絶縁部材のフランジとが当接し
ていることを特徴とするものである。

フロントページの続き (72)発明者 五十川 征史 東京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号 オリ ンパス光学工業株式会社内 (72)発明者 富谷 学 東京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号 オリ ンパス光学工業株式会社内 (72)発明者 日高 猛 東京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号 オリ ンパス光学工業株式会社内 (72)発明者 東條 弘美 東京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号 オリ ンパス光学工業株式会社内 (72)発明者 堀野 裕治 大阪府池田市緑丘１丁目８番31号 産業技 術総合研究所内 (72)発明者 茶谷原 昭義 大阪府池田市緑丘１丁目８番31号 産業技 術総合研究所内 Ｆターム(参考） 4G075 AA30 BC01 BD14 CA17 CA47 CA63 CA65 EB41 EC21 FC13 4K029 CA01 DB17

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ターゲット材料の外周面から発生させた
   プラズマ原子を基板上に照射して、該基板上に薄膜を形
   成する薄膜形成装置に用いる薄膜成形用のターゲット組
   立体において、 前記ターゲット材料の前記基板と対向する側の端面に絶
   縁部材を介して第１の電極を積み重ねて配置するととも
   に、前記ターゲット材料の他端部には第２の電極を一体
   的に固定して形成したことを特徴とする薄膜成形用のタ
   ーゲット組立体。
2. 【請求項２】 前記ターゲット材料は長尺棒からなり、
   この長尺棒の前記基板と対向する側の端面に、該端面を
   覆う絶縁材と該絶縁部材の端面を覆う第１の電極が順次
   に積み重ねて配置されていることを特徴とする請求項１
   記載の薄膜成形用のターゲット組立体。
3. 【請求項３】 前記ターゲット材料は、円筒形状の長尺
   棒からなり、この円筒形状の筒部内に、軸部が円筒形状
   でかつ端部にフランジを有する絶縁部材の前記軸部が嵌
   め込まれるとともに、前記フランジがターゲット材料の
   端面と当接し、前記絶縁部材の円筒形状の軸部内には、
   軸部を有しかつ端部にフランジを有する第１の電極の軸
   部が嵌め込まれるとともに第１の電極のフランジと前記
   絶縁部材のフランジとが当接していることを特徴とする
   請求項１記載の薄膜成形用のターゲット組立体。
4. 【請求項４】 減圧雰囲気下でプラズマを発生させるタ
   ーゲット材料に絶縁部材を介して設置されたトリガー放
   電を起こさせるトリガー電極と、トリガー放電をきっか
   けとしてアーク放電を発生させるためのターゲット材料
   周囲に空間を介して設置されたアーク電極とを有する蒸
   着源において、 前記ターゲット材料の先端面に、前記絶縁部材を介して
   前記トリガー電極を設置したことを特徴とする蒸着源。
5. 【請求項５】 前記ターゲット材料は、棒状又は中空円
   筒状であり、その先端面に前記絶縁部材を介して前記ト
   リガー電極を圧着して設置することを特徴とする請求項
   ４記載の蒸着源。
6. 【請求項６】 長尺のターゲット材料に絶縁部材を介し
   て固定したトリガー電極と、これらの全体を取り囲むよ
   うに配置した筒状のアーク電極とを有し、減圧雰囲気下
   で前記トリガー電極とターゲット材料との間にてトリガ
   ー放電を起こさせるとともに該トリガー放電をきっかけ
   として前記ターゲット材料とアーク電極との間でアーク
   放電を発生させ、このアーク放電で前記ターゲット材料
   の外周面に発生したプラズマのプラズマ原子を基板の薄
   膜形成面上に照射して該基板上に薄膜を形成する薄膜形
   成装置において、 前記トリガー電極は、前記基板と対向する側の前記長尺
   のターゲット材料の端面に前記絶縁部材を介して積み重
   ねて形成されて前記基板と対向し、前記ターゲット材料
   の前記基板と対向しない側の端面には前記トリガー電極
   及びアーク電極に対して負電圧となるベース電極が取り
   付けられていることを特徴とする薄膜形成装置。
7. 【請求項７】 長尺のターゲット材料に絶縁部材を介し
   て固定したトリガー電極と、これらの全体を取り囲むよ
   うに配置した筒状のアーク電極とにそれぞれ電圧を印加
   し、減圧雰囲気下で前記ターゲット材料の外周面に発生
   したプラズマのプラズマ原子を基板の薄膜形成面上に照
   射して該基板上に薄膜を形成する薄膜形成方法におい
   て、 前記長尺のターゲット材料の一端面に絶縁部材を介して
   前記トリガー電極を積み重ねて形成したターゲットを作
   成し、 このターゲットにおける前記ターゲット材料の他端側
   に、前記トリガー電極及びアーク電極に対して負電圧に
   するためのベース電極を取り付け、 前記トリガー電極を前記基板の薄膜形成面側に対向して
   配設し、 前記ターゲットのベース電極に負電圧を印加しつつ前記
   トリガー電極とターゲット材料の間にてトリガー放電を
   起こさせるとともに、このトリガー放電をきっかけとし
   て前記ターゲット材料とアーク電極との間でアーク放電
   を発生させ、このアーク放電によりターゲット材料の外
   周面に発生したプラズマのプラズマ原子を、前記基板の
   薄膜形成面上に照射して該基板上に薄膜を形成するこ
   と、 を特徴とする薄膜形成方法。