JP2008291319A - 微粒子膜の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】同軸型真空アーク蒸着源13を用いたナノサイズの粒径の微粒子膜を形成するに際して、アノード電極21とカソード電極22(蒸着材料22A)の間の放電電圧を50V以上100V未満に設定する。このように放電電圧を制限し、放電時に発生する電磁力の大きさを制限することで、アノード電極21の開口21Aから放出される荷電粒子中に一定以上の粒径の巨大粒子の混在が回避され、一定以下の微細な荷電粒子のみが放出される。このため、アノード電極21の開口と対向する位置に基板を配置しておけば、荷電粒子が基板Wに到達し、基板表面に緻密で膜質の良い薄膜が形成される。
【選択図】図1
Description
10 真空槽
13 同軸型真空アーク蒸着源
17 基板ステージ
21 アノード電極
22 カソード電極
22A 蒸着材料
23 トリガ電極
24 碍子
25 アーク電源
26 直流電圧源
27 コンデンサユニット
28 トリガ電源
30 真空排気系
W 基板
Claims (3)
- 筒状のアノード電極と、前記アノード電極内に配置された蒸着材料を有するカソード電極と、前記カソード電極から離間して前記アノード電極内に配置されたトリガ電極と、前記アノード電極と前記カソード電極の間に設置された直流電圧源と、前記直流電圧源に並列的に接続されたコンデンサとを備えた同軸型真空アーク蒸着源が用いられ、
前記トリガ電極と前記カソード電極の間にトリガ放電を発生させ、前記カソード電極の前記蒸発材料と前記アノード電極の間にアーク放電を誘起させ、前記蒸発材料の微粒子を真空槽内に設置された基板の表面へ蒸着させる微粒子膜の製造方法であって、
前記アノード電極と前記カソード電極の間の放電電圧を50V以上100V未満とすることを特徴とする微粒子膜の製造方法。 - 前記コンデンサの容量を1000μF以上9000μF以下とすることを特徴とする請求項1に記載の微粒子膜の製造方法。
- 前記蒸発材料は、コバルトであることを特徴とする請求項1に記載の微粒子膜の製造方法。
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09165673A (ja) * | 1995-12-13 | 1997-06-24 | Agency Of Ind Science & Technol | 薄膜形成装置および薄膜形成方法 |
JP2002285325A (ja) * | 2001-03-23 | 2002-10-03 | Olympus Optical Co Ltd | 薄膜形成用のターゲット組立体、蒸着源、薄膜形成装置及び薄膜形成方法 |
JP2003003251A (ja) * | 2001-06-20 | 2003-01-08 | Olympus Optical Co Ltd | 薄膜形成方法及び薄膜形成装置並びに蒸着源 |
JP2004018899A (ja) * | 2002-06-13 | 2004-01-22 | Ulvac Japan Ltd | 蒸着源及び成膜装置 |
JP2007291426A (ja) * | 2006-04-21 | 2007-11-08 | Ulvac Japan Ltd | 同軸型真空アーク蒸着源及びこれを用いた蒸着装置 |
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