JP2002251007A

JP2002251007A - 感光性樹脂組成物

Info

Publication number: JP2002251007A
Application number: JP2001048016A
Authority: JP
Inventors: Kazunari Arai; 一成新井; Midori Obara; みどり小原; Yoshinori Nagasaki; 能徳長崎; Yasushi Oe; 靖大江
Original assignee: Toppan Printing Co Ltd
Current assignee: Toppan Inc
Priority date: 2001-02-23
Filing date: 2001-02-23
Publication date: 2002-09-06

Abstract

(57)【要約】【課題】乾燥後の余熱、露光による温度上昇等の影響に
よる加温時の感光性樹脂乾燥膜のタックフリー性を維持
でき、マスクパターンの密着露光が可能で、高感度、高
密着性、高解像性で安定な、感光性樹脂組成物を提供す
る。【解決手段】少なくとも（Ａ）カルボキシル基を有する
共重合樹脂と、脂環式エポキシ基含有不飽和化合物との
反応により得られる、側鎖に末端エチレン性不飽和基と
カルボキシル基を有する変性共重合樹脂、（Ｂ）分子内
に少なくとも１つの重合可能なエチレン性不飽和基を有
する光重合性化合物、（Ｃ）光重合開始剤からなること
を特徴とする感光性樹脂組成物を提供する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は感光性樹脂組成物に
係り、さらに詳しくはフォトレジスト、エッチングレジ
スト、顔料分散レジストなどに適用可能である感光性樹
脂組成物に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、印刷産業、塗料・インキ産
業、金属加工産業、エレクトロニクス産業等で、樹脂成
分（バインダー、反応性バインダー、反応性モノマー或
いはこれらの混合物）、光開始剤、増感剤、架橋剤等か
らなる感光性樹脂が幅広く使用されきた。具体的な用途
としては、金属の部分エッチング用フォトレジスト、Ｌ
ＳＩ等の精密電子回路の作製用フォトレジスト、印刷用
樹脂版の作製用感光性樹脂、スクリーン印刷用インキ、
カラーフィルター製造用着色フォトレジスト等である。
近年ではより高度な性能が要求される中で、より微細な
パターンを形成する為の高解像度で高感度な感光性樹脂
が望まれている。

【０００３】このような中で、感光性樹脂の１つとし
て、種々の特性の改良が比較的容易な高酸価アクリル樹
脂を主体とし、グリシジル（メタ）アクリレートなどの
脂肪族エポキシ基含有ビニル化合物を反応した感光性樹
脂が開発され、特開平１−１３９６１９号公報、特開平
３−１７２３０１号公報、特開平３−２８００５９号公
報、特開平１０−７７４７号公報、特開平１１−３２７
１３９号公報、等に提案されている。また最近では、こ
の耐水性、密着性などの特性を改良する為に、前記高酸
価ビニル樹脂に脂環式エポキシ基含有不飽和樹脂を開環
反応により付加した反応物が、特開平６−１３８６５９
号公報、特開平１０−１０７２６号公報、特開平１０−
１７６１４号公報、特許公報第２７６３７７５号、特許
公報第２９３１８０１号等に提案されている。この樹脂
は、硬化性、密着性、耐水性が良好な他、塗膜を乾燥し
た後の表面タック性が従来の樹脂に比べて著しく低いこ
とも特徴として記載されている。

【０００４】一般に樹脂パターンを得る為に、感光性樹
脂組成物をガラスやウエハーや金属板の様な基板上に塗
布し、乾燥を行って膜を形成させた後、所望マスクを通
して紫外線を照射して照射部分を硬化させ、現像により
未照射部分をとり除く工程を経るが、この時感光性樹脂
の乾燥膜のタック性が強い場合、マスクの密着露光が不
可能で、プロセス上の制約を受けることも少なくなかっ
た。タックレスの前記樹脂はこれらの問題を解決できる
ものとして注目されている。しかしながら多くの場合、
耐熱性、密着性、耐水性などの特性を十分に得る為に
は、これらの樹脂にモノマーを混合して用いることが必
要であり、この結果タックを生じてしまう場合も多かっ
た。またモノマーの混合量を極力減らしても、乾燥後の
余熱や露光による温度上昇などの高温の条件では、タッ
クを容易に生じプロセス上問題となった。この問題を解
決する為に特開２０００−２２１６７８号公報には、カ
ルボキシル基を有する共重合樹脂に、脂環式エポキシ基
含有不飽和化合物を付加して得た変性重合体と、アルカ
ンジオール類のジ（メタ）アクリレートからなる光硬化
性樹脂組成物が提案されている。しかしながらタックフ
リー性は達成したものの、硬化膜の架橋度が不足する結
果、耐熱性、耐酸性等の特性など、実用面からは未だ不
十分である点も多かった。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的とすると
ころは、乾燥後の余熱、露光による温度上昇等の影響に
よる高温条件下での感光性樹脂乾燥膜のタックフリー性
を維持でき、マスクパターンの密着露光が可能で、高感
度、高密着性、高解像性で安定な、感光性樹脂組成物を
提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、少な
くとも（Ａ）カルボキシル基を有する共重合樹脂と、脂
環式エポキシ基含有不飽和化合物との反応により得られ
る、側鎖に末端エチレン性不飽和基とカルボキシル基を
有する変性共重合樹脂、（Ｂ）下記一般式（１）で表さ
れる化合物を構造単位で含み、分子内に少なくとも１つ
の重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合
物、（Ｃ）光重合開始剤を含むことを特徴とする感光性
樹脂組成物である。

【化３】

【０００７】請求項２の発明は、さらに（Ｃ）光重合開
始剤を含むことを特徴とする請求項１に記載の感光性樹
脂組成物である。

【０００８】請求項３の発明は、前記（Ｂ）光重合性化
合物が下記一般式（２）からなることを特徴とする請求
項１または２に記載の感光性樹脂組成物である。

【化４】

【０００９】請求項４の発明は、前記カルボキシル基を
有する共重合樹脂が、メタクリル酸−アクリル酸エステ
ル共重合樹脂、メタクリル酸−メタクリル酸エステル共
重合樹脂、アクリル酸−アクリル酸エステル共重合樹
脂、アクリル酸−メタクリル酸エステル共重合樹脂から
選択されることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに
記載の感光性樹脂組成物である。

【００１０】請求項５の発明は、前記脂環式エポキシ基
含有不飽和化合物が、（３，４−エポキシシクロヘキシ
ル）メチル（メタ）アクリレートから選択されることを
特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の感光性樹脂
組成物である。

【００１１】請求項６の発明は、感光性樹脂組成物全体
に対して、（Ａ）変性共重合樹脂５９〜９５重量％、
（Ｂ）光重合性化合物４〜４０重量％、（Ｃ）光重合開
始剤１〜１０重量％含むことを特徴とする請求項１〜５
のいずれかに記載の感光性樹脂組成物である。

【００１２】請求項７の発明は、前記（Ｂ）光重合性化
合物が、前記一般式（２）で表される光重合性化合物を
感光性樹脂組成物全体に対して１〜２０重量％含む組成
物からなることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに
記載の感光性樹脂組成物である。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の感光性樹脂組成物
の各構成成分について詳細を説明する。

【００１４】（Ａ）変性共重合樹脂としては、比較的設
計の自由度が高く、安価で汎用性のあるメタクリル酸−
アクリル酸エステル共重合樹脂、メタクリル酸−メタク
リル酸エステル共重合樹脂、アクリル酸−アクリル酸エ
ステル共重合樹脂、アクリル酸−メタクリル酸エステル
共重合樹脂に、脂環式エポキシ基含有不飽和化合物を付
加して得られる。具体的には例えばサイクロマーＰシリ
ーズとして、ダイセル化学工業（株）より市販されてい
る。これらはいずれも、メタクリル酸とメタクリル酸メ
チル共重合樹脂に（３，４−エポキシシクロヘキシル）
メチルアクリレートを付加させたものであり、ＡＣＡ２
００、ＡＣＡ２００Ｍ、ＡＣＡ２５０、ＡＣＡ２１０Ｐ
の品番で市販されており、いずれも本発明において使用
できる。このような樹脂を用いる利点として、硬化性、
密着性、耐水性が良好な他、塗膜を乾燥した後の表面タ
ック性が従来の樹脂に比べて著しく低いことがあげられ
る。

【００１５】これらの変性共重合樹脂量は特に限られる
ものではないが感光性樹脂組成物全体に対して、５９〜
９５重量％の範囲が好ましく、５９重量％未満では感光
性樹脂乾燥塗膜にタックが生じ易く、９５重量％より多
い場合では希アルカリによる現像性や密着性に問題が生
ずる。この変性共重合樹脂の酸価は約４０〜２００ｍｇ
ＫＯＨ／ｇであることが望ましく、４０ｍｇＫＯＨ／ｇ
以下では希アルカリ現像性が劣り、２００ｍｇＫＯＨ／
ｇ以上では希アルカリ現像液に対する溶解性が高すぎる
為、微細なパターン形成が困難となる。

【００１６】また重量平均分子量は５０００〜２５００
０であることが望ましく、５０００以下では感光性樹脂
乾燥塗膜にタックが生じ易く、２５０００以上ではタッ
クが生じにくいものの、パターン形成性が劣るといった
問題が発生し易い。また変性共重合樹脂のガラス転移温
度は高い方が望ましく、室温以上で、より好ましくは約
１００℃以上のものが好適である。室温以下ではモノマ
ーの添加により感光性樹脂乾燥塗膜のタック性が著しく
増加し、乾燥塗膜自体が流動し易くなることから、安定
性にも問題が生じる場合が多い。もちろん前記サイクロ
マーＰシリーズはこれらの特性を全て満たしている。

【００１７】（Ｂ）のエチレン性不飽和基を有する光重
合性化合物は、前記一般式（１）で表される構成単位と
エチレン性不飽和基を含む化合物である。このような化
合物としては例えば、トリメチロールエタン、ジトリメ
チロールエタン、トリメチロールプロパン、ジトリメチ
ロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリ
スリトール、トリペンタエリスリトール、グリセリン、
ジグリセロール、トリメチロールメラミン等の多価アル
コールと（メタ）アクリル酸及びε−カプロラクトンを
エステル化することにより得られる、ε−カプロラクト
ン変性多官能（メタ）アクリレートがある。なかでも微
細パターンの形成性が良好な前記一般式（２）で表され
る化合物が好ましく、該ε−カプロラクトン変性ジペン
タエリスリトールヘキサアクリレートとして、例えば日
本化薬（株）からカヤラドＤＰＣＡシリーズとして市販
されており、前記一般式（２）、（３）、（４）におい
てｍ＝１，ａ＝２，ｂ＝４である化合物（ＤＰＣＡ２
０）、前記一般式（２）、（３）、（４）においてｍ＝
１，ａ＝３，ｂ＝３である化合物（ＤＰＣＡ３０）、一
般式（２）、（３）、（４）においてｍ＝１，ａ＝６，
ｂ＝０である化合物（ＤＰＣＡ６０）、前記一般式
（２）、（３）、（４）においてｍ＝２，ａ＝６，ｂ＝
０である化合物（ＤＰＣＡ１２０）等があり、いずれも
本発明において使用できる。

【００１８】またこれらの化合物に加えて、一般に市販
されているラジカル重合可能なモノマーを混合して用い
ることが出来る。例えば、アクリル酸、メタクリル酸、
イタコン酸、マレイン酸、アクリルアミド、メタクリル
アミド、ジアセトンアクリルアミド、エチレンビスアク
リルアミド等の高沸点光重合性モノマー、さらには、エ
チレングリコール、ジエチレングリコール、ポリエチレ
ングリコール、ネオペンチルグリコール、トリメチロー
ルプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリ
トール、ウレタンポリオール、ポリエステルポリオー
ル、エポキシ等の（メタ）アクリル酸のモノエステルあ
るいは多価エステル等が挙げられるがこの限りではな
い。

【００１９】これらの光重合性化合物は特に限られるも
のではないが感光性樹脂組成物全体に対して４〜４０重
量％が好ましく、これ未満では感光性樹脂乾燥塗膜のタ
ック性は少ない利点があるものの、硬化膜が架橋不足と
なる問題が生じる。またこれより多い場合では、感光性
樹脂乾燥塗膜にタック性が生じてしまう可能性が高く、
本発明の目的とする感光性樹脂としては不適当となる。
さらに好適には前記一般式（２）で表される化合物を感
光性樹脂組成物全体に対して１〜２０重量％含んでいる
ことが望ましい。さらには前記ラジカル重合可能なモノ
マーを、感光性樹脂組成物全体に対して１０〜２５重量
％の多官能性光重合モノマーを用いると、アルカリ現像
性が良好で微細なパターンを得ることができるため望ま
しい。

【００２０】本発明においては、電子線により重合を開
始させる場合には不要であるが、光により重合を開始さ
せる場合には（ｃ）光重合開始剤を加えても良い。この
ような（ｃ）光重合開始剤としては、ベイゾインイソプ
ロピルエーテル等のベンゾインアルキルエーテル類、１
−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ヒド
ロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシ
−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン等のα
−ヒドロキシケトン類、２−メチル−１［４−（メチル
チオ）フェニル］−２−モルフォリノプロパン−１−オ
ン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モ
ルフォリノフェニル）ブタノン−１等のα−アミノケト
ン類、ビス（２，６−ジメトキシベンゾイル）−２，
４，４−トリメチルペンチルフォスフォンオキサイド等
のビスアシルフォスフィンオキサイド類、２，２’ビス
（ｏ−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ
フェニル−１，１’−ビイミダゾール、ビス（２，４，
５−トリフェニル）イミダゾール等のビスイミダゾール
類、Ｎ−フェニルグリシン等のＮ−アリールグリシン
類、４，４’−ジアジドカルコン等の有機アジド類、
３，３’，４，４’−テトラ（ｔｅｒｔ−ブチルペルオ
キシカルボキシル）ベンゾフェノン等の有機過酸化物類
をはじめ、Ｊ．Ｐｈｏｔｏｐｏｌｙｍ．Ｓｃｉ．Ｔｅｃ
ｈｎｏｌ．，２，２８３（１９８７）．に記載される化
合物、具体的には鉄アレ−ン錯体、トリハロゲノメチル
置換ｓ−トリアジン、スルフォニウム塩、ジアゾニウム
塩、フォスフォニウム塩、セレノニウム塩、アルソニウ
ム塩、ヨードニウム塩等が挙げられる。さらに、必要に
応じて、ミヒラーズケトン等のベンゾフェノン類、チオ
キサントン類等の増感剤を加えても良い。また、光重合
開始剤は感光性樹脂組成物全体に対して１〜１０重量％
であることが望ましい。

【００２１】また本発明においては、上記感光性樹脂組
成物の他に、必要に応じて相溶性のあるポリマーや紫外
線吸収剤、酸化防止剤、熱安定剤、レベリング剤、密着
向上剤、フィラー、着色剤等の各種添加剤を必要に応じ
て適宜、添加、配合させて用いることができる。また、
前記各成分（Ａ）〜（Ｃ）は合計１００重量％となるよ
うに配合する。

【００２２】本発明の感光性樹脂組成物を基板に数〜数
十ミクロンの膜厚に均一に塗布し、溶媒を揮散させ、ネ
ガパターンマスクを置いて超高圧水銀灯、高圧水銀灯、
キセンノン灯等で照射して、光照射部分を重合（架橋）
反応させる。その後、希アルカリ水等の現像液で現像し
非露光部分を洗い流すと、精密な解像度を有する像が得
られる。

【００２３】

【実施例】以下、本発明を実施例により具体的に説明す
る。

【００２４】＜実施例１＞（Ａ）成分として変性共重合
樹脂（ダイセル化学社製「ＡＣＡ−２００Ｍ」）１００
重量部（固形分換算値）、（Ｂ）成分としてジペンタエ
リスリトールヘキサアクリレート（東亜合成社製「Ｍ−
４００」）３６．４重量部と、ε−カプロラクトン変性
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（日本化薬
社製「ＤＰＣＡ−２０」）６．４重量部、（Ｃ）成分と
して２，４−ジエチルチオキサントン（日本化薬社製
「カヤキュアーＤＥＴＸ−Ｓ」）４．３重量部を、プロ
ピレングリコールモノメチルエーテル２５０重量部に溶
解し、感光性樹脂組成物を得た。

【００２５】＜実施例２＞（Ｂ）成分としてジペンタエ
リスリトールヘキサアクリレート３６．４重量部と、ε
−カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサア
クリレート（日本化薬社製「ＤＰＣＡ−６０」）６．４
重量部、（Ｃ）成分として２，４−ジエチルチオキサン
トン２．９重量部と、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸エチ
ル（日本化薬社製「カヤキュアーＥＰＡ」）１．４重量
部を配合した以外は、実施例１と同様にして感光性樹脂
組成物を得た。

【００２６】＜実施例３＞（Ｂ）成分としてトリメチロ
ールプロパントリアクリレート（東亜合成社製「Ｍ−３
０９」）３４．３重量部と、ε−カプロラクトン変性ジ
ペンタエリスリトールヘキサアクリレート（ＤＰＣＡ−
２０）８．６重量部を配合した以外は、実施例１と同様
にして感光性樹脂組成物を得た。

【００２７】＜実施例４＞（Ａ）成分として変性共重合
樹脂（ダイセル化学社製「ＡＣＡ−２００」）１００重
量部（固形分換算値）、（Ｂ）成分としてペンタエリス
リトールトリアクリレート（東亜合成社製「Ｍ−３０
５」）３４．３重量部と、ε−カプロラクトン変性ジペ
ンタエリスリトールヘキサアクリレート（ＤＰＣＡ−６
０）８．６重量部を配合した以外は、実施例１と同様に
して感光性樹脂組成物を得た。

【００２８】＜実施例５＞（Ａ）成分として変性共重合
樹脂（ＡＣＡ−２００）１００重量部、（Ｂ）成分とし
てジペンタエリスリトールヘキサアクリレート３４．３
重量部と、ε−カプロラクトン変性ジペンタエリスリト
ールヘキサアクリレート（ＤＰＣＡ−２０）４．３重量
部と、ε−カプロラクトン変性ジペンタエリスリトール
ヘキサアクリレート（ＤＰＣＡ−６０）４．３重量部を
配合した以外は実施例１と同様にして感光性樹脂組成物
を得た。

【００２９】＜比較例１＞（Ｂ）成分としてジペンタエ
リスリトールヘキサアクリレート４２重量部を配合した
以外は、実施例１と同様にして感光性樹脂組成物を得
た。

【００３０】＜比較例２＞（Ｂ）成分として１，９−ノ
ナンジオールジアクリレート（共栄社化学製「１，９Ｎ
Ｄ−Ａ」）１０重量部、（Ｃ）成分として２，４−ジエ
チルチオキサントン５．０重量部と、ｐ−ジメチルアミ
ノ安息香酸エチル５．０重量部、２−ベンジル−２−ジ
メチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブ
タノン−１（チバスペシャルティケミカルズ社製「イル
ガキュア３６９」）５．０重量部を配合した以外は、実
施例１と同様にして感光性樹脂組成物を得た。

【００３１】＜比較例３＞（Ｂ）成分として１，９−ノ
ナンジオールジアクリレート２０重量部、（Ｃ）成分と
して２，４−ジエチルチオキサントン５．５重量部と、
ｐ−ジメチルアミノ安息香酸エチル５．５重量部、２−
ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリ
ノフェニル）−ブタノン−１５．５重量部を配合した以
外は、実施例１と同様にして感光性樹脂組成物を得た。

【００３２】＜比較例４＞（Ｂ）成分としてジメチロー
ルトリシクロデカンジアクリレート（共栄社化学製「Ｄ
ＣＰ−Ａ」）１０重量部を配合した以外は、比較例２と
同様にして感光性樹脂組成物を得た。前記実施例１〜５
及び比較例１〜４の組成を下記表１にまとめて示す。

【００３３】

【表１】

【００３４】前記実施例１〜５及び比較例１〜４で得た
各感光性樹脂組成物を、黄色灯下、該感光性樹脂組成物
を厚さ０．１ｍｍ，１０ｃｍ角の脱脂鉄板に、乾燥後の
膜厚が約８μｍとなる様にスピン塗布した後、９０℃で
１５分間乾燥した。次に上記乾燥塗布板上にコダックス
テップタブレットＮｏ.２（以下グレースケールと称す
る）及び、ネガマスクパターンを真空密着させながら超
高圧水銀灯を用いて露光を行った後に、３０℃，１重量
％の炭酸ナトリウムの現像液で０．２ＭＰａのスプレー
圧で９０秒間現像した後、２００℃のオーブン中で５分
間ポストベーク処理し、レジストパターンを形成した。

【００３５】得られたサンプルについて、乾燥後のタッ
ク性、感度、解像性、密着性、エッチング耐性を評価し
たところ、表２に示す結果が得られた。２官能のモノマ
ーを用いた比較例２，４（特開２０００−２２１６７８
記載の実施例）に対し、カプロラクトン変性多官能モノ
マーを用いることによって、タックレスでなおかつ架橋
度の高い硬化膜が形成でき、エッチング耐性の高い組成
物を得ることができた。なお前記実施例１〜５及び比較
例１〜４で得た各感光性樹脂組成物及びその硬化物の各
評価方法は下記の通り行った。

【００３６】＜評価法＞（１）タック性感光性樹脂を塗布した鉄板を３×３ｃｍに切り取り樹脂
面を重ね合わせて、５００ｇの加重をかけながらオーブ
ン中で６０℃，３０分間加熱し、樹脂同士の密着の有無
を確認した。○：密着や接触の跡が認められることなく
板を分離することができた。△：密着はしなかったが、
樹脂表面に接触跡が認められた。×：密着が認められ
た。（２）感度現像後のステップタブレットのステップ段数を、目視判
定した。（３）解像性ネガ型解像性チャートを焼き付け、解像している最小の
パターンサイズを求めた。（４）密着性ポストベーク処理した試験片を２×５ｃｍの短冊状に切
り取り、レジスト面が外側になる様にして折り曲げ、状
態を目視評価した。○：塗膜に割れや、浮きが見られな
かった。△：塗膜に割れが見られたが、浮きは見られな
かった。×：塗膜に割れと、浮きが見られた。（５）エッチング耐性ポストベーク処理した試験片を７０℃の塩化第二鉄水溶
液で０．５ＭＰａのスプレー圧で４分間エッチングを行
い、水洗後、エッチングされたパターンの状態を顕微鏡
により目視評価した。○：塗膜に割れや溶解を生じず、
基材／塗膜の界面に塩化第二鉄水溶液の染み込みが見ら
れなかった。△：塗膜に割れや溶解を生じなかったが、
基材／塗膜の界面に塩化第二鉄水溶液の染み込みが僅か
に見られた。×：塗膜に割れや溶解を生じ、基材／塗膜
の界面に塩化第二鉄水溶液の染み込みが見られた。

【００３７】

【表２】

【００３８】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、乾
燥後の余熱、露光による温度上昇等の影響による高温条
件下での感光性樹脂乾燥膜のタックフリー性を維持で
き、マスクパターンの密着露光が可能で、高感度、高密
着性、高解像性で、エッチング耐性も良好な感光性樹脂
組成物が提供される。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｇ０３Ｆ 7/028 Ｇ０３Ｆ 7/028 7/038 ５０１ 7/038 ５０１Ｈ０１Ｌ 21/027 Ｈ０１Ｌ 21/30 ５０２Ｒ (72)発明者大江靖東京都台東区台東１丁目５番１号凸版印刷株式会社内Ｆターム(参考） 2H025 AA00 AA01 AA02 AA14 AB03 AB06 AB13 AB15 AB16 AC01 AD01 BC14 BC42 BC53 BC85 CA01 CA26 CA27 CA28 CA39 CA48 FA03 FA17 FA29 4J011 QA21 QA22 QA23 QA24 QB03 SA25 SA34 SA61 SA62 SA64 SA76 SA78 SA84 SA87 UA01 VA01 WA01 4J027 AA02 BA23 BA25 BA28 CB10 CC05 CD10 4J100 AJ02P AL02Q AL03Q AL66P BA03H BA03P BC04H BC43P CA04 CA31 HA19 HA62 HC39 JA38

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】少なくとも（Ａ）カルボキシル基を有する
共重合樹脂と、脂環式エポキシ基含有不飽和化合物との
反応により得られる、側鎖に末端エチレン性不飽和基と
カルボキシル基を有する変性共重合樹脂、（Ｂ）下記一
般式（１）で表される化合物を構造単位で含み、分子内
に少なくとも１つの重合可能なエチレン性不飽和基を有
する光重合性化合物、を含むことを特徴とする感光性樹
脂組成物。【化１】
【請求項２】さらに（Ｃ）光重合開始剤を含むことを特
徴とする請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項３】前記（Ｂ）光重合性化合物が下記一般式
（２）からなることを特徴とする請求項１または２に記
載の感光性樹脂組成物。【化２】
【請求項４】前記カルボキシル基を有する共重合樹脂
が、メタクリル酸−アクリル酸エステル共重合樹脂、メ
タクリル酸−メタクリル酸エステル共重合樹脂、アクリ
ル酸−アクリル酸エステル共重合樹脂、アクリル酸−メ
タクリル酸エステル共重合樹脂から選択されることを特
徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の感光性樹脂組
成物。
【請求項５】前記脂環式エポキシ基含有不飽和化合物
が、（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル（メ
タ）アクリレートから選択されることを特徴とする請求
項１〜４のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
【請求項６】感光性樹脂組成物全体に対して、（Ａ）変
性共重合樹脂５９〜９５重量％、（Ｂ）光重合性化合物
４〜４０重量％、（Ｃ）光重合開始剤１〜１０重量％含
むことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の感
光性樹脂組成物。
【請求項７】前記（Ｂ）光重合性化合物が、前記一般式
（２）で表される光重合性化合物を感光性樹脂組成物全
体に対して１〜２０重量％含む組成物からなることを特
徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の感光性樹脂組
成物。