JP2002229208A

JP2002229208A - 感光性樹脂組成物

Info

Publication number: JP2002229208A
Application number: JP2001031063A
Authority: JP
Inventors: Midori Obara; みどり小原; Shigeji Shimizu; 茂二清水; Yasushi Oe; 靖大江
Original assignee: Toppan Printing Co Ltd
Current assignee: Toppan Inc
Priority date: 2001-02-07
Filing date: 2001-02-07
Publication date: 2002-08-14

Abstract

(57)【要約】【課題】希アルカリ溶液にて現像可能な、高感度、高解
像度のレジストパターンを供給することができる新規な
ネガ型感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】少なくともアルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、
重合性モノマー（Ｂ）及び、光重合開始剤（Ｃ）を含む
感光性樹脂組成物であり、該アルカリ可溶性樹脂（Ａ）
がエチレン性不飽和基を導入した変性（ヒドロキシスチ
レン）を構造単位で含む重合体であることを特徴とした
感光性樹脂組成物を提供する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、希アルカリ溶液で
現像可能な光重合性組成物に関するものである。さらに
詳しくは、印刷産業、エレクトロニクス産業などにおい
て広く利用され得る、高感度及び、高解像度のレジスト
パターンを形成可能な新規なネガ型感光性樹脂組成物に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来技術では、熱硬化性インクあるいは
光硬化性インクを基板上にスクリーン印刷し、硬化する
ことにより各種のパターンを形成する方法が広く用いら
れてきた。しかしながら、近年の高密度化に伴い、スク
リーン印刷方式は精度上の問題で対応しきれない分野が
多くなってきた。この為、近年ではスクリーン印刷法に
代わり、パターンマスクを介して光照射、又はビームを
走査露光することにより、高精度でパターン形成するこ
とが可能な感光性樹脂を用いた方法が、金属加工産業、
エレクトロニクス産業、印刷、塗料・インキ産業などで
広く用いられている。

【０００３】感光性樹脂の具体的用途の主たるものは、
（ａ）金属の部分的エッチングによる銅張積層板の作
製、（ｂ）ＬＳＩなどの精密な電子回路の作製、（ｃ）
印刷用樹脂版の作製などである。従って、最終の使用目
的、条件、作製者側の工程の簡素化、環境面の配慮から
当然感光性樹脂の変性化が要求されている。現在では、
特性の異なる多品種の感光性樹脂が市販・上市されてい
る。

【０００４】ネガ型感光性樹脂を用いて金属箔などの部
分的エッチングによる回路作製、あるいは印刷用樹脂版
の作製を行う場合には次のような工程が用いられる。各
種方法で形成された感光性樹脂組成物の薄膜上にネガマ
スクを置き、係るネガマスクを介して光照射して露光部
を硬化させ、非露光部を洗浄によって除去した後、露出
した金属部分をエッチング液への浸漬によって溶出させ
パターン形成する。また、印刷用製版ではエッチングの
工程は不要である。

【０００５】従来の感光性樹脂組成物としては、（メ
タ）アクリル系重合性モノマーなどから重合してなる、
高分子化合物と、光重合開始剤及び光重合性モノマーな
どからなるものである。このような感光性樹脂組成物の
特徴としては、有機溶媒を使用して現像を行うものが多
く、環境保護の面から好ましくなく、その使用が問題と
なっている。

【０００６】また、製品の小型化に伴い、微細構造を有
する部品が多数製品中に使用されており、このような微
細構造構築や、量産の際のスループット向上のため、係
る感光性樹脂組成物への感度、解像度の向上はともに重
要な要素となっている。さらに、取り扱い易さから感光
性樹脂組成物は保存安定性が良好であることが望まし
い。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、アル
カリ水溶液を用いて現像可能で、現像残りがなく高解像
度、高感度を有する、保存安定性も良好な感光性樹脂組
成物を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明に係る感光性樹脂
組成物は、アルカリ可溶性樹脂、重合性モノマー及び、
光重合開始剤とからなることを特徴とし、該アルカリ可
溶性樹脂として、エチレン性不飽和基を有する、酸ハロ
ゲン化物、又はモノイソシアネート化合物、又はエポキ
シ化合物と反応せしめて得られた、変性（ヒドロキシス
チレン）を構造単位で含む重合体または変性ポリ（ｐ−
ヒドロキシスチレン）を用いることにより、現像時に未
露光部を希アルカリ溶液にて除去可能とし、かつ、高感
度、高解像度で現像残りがなく、さらに、保存安定性が
良好であることを特徴とするものである。

【０００９】即ち、請求項１記載の発明は、少なくとも
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、重合性モノマー（Ｂ）及
び、光重合開始剤（Ｃ）を含む感光性樹脂組成物であ
り、該アルカリ可溶性樹脂（Ａ）がエチレン性不飽和基
を導入した下記一般式（１）で表される変性（ヒドロキ
シスチレン）を構造単位で含む重合体であることを特徴
とした感光性樹脂組成物である。

【００１０】

【化３】

【００１１】請求項２記載の発明は、少なくともアルカ
リ可溶性樹脂（Ａ）と、重合性モノマー（Ｂ）及び、光
重合開始剤（Ｃ）を含む感光性樹脂組成物であり、該ア
ルカリ可溶性樹脂（Ａ）がエチレン性不飽和基を導入し
た下記一般式（２）で表される変性ポリ（ｐ−ヒドロキ
シスチレン）であることを特徴とした感光性樹脂組成物
である。

【００１２】

【化４】

【００１３】請求項３記載の発明は、前記一般式（１）
で表される変性（ｐ−ヒドロキシスチレン）をモノマー
単位で含む重合体または一般式（２）で表される変性ポ
リ（ｐ−ヒドロキシスチレン）が、側鎖水酸基の一部
を、エチレン性不飽和基を有する、酸ハロゲン化物、モ
ノイソシアネート化合物、またはエポキシ化合物と反応
せしめることによって得られることを特徴とした請求項
１または２に記載の感光性樹脂組成物である。

【００１４】請求項４記載の発明は、前記アルカリ可溶
性樹脂（Ａ）の前記エチレン性不飽和基の導入率が１〜
５０％の範囲にあることを特徴とした請求項１〜３のい
ずれかに記載の感光性樹脂組成物である。

【００１５】請求項５記載の発明は、前記アルカリ可溶
性樹脂（Ａ）の重量平均分子量が１，０００以上、１０
０，０００以下であることを特徴とする請求項１〜４の
いずれかに記載の感光性樹脂組成物である。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明を更に詳細に説明す
る。

【００１７】前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）にヒドロキ
シスチレンを含む重合体またはポリ（ｐ−ヒドロキシス
チレン）を用いる利点として、速やかにアルカリ溶液に
溶解し、現像性に優れていること、重合性モノマーとの
相溶性に優れていること、また、比較的安価に入手する
ことが可能であることなどが挙げられる。また、前記ヒ
ドロキシスチレンを含む重合体のヒドロキシスチレンの
ヒドロキシル基はＰ（パラ）位につくと安定性が増し、
好ましい。また、前記ヒドロキシスチレンを含む重合体
またはポリ（ｐ−ヒドロキシスチレン）を変性させたも
のを用いることにより、高感度、高解像の感光性樹脂組
成物が得られる。なお、本発明でいう変性とは、前記ｐ
−ヒドロキシスチレンを含む重合体またはポリ（ｐ−ヒ
ドロキシスチレン）の側鎖のヒドロキシル基の一部を他
の官能基を含む構造単位で置換することである。

【００１８】本発明の感光性樹脂組成物におけるアルカ
リ可溶性樹脂（Ａ）は、変性によりエチレン性不飽和基
を導入した下記一般式（１）又は（２）に示される構造
単位で表すことができ、変性（ヒドロキシスチレン）に
共重合可能な化合物と共重合させた重合体でも良いし、
変性ポリ（ｐ−ヒドロキシスチレン）のみで構成したも
のでも良い。共重合可能な化合物の種類には特に制限が
あるものではなく、必要に応じて何種類でも用いること
ができる。例えば、スチレン、α−メチルスチレン、パ
ラヒドロキシルスチレンなどのスチレン系モノマー、
（メタ）アクリロニトリル、（メタ）アクリル酸、（メ
タ）アクリル酸メチルなどの（メタ）アクリル酸エステ
ル、アクリルアミドなどのアクリル系モノマー、エチル
ビニルエーテルなどのビニルエーテル酸、無水マレイン
酸、酢酸ビニル、ビニルピリジンなど、が挙げられる。
その変性の方法として特に限定するものではないが、例
えば、該ポリ（ｐ−ヒドロキシスチレン）にエチレン性
不飽和基を有する酸ハロゲン化物を塩基存在下で反応さ
せる方法、該ポリ（ｐ−ヒドロキシスチレン）にエチレ
ン性不飽和基を有するモノイソシアネート化合物をジブ
チルスズラウレート（ＤＢＴＤＬ）などの触媒を用いて
適当な温度で作用させる方法、或いは該ポリ（ｐ−ヒド
ロキシスチレン）にエチレン性不飽和基を有するエポキ
シ化合物をテトラブチルアンモニウムクロリド等の触媒
の存在下で適当な温度で作用させる方法等により得るこ
とができる。前記酸ハロゲン化物、モノイソシアネート
化合物、エポキシ化合物を用いることにより、複雑な反
応系を経由せず、容易にエチレン性不飽和基を導入する
ことができる。

【００１９】

【化５】

【００２０】

【化６】

【００２１】前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）のエチレン
性不飽和基を有する化合物による変性率は、１〜５０％
の範囲であることが好ましく、これより少ない場合は高
感度、高解像度のレジストが得られず、変性の効果がみ
られない。また、これより多い場合は、感光性樹脂組成
物のアルカリ溶解性が低下してしまうため好ましくな
い。

【００２２】またアルカリ可溶性樹脂（Ａ）の分子量
は、重量平均分子量で１，０００以上、１００，０００
以下であることが好ましく、これより小さい場合は、硬
化皮膜の強度が著しく低下し、これより大きい場合は溶
解性が低下するため、レジストの調製が困難となり好ま
しくない。さらに、感度、解像度を考慮すると、重量平
均分子量は１，０００以上、２０，０００以下の範囲に
あることが好ましい。

【００２３】上記樹脂の変性に用いるエチレン性不飽和
基を有する酸ハロゲン化物としては、例えば、アクリル
酸、メタクリル酸、クロトン酸、ソルビン酸、及びビニ
ル安息香酸等を、塩化チオニルと反応させたもの等があ
げられ、該酸クロライドは単独又は２種以上組み合わせ
て用いることができるが、光硬化性の観点から、特にア
クリル酸、およびメタクリル酸のハロゲン化物が好まし
い。

【００２４】また、１分子中に１個以上のビニル基とイ
ソシアネート基を有する化合物としては、例えば、下記
一般式（３）に示すように、アクリロイルオキシエチル
イソシアネート、メタクリロイルオキシエチルイソシア
ネート、アリルオキシエチルイソシアネート等を挙げる
ことができるが、この限りではない。

【００２５】

【化７】

【００２６】さらに、上記樹脂の変性に用いるその他の
エチレン性不飽和基を有するモノイソシアネート化合物
としては、例えば、ポリイソシアネートの一方の末端
に、１個の水酸基と１個の（メタ）アクリロイル基を含
有する化合物を付加せしめることによって得られる化合
物を挙げることができる。ただし、上記方法により合成
されたものに限らず、１分子中に１つのイソシアネート
基とエチレン性不飽和基を有するものであれば特に制限
されずに用いることができる。

【００２７】前記ポリイソシアネート化合物としては、
例えば、１，６−ヘキサメチレンジイソシアネート、メ
チレンビス（４−シクロヘキシルイソシアネート）、ト
リメチルヘキサメチレンジイソシアネート、イソホロン
ジイソシアネート、４，４‘−ジフェニルメタンジイソ
シアネート、２，４−トリレンジイソシアネート、２，
６−トリレンジイソシアネート、水素添加ジフェニルメ
タンジイソシアネート等の脂肪族もしくは脂環式のジイ
ソシアネート等があげられる。

【００２８】ポリイソシアネートの（メタ）アクリロイ
ル化に用いられる上記１個の水酸基と１個の（メタ）ア
クリロイル基を含有する化合物としては、具体的にはヒ
ドロキシエチル（メタ）アクリレート、ヒドロキシプロ
ピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシブチル（メ
タ）アクリレート、４−ヒドロキシブチル（メタ）アク
リレート、ポリエチレングリコール（メタ）アクリレー
ト、ポリプロピレングリコール（メタ）アクリレート、
グリシジル（メタ）アクリレート、トリメチロールプロ
パンジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトール
（メタ）アクリレート等が挙げられるがこの限りではな
い。

【００２９】また、上記樹脂の変性に用いる、エチレン
性不飽和基を有するエポキシ化合物としては、グリシジ
ル（メタ）アクリレートの他、例えば下記一般式（４）
〜（１３）で示される脂環式エポキシ化合物を挙げるこ
とができるが、この限りではない。これら一般式におい
て、Ｒ₅は水素原子又はメチル基を示し、Ｒ₆は炭素数１
〜６の脂肪族飽和炭化水素を示す。なお、Ｒ₆がなく脂
環に直接（メタ）アクリルエステルが結合しても構わな
い。

【００３０】

【化８】

【００３１】

【化９】

【００３２】なお、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の変性に
用いるエチレン性不飽和基を有する化合物を２種類以上
とし、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）にエチレン性不飽和単
位を２種類以上含有してもよい。

【００３３】本発明の感光性樹脂組成物における重合性
モノマー（Ｂ）は、重合時にポリマーの側鎖と化学的に
結合するため、強固な膜を形成できる。このような重合
性モノマー（Ｂ）としては、ラジカル重合性を有する化
合物で前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と相溶性のあるも
のであればよい。このような化合物としては、（メタ）
アクリル酸、イタコン酸、マレイン酸、（メタ）アクリ
ルアミド、ジアセトンアクリルアミド、エチレンビスア
クリルアミド等の高沸点ビニルモノマー、さらには、メ
タノール、エタノール、１−プロパノール、１−ブタノ
ール、２−エチルヘキサノール、エチレングリコール等
のモノ（メタ）アクリルエステル、さらに、エチレング
リコール、ジエチレングリコール、ポリエチレングリコ
ール、ネオペンチルグリコール、トリメチロールプロパ
ン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール等
のジ或いはポリ（メタ）アクリル酸エステル等のほか、
ウレタン基、ポリエステル部位を有する多官能（メタ）
アクリレート等を挙げることができるが、この限りでは
ない。また、用いる重合性モノマー（Ｂ）を２種以上と
し、エチレン性不飽和単位を２種類以上含有してもよ
い。

【００３４】重合性モノマー（Ｂ）成分の量は、アルカ
リ可溶性樹脂（Ａ）１００重量部に対して２０から１０
０重量部の範囲をとることが可能であり、好ましくは３
０から６０重量部である。２０重量部以下であると感度
が低下し、１００重量部以上であると現像ができなくな
る。

【００３５】また、本発明における光重合開始剤（Ｃ）
としては、光によりラジカル種を発生する化合物であれ
ば特に制限はないが、例えば、ベンゾイルメチルエーテ
ル、ベンゾイルエチルエーテル等のベンゾインとそのア
ルキルエーテル類、並びに２，２−ジメトキシ−２−フ
ェニルアセトフェノン、２，２−ジエトキシアセトフェ
ノン等のアセトフェノン類、並びに２−メチルアントラ
キノン等のアントラキノン類、並びに２，４−ジエチル
チオキサントン等のチオキサントン類、並びにケタール
類又はキサントン類、メチルベンゾフェノン等のベンゾ
フェノン類等を挙げることができ、これらは安息香酸系
又は第三級アミン系等の公知慣用の光重合促進剤と併用
してもよい。これらの光重合開始剤は、おのおの単独で
或いは適宜互いに組み合わせて使用することができる
が、その合計が、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）１００重量
部に対して好ましくは０．１〜３０重量部、特に好まし
くは１〜１０重量部配合される。上記範囲より少ない場
合には十分に光硬化せず、一方多い場合には熱的に不安
定になり、またコストの面からも好ましくない。

【００３６】本発明の感光性樹脂組成物には、他に必要
に応じて相溶性のある添加物、例えば重合禁止剤、可塑
剤、安定剤、界面活性剤、着色料、レベリング剤、カッ
プリング剤などを、本発明の目的を損なわない範囲で添
加することができる。さらに、必要に応じて、熱硬化性
樹脂であるメラミン樹脂、ブロックイソシアネート、オ
キサゾリン樹脂等も現像性を低下させない範囲で添加で
きる。

【００３７】このように各成分を適時選択し、任意の割
合で混合して得た感光液は、必要に応じて適当な溶媒に
て希釈しても良い。上記希釈剤としては、ジクロルメタ
ン、クロロホルム、アセトン、２−ブタノン、シクロヘ
キサノン、エチルアセテート、２−メトキシエタノー
ル、２−エトキシエタノール、２−ブトキシエタノー
ル、２−エチルエトキシアセテート、２−ブトキシエチ
ルアセテート、２−メトキシエチルエーテル、２−エト
キシエチルエーテル、２−（２−エトキシエトキシ）エ
タノール、２−（２−ブトキシエトキシ）エタノール、
２−（２−エトキシエトキシ）エチルアセテート、２−
（２−ブトキシエトキシ）エチルアセテート、テトラヒ
ドロフラン、１，４−ジオキサン等が挙げられる。

【００３８】このようにして得られた感光性樹脂組成物
をバーコーター、アプリケーター、ドクターブレード、
ロールコーター、スピンコーター、ロールコーター、ダ
イコーター、コンマコーター等の公知の塗工手段を用い
てステンレスやガラス、ポリエステルに代表されるプラ
スチックフィルム等の基板上に塗布する。希釈剤を用い
た場合は、その後、例えば６０〜１００℃の温度で乾燥
することにより、タックフリーの塗膜を形成することが
できる。

【００３９】上記の方法により形成された感光層上に、
所定のパターンを有するフォトマスクを密着させ、例え
ば超高圧水銀灯、高圧水銀灯、中圧水銀灯、低圧水銀
灯、キセノンランプ、ハロゲンランプ等で露光し、光照
射部分を重合または架橋させた後、アルカリ現像液にて
現像することにより、マスクパターンに忠実な画像を得
ることができる。さらに必要ならば、熱処理すなわちポ
ストベークを施し硬膜化を行うことができる。熱処理は
熱風炉あるいは遠赤外線炉等で熱硬化成分が十分反応す
る温度、時間で行えばよい。

【００４０】以下、本発明の実施の形態について具体的
な実施例を挙げて説明するが、本発明は下述する実施例
に限定されるものではない。また、本発明の感光性樹脂
組成物は光に対して極めて敏感であるので、自然光など
不必要な光による感光を防ぐため、全ての作業を黄色、
または赤色灯下で行う必要がある。

【００４１】

【実施例】以下、本発明の実施の形態について、実施例
として変性ポリ（ｐ−ヒドロキシスチレン）のみを用い
た例を説明するが、本発明は下述する実施例に限定され
るものではない。

【００４２】＜合成例１＞ポリ（ｐ−ヒドロキシスチ
レン）の部分アクリレートの合成ポリ（ｐ−ヒドロキシスチレン）（Ｍｗ＝５，０００、
Ｍｎ＝２，３００、ＯＨ価＝１２０、丸善石油化学
（株）製）１０ｇとアクリロイルクロライド（関東化学
（株）製）１．６８ｇとを酢酸エチル６０ｍｌ中に加え
１時間攪拌後、水酸化ナトリウム０．７５ｇを加え６０
℃６時間攪拌した。反応混合物を濾過後、ＴＨＦで希釈
し、濾液をトルエンにて再沈後、真空乾燥し、９．４９
ｇの樹脂（変性率１９％）を得た（以下、Ａ−１）。

【００４３】＜合成例２＞ポリ（ｐ−ヒドロキシスチ
レン）の部分アクリレートの合成アクリロイルクロライドを０．８５ｇ用いる以外は合成
例１と同様に操作し、９．００ｇの樹脂（変性率９％）
を得た（以下、Ａ−２）。

【００４４】＜合成例３＞ポリ（ｐ−ヒドロキシスチ
レン）の部分メタクリレートの合成アクリロイルクロライドの代わりにメタクリロイルクロ
ライド（関東化学（株）製）１．９４ｇを用いる以外は
合成例１と同様に操作し、１０．５７ｇの樹脂（変性率
１８％）を得た（以下、Ａ−３）。

【００４５】＜合成例４＞ポリ（ｐ−ヒドロキシスチ
レン）の部分ウレタン化物の合成ポリ（ｐ−ヒドロキシスチレン）１０ｇとジブチルスズ
ジラウレート（ＤＢＴＤＬ）０．１ｇと２，６−ジブチ
ル−４−メチルフェノール（ＢＨＴ）０．００１ｇをテ
トラヒドロフラン（ＴＨＦ）中に加え撹拌し、２−メタ
クリロイルオキシエチルイソシアネート（カレンズＭＯ
Ｉ、昭和電工（株）社製）２．８８ｇをゆっくりと滴下
し、８０〜９０℃、２時間撹拌した。反応混合物を濾過
後、濾液をトルエンとシクロヘキサン混合溶媒にて再沈
し、さらに得られた沈殿を真空乾燥して、１１．３２ｇ
のポリ（ｐ−ヒドロキシスチレン）の部分ウレタン化物
（変性率２０％）を得た（以下、Ａ−４）。

【００４６】＜合成例５＞ポリ（ｐ−ヒドロキシスチ
レン）の部分エポキシ化合物の合成ポリ（ｐ−ヒドロキシスチレン）１０ｇとメタクリル酸
グリシジル（関東化学（株）製）２．５０ｇとヒドロキ
ノン０．０００１ｇとを酢酸エチル５０ｍｌ中に加え１
時間攪拌後、テトラブチルアンモニウムブロミド０．２
８ｇを加え７０℃１２時間撹拌する。反応混合物を濾過
後、ＴＨＦで希釈し、濾液をトルエンにて再沈後、真空
乾燥し、８．３６ｇの樹脂（変性率２０％）を得た（以
下、Ａ−５）。

【００４７】＜実施例１〜１０＞および＜比較例１，２
＞各成分を表１に示す配合比に従い、十分に混合溶解した
ものを感光液とした。脱脂、水洗、乾燥を施した青板ガ
ラス（１．１ｍｍ厚、５インチ角）に、該感光液を膜厚
が２０μｍになるようにドクターブレードにて塗布し、
８０℃１０分間乾燥を行って感光層を形成した後、表面
に３０μｍのポリエステルフィルムを貼り合わせた。こ
の感光層のポリエステルフィルム側にマスクフィルムを
介して超高圧水銀灯（ＨＭＷ−５３２、（株）オーク製
作所社製）を用いて５００ｍＪ／ｃｍ²で露光した直後
に、水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液（ＭＦ−３
１２、シプレイ社製を脱イオン水にて４倍に希釈しも
の）にて現像した。

【００４８】

【表１】

【００４９】＜評価法＞感度はグレースケール（Ｋｏｄ
ａｋＰｈｏｔｏｇｒａｐｈｉｃＳｔｅｐＴａｂｌｅ
ｔＮｏ．２）により、５００ｍＪ／ｃｍ²で硬化した
段数で表した。数字が大きい方が高感度であることを意
味する。解像度はｔｏｐｐａｎ解像度チャートで評価し
た。

【００５０】表１に示されるように、合成例１〜５で合
成されたいずれの樹脂（Ａ−１）〜（Ａ−５）を感光性
樹脂組成物の（Ａ）成分として用いても良好な結果が得
られた。一方、エチレン性不飽和基を導入していないポ
リ（ｐ−ヒドロキシスチレン）では、感度が低く、また
硬化皮膜の膜厚は１０μｍ以下と薄くなっていた。さら
に、一部クラックが生じており、解像度は測定できなか
った。これらは樹脂自体が硬化しないため、現像時に樹
脂が溶解、膨潤、あるいは剥離しやすいことが原因と考
えられる。

【００５１】

【発明の効果】以上、本発明によれば、同光量下でグレ
ースケール感度が、比較例の５に対し７ないし８という
高感度であり、かつ４０μｍ以上という高解像性であ
り、かつ、比較例にて認められた硬化皮膜のクラックを
生じることのない感光性樹脂組成物を提供できる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｇ０３Ｆ 7/027 Ｇ０３Ｆ 7/027 7/028 7/028 Ｈ０１Ｌ 21/027 Ｈ０１Ｌ 21/30 ５０２ＲＦターム(参考） 2H025 AA01 AA02 AB02 AB16 AC01 AD01 BC14 BC31 BC52 BC81 BC92 CA01 CA27 FA03 FA17 4J011 AA05 AA07 BA04 DA02 FA07 FB01 PA65 PB40 PC02 PC08 QA02 QA03 QA06 QA08 QA12 QA13 QA22 SA01 SA21 SA31 SA51 SA63 SA64 UA01 VA01 WA01 4J026 AA20 AC22 AC23 AC33 BA25 BA27 BA28 BA32 BA34 CA02 DB36 FA05 FA09 GA07 GA08 GA10 4J100 AB07P BA03P BA38H CA01 CA04 CA31 DA01 HA62 HC29 HC39 HC51 JA38

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】少なくともアルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、
重合性モノマー（Ｂ）及び、光重合開始剤（Ｃ）を含む
感光性樹脂組成物であり、該アルカリ可溶性樹脂（Ａ）
がエチレン性不飽和基を導入した下記一般式（１）で表
される変性（ヒドロキシスチレン）を構造単位で含む重
合体であることを特徴とした感光性樹脂組成物。【化１】
【請求項２】少なくともアルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、
重合性モノマー（Ｂ）及び、光重合開始剤（Ｃ）を含む
感光性樹脂組成物であり、該アルカリ可溶性樹脂（Ａ）
がエチレン性不飽和基を導入した下記一般式（２）で表
される変性ポリ（ｐ−ヒドロキシスチレン）であること
を特徴とした感光性樹脂組成物。【化２】
【請求項３】前記一般式（１）で表される変性（ｐ−ヒ
ドロキシスチレン）をモノマー単位で含む重合体または
一般式（２）で表される変性ポリ（ｐ−ヒドロキシスチ
レン）が、側鎖水酸基の一部を、エチレン性不飽和基を
有する、酸ハロゲン化物、モノイソシアネート化合物、
またはエポキシ化合物と反応せしめることによって得ら
れることを特徴とした請求項１または２に記載の感光性
樹脂組成物。
【請求項４】前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の前記エチ
レン性不飽和基の導入率が１〜５０％の範囲にあること
を特徴とした請求項１〜３のいずれかに記載の感光性樹
脂組成物。
【請求項５】前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の重量平均
分子量が１，０００以上、１００，０００以下であるこ
とを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の感光性
樹脂組成物。