JP2002236103A - 導電率計の電極 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 低濃度の電解質液の濃度を測定でき、腐食性
の電解質液の濃度を測定でき、かつ低コストな導電率計
の電極を提供する。 【解決手段】 導電率計の電極１は電極部材９ａ，９ｂ
とホルダ８と支持部４などを備えている。電極部材９
ａ，９ｂはガラス状カーボンの中実材であり円環状に形
成されている。ホルダ８は電極部材９ａ，９ｂを同軸的
に位置させて支持する。ホルダ８は各電極部材９ａ，９
ｂと密接する段差面８ｄ，８ｅを備えている。支持部４
はホルダ８の基端部８ｆを支持する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体の洗浄装
置などの各種の製造装置、産業機械、農業、食品、医療
関係などの各分野における水質管理、原子力発電所の冷
却水の絶縁性及び各種の薬液の濃度管理などに用いられ
る導電率計の電極に関する。

【０００２】

【従来の技術】洗浄装置などの半導体の各種の製造装
置、産業機械、農業、食品、医療関係などの各分野にお
ける水質管理及び各種の薬液（電解質液）の濃度管理な
どにおいて、該電解質液の濃度を測定するために、前記
電解質液の導電率を測定する導電率計が用いられる。例
えば、前述した半導体の各種の製造装置において、各種
の薬液（電解質液）の濃度を測定する導電率計には、特
開平８―１５３４１号公報に示された電磁誘導式の電極
１０１（図７に示す）が用いられる。なお、特に半導体
の各種の製造装置には、例えばフッ酸などの腐食性を有
する薬液（電解質液）が用いられることが多い。

【０００３】図７に例示された電磁誘導式の電極１０１
は、特開平８―１５３４１号公報に示されているよう
に、励磁トランス１０２と、検出トランス１０３と、絶
縁ケース１０４と、を備えている。励磁トランス１０２
は、１次コイルが巻かれたトロイダルコアからなる。検
出トランス１０３は、２次コイルが巻かれたトロイダル
コアからなる。前記絶縁ケース１０４は、前記励磁トラ
ンス１０２と検出トランス１０３とを覆って、これらの
トランス１０２，１０３に腐食性の薬液（電解質液）が
接触することを防止している。

【０００４】励磁トランス１０２には、交流電源が接続
している。検出トランス１０３に電流計などが接続して
いる。電磁誘導式の電極１０１は、前記交流電源によっ
て励磁トランス１０２が印加されて、電解質液中で矢印
Ｙで示す電磁誘導作用を生じ、前記検出トランス１０３
に誘導電流が流れる。電磁誘導式の電極１０１を用いた
導電率計は、前記誘導電流の電流値及び電流値の変化を
測定することにより、前記電解質液の導電率を測定す
る。

【０００５】この電磁誘導式の電極１０１は、各トラン
ス１０２，１０３を腐食性の薬液（電解質液）から保護
するために、前記絶縁ケース１０４で各トランス１０
２，１０３を覆っている。このため、感度が低く、低濃
度の薬液（電解質液）の導電率の測定には不向きであ
る。

【０００６】また、感度が低いので、前記検出トランス
１０３から取り出せる信号（誘導電流）が微弱となり、
外部環境のノイズ（電気的な不要信号）の影響を受けや
すい。このため、前記電磁誘導式の電極１０１を用いる
と、ノイズを遮断するための機械的な構造や前記検出ト
ランス１０３からの信号を受ける電子回路が複雑とな
り、コストが高騰する傾向となっていた。

【０００７】前記電磁誘導式の電極１０１の低感度であ
るという問題を解決するために、例えば特開平２０００
−１６２１６８号公報に示された電極１１０（図８に示
す）が提案されている。

【０００８】この公報に記載された電極１１０は、図８
に例示するように、電極部材としての内電極１１１と、
電極部材としての外電極１１２と、支持部材１１３など
を備えている。内電極１１１は、円柱状に形成されてい
る。内電極１１１は、グラファイトからなる母材１１１
ａと、該母材１１１ａの外表面を覆う耐食層１１１ｂ
と、を備えている。耐食層１１１ｂは、ガラス状カーボ
ンからなる。

【０００９】外電極１１２は、内電極１１１の外径よ
り、内径が大きい円管状に形成されている。外電極１１
２は、内側に内電極１１１が挿入されることにより、該
内電極１１１と同軸的に配されている。外電極１１２
は、グラファイトからなる母材１１２ａと、該母材１１
２ａの外表面を覆う耐食層１１２ｂと、を備えている。
耐食層１１２ｂは、ガラス状カーボンからなる。

【００１０】支持部材１１３は、内電極１１１の外周に
嵌合し、かつ外電極１１２の内周に嵌合して、各電極１
１１，１１２の基端部を支持している。支持部材１１３
は、電極１１１，１１２間の間隔を所定間隔としてい
る。支持部材１１３にも、前記電解質液を接触する外表
面には、ガラス状カーボンからなる耐食層１１３ａが形
成されている。支持部材１１３は、内部に各電極１１
１，１１２と電気的に接続した電線などを収容する図示
しない空間を有している。

【００１１】前述した構成の電極１１０を備えた導電率
計は、各電極１１１，１１２のうち一方に交流電圧など
を印加して、他方からの電流値を測定することにより、
前記電解質液内を流れる電流に基いて、前記電解質液の
導電率を測定する。前記電極１１０は、各電極１１１，
１１２の外表面にガラス状カーボンからなる耐食層１１
１ｂ，１１２ｂを形成することにより、腐食性を有する
薬液（電解質液）中に直接各電極１１１，１１２を配置
して、測定感度の低下を抑制している。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た公報に記載された電極１１０は、各電極１１１，１１
２の母材１１１ａ，１１２ａを構成するグラファイト
が、ガラス状カーボンより密度が低く化学的な安定度も
低い。このため、腐食性の電解質液の導電率を測定しよ
うとすると、ガラス状カーボンからなる耐食層１１１
ｂ，１１２ｂを外表面に形成するだけでは、前記薬液が
グラファイトからなる母材１１１ａ，１１２ａ内にしみ
こんでしまうことが考えられる。

【００１３】本発明の出願人は、前述した構成の電極１
１０を、前記腐食性の電解質液としてのフッ酸内に挿入
すると、前記母材１１１ａ，１１２ａにフッ酸がしみこ
むことを確認している。このため、前記電極１１０は、
例えば、フッ酸などの腐食性の電解質液の導電率を測定
するには、不向きである。

【００１４】また、前記電磁誘導式の電極１０１の低感
度であるという問題を解決するために、実用新案登録第
２５２８０２５号公報に示された電極１２０（図９に示
す）が提案されている。

【００１５】前記電極１２０は、図９に示すように、一
対の電極部材１２１を備えており、該電極部材１２１
が、ガラス状カーボンからなる中実材で構成されてい
る。前記電極１２０は、電極部材１２１をガラス状カー
ボンなどから構成することにより、腐食性を有する薬液
中に直接電極部材１２１を配置して、測定感度の低下を
抑制している。

【００１６】しかしながら、前記電極１２０は、電極部
材１２１を計測対象の配管などに取り付けるために、電
極部材１２１間の間隔を一定に保つ必要が生じる。電極
部材１２１が、円柱状の中実材であるため、電極形状が
限られ、シール方法がむずかしく、高温から低温までの
幅広い温度で使用できるものの製作がむずかしかった。

【００１７】このため、前記電極１２０は、同軸構造で
ないことと、高温から低温まで広い温度範囲を、前記理
由により、安定的に、電解質液の導電率を測定すること
が困難となる。また、一対の電極部材１２１を互いに所
定間隔離して取り付けるため、取付にかかる所要スペー
スが増大する。このため、電極１２０自体が大型化して
望ましくない。

【００１８】一方、図８に例示された各電極１１１，１
１２を同軸的に配した電極１１０は、前記支持部材１１
３の空間内に、前記内電極１１１と支持部材１１３との
間から電解質液が侵入することを防止するために、Ｏリ
ング１１５を備えている。Ｏリング１１５は、例えば、
シリコーンゴムなどの弾性を有する合成ゴムなどからな
る。

【００１９】前述した合成ゴムからなるＯリング１１５
は、前記電解質液が低温の場合には、弾性を失い前記内
電極１１１と支持部材１１３との間を液密に保てない。
一方、前記電解質液が高温の場合には、劣化して硬くな
り、前記内電極１１１と支持部材１１３との間を液密に
保てない。

【００２０】また、Ｏリング１１５を構成する合成ゴム
には、酸性の電解質液に対する耐食性が高いがアルカリ
性の電解質液に対する耐食性が低いものや、酸性の電解
質液とアルカリ性の電解質液との双方に対する耐食性が
高いが有機溶剤に対する耐食性が低いものなど、全ての
薬液（電解質液）に対する耐食性の優れたものがない。

【００２１】このため、前述したように、Ｏリング１１
５を用いると、内電極１１１と支持部材１１３との間を
確実に液密に保てなくなる。そして、前記空間内に電解
質液が侵入して、導電率計の電極１１０が、電解質液の
導電率を測定する際に不具合が生じる恐れがあった。

【００２２】また、ガラス状カーボンは、カーボンを超
高温にて長時間熱処理することにより、ガラス化して得
られるため、一度に製造できる量が少なく、非常に硬
い。さらに、ガラス状カーボンは、一度に製造できる量
が少ないため、非常に高価である。ガラス状カーボン
は、非常に硬いため、衝撃などにもろく、加工が非常に
困難であった。

【００２３】したがって、本発明の第１の目的は、低濃
度の電解質液の導電率を確実に測定でき、かつ腐食性の
電解質液の導電率を確実に測定できるとともに、低コス
トな導電率計の電極を提供することにある。

【００２４】本発明の第２の目的は、小型化を図ること
ができ、安定して電解質液の導電率を測定可能な導電率
計の電極を提供することにある。

【００２５】本発明の第３の目的は、測定対象物として
の電解質液が内部に侵入することを防止して、測定する
際に生じる不具合を防止できる導電率計の電極を提供す
ることにある。

【００２６】

【課題を解決するための手段】前記第１の目的を達成す
るために、請求項１に記載の本発明の導電率計の電極
は、複数の電極部材が計測対象の電解質液の流路中に所
定間隔離れて配置され、電極部材間に電圧を印加して、
前記電解質液内を流れる電流に基いて前記電解質液の導
電率を測定する導電率計の電極において、前記電極部材
が、円環状に形成されているとともに、ガラス状カーボ
ンからなる中実材であることを特徴としている。

【００２７】前記第１の目的にくわえ、第２の目的を達
成するために、請求項２に記載の本発明の導電率計の電
極は、請求項１記載の導電率計の電極において、前記電
極部材それぞれの内側を通る電極部材嵌合部を複数有
し、かつ該複数の電極部材嵌合部を同軸的に配している
とともに、前記電解質液中で非溶出性の絶縁体からなる
ホルダを備えていることを特徴としている。

【００２８】前記第１及び第２の目的にくわえ、第３の
目的を達成するために、請求項３に記載の本発明の導電
率計の電極は、請求項２記載の導電率計の電極におい
て、前記ホルダは円管状に形成され、前記ホルダの基端
部を支持するとともに前記電極部材それぞれと接続した
複数の電線を収容する空間を有する支持部を備え、前記
ホルダは、前記電極部材それぞれと密接して、電極部材
それぞれとの間を液密に保つシール面を備えていること
を特徴としている。

【００２９】前記第１、第２及び第３の目的を達成する
ために、請求項４に記載の本発明の導電率計の電極は、
請求項３に記載の導電率計の電極において、前記ホルダ
は、前記複数の電極部材を、前記基端部から先端部に向
かって並べて支持するとともに、前記支持部は、前記複
数の電極部材のうち基端側の電極部材と密接して、該基
端側の電極部材との間を液密に保つ第２シール面を備え
ていることを特徴としている。

【００３０】前記第１、第２及び第３の目的を達成する
ために、請求項５に記載の本発明の導電率計の電極は、
請求項４に記載の導電率計の電極において、前記電解質
液の温度に応じた情報を取り出す温度検出部と、前記温
度検出部を収容する有底筒状の感温筒と、を備え、前記
感温筒は、円板状の円板部と該円板部から立設した筒部
とを有し、前記円板部が先端側に位置した状態で前記ホ
ルダ内に嵌合するとともに、前記円板部の外径は、前記
筒部の外径より大きく形成されており、前記円板部の外
縁部には、前記複数の電極部材のうち先端側の電極部材
と接触するシール体が設けられていることを特徴として
いる。

【００３１】前記第１、第２及び第３の目的を達成する
ために、請求項６に記載の本発明の導電率計の電極は、
請求項５に記載の導電率計の電極において、前記感温筒
とホルダとを前記基端部に向かって付勢する付勢手段
と、前記感温筒とホルダとが前記基端部に向かって変位
することを規制する規制手段と、を備えたことを特徴と
している。

【００３２】前記第１、第２及び第３の目的を達成する
ために、請求項７に記載の本発明の導電率計の電極は、
請求項６に記載の導電率計の電極において、シール体
は、低エラストマ性の合成樹脂からなることを特徴とし
ている。

【００３３】前記第１、第２及び第３の目的を達成する
ために、請求項８に記載の本発明の導電率計の電極は、
請求項３ないし請求項７のうちいずれか一項に記載の導
電率計の電極において、前記支持部は、前記ホルダの基
端部を支持しかつ前記第２シール面を有する第２ホルダ
を備えているとともに、該第２ホルダは低エラストマ性
の合成樹脂からなることを特徴としている。

【００３４】前記第１、第２及び第３の目的を達成する
ために、請求項９に記載の本発明の導電率計の電極は、
請求項２ないし請求項８のうちいずれか一項に記載の導
電率計の電極において、前記ホルダの絶縁体は、低エラ
ストマ性の合成樹脂であることを特徴としている。

【００３５】前記第１、第２及び第３の目的を達成する
ために、請求項１０に記載の本発明の導電率計の電極
は、請求項３ないし請求項９のうちいずれか一項に記載
の導電率計の電極において、筒状に形成され、かつ内側
に前記複数の電極部材とホルダとを収容して前記支持部
に取り付けられる電極カバーを備え、前記電極カバー
が、前記支持部に着脱自在であることを特徴としてい
る。

【００３６】請求項１に記載した本発明の導電率計の電
極によれば、電極部材がガラス状カーボンからなる中実
材であるため、該電極部材を腐食性の電解質液中に露出
させることができる。また、電極部材が、円環状である
ので、高温・高圧下で成形する際に、製品に近い形状ま
で成形できる。また、電極部材が、円環状であるのでガ
ラス状カーボンの質量を抑制できる。

【００３７】なお、本明細書でいうガラス状カーボン
は、実用新案登録第２５２８０２５号公報にも示されて
いるように、セルロースや樹脂などを熱分解して炭素化
することにより得られる。ガラス状カーボンは、低密度
でありながら気孔率が非常に小さく、化学的に極端に不
活性であって、しかもガラスと同等の硬度並びに金属と
同程度の電気抵抗値を有する。

【００３８】請求項２に記載した本発明の導電率計の電
極によれば、電極部材嵌合部に電極部材を嵌合させるホ
ルダが電解質液中で非溶質であるので、該電極部材に加
えてホルダも、腐食性の電解質液中に露出させることが
できる。また、電極部材嵌合部が同軸的に配されている
ので、ホルダが電極部材を同軸的に配すこととなる。

【００３９】請求項３に記載した本発明の導電率計の電
極によれば、ホルダのシール面が、電極部材それぞれと
密接する。そして、前記シール面が電極部材それぞれと
の間を液密に保つ。このため、前記ホルダと電極部材と
の間が液密に保たれる。

【００４０】請求項４に記載した本発明の導電率計の電
極によれば、第２シール面が基端側の電極部材と支持部
との間を液密に保つ。

【００４１】請求項５に記載した本発明の導電率計の電
極によれば、感温筒の底部の外縁部にシール体が設けら
れているので、前記シール体と先端側の電極部材との間
が液密となる。

【００４２】請求項６に記載した本発明の導電率計の電
極によれば、付勢手段が感温筒及びホルダを基端部に向
かって付勢し、規制手段が感温筒及びホルダが基端部に
向かって変位することを規制する。このため、電極部材
とシール面とがより密接するとともに、基端側の電極部
材と第２シール面とがより密接し、先端側の電極部材と
シール体とがより密接する。

【００４３】請求項７に記載した本発明の導電率計の電
極によれば、シール体が、低エラストマ性の合成樹脂で
あるので、先端側の電極部材と密接する際に、殆ど弾性
変形しない。このため、前記シール体は、殆ど弾性変形
しないため、電解質液の温度が高温である場合や低温で
ある場合に、感温筒とホルダとを基端部に向かって付勢
する付勢手段と、感温筒とホルダとが基端部に向かって
変位することを規制する規制手段とによって、前記先端
側の電極部材との間を液密に保つ。

【００４４】請求項８に記載した本発明の導電率計の電
極によれば、第２ホルダが、低エラストマ性の合成樹脂
であるので、基端側の電極部材と密接する際に、殆ど弾
性変形しない。このため、前記第２ホルダは、殆ど弾性
変形しないため、電解質液の温度が高温である場合や低
温である場合に、感温筒とホルダとを基端部に向かって
付勢する付勢手段と、感温筒とホルダとが基端部に向か
って変位することを規制する規制手段とによって、前記
基端側の電極部材との間を液密に保つ。

【００４５】請求項９に記載した本発明の導電率計の電
極によれば、ホルダが低エラストマ性の合成樹脂である
ので、シール面が各電極部材と密接する際に、殆ど弾性
変形しない。このため、殆ど弾性変形しないため、電解
質液の温度が高温である場合や低温である場合に、弾性
が失われても、電極部材との間を液密に保つ。なお、本
明細書でいう低エラストマ（Elastomer）性の合成樹脂
とは、ホルダが電極部材との間を液密に保つ際の弾性変
形量及びシール体が前記先端側の電極部材とを液密に保
つ際の弾性変形量が、問題とならない程小さいものを示
している。

【００４６】さらに、前記ホルダ及びシール体を構成す
る低エラストマ性の合成樹脂として、エラストマ性を殆
ど有していない高プラストマ（Plastomer）性の合成樹
脂であるのが望ましい。この場合、ホルダが電極部材と
の間を液密に保つ際の弾性変形量がより非常に小さいと
ともに、シール体が前記先端側の電極部材との間を液密
に保つ際の弾性変形量がより非常に小さい。前記ホルダ
及びシール体を構成する合成樹脂として、従来より周知
のフッ素樹脂を用いることができる。

【００４７】請求項１０に記載した本発明の導電率計の
電極によれば、電極カバーが、支持部に対し着脱自在で
あるので、電極カバーを取り外すことにより、容易に電
極部材とホルダなどを清掃できる。

【００４８】

【発明の実施の形態】本発明の一実施形態を図１ないし
図６を参照して説明する。図１などに示す本発明の一実
施形態にかかる導電率計の電極１は、半導体の洗浄装置
などの各種の工程で用いられる製造装置、産業機械、農
業、食品、医療関係などの各分野における電解質液とし
ての各種の薬液の濃度管理などに用いられる。前記電極
１を用いた導電率計は、計測対象物としての前述した電
解質液の濃度を測定するために、前記電解質液の導電率
を測定する装置である。前記電極１は、例えば、半導体
の製造装置には、電解質液としてのフッ酸の導電率を測
定するために用いられる。

【００４９】導電率計の電極１は、図１などに示すよう
に、測定部２と、支持部４と、電解質液の温度に応じた
情報を取り出す温度検出部５と、を備えている。測定部
２は、感温筒３と、ホルダ８と、導電パイプ１４と、第
１電極部材９ａと、第２電極部材９ｂと、を備えてい
る。

【００５０】感温筒３は、導電性を有する金属などから
なり、有底筒状に形成されている。感温筒３は、円板状
の円板部３ａと、該円板部３ａから立設した円筒状の筒
部３ｂと、を一体に備えている。円板部３ａと筒部３ｂ
とは、互いに同軸的でかつ直列に連結している。円板部
３ａの外径は、筒部３ｂの外径より大きく形成されてい
る。このため、円板部３ａの外縁部３ｃは、図１及び図
２に示すように、筒部３ｂの外周面より外方向に突出し
ている。筒部３ｂの外周面より突出した外縁部３ｃに
は、外表面にシール体１３が貼り付けられている。

【００５１】シール体１３は、殆ど弾性変形しない低エ
ラストマ（Elastomer）性でかつ前述した電解質液に対
し耐食性の合成樹脂からなる。シール体１３は、後述す
るように、コイルばね１７によって測定部２が基端側に
付勢された際の弾性変形量が、問題とならない程小さ
い。また、シール体１３は、エラストマ性を殆ど有して
いない高プラストマ（Plastomer）性の合成樹脂である
のが望ましい。この場合、前述した弾性変形量が、より
非常に小さい。図示例では、シール体１３は、周知のフ
ッ素樹脂からなる。

【００５２】感温筒３は、前記円板部３ａが導電率計の
電極１の測定部２の先端側に位置しかつ筒部３ｂが基端
側に位置した状態でホルダ８内に嵌合する。このため、
筒部３ｂ内には、感温筒３の基端部３ｄ側に位置する端
面３ｅと前記感温筒３の先端部３ｆとに亘って、孔３ｇ
が形成されている。感温筒３は、例えばハステロイなど
のニッケルとクロムとモリブデンとを多く含みかつタン
グステンを含んだ耐食合金から形成されるのが望まし
い。

【００５３】ホルダ８は、殆ど弾性変形しない低エラス
トマ（Elastomer）性であるとともに前述した電解質液
中で非溶出性の合成樹脂からなる。ホルダ８は、内径
が、前記感温筒３の外径と略等しい円管状に形成されて
いる。なお、ホルダ８を構成する低エラストマ性の合成
樹脂は、本明細書に記した絶縁体をなしている。

【００５４】ホルダ８は、外径が比較的小さい第１小径
部８ａと、外径が比較的小さい第２小径部８ｂと、外径
が比較的大きい大径部８ｃと、を備えている。第１小径
部８ａは、第２小径部８ｂより外径が略等しいか大きく
形成されている。大径部８ｃは、外径が、小径部８ａ，
８ｂの外径より大きい。

【００５５】ホルダ８は、小径部８ａ，８ｂを軸方向の
端部に位置させかつ大径部８ｃを軸方向の中央に位置さ
せている。ホルダ８は、小径部８ａ，８ｂと大径部８ｃ
とを互いに同軸的でかつ直列に連結している。また、ホ
ルダ８は、第１小径部８ａが測定部２の先端側に位置
し、第２小径部８ｂが測定部の基端側に位置している。

【００５６】第１小径部８ａは、第１電極部材９ａの厚
みより軸方向に沿った長さが短く、第２小径部８ｂは、
第２電極部材９ｂの厚みより軸方向に沿った長さが長く
形成されている。第１小径部８ａは、外周に第１電極部
材９ａが嵌合する。こうして、第１小径部８ａは、第１
電極部材９ａの内側を通る。第２小径部８ｂは、外周に
導電パイプ１４が嵌合する。該導電パイプ１４の外周に
第２電極部材９ｂが嵌合する。こうして、第２小径部８
ｂは、第２電極部材９ｂの内側を通る。なお、前記小径
部８ａ，８ｂは、それぞれ、本明細書に記した電極部材
嵌合部をなしている。

【００５７】また、ホルダ８の第１小径部８ａと大径部
８ｃとの間の段差面８ｄと、ホルダ８の第２小径部８ｂ
と大径部８ｃとの間の段差面８ｅと、は本明細書に記し
たシール面をなしている。ホルダ８は、後述するよう
に、コイルばね１７によって測定部２が基端側に付勢さ
れた際の弾性変形量が、問題とならない程小さい。

【００５８】また、ホルダ８は、エラストマ性を殆ど有
していない高プラストマ（Plastomer）性の合成樹脂で
あるのが望ましい。この場合、前述した弾性変形量が、
より非常に小さい。図示例では、ホルダ８は、周知のフ
ッ素樹脂からなる。

【００５９】導電パイプ１４は、図１及び図３に示すよ
うに、導電性を有する金属からなり、円管状に形成され
ている。導電パイプ１４は、内径が第２小径部８ｂの外
径と略等しい。導電パイプ１４は、外径が第１小径部８
ａの外径と略等しい。導電パイプ１４は、外径が第２電
極部材９ｂの内径より若干小さい。また、導電パイプ１
４は、外周面から外方向に突出した鍔１４ａを一体に備
えている。

【００６０】電極部材９ａ，９ｂは、それぞれ、ガラス
状カーボンからなる中実材である。電極部材９ａ，９ｂ
は、それぞれ円環状に形成されている。電極部材９ａ，
９ｂは、内径が、第１小径部８ａと導電パイプ１４との
双方の外径と略等しい。第１電極部材９ａは、厚みが第
２電極部材９ｂの厚みより厚い。前記第１電極部材９ａ
は、本明細書に記したシール体１３と接触する先端側の
電極部材をなしている。第２電極部材９ｂは、本明細書
に記した基端側の電極部材をなしている。

【００６１】なお、これらの電極部材９ａ，９ｂを構成
するガラス状カーボンは、実用新案登録第２５２８０２
５号公報に示されているように、セルロースや樹脂など
を熱分解して炭素化することにより得られる。ガラス状
カーボンは、低密度でありながら気孔率が非常に小さ
く、化学的に極端に不活性であって、しかもガラスと同
等の硬度並びに金属と同程度の電気抵抗値を有する。

【００６２】前述した構成の測定部２は、以下のように
組み立てられる。図５に示すように、まず、導電パイプ
１４の外周に第２電極部材９ｂを嵌合させ、該導電パイ
プ１４を第２小径部８ｂの外周に嵌合させる。第１小径
部８ａの外周に第１電極部材９ａを嵌合させる。このと
き、第２電極部材９ｂは、ホルダ８などの軸方向に沿っ
て、前記鍔１４ａと段差面８ｅとの間に位置している。

【００６３】その後、第１電極部材９ａが、外縁部３ｃ
に形成されたシール体１３と接触するように、感温筒３
の外周にホルダ８を嵌合させる。このとき、前記感温筒
３とホルダ８と導電パイプ１４と各電極部材９ａ，９ｂ
とは、互いに同軸的に配される。ホルダ８は、電極部材
９ａ，９ｂを先端部８ｇ（図１に示す）から基端部８ｆ
に向かって並べて支持する。測定部２は、このように組
み立てられて、前記感温筒３とホルダ８の基端部３ｄ，
８ｆが支持部４によって支持される。

【００６４】第１電極部材９ａが第１小径部８ａに嵌合
して段差面８ｄに接触し、第２電極部材９ｂが導電パイ
プ１４に嵌合して段差面８ｅに接触することによって、
電極部材９ａ，９ｂは、感温筒３とホルダ８との軸方向
に沿った間隔が所定間隔ｔ（図１に示す）に保たれる。

【００６５】また、前述した測定部２は、導電スプリン
グ１５を備えている。導電スプリング１５は、図２及び
図６に示すように、内側に感温筒３の筒部３ｂを通し、
かつ第１電極部材９ａ内を通っているとともに、前記第
１小径部８ａと外縁部３ｃとの間に配される。導電スプ
リング１５は、導電性を有する金属からなり、円環状に
形成されている。

【００６６】導電スプリング１５は、図６などに示すよ
うに、断面がＶ字状に形成されている。導電スプリング
１５は、外縁部に切欠１５ａ（図６に示す）を複数形成
している。切欠１５ａは、外縁から内方向に向かって、
導電スプリング１５を切り欠いている。切欠１５ａは、
導電スプリング１５の周方向に沿って等間隔に配されて
いる。導電スプリング１５は、内径と外径との双方が伸
縮するように、弾性変形自在となっている。導電スプリ
ング１５を構成する金属として、例えばハステロイなど
のニッケルとクロムとモリブデンとを多く含みかつタン
グステンを含んだ耐食合金や、ＳＵＳ３１６Ｌ鋼や、Ｓ
ＵＳ３０４鋼などを用いることができる。

【００６７】導電スプリング１５は、感温筒３の筒部３
ｂの外周に嵌合し、第１電極部材９ａの内周に嵌合し
て、前記感温筒３などと同軸的に配される。導電スプリ
ング１５は、感温筒３の筒部３ｂの外周に嵌合し、第１
電極部材９ａの内周に嵌合すると、筒部３ｂと第１電極
部材９ａとを互いに離す方向に弾性復元力を生じて、前
記筒部３ｂと第１電極部材９ａとに接触する。こうし
て、導電スプリング１５は、第１電極部材９ａと感温筒
３とを電気的に接続する。

【００６８】前記支持部４は、測定部２の基端部即ち、
感温筒３とホルダ８などの基端部３ｄ，８ｆを支持して
いる。支持部４は、図１に示すように、第２ホルダとし
ての測定部ホルダ１１と、基端キャップ１２などを備え
ている。

【００６９】測定部ホルダ１１は、絶縁性でかつ殆ど弾
性変形しない低エラストマ（Elastomer）性であるとと
もに前述した電解質液に対し耐食性の合成樹脂からな
る。測定部ホルダ１１は、円板状の底部１１ａと、該底
部１１ａの外縁に連なる円筒状の筒部１１ｂと、を一体
に備えて有底筒状に形成されている。

【００７０】底部１１ａは、外径が電極部材９ａ，９ｂ
の外径より大きく形成されている。底部１１ａの両表面
は、平坦に形成されている。底部１１ａは、図１及び図
３に示すように、中央に孔１１ｃを設けている。孔１１
ｃは、平面形状が円形に形成されかつ内径が導電パイプ
１４の外径と略等しく形成されている。筒部１１ｂは、
内径が電極部材９ａ，９ｂの外径と略等しいか前記外径
より大きい円筒状に形成されている。筒部１１ｂは、内
径が軸方向に沿って一定に形成されている。

【００７１】測定部ホルダ１１は、円板部１１ａの孔１
１ｃ内に導電パイプ１４を通して、測定部２の基端部を
支持する。測定部２の基端部を支持した際に、第２電極
部材９ｂと接触する測定部ホルダ１１の底部１１ａの表
面１１ｄは、本明細書に記した第２シール面と規制手段
をなしている。

【００７２】測定部ホルダ１１は、後述するように、コ
イルばね１７によって測定部２が基端側に付勢された際
の弾性変形量が、問題とならない程小さい。また、測定
部ホルダ１１は、エラストマ性を殆ど有していない高プ
ラストマ（Plastomer）性の合成樹脂であるのが望まし
い。この場合、前述した弾性変形量が、より非常に小さ
い。図示例では、測定部ホルダ１１は、周知のフッ素樹
脂からなる。

【００７３】基端キャップ１２は、円板部と筒部とを有
する有底筒状に形成されている。円板部は、円板状に形
成されている。筒部は、円筒状に形成されかつ円板部の
外縁に連なっている。

【００７４】基端キャップ１２は、周知のポリアミド樹
脂（ナイロン）などの合成樹脂から形成されている。基
端キャップ１２は、前記筒部が前記測定部ホルダ１１の
基端部の外周に嵌合して配される。基端キャップ１２
は、前記筒部が測定部ホルダ１１の基端部の外周に、周
知のエポキシ系接着剤によって接着されて固定されてい
る。

【００７５】基端キャップ１２は、前記円板部を貫通す
る丸孔を備えている。丸孔は、平面形状が略円形に形成
されている。丸孔は、前記円板部と同軸的に配されてい
る。丸孔は、内側に温度検出部５の後述する電線束３０
が通る。

【００７６】基端キャップ１２などの内側には、図示し
ないＯリングが設けられている。Ｏリングは、シリコー
ンゴムなどの弾性体などからなり、円環状に形成されて
いる。Ｏリングは、軸線に沿った断面形が円形に形成さ
れている。Ｏリングは、弾性変形していない初期状態に
おいて、内径が前記電線束３０の外径より小さくかつ外
径が測定部ホルダ１１の内径より小さく形成されてい
る。

【００７７】Ｏリングは、内側に電線束３０を通して、
前記測定部ホルダ１１の内側即ち基端キャップ１２の筒
部の内側に配される。Ｏリングは、前記基端キャップ１
２内に設けられると、前記電線束３０と、測定部ホルダ
１１の内周面と、の間を液密に保ち、後述する空間１６
内に電解質液が侵入することを防止する。

【００７８】また、前記支持部４は、測定部ホルダ１１
の底部１１ａの表面と、筒部１１ｂの内周面等で囲まれ
た空間１６を、内部に形成している。この空間１６に
は、前記孔３ｇが開口している。

【００７９】また、支持部４は、導電ホルダ１８と、導
電止め輪１９と、絶縁ワッシャ２０と、第１の止め輪２
１と、付勢手段としてのコイルばね１７と、を備えてい
る。これらの導電ホルダ１８と、導電止め輪１９と、絶
縁ワッシャ２０と、第１の止め輪２１と、コイルばね１
７とは、図１、図３及び図４に示すように、前記空間１
６内に収容されている。

【００８０】導電ホルダ１８は、導電性を有する金属か
らなり、円板状の円板部１８ａと円筒状の筒部１８ｂと
を一体に備えて、有底筒状に形成されている。円板部１
８ａと筒部１８ｂとは、外径が、測定部ホルダ１１の内
径と略等しい。筒部１８ｂは、円板部１８ａの外縁に連
なっている。

【００８１】導電ホルダ１８は、円板部１８ａの中央に
孔１８ｃを設けている。孔１８ｃは、平面形状が円形に
形成されており、内径が導電パイプ１４の外径と略等し
い。導電ホルダ１８は、円板部１８ａが測定部ホルダ１
１の底部１１ａに重なり、かつ筒部１８ｂが測定部ホル
ダ１１の筒部１１ｂ内に嵌合した状態で、空間１６内に
収容される。このとき、前記孔１８ｃ内に導電パイプ１
４を通して、測定部２の基端部を支持する。

【００８２】導電止め輪１９は、ステンレス鋼などの導
電性を有する周知の鋼などからなりかつ円環状に形成さ
れている。導電止め輪１９は、外径が、導電ホルダ１８
の筒部１８ｂの内径と略等しく形成されている。導電止
め輪１９は、内縁が導電パイプ１４の外周に係止する。

【００８３】導電止め輪１９は、導電ホルダ１８の円板
部１８ａに重ねられかつ内側に導電パイプ１４を通すと
ともに該導電パイプ１４に係止して、前記空間１６内に
収容される。導電止め輪１９は、導電パイプ１４の外周
に係止することにより、前記導電パイプ１４即ち測定部
２が支持部４から抜け出ることを防止する。

【００８４】絶縁ワッシャ２０は、絶縁性を有する合成
樹脂からなり、かつ円環状に形成されている。絶縁ワッ
シャ２０は、図１及び図４などに示すように、内径が感
温筒３の筒部３ｂの外径より若干大きく、外径が導電ホ
ルダ１８の筒部１８ｂの内径と略等しく形成されてい
る。絶縁ワッシャ２０は、内側に感温筒３の筒部３ｂを
通しかつ前記円板部１８ａと間隔を存して前記筒部１８
ｂ内即ち空間１６内に収容される。

【００８５】第１の止め輪２１は、ステンレス鋼などの
周知の鋼などからなり円環状に形成されている。第１の
止め輪２１は、外径が導電ホルダ１８の筒部１８ｂの内
径より小さく形成されている。第１の止め輪２１は、内
縁が、感温筒３の筒部３ｂの外周に係止する。第１の止
め輪２１は、図１及び図４などに示すように、絶縁ワッ
シャ２０に重ねられかつ内側に感温筒３の筒部３ｂを通
した格好で、内縁が筒部３ｂの外周に係止する。

【００８６】第１の止め輪２１は、絶縁ワッシャ２０に
重なりかつ内縁が前記筒部３ｂの外周に係止して、前記
筒部１８ｂ内即ち空間１６内に収容される。第１の止め
輪２１は、内縁が感温筒３の筒部３ｂの外周に係止する
ことによって、前記絶縁ワッシャ２０が筒部３ｂの基端
部３ｄ側から抜け出ることを防止する。

【００８７】コイルばね１７は、前述したハステロイな
どの耐食合金や、ＳＵＳ３１６Ｌ鋼や、ＳＵＳ３０４鋼
などの金属からなる。コイルばね１７は、内径が導電パ
イプ１４の外径より大きく、外径が導電ホルダ１８の筒
部１８ｂの内径より小さく形成されている。コイルばね
１７は、前記導電止め輪１９と絶縁ワッシャ２０との間
で、かつ内側に導電パイプ１４を通した状態で、前記筒
部１８ｂ内即ち空間１６内に収容される。

【００８８】コイルばね１７は、前記導電止め輪１９と
絶縁ワッシャ２０との間に位置し、前記空間１６内に収
容されると、互いに離れる方向に、前記導電止め輪１９
と絶縁ワッシャ２０を付勢する。すると、第１の止め輪
２１によって絶縁ワッシャ２０が筒部３ｂの基端部３ｄ
側から抜け出ることが防止されているので、コイルばね
１７は、感温筒３を基端部３ｄに向かって付勢する。

【００８９】そして、感温筒３の円板部３ａの外縁部３
ｃによって、第１導電部材９ａとホルダ８と第２導電部
材９ｂが、基端部３ｄ側に付勢される。こうして、コイ
ルばね１７は、感温筒３とホルダ８とを基端部３ｄに向
かって付勢する。すると、底部１１ａの表面１１ｄが第
２電極部材９ｂと接触して、感温筒３及びホルダ８が基
端部３ｄに向かって変位することが規制される。シール
体１３と第１電極部材９ａとは隙間無く密接し、第１導
電部材９ａと段差面８ｄとが隙間無く密接し、第２導電
部材９ｂと段差面８ｅとが隙間無く密接し、第２導電部
材９ｂと測定部ホルダ１１の底部１１ａとが隙間無く密
接する。

【００９０】前記シール体１３とホルダ８と測定部ホル
ダ１１とが、低エラストマ性の合成樹脂からなるので、
前記シール体１３とホルダ８と測定部ホルダ１１とが若
干弾性変形する。

【００９１】そして、前記シール体１３と第１電極部材
９ａとの間と、第１導電部材９ａと段差面８ｄとの間
と、第２導電部材９ｂと段差面８ｅとの間と、第２導電
部材９ｂと測定部ホルダ１１の底部１１ａとの間と、が
それぞれ液密に保たれる。こうして、感温筒３と第１電
極部材９ａとの間が液密に保たれ、各電極部材９ａ，９
ｂとホルダ８との間が液密に保たれ、第２電極部材９ｂ
と支持部４との間が液密に保たれる。

【００９２】前記温度検出部５は、図１などに示すよう
に、温度補償用の温度センサ素子２２と、リード線２３
と、印刷配線板２４と、円管ばね部材２５と、第２の止
め輪２６と、前記第１電極部材９ａと電気的に接続した
第１電極ケーブル２７と、前記第２電極部材９ｂと電気
的に接続した第２電極ケーブル２８と、複数のケーブル
２９と、を備えている。

【００９３】温度検出部５は、前記温度センサ素子２２
と、リード線２３と、印刷配線板２４とが、感温筒３の
先端部３ｆから基端部３ｄに向かって順に位置した状態
で、前記孔３ｇ内に配されている。

【００９４】温度センサ素子２２は、前記孔３ｇ内でか
つ前記感温筒３の先端部３ｆに配されている。温度セン
サ素子２２は、温度を測定する感温部２２ａを備えてい
る。温度センサ素子２２は、感温部２２ａがディスク
形、ペレット形あるいはそれに類似した面部を有する形
状のサーミスタにより構成されている。温度センサ素子
２２は、感温部２２ａの面部が、前記孔３ｇ内におい
て、前記電解質液の流路と平行に配置されている。

【００９５】リード線２３は、一対設けられている。リ
ード線２３は、それぞれ、一端が温度センサ素子２２の
感温部２２ａに電気的に接続している。リード線２３
は、それぞれ、他端が印刷配線板２４に電気的に接続し
ている。

【００９６】印刷配線板２４は、ガラスエポキシ樹脂な
どの絶縁性を有する基板と、この基板上に設けられた薄
膜の銅などからなる配線パターンなどを備えている。配
線パターンは、リード線２３と各ケーブル２７，２８，
２９と円管ばね部材２５とを、予め定められるパターン
にしたがって、電気的に接続する。

【００９７】印刷配線板２４は、図１などに示すよう
に、一部分が前記孔３ｇ内に挿入される。印刷配線板２
４の基端部には、第１電極ケーブル２７と第２電極ケー
ブル２８とケーブル２９とが接続される。

【００９８】円管ばね部材２５は、図１及び図４に示す
ように、導電性を有する周知の鋼などから構成されてい
る。円管ばね部材２５は、一部分が長手方向に沿って切
り欠かれた円管状に形成されている。円管ばね部材２５
は、内外径が伸縮する方向に、弾性変形自在となってい
る。

【００９９】円管ばね部材２５は、内側に印刷配線板２
４を通した格好で、前記孔３ｇ内に挿入される。する
と、円管ばね部材２５は、弾性復元力によって、孔３ｇ
の内面に接触するとともに、印刷配線板２４の配線パタ
ーンなどと接触する。円管ばね部材２５は、半田などを
用いたろう付けによって、前記配線パターン即ち印刷配
線板２４と固定される。

【０１００】第２の止め輪２６は、導電性を有するステ
ンレス鋼などの周知の鋼などからなりかつ円環状に形成
されている。第２の止め輪２６は、内側に温度検出部５
の電線束３０を通して前記空間１６内に収容される。第
２の止め輪２６は、絶縁ワッシャ２０の基端キャップ１
２側に設けられている。第２の止め輪２６は、外縁が前
記導電ホルダ１８の筒部１８ｂの内周面に係止して、前
記空間１６内に収容されている。

【０１０１】第１電極ケーブル２７は、一端が半田など
を用いたろう付けによって、印刷配線板２４に固定され
ている。こうして、第１電極ケーブル２７は、印刷配線
板２４の配線パターンと、円管ばね部材２５と、感温筒
３と、導電スプリング１５を介して、第１電極部材９ａ
と電気的に接続する。第１電極ケーブル２７は、前記ケ
ーブル２９とともに電線束３０として基端キャップ１２
まで導かれ、前記丸孔を通って外部に導かれる。第１電
極ケーブル２７は、前述した図示しない演算装置などに
電気的に接続している。

【０１０２】第２電極ケーブル２８は、一端が印刷配線
板２４に固定され、かつ他端が半田などを用いたろう付
けによって第２の止め輪２６に固定されている。第２電
極ケーブル２８は、第２の止め輪２６と導電ホルダ１８
と導電止め輪１９と導電パイプ１４を介して、第２電極
部材９ｂと印刷配線板２４の配線パターンとを電気的に
接続する。

【０１０３】複数のケーブル２９は、それぞれ、一端
が、印刷配線板２４に固定されている。複数のケーブル
２９のうち一つのケーブル２９は、印刷配線板２４の配
線パターンを介して、第２電極ケーブル２８と電気的に
接続する。他のケーブル２９は、印刷配線板２４の配線
パターンを介して、リード線２３即ち温度センサ素子２
２と電気的に接続する。

【０１０４】ケーブル２９は、前記第１電極ケーブル２
７とともに電線束３０として基端キャップ１２まで導か
れ、前記丸孔内を通って外部に導かれる。ケーブル２９
は、前述した図示しない演算装置などに電気的に接続し
ている。こうして、前記演算装置は、前記第１電極ケー
ブル２７を介して第１電極部材９ａと電気的に接続し、
ケーブル２９と第２電極ケーブル２８などを介して第２
電極部材９ｂと電気的に接続し、ケーブル２９などを介
して温度センサ素子２２と電気的に接続する。なお、各
ケーブル２７，２８，２９は、本明細書に記した電線を
なしている。

【０１０５】また、導電率計の電極１は、電極カバー１
０を備えている。電極カバー１０は、内径が電極部材９
ａ，９ｂの外径より大きい円管状に形成されている。電
極カバー１０は、内側に前述した構成の測定部２を収容
して、支持部４の測定部ホルダ１１に取り付けられる。
電極カバー１０は、測定部２の感温筒３とホルダ８と各
電極部材９ａ，９ｂなどと同軸的な状態で、前記支持部
４の測定部ホルダ１１に取り付けられる。電極カバー１
０は、ねじや、互いに嵌合する溝と突起などによって、
前記測定部ホルダ１１に着脱自在となっている。

【０１０６】前述した構成によれば、導電率計の電極１
は、前記測定部２の少なくとも先端部を、計測対象の電
解質液の流路中に配置して、前記電極部材９ａ，９ｂを
該計測対象の電解質液の流路中に配置する。なお、これ
らの電極部材９ａ，９ｂは、互いに所定間隔ｔ離れて電
解質液中に配置される。導電率計の電極１は、前記電極
部材９ａ，９ｂ間に例えば交流電圧を印加して、各ケー
ブル２７，２８，２９などを介して前記演算装置などに
伝えられる前記電解質液内を流れる電流に基いて、前記
電解質液の導電率を測定する。

【０１０７】このとき、前記温度センサ素子２２の感温
部２２ａから、前記リード線２３及びケーブル２９など
を介して前記電解質液の温度に応じた情報が、前記演算
装置に伝えられる。そして、この演算装置などが電解質
液の温度の補償を行い、この電解質液のあらかじめ決め
られた一定温度における導電率を算出する。

【０１０８】本実施形態の導電率計の電極１によれば、
電極部材９ａ，９ｂが、金属と同程度の電気抵抗値を有
しかつ化学的に極端に不活性なガラス状カーボンからな
るため、該電極部材９ａ，９ｂを直接腐食性の電解質液
中に露出できる。したがって、感度の低下を抑制でき、
低濃度の電解質液の導電率を確実に測定できる。

【０１０９】また、電極部材９ａ，９ｂが円環状である
ので、板材から加工する際に最も加工しやすい形状であ
り、超高温で成形する際にも、製品に近い形状まで一度
に成形できる。このため、電極部材９ａ，９ｂを製造す
る際に、切削加工などの機械加工を施す手間を抑制でき
る。また、電極部材９ａ，９ｂが、円環状であるのでガ
ラス状カーボンの質量を抑制できる。したがって、製造
時の所要工数などを抑制でき、かつ高価なガラス状カー
ボンの質量を抑制でき、低コスト化を図ることができ
る。

【０１１０】さらに、電極部材９ａ，９ｂが、ガラス状
カーボンからなる中実材であるので、耐腐性に優れる。
したがって、導電率計の電極１は、腐食性の電解質液の
導電率を確実に測定できる。

【０１１１】また、電極部材９ａ，９ｂを嵌合して保持
するホルダ８が、電解質液中で非溶出性であるので、ホ
ルダ８も腐食性の電解質液中に露出できる。したがっ
て、感度の低下を抑制でき、低濃度の電解質液の導電率
を確実に測定できる。

【０１１２】また、小径部８ａ，８ｂが同軸的に配され
ているので、ホルダ８に保持される電極部材９ａ，９ｂ
は、互いに同軸的にホルダ８に支持される。このため、
測定部２の機械的な寸法を抑制できる。したがって、電
極１は、小型化を図ることができる。

【０１１３】また、電極部材９ａ，９ｂは段差面８ｄ，
８ｅに接触するので、電極部材９ａ，９ｂ間の間隔を確
実に所定間隔ｔに保つことができる。したがって、安定
的に電解質液の導電率を容易に測定できる。

【０１１４】電極部材９ａ，９ｂは段差面８ｄ，８ｅに
接触して、電極部材９ａ，９ｂそれぞれと段差面８ｄ，
８ｅとが、互いに密接する。そして、電極部材９ａ，９
ｂそれぞれと段差面８ｄ，８ｅとの間が液密に保たれ
る。このため、前記ホルダ８と電極部材９ａ，９ｂとの
間が液密に保たれる。

【０１１５】このため、ホルダ８と各電極部材９ａ，９
ｂとの間などから、支持部４の空間１６内に電解質液が
侵入することを防止できる。したがって、導電率計の電
極１は、内部への電解質液の侵入を防止でき、電解質液
の導電率を測定する際に不具合が生じることを抑制でき
る。

【０１１６】また、感温筒３の円板部３ａの外縁部３ｃ
にシール体１３が設けられているので、前記シール体１
３と第１電極部材９ａとが密接する。シール体１３と前
記第１電極部材９ａとの間が液密となる。このため、前
記シール体１３と前記第１電極部材９ａとの間から、支
持部４の空間１６内に電解質液が侵入することを確実に
防止できる。したがって、導電率計の電極１は、内部へ
の電解質液の侵入をより一層確実に防止でき、電解質液
の導電率を測定する際に不具合が生じることをより一層
確実に抑制できる。

【０１１７】さらに、コイルばね１７がホルダ８を基端
部３ｄに向かって付勢し、測定部ホルダ１１の底部１１
ａの表面１１ｄが第２電極部材９ｂと接触して、前記ホ
ルダ８が基端部３ｄに向かって変位することを規制す
る。このため、前記表面１１ｄと第２電極部材９ｂとが
密接し、各電極部材９ａ，９ｂとホルダ８とが密接し、
第１電極部材９ａとシール体１３とがより密接する。

【０１１８】このため、測定部ホルダ１１と第２電極部
材９ｂとの間と、ホルダ８と各電極部材９ａ，９ｂとの
間と、シール体１３と第１電極部材９ａとの間と、から
支持部４内に電解質液が侵入することを確実に防止でき
る。したがって、導電率計の電極１は、内部への電解質
液の侵入をより一層確実に防止でき、電解質液の導電率
を測定する際に不具合が生じることをより一層確実に抑
制できる。

【０１１９】また、シール体１３とホルダ８と測定部ホ
ルダ１１とが、フッ素樹脂などの低エラストマ性の合成
樹脂であるので、コイルばね１７の付勢力によって、殆
ど弾性変形しない。シール体１３とホルダ８と測定部ホ
ルダ１１とが、殆ど弾性変形しないため、電解質液の温
度が高温である場合や低温である場合に、弾性が失われ
ても、前記各電極部材９ａ，９ｂとの間を確実に液密に
保つ。したがって、より一層確実に、内部への電解質液
の侵入を防止できる。

【０１２０】さらに、電極カバー１０が、測定部ホルダ
１１即ち支持部４に対し着脱自在であるので、電極カバ
ー１０を取り外すことにより、容易に電極部材９ａ，９
ｂとホルダ８などの測定部２を清掃できる。

【０１２１】さらに、本発明の電極１は、電解質液の抵
抗率を測定する抵抗率計にも用いることができるのは勿
論である。

【０１２２】

【発明の効果】以上説明したように請求項１に記載の本
発明は、電極部材がガラス状カーボンからなるため、該
電極部材を腐食性の電解質液中に露出させることができ
る。したがって、感度の低下を抑制でき、低濃度の電解
質液の導電率を確実に測定できる。

【０１２３】また、電極部材が、円環状であるので、板
材から切削加工をするとき最も加工が容易である上に、
高温・高圧下で成形する際にも、製品に近い形状まで成
形できる。したがって、加工性が比較的容易となって、
低コスト化を図ることができる。さらに、ガラス状カー
ボンの質量を抑制できるため、より一層低コスト化を図
ることができる。

【０１２４】さらに、電極部材が、ガラス状カーボンか
らなる中実材であるので、耐腐性に優れる。したがっ
て、腐食性の電解質液の導電率を確実に測定できる。

【０１２５】請求項２に記載の本発明は、電極部材を保
持するホルダが非溶質であるので、該ホルダも、腐食性
の電解質液中に露出させたときに溶出の影響がない。し
たがって、腐食性の電解質液の導電率をより確実に測定
できるとともに、感度の低下をより確実に抑制でき、低
濃度の電解質液の導電率をより確実に測定できる。

【０１２６】また、ホルダが電極部材を同軸的に配す
る。このため、複数の電極部材を保持した際の機械的な
寸法を抑制できる。したがって、小型化を図ることがで
きる。さらに、電極部材をホルダの電極部材嵌合部に嵌
合させて、配置するので、電極部材間の間隔を、容易に
所定間隔とすることができる。したがって、安定的に電
解質液の導電率を容易に測定できる。

【０１２７】請求項３に記載の本発明は、ホルダのシー
ル面が、電極部材それぞれと密接して、前記シール面が
電極部材それぞれとの間を液密に保つ。このため、前記
ホルダと電極部材との間が液密に保たれる。このため、
前記ホルダと電極部材との間から、支持部の空間内に電
解質液が侵入することを防止できる。したがって、内部
への電解質液の侵入を防止でき、電解質液の導電率を測
定する際に不具合が生じることを抑制できる。

【０１２８】請求項４に記載した本発明の導電率計の電
極によれば、第２シール面が基端側の電極部材と支持部
との間を液密に保つ。このため、基端側の電極部材と支
持部との間から、空間内に電解質液が侵入することを防
止できる。したがって、内部への電解質液の侵入を防止
でき、電解質液の導電率を測定する際に不具合が生じる
ことを抑制できる。

【０１２９】請求項５に記載の本発明は、感温筒の底部
の外縁部にシール体が設けられているので、前記シール
体と先端側の電極部材とが密接する。シール体と前記先
端側の電極部材との間が液密となる。このため、先端側
の電極部材と感温筒との間から、空間内に電解質液が侵
入することを防止できる。したがって、内部への電解質
液の侵入を防止でき、電解質液の導電率を測定する際に
不具合が生じることを抑制できる。

【０１３０】請求項６に記載の本発明は、付勢手段が感
温筒及びホルダを基端部に向かって付勢し、規制手段が
感温筒及びホルダが基端部に向かって変位することを規
制するため、電極部材とシール面とがより密接して、電
極部材とホルダとの間がより液密に保たれる。また、基
端側の電極部材と支持部との間がより液密に保たれ、先
端側の電極部材とシール体との間がより液密に保たれ
る。

【０１３１】このため、これらの間などから、支持部の
空間内に電解質液が侵入することをより確実に防止でき
る。したがって、内部への電解質液の侵入をより確実に
防止でき、電解質液の導電率を測定する際に不具合が生
じることをより確実に抑制できる。

【０１３２】請求項７に記載の本発明は、シール体が、
低エラストマ性の合成樹脂であるので、先端側の電極部
材と密接する際に、殆ど弾性変形しない。このため、前
記シール体は、殆ど弾性変形しないため、電解質液の温
度が高温である場合や低温である場合にも、電極部材間
の距離が変わることなく、電解質液の抵抗を確実に測定
でき、かつ前記先端側の電極部材との間を液密に保つ。

【０１３３】このため、感温筒と前記先端側の電極部材
との間などから、支持部の空間内に電解質液が侵入する
ことをより一層確実に防止できる。したがって、内部へ
の電解質液の侵入をより一層確実に防止でき、電解質液
の導電率を測定する際に不具合が生じることをより一層
確実に抑制できる。

【０１３４】請求項８に記載の本発明は、第２ホルダ
が、低エラストマ性の合成樹脂であるので、基端側の電
極部材と密接する際に、殆ど弾性変形しない。このた
め、前記第２ホルダは、殆ど弾性変形しないため、電解
質液の温度が高温である場合や低温である場合にも、電
極部材間の距離が変わることなく、電解質液の抵抗を確
実に測定でき、前記基端側の電極部材との間を液密に保
つ。

【０１３５】このため、基端側の電極部材と支持部との
間から、空間内に電解質液が侵入することをより確実に
防止できる。したがって、内部への電解質液の侵入をよ
り確実に防止でき、電解質液の導電率を測定する際に不
具合が生じることをより確実に抑制できる。

【０１３６】請求項９に記載の本発明は、ホルダが低エ
ラストマ性の合成樹脂であるので、シール面が各電極部
材と密接する際に、殆ど弾性変形しない。このため、殆
ど弾性変形しないため、電解質液の温度が高温である場
合や低温である場合にも、電極部材間の距離が変わるこ
となく、電解質液の抵抗を確実に測定でき、電極部材と
の間を液密に保つ。

【０１３７】このため、前記ホルダと電極部材との間な
どから、支持部の空間内に電解質液が侵入することをよ
り一層確実に防止できる。したがって、内部への電解質
液の侵入をより一層確実に防止でき、電解質液の導電率
を測定する際に不具合が生じることをより一層確実に抑
制できる。

【０１３８】請求項１０に記載の本発明は、電極カバー
が、支持部に対し着脱自在であるので、電極カバーを取
り外すことにより、容易に電極部材とホルダなどを清掃
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態にかかる導電率計の電極の
全体構成を示す断面図である。

【図２】同実施形態の電極の測定部の先端部を拡大して
示す断面図である。

【図３】同実施形態の電極の測定部の基端部などを拡大
して示す断面図である。

【図４】同実施形態の電極の支持部内などを拡大して示
す断面図である。

【図５】同実施形態の電極の電極部材とホルダなどを拡
大して示す斜視図である。

【図６】同実施形態の電極の第１電極部材と感温筒と導
電スプリングの断面を拡大して示す斜視図である。

【図７】従来の導電率計の電極の一例を示す斜視図であ
る。

【図８】従来の導電率計の電極の他の例を示す断面図で
ある。

【図９】従来の導電率計の電極の更に他の例を示す断面
図である。

【符号の説明】

１ 導電率計の電極 ３ 感温筒 ３ａ 円板部 ３ｂ 筒部 ３ｃ 外縁部 ４ 支持部 ５ 温度検出部 ８ ホルダ ８ａ 第１小径部（電極部材嵌合部） ８ｂ 第２小径部（電極部材嵌合部） ８ｄ，８ｅ 段差面（シール面） ８ｆ 基端部 ８ｇ 先端部 ９ａ 第１電極部材（先端側の電極部材） ９ｂ 第２電極部材（基端側の電極部材） １０ 電極カバー １１ 測定部ホルダ（第２ホルダ） １１ｄ 表面（規制手段，第２シール面） １３ シール体 １６ 空間 １７ コイルばね（付勢手段） ｔ 所定間隔

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の電極部材が計測対象の電解質液の
   流路中に所定間隔離れて配置され、電極部材間に電圧を
   印加して、前記電解質液内を流れる電流に基いて前記電
   解質液の導電率を測定する導電率計の電極において、 前記電極部材が、円環状に形成されているとともに、ガ
   ラス状カーボンからなる中実材であることを特徴とする
   導電率計の電極。
2. 【請求項２】 外周に前記電極部材それぞれが嵌合する
   電極部材嵌合部を複数備え、該複数の電極部材嵌合部を
   同軸的に配しているとともに、前記電解質液中で非溶出
   性の絶縁体からなるホルダを備えていることを特徴とす
   る請求項１記載の導電率計の電極。
3. 【請求項３】 前記ホルダは円管状に形成され、 前記ホルダの基端部を支持するとともに前記電極部材そ
   れぞれと接続した複数の電線を収容する空間を有する支
   持部を備え、 前記ホルダは、前記電極部材それぞれと密接して、電極
   部材それぞれとの間を液密に保つシール面を備えている
   ことを特徴とする請求項２記載の導電率計の電極。
4. 【請求項４】 前記ホルダは、前記複数の電極部材を、
   前記基端部から先端部に向かって並べて支持するととも
   に、 前記支持部は、前記複数の電極部材のうち基端側の電極
   部材と密接して、該基端側の電極部材との間を液密に保
   つ第２シール面を備えていることを特徴とする請求項３
   記載の導電率計の電極。
5. 【請求項５】 前記電解質液の温度に応じた情報を取り
   出す温度検出部と、 前記温度検出部を収容する有底筒状の感温筒と、を備
   え、 前記感温筒は、円板状の円板部と該円板部から立設した
   筒部とを有し、前記円板部が先端側に位置した状態で前
   記ホルダ内に嵌合するとともに、 前記円板部の外径は、前記筒部の外径より大きく形成さ
   れており、前記円板部の外縁部には、前記複数の電極部
   材のうち先端側の電極部材と接触するシール体が設けら
   れていることを特徴とする請求項４記載の導電率計の電
   極。
6. 【請求項６】 前記感温筒とホルダとを前記基端部に向
   かって付勢する付勢手段と、 前記感温筒とホルダとが前記基端部に向かって変位する
   ことを規制する規制手段と、を備えたことを特徴とする
   請求項５記載の導電率計の電極。
7. 【請求項７】 シール体は、低エラストマ性の合成樹脂
   からなることを特徴とする請求項６に記載の導電率計の
   電極。
8. 【請求項８】 前記支持部は、前記ホルダの基端部を支
   持しかつ前記第２シール面を有する第２ホルダを備えて
   いるとともに、該第２ホルダは低エラストマ性の合成樹
   脂からなることを特徴とする請求項３ないし請求項７の
   うちいずれか一項に記載の導電率計の電極。
9. 【請求項９】 前記ホルダの絶縁体は、低エラストマ性
   の合成樹脂であることを特徴とする請求項２ないし請求
   項８のうちいずれか一項に記載の導電率計の電極。
10. 【請求項１０】 筒状に形成され、かつ内側に前記複数
    の電極部材とホルダとを収容して前記支持部に取り付け
    られる電極カバーを備え、 前記電極カバーが、前記支持部に対し着脱自在となって
    いることを特徴とする請求項３ないし請求項９のうちい
    ずれか一項に記載の導電率計の電極。