JP2000162168A - 導電率計 - Google Patents
導電率計Info
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- JP2000162168A JP2000162168A JP10340449A JP34044998A JP2000162168A JP 2000162168 A JP2000162168 A JP 2000162168A JP 10340449 A JP10340449 A JP 10340449A JP 34044998 A JP34044998 A JP 34044998A JP 2000162168 A JP2000162168 A JP 2000162168A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 安価かつ安定して所望の測定を行うことがで
きる導電率計を提供すること。 【解決手段】 二つの電極間に交流電圧を印加して、流
れる電流に基づいて液体の導電率を測定する導電率計に
おいて、前記電極の一方６を棒状とし、他方の電極７を
円筒状とし、この円筒状電極７を前記棒状電極６と同軸
に配置するとともに、両電極６，７のそれぞれ表面にガ
ラス状カーボン層６ｂ，７ｂを形成した。
きる導電率計を提供すること。 【解決手段】 二つの電極間に交流電圧を印加して、流
れる電流に基づいて液体の導電率を測定する導電率計に
おいて、前記電極の一方６を棒状とし、他方の電極７を
円筒状とし、この円筒状電極７を前記棒状電極６と同軸
に配置するとともに、両電極６，７のそれぞれ表面にガ
ラス状カーボン層６ｂ，７ｂを形成した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、二つの電極間に
交流電圧を印加して、流れる電流に基づいて液体の導電
率（または比抵抗）を測定する導電率計に関し、特に、
その電極構造の改良に関する。
交流電圧を印加して、流れる電流に基づいて液体の導電
率（または比抵抗）を測定する導電率計に関し、特に、
その電極構造の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば半導体の製造工程に用いられる純
水の純度をモニターする装置として、その純水の導電率
を測定する導電率計がある。従来の導電率計における電
極は、白金や白金黒より構成されていた。しかしなが
ら、白金や白金黒は硬度が余り高くなく、製造過程や測
定中に他のものと接触して傷ついたり変形しやすいとい
った欠点があるとともに、高価であるといった問題があ
る。
水の純度をモニターする装置として、その純水の導電率
を測定する導電率計がある。従来の導電率計における電
極は、白金や白金黒より構成されていた。しかしなが
ら、白金や白金黒は硬度が余り高くなく、製造過程や測
定中に他のものと接触して傷ついたり変形しやすいとい
った欠点があるとともに、高価であるといった問題があ
る。
【０００３】これに対して、実用新案登録第２５２８０
２５号公報に示される導電率計がある。図４は、この公
報における電極構造を概略的に示すもので、この図にお
いて、４１は測定用のセルで、その内部に測定対象の液
体（被検液）４２が流れる流路４３が形成されている。
４４，４５はこの流路４３内に適宜の間隔をおいて配置
される電極で、ガラス状カーボンからなる棒状の電極本
体４４ａ，４５ａの外周面にポリプロピレン製の被覆層
４４ｂ，４５ｂを形成してなるものであり、それらの端
部を被検液４２に浸漬した状態で設けられている。
２５号公報に示される導電率計がある。図４は、この公
報における電極構造を概略的に示すもので、この図にお
いて、４１は測定用のセルで、その内部に測定対象の液
体（被検液）４２が流れる流路４３が形成されている。
４４，４５はこの流路４３内に適宜の間隔をおいて配置
される電極で、ガラス状カーボンからなる棒状の電極本
体４４ａ，４５ａの外周面にポリプロピレン製の被覆層
４４ｂ，４５ｂを形成してなるものであり、それらの端
部を被検液４２に浸漬した状態で設けられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の導電率計に
おいては、電極４４，４５の本体４４ａ，４５ａがガラ
ス状カーボンからなるので、堅牢であり、化学的に安定
しているが、電極４４，４５を、液流路４３において適
宜の間隔をおいて並列的に設けているため、被検液４２
におけるノイズを拾いやすく、安定して測定が行いにく
いといった欠点があるとともに、電極本体４４ａ，４５
ａが、白金ほどではないがかなり高価なガラス状カーボ
ンからなるため、それだけコストアップになるといった
欠点がある。
おいては、電極４４，４５の本体４４ａ，４５ａがガラ
ス状カーボンからなるので、堅牢であり、化学的に安定
しているが、電極４４，４５を、液流路４３において適
宜の間隔をおいて並列的に設けているため、被検液４２
におけるノイズを拾いやすく、安定して測定が行いにく
いといった欠点があるとともに、電極本体４４ａ，４５
ａが、白金ほどではないがかなり高価なガラス状カーボ
ンからなるため、それだけコストアップになるといった
欠点がある。
【０００５】この発明は、上述の事柄に留意してなされ
たもので、その目的は、安価かつ安定して所望の測定を
行うことができる導電率計を提供することである。
たもので、その目的は、安価かつ安定して所望の測定を
行うことができる導電率計を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明は、二つの電極間に交流電圧を印加して、
流れる電流に基づいて液体の導電率を測定する導電率計
において、前記電極の一方を棒状とし、他方の電極を円
筒状とし、この円筒状電極を前記棒状電極と同軸に配置
するとともに、両電極のそれぞれ表面にガラス状カーボ
ン層を形成してある。
め、この発明は、二つの電極間に交流電圧を印加して、
流れる電流に基づいて液体の導電率を測定する導電率計
において、前記電極の一方を棒状とし、他方の電極を円
筒状とし、この円筒状電極を前記棒状電極と同軸に配置
するとともに、両電極のそれぞれ表面にガラス状カーボ
ン層を形成してある。
【０００７】上記導電率計においては、所定周波数の交
流電圧が印加される二つの電極を、同軸に配置している
ので、被検液におけるノイズにほとんど影響されること
がなく、安定して測定を行うことができ、高精度の測定
を行うことができる。
流電圧が印加される二つの電極を、同軸に配置している
ので、被検液におけるノイズにほとんど影響されること
がなく、安定して測定を行うことができ、高精度の測定
を行うことができる。
【０００８】そして、前記各電極は、それらの表面がガ
ラス状カーボンで被覆してあり、被検液と接する部分が
滑らかとなり、被検液が染み込んだり、付着することが
なく、また、被検液中の異物が付着することがないの
で、これらの影響を受けることもない。また、前記各電
極は、それ全部をガラス状カーボンで構成するのではな
く、表面だけをガラス状カーボンで被覆するのであるか
ら、大幅なコストダウンが図れる。
ラス状カーボンで被覆してあり、被検液と接する部分が
滑らかとなり、被検液が染み込んだり、付着することが
なく、また、被検液中の異物が付着することがないの
で、これらの影響を受けることもない。また、前記各電
極は、それ全部をガラス状カーボンで構成するのではな
く、表面だけをガラス状カーボンで被覆するのであるか
ら、大幅なコストダウンが図れる。
【０００９】
【発明の実施の形態】図１〜図３は、この発明の一つの
実施の形態を示す。図１は、この発明の導電率計のセン
サ部の一例を示すもので、この図において、１は適宜の
絶縁物よりなるセンサボディで、その下端側には測定電
極部２（その構成については、後で詳しく説明する）が
形成されており、上端側にはキャップ３を挿通するよう
にしてケーブル４が導出されている。このケーブル４
は、測定電極部２に対して供給される交流電力や測定電
極部２における検出出力を搬送するもので、内部に電源
部や演算制御部を備えるとともに表面に操作部や表示部
を備えた装置本体（図示していない）と接続されてい
る。また、５はセンサボディ１を被検液が流れるセル
（図示していない）の液流路に臨むようにして着脱自在
に取り付けるためのねじ部である。
実施の形態を示す。図１は、この発明の導電率計のセン
サ部の一例を示すもので、この図において、１は適宜の
絶縁物よりなるセンサボディで、その下端側には測定電
極部２（その構成については、後で詳しく説明する）が
形成されており、上端側にはキャップ３を挿通するよう
にしてケーブル４が導出されている。このケーブル４
は、測定電極部２に対して供給される交流電力や測定電
極部２における検出出力を搬送するもので、内部に電源
部や演算制御部を備えるとともに表面に操作部や表示部
を備えた装置本体（図示していない）と接続されてい
る。また、５はセンサボディ１を被検液が流れるセル
（図示していない）の液流路に臨むようにして着脱自在
に取り付けるためのねじ部である。
【００１０】前記測定電極部２の構成を、図２および図
３を参照しながら説明すると、この測定電極部２は、主
として二つの電極６，７からなり、次のような特徴的構
成を有する。まず、一方の電極（以下、内極という）６
は、棒状で、センサボディ１の下端に取り付けられてお
り、他方の電極（以下、外極という）７は、両端部が開
放した円筒状で、内極６の外方にこれと同軸に配置され
ている。これらの内極６と外極７との間には、電気絶縁
性および耐薬品性に富む素材（例えばフッ素樹脂など）
よりなるスペーサ８が介装されている。
３を参照しながら説明すると、この測定電極部２は、主
として二つの電極６，７からなり、次のような特徴的構
成を有する。まず、一方の電極（以下、内極という）６
は、棒状で、センサボディ１の下端に取り付けられてお
り、他方の電極（以下、外極という）７は、両端部が開
放した円筒状で、内極６の外方にこれと同軸に配置され
ている。これらの内極６と外極７との間には、電気絶縁
性および耐薬品性に富む素材（例えばフッ素樹脂など）
よりなるスペーサ８が介装されている。
【００１１】そして、内極６は、その下端部が曲面加工
されているとともに、外極７の下端部より突出しないよ
うにしてある。また、外極７の適宜位置には、被検液を
外極７内に導入または導出するための貫通孔９，１０が
開設されている。さらに、１１は内極６とスペーサ８と
の間に介装されるシール部材である。なお、図示してな
いが、外極７とセンサボディ１との間にもシール部材が
介装されている。
されているとともに、外極７の下端部より突出しないよ
うにしてある。また、外極７の適宜位置には、被検液を
外極７内に導入または導出するための貫通孔９，１０が
開設されている。さらに、１１は内極６とスペーサ８と
の間に介装されるシール部材である。なお、図示してな
いが、外極７とセンサボディ１との間にもシール部材が
介装されている。
【００１２】そして、上述のように互いに同軸配置され
た内極６および外極７は、さらに、次のような特徴的構
成を備えている。すなわち、これらの内極６および外極
７は、いずれも、その本体６ａ，７ａがグラファイトよ
りなり、それらの６ａ，７ａの表面にガラス状カーボン
６ｂ，７ｂよりなる被覆層が形成されている。このガラ
ス状カーボン層６ｂ，７ｂは、所定の形状に加工された
内極６および外極７の表面に、焼き付け法など適宜の手
法により、例えば３〜５μｍ程度の厚みになるように形
成される。
た内極６および外極７は、さらに、次のような特徴的構
成を備えている。すなわち、これらの内極６および外極
７は、いずれも、その本体６ａ，７ａがグラファイトよ
りなり、それらの６ａ，７ａの表面にガラス状カーボン
６ｂ，７ｂよりなる被覆層が形成されている。このガラ
ス状カーボン層６ｂ，７ｂは、所定の形状に加工された
内極６および外極７の表面に、焼き付け法など適宜の手
法により、例えば３〜５μｍ程度の厚みになるように形
成される。
【００１３】上記構成よりなる導電率計のセンサは、例
えば、半導体製造工程における半導体部品の洗浄に用い
られる純水槽のオーバーフロー部分に形成された流通型
の測定セルに、その測定電極部２を被検液としての純水
に浸漬した状態で設けられる。そして、内極６と外極７
との間に、周波数が例えば１０ｋＨｚ以下の交流電圧を
印加し、そのときの電流値から純水の導電率（または比
抵抗）を求めることができる。したがって、そのときの
導電率（または比抵抗）の値により、純水槽に持ち込ま
れた洗浄液が純水によってリンスされたことを知ること
ができる。
えば、半導体製造工程における半導体部品の洗浄に用い
られる純水槽のオーバーフロー部分に形成された流通型
の測定セルに、その測定電極部２を被検液としての純水
に浸漬した状態で設けられる。そして、内極６と外極７
との間に、周波数が例えば１０ｋＨｚ以下の交流電圧を
印加し、そのときの電流値から純水の導電率（または比
抵抗）を求めることができる。したがって、そのときの
導電率（または比抵抗）の値により、純水槽に持ち込ま
れた洗浄液が純水によってリンスされたことを知ること
ができる。
【００１４】上述したこの発明の導電率計においては、
所定周波数の交流電圧が印加される二つの電極を、棒状
の内極６とこれと同軸配置される円筒状の外極７として
いるので、被検液におけるノイズにほとんど影響される
ことがなく、安定して測定を行うことができ、高精度の
測定を行うことができる。
所定周波数の交流電圧が印加される二つの電極を、棒状
の内極６とこれと同軸配置される円筒状の外極７として
いるので、被検液におけるノイズにほとんど影響される
ことがなく、安定して測定を行うことができ、高精度の
測定を行うことができる。
【００１５】そして、前記内極６および外極７は、それ
らの表面にガラス状カーボン層６ｂ，７ｂが形成されて
いるので、被検液と接する部分が滑らかとなり、被検液
が染み込んだり、付着することがなく、また、被検液中
の異物が付着することがないので、これらの影響を受け
ることもない。したがって、この発明の導電率計は、特
に、半導体製造工程における純水のモニターとして好適
に使用することができる。また、電極６，７表面に機械
的強度に優れたガラス状カーボン層６ｂ，７ｂが形成し
てあるので、変形したり傷つくこともない。
らの表面にガラス状カーボン層６ｂ，７ｂが形成されて
いるので、被検液と接する部分が滑らかとなり、被検液
が染み込んだり、付着することがなく、また、被検液中
の異物が付着することがないので、これらの影響を受け
ることもない。したがって、この発明の導電率計は、特
に、半導体製造工程における純水のモニターとして好適
に使用することができる。また、電極６，７表面に機械
的強度に優れたガラス状カーボン層６ｂ，７ｂが形成し
てあるので、変形したり傷つくこともない。
【００１６】また、前記内極６および外極７は、本体６
ａ，７ａがグラファイトで構成され、その表面にガラス
状カーボン層６ｂ，７ｂが形成してある。グラファイト
は安価で入手しやすく、また、加工も容易であるので、
内極６および外極７を全てガラス状カーボンで構成する
場合に比べて、所望の形状の内極６や外極７を安価に製
造することができる。
ａ，７ａがグラファイトで構成され、その表面にガラス
状カーボン層６ｂ，７ｂが形成してある。グラファイト
は安価で入手しやすく、また、加工も容易であるので、
内極６および外極７を全てガラス状カーボンで構成する
場合に比べて、所望の形状の内極６や外極７を安価に製
造することができる。
【００１７】上述の実施の形態においては、内極６およ
び外極７の本体６ａ，７ａをグラファイトで構成してあ
ったが、これに代えて、機械的に丈夫なＳｉＣなどのセ
ラミックで構成し、それらの表面にガラス状カーボン層
６ｂ，７ｂを形成するようにしてもよい。
び外極７の本体６ａ，７ａをグラファイトで構成してあ
ったが、これに代えて、機械的に丈夫なＳｉＣなどのセ
ラミックで構成し、それらの表面にガラス状カーボン層
６ｂ，７ｂを形成するようにしてもよい。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように、この発明の導電率
計においては、電極の一方を棒状とし、他方の電極を円
筒状とし、この円筒状電極を前記棒状電極と同軸に配置
するとともに、両電極のそれぞれ表面をガラス状カーボ
ンで被覆してあるので、所望の測定を安定して行うこと
ができ、工業用として最適な導電率計となる。
計においては、電極の一方を棒状とし、他方の電極を円
筒状とし、この円筒状電極を前記棒状電極と同軸に配置
するとともに、両電極のそれぞれ表面をガラス状カーボ
ンで被覆してあるので、所望の測定を安定して行うこと
ができ、工業用として最適な導電率計となる。
【図１】この発明の導電率計のセンサ部の一例を示す図
である。
である。
【図２】前記センサ部における測定電極部２の一例を示
す部分縦断面図である。
す部分縦断面図である。
【図３】図２におけるＸ−Ｘ線断面図である。
【図４】従来技術を説明するための図である。
６，７…電極、６ｂ，７ｂ…ガラス状カーボン層。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 原田 隆裕 京都府京都市南区吉祥院前河原町18番地 株式会社コス内 (72)発明者 三浦 章博 香川県三豊郡大野原町萩原850 東洋炭素 株式会社内 Ｆターム(参考） 2G060 AA05 AE17 AE40 AF03 AF08 AG11 AG15 FA01 HA02
Claims (1)
- 【請求項１】 二つの電極間に交流電圧を印加して、流
れる電流に基づいて液体の導電率を測定する導電率計に
おいて、前記電極の一方を棒状とし、他方の電極を円筒
状とし、この円筒状電極を前記棒状電極と同軸に配置す
るとともに、両電極のそれぞれ表面にガラス状カーボン
層を形成してあることを特徴とする導電率計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34044998A JP3863677B2 (ja) | 1998-11-30 | 1998-11-30 | 導電率計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34044998A JP3863677B2 (ja) | 1998-11-30 | 1998-11-30 | 導電率計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000162168A true JP2000162168A (ja) | 2000-06-16 |
| JP3863677B2 JP3863677B2 (ja) | 2006-12-27 |
Family
ID=18337075
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34044998A Expired - Fee Related JP3863677B2 (ja) | 1998-11-30 | 1998-11-30 | 導電率計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3863677B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002236103A (ja) * | 2001-02-08 | 2002-08-23 | Saginomiya Seisakusho Inc | 導電率計の電極 |
| JP2009020063A (ja) * | 2007-07-13 | 2009-01-29 | Saginomiya Seisakusho Inc | 抵抗率計の電極 |
| JP2012099386A (ja) * | 2010-11-04 | 2012-05-24 | Toyota Motor Corp | 燃料電池用セパレータとその製造方法 |
| JP2017026359A (ja) * | 2015-07-16 | 2017-02-02 | テクノ・モリオカ株式会社 | 水質センサ |
| JP2018072242A (ja) * | 2016-11-01 | 2018-05-10 | 株式会社 堀場アドバンスドテクノ | 電気伝導度計 |
| CN109946345A (zh) * | 2017-12-15 | 2019-06-28 | 株式会社堀场先进技术 | 电导率计或比电阻计用的电极、以及使用该电极的电导率计和比电阻计 |
| JP2019155297A (ja) * | 2018-03-14 | 2019-09-19 | 水ｉｎｇ株式会社 | 導電率測定構造体、純水製造装置及び純水製造方法 |
-
1998
- 1998-11-30 JP JP34044998A patent/JP3863677B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002236103A (ja) * | 2001-02-08 | 2002-08-23 | Saginomiya Seisakusho Inc | 導電率計の電極 |
| JP4582926B2 (ja) * | 2001-02-08 | 2010-11-17 | 株式会社鷺宮製作所 | 導電率計の電極 |
| JP2009020063A (ja) * | 2007-07-13 | 2009-01-29 | Saginomiya Seisakusho Inc | 抵抗率計の電極 |
| JP2012099386A (ja) * | 2010-11-04 | 2012-05-24 | Toyota Motor Corp | 燃料電池用セパレータとその製造方法 |
| JP2017026359A (ja) * | 2015-07-16 | 2017-02-02 | テクノ・モリオカ株式会社 | 水質センサ |
| JP2018072242A (ja) * | 2016-11-01 | 2018-05-10 | 株式会社 堀場アドバンスドテクノ | 電気伝導度計 |
| CN109946345A (zh) * | 2017-12-15 | 2019-06-28 | 株式会社堀场先进技术 | 电导率计或比电阻计用的电极、以及使用该电极的电导率计和比电阻计 |
| JP2019109096A (ja) * | 2017-12-15 | 2019-07-04 | 株式会社 堀場アドバンスドテクノ | 導電率計又は比抵抗計用の電極、当該電極を用いた導電率計及び比抵抗計 |
| US11275042B2 (en) | 2017-12-15 | 2022-03-15 | Horiba Advanced Techno, Co., Ltd. | Electrode assembly for conductivity meter or resistivity meter, conductivity meter and resistivity meter using the same electrode assembly |
| JP7122110B2 (ja) | 2017-12-15 | 2022-08-19 | 株式会社 堀場アドバンスドテクノ | 導電率計又は比抵抗計用の電極、当該電極を用いた導電率計及び比抵抗計 |
| CN109946345B (zh) * | 2017-12-15 | 2023-11-10 | 株式会社堀场先进技术 | 电导率计或比电阻计用的电极、以及使用该电极的电导率计和比电阻计 |
| JP2019155297A (ja) * | 2018-03-14 | 2019-09-19 | 水ｉｎｇ株式会社 | 導電率測定構造体、純水製造装置及び純水製造方法 |
| JP7080680B2 (ja) | 2018-03-14 | 2022-06-06 | 水ｉｎｇ株式会社 | 導電率測定構造体及び純水製造装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3863677B2 (ja) | 2006-12-27 |
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