JP2001208710A - 電気伝導度センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 電気伝導度センサにおいて、リード線の電極
に対する接続の確実化をはかる。 【解決手段】 複数個の電極２と各電極２間に介設され
るスペーサ５と、電極２とスペーサ５とを収納する本体
としてのケース７とをそなえるとともに、電極２、スペ
ーサ５及びケースを貫通して液体等の流路９が形成され
た電気伝導度センサ１０において、各電極２の外周に端
子板２１をそれぞれ嵌入固定し、同各端子板２１のそれ
ぞれにリード線４を半田付けすることにより、リード線
４の電極２に対する接続の確実化を可能にした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、主に医療機器、例
えば透析装置や粉体溶解装置の液体の濃度、すなわち、
液体の電気伝導度を測定することによって、当該液体の
純度を監視したり半導体製造装置における洗浄水として
の純水の純度を監視したりするのに好適な電気伝導度セ
ンサに関する。このほか、上水道の消毒剤の濃度、下水
道の汚れ具合等の監視にも使用できる。

【０００２】

【従来の技術】一般に半導体製造装置においては、シリ
コンウエハの洗浄工程として、塩酸、硝酸などの強酸、
沸酸等の薬液による処理槽で不純物を除去する工程を繰
返し、最後にシリコンウエハに付着した薬液を純水で洗
浄する工程を経て乾燥させている。また、透析装置や粉
体溶解装置などでは、装置の洗浄に純水が使用されてい
る。

【０００３】このように、半導体製造装置においては、
シリコンウエハの洗浄工程の最終工程でシリコンウエハ
に付着した薬液を純水で洗浄しており、また透析装置や
粉体溶解装置などの医療機器においても純水で洗浄して
いるので、洗浄に使用した純水の純度が製品や医療機器
の品質に大きく影響を及ぼすことになる。したがって純
水の純度を測定することは、きわめて重要なことであ
り、そのために、洗浄に使用した後の純水の純度を、純
水の電気伝導度、すなわち純水の電気抵抗率を測定して
純水の純度を計測している。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記の医療機器におけ
る液体の純度（汚染度）や半導体製造装置における純水
の純度（汚染度）を計測するのに、液体や純水の電気伝
導度、すなわち液体や純水（以下「液体等」という）の
電気抵抗率を測定しており、そのためのセンサはその電
極が液体等中に投入される構成となるため、電極とし
て、プラチナやチタンなどの金属を、樹脂製あるいはセ
ラミック製の骨材に被覆した構造となっている。

【０００５】このように、従来の液体等の電気抵抗率を
測定するためのセンサは、電極が、プラチナやチタンな
どの金属製となっているため、電極の機械加工が非常に
困難であり、電極にタ−ミナルねじなどの加工をする
際、手間がかかり、このことがコスト高の原因となって
いる。

【０００６】図１３は、従来の電気伝導度センサの１例
を示すもので、この電気伝導度センサ０１は、プラチナ
製の３個のリング状の電極０２（電極０２については図
１４（ａ），（ｂ）に示されている）と、各電極間に介
在するリング状のスペーサ０５とを備え、各電極０２
に、タ−ミナルねじ０６が螺合する雌ねじ加工が施され
ている。各電極０２にリ−ド線０４が、タ−ミナルねじ
０６により接続されている。電極０２は両端部にＯリン
グ０１２配設用の肩部０２ａを有し、中心部に流路０９
を形成する円形穴０２ｂを有する円柱体で形成されてい
る。

【０００７】符号０７はケ−スを示しており、このケ−
ス０７の両端部にフランジ０８が取り付けられ、各電極
０２、各スペーサ０５および両フランジ０８を貫通して
液体等の流路０９が形成されている。流路０９の出口側
にチュ−ブ０１１を介してサ−ミスタ０１０が接続され
ている。

【０００８】各電極０２は、後述の図７の回路図に示す
ように接続されて３電極サンサを構成していて、各電極
０２間の電気抵抗の差をこの回路１２で検出できるよう
になっている。図７中の符号１２ａはアンプを、図１３
中の符号１３はアンプ１２ａの出力信号を演算して、液
体等の電気伝導度を表示するディスプレイを示してい
る。

【０００９】上記のように、従来の電気伝導度センサで
は、リード線０４が電極０２にターミナルねじ０６を締
めつけることによって接続される構成となっているた
め、電極に対する雌ねじ加工が必要となり、コスト高の
原因となるほか、硬い電極にターミナルねじ０６を締め
つける構成なため、ターミナルねじ０６が弛み接触不良
を起こすおそれがあって、電気伝導度センサの信頼性を
損なうという問題点がある。

【００１０】本発明は、このような問題点を解決した電
気伝導度センサの提供を第１の目的とし、さらには、組
み付け作業の効率化を可能にした電気伝導度センサの提
供を第２の目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は、複数個の電極
と各電極間に介設されるスペーサと、これらの電極とス
ペーサとを収納する本体としてのケ−スとを備えるとと
もに、上記電極、スペーサ及びケ−スを貫通して、液体
等の流路が形成された電気伝導度センサにおいて、上記
各電極の外周に端子板をそれぞれ嵌入固定し、同各端子
板のそれぞれにリ−ド線を接続して第一の課題解決の手
段としている。

【００１２】また、上記の電気伝導度センサにおいて、
上記端子板を、中心部に円形の穴を形成された止め輪型
の弾性体で形成して第二の課題解決の手段としている。

【００１３】さらに、上記の電気伝導度センサにおい
て、上記端子板を、中心部に円形の穴を形成されるとと
もに一側面に切り欠き部を形成された止め輪型の弾性体
で形成して第三の課題解決の手段としている。

【００１４】また、複数の電極を所定間隔で保持する電
極保持部材を、本体を構成するフランジと一体構造に形
成し、同電極保持部材に所定間隔をあけて上記電極を保
持するための電極保持穴を複数個形成し、同各電極保持
穴を、同電極保持穴に上記本体の流路に直角な方向から
挿入された上記電極を緊密に保持できる形状に形成して
第四の課題解決の手段としている。

【００１５】上記の電気伝導度センサにおいて、上記電
極を、円柱体からなる本体部と、同本体部の上部に形成
した鍔部と、上記本体部と鍔部との間に形成した小径部
と、同小径部と上記本体部との連接部に形成したＯリン
グの配設個所としての段部と上記本体部の中心部に貫通
形成した液体等の流路としての横穴と、上記鍔部に突設
した雄ねじと同雄ねじに螺合するナットとで形成される
リード線の端子取り付け部とで構成して第五の課題解決
の手段としている。

【００１６】上記の本発明では、電極の外周に端子板が
固着され、この端子板にリード線が半田付けなどで接続
される構成となっているので、リード線を電極に取り付
けるための加工を電極に施す必要がなくなり、その分、
製造コストを低減できる。また、端子板は電極に強固に
固着しており、その端子板にリード線を半田付けする構
成であるため、電極とリード線との接続は確実であっ
て、妄りに接続不良を起こすおそれはない。

【００１７】電極組み付けは、電極を、電極保持部材に
対してその流路と直交する方向から電極保持穴に挿入す
ることにより行われるので、部品点数を減らしながら、
寸法の安定性、すなわち特性のばらつきを抑制し、かつ
組み付けの簡単化、自動化（機械化）が可能となる。

【００１８】さらに、リード線の電極への取り付けは、
電極の雄ねじにリード線の端子を取り付け、雄ねじに螺
合するナットを締めつけることにより行うことができる
ので、リード線の電極への取り付けが容易となり、その
結果、測りたい液体等の濃度に併せて電極の配線を簡単
に変更することができ、シンプルな構造で部品の共通化
をはかることが可能になる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、図面により本発明の実施の
形態について説明する。

【００２０】図１、図２に示すように、この第一実施形
態の電気伝導度センサ１０は、図１３に示した従来例と
同様に、３個のリング状の電極２と、各電極２の間に介
設されているリング状のスペーサ５とを備え、これらの
各部材は、本体としてのケース７内に収納されている。
各電極２および各スペーサ５の中心部である内径部２
ａ，５ａを貫通して液体等の流路９が形成されるととも
に、ケース７の左端部には流路９の入口側接続部９ａが
突設されている。ここで、内径部２ａ，５ａおよび入口
側接続部９ａの内径部９ｃならびに後述の出口部９ｂの
内径部の各直径はいずれも同一寸法に設定されており、
さらに、後述するように、液漏れ防止用のＯリング６も
電極２の外周肩部に装着されていて、Ｏリングが液体等
の流路９にはみださない構成となっていて、液体等の流
路９には凹凸がなく、液体等のスム−ズな流通を可能に
している。

【００２１】ケース７の右端部にフランジ８がねじ８ａ
で取り付けられ、このフランジ８に流路９の出口部９ｂ
が設けられている。出口９ｂに、その流路９の軸上に温
度センサ１１ａが配置されたサ−ミスタ１１が設けられ
ている。符号８ｂは流路９の出口側接続部を、１１Ａは
温度表示器を示している。

【００２２】電極２は、図２に示すように、中心部（内
径部）２ａを貫通して液体等の流路９を形成するリング
状の円筒体からなり、その外周部に、図３（ａ）に示す
止め輪型端子板２１が２枚嵌着されいて、この２枚の端
子板２１にリード線４が半田付けされている。符号４ａ
は半田付け部を示している。また、符号６は電極２の外
周の両肩部とスペーサ５との間にそれぞれ介設されたＯ
リングを示している。

【００２３】端子板２１の中心部には、円形の穴２１ａ
が形成されており、この穴２１ａに電極２の外周が嵌入
されるのであるが、端子板２１を電極２に強固に固定す
るために、穴２１ａに、端子板２１を電極２に嵌入した
際弾性変形可能な複数の突起２１ｂが設けられている。

【００２４】図３（ｂ）は、ブッシュナット型端子板２
２を示している。この端子板２２も端子板２１と同様
に、その２枚が電極２の外周に嵌着され、これにリード
線４が半田付けされる。この端子板２２は、その中心部
に形成された円形の穴２２ａの全周に複数の弾性変形可
能な突起２２ｂが連続して形成されていて、電極２の外
周に嵌入された際、端子板２２を電極２に強固に固定す
るよう機能するようになっている。

【００２５】図４、図５に示した例では、電極２に、端
子板２３あるいは２４を嵌入する溝２ｂが形成されてお
り、この溝２ｂに、図３（ｃ）に示すような、一側部
に、中心部に形成された円形の穴２３ａに連通する切り
欠き部２３ｂが形成されて全体形状が「Ｅ」字状の止め
輪型端子板２３あるいは図３（ｄ）に示すような、一側
部、中心部に形成された円形の穴２４ａに連通する切り
欠き部２４ｂが形成されるとともに切り欠き部２４ｂの
反対側にリード線接続部２４ｃを突設された止め輪型端
子板２４が嵌入されるようになっている。端子板２３，
２４はいずれも弾性体から形成されていて、電極２の１
側方から溝２ｂに嵌入するとき、弾性変形し、嵌入後は
電極２に強固に固着される。そして、端子板２３，２４
にリード線４が半田付けされる点は、上記のものと同様
である。なほ、端子板２３，２４の場合、その一枚が電
極２に固着される。上記の各端子板には、半田付けのた
めに予めメッキが施されている。

【００２６】図６に示す例では、２個の電極２で二電極
式電気伝導度センサが形成されている。この例では、電
極２の各外端面がケース７あるいはフランジ８に当接支
持される構成となっており、また、スペーサ５は、図
１、２あるいは図４、５に示した電気伝導度センサのス
ペーサ５よりも長いロングスペーサ５ａが用いられてい
る。この例でも、各電極２に、図３（ａ）の端子板２１
が２枚固着されている。

【００２７】上記の各実施形態のものでは、電極２の外
周に端子板２１などが固着され、この端子板にリード線
４が半田付けされる構成となっている。したがって、リ
ード線４を電極２に取り付けるための加工を電極に施す
必要がなくなり、その分、製造コストを低減できる。ま
た、端子板は電極に強固に固着しており、その端子板に
リード線４を半田付けする構成であるため、電極２とリ
ード線４との接続は確実であって、妄りに接続不良をお
こすおそれはない。

【００２８】上記のように、この第一実施形態では、電
極２およびスペーサ５をリング形状の円筒体で形成する
とともに、それらを直列配置して、電気伝導度センサの
主要部を形成し、かつこれらの各内径部の各直径をいず
れも同一寸法に設定し、さらに、液漏れ防止用のＯリン
グ６も電極２の外周肩部に装着して、Ｏリングが液体等
の流路９にはみださない構成としたため、液体等の流路
９には凹凸がなく、液体等のスム−ズな流通が可能とな
る。また、流路９の出口部９ｂにおける流路９の軸上に
温度センサ１１ａを配置したことにより、液体等の温度
測定を従来のものよりも正確に行うことが可能となる。

【００２９】さらに、流路９の出口部９ｂにおける流路
９の軸上に温度センサ１１ａを配置したことにより、流
路９内が汚れたとしても、温度センサ１１ａ（サーミス
タ）を取り外せば直線状の流路９を目視できるので、流
路９のクリーニングを簡単に行うことができる。

【００３０】図７は、３電極のセンサの作動回路１２を
示す図であり、図７において、符号１２ａはアンプを示
している。このような回路を含む電気伝導度表示器１３
が本体としてのケース７の外部に取り付けられている。

【００３１】透析液の電気伝導度を計測する場合、リー
ク電流を減らすために、この分野では一般的な３電極タ
イプにて行っているが、さらに濃度の濃い液体を計測す
る場合は、図６に示す例のように２電極のものを使用す
るか、３電極型の電気伝導度センサで両外側の電極のみ
を使用するというように、作動回路１２の接続を変更す
ることで、外観形状や流路径を変えることなく、計測が
可能となる。なお、これは、後述の第二実施形態におけ
る図９、図１１（ａ），（ｂ）の説明を参照できる。

【００３２】このように、この第一実施形態の電気伝導
度センサによれば、計測したい液体等の濃度（電気伝導
度）にマッチングした電気伝導度センサを、低コストで
得ることが可能となる。

【００３３】上記の第一実施形態では、、電極２とスペ
ーサ５とを交互にガイド軸に串刺しにしたのを、パイプ
型のケースに入れて、電気伝導度センサ１０を組み立て
ていた。この作業は慣れが必要であるばかりか自動化が
困難である。また、それぞれの部品の公差が常により多
くのばらつきをうみ、電気伝導度センサの特性に起因す
るセル定数のばらつきを大きくしてしまう傾向にあり、
それによる受け側の回路の調節範囲も非常に大きくとる
ことを余儀なくされていた。つぎに述べる第２実施形態
は、この様な問題点を解決しようとするものである。

【００３４】図１０に示すように、この第２実施形態で
は、スペーサに相当する部材（電極保持部材）３５がフ
ランジ３８と一体構造に形成されている。電極保持部材
３５には、所定間隔をあけて、電極３２を保持するため
の電極保持穴３５ｂが複数個形成れている。電極３２
は、図１２に示すような形状に形成されていて、このよ
うな形状の電極３２が液体等の流路３９に直角な方向か
ら（図１０において左方向から）各電極保持穴３５ｂに
嵌入された時、各電極保持穴３５ｂに電極３２を緊密に
保持させるようにして電気伝導度センサ３０が形成され
ている。フランジ３８の流路３８ａにサーミスタ５０が
配設されている。符号５１はサーミスタ５０の取り付け
板を示している。

【００３５】電極３２は、図１２に示すように、円柱体
からなる本体部３２ａを備え、本体部３２ａの上部に鍔
部３２ｂが形成されている。本体部３２ａと鍔部３２ｂ
との間は小径部３２ｃとなっており、この小径部３２ｃ
と本体部３２ａとの連接部に形成された肩部（段部）に
Ｏリング３６Ａが配設されるようになっている。本体部
３２ａの中心部に、液体等の流路３９を形成する横穴３
２ｄが貫通している。この横穴３２ｄは電極保持部材３
５に形成した流路３５ａに段差なく連通しており、また
流路３５ａは、フランジ３８にボルト３１Ａで固着され
ている端板３１に設けられた接続部３１ａの流路３１ｂ
にも段差なく連通している。

【００３６】電極３２の鍔部３２ｂに雄ねじ３２ｅが突
設され、この雄ねじ３２ｅにナット４２が螺合して、リ
ード線４４が電極３２に取り付けられる構成となってい
る。

【００３７】電極３２の本体部３２ａの下面に、位置決
め突起部３２ｆが突設され、この突起部３２ｆを電極保
持部材３５に形成した位置決め穴３５ｂに圧入して電極
３２が電極保持部材３５に取り付けられるようになって
いる。また、電極３２の本体部３２ａの側面には、電極
３２の回転止めのために、一対の切削面（平面）３２ｇ
が形成されている。電極保持部材３５の電極保持穴３５
ｂに、切削面３２ｇに対応する平面が形成されている。

【００３８】さらに、電極３２の本体部３２ａの下面の
位置決め突起部３２ｆと本体部３２ａとの連接部に形成
された肩部（段部）にＯリング３６Ｂが配設されるよう
になっており、したがって、電極保持穴３５ｂは、上記
の形状の電極３２を緊密に保持することができるよう
な、途中にＯリング３６Ａ，３６Ｂを収納可能な複数の
段部を有する形状をそなえた円柱形状に形成されてい
る。

【００３９】電極３２の組み付けは、電極３２を、電極
保持部材３５に対してその流路３９と直交する方向から
電極保持穴３５ｂに挿入することにより行われるので、
またサ−モスタ５０の取り付けも同じ方向から行う得る
ようになっているので、部品点数を減らしながら、寸法
の安定性すなはち特性のばらつきを抑制し、かつ組み付
けの簡単化、自動化（機械化）が可能となる。そして、
電極３２の挿入後、位置決め突起部３２ｆの電極保持部
材３５から突出した箇所にＣ型やＥ型の止め輪４３を嵌
着して、電極３２の固定の完全化を図る構成となってい
る。止め輪４３に代えプッシュナットや六角ナットによ
る固定でもよい。

【００４０】リード線４４の電極３２への取り付けは、
電極３２の雄ねじ３２ｅにリード線４４のめがね端子
（あるいはフォーク端子）を取り付け、雄ねじ３２ｅに
螺合するナット（図示せず）を締めつけることにより、
行うことができる。これによりリード線４４の電極３２
への取り付けが容易となる。図１０において符号４５は
リード線４４（複数）のかしめ部を、４７はバネ座金を
示している。また、符号４６は合成樹脂製のケースを、
４８は電線組立を示している。

【００４１】したがって、この電気伝導度センサ３０を
図９に示す３電極式から、図１１に示す２電極式に変更
したり、あるいは２電極式から３電極式に変更したりす
るときの回路変更を、簡単に行うことが可能となる。

【００４２】このように、この電気伝導度センサ３０を
透析液の検査用に使用する際、リ−ク電流を減らすため
に、この分野で一般的な３電極式が好ましいが、更に少
し濃度の濃い液体を測る場合は、使用する電極の数を変
えて、たとえば、図１１（ａ）に示すように、３電極の
隣り同士の２電極を使用するようにすれば、約２倍から
３倍の濃度の測定が可能となる。また、図１１（ｂ）に
示すように、真ん中の電極を使わずに両側の電極のみで
使用すると、約１０倍の濃度が測定可能となる。

【００４３】上記の通り、この電気伝導度センサ３０に
よれば、電気伝導度センサ３０の外観形状や流路径、電
極間距離を変更することなく、いくつかの濃度の測定が
可能となる。

【００４４】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、以下の
ような効果が得られる。 （１）電極の外周に端子板が固着され、この端子板にリ
ード線が半田付けなどで接続される構成となっているの
で、リード線を電極に取り付けるための加工を電極に施
す必要がなくなり、その分、製造コストを低減できる。 （２）端子板は電極に強固に固着しており、その端子板
にリード線を半田付けする構成であるため、電極とリー
ド線との接続は確実であって、妄りに接続不良をおこす
おそれはない。 （３）電気伝導度センサの電極組み付けは、電極を、電
極保持部材に対してその流路と直交する方向から電極保
持穴に挿入することにより行われるので、部品点数を減
らしながら、寸法の安定性すなはち特性のばらつきを抑
制し、かつ組み付けの簡単化、自動化、機械化が可能と
なる。 （４）リード線の電極への取り付けは、電極の雄ねじに
リード線の端子を取り付け、雄ねじに螺合するナットを
締めつけることにより行うことができるので、リード線
の電極への取り付けが容易となり、その結果、測りたい
液体等の濃度に併せて電極の配線を簡単に変更すること
ができる。 （５）上記（４）により、シンプルな構造で部品の共通
化をはかることが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一実施形態に係る電気伝導度センサ
の断面図である。

【図２】図１のＡ矢部の拡大断面図である。

【図３】（ａ）は同端子板の第１例の平面図、（ｂ）は
同端子板の第２例の平面図、（ｃ）は同端子板の第３例
の平面図、（ｄ）は同端子板の第４例の平面図である。

【図４】図１の電気伝導度センサの変形例の断面図であ
る。

【図５】図４のＣ矢部の拡大断面図である。

【図６】図１の電気伝導度センサの変形例（２電極の
例）の断面図である。

【図７】図１の電気伝導度センサの作動回路図である。

【図８】（ａ）は本発明の第二実施形態に係る電気伝導
度センサの正面図、（ｂ）は同側面図、（ｃ）は同平面
図である。

【図９】図８の電気伝導度センサの作動回路（３電極の
場合）図である。

【図１０】図８の電気伝導度センサの断面図である。

【図１１】（ａ）は図８の電気伝導度センサの作動回路
（２電極で２〜３倍の場合）図、（ｂ）は図８の電気伝
導度センサの作動回路（２電極ので１０倍の場合）図で
ある。

【図１２】（ａ）は図８の電気伝導度センサの電極の断
面図、（ｂ）は同側面図、（ｃ）は同底面図、（ｄ）は
同平面図である。

【図１３】従来の電気伝導度センサの断面図である。

【図１４】（ａ）は図１３の電気伝導度センサの電極の
断面図、（ｂ）は同平面図図である。

【符号の説明】

２，３２ 電極 ４ リード線 ４ａ 半田付け ５ スペーサ ６，３６Ａ，３６Ｂ Ｏリング ７ 本体としてのケース ８，３８ フランジ ９，３９ 液体等の流路 １０，３０ 電気伝導度センサ １１ サーミスタ ２１ 端子板 ２２ 端子板 ２３ 端子板 ２４ 端子板 ３１ 端板 ３２ 電極 ３２ａ 電極の本体部 ３２ｂ 電極の鍔部 ３２ｃ 小径部 ３２ｄ 流体通路としての横穴 ３２ｅ 雄ねじ ３２ｆ 位置決め用突起部 ３５ 電極保持部材 ３５ｂ 電極保持部材の穴 ４２ ナット ４５ かしめ（部） ５０ サーミスタ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G028 AA01 AA04 BB01 BC04 CG02 HN03 2G060 AA06 AA07 AE17 AF04 AF08 AG11 EA06 FA09 FA15 FB05

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数個の電極と各電極間に介設されるス
   ペーサと、前記電極とスペーサとを収納する本体として
   のケ−スとを備えた電気伝導度センサにおいて、前記電
   極、スペーサ及びケ−スを貫通して液体等の流路を形成
   すべく前記各電極および各スペーサの内径部が被測定液
   の流路を形成するリング形状の円筒体で形成されるとと
   もに、前記各電極の外周に端子板が嵌入固定され、該各
   端子板のそれぞれにリ−ド線が接続されていることを特
   徴とする電気伝導度センサ。
2. 【請求項２】 前記端子板が中心部に前記電極を嵌入可
   能な円形の穴が形成された止め輪型の弾性体で形成され
   ている請求項１に記載の電気伝導度センサ。
3. 【請求項３】 前記端子板が中心部に前記電極の外周に
   形成された溝に嵌入可能な円形の穴が形成されるととも
   に一側面に前記円形の穴に連通する切り欠き部が形成さ
   れた止め輪型の弾性体で形成されている請求項１に記載
   の電気伝導度センサ。
4. 【請求項４】 複数の電極を所定間隔で保持する電極保
   持部材が本体を構成するフランジと一体構造に形成さ
   れ、前記電極保持部材には、所定間隔をあけて前記電極
   を保持するための電極保持穴が複数個形成れ、該各電極
   保持穴が、該電極保持穴に前記本体の流路に直角な方向
   から前記電極が挿入されて緊密に保持されるような形状
   に形成されていることを特徴とする電気伝導度センサ。
5. 【請求項５】 前記電極が、円柱体からなる本体部を備
   え、該本体部の上部に鍔部が形成され、前記本体部と鍔
   部との間に小径部が形成され、該小径部と前記本体部と
   の連接部に形成された段部がＯリングの配設個所を形成
   し、前記本体部の中心部に、液体等の流路を形成する貫
   通式横穴が設けられ、前記鍔部に雄ねじが突設され、該
   雄ねじにナットが螺合して、リード線の端子取り付け部
   を形成されている請求項４に記載の電気伝導度センサ。