JP4879634B2 - 溶液濃度計用電極取り付け具、および溶液濃度計 - Google Patents
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Description
具体的には、半導体洗浄用の配管100に、筒形状のスルー継手110の取り付け孔112を設け、電極保持部材106の下端部106aを、取り付け孔112に溶着し、電極保持部材106に電極102、104を嵌める。
しかしながら、上記のような電極200に取り付け孔202を穿設する際に、アモルファスカーボン電極が破損損傷してしまうおそれがある。また、バネ部材208の内部に電極200を挿通する際にも、アモルファスカーボン電極の表面に傷がつくおそれがある。
従って、半導体製造工程において、洗浄液の濃度を測定する溶液濃度計に使用した場合には、洗浄効果が低下して、シリコンウェハの表面に付着した不純物、酸化物などを取り除く除去能力が大きく変化してしまい、半導体自体の品質の低下をきたすことになる。
本発明は、このような現状に鑑み、電極を用いて溶液の導電率を計測する溶液濃度計に
おいて、例えば、耐食性の材料であるアモルファスカーボン電極を使用した場合にも、電極が破損損傷したり、表面が傷つくことがなく、電極とリード線を電気的に接続する部分における導通抵抗が小さく、安定した電気的接続を維持することができ、溶液の濃度を正確に測定することができる溶液濃度計用電極取り付け具、および溶液濃度計を提供することを目的とする。
少なくとも一対の電極を、被測定溶液に接触させて、電極間を流れる電流によって被測定液体の導電率を測定することにより、被測定溶液の濃度を測定するように構成した溶液濃度計において、電極とリード線を接続するための溶液濃度計用電極取り付け具であって、
電極を挿着して挟持する挿着用開口部を画成するように挿着用凹部が形成された一対の相互に離間した挟持片と、
前記挟持片の基端部同士を連結する連結部とから構成される取り付け具本体と、
前記挟持片の先端部同士を締結する締結部材とを備え、
前記締結部材によって、挟持片の先端部同士を締結することによって、挟持片に形成した挿着用開口部に挿着した電極を挟持固定するように構成したことを特徴とする。
少なくとも一対の電極を、被測定溶液に接触させて、電極間を流れる電流によって被測定液体の導電率を測定することにより、被測定溶液の濃度を測定するように構成した溶液濃度計であって、
電極を挿着して挟持する挿着用開口部を画成するように挿着用凹部が形成された一対の相互に離間した挟持片と、
前記挟持片の基端部同士を連結する連結部とから構成される取り付け具本体と、
前記挟持片の先端部同士を締結する締結部材とを備え、
前記締結部材によって、挟持片の先端部同士を締結することによって、挟持片に形成した挿着用開口部に挿着した電極を挟持固定するように構成した溶液濃度計用電極取り付け具を用いて、電極とリード線を接続したことを特徴とする。
このように締結部材に、リード線を取り付けるためのリード線連結部を備えることによって、挟持片の先端部同士を、締結部材によって締結するだけで、簡単に電極とリード線との電気的接続を達成することができる。
前記挟持片の先端部に、締結部材装着孔が形成され、
前記締結部材装着孔に、締結部材を装着することによって、電極を挟持固定するように構成したことを特徴とする。
このように、挟持片に、複数の電極をそれぞれ挿着して挟持する、複数の挿着用開口部が形成されていることによって、一度に複数の電極にリード線を取り付けることができ、取り付け作業が容易で便利である。
このように構成することによって、複数の溶液濃度計用電極取り付け具を、一つの締結部材で同時に挟持することができるので、一度に複数の電極にリード線を取り付けることができ、取り付け作業が容易で便利である。
このようにアモルファスカーボンのように硬くて脆い性質の電極の場合でも、電極を破損損傷したり、傷つけたりすることがなく、接触面積が大きくなり、電極と溶液濃度計用電極取り付け具との導通抵抗を低く、かつ、安定して保つことができ、溶液の濃度を正確に測定することができる。
被測定溶液を流通させる測定用管部と、
前記測定用管部に、測定用管部の軸方向に対して、垂直な方向に電極を装着するための電極装着用開口部と、
を備えた濃度計本体を備え、
前記溶液濃度計が、
前記電極装着用開口部に、電極を装着した状態で、電極を挟持固定した溶液濃度計用電極取り付け具を、濃度計本体側に固定する電極固定板を備えることを特徴とする。
このように構成することによって、濃度計本体を覆う蓋部材を、濃度計本体に固定するだけで、電極固定板を濃度計本体に固定することができ、これによって、電極固定板によって、電極を挟持固定した溶液濃度計用電極取り付け具を濃度計本体側に固定することができ、構造が簡単で取り付け作業も容易である。
このように蓋部材と濃度計本体との間の空間が、樹脂を充填して封止されていることによって、濃度計本体内の接液部から、万一、腐食性の被測定溶液が漏洩した場合にも、リード線取り付け部分などが腐食されることがなく、この部分の導通抵抗が低い状態で、長期間確実に維持することができる。
前記測定用管部の電極装着用開口部に装着したシール材と、
前記シール材を固定する固定部材とを備えることを特徴とする。
このように構成することによって、電極固定板によって、固定部材を固定することができ、構造が簡単で取り付け作業も容易である。
図1は、本発明の溶液濃度計用電極取り付け具の取り付け具本体の斜視図、図2は、図1の溶液濃度計用電極取り付け具の取り付け具本体の上面図、図3は、図1の溶液濃度計用電極取り付け具に電極を取り付ける状態を説明する概略図である。
なお、この場合、図1、図2では、説明の便宜上、電極取り付け具10の取り付け具本体11のみを示している。
そしてこれらのスリット12とスリット20との間に、挟持片14、16の基端部14a、16a側に偏って、電極22を挿着して挟持する挿着用開口部24が形成されている。
この挿着用開口部24の寸法は、電極22と同じか寸法か、僅かに大きい寸法の開口部となるように設定されている。
そして、このように構成される電極取り付け具10を使用する場合には、図3示したように用いられる。
この際には、一対の挟持片14、16が相互に離間している状態であり、挿着用開口部24の寸法が、挿着用開口部24の寸法は、電極22と同じ寸法か、僅かに大きい寸法の開口部となるように設定されているので、電極22を破損損傷したり、傷つけたりすることがないようなっている。
そして、この状態で、図3(B)に示したように、締結部材であるネジ部材30に、リード線連結部を構成するリード線接続端子32のリング33と、緩み防止のためのスプリングワッシャ34と、平ワッシャ36を挿通する。これにより、締結部材であるネジ部材30が、リード線を取り付けるためのリード線連結部として機能することになる。
合に応じて、ネジ部材30の締め付けトルクを設定すれば良い。
なお、この実施例の電極取り付け具10では、締結部材として、ネジ部材30を用いたが、図示しないが、挟持片16の締結部材装着孔16bには、ネジ溝16cを形成せずに、ボルトとナットから構成することも可能である。
図4〜図7において、符号40は、全体で本発明の溶液濃度計を示している。
定することによって、被測定溶液の導電率を求めるようになっている。
このように構成することによって、図8の矢印Dで示したように、測定用管部46を流れる被測定溶液によって、シール材54を上方に移動させる力(矢印E)に対して、固定部材56によって、シール材54が固定されることになる。これにより、シール材54が濃度計本体42の測定用管部46の内部の接液部の圧力上昇に対して、位置がずれないようになっている。
このように蓋部材44と濃度計本体42との間の空間72が、樹脂74を充填することによって封止されていることによって、濃度計本体42内の接液部(電極装着用開口部48)から、万一、腐食性の被測定溶液が漏洩した場合にも、電極取り付け具10などのリード線取り付け部分などが腐食されることがなく、この部分の導通抵抗が低い状態で、長期間確実に維持することができる。
されるものではないが、例えば、シリコーン系の樹脂、エポキシ系の樹脂などを使用することができる。
なお、測定用管部46、接続配管76、78の材質としては、特に限定されるものではないが、被測定溶液として、例えば、半導体製造工程の洗浄工程において、洗浄液として、フッ酸などの強酸を用いる場合には、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)樹脂、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体(PFA)樹脂などを使用するのが望ましい。
なお、この実施例の電極取り付け具10は、図1〜図3に示したと基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には、同一の参照番号を付して、その詳細な説明を省略する。
なお、この実施例の電極取り付け具10は、図1〜図3に示したと基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には、同一の参照番号を付して、その詳細な説明を省略する。
このように、挟持片14、16に、複数の電極22をそれぞれ挿着して挟持する、複数の挿着用開口部24が形成されていることによって、一度に複数の電極22にリード線を取り付けることができ、取り付け作業が容易で便利である。
ものであり、特に限定されるものではない。
図11〜図13は、本発明の溶液濃度計用電極取り付け具の別の実施例の上面図である。
この実施例の電極取り付け具10は、図11に示したように、複数の電極取り付け具10の挟持片14、16の先端部同士を同時に挟持するように、図9と同様なクランプ部材80が電極取り付け具10の数に応じて一体になった(図11では、2個、図12では、4個のクランプ部材が一体になった)クランプ部材90を用いるようになっている。
このように構成することによって、複数の電極取り付け具10を、一つの締結部材であるクランプ部材90で同時に挟持することができるので、一度に複数の電極22にリード線を取り付けることができ、取り付け作業が容易で便利である。
11 取り付け具本体
12 スリット
14 挟持片
14a 基端部
14b 締結部材装着孔
14c 絶縁部
16 挟持片
16a 基端部
16b 締結部材装着孔
16c ネジ溝
18 連結部
20 スリット
22 電極
22a〜22d 電極
24 挿着用開口部
26、28 挿着用凹部
30 ネジ部材
31 リード線
32 リード線接続端子
33 リング
34 スプリングワッシャ
35 ナット
36 平ワッシャ
40 溶液濃度計
41 ベース板
41a 取り付け孔
42 濃度計本体
44 蓋部材
45 締結用孔
46 測定用管部
48 電極装着用開口部
48a-48d 電極装着用開口部
50a-50d 凹部
52 シール溝
54 シール材
56 固定部材
58 電極固定板
60 操作用開口部
62、64 側壁
62a、64a 段部
66 側壁
66a 段部
68 側壁
70 リード線クランプ
72 空間
74 樹脂
75 溶接部分
76、78 接続配管
80 クランプ部材
82、84 クランプ片
82a、84a 係止突設部
90 クランプ部材
92 絶縁部
100 配管
102、104 電極
106 電極保持部材
106a 下端部
108 締付部材
110 スルー継手
112 取り付け孔
114 リード線
116 キャップ部材
118 接触ピン
200 電極
202 取り付け孔
204 リード線
206 ピン
208 バネ部材
Claims (14)
- 少なくとも一対の電極を、被測定溶液に接触させて、電極間を流れる電流によって被測定液体の導電率を測定することにより、被測定溶液の濃度を測定するように構成した溶液濃度計において、電極とリード線を接続するための溶液濃度計用電極取り付け具であって、
電極を挿着して挟持する挿着用開口部を画成するように挿着用凹部が形成された一対の相互に離間した挟持片と、
前記挟持片の基端部同士を連結する連結部とから構成される取り付け具本体と、
前記挟持片の先端部同士を締結する締結部材とを備え、
前記締結部材によって、挟持片の先端部同士を締結することによって、挟持片に形成した挿着用開口部に挿着した電極を挟持固定するように構成され、
前記挟持片の先端部に、締結部材装着孔が形成され、
前記締結部材装着孔に、締結部材を装着することによって、電極を挟持固定するように構成したことを特徴とする溶液濃度計用電極取り付け具。 - 前記締結部材に、リード線を取り付けるためのリード線連結部を備えることを特徴とする請求項1に記載の溶液濃度計用電極取り付け具。
- 前記挟持片に、複数の電極をそれぞれ挿着して挟持する、複数の挿着用開口部が形成されていることを特徴とする請求項1から2のいずれかに記載の溶液濃度計用電極取り付け具。
- 前記締結部材が、複数の溶液濃度計用電極取り付け具の挟持片の先端部同士を同時に挟持するように構成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の溶液濃度計用電極取り付け具。
- 少なくとも一対の電極を、被測定溶液に接触させて、電極間を流れる電流によって被測定液体の導電率を測定することにより、被測定溶液の濃度を測定するように構成した溶液濃度計であって、
被測定溶液を流通させる測定用管部と、
前記測定用管部に、測定用管部の軸方向に対して、垂直な方向に電極を装着するための電極装着用開口部と、を備えた濃度計本体を備え、
前記測定用管部の電極装着用開口部に装着したシール材と、
前記シール材を固定する固定部材とを備え、
電極を挿着して挟持する挿着用開口部を画成するように挿着用凹部が形成された一対の相互に離間した挟持片と、
前記挟持片の基端部同士を連結する連結部とから構成される取り付け具本体と、
前記挟持片の先端部同士を締結する締結部材とを備え、
前記締結部材によって、挟持片の先端部同士を締結することによって、挟持片に形成した挿着用開口部に挿着した電極を挟持固定するように構成した溶液濃度計用電極取り付け具を用いて、電極とリード線を接続したことを特徴とする溶液濃度計。 - 前記溶液濃度計が、
前記電極装着用開口部に、電極を装着した状態で、電極を挟持固定した溶液濃度計用電極取り付け具を、濃度計本体側に固定する電極固定板を備えることを特徴とする請求項5に記載の溶液濃度計。 - 前記電極固定板が、濃度計本体を覆う蓋部材で、濃度計本体に固定されていることを特徴とする請求項5から6のいずれかに記載の溶液濃度計。
- 前記蓋部材と濃度計本体との間の空間が、樹脂を充填して封止されていることを特徴とする請求項7に記載の溶液濃度計。
- 前記固定部材が、電極固定板によって固定されていることを特徴とする請求項5から8のいずれかに記載の溶液濃度計。
- 前記締結部材に、リード線を取り付けるためのリード線連結部を備えることを特徴とする請求項5から9のいずれかに記載の溶液濃度計。
- 少なくとも一対の電極を、被測定溶液に接触させて、電極間を流れる電流によって被測定液体の導電率を測定することにより、被測定溶液の濃度を測定するように構成した溶液濃度計であって、
電極を挿着して挟持する挿着用開口部を画成するように挿着用凹部が形成された一対の相互に離間した挟持片と、
前記挟持片の基端部同士を連結する連結部とから構成される取り付け具本体と、
前記挟持片の先端部同士を締結する締結部材とを備え、
前記締結部材によって、挟持片の先端部同士を締結することによって、挟持片に形成した挿着用開口部に挿着した電極を挟持固定するように構成され、
前記挟持片の先端部に、締結部材装着孔が形成され、
前記締結部材装着孔に、締結部材を装着することによって、電極を挟持固定するように構成した溶液濃度計用電極取り付け具を用いて、電極とリード線を接続したことを特徴とする溶液濃度計。 - 前記挟持片に、複数の電極をそれぞれ挿着して挟持する、複数の挿着用開口部が形成されていることを特徴とする請求項5から11のいずれかに記載の溶液濃度計。
- 前記締結部材が、複数の溶液濃度計用電極取り付け具の挟持片の先端部同士を同時に挟持するように構成されていることを特徴とする請求項5から12のいずれかに記載の溶液濃度計。
- 前記電極が、アモルファスカーボンから構成されていることを特徴とする請求項5から13のいずれかに記載の溶液濃度計。
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