JP2002062275A

JP2002062275A - 抵抗率計の電極

Info

Publication number: JP2002062275A
Application number: JP2000253845A
Authority: JP
Inventors: Seiji Kamesaka; 精二亀坂
Original assignee: Saginomiya Seisakusho Inc
Current assignee: Saginomiya Seisakusho Inc
Priority date: 2000-08-24
Filing date: 2000-08-24
Publication date: 2002-02-28

Abstract

(57)【要約】【課題】電解質液の抵抗率を正確に測定できかつ電解
質液の抵抗率を測定する必要のある作業にかかるコスト
の高騰を抑制できる抵抗率計の電極を提供する。【解決手段】抵抗率計の電極１は内電極２と外電極３
と支持部４とシール突起３３と袋ナット７１などを備え
ている。内電極２は円柱状に形成されている。外電極３
は円管状に形成されている。支持部４は外電極ホルダ１
１などを備え電極２，３の基端部２ｆ，３ｂを支持す
る。シール突起３３は支持部１１から管部６１ｃの端面
６１ｄに向かって突出している。袋ナット７１は管部６
１ｃのテーパねじ６２に螺合可能な平行ねじ７６と貫通
孔７５とを備えている。袋ナット７１は平行ねじ７６が
テーパねじ６２に螺合して貫通孔７５内に通した支持部
４を管部６１ｃの端面６１ｄに向かって押しつけて管部
６１ｃに取り付ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体の洗浄装
置、産業機械、農業、食品、医療関係などの各分野にお
ける水質管理、原子力発電所の冷却水の絶縁性及び各種
の薬液の濃度管理などに用いられる抵抗率計の電極に関
する。

【０００２】

【従来の技術】半導体の洗浄装置、産業機械、農業、食
品、医療関係などの各分野における水質管理、原子力発
電所の冷却水の絶縁性及び各種の薬液の濃度管理などに
おいて、超純水の純度や電解質液の濃度を測定するため
に、前記超純水や電解質液の抵抗率を測定する抵抗率計
が用いられる。

【０００３】例えば、半導体の製造工程では、被洗浄物
としての半導体ウェーハを洗浄槽内に挿入してアンモニ
アなどの洗浄液で洗浄する（洗浄工程）。そして、前記
アンモニアを排出するとともに超純水（不純物を意図的
に極めて少なくした水：超高純度水ともいう）を洗浄槽
内に入れて、前記半導体ウェーハを濯いでいる（リンス
工程）。前記リンス工程において、アンモニアと入れ替
えられた超純水の純度を測定する際には、例えば、図１
１ないし図１３に示す電極１０１を備えた抵抗率計が用
いられる。

【０００４】図１１ないし図１３に例示された抵抗率計
の電極１０１は、内電極１０２と、外電極１０３と、前
記内電極１０２及び外電極１０３を支持する支持部１０
４と、前記内電極１０２と電気的に接続した内電極リー
ド線１０６と、前記外電極１０３と電気的に接続した外
電極リード線１０７と、を備えている。

【０００５】内電極１０２は、円柱状に形成されてい
る。外電極１０３は、その内径が前記内電極１０２の外
径より大きく形成された円管状に形成されている。内電
極１０２と外電極１０３とは、互いに同軸的でかつ前記
外電極１０３内に内電極１０２が挿入された状態で配さ
れている。

【０００６】内電極１０２は、その先端部１０２ｂ側に
位置する先端面１０２ｃが、前記外電極１０３の先端部
１０３ｂ側に位置する先端面１０３ｃより若干外電極１
０３の奥側に位置した状態で配されている。内電極１０
２と外電極１０３は、共に導電性を有する金属やカーボ
ンなどの非金属から構成されている。

【０００７】前記支持部１０４は、前記内電極１０２及
び外電極１０３それぞれの基端部１０２ａ，１０３ａを
支持している。支持部１０４は、内電極ホルダ１１０
と、外電極ホルダ１１１などを備えている。

【０００８】内電極ホルダ１１０は、内径が内電極１０
２の基端部１０２ａの外径と略等しく形成された円管状
に形成されている。内電極ホルダ１１０は、前記内電極
１０２の基端部１０２ａの外周に嵌合する。内電極ホル
ダ１１０は、絶縁性を有する樹脂などから形成されてい
る。

【０００９】内電極ホルダ１１０は、第１の凹溝１４０
と、第２の凹溝１４１と、を備えている。第１の凹溝１
４０は、内電極ホルダ１１０が内電極１０２に嵌合した
際に、この内電極１０２寄りに位置する内電極ホルダ１
１０の端部に設けられている。第１の凹溝１４０は内電
極ホルダ１１０の内周面から凹に形成されている。第１
の凹溝１４０は、内電極ホルダ１１０の周方向に沿って
形成されている。第１の凹溝１４０は、内電極ホルダ１
１０の内径を拡げるように形成されている。

【００１０】第２の凹溝１４１は、内電極ホルダ１１０
が内電極１０２に嵌合した際に、内電極１０２の長手方
向に沿った内電極ホルダ１１０の中央部に設けられてい
る。第２の凹溝１４１は、内電極ホルダ１１０の外周面
から凹に形成されている。第２の凹溝１４１は、内電極
ホルダ１１０の周方向に沿って形成されている。第１の
凹溝１４１は、内電極ホルダ１１０の外径を縮小するよ
うに形成されている。

【００１１】外電極ホルダ１１１は、円管状に形成され
ている。外電極ホルダ１１１は、導電性を有する金属な
どから構成されている。外電極ホルダ１１１は外電極１
０３の基端部１０３ａ及び内電極ホルダ１１０の外周に
嵌合する。外電極ホルダ１１１の外周にはねじ溝１１１
ａが形成されている。

【００１２】また、前記内電極１０２の長手方向に沿っ
た方向において、前記内電極ホルダ１１０と外電極１０
３との間には、中間部材１１５が設けられている。中間
部材１１５は、円環状に形成されている。

【００１３】中間部材１１５は、内電極ホルダ１１０の
外周に嵌合しかつ外電極ホルダ１１１の内周に嵌合して
いる。中間部材１１５は、絶縁性を有する樹脂などから
構成されている。中間部材１１５は、後述するＯリング
１４３が脱落することを防止する。

【００１４】さらに、内電極１０２の基端部１０２ａの
外周には止め輪１１９が嵌合している。止め輪１１９
は、内電極ホルダ１１０内に収容されている。止め輪１
１９は、前記基端部１０２ａの外周に嵌合すると、内電
極１０２と内電極ホルダ１１０とを電極１０２，１０３
の長手方向に沿って互いに近づける方向に付勢する。

【００１５】前記抵抗率計の電極１０１内には、前記外
電極ホルダ１１１の内周面と、前記内電極ホルダ１１０
の端面１１０ａなどによって囲まれた空間１１６が、形
成されている。この空間１１６内には、内電極１０２に
内電極リード線１０６が電気的に接続した接続部と、外
電極１０３に外電極リード線１０７が電気的に接続した
接続部等が収容されている。

【００１６】また、抵抗率計の電極１０１は、第１のＯ
リング１４２と第２のＯリング１４３とを備えている。
第１のＯリング１４２は、ゴムなどの弾性体からなりか
つ円環状に形成されている。第１のＯリング１４２は、
第１の凹溝１４０内に収容されている。

【００１７】第１のＯリング１４２は、第１の凹溝１４
０内に収容されかつ内電極ホルダ１１０が内電極１０２
に嵌合すると、内電極１０２と内電極ホルダ１１０との
双方から押圧されて弾性変形する。すると、第１のＯリ
ング１４２は、弾性復元力を生じて、内電極１０２と内
電極ホルダ１１０との間を液密に保つ。第１のＯリング
１４２は前記空間１１６内に超純水などの電解質液が侵
入することを防止する。

【００１８】第２のＯリング１４３は、ゴムなどの弾性
体からなりかつ円環状に形成されている。第２のＯリン
グ１４３は、第２の凹溝１４１内に収容されている。第
２のＯリング１４３は、第２の凹溝１４１内に収容され
かつ内電極ホルダ１１０が外電極ホルダ１１１に嵌合す
ると、内電極ホルダ１１０と外電極ホルダ１１１との双
方から押圧されて弾性変形する。

【００１９】すると、第２のＯリング１４３は、弾性復
元力を生じて、内電極ホルダ１１０と外電極ホルダ１１
１との間を液密に保つ。第２のＯリング１４３は前記空
間１１６内に超純水などの電解質液が侵入することを防
止する。

【００２０】前述した構成によって、抵抗率計の電極１
０１は、前記内電極１０２及び外電極１０３それぞれの
少なくとも先端部１０２ｂ，１０３ｂを、計測対象の電
解質液の流路中に配置し、これらの電極１０２，１０３
間の電気抵抗を測定することより前記電解質液の抵抗率
を測定する。そして、測定した抵抗率に基いて、超純水
などの電解質液の純度を求める。

【００２１】また、前述した従来の抵抗率計の電極１０
１は、例えば、図１２に示すように、前述した超純水な
どの流路中に配される管継手１６０などに取り付けられ
る。管継手１６０は、図１２に示すように、筒状の管部
１６１ａ，１６１ｂ，１６１ｃを備えている。一つの管
部１６１ａには、半導体ウエーハを収容しかつ前記洗浄
工程及びリンス工程などを行う前述した洗浄槽などが連
結している。他の一つの管部１６１ｂには、前述した洗
浄工程及びリンス工程などに用いられた処理液などを排
出する排出管が連結している。他の一つの管部１６１ｃ
には、電極１０１が取り付けられる。

【００２２】前記管部１６１ｃは、内周面にねじ溝１６
２が形成されている。前記電極１０１は、前記電極１０
２，１０３が前記管部１６１ｃの開口部を通して挿入さ
れ、前記ねじ溝１６２にねじ溝１１１ａがねじ込まれ
て、前記管部１６１ｃ即ち管継手１６０に取り付けられ
る。

【００２３】

【発明が解決しようとする課題】前述した抵抗率計の電
極１０１は、管継手１６０の管部１６１ｃの内周面に形
成されたねじ溝１６２に外電極ホルダ１１１のねじ溝１
１１ａがねじ込まれて、管継手１６０即ち超純水の流路
中に配される。

【００２４】また、前述した抵抗率計の電極１０１は、
前記空間１１６内への電解質液の侵入を防止するため
に、ゴムなどの弾性体からなるＯリング１４２，１４３
を用いている。前記Ｏリング１４２，１４３は、弾性変
形して、内電極１０２と内電極ホルダ１１０との間と内
電極ホルダ１１０と外電極ホルダ１１１との間との双方
を液密に保つ。

【００２５】このように、Ｏリング１４２，１４３を弾
性変形させるため、図１３に示すように各凹溝１４０，
１４１と各Ｏリング１４２，１４３との間に隙間１５０
が生じてしまうことが多い。なお、図１３では、第２の
凹溝１４１と第２のＯリング１４３とを代表して示して
いる。

【００２６】前述した隙間１５０が生じると、前述した
半導体の製造工程では、毛細管現象などによって隙間１
５０内に前述したアンモニアなどの薬液と半導体ウェー
ハの表面から除去されたゴミなどの不純物質とを含んだ
汚染物質が侵入することがある。

【００２７】そして、作業の進捗状況に伴って被洗浄物
などに付着している不純物などを除去しても、前述した
隙間１５０内に侵入した洗浄水が清浄な超純水状態とな
るまで、抵抗率計が検出する抵抗率は、清浄な超純水の
抵抗率とならない。

【００２８】例えば、洗浄開始後４０分以上経過して
も、測定した抵抗率が超純水の抵抗率とはならない。こ
のように、従来の抵抗率計の電極１０１は、測定対象物
としての電解質液の抵抗率が変化した際に、正確な抵抗
率を測定しようとするまでの時間遅れが大きくなる傾向
であるとともに、電解質液の抵抗率を正確に測定するこ
とが困難であった。このように、従来の抵抗率計の電極
１０１は、電解質液の抵抗率を正確に測定できないこと
があった。

【００２９】このため、実際には被洗浄物から不純物を
除去した状態であっても、抵抗率計の電極１０１の前記
隙間１５０内に溜まった不純物を放出して、抵抗率計が
不純物を放出し切って検出する抵抗率が清浄な超純水の
抵抗率となるまで、被洗浄物の洗浄を行うこととなる。
このように、必要以上に被洗浄物を洗浄し続ける。

【００３０】このように、前述した従来の抵抗率計の電
極１０１は、前述したリンス工程などに用いられると、
超純水などの洗浄液を必要以上に消費させることとなっ
ていた。このため、超純水などの資源を浪費させて前述
した被洗浄物の洗浄にかかるコストを高騰させる傾向と
なっていた。

【００３１】また、前述した電極１０１は、前述した超
純水を製造する純水製造装置にも用いられる。この場
合、前記管部１６１ａは超純水の原料となる純水（前述
した超純水ほどではないが意図的に不純物を少なくした
水：高純度水とも呼ぶ）の供給源と連結している。管部
１６１ｂは、純水製造装置に連結している。さらに、前
記管継手１６０が金属や樹脂からなることが多く、前記
外電極ホルダ１１１が金属からなるため、前記ねじ溝１
６２，１１１ａを互いに螺合させた際に、金属や継手材
料からなる塵（パーティクル）が管継手１６０内即ち純
水の流路中に侵入することがあった。

【００３２】このため、前記管継手１６０内を流れる純
水内に前記金属が徐々に溶出しイオンが生じる。前述し
たパーティクルや金属イオンが純水の流路中に侵入する
と、前記純水製造装置のイオン交換樹脂やフィルターな
どを劣化させる恐れがあり、なかなか超純水にならない
ことがあった。このため、前述したイオン交換樹脂及び
フィルターを比較的こまめに交換する必要が生じる。し
たがって、前記超純水の製造工程にかかるコストが高騰
する傾向となっていた。

【００３３】したがって、本発明の目的は、測定対象物
としての電解質液の抵抗率を正確に測定できるととも
に、半導体ウェーハの洗浄または超純水の製造などの電
解質液の抵抗率を測定することが必要な作業にかかるコ
ストの高騰を抑制できる抵抗率計の電極を提供すること
にある。

【００３４】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決し目的を
達成するために、請求項１に記載の本発明の抵抗率計の
電極は、計測対象の電解質液の流路を構成する管部に取
り付けられかつ前記流路中に複数の電極部材が所定間隔
をおいて配置され、電極部材間の電気抵抗に基いて前記
電解質液の抵抗率を測定する抵抗率計の電極において、
前記複数の電極部材はそれぞれ前記管部内に挿入される
とともに、前記電極部材それぞれの基端部を支持すると
ともに前記電極部材それぞれと接続した複数の電線を収
容する空間を有する支持部と、前記複数の電極部材が前
記管部内に挿入されると前記管部の端面に向かって前記
支持部から突出するシール突起と、前記支持部及び前記
管部の外周を包囲するとともに前記管部の端面に向かっ
て押しつけて前記支持部を前記管部に取り付ける取付手
段と、を備えたことを特徴としている。

【００３５】請求項２に記載の本発明の抵抗率計の電極
は、請求項１記載の抵抗率計の電極において、前記取付
手段が前記支持部を前記管部の端面に向かって押しつけ
ることを付勢する付勢手段を備えたことを特徴としてい
る。

【００３６】請求項３に記載の本発明の抵抗率計の電極
は、請求項１または請求項２記載の抵抗率計の電極にお
いて、前記シール突起が、前記支持部の前記管部と近接
する端面の内側から外側に向かって複数配されているこ
とを特徴としている。

【００３７】請求項４に記載の本発明の抵抗率計の電極
は、請求項１ないし請求項３のうちいずれか一項に記載
の抵抗率計の電極において、前記管部の外周にはねじ山
が形成されており、前記取付手段は、前記支持部を通す
ことのできる貫通孔を有し前記ねじ山に螺合可能な袋ナ
ットであることを特徴としている。

【００３８】請求項５に記載の本発明の抵抗率計の電極
は、請求項４記載の抵抗率計の電極において、前記ねじ
山がテーパねじであるとともに、前記袋ナットが前記テ
ーパねじに螺合可能であることを特徴としている。

【００３９】請求項６に記載の本発明の抵抗率計の電極
は、請求項１ないし請求項５のうちいずれか一項に記載
の抵抗率計の電極において、前記複数の電極部材のうち
一つの電極部材と前記支持部とが互いに隙間無く密接し
て、前記一つの電極部材と支持部との間を液密に保つこ
とを特徴としている。

【００４０】請求項７に記載の本発明の抵抗率計の電極
は、請求項１ないし請求項６のうちいずれか一項に記載
の抵抗率計の電極において、前記支持部は、内側に前記
複数の電極部材の基端部を収容する支持部本体を備え、
この支持部本体が前記取付手段によって前記管部の端面
に向かって押しつけられて前記管部に取り付けられるよ
うになっており、前記支持部本体が前記電解質液中で非
溶出性であることを特徴としている。

【００４１】請求項１に記載した本発明の抵抗率計の電
極によれば、支持部を管部の端面に向かって押しつけて
取り付ける取付手段が支持部及び管部の外周を包囲して
いる。支持部即ち電極を管部に取り付けても、前記支持
部を構成する材料と管部を構成する材料と取付手段を構
成する材料などからなる微小なゴミ（いわゆるパーティ
クルまたはコンタミ）などが、管部内に侵入することが
ない。また、シール突起が支持部から管部の端面に向か
って突出しているので、取付手段が管部に支持部を取り
付けると、シール突起が管部の端面と接触して、支持部
と管部との間を液密に保つこととなる。

【００４２】請求項２に記載した本発明の抵抗率計の電
極によれば、付勢手段が、支持部を端面に向かって押し
つけることを付勢するので、シール突起と管部の端面と
がより確実に接触することとなって、支持部と管部との
間をより確実に液密に保つこととなる。

【００４３】請求項３に記載した本発明の抵抗率計の電
極によれば、シール突起が支持部の管部と近接する端面
の内側から外側に向かって複数配されているので、支持
部と管部との間をより一層確実に液密に保つことができ
る。

【００４４】請求項４に記載した本発明の抵抗率計の電
極によれば、取付手段が袋ナットであるため、より確実
に支持部を端面に向かって押しつけて管部に取り付ける
ことができる。また、管部の外周に形成されるねじ山
は、平行ねじでも良くテーパねじでも良い。この場合、
前記ねじ山に袋ナットが確実に螺合できる。

【００４５】請求項５に記載した本発明の抵抗率計の電
極によれば、袋ナットが管部のテーパねじに螺合可能で
あるので、前記電極は、配管や管継手などに一般的に用
いられるテーパねじに取り付けることが可能となる。

【００４６】請求項６に記載した本発明の抵抗率計の電
極によれば、一つの電極部材と支持部とが隙間無く密接
して支持部内の空間内に電解質液が侵入することを防止
する。このように、前記一つの電極部材と支持部との間
が液密に保たれる。したがって、前記一つの電極部材と
支持部との間を液密に保つためにＯリングなどの部材を
用いる必要が生じない。

【００４７】請求項７に記載した本発明の抵抗率計の電
極によれば、支持部の支持部本体が非溶出性であるの
で、前記管部内を流れる電解質液に、前記支持部本体を
構成する物質からなるイオンが溶出しない。

【００４８】

【発明の実施の形態】本発明の一実施形態にかかる抵抗
率計の電極１を、図１及び図２を参照して説明する。図
１などに示す抵抗率計の電極１は、半導体の洗浄装置、
産業機械、農業、食品、医療関係などの各分野における
超純水などの水質管理、原子力発電所の冷却水の絶縁性
及び電解質液としての各種の薬液の濃度管理などに用い
られる。

【００４９】電極１は、例えば、半導体ウェーハなどの
被洗浄物などを洗浄する半導体の製造過程におけるリン
ス工程において、洗浄液としての超純水（特許請求の範
囲等に記載した電解質液に相当する）の純度を測定する
ために用いられる。前記電極１を用いる抵抗率計は、計
測対象物としての前述した超純水などの電解質液の純度
を測定するために、前記電解質液の抵抗率を測定する装
置である。

【００５０】前記電極１は、前記超純水などの流路中に
配されかつ図１に示すように前記流路を構成するＴ字管
継手６０に取り付けられる。Ｔ字管継手６０は、図１に
示すように、前記流路を構成する管部６１ａ，６１ｂ，
６１ｃを備えている。

【００５１】一つの管部６１ａには、半導体ウエーハを
収容しかつ前記洗浄工程及びリンス工程などを行う前述
した洗浄槽などが連結している。他の一つの管部６１ｂ
には、前述した洗浄工程及びリンス工程などに用いられ
た処理液などを排出する排出管が連結している。他の一
つの管部６１ｃに、電極１が取り付けられる。前記管部
６１ｃの外周面には、ねじ山としてのテーパねじ６２等
が形成されている。

【００５２】抵抗率計の電極１は、図１に示すように、
電極部材としての内電極２と、電極部材としての外電極
３と、シール部材８と、前記内電極２及び外電極３を支
持する支持部４と、温度検出部５と、前記内電極２と電
気的に接続した電線としての内電極リード線６と、前記
外電極３と電気的に接続した電線としての外電極リード
線７と、取付手段としての袋ナット７１と、付勢手段と
してのコイルばね７２と、シール突起３３と、を備えて
いる。

【００５３】内電極２は、円柱状に形成されている。内
電極２は、外径が比較的小さく形成された小径部２ａ
と、外径が比較的大きく形成された大径部２ｂと、を一
体に備えている。これらの小径部２ａ及び大径部２ｂ
は、互いに同軸的でかつ直列に連結している。小径部２
ａ及び大径部２ｂは、それぞれ、外径が全長に亘って略
一定に形成されている。小径部２ａには、外表面から凹
に形成された凹溝２ｈを備えている。凹溝２ｈは、小径
部２ａの周方向に沿って形成されている。

【００５４】内電極２は、前記大径部２ｂが抵抗率計の
電極１の先端側に位置しかつ小径部２ａが基端側に位置
した状態で配される。前記内電極２は、前記小径部２ａ
側に位置する端面２ｃから前記大径部２ｂに向かって凹
の温度検出部挿入孔２ｄが形成されている。

【００５５】前記温度検出部挿入孔２ｄは、前記小径部
２ａ及び大径部２ｂそれぞれと互いに同軸的に配されて
いる。温度検出部挿入孔２ｄは、前記端面２ｃから前記
内電極２の先端側に向かって延在している。温度検出部
挿入孔２ｄは、前記端面２ｃと前記内電極２の先端部２
ｇとに亘って形成されている。なお、温度検出部挿入孔
２ｄは、前記端面２ｃには開口しているが、前記内電極
２の先端部２ｇ側に位置する端面２ｅには開口していな
い。

【００５６】外電極３は、円管状に形成されている。外
電極３は、内外径が比較的小さく形成された小径部３ｄ
と、内外径が比較的大きく形成された大径部３ｅと、を
一体に備えている。小径部３ｄ及び大径部３ｅは、それ
ぞれ、全長に亘って内外径が略一定に形成されている。
小径部３ｄの内径は、内電極２の小径部２ａの外径より
大きく形成されている。大径部３ｅの内径は、内電極２
の大径部２ｂの外径より大きく形成されている。

【００５７】これらの小径部３ｄと大径部３ｅとは、互
いに同軸的でかつ直列に連結している。なお、前記小径
部３ｄと大径部３ｅとを互いに連ねる段差部３ｆは、後
述するように内外電極２，３が互いに同軸に配された際
に内電極２の段差部２ｉに沿う。

【００５８】内電極２と外電極３とは、小径部２ａが小
径部３ｄ内に配され大径部２ｂが大径部３ｅ内に配され
た格好で、互いに同軸でかつ前記外電極３内に内電極２
が挿入された状態で配されている。内電極２は、前記大
径部２ｂの端面２ｅが、前記外電極３の先端部３ｃ側に
位置する端面３ａより若干外電極３の奥側に位置した状
態で配されている。内電極２と外電極３は、共に導電性
を有する金属などから構成されている。

【００５９】シール部材８は、プラストマ性を有する即
ちエラストマ性を有さない合成樹脂からなる。即ち、シ
ール部材８は、殆ど弾性変形しない。シール部材８は、
可塑性の大きい高分子物質からなる。本実施形態では、
シール部材８は、前述した電解質液に対する溶出する物
質が少ない非溶出性のフッ素樹脂などからなる。即ち、
シール部材８は、非溶出性である。

【００６０】シール部材８は、図１及び図２に示すよう
に、円板部８ａと筒部８ｂとを一体に備えている。円板
部８ａは、平面形状が円形でかつ厚みが略一定の円板状
に形成されている、円板部８ａの両表面は、平坦に形成
されている。円板部８ａは、外径が外電極３の大径部３
ｅの内径と略等しく形成されている。

【００６１】円板部８ａは、中央に孔８ｃを設けてい
る。孔８ｃは、円板部８ａを貫通している。孔８ｃは、
平面形状が円形に形成されている。孔８ｃは、内径が内
電極２の小径部２ａの外径と略等しく形成されている。

【００６２】筒部８ｂは、孔８ｃの縁に連なっている。
筒部８ｂは円筒状に形成されている。筒部８ｂは、円板
部８ａに対し立設している。筒部８ｂは、内径が内電極
２の小径部２ａの外径と略等しく形成されている。筒部
８ｂは、外径が外電極３の小径部３ｄの内径と略等しく
形成されている。筒部８ｂは、小径部２ａの外周と小径
部３ｄの内周との双方に嵌合して、電極２，３間の間隔
を所定間隔ｔに保つ。

【００６３】前述した構成のシール部材８は、支持部４
が電極２，３それぞれの基端部２ｆ，３ｂを支持する際
に、図１及び図２に示すように、円板部８ａが段差部２
ｉ，３ｆ相互間に配され筒部８ｂが小径部２ａ，３ｄ相
互間に配される。

【００６４】このとき、シール部材８は殆ど弾性変形し
なくかつ円板部８ａの両表面が平坦に形成されているの
で、前記両表面が段差部２ｉ，３ｆ双方に隙間無く接す
るとともに、筒部８ｂが小径部２ａ，３ｄ双方に隙間無
く接する。シール部材８は、内外電極２，３間を液密に
保ち、内外電極２，３間から後述する空間１６内に電解
質液が侵入することを防止する。

【００６５】前記支持部４は、内電極２の小径部２ａ寄
りの端部２ｆ（以下基端部と呼ぶ）と、外電極３の前記
小径部３ｄ寄りの端部３ｂ（以下基端部と呼ぶ）と、の
双方を支持している。支持部４は、支持部本体としての
外電極ホルダ１１と、基端キャップ１２などを備えてい
る。

【００６６】外電極ホルダ１１は、絶縁性を有しかつ前
述した電解質液に対する溶出する物質が少ない即ち非溶
出性の合成樹脂からなる。外電極ホルダ１１を構成する
合成樹脂として、ポリフェニレンスルフィド（Polyphen
ylenesulfide：以下ＰＰＳと呼ぶ）、ポリエーテルエー
テルケトン（Polyetheretherketone：以下ＰＥＥＫと呼
ぶ）、ポリテトラフルオロエチレン（Polytetrafluoroe
thylene：以下ＰＴＦＥと呼ぶ）などのフッ素樹脂を用
いることができる。

【００６７】外電極ホルダ１１は、円板部１１ｃと筒部
１１ｄとを備えた有底筒状に形成されている。円板部１
１ｃは、平面形状が円形に形成されている。円板部１１
ｃは、表面が略平坦に形成されている。円板部１１ｃの
外径は、前記管部６１ｃの端面６１ｄの外径と略等しく
形成されている。

【００６８】円板部１１ｃの中央には孔１１ｅが設けら
れている。孔１１ｅは円板部１１ｃを貫通している。孔
１１ｅは、平面形状が円形に形成されている。孔１１ｅ
の内径は、円板部１１ｃの一方の面から他方の面に向か
うにしたがって略等しく形成されている。孔１１ｅは、
内径が外電極３の小径部２ｄの外径と略等しく形成され
ている。

【００６９】筒部１１ｄは、それぞれ円筒状に形成され
かつ互いに内径が等しく形成されているとともに同軸的
に直列に配された小径部１１ａと大径部１１ｂとを備え
ている。小径部１１ａより大径部１１ｂの方が外径が大
きく形成されている。大径部１１ｂは、小径部１１ａよ
り円板部１１ｃ寄りに配されている。大径部１１ｂは、
円板部１０ａの外縁に連なっている。筒部１１ｄは、円
板部１１ｃに対し立設している。

【００７０】外電極ホルダ１１は、孔１１ｅ内に外電極
３の小径部３ｄを挿入した状態で配される。なお、この
とき、小径部３ｄの外径が長手方向に沿って略一定でか
つ孔１１ｅの内径が略一定であり、かつ外電極ホルダ１
１が前述した合成樹脂からなるので、孔１１ｅの内面と
小径部３ｄの外周面とが互いに隙間無く密接する。

【００７１】このため、外電極ホルダ１１即ち支持部４
と外電極３との間が液密に保たれ、前記空間１６内に外
電極ホルダ１１と外電極３との間から前記電解質液が侵
入することが防止される。また、凹溝２ｈが円板部１１
ｃより基端部２ｆ側に位置しているとともに、空間１６
内に配されている。

【００７２】基端キャップ１２は、円板部１２ａと筒部
１２ｂとを有する有底筒状に形成されている。円板部１
２ａは、円板状に形成されている。筒部１２ｂは、筒状
に形成されかつ円板部１２ａの周縁に連なっている。

【００７３】基端キャップ１２は、周知のポリアミド樹
脂（ナイロン）などの合成樹脂から形成されている。基
端キャップ１２は、前記筒部１２ｂが前記外電極ホルダ
１１の小径部１１ａの外周に嵌合して配されている、基
端キャップ１２は、前記筒部１２ｂが前記小径部１１ａ
に、周知のエポキシ系接着剤によって接着されて固定さ
れている。

【００７４】基端キャップ１２は、前記円板部１２ａを
貫通する丸孔１２ｃを備えている。丸孔１２ｃは、その
平面形状が略円形に形成されている。丸孔１２ｃは、前
記円板部１２ａと同軸に配されている。丸孔１２ｃは、
その内側に、温度検出部５の後述する電線束２６が通
る。

【００７５】また、支持部４は、外電極ホルダ１１の円
板部１１ｃと、筒部１１ｄと、基端キャップ１２の円板
部１２ａ等で囲まれた空間１６を、その内部に形成して
いる。

【００７６】支持部４は、さらに、前記空間１６内に配
された絶縁ワッシャ２０と、止め輪１９と、円板部２１
と円管部２２とが一体に形成された導電ホルダー２７
と、第２付勢手段としてのコイルばね９などを備えてい
る。

【００７７】絶縁ワッシャ２０は、絶縁性を有する合成
樹脂からなりかつ円環状に形成されている。絶縁ワッシ
ャ２０は、内径が小径部２ａの外径と略等しく形成さ
れ、かつ、外径が導電ホルダー２７の内径と略等しいか
若干小さく形成されている。絶縁ワッシャ２０は、小径
部２ａの外周に嵌合している。絶縁ワッシャ２０は小径
部３ｄの端と、凹溝２ｈと、の間に配されている。

【００７８】止め輪１９は、ステンレス鋼などの導電性
を有する周知の鋼などからなりかつ円環状に形成されて
いる。止め輪１９は、その内側に内電極２の小径部２ａ
が通った状態で、外電極ホルダ１１の筒部１１ｄ内に収
容されている。

【００７９】止め輪１９は、その内縁が、小径部２ａの
凹溝２ｈに嵌合している。止め輪１９は、絶縁ワッシャ
２０の端面２ｃ寄りの表面に密接している。止め輪１９
は、内縁が凹溝２ｈに嵌合することによって絶縁ワッシ
ャ２０が小径部２の基端部２ｆから抜け出ることを防止
している。

【００８０】導電ホルダー２７の円板部２１は、導電性
を有する金属などからなり円板状に形成されている。導
電ホルダー２７の円板部２１は、内径が外電極３の小径
部３ｄの外径と略等しく形成されている。導電ホルダー
２７の円板部２１は、外径が筒部１１ｄの内径と略等し
く形成されている。導電ホルダー２７の円板部２１は、
小径部３ｄの外周に嵌合しかつ外電極ホルダ１１の内周
に嵌合した状態で、円板部１１ｃに重ねられている。

【００８１】導電ホルダー２７の円管部２２は、導電性
を有する金属などからなり円管状に形成されている。導
電ホルダー２７の円管部２２は、内径が小径部３ｄの外
径より十分に大きく形成されている。導電ホルダー２７
の円管部２２は、外径が筒部１１ｄの内径と略等しく形
成されている。導電ホルダー２７の円管部２２は、端部
が導電ホルダー２７の円板部２１に一体形成され筒部１
１内に挿入されている。

【００８２】コイルばね９は、比較的ばね定数が小さく
されている。コイルばね９は、ステンレス鋼などの周知
の鋼などから構成されている。コイルばね９は、導電ホ
ルダー２７の円管部２２内でかつ絶縁ワッシャ２０と導
電ホルダー２７の円板部２１との間に設けられている。
コイルばね９は、その内側に内外電極２，３の小径部２
ａ，３ｄが通った状態で配されている。

【００８３】コイルばね９は、互いに離れる方向に、絶
縁ワッシャ２０と導電ホルダー２７の円板部２１とを互
いに付勢している。コイルばね９が、絶縁ワッシャ２０
と導電ホルダー２７の円板部２１とが互いに離れる方向
に付勢し、かつ、絶縁ワッシャ２０が止め輪１９によっ
て基端部２ｆから抜け出ることを防止されているため、
内電極２の基端部２ｆが支持部４内に収容するように付
勢される。

【００８４】円板部１１ｃと段差部３ｆと円板部８ａと
段差部２ｉとが相互に近づくように、内外電極２，３と
シール部材８と外電極ホルダ１１とが付勢される。この
ように、コイルばね９は、内電極２の基端部２ｆと支持
部４との間の間隔が狭くなる方向に、内電極２と支持部
４とを付勢している。

【００８５】また、前記コイルばね９によって互いの間
隔が狭くなるように、内電極２と支持部４との双方が付
勢されているため、シール部材８の両表面が段差部２
ｉ，３ｆ双方に確実に隙間無く密接する。即ち、シール
部材８は、内外電極２，３に隙間無く密接する。そし
て、シール部材８は、内外電極２，３相互間を液密に保
って、空間１６内に前述した超純水が侵入することを防
止する。

【００８６】さらに、前記コイルばね９によって互いの
間隔が狭くなるように、内電極２と支持部４との双方が
付勢されているため、円板部１１ｃと段差部３ｆとが確
実に隙間無く密接する。そして、円板部１１ｃと段差部
３ｆとの相互間が液密に保たれて、空間１６内に前述し
た超純水が侵入することが防止される。

【００８７】また、前記空間１６には、前記温度検出部
挿入孔２ｄが開口している。さらに、空間１６は、その
内側に、導電リング２３と、導電線２４と、前記導電ホ
ルダー２７の円管部２２の内周面に嵌合するなどして取
り付けられるリング１７などを収容している。

【００８８】導電リング２３は、導電性を有する金属な
どからなりかつ円環状に形成されている。導電リング２
３は、内径が小径部３ｄの外径と略等しく形成されてい
る。導電リング２３は、外径が円管部２２の内径より十
分に小さく形成されている。導電リング２３は、小径部
３ｄの基端部３ｂ寄りの端部の外周に嵌合している。

【００８９】導電線２４は、一端が導電リング２３に半
田など用いたろう付けによって固定され、他端が導電ホ
ルダー２７の円板部２１とコイルばね９との間に挟み込
まれて（又は線を直接又は別部品のワッシャーに半田な
ど用いたろう付けするなどして）固定されている。導電
線２４は、導電リング２３と、導電ホルダー２７の円板
部２１及び円管部２２と、を互いに電気的に接続する。

【００９０】リング１７は、図示例では、円環状のリン
グ本体１７ａと、このリング本体１７ａの外縁から外周
方向に向かって突出した爪１７ｂと、を備えている。爪
１７ｂは複数設けられている。爪１７ｂは、リング本体
１７ａの周方向に沿って略等間隔に配されている。

【００９１】リング１７は、爪１７ｂが、導電ホルダー
２７の円管部２２の内周面に嵌合して、導電ホルダー２
７の円管部２２に固定される。リング１７は、ステンレ
ス鋼などの周知の鋼などから構成されている。さらに、
リング１７は、爪１７ｂが導電ホルダー２７の円管部２
２の内周面に設けられた溝などに嵌合しても良い。

【００９２】前記温度検出部５は、図示しない一対の温
度センサ素子と、円管ばね部材２５などを備えている。
温度検出部５は、前記温度検出部挿入孔２ｄ内に配され
ている。温度センサ素子は、それぞれ、温度検出部挿入
孔２ｄ内でかつ内電極２の先端部２ｇに配されている。
温度センサ素子は、それぞれ、温度を測定する感温部を
備えている。

【００９３】温度センサ素子は、それぞれ、感温部がデ
ィスク形、ペレット形あるいはそれに類似した面部を有
する形状のサーミスタ及び薄膜式白金温度センサにより
構成されている。温度センサ素子は、それぞれの感温部
の面部が、前記温度検出部挿入孔２ｄ内において、前記
電解質液の流路に対し略平行となるように配置されてい
る。これらの温度センサ素子にはそれぞれ図示しない電
線が接続している。

【００９４】前記電線は、それぞれ一端部が前記温度セ
ンサ素子の感温部に電気的に接続している。前記電線
は、前記内電極２の先端部２ｇから内電極２の基端部２
ｆに向かって延びて、温度検出部挿入孔２ｄ内に配され
ている。これらの電線は、それぞれ、図示しない演算装
置などに電気的に接続している。

【００９５】これら図示しない電線の長手方向に沿った
中央部から他端部に至る部分と、内電極リード線６と、
外電極リード線７と、は互いに束ねられて電線束２６を
構成している。電線束２６は、温度検出部５が温度検出
部挿入孔２ｄ内に収容された際に、内電極２及び外電極
３の基端部２ｆ，３ｂ側に位置する基端キャップ１２の
丸孔１２ｃを通って外部に導かれる。

【００９６】円管ばね部材２５は、導電性を有する周知
の鋼などから構成されている。円管ばね部材２５は、円
管状に形成されている。円管ばね部材２５は、一部が、
長手方向に沿って切りかかれている。円管ばね部材２５
は、その長手方向に対し交差する断面の断面形状がＣ状
に形成されている。円管ばね部材２５は、その外径が伸
縮自在となる弾性を有している。円管ばね部材２５は、
初期状態において、内電極２の小径部２ａの内径より大
きな外径となっている。

【００９７】円管ばね部材２５は、前記電線束２６の温
度センサ素子寄りに配されている。円管ばね部材２５
は、前述した図示しない前記電線を互いに束ねている。
円管ばね部材２５は、その弾性復元力に抗して、小径部
２ａ内に挿入される。円管ばね部材２５は、小径部２ａ
内に挿入されると、弾性復元力を生じて、小径部２ａの
内周面と密接する。

【００９８】内電極リード線６は、空間１６内に収容さ
れかつ一端部が円管ばね部材２５と電気的に接続してい
る。内電極リード線６は、円管ばね部材２５と電気的に
接続することによって、内電極２と電気的に接続する。
内電極リード線６は、前述した図示しない電線などとと
もに電線束２６として基端キャップ１２まで導かれ、丸
孔１２ｃ内を通って外部に導かれる。内電極リード線６
は、前述した図示しない演算装置などに電気的に接続し
ている。

【００９９】外電極リード線７は、空間１６内に収容さ
れかつ一端部がリング１７に電気的に接続している。外
電極リード線７は、リング１７に電気的に接続すること
によって、導電ホルダー２７の円管部２２及び円板部２
１、導電リング２３及び外電極３と電気的に接続する。
外電極リード線７は、前述した図示しない電線などとと
もに電線束２６として基端キャップ１２まで導かれ、前
記丸孔１２ｃ内を通って外部に導かれる。外電極リード
線７は、前述した図示しない演算装置などに電気的に接
続している。

【０１００】また、前記基端キャップ１２内には、シリ
コンゴムなどの弾性体からなるＯリング３０が設けられ
ている。Ｏリング３０は、円環状に形成されている。Ｏ
リング３０は、その初期状態において、内径が電線束２
６の外径より小さくかつ外径が外電極ホルダ１１の小径
部１１ａの内径より大きく形成されている。

【０１０１】Ｏリング３０は、内周側に電線束２６を通
しかつ外電極ホルダ１１の小径部１１ａの内側即ち基端
キャップ１２の筒部１２ｂの内側に配される。Ｏリング
３０は、基端キャップ１２内に設けられると、電線束２
６と、外電極ホルダ１１の小径部１１ａの内周面と、の
間を液密に保つ。

【０１０２】Ｏリング３０は、例えは、電解質液の温度
が比較的低くて、基端キャップ１２の丸孔１２ｃの近傍
などに凝縮した結露水が付着する場合にも、空間１６内
にこの結露水が侵入することを防止する。

【０１０３】また、前記温度検出部挿入孔２ｄ内に温度
検出部５が設けられ、かつ前記空間１６内にリング１７
及び止め輪１９などが収容された状態で、空間１６内に
は、非弾性層３１と弾性層３２とが充填されて積層され
ている。

【０１０４】非弾性層３１は、小径部１１ａ内でかつ電
線束２６の外周に充填されている。非弾性層３１は、内
外電極２，３の長手方向に沿ってＯリング３０とリング
１７との間に配されている。非弾性層３１は、弾性を有
さないエポキシ樹脂などの非弾性体からなる合成樹脂か
ら形成されている。

【０１０５】弾性層３２は、電極２，３の長手方向に沿
って、非弾性層３１とリング１７との間に充填されてい
る。弾性層３２は、スポンジゴムなどの弾性体からなる
合成樹脂から形成されている。これらの非弾性層３１と
弾性層３２は、丸孔１２ｃの近傍などに付着した結露水
が空間１６内に侵入することを防止する。

【０１０６】袋ナット７１は、前述したＰＰＳ、ＰＥＥ
Ｋ、ＰＴＦＥなどのフッ素樹脂などの合成樹脂からな
り、平面形状が円形の円板部７３と円筒状の筒部７４と
を一体に備えている。円板部７３は、その外径が外電極
ホルダ１１及び管部６１ｃの外径より大きく形成されて
いる。

【０１０７】円板部７３は、その中央に貫通孔７５が設
けられている。貫通孔７５は、その内径が外電極ホルダ
１１の小径部１１ａの外径と略等しく形成されている。
筒部７４は、円板部７３の外縁に連なっている。筒部７
４の内周面には、平行ねじ７６が形成されている。

【０１０８】袋ナット７１は、貫通孔７５内に小径部１
１ａ即ち支持部４を通した状態で、平行ねじ７６がテー
パねじ６２にねじ込まれて管部６１ｃに取り付けられ
る。なお、このとき、筒部７１の円板部７３より離れた
縁部が、管部６１ｃの軸線方向に沿ってテーパねじ６２
の中央付近に位置する。また、袋ナット７１は、外電極
ホルダ１１即ち支持部４と管部６１ｃとの双方の外周を
包囲する。袋ナット７１は、管部６１ｃに取り付けら
れることによって、外電極ホルダ１１即ち支持部４を管
部６１ｃの端面６１ｄに向かって押しつける。

【０１０９】コイルばね７２は、比較的ばね定数が小さ
い。コイルばね７２は、ステンレス鋼などの周知の鋼な
どから構成され、断面形状が矩形状に形成されている。
袋ナット７１の平行ねじ７６が管部６１ｃのテーパねじ
６２にねじ込まれた際に、コイルばね７２は、その内側
に小径部１１ａを挿入しかつ小径部１１ａと大径部１１
ｂとを連ねる段差面１１ｆと円板部７３との間に配され
る。

【０１１０】コイルばね７２は、外電極ホルダ１１即ち
支持部４を管部６１ｃの端面６１ｄに向かって付勢す
る。コイルばね７２は、シール突起３３を管部６１ｃの
端面６１ｄに密接させる。

【０１１１】シール突起３３は、外電極ホルダ１１の管
部６１ｃの端面６１ｄに相対する円板部１１ｃの表面１
１ｇから突出している。なお、前記表面１１ｇは、支持
部４の管部６１ｃと近接する端面をなしている。シール
突起３３は、管部６１ｃの端面６１ｄに向かって突出し
ている。シール突起３３は、孔１１ｅ及び円板部１１ｃ
と同軸的な円環状に延在している。

【０１１２】シール突起３３は、円板部１１ｃの周方向
に沿って配されている。シール突起３３は、外電極ホル
ダ１１と同じＰＰＳ、ＰＥＥＫ、ＰＴＦＥなどのフッ素
樹脂などの合成樹脂からなる。図示例では、シール突起
３３は、外電極ホルダ１１と一体に形成されかつ断面形
状が前記円板部１１ｃから離れるのにしたがって徐々に
細くなるＵ字状に形成されている。

【０１１３】前述した構成によれば、抵抗率計の電極１
は、内外電極２，３が前記管部６１ｃの開口部を通して
挿入され、テーパねじ６２に平行ねじ７６がねじ込まれ
て、前記管部６１ｃ即ちＴ字管継手６０に取り付けられ
る。前記内電極２及び外電極３それぞれの少なくとも先
端部２ｇ，３ｃは、前記Ｔ字管継手６０内を流れる電解
質液としての超純水の流路中に配される。

【０１１４】そして、電極１を用いた抵抗率計は、前記
リード線６，７などを介して演算装置などに伝えられる
電極２，３間の電気抵抗を測定することにより前記電解
質液の抵抗率を測定する。

【０１１５】このとき、前記温度センサ素子の感温部か
ら、前記電線などを介して前記電解質液の温度に応じた
情報が、前記演算装置に伝えられる。そして、この演算
装置などが電解質液の温度の補償を行い、この電解質液
のあらかじめ決められた一定温度における抵抗率を算出
する。そして、前記演算装置などが抵抗率に基いて電解
質液の純度を算出する。

【０１１６】本実施形態の抵抗率計の電極１によれば、
支持部４を管部６１ｃの端面６１ｄに向かって押しつけ
て取り付ける袋ナット７１が支持部４及び管部６１ｃの
外周を包囲する。このため、前記支持部４と管部６１ｃ
と袋ナット７１それぞれを構成する材料からなる微小な
ゴミ（いわゆるコンタミ）などが、管部６１ｃ即ちＴ字
管継手６０内に侵入することがない。

【０１１７】このため、前記支持部４と管部６１ｃと袋
ナット７１それぞれを構成する材料からなるイオンがＴ
字管継手６０内を流れる超純水に溶出しない。したがっ
て、配管系統の汚染の防止と超純水などの電解質液の抵
抗率を正確に測定できる。

【０１１８】さらに、前述したコンタミがＴ字管継手６
０内に侵入することがないとともに、前記支持部４と管
部６１ｃと袋ナット７１それぞれを構成する材料からな
るイオンがＴ字管継手６０内を流れる超純水に溶出しな
いので、電極１を用いた抵抗率計によれば、配管系統の
汚染の防止と超純水などの電解質液の抵抗率を正確に測
定できる。

【０１１９】また、支持部４から管部６１ｃの端面６１
ｄに向かってシール突起３３が突出しているので、袋ナ
ット７１が管部６１ｃに支持部４を取り付けると、シー
ル突起３３が管部６１ｃの端面６１ｄと接触して、支持
部４と管部６１ｃとの間を液密に保つこととなる。シー
ル突起３３は、テーパねじシールのように、凹凸が多か
ったりねじのすき間がなく平面状なので、金属イオンや
パーティクルが溜まらない。したがって、前記リンス工
程などの作業にかかるコストをより一層抑制できる。

【０１２０】また、コイルばね７２が、支持部４を端面
６１ｄに向かって押しつけることを付勢するので、シー
ル突起３３と管部６１ｃの端面６１ｄとがより確実に接
触することとなって、温度の変化により各部材に膨張収
縮に差が生じても、支持部４と管部６１ｃとの間をより
確実に液密に保つことができる。したがって、前記管部
６１ｃと支持部４との間などから超純水が漏れることを
より確実に防止でき、前記洗浄装置などの信頼性の向上
とリンス工程などの作業にかかるコストをより一層抑制
できる。

【０１２１】また、袋ナット７１の平行ねじ７６が、テ
ーパねじ６２に螺合可能であるので、電極１は、配管や
管継手などに一般的に用いられるテーパねじに取り付け
ることが可能となる。電極１は、一般的な配管や管継手
に取付可能となるので、電解質液の流路中に配された管
部に取り付ける際にかかるコストを抑制でき、電極１を
用いて抵抗率を測定する作業にかかるコストをより一層
抑制できる。

【０１２２】さらに、外電極３と外電極ホルダ１１とが
隙間無く密接して支持部４内の空間１６内に超純水が侵
入することを防止する。このように、外電極３と支持部
４との間が液密に保たれる。したがって、外電極３と支
持部４との間を液密に保つためにＯリングなどの部材を
用いる必要が生じない。したがって、電極１の部品点数
の増加を防止でき、低コスト化を図ることができる。

【０１２３】支持部４の外電極ホルダ１１が非溶出性で
あるので、前記Ｔ字管継手６０を流れる超純水に、前記
外電極ホルダ１１を構成する物質からなるイオンが溶出
しない。このため、超純水などの電解質液の抵抗率をよ
り一層正確に測定できる。

【０１２４】前述した実施形態では、コイルばね７２を
設けて、袋ナット７１が支持部４を管部６１ｃの端面６
１ｄに向かって押しつけることを付勢しているが、図３
に示すようにコイルばね７２を設けずに円板部７３で直
接支持部４を管部６１ｃの端面６１ｄに向かって押しつ
けるようにしても良い。

【０１２５】さらに、コイルばね７２の代わりに図４に
示すように付勢手段として皿ばね８０を用いても良いこ
とは勿論である。また、図示例では、コイルばね７２
は、断面矩形状に形成されているが本発明ではこれに限
ることなく、断面丸形に形成されも良いことは勿論であ
る。

【０１２６】さらに、管部６１ｃの外面にテーパねじ６
２の代わりに平行ねじが形成されても良い。この場合で
も、袋ナット７１が平行ねじに螺合することが可能であ
る。したがって、コンタミが管部６１ｃ内に侵入するこ
となくシール突起３３が端面６１ｄに密接した状態で電
極１を管部６１ｃに確実に取り付けることができる。

【０１２７】さらに、本実施形態では、リンス工程にお
ける洗浄液としての超純水の純度を測定するために用い
られる場合を示しているが、本発明の電極１は超純水を
製造する純水製造装置にも用いることができる。この場
合、前記管部６１ａは超純水の原料となる純水（前述し
た超純水ほどではないが意図的に不純物を少なくした
水：高純度水とも呼ぶ）の供給源と連結している。管部
６１ｂは、純水製造装置に連結している。

【０１２８】電極１は、純水製造装置に用いられた場合
でも、前記管継手６０内に金属や樹脂からなる塵（パー
ティクル）が侵入することなく取り付けることができ
る。このため、純水製造装置のイオン交換樹脂やフィル
ターが劣化することを抑制でき、速やかに目的の純水を
得ることができる。したがって、前記純水の純度を正確
に測定できかつ超純水の製造にかかるコストの高騰を抑
制できる。

【０１２９】さらに、袋ナット７１の代わりに取付手段
として図５に示すように締付金具８７を用いても良い。
この場合には、外電極ホルダ１１と管部６１ｃとのそれ
ぞれに、図５に示すように、前記外電極ホルダ１１と管
部６１ｃとが互いに近づくのにしたがって外方向に向か
って徐々に傾斜したテーパ面７８，７９を設けている。

【０１３０】前記締付金具８７は、図５及び図６に示す
ように、一対の金具８１と、これら金具８１互いに連結
する枢軸８２と、固定ボルト８３と、を備えている。金
具８１は、それぞれ、半円環状の円環部８４と、この円
環部８４の両端部それぞれに連なるフランジ部８５と、
を備えている。円環部８４の内面は、外電極ホルダ１１
と管部６１ｃの端部との外形に沿って形成されている。
フランジ部８５は円環部８４の両端から外方向に向かっ
て延在している。

【０１３１】枢軸８２は、金具８１それぞれの一方のフ
ランジ部８５を貫通しているとともに、前記一方のフラ
ンジ部８５を互いに回動自在に連結している。枢軸８２
は、前記円環部８４の内面が互いに接離するようにフラ
ンジ部８５を互いに回動自在に連結している。固定ボル
ト８３にはナット８６が螺合可能となっている。固定ボ
ルト８３とナット８６とが互いに螺合することによっ
て、前記他方のフランジ部８５を互いに固定する。

【０１３２】図５などに示された締付金具８７を用いる
場合には、内外電極２，３を管部６１ｃ内に挿入した
後、互いに内面が離れた状態の円環部８４相互間に、管
部６１ｃの端部及び外電極ホルダ１１を挟み込む。固定
ボルト８３をナット８６に徐々に螺合させる。すると、
テーパ面７８，７９が前述した方向に傾斜しているの
で、締付金具８７は、外電極ホルダ１１を管部６１ｃの
端面６１ｄに向かって押しつけて、支持部４即ち電極１
をＴ字管継手６０に取り付ける。

【０１３３】この場合でも、締付金具８７が支持部４と
管部６１ｃの外周を包囲するので、Ｔ字管継手６０内に
コンタミなどが侵入しない。したがって、超純水などの
電解質液の抵抗率を正確に測定でき、リンス工程及び超
純水の製造工程などの作業にかかるコストを抑制でき
る。

【０１３４】また、前記締付金具８７を用いる場合で
も、図７に示すように、締付金具８７が外電極ホルダ１
１を管部６１ｃの端面６１ｄに向かって押しつけること
を付勢する付勢手段としての皿ばね９０を設けても良
い。この皿ばね９０は、円環部８４の内面に取り付けら
れかつ外電極ホルダ１１のテーパ面７８と接触する。

【０１３５】さらに、前記締付金具８７を用いる場合、
図８（Ａ）及び図８（Ｂ）に示すように、付勢手段とし
ての弾性爪９１を設けても良い。弾性爪９１は、円環部
８４のテーパ面７８と相対する部分に設けられかつ円環
部８４の内面から外面に向かって円環部８４の母材に切
り込みが入れられることによって形成される。弾性爪９
１は、締付金具８７が管部６１ｃと電極１とを互いに取
り付けると、テーパ面７８に接触して、外電極ホルダ１
１を管部６１ｃの端面６１ｄに向かって押しつける方向
に弾性復元力を生じる。

【０１３６】さらに、前述した実施形態では、シール突
起３３を断面Ｕ字状に形成しているが、本発明では、シ
ール突起３３を、図９（Ａ）に示すように断面Ｖ字状に
形成しても良く、図９（Ｂ）に示すように断面台形状に
形成しても良く、図９（Ｃ）に示すように断面円弧状に
形成しても良い。

【０１３７】図９（Ｄ）に示すように、内外電極２，３
の外周を二重に包囲するように、外電極ホルダ１１の内
側から外側に向かって複数のシール突起３３を並設して
も良い。なお、図示例では、断面Ｖ字状のものと二つ並
設しているが、これに限定されることなく上記した形状
のものを複数並設しても良いことは勿論である。

【０１３８】この場合、シール突起３３が外電極ホルダ
１１即ち管部６１ｃの内側から外側に向かって複数配さ
れているので、支持部４と管部６１ｃとの間をより一層
確実に液密に保つことができる。したがって、前記管部
６１ｃと支持部４との間などから超純水などの電解質液
が漏れることをより一層確実に防止でき、前記洗浄装置
の信頼性向上と、前記リンス工程などの作業にかかるコ
ストをより一層抑制できる。

【０１３９】また、本実施形態では、第２付勢手段とし
て比較的ばね定数の小さいコイルばね９を用いている
が、図１０に示すように、第２付勢手段として比較的ば
ね定数の大きな皿ばね９２を用いても良い。この場合、
皿ばね９２の内側に内電極２の小径部２ａを通し、前記
皿ばね９２を止め輪１９と絶縁ワッシャ２０との間に配
している。さらに、外電極リード線７を外電極３の小径
部３ｄの端面に溶接などによって固定している。

【０１４０】

【発明の効果】以上説明したように請求項１に記載の本
発明によれば、支持部を管部の端面に向かって押しつけ
て取り付ける取付手段が支持部及び管部の外周を包囲し
ているため、前記支持部と管部と取付手段それぞれを構
成する材料からなる微小なゴミ（いわゆるコンタミ）な
どが、管部内に侵入することがない。

【０１４１】このため、前記支持部と管部と取付手段と
のそれぞれを構成する材料からなるイオンが管部内を流
れる電解質液に溶出しない。したがって、電解質液の抵
抗率を正確に測定できるとともに、超純水を製造する純
水製造装置のイオン交換樹脂やフィルタなどの寿命を短
くすることがない。さらに、前記支持部と管部と取付手
段とのそれぞれを構成する材料からなるコンタミが管部
内に侵入することがないので、例えば、半導体ウェーハ
などのリンス工程などに、前記電極を用いて抵抗率を測
定する正確さと作業時間を抑制でき、前記作業にかかる
コストを抑制できる。

【０１４２】また、シール突起が支持部から管部に端面
に向かって突出しているので、取付手段が管部に支持部
を取り付けると、シール突起が管部の端面と接触して、
支持部と管部との間を液密に保つこととなる。したがっ
て、前記管部と支持部との間などから電解質液が漏れる
ことを防止でき、前記電極を用いて抵抗率を測定する信
頼性の向上と作業にかかるコストをより一層抑制でき
る。

【０１４３】請求項２に記載の本発明によれば、付勢手
段が、支持部を端面に向かって押しつけることを付勢す
るので、支持部と管部との間がより確実に液密に保たれ
る。したがって、前記管部と支持部との間などから電解
質液が漏れることをより確実に防止でき、前記電極を用
いて抵抗率を測定する信頼性の向上と作業にかかるコス
トをより一層抑制できる。

【０１４４】請求項３に記載の本発明によれば、シール
突起が管部の内側から外側に向かって複数配されている
ので、支持部と管部との間をより一層確実に液密に保つ
ことができる。したがって、前記管部と支持部との間な
どから電解質液が漏れることをより一層確実に防止で
き、前記電極を用いて抵抗率を測定する信頼性の向上と
作業にかかるコストをより一層抑制できる。

【０１４５】請求項４に記載の本発明によれば、取付手
段が袋ナットであるため、管部内に袋ナット即ち取付手
段を構成する材料からなる微小なゴミ（いわゆるコンタ
ミ）などが、管部内に侵入することがない。したがっ
て、抵抗率をより正確に測定できるとともに、管路を汚
染することがないので電極を用いて抵抗率を測定する作
業にかかるコストをより一層抑制できる。また、袋ナッ
トはテーパねじでも平行ねじでも螺合できるので、前記
電極は、一般的な配管や管継手に取付可能となる。この
ため、管部に取り付ける際にかかるコストを抑制でき、
電極を用いて抵抗率を測定する作業にかかるコストをよ
り一層抑制できる。

【０１４６】請求項５に記載の本発明によれば、袋ナッ
トが管部のテーパねじに螺合可能であるので、前記電極
は、一般的な配管や管継手に取付可能となる。このた
め、電解質液の流路中に配された管部に取り付ける際に
かかるコストを抑制でき、電極を用いて抵抗率を測定す
る作業にかかるコストをより一層抑制できる。

【０１４７】請求項６に記載の本発明によれば、一つの
電極部材と支持部とが隙間無く密接して、前記一つの電
極部材と支持部との間が液密に保たれる。このため、前
記一つの電極部材と支持部との間を液密に保つためにＯ
リングなどの部材を用いる必要が生じない。したがっ
て、高水密化にもかかわらず部品点数の増加を防止で
き、高信頼性で低コストな抵抗率計の電極を提供でき
る。なお、本明細書でいうこの高水密化とは、高い水密
性を得るようにすることである。

【０１４８】請求項７に記載の本発明によれば、支持部
の支持部本体が非溶出性であるので、前記管部内を流れ
る電解質液に、前記支持部本体を構成する物質からなる
イオンが溶出しない。このため、前記電解質液の抵抗率
をより一層正確に測定できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】管継手に取り付けられた状態の本発明の一実施
形態にかかる抵抗率計の電極の全体構成を示す断面図で
ある。

【図２】図１に示された電極の要部を拡大して示す断面
図である。

【図３】同実施形態の電極の袋ナットなどの変形例を示
す断面図である。

【図４】同実施形態の電極の袋ナットなどの他の変形例
を示す断面図である。

【図５】同実施形態の取付手段の変形例としての締付金
具を備えた電極を示す断面図である。

【図６】図５中の矢印ＶＩ方向から見た図である。

【図７】図５に示された締付金具などの変形例を備えた
電極を示す断面図である。

【図８】（Ａ）は図５に示された締付金具などの他の変
形例を備えた電極を示す断面図である。（Ｂ）は図８
（Ａ）中の矢印ＶＩＩＩＢ方向から見た図である。

【図９】同実施形態の電極のシール突起の変形例を示す
断面図である。

【図１０】同実施形態の電極の第２付勢手段の変形例を
示す断面図である。

【図１１】従来の抵抗率計の電極の全体構成を示す断面
図である。

【図１２】図１１に示された電極が管継手に取り付けら
れた状態を示す断面図である。

【図１３】図１１に示された電極の要部を拡大して示す
断面図である。

【符号の説明】

１抵抗率計の電極２内電極（電極部材）２ｆ基端部３外電極（電極部材）３ｂ基端部４支持部６内電極リード線（電線）７外電極リード線（電線）１１外電極ホルダ（支持部本体）１１ｇ表面（支持部の管部と近接する端面）１６空間３３シール突起６１ｃ管部６１ｄ端面６２テーパねじ（ねじ山）７１袋ナット（取付手段）７２コイルばね（付勢手段）７５貫通孔８０皿ばね（付勢手段）８７締付金具（取付手段）９０皿ばね（付勢手段）９１弾性爪（付勢手段）ｔ所定間隔

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】計測対象の電解質液の流路を構成する管
部に取り付けられかつ前記流路中に複数の電極部材が所
定間隔をおいて配置され、電極部材間の電気抵抗に基い
て前記電解質液の抵抗率を測定する抵抗率計の電極にお
いて、前記複数の電極部材はそれぞれ前記管部内に挿入される
とともに、前記電極部材それぞれの基端部を支持するとともに前記
電極部材それぞれと接続した複数の電線を収容する空間
を有する支持部と、前記複数の電極部材が前記管部内に挿入されると前記管
部の端面に向かって前記支持部から突出するシール突起
と、前記支持部及び前記管部の外周を包囲するとともに前記
管部の端面に向かって押しつけて前記支持部を前記管部
に取り付ける取付手段と、を備えたことを特徴とする抵抗率計の電極。
【請求項２】前記取付手段が前記支持部を前記管部の
端面に向かって押しつけることを付勢する付勢手段を備
えたことを特徴とする請求項１記載の抵抗率計の電極。
【請求項３】前記シール突起が、前記支持部の前記管
部と近接する端面の内側から外側に向かって複数配され
ていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載
の抵抗率計の電極。
【請求項４】前記管部の外周にはねじ山が形成されて
おり、前記取付手段は、前記支持部を通すことのできる貫通孔
を有し前記ねじ山に螺合可能な袋ナットであることを特
徴とする請求項１ないし請求項３のうちいずれか一項に
記載の抵抗率計の電極。
【請求項５】前記ねじ山がテーパねじであるととも
に、前記袋ナットが前記テーパねじに螺合可能であることを
特徴とする請求項４記載の抵抗率計の電極。
【請求項６】前記複数の電極部材のうち一つの電極部
材と前記支持部とが互いに隙間無く密接して、前記一つ
の電極部材と支持部との間を液密に保つことを特徴とす
る請求項１ないし請求項５のうちいずれか一項に記載の
抵抗率計の電極。
【請求項７】前記支持部は、内側に前記複数の電極部
材の基端部を収容する支持部本体を備え、この支持部本
体が前記取付手段によって前記管部の端面に向かって押
しつけられて前記管部に取り付けられるようになってお
り、前記支持部本体が前記電解質液中で非溶出性である
ことを特徴とする請求項１ないし請求項６のうちいずれ
か一項に記載の抵抗率計の電極。