JP2002372508A - 電気伝導度センサの製造方法および電気伝導度センサ - Google Patents

電気伝導度センサの製造方法および電気伝導度センサ

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JP2002372508A JP2001181359A JP2001181359A JP2002372508A JP 2002372508 A JP2002372508 A JP 2002372508A JP 2001181359 A JP2001181359 A JP 2001181359A JP 2001181359 A JP2001181359 A JP 2001181359A JP 2002372508 A JP2002372508 A JP 2002372508A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 セル定数が小さい電極保持部材のみを用い
て、導電率が小さい液体であっても導電率が大きい液体
であっても正確に導電率を測定できるとともに、限られ
たスペースであっても設置することができる電気伝導度
センサを提供する。 【解決手段】 軸方向中心部に液体の流路を有する電極
保持体11に所定の間隔を隔てて表面が液体に接するよ
うに3つの電極15(X,Y,Z)を配設して、各電極
15(X,Y,Z)の表面積に対する電極間の距離の割
合(セル定数)が小さい単セル10とする単セル作製工
程と、この単セル10を1つ以上用いて液体の流路が連
通し、かつ液体の流路に対して直列あるいは並列に接続
する単セル接続工程と、直列あるいは並列に接続された
各単セル10にそれぞれ配設された3つの電極15
(X,Y,Z)の少なくとも2つを用いて3電極式セン
サとなるように導電接続する導電接続工程とを備えるよ
うにしている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は液体に直接接触する
一対の電極間に存在する液体の抵抗に基づく電圧降下を
測定することにより、これらの液体の電気伝導度を求め
て、例えば、透析装置や粉体溶解装置に用いられる液体
の濃度を監視したり、半導体製造装置におけるシリコン
ウェハの洗浄水として用いられる純水の純度を監視した
り、あるいは上下水道の消毒剤の濃度や汚れ具合等を監
視したりするのに好適な電気伝導度センサに関する。
【0002】
【従来の技術】上記した半導体製造装置においては、塩
酸、硝酸などの強酸あるいはフッ酸等の薬液による処理
槽で不純物を除去する工程を繰り返し、最後にシリコン
ウェハに付着した薬液を純水で洗浄する工程を経て、シ
リコンウェハを乾燥させてシリコンウェハの洗浄工程を
完了するようにしている。また、透析装置や粉体溶解装
置においては、これらの装置の洗浄に逆浸透水(RO
水)が使用されている。
【0003】このように、半導体製造装置においては、
シリコンウェハの洗浄工程の最終工程でシリコンウェハ
に付着した薬液を純水で洗浄しており、また透析装置や
粉体溶解装置等の医療用機器においては、逆浸透水(R
O水)で洗浄しているので、洗浄に使用した純水や逆浸
透水の純度が製品や医療機器の品質に大きく影響を及ぼ
すこととなる。したがって、純水や逆浸透水の純度を測
定することはきわめて重要なことであり、そのために、
洗浄に使用した後の純水や逆浸透水の電気伝導度(導電
率)を測定して、純水や逆浸透水の純度を計測するよう
にしている。
【0004】上述のような純水や逆浸透水や他の液体の
電気伝導度を測定するために、例えば、図8(なお、図
8は電気伝導度センサの一例を模式的に示す断面図であ
り、図8の符号Rは電極間の液体の抵抗を示している)
に示されるような電気伝導度センサが使用される。ここ
で、図8に示されるような電気伝導度センサ70は、軸
方向中心部に液体の流路を形成する貫通孔71aを備え
た円筒状本体71と、この円筒状本体71に所定の間隔
を隔てて形成された3つの円筒状電極72,72,72
とから構成されるものである。なお、円筒状本体71は
成形が容易な合成樹脂あるいはセラミックからなる材料
により構成され、円筒状電極72は耐食性が良好な白金
やチタンなどの金属材料から構成されていて、これらが
液密に一体化されている。
【0005】そして、図8に示すように、3電極の中央
に配置された電極Yをリード線により電源の一方極(例
えば+側)に接続し、この両側に配置された電極X,Z
をリード線により電源の他方極(例えば−側)に接続す
れば、3電極式電気伝導度センサとなる。また、3電極
の中央に配置された電極Yを不使用とし、この両側に配
置された一方の電極Xを電源の一方極(例えば+側)に
接続し、他方の電極Zを電源の他方極(例えば−側)に
接続すれば、2電極式電気伝導度センサとなる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述のよう
に構成される電気伝導度センサ70を用いて、液体(例
えば、純水や逆浸透水)の電気伝導度(導電率=1/電
気抵抗率)を測定する場合、電源に接続されたリード線
を図8に示すように各電極X,Y,Zに接続して、電源
から所定の電圧を印加すると、液体の抵抗Rを介して、
電極Yから電極Xに向けて(あるいは電極Xから電極Y
に向けて)電流Iが流れるとともに、電極Yから電極Z
に向けて(あるいは電極Zから電極Yに向けて)電流I
が流れるようになる。
【0007】例えば、電極Xと電極Yとの間の距離およ
び電極Yと電極Zとの間の距離を等しくL(m)とし、
かつ貫通孔71aの断面積(液体の流路の断面積)をA
(m 2)とした場合に、各電極間L(m)に流れる電流
Iと液体の抵抗Rに基づく電圧降下による電圧(V)を
測定することにより、間隔L(m)における液体の抵抗
R(=V/I)を求めることができ、ひいては液体の電
気伝導度(導電率)σ(S(ジーメンス)/m)を下記
の(1)式に基づいて算出することができる。 σ(S/m)=L/A・R=L・I/A・V・・・(1) 上記(1)式において、液体の流路の断面積Aに対する
各電極間の距離Lの割合(L/A)を一般的にセル定数
K(K=(L/A)=σ・R=σ・(V/I))とい
う。
【0008】ここで、各電極Y,X間あるいはY,Z間
に印加する電圧を一定とした場合、導電率が小さい液体
を測定する場合は、液体自体が持つ抵抗値が大きいため
にセル定数を小さくすると電圧降下が所定の範囲内とな
り、逆に導電率が大きい液体を測定する場合は、液体自
体が持つ抵抗値が小さいためにセル定数を大きくすると
電圧降下が所定の範囲内となって、測定精度を高めるこ
とが可能となる。
【0009】この場合、セル定数がばらつくと測定誤差
が大きくなるため、上述した円筒状本体71を精度よく
作製する必要がある。このため、円筒状本体71は成形
型を用いて精度よく作製されている。ところが、上述し
たように、導電率が小さい液体の場合はセル定数が小さ
いセンサを用いて導電率を測定し、導電率が大きい液体
の場合はセル定数が大きいセンサを用いて導電率を測定
する必要があるため、電極などの部品の共通化を図る場
合には、セル定数が異なる複数種類の円筒状本体71を
作製しなければならないという問題を生じた。
【0010】このように、複数種類の円筒状本体71を
作製すると、高価な成形型も複数種類を用意する必要が
生じて、この種の電気伝導度センサのコストが上昇する
とともに、開発期間も長時間になるという問題を生じ
た。また、セル定数が大きい電気伝導度センサの場合、
電極などの部品の共通化を図ろうとすると、各電極間の
距離Lを長くする必要が生じて、必然的に電気伝導度セ
ンサ自体のサイズも大きくなる。このため、設置場所の
スペースを確保する必要があるが、この種の電気伝導度
センサの設置スペースを確保できない場合にはこの種の
電気伝導度センサが使用できないという問題を生じた。
【0011】そこで、本発明は上記のような問題点を解
消するためになされたものであって、セル定数が小さい
電極保持部材のみを用いて、導電率が小さい液体であっ
ても導電率が大きい液体であっても正確に導電率を測定
できるとともに、限られたスペースであっても設置する
ことができる電気伝導度センサを提供することを目的と
する。
【0012】
【課題を解決するための手段およびその作用・効果】上
記目的を達成するため、本発明は、液体の流路の断面積
に対する電極間の距離の割合(セル定数)が小さい単セ
ルを備えた電気伝導度センサの製造方法であって、軸方
向中心部に液体の流路を有する電極保持体に所定の間隔
を隔てて表面が液体に接するように3つの電極を配設し
て単セルとする単セル作製工程と、この単セルを1つ以
上用いて液体の流路が連通するように該液体の流路に対
して直列あるいは並列に接続する単セル接続工程と、直
列あるいは並列に接続された各単セルにそれぞれ配設さ
れた3つの電極の少なくとも2つを用いて3電極式セン
サとなるように導電接続する導電接続工程とを備えるよ
うにしている。
【0013】このように、セル定数が小さい単セル、即
ち、液体の流路の断面積に対する電極間の距離の割合が
小さい単セルを用いて、これらを液体の流路が連通する
ように直列に接続するとともに、各単セルにそれぞれ配
設された3つの電極の少なくとも2つを用いて3電極式
センサとなるように導電接続すると、導電接続された電
極と対極との間に存在する液体の抵抗が単セルを単独で
用いた場合よりも大きくなる。このため、この液体の抵
抗に基づく電圧降下が増大して、電気伝導度が高い(抵
抗率が小さい)液体であっても、精度よく電気伝導度を
測定できるようになる。
【0014】また、セル定数が小さい単セルを液体の流
路が連通するように並列に接続するとともに、各単セル
にそれぞれ配設された3つの電極の少なくとも2つを用
いて3電極式センサとなるように導電接続すると、導電
接続された電極と対極との間に存在する液体に流れる電
流が単セルを単独で用いた場合よりも減少して、液体の
抵抗に基づく電圧降下が小さくなる。このため、電気伝
導度が低い(抵抗率が大きい)液体であっても、精度よ
く電気伝導度を測定できるようになる。この場合、3つ
の電極の少なくとも2つを用いて3電極式センサとなる
ように導電接続されているので、導電接続された電極と
対極との間に存在する液体中にのみ電流が流れるととも
に、これらの電極を介して他の部位には漏れ電流(リー
ク電流)を生じることがない。これにより、流入管およ
び流出管を通して漏れ電流が流れなくなるので、このセ
ンサを用いた機器に漏れ電流による悪影響を生じさせる
ことなく、精度よく電気伝導度を測定できるようにな
る。
【0015】このように、本発明の製造方法を採用する
ことにより、高価な成形型を1種類だけ作製して、この
成形型により1種類の電極保持部材だけを作製すること
となるが、この1種類の電極保持部材を用いてセル定数
が小さい単セルを形成すると、これらを直列あるいは並
列に接続し、かつ単セルにそれぞれ配設された3つの電
極の少なくとも2つを用いて3電極式センサとなるよう
に導電接続するだけで、電気伝導度が高い(抵抗率が小
さい)液体であっても、電気伝導度が低い(抵抗率が大
きい)液体であっても、精度よく電気伝導度を測定でき
るようになる。
【0016】この結果、1種類の成形型を作製するだけ
で必要とする電極保持部材を作製できるので、この種の
電気伝導度センサの開発期間を短くすることが可能にな
るとともに安価に製造することができるようになる。ま
た、各単セルの電極保持部材に3つの電極を配設し、こ
れらの単セルにそれぞれ配設された3つの電極の少なく
とも2つを用いて3電極式センサとなるように導電接続
するだけであるので、この種の電気伝導度センサを簡
単、容易に製造できるようになるとともに自動化も可能
となる。
【0017】この場合、電気伝導度が高い(抵抗率が小
さい)液体の測定用には、直管、U字状管あるいはL字
状管からなる接続管を用いて各単セルを液体の流路に対
して直列になるように接続して電気伝導度センサを構成
するようにすればよいが、設置スペースが狭い場所の場
合は長さが短くなるU字状管を用いるのが好ましく、ま
た、L字状等に変形した設置スペースの場合はL字状管
を用いるのが望ましい。また、電気伝導度が低い(抵抗
率が大きい)液体の測定用には、分岐管からなる接続管
を用いて各単セルを液体の流路に対して並列になるよう
に接続するのが望ましい。
【0018】
【発明の実施の形態】以下では、本発明の電気伝導度セ
ンサの実施の形態を図1〜図7に基づいて説明する。な
お、図1は単セルを模式的に示す断面図であり、図2
は、図1の単セルを単独で用いて電気伝導度が小さい液
体の測定に適するように構成した電気伝導度センサを模
式的に示す断面図である。図3は、図1の単セルを用い
て電気伝導度が大きい液体の測定に適するとともに設置
スペースが少ないところでも設置できるように構成した
電気伝導度センサを模式的に示す断面図である。図4
は、図1の単セルを用いて電気伝導度が大きい液体の測
定に適するとともに設置スペースに応じて変形させるよ
うに構成した電気伝導度センサを模式的に示す断面図で
ある。
【0019】また、図5は、図1の単セルを用いて図3
及び図4よりもさらに電気伝導度が大きい液体の測定に
適するように構成した電気伝導度センサを模式的に示す
断面図である。図6は、図1の単セルを用いて電気伝導
度が小さい液体の測定に適するように構成した電気伝導
度センサを模式的に示す断面図である。図7は、図6の
電気伝導度センサよりもさらに電気伝導度が小さい液体
の測定に適するように構成した電気伝導度センサを模式
的に示す断面図である。
【0020】1.単セル 本発明に用いられる単セル10は、軸方向中心部に流路
を形成する貫通孔12を備えた電極保持部材11と、こ
の電極保持部材11に等間隔を隔てて形成された複数の
電極保持孔13,13,13に嵌入された複数の電極1
5(X),15(Y),15(Z)と、これらを覆う合
成樹脂製(例えば変性PPE製)のカバー部材18とか
ら構成されるものである。ここで、電極保持部材11に
形成された電極保持孔13に複数の電極15(X),1
5(Y),15(Z)を嵌入させて、電極保持部材11
と複数の電極15(X),15(Y),15(Z)を一
体化させることによりセルが形成されるが、セル定数が
小さいセルとするために、各電極保持孔13間の距離L
が短くなるように形成されている。この例においては、
例えば、セル定数Kが約5.5(1/cm)になるよう
に貫通孔12の断面積および各電極保持孔13間の距離
Lが設定されている。
【0021】電極保持部材11は合成樹脂材料(例えば
変性PPE)を成形型を用いて、射出成形あるいは押し
出し成形することにより形成されており、貫通孔12に
対して直角方向に所定の間隔を隔てて3つの電極保持孔
13が形成されている。また、電極保持部材11の両端
部は接続部11a,11bが形成されており、一方の接
続部11aには流入管が接続されて液の流入部となり、
他方の接続部11bには流出管が接続されて液の流出部
となる。なお、電極保持孔13の下部には位置決め孔1
3aが形成されており、この位置決め孔13aに各電極
15に形成された位置決め突起部15dを圧入すること
により各電極15が電極保持部材11に取り付けられる
ようになされている。また、電極保持孔13の途中に
は、電極15を液密に保持することができるようにOリ
ング16,17を収納可能な複数の段部を有する形状に
形成されている。
【0022】各電極15は耐食性が良好な白金、チタン
等の金属製の円柱体からなり、本体部15aを備え、本
体部15aの上部に鍔部が形成されている。本体部15
aと鍔部との間は小径部となっており、この小径部と本
体部15aとの連接部に形成された段部にOリング16
が配設されている。本体部15aの中心部には液体の流
路となる横孔15bが本体部15aを貫通して形成され
ており、この横孔15bの直径は電極保持部材11に形
成された貫通孔12の直径と同一寸法に形成されてい
て、段差なく連通している。
【0023】各電極15の上部にはねじ部15cが突設
されており、このねじ部15cにリード線に形成された
端子部材を取り付け、ねじ部15cに螺合するナットを
締め付けることにより、リード線は電極15に接続され
るようになる。なお、各電極15の下部には位置決め突
起部15dが形成されており、この位置決め突起部15
dを電極保持部材11に形成された位置決め孔13aに
圧入することにより電極15が電極保持部材11に取り
付けられる。また、位置決め突起部15dと本体部15
aとの連接部に段部が形成されており、この段部にOリ
ング17が配設されて電極15は電極保持部材11に対
して液密に取り付けられこととなる。
【0024】カバー部材18は半角筒状の二部材から構
成されるものであって、各部材の両端部に端壁を有する
ように合成樹脂材料(例えば変性PPE)を射出成形あ
るいは押し出し成形することにより形成されている。カ
バー部材18の一側壁には端子18a,18b,18c
が形成されていて、上述した電極15(X),15
(Y),15(Z)から延出するリード線が接続されて
いる。そして、電極保持部材11の両端部はカバー部材
18の両端壁に接着あるいは螺着されていて、電極保持
部材11はカバー部材18により被覆されている。
【0025】ついで、このように構成される電気伝導度
センサ10の組付け方を説明する。まず、各電極15に
形成された横孔15bと電極保持部材11に形成された
貫通孔12が一致してこれらが連通するように、各電極
15を電極保持部材11に形成された電極保持孔13に
挿入する。この後、各突起部15dの電極保持部材11
から突出した部分に、それぞれプッシュナットを嵌着さ
せて各電極15を電極保持部材11に固定する。つい
で、電極15(X)から延出するリード線を端子18a
に接続し、電極15(Y)から延出するリード線を端子
18bに接続し、電極15(Z)から延出するリード線
を端子18cに接続する。この後、カバー部材18の両
端壁を電極保持部材11の両端部に接着あるいは螺着し
て、電極保持部材11をカバー部材18により被覆す
る。これにより、部品点数を減らしながら、寸法の精度
が安定した単セル10を簡単、容易に組み付けることが
可能となり、組み付けの簡単化および自動化を達成でき
る。
【0026】2.単セルを単独で用いた電気伝導度セン
サ ここで、上述のように構成される単セル10を単独で用
いて、電気伝導度が小さい液体の電気伝導度を測定する
に適した電気伝導度センサAを構成する場合、図2に示
すように、カバー部材18に形成された各端子18aと
18cとをリード線により接続して、これらの両端子1
8aと18cとの間を同電位とした後、端子18cと図
示しない制御装置に配設された電源端子の一方極(図2
においては−極)をリード線で接続するとともに、図示
しない制御装置の導電率検出回路に形成された一方の検
出端子(図2においては−極)に接続する。また、端子
18bと図示しない制御装置に配設された電源端子の他
方極(図2においては+極)をリード線で接続するとと
もに、図示しない制御装置の導電率検出回路に形成され
た他方の検出端子(図2においては+極)に接続する。
これより、単セル10を単独で用いた電気伝導度センサ
Aとなる。
【0027】ここで、接続部11aに流入管を接続し、
接続部11bに流出管を接続して、流入管より液体を流
入させるともに、各端子18a,18bに電源を印加す
ることにより、液体の抵抗に基づく電圧降下が電極15
(X)と電極15(Y)との間、および電極15(Y)
と電極15(Z)との間に生じることとなる。この電圧
降下が検出信号となって制御装置の導電率検出回路に入
力され、導電率検出回路にて所定の演算処理がなされ
て、制御装置の表示部に液体の電気伝導度(導電率)が
表示されるようになる。
【0028】この場合、電極保持部材11の中央に配置
された電極15(Y)と、この両側に配置された電極1
5(X)および電極15(Z)との間にそれぞれ検出電
流が流れる3電極式であるので、これらの電極間以外に
リーク電流が生じることなく、精度よく電気伝導度を計
測することが可能となる。これにより、流入管および流
出管から先の部分に漏れ電流が流れなくなるので、この
電気伝導度センサAを用いた機器に漏れ電流による悪影
響を生じさせることが防止できるようになる。また、セ
ル定数が小さい単セル10を単独で用いているので、電
気伝導度が低い(抵抗値が大きい)液体の電気伝導度を
正確に測定することができる。
【0029】なお、このように構成される電気伝導度セ
ンサAにおいて、電極保持部材11の端部の接続部11
b側(流出側)に図示しないサーミスタなどの温度検出
素子を貫通孔12内に突出して予め配設するようにし、
かつ温度検出素子の出力リード線を図示しない制御装置
の導電率検出回路に形成された温度検出端子に接続する
ことにより、導電率検出回路を温度補償することが可能
となって、液体の電気伝導度(導電率)をさらに正確に
求めることができるようになる。
【0030】3.単セルを用いて設置スペースが少ない
ところでも設置できる電気伝導度センサ この電気伝導度センサBは、図3に示すように、U字状
の接続管20により2つの単セル10,10を直列に接
続して構成されるものである。この場合、一方の単セル
10の接続部11bに接続管20の一端部を接続し、他
方の単セル10の接続部11aに接続管20の他端部を
接続しているため、単セル10,10を2個接続しても
電気伝導度センサBの長さは単セル10の1個分の長さ
より若干長くなるだけであるため、設置スペースが少な
いところでも設置できるようになる。
【0031】そして、この電気伝導度センサBを構成す
る場合、まず、単セル10のカバー部材18の両端部に
配置された端子18aおよび18cを使用して(即ち、
中央に配置された端子18bを不使用とし)、2つの単
セル10,10の端子18a同士および端子18c同士
をそれぞれリード線により接続する。なお、図3におい
ては、上部の単セル10の電極15(X)(あるいは電
極15(Z))と下部の単セル10の端子18a(ある
いは端子18c)が直接接続されているが、これは電極
15(X)同士あるいは電極15(Z)同士が電気的に
接続されていることを示しているだけで、実際には、端
子18a同士および端子18c同士が接続されている。
【0032】ついで、端子18cと図示しない制御装置
に配設された電源端子の一方極(図3においては+極)
をリード線で接続するとともに、図示しない制御装置の
導電率検出回路に形成された一方の検出端子(図3にお
いては+極)に接続する。また、端子18aと図示しな
い制御装置に配設された電源端子の他方極(図3におい
ては−極)をリード線で接続するとともに、図示しない
制御装置の導電率検出回路に形成された他方の検出端子
(図3においては−極)に接続する。これより、2つの
単セル10,10が直列に接続された電気伝導度センサ
Bとなる。
【0033】ここで、図3の上部の単セル10の接続部
11aに流入管を接続し、下部の単セル10の接続部1
1bに流出管を接続して、流入管より液体を流入させる
ともに、各端子18a,18cに電源を印加することに
より、液体の抵抗に基づく電圧降下が上部の単セル10
の電極15(X)と電極15(Z)との間、および下部
の単セル10の電極15(Z)と電極15(X)との間
に生じることとなる。この電圧降下が検出信号となって
制御装置の導電率検出回路に入力され、導電率検出回路
にて所定の演算処理がなされて、制御装置の表示部に液
体の電気伝導度(導電率)が表示されるようになる。
【0034】この場合、電極15(X)と電極15
(Z)との距離は2Lとなるので、上述の場合のように
単セル10を単独で用いた場合の電極15(X)と電極
15(Y)との距離Lの2倍(即ち、抵抗値も2倍)と
なって電圧降下も2倍となる。このため、単セル10を
単独で用いた場合の2倍程度電気伝導度が高い(抵抗値
が小さい)液体であっても精度よく電気伝導度を計測す
ることが可能となる。そして、上部の単セル10の電極
15(Z)と上部の単セル10の電極15(X)との
間、および上部の単セル10の電極15(Z)を介して
接続された下部の単セル10の電極15(Z)と下部の
単セル10の電極15(X)との間にそれぞれ検出電流
が流れる3電極式であるので、U字状の接続管20、流
入管および流出管から先の部分などにリーク電流を生じ
ることなく、精度よく電気伝導度を計測することが可能
となる。これにより、この電気伝導度センサBを用いた
機器にも漏れ電流による悪影響を防止できるようにな
る。
【0035】なおこの場合においても、電気伝導度セン
サBの上部あるいは下部に配置された単セル10,10
のいずれか一方あるいは両方に、電極保持部材11の端
部の接続部11b側(流出側)に図示しないサーミスタ
などの温度検出素子を貫通孔12内に突出して予め配設
するようにし、かつ温度検出素子の出力リード線を図示
しない制御装置の導電率検出回路に形成された温度検出
端子に接続することにより、導電率検出回路を温度補償
することが可能となって、液体の電気伝導度(導電率)
をさらに正確に求めることができるようになる。
【0036】4.単セルを用いて設置スペースに応じて
変形させた電気伝導度センサ この電気伝導度センサCは、図4に示すように、L字状
の接続管30により2つの単セル10,10を直列に接
続して構成されるものである。この場合、一方の単セル
10の接続部11bに接続管30の一端部を接続し、他
方の単セル10の接続部11aに接続管30の他端部を
接続しているため、設置スペースがL字状に変形した場
所であっても設置できるようになる。この電気伝導度セ
ンサCにおいても、端子18aおよび18cの接続は図
3の場合と同様であるので、詳細な説明は省略する。
【0037】そして、この電気伝導度センサCにおい
て、図4の下部の単セル10の接続部11aに流入管を
接続し、上部の単セル10の接続部11bに流出管を接
続して、流入管より液体を流入させるともに、各端子1
8a,18cに電源を印加することにより、液体の抵抗
に基づく電圧降下が下部の単セル10の電極15(Z)
と電極15(X)との間、および上部の単セル10の電
極15(Z)と電極15(X)との間に生じることとな
るが、単セル10を単独で用いた場合の電極15(X)
と電極15(Y)との距離Lの2倍(即ち、抵抗値も2
倍)となって電圧降下も2倍となる。
【0038】このため、単セル10を単独で用いた場合
の2倍程度電気伝導度が高い(抵抗値が小さい)液体で
あっても精度よく電気伝導度を計測することが可能とな
る。そして、下部の単セル10の電極15(Z)と下部
の単セル10の電極15(X)との間、および下部の単
セル10の電極15(Z)を介して接続された上部の単
セル10の電極15(Z)と上部の単セル10の電極1
5(X)との間にそれぞれ検出電流が流れる3電極式で
あるので、L字状の接続管30、流入管および流出管か
ら先の部分などにリーク電流を生じることなく、精度よ
く電気伝導度を計測することが可能となる。これによ
り、この電気伝導度センサCを用いた機器にも漏れ電流
による悪影響を防止できるようになる。
【0039】なおこの場合においても、電気伝導度セン
サCの下部あるいは上部に配置された単セル10,10
のいずれか一方あるいは両方に、電極保持部材11の端
部の接続部11b側(流出側)に図示しないサーミスタ
などの温度検出素子を貫通孔12内に突出して予め配設
するようにし、かつ温度検出素子の出力リード線を図示
しない制御装置の導電率検出回路に形成された温度検出
端子に接続することにより、導電率検出回路を温度補償
することが可能となって、液体の電気伝導度(導電率)
をさらに正確に求めることができるようになる。
【0040】5.単セルを用いて電気伝導度がさらに大
きい液体の測定に適するように構成した電気伝導度セン
サ この電気伝導度センサDは、図5に示すように、2つの
接続用直管41,42を用いて、3つの単セル10,1
0,10を直列に接続して構成されるものである。この
場合、図5の左方の単セル10の接続部11bに接続用
直管41の一端部が接続され、中央の単セル10の接続
部11aに接続用直管41の他端部が接続され、中央の
単セル10の接続部11bに接続用直管42の一端部が
接続され、右方の単セル10の接続部11aに接続用直
管42の他端部が接続されている。
【0041】この電気伝導度センサDを構成する場合、
まず、図5の左方および右方の単セル10のカバー部材
18の両端部に配置された端子18aおよび18cを使
用して(即ち、中央に配置された端子18bを不使用と
し)、中央の単セル10の端子18a,18b,18c
を使用する。そして、左方の単セル10の端子18cと
中央の単セル10の端子18aをリード線により接続し
てこれらを同電位にするとともに、中央の単セル10の
端子18cと右方の単セル10の端子18aをリード線
により接続してこれらを同電位にする。また、左方の単
セル10の端子18aと右方の単セル10の端子18c
をリード線により接続してこれらを同電位にする。
【0042】ついで、中央の単セル10の端子18bと
図示しない制御装置に配設された電源端子の一方極(図
5においては+極)をリード線で接続するとともに、図
示しない制御装置の導電率検出回路に形成された一方の
検出端子(図5においては+極)に接続する。また、右
方の単セル10の端子18cと図示しない制御装置に配
設された電源端子の他方極(図5においては−極)をリ
ード線で接続するとともに、図示しない制御装置の導電
率検出回路に形成された他方の検出端子(図5において
は−極)に接続する。これより、3つの単セル10,1
0,10が直列に接続された電気伝導度センサDとな
る。
【0043】ここで、図5の左方の単セル10の接続部
11aに流入管を接続し、右方の単セル10の接続部1
1bに流出管を接続して、流入管より液体を流入させる
ともに、中央の単セル10の端子18bと右方の単セル
の端子18cに電源を印加することにより、液体の抵抗
に基づく電圧降下が、中央の単セル10の電極15
(Y)と電極15(X)との間および左方の単セル10
の電極15(Z)と電極15(X)との間に生じるとと
もに、中央の単セル10の電極15(Y)と電極15
(Z)との間および右方の単セル10の電極15(X)
と電極15(Z)との間に生じることとなる。この電圧
降下が検出信号となって制御装置の導電率検出回路に入
力され、導電率検出回路にて所定の演算処理がなされ
て、制御装置の表示部に液体の電気伝導度(導電率)が
表示されるようになる。
【0044】この場合、中央の単セル10の電極15
(Y)と電極15(X)との間および左方の単セル10
の電極15(Z)と電極15(X)との距離、あるいは
中央の単セル10の電極15(Y)と電極15(Z)と
の間および右方の単セル10の電極15(X)と電極1
5(Z)との距離は3Lとなるので、上述の場合のよう
に単セル10を単独で用いた場合の電極15(X)と電
極15(Y)との距離Lの3倍(即ち、抵抗値も3倍)
となって電圧降下も3倍となる。このため、電気伝導度
がさらに高い(抵抗値がさらに小さい)液体であっても
精度よく電気伝導度を計測することが可能となる。そし
て、中央の単セル10の電極15(Y)と電極15
(X)との間、左方の単セル10の電極15(Z)と電
極15(X)との間、および中央の単セル10の電極1
5(Y)と電極15(Z)との間、右方の単セル10の
電極15(X)と電極15(Z)との間にそれぞれ検出
電流が流れる3電極式であるので、接続用直管41,4
2、流入管および流出管から先の部分などにリーク電流
を生じることなく、精度よく電気伝導度を計測すること
が可能となる。これにより、この電気伝導度センサDを
用いた機器にも漏れ電流による悪影響を防止できるよう
になる。
【0045】この場合においても、電気伝導度センサD
の左右あるいは中央に配置された単セル10,10,1
0のいずれか1つあるいはすべてに、電極保持部材11
の端部の接続部11b側(流出側)に図示しないサーミ
スタなどの温度検出素子を貫通孔12内に突出して予め
配設するようにし、かつ温度検出素子の出力リード線を
図示しない制御装置の導電率検出回路に形成された温度
検出端子に接続することにより、導電率検出回路を温度
補償することが可能となって、液体の電気伝導度(導電
率)をさらに正確に求めることができるようになる。な
お、単セル10の直列接続は3個に限らず、4個、5個
等の複数個を上述と同様に接続すれば、電圧降下も4
倍、5倍と接続個数に応じて増加するため、さらに電気
伝導度が高い(抵抗値が小さい)液体の電気伝導度を精
度よく計測することが可能となる。
【0046】6.単セルを用いて電気伝導度がさらに小
さい液体の測定に適するように構成した電気伝導度セン
サ この電気伝導度センサEは、図6に示すように、二股に
分岐した接続用分岐管51,52を2個用いて、2つの
単セル10,10を並列に接続して構成されるものであ
る。この場合、2つの単セル10,10の接続部11
a,11aを分岐管51の分岐部にそれぞれ接続し、2
つの単セル10,10の接続部11b,11bを分岐管
52の分岐部にそれぞれ接続するようにしている。
【0047】そして、この電気伝導度センサEを構成す
る場合、まず、各単セル10,10の端子18a同士、
端子18b同士および端子18c同士をそれぞれリード
線により接続する。なお、図6においては、上部の単セ
ル10の電極15(X)と下部の単セル10の端子18
a、上部の単セル10の電極15(Y)と下部の単セル
10の端子18b、および上部の単セル10の電極15
(Z)と下部の単セル10の端子18cが直接接続され
ているが、これは電極15(X)同士、電極15(Y)
同士あるいは電極15(Z)同士が電気的に接続されて
いることを示しているだけで、実際には、端子18a同
士、端子18b同士および端子18c同士が接続されて
いる。
【0048】ついで、図6の上部の単セル10の各端子
18aと18cとをリード線で接続して、これらの両端
子18aと18cとの間を同電位とした後、上部の単セ
ル10の端子18cと図示しない制御装置に配設された
電源端子の一方極(図6においては−極)をリード線で
接続するとともに、図示しない制御装置の導電率検出回
路に形成された一方の検出端子(図6においては−極)
に接続する。また、上部の単セル10の端子18bと図
示しない制御装置に配設された電源端子の他方極(図6
においては+極)をリード線で接続するとともに、図示
しない制御装置の導電率検出回路に形成された他方の検
出端子(図6においては+極)に接続する。これより、
2つの単セル10,10が並列に接続された電気伝導度
センサEとなる。
【0049】ここで、図6の接続用分岐管51に流入管
を接続し、接続用分岐管52に流出管を接続して、流入
管より液体を流入させるともに、図6の上部の単セル1
0の各端子18b,18c間に電源を印加することによ
り、液体の抵抗に基づく電圧降下が各単セル10,10
の電極15(Y)と電極15(X)との間およ電極15
(Y)と電極15(Z)との間に生じることとなる。こ
の電圧降下が検出信号となって制御装置の導電率検出回
路に入力され、導電率検出回路にて所定の演算処理がな
されて、制御装置の表示部に液体の電気伝導度(導電
率)が表示されるようになる。
【0050】この場合、上部の単セル10と下部の単セ
ル10とは並列に接続されているため、電極15(Y)
と電極15(X)との間および電極15(Y)と電極1
5(Z)との間に流れる電流は、上述の場合のように単
セル10を単独で用いた場合の1/2になるため、電極
15(X)と電極15(Y)との間の電圧降下は1/2
倍となる。このため、単セル10を単独で用いた場合の
1/2倍程度電気伝導度が低い(抵抗値が大きい)液体
であっても精度よく電気伝導度を計測することが可能と
なる。そして、上部および下部の各単セル10の電極1
5(Y)と電極15(X)との間および電極15(Y)
と電極15(Z)との間にそれぞれ検出電流が流れる3
電極式であるので、接続用分岐管51,52、流入管お
よび流出管から先の部分などにリーク電流を生じること
なく、精度よく電気伝導度を計測することが可能とな
る。これにより、この電気伝導度センサEを用いた機器
にも漏れ電流による悪影響を防止できるようになる。
【0051】この場合においても、電気伝導度センサE
の上部あるいは下部に配置された単セル10,10のい
ずれか一方あるいは両方に、電極保持部材11の端部の
接続部11b側(流出側)に図示しないサーミスタなど
の温度検出素子を貫通孔12内に突出して予め配設する
ようにし、かつ温度検出素子の出力リード線を図示しな
い制御装置の導電率検出回路に形成された温度検出端子
に接続することにより、導電率検出回路を温度補償する
ことが可能となって、液体の電気伝導度(導電率)をさ
らに正確に求めることができるようになる。
【0052】なお、図7に示す電気伝導度センサFは、
n個に分岐した接続用分岐管61,62を2個用いて、
n個の単セル10,10,10・・・を並列に接続して
構成されるものであって、n個の単セル10,10,1
0・・・の接続部11a,11a,11a・・・を分岐
管61の分岐部にそれぞれ接続し、n個の単セル10,
10,10・・・の接続部11b,11b,11b・・
・を分岐管62の分岐部にそれぞれ接続するようにして
電気伝導度センサFを構成している。そして、この電気
伝導度センサFにあって、各単セル10,10,10・
・・の端子18a,18a,18a・・・同士、端子1
8b,18b,18b・・・同士および端子18c,1
8c,18c・・・同士をそれぞれリード線により接続
して、上、下に配置された各単セル10,10,10・
・・はn個が並列に接続されている。
【0053】ついで、図7の最上部の単セル10の端子
18aと18cをリード線で接続して、これらの両端子
18aと18cとの間を同電位とした後、最上部の単セ
ル10の端子18cと図示しない制御装置に配設された
電源端子の一方極(図7においては−極)をリード線で
接続するとともに、図示しない制御装置の導電率検出回
路に形成された一方の検出端子(図7においては−極)
に接続する。また、最上部の単セル10の端子18bと
図示しない制御装置に配設された電源端子の他方極(図
7においては+極)をリード線で接続するとともに、図
示しない制御装置の導電率検出回路に形成された他方の
検出端子(図7においては+極)に接続する。これよ
り、n個の単セル10,10,10・・・が並列に接続
された電気伝導度センサFとなる。
【0054】この場合、電極15(Y)と電極15
(X)との間および電極15(Y)と電極15(Z)と
の間に流れる電流は、単セル10を単独で用いた場合の
1/nになるため、電極15(X)と電極15(Y)と
の間の電圧降下は1/n倍となる。これにより、単セル
10を単独で用いた場合の1/n倍程度電気伝導度が低
い(抵抗値が大きい)液体であっても精度よく電気伝導
度を計測することが可能となる。そして、各単セル1
0,10,10・・・の電極15(Y)と電極15
(X)との間および電極15(Y)と電極15(Z)と
の間にそれぞれ検出電流が流れる3電極式であるので、
接続用分岐管61,62、流入管および流出管から先の
部分などにリーク電流を生じることなく、精度よく電気
伝導度を計測することが可能となる。これにより、この
電気伝導度センサFを用いた機器にも漏れ電流による悪
影響を防止できるようになる。
【0055】上述したように、本発明においては、高価
な成形型を1種類だけ作製して、この成形型により作製
された1種類の電極保持部材11を用いてセル定数が小
さい単セル10を作製する。ついで、これらの単セル1
0を直列あるいは並列に接続し、かつ単セル10に配設
された3つの電極15(X),15(Y),15(Z)
にそれぞれ接続された端子18a,18b,18cの少
なくとも2つを用いて3電極式センサとなるように導電
接続するようにしている。このため、電気伝導度が高い
(抵抗率が小さい)液体であっても、電気伝導度が低い
(抵抗率が大きい)液体であっても、精度よく電気伝導
度を測定できるようになる。
【0056】そして、セル定数が小さい単セル10を用
いて、これらを液体の流路が連通するように直列に接続
するとともに、各単セルにそれぞれ配設された3つの電
極15(X),15(Y),15(Z)にそれぞれ接続
された端子18a,18b,18cの少なくとも2つを
用いて3電極式センサとなるように導電接続すると、導
電接続された電極と対極との間に存在する液体の抵抗が
大きくなって、この液体の抵抗に基づく電圧降下が単セ
ル10を単独で用いた場合よりも増大する。これによ
り、電気伝導度が高い(抵抗率が小さい)液体であって
も、精度よく電気伝導度を測定できるようになる。
【0057】また、セル定数が小さい単セル10を液体
の流路が連通するように並列に接続するとともに、各単
セル10にそれぞれ配設された3つの電極15(X),
15(Y),15(Z)にそれぞれ接続された端子18
a,18b,18cの少なくとも2つを用いて3電極式
センサとなるように導電接続すると、導電接続された電
極と対極との間に存在する液体に流れる電流が減少し
て、この液体の抵抗に基づく電圧降下が単セルを単独で
用いた場合よりも小さくなる。これにより、電気伝導度
が低い(抵抗率が大きい)液体であっても、精度よく電
気伝導度を測定できるようになる。そして、導電接続さ
れた電極と対極との間に存在する液体中にのみ電流が流
れるので、リーク電流を生じることなく、精度よく電気
伝導度を測定できるようになる。これにより、流入管お
よび流出管を通して漏れ電流が流れなくなるので、この
センサを用いた機器に漏れ電流による悪影響を生じさせ
ることなく、精度よく電気伝導度を測定できるようにな
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】 単セルを模式的に示す断面図である。
【図2】 図1の単セルを単独で用いて電気伝導度が小
さい液体の測定に適するように構成した電気伝導度セン
サを模式的に示す断面図である。
【図3】 図1の単セルを用いて電気伝導度が大きい液
体の測定に適するとともに設置スペースが少ないところ
でも設置できるように構成した電気伝導度センサを模式
的に示す断面図である。
【図4】 図1の単セルを用いて電気伝導度が大きい液
体の測定に適するとともに設置スペースに応じて変形さ
せるように構成した電気伝導度センサを模式的に示す断
面図である。
【図5】 図1の単セルを用いて図3及び図4よりもさ
らに電気伝導度が大きい液体の測定に適するように構成
した電気伝導度センサを模式的に示す断面図である。
【図6】 図1の単セルを用いて電気伝導度が小さい液
体の測定に適するように構成した電気伝導度センサを模
式的に示す断面図である。
【図7】 図6の電気伝導度センサよりもさらに電気伝
導度が小さい液体の測定に適するように構成した電気伝
導度センサを模式的に示す断面図である。
【図8】 従来の電気伝導度センサの一例を模式的に示
す断面図である。
【符号の説明】
10…単セル、11 電極保持部材、11a,11b…
接続部、12…貫通孔、13…電極保持孔、13a…位
置決め孔、15(X)(Y)(Z)…電極、15a…本
体部、15b…横孔、15c…ねじ部、15d…位置決
め突起部、16,17…Oリング、18…カバー部材、
18a,18b,18c…端子、20…接続管、30…
接続管、41,42…接続用直管、51,52…接続用
分岐管、61,62…接続用分岐管、A,B,C,D,
E.F…電気伝導度センサ

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 液体の流路の断面積に対する電極間の距
    離の割合(セル定数)が小さい単セルを備えた電気伝導
    度センサの製造方法であって、 軸方向中心部に液体の流路を有する電極保持体に所定の
    間隔を隔てて表面が前記液体に接するように3つの電極
    を配設して単セルとする単セル作製工程と、 前記単セルを1つ以上用いて前記液体の流路が連通する
    ように該液体の流路に対して直列あるいは並列に接続す
    る単セル接続工程と、 前記直列あるいは並列に接続された各単セルにそれぞれ
    配設された前記3つの電極の少なくとも2つを用いて3
    電極式センサとなるように導電接続する導電接続工程と
    を備えたことを特徴とする電気伝導度センサの製造方
    法。
  2. 【請求項2】 前記各単セルを接続管により接続するよ
    うにしたことを特徴とする請求項1に記載の電気伝導度
    センサの製造方法。
  3. 【請求項3】 前記接続管は直管、U字状管あるいはL
    字状管であって、これらの接続管により前記各単セルを
    液体の流路に対して直列に接続するようにしたことを特
    徴とする請求項2に記載の電気伝導度センサの製造方
    法。
  4. 【請求項4】 前記接続管は分岐管であって、該分岐管
    により前記各単セルを液体の流路に対して並列に接続す
    るようにしたことを特徴とする請求項2に記載の電気伝
    導度センサの製造方法。
  5. 【請求項5】 液体の流路の断面積に対する電極間の距
    離の割合(セル定数)が小さい単セルを備えた電気伝導
    度センサであって、 軸方向中心部に液体の流路を有する電極保持体に所定の
    間隔を隔てて表面が前記液体に接するように3つの電極
    が配設された単セルを備え、 前記単セルの1つ以上が連通して前記液体の流路に対し
    て直列あるいは並列に接続されているとともに、 前記直列あるいは並列に接続された各単セルにそれぞれ
    配設された前記3つの電極の少なくとも2つにより3電
    極式センサとなるように導電接続されていることを特徴
    とする電気伝導度センサ。
  6. 【請求項6】 前記各単セルは接続管により接続されて
    いることを特徴とする請求項5に記載の電気伝導度セン
    サ。
  7. 【請求項7】 前記接続管は直管、U字状管あるいはL
    字状管であって、これらの接続管により前記各単セルが
    液体の流路に対して直列に接続されていることを特徴と
    する請求項6に記載の電気伝導度センサ。
  8. 【請求項8】 前記接続管は分岐管であって、該分岐管
    により前記各単セルが液体の流路に対して並列に接続さ
    れていることを特徴とする請求項6に記載の電気伝導度
    センサ。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101011827B1 (ko) * 2008-06-10 2011-02-07 한국표준과학연구원 비접촉식 전기전도도 측정장치
CN105548720A (zh) * 2015-12-18 2016-05-04 北京佰纯润宇生物科技有限公司 电导率传感器及其制造方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63181873U (ja) * 1988-04-27 1988-11-24
JPH01254853A (ja) * 1988-04-05 1989-10-11 Nikoku Kikai Kogyo Kk 導電率測定用の電極
JPH0635962U (ja) * 1992-10-16 1994-05-13 株式会社東邦計測研究所 電流拡散防止装置
JPH07280765A (ja) * 1994-04-13 1995-10-27 Aretsuku Denshi Kk 導電率測定センサ
JPH09329633A (ja) * 1996-06-07 1997-12-22 Dkk Corp 導電率計
JPH11125615A (ja) * 1997-10-22 1999-05-11 Japan National Oil Corp 静電容量式水分率計
JP2001208710A (ja) * 2000-01-26 2001-08-03 Saginomiya Seisakusho Inc 電気伝導度センサ

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01254853A (ja) * 1988-04-05 1989-10-11 Nikoku Kikai Kogyo Kk 導電率測定用の電極
JPS63181873U (ja) * 1988-04-27 1988-11-24
JPH0635962U (ja) * 1992-10-16 1994-05-13 株式会社東邦計測研究所 電流拡散防止装置
JPH07280765A (ja) * 1994-04-13 1995-10-27 Aretsuku Denshi Kk 導電率測定センサ
JPH09329633A (ja) * 1996-06-07 1997-12-22 Dkk Corp 導電率計
JPH11125615A (ja) * 1997-10-22 1999-05-11 Japan National Oil Corp 静電容量式水分率計
JP2001208710A (ja) * 2000-01-26 2001-08-03 Saginomiya Seisakusho Inc 電気伝導度センサ

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101011827B1 (ko) * 2008-06-10 2011-02-07 한국표준과학연구원 비접촉식 전기전도도 측정장치
CN105548720A (zh) * 2015-12-18 2016-05-04 北京佰纯润宇生物科技有限公司 电导率传感器及其制造方法

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