JP2002296210A - 導電率計の電極 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 電解質液の導電率に応じた情報を確実に得る
ことのできる導電率計の電極を提供する。 【解決手段】 導電率計の電極１は測定部２と支持部４
を備えている。測定部２は感温筒３と電極部材９ａ，９
ｂとホルダ８と導電パイプ１４と導電スプリング１５と
を備えている。感温筒３は導電性である。電極部材９
ａ，９ｂはガラス状カーボンの中実材であり円環状であ
る。ホルダ８は内側に感温筒３を通し電極部材９ａ，９
ｂの内側を通る。導電パイプ１４は電極部材９ｂの内周
面に接触する。導電スプリング１５は電極部材９ａと感
温筒３とを電気的に接続する。支持部４は導電止め輪１
９などを備えている。導電止め輪１９は導電パイプ１４
と電気的に接続する。感温筒３には第１電極ケーブル２
７が電気的に接続している。導電止め輪１９には第２電
極ケーブル２８が電気的に接続している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体の各種の
製造装置、産業機械、農業、食品、医療関係などの各分
野における各種の薬液の濃度管理などに用いられる導電
率計の電極に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体の各種の製造装置、産業機械、農
業、食品、医療関係などの各分野における各種の薬液
（電解質液）の濃度管理などにおいて、該電解質液の濃
度を測定するために、前記電解質液の導電率を測定する
導電率計が用いられる。前述した半導体の各種の製造装
置において、各種の薬液（電解質液）の濃度を測定する
導電率計には、例えば、特開平８―１５３４１号公報に
示された電磁誘導式の電極１０１（図２２に示す）が用
いられる。なお、特に半導体の各種の製造装置には、例
えばフッ酸などの腐食性を有する薬液（電解質液）が用
いられることが多い。

【０００３】図２２に例示された電磁誘導式の電極１０
１は、特開平８―１５３４１号公報に示されているよう
に、励磁トランス１０２と、検出トランス１０３と、絶
縁ケース１０４と、を備えている。励磁トランス１０２
は、１次コイルが巻かれたトロイダルコアからなる。検
出トランス１０３は、２次コイルが巻かれたトロイダル
コアからなる。前記絶縁ケース１０４は、前記励磁トラ
ンス１０２と検出トランス１０３とを覆って、これらの
トランス１０２，１０３に腐食性の薬液（電解質液）が
接触することを防止している。

【０００４】励磁トランス１０２には、交流電源が接続
している。検出トランス１０３に電流計などが接続して
いる。電磁誘導式の電極１０１は、前記交流電源によっ
て励磁トランス１０２が印加されて、電解質液中で矢印
Ｙで示す電磁誘導作用を生じ、前記検出トランス１０３
に誘導電流が流れる。電磁誘導式の電極１０１を用いた
導電率計は、前記誘導電流の電流値及び電流値の変化を
測定することにより、前記電解質液の導電率を測定す
る。

【０００５】この電磁誘導式の電極１０１は、各トラン
ス１０２，１０３を腐食性の薬液（電解質液）から保護
するために、前記絶縁ケース１０４で各トランス１０
２，１０３を覆っている。このため、感度が低く、低濃
度の薬液（電解質液）の導電率の測定には不向きであ
る。

【０００６】また、感度が低いので、前記検出トランス
１０３から取り出せる信号（誘導電流）が微弱となり、
外部環境のノイズ（電気的な不要信号）の影響を受けや
すい。このため、前記電磁誘導式の電極１０１を用いる
と、ノイズを遮断するための機械的な構造や前記検出ト
ランス１０３からの信号を受ける電子回路が複雑とな
り、コストが高騰する傾向となっていた。

【０００７】前記電磁誘導式の電極１０１の低感度であ
るという問題を解決するために、例えば特開平２０００
−１６２１６８号公報に示された電極１１０（図２３に
示す）が提案されている。

【０００８】この公報に記載された電極１１０は、図２
３に例示するように、電極部材としての内電極１１１
と、電極部材としての外電極１１２と、支持部材１１３
などを備えている。内電極１１１は、円柱状に形成され
ている。内電極１１１は、グラファイトからなる母材１
１１ａと、該母材１１１ａの外表面を覆う耐食層１１１
ｂと、を備えている。耐食層１１１ｂは、ガラス状カー
ボンからなる。

【０００９】外電極１１２は、内電極１１１の外径よ
り、内径が大きい円管状に形成されている。外電極１１
２は、内側に内電極１１１が挿入されることにより、該
内電極１１１と同軸的に配されている。外電極１１２
は、グラファイトからなる母材１１２ａと、該母材１１
２ａの外表面を覆う耐食層１１２ｂと、を備えている。
耐食層１１２ｂは、ガラス状カーボンからなる。

【００１０】支持部材１１３は、内電極１１１の外周に
嵌合し、かつ外電極１１２の内周に嵌合して、各電極１
１１，１１２の基端部を支持している。支持部材１１３
は、電極１１１，１１２間の間隔を所定間隔としてい
る。支持部材１１３は、テフロン（登録商標）など、フ
ッ素樹脂の絶縁物で形成されている。支持部材１１３
は、内部に各電極１１１，１１２と電気的に接続した電
線などを収容する図示しない空間を有したホルダ１１４
内に固定されている。

【００１１】前述した構成の電極１１０を備えた導電率
計は、各電極１１１，１１２のうち一方に交流電圧など
を印加して、他方からの電流値を測定することにより、
前記電解質液内を流れる電流に基いて、前記電解質液の
導電率を測定する。前記電極１１０は、各電極１１１，
１１２と支持部材１１３の外表面にガラス状カーボンか
らなる耐食層１１１ｂ，１１２ｂを形成することによ
り、腐食性を有する薬液（電解質液）中に直接各電極１
１１，１１２を配置して、測定感度の低下を抑制してい
る。

【００１２】しかしながら、前述した公報に記載された
電極１１０は、各電極１１１，１１２の母材１１１ａ，
１１２ａを構成するグラファイトが、ガラス状カーボン
より密度が低く化学的な安定度も低い。このため、腐食
性の電解質液の導電率を測定しようとすると、ガラス状
カーボンからなる耐食層１１１ｂ，１１２ｂを外表面に
形成するだけでは、前記薬液がグラファイトからなる母
材１１１ａ，１１２ａ内にしみこんでしまうことが考え
られる。

【００１３】本発明の出願人は、前述した構成の電極１
１０を、前記腐食性の電解質液としてのフッ酸内に挿入
すると、前記母材１１１ａ，１１２ａにフッ酸がしみこ
むことを確認している。このため、前記電極１１０は、
例えば、フッ酸などの腐食性の電解質液の導電率を測定
するには、不向きである。

【００１４】また、前記電磁誘導式の電極１０１の低感
度であるという問題を解決するために、実用新案登録第
２５２８０２５号公報に示された電極１２０（図２４に
示す）が提案されている。

【００１５】前記電極１２０は、図２４に示すように、
一対の電極部材１２１を備えており、該電極部材１２１
が、ガラス状カーボンからなる中実材で構成されてい
る。前記電極１２０は、電極部材１２１をガラス状カー
ボンなどから構成することにより、腐食性を有する薬液
中に直接電極部材１２１を配置して、測定感度の低下を
抑制している。

【００１６】しかしながら、前記電極１２０は、電極部
材１２１を計測対象の配管などに取り付けるために、電
極部材１２１間の間隔を一定に保つ必要が生じる。電極
部材１２１が、液体の流れに対して直角に配置した円柱
状であるため、セル定数を正確に一定値となるよう設置
することが難しく、また液体の流速の影響を受けずに正
確に測定することは難しい。

【００１７】このため、前記電極１２０は、安定的に、
電解質液の導電率を測定することが困難となる。また、
一対の電極部材１２１を所定間隔離して取り付けるた
め、取付にかかる所要スペースが増大する。このため、
電極１２０自体が大型化して望ましくない。

【００１８】一方、図２３に例示された電極１１０は、
前記支持部材１１３の空間内に、前記内電極１１１と支
持部材１１３との間から電解質液が侵入することを防止
するために、Ｏリング１１５を備えている。Ｏリング１
１５は、例えば、フッ素ゴムなどの弾性を有する合成ゴ
ムなどからなる。

【００１９】前述した合成ゴムなどからなるＯリング１
１５は、前記電解質液が比較的低温である場合には、弾
性を失い前記内電極１１１と支持部材１１３との間を液
密に保てない。一方、前記電解質液が比較的高温である
場合には、劣化して硬くなり、前記内電極１１１と支持
部材１１３との間を液密に保てない。

【００２０】また、Ｏリング１１５を構成する合成ゴム
には、酸性の電解質液に対する耐食性が高いがアルカリ
性の電解質液に対する耐食性が低いものや、酸性の電解
質液とアルカリ性の電解質液との双方に対する耐食性が
高いが有機溶剤に対する耐食性が低いものなど、全ての
薬液（電解質液）に対する耐食性の優れたものがない。

【００２１】このため、前述したように、Ｏリング１１
５を用いると、内電極１１１と支持部材１１３との間を
確実に液密に保てなくなる。そして、前記空間内に電解
質液が侵入して、導電率計の電極１１０が、電解質液の
導電率を測定する際に不具合が生じる恐れがあった。

【００２２】また、ガラス状カーボンは、製法上、一度
に製造できる量が少なく、かつ非常に硬い。さらに、ガ
ラス状カーボンは、一度に製造できる量が少ないため、
非常に高価である。ガラス状カーボンは、非常に硬いた
め、衝撃などにもろく、加工が非常に困難であった。

【００２３】

【発明が解決しようとする課題】前述した従来の電極１
０１，１１０，１２０の問題を解決するために、本発明
の出願人は、ガラス状カーボンからなる中実材で電極部
材を構成し、該電極部材を円環状に形成することによっ
て、感度の低下の抑制、耐食性の向上及びコストの高騰
を抑制できる電極を提案している。

【００２４】該電極では、円管状でかつ絶縁体からなる
ホルダを備えている。前記電極は、該ホルダの外周にガ
ラス状カーボンからなる電極部材を嵌合させるなどし
て、これらの電極部材を、互いに絶縁状態でかつ同軸的
に支持する。こうして、前記電極は、機械的な寸法を抑
制し、かつ電極部材間の間隔を所定間隔としている。

【００２５】しかしながら、前述した電極では、電極部
材が接触するのが絶縁体からなるホルダであり、かつ前
記電極部材が非常に硬いガラス状カーボンなどからなる
ため、各電極部材と電線などを電気的に接続することが
困難となる。このため、前記電極部材を介して、前記電
解質液の導電率に応じた情報を取り出すことが困難であ
る。

【００２６】したがって、本発明の目的は、電解質液の
導電率に応じた情報を確実に取り出すことができる導電
率計の電極を提供することにある。

【００２７】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決し目的を
達成するために、請求項１に記載の本発明の導電率計の
電極は、複数の電極部材が計測対象の電解質液の流路中
に所定間隔離れて配置され、電極部材間に電圧を印加し
て、前記電解質液内を流れる電流に基いて前記電解質液
の導電率を測定する導電率計の電極において、前記電極
部材が、円環状に形成されかつガラス状カーボンからな
る中実材であり、円管状に形成されかつ前記電極部材そ
れぞれの内側を通ってこれらの電極部材を同軸的に支持
する絶縁性のホルダと、前記ホルダの基端部を支持しか
つ内部に空間を有する絶縁性の第２ホルダと、円柱状に
形成されかつ前記ホルダ内に挿入されるとともに基端部
が前記空間内に位置する導電性の導体柱と、前記導体柱
に接続しかつ前記空間内に収容される第１電線と、前記
電極部材のうち前記第２ホルダから離れた電極部材と前
記導体柱とを電気的に接続する接続手段と、を備えたこ
とを特徴としている。

【００２８】請求項２に記載の本発明の導電率計の電極
は、複数の電極部材が計測対象の電解質液の流路中に所
定間隔離れて配置され、電極部材間に電圧を印加して、
前記電解質液内を流れる電流に基いて前記電解質液の導
電率を測定する導電率計の電極において、前記電極部材
が、円環状に形成されかつガラス状カーボンからなる中
実材であり、円管状に形成されかつ前記電極部材それぞ
れの内側を通ってこれらの電極部材を同軸的に支持する
絶縁性のホルダと、前記ホルダの基端部を支持しかつ内
部に空間を有する絶縁性の第２ホルダと、前記空間内に
収容された第２電線と、前記電極部材のうち前記第２ホ
ルダ寄りの電極部材と前記第２電線とを電気的に接続す
る第２接続手段と、を備えたことを特徴としている。

【００２９】請求項３に記載の本発明の導電率計の電極
は、請求項１記載の導電率計の電極において、前記空間
内に収容された第２電線と、前記電極部材のうち前記第
２ホルダ寄りの電極部材と前記第２電線とを電気的に接
続する第２接続手段と、を備えたことを特徴としてい
る。

【００３０】請求項４に記載の本発明の導電率計の電極
は、請求項１または請求項３に記載の導電率計の電極に
おいて、前記接続手段は、円環状に形成されかつ内径と
外径とのうち少なくとも一方が伸縮する方向に弾性変形
自在であるとともに、該接続手段は、内側に導体柱を通
しかつ前記第２ホルダから離れた電極部材内を通ってい
るとともに、内縁が前記導体柱と接触し外縁が前記第２
ホルダから離れた電極部材の内周面に接触し、前記導体
柱の外周面と前記第２ホルダから離れた電極部材の内周
面とを互いに離す方向の弾性復元力を生じていることを
特徴としている。

【００３１】請求項５に記載の本発明の導電率計の電極
は、請求項１または請求項３に記載の導電率計の電極に
おいて、前記接続手段は、円管状に形成されかつ内外径
が伸縮する方向に弾性変形自在であるとともに、該接続
手段は、内側に導体柱を通しかつ前記第２ホルダから離
れた電極部材内を通っているとともに、内周面が前記導
体柱の外周面に接触し、前記導体柱の外周面を内方向に
押す弾性復元力を生じていることを特徴としている。

【００３２】請求項６に記載の本発明の導電率計の電極
は、請求項５に記載の導電率計の電極において、前記接
続手段は、外方向に突出しかつ前記第２ホルダから離れ
た電極部材が重なるフランジを備えていることを特徴と
している。

【００３３】請求項７に記載の本発明の導電率計の電極
は、請求項２または請求項３に記載の導電率計の電極に
おいて、前記第２接続手段は、円管状に形成されかつ内
側に前記ホルダの基端部を通すとともに前記第２ホルダ
寄りの電極部材の内側を通る導電性の導電パイプと、円
環状に形成されかつ前記空間内に収容されているととも
に前記第２電線と電気的に接続した導電性の環状部材
と、を備え、前記導電パイプは、前記第２ホルダ寄りの
電極部材と接触し、前記環状部材は、内側に前記導電パ
イプを通すとともに、内縁が前記導電パイプに接触して
いることを特徴としている。

【００３４】請求項８に記載の本発明の導電率計の電極
は、請求項２または請求項３に記載の導電率計の電極に
おいて、前記第２接続手段は、円管状に形成されかつ内
側に前記ホルダの基端部を通すとともに前記第２ホルダ
寄りの電極部材の内側を通る導電性の導電パイプと、円
環状に形成されかつ前記空間内に収容された導電性の環
状部材と、前記第２電線と電気的に接続しかつ前記空間
内に収容された導電性の挿入部材と、を備え、前記導電
パイプは、前記第２ホルダ寄りの電極部材と接触し、前
記挿入部材は内側に前記ホルダの基端部と前記導電パイ
プとを通した円環状の環状部を有し、前記環状部材は、
前記環状部に重なりかつ内側に前記導電パイプを通すと
ともに、内縁が前記導電パイプに接触していることを特
徴としている。

【００３５】請求項９に記載の本発明の導電率計の電極
は、請求項２または請求項３に記載の導電率計の電極に
おいて、前記第２接続手段は、円管状に形成されかつ内
側に前記ホルダの基端部を通すとともに前記第２ホルダ
寄りの電極部材の内側を通る導電性の導電パイプと、前
記第２電線と電気的に接続しかつ前記空間内に収容され
た導電性の挿入部材と、を備え、前記導電パイプは、前
記第２ホルダ寄りの電極部材と接触し、前記挿入部材
は、内側に前記ホルダの基端部と前記導電パイプとを通
した円環状の環状部を有しているとともに、前記環状部
の内縁が前記導電パイプに接触していることを特徴とし
ている。

【００３６】請求項１０に記載の本発明の導電率計の電
極は、請求項７または請求項８に記載の導電率計の電極
において、前記環状部材は、内縁部に前記導電パイプの
外周面に係止する係止爪を備えていることを特徴として
いる。

【００３７】請求項１１に記載の本発明の導電率計の電
極は、請求項７または請求項８に記載の導電率計の電極
において、前記環状部材は、内径が伸縮する方向に弾性
変形自在であるとともに、前記導電パイプを内方向に押
す弾性復元力を生じていることを特徴としている。

【００３８】請求項１２に記載の本発明の導電率計の電
極は、請求項７ないし請求項１１のうちいずれか一項に
記載の導電率計の電極において、前記導電パイプは、内
外径が伸縮する方向に弾性変形自在であるとともに、前
記第２ホルダ寄りの電極部材の内周面を外方向に押す弾
性復元力を生じていることを特徴としている。

【００３９】請求項１３に記載の本発明の導電率計の電
極は、請求項７ないし請求項１２のうちいずれか一項に
記載の導電率計の電極において、前記導電パイプは、外
方向に突出しかつ前記第２ホルダ寄りの電極部材が重な
る第２フランジを備えていることを特徴としている。

【００４０】請求項１４に記載の本発明の導電率計の電
極は、請求項１ないし請求項１３のうちいずれか一項に
記載の導電率計の電極において、筒状に形成され、かつ
内側に前記複数の電極部材と前記ホルダとを収容して前
記第２ホルダに取り付けられる電極カバーを備え、前記
電極カバーが、前記第２ホルダに着脱自在であることを
特徴としている。

【００４１】請求項１に記載した本発明の導電率計の電
極によれば、接続手段が、基端部が第２ホルダの空間内
に位置した導体柱と、第２ホルダから離れた電極部材
と、を電気的に接続する。前記導体柱には、第１電線が
接続している。このため、前記第１電線を通して、前記
第２ホルダから離れた電極部材の電解質液の導電率に応
じた情報を確実に得ることができる。

【００４２】なお、本明細書でいうガラス状カーボン
は、本明細書の発明の実施の形態や実用新案登録第２５
２８０２５号公報に示されているように、樹脂などを熱
分解して炭素化して得られる。前記ガラス状カーボン
は、化学的に極端に不活性であって、ガラスと同等の硬
度並びに金属と同程度の電気抵抗値を有する。

【００４３】請求項２に記載した本発明の導電率計の電
極によれば、第２接続手段が、第２ホルダ寄りの電極部
材と、第２ホルダの空間内に収容された第２電線と、を
電気的に接続する。このため、第２電線を通して、前記
第２ホルダ寄りの電極部材の電解質液の導電率に応じた
情報を確実に得ることができる。

【００４４】請求項３に記載した本発明の導電率計の電
極によれば、接続手段が、基端部が第２ホルダの空間内
に位置した導体柱と、第２ホルダから離れた電極部材
と、を電気的に接続する。前記導体柱には、第１電線が
接続している。第２接続手段が、第２ホルダ寄りの電極
部材と、第２ホルダの空間内に収容された第２電線と、
を電気的に接続する。

【００４５】このため、前記第１電線を通して前記第２
ホルダから離れた電極部材の電解質液の導電率に応じた
情報を確実に得ることができる。また、第２電線を通し
て前記第２ホルダ寄りの電極部材の電解質液の導電率に
応じた情報を確実に得ることができる。

【００４６】請求項４に記載した本発明の導電率計の電
極によれば、接続手段は、内径と外径とのうち少なくと
も一方が伸縮自在である。接続手段は、導体柱の外周面
と第２ホルダから離れた電極部材の内周面とを離す弾性
復元力を生じる。このため、接続手段の内縁が導体柱に
より確実に接触し、接続手段の外縁が前記第２ホルダか
ら離れた電極部材の内周面により確実に接触する。した
がって、接続手段は、導体柱と、第２ホルダから離れた
電極部材と、をより確実に電気的に接続できる。

【００４７】請求項５に記載した本発明の導電率計の電
極によれば、接続手段は、内外径が伸縮自在である。接
続手段は、導体柱の外周面を内方向に押す弾性復元力を
生じる。このため、接続手段は、導体柱の外周面により
確実に接触する。したがって、接続手段は、導体柱と、
第２ホルダから離れた電極部材と、をより確実に電気的
に接続できる。

【００４８】請求項６に記載した本発明の導電率計の電
極によれば、接続手段が、外方向に突出しかつ第２ホル
ダから離れた電極部材が重なるフランジを備えている。
このため、接続手段は、前記第２ホルダから離れた電極
部材とより一層確実に接触する。したがって、接続手段
は、導体柱と、第２ホルダから離れた電極部材と、をよ
り一層確実に電気的に接続できる。

【００４９】請求項７に記載した本発明の導電率計の電
極によれば、第２接続手段は、円管状の導電パイプと、
第２電線と接続しかつ円環状の環状部材と、を備えてい
る。導電パイプは、第２ホルダ寄りの電極部材の内側を
通りかつ該第２ホルダ寄りの電極部材と接触している。
環状部材は、内側に導電パイプを通しかつ該導電パイプ
と接触している。このため、第２ホルダ寄りの電極部材
と導電パイプと環状部材とは、確実に電気的に接続す
る。

【００５０】請求項８に記載した本発明の導電率計の電
極によれば、第２接続手段は、円管状の導電パイプと、
円環状の環状部材と、第２電線と接続した挿入部材と、
を備えている。導電パイプは、第２ホルダ寄りの電極部
材の内側を通りかつ該第２ホルダ寄りの電極部材と接触
している。挿入部材は、円環状の環状部を備えている。
該環状部は、内側に導電パイプを通している。環状部材
は、内側に導電パイプを通しかつ前記環状部に重なって
いるとともに、該導電パイプと接触している。このた
め、第２ホルダ寄りの電極部材と導電パイプと環状部材
と挿入部材とは、確実に電気的に接続する。

【００５１】請求項９に記載した本発明の導電率計の電
極によれば、第２接続手段は、円管状の導電パイプと、
第２電線と接続した挿入部材と、を備えている。導電パ
イプは、第２ホルダ寄りの電極部材の内側を通りかつ該
第２ホルダ寄りの電極部材と接触している。挿入部材
は、円環状の環状部を備えている。該環状部は、内側に
導電パイプを通しかつ該導電パイプと接触している。こ
のため、第２ホルダ寄りの電極部材と導電パイプと挿入
部材とは、確実に電気的に接続する。

【００５２】請求項１０に記載した本発明の導電率計の
電極によれば、環状部材が、導電パイプの外周面に係止
する。このため、環状部材は、導電パイプとより確実に
電気的に接続する。

【００５３】請求項１１に記載した本発明の導電率計の
電極によれば、環状部材が、導電パイプを内方向に押す
弾性復元力を生じて、内側に導電パイプを通している。
このため、環状部材は、導電パイプとより確実に電気的
に接続する。

【００５４】請求項１２に記載した本発明の導電率計の
電極によれば、導電パイプが、第２ホルダ寄りの電極部
材を外方向に押す弾性復元力を生じて、第２ホルダ寄り
の電極部材の内側を通っている。このため、導電パイプ
は、第２ホルダ寄りの電極部材とより確実に電気的に接
続する。

【００５５】請求項１３に記載した本発明の導電率計の
電極によれば、導電パイプのフランジに第２ホルダ寄り
の電極部材が重なる。また、第２ホルダ寄りの電極部材
は、ホルダと第２ホルダとの間に配置固定される。この
ため、第２ホルダ寄りの電極部材は、導電パイプとより
確実に電気的に接続する。

【００５６】請求項１４に記載した本発明の導電率計の
電極によれば、電極カバーが、第２ホルダに着脱自在で
あるので、電極カバーを取り外すことにより、容易に電
極部材とホルダなどを清掃できる。

【００５７】

【発明の実施の形態】本発明の第１の実施形態を図１な
いし図７を参照して説明する。図１などに示す本発明の
第１の実施形態にかかる導電率計の電極１は、半導体の
各種の製造工程で用いられる製造装置、産業機械、農
業、食品、医療関係などの各分野における電解質液とし
ての各種の薬液の濃度管理などに用いられる。前記電極
１を用いた導電率計は、計測対象物としての前述した電
解質液の濃度を測定するために、前記電解質液の導電率
を測定する装置である。前記電極１は、例えば、半導体
の製造装置には、電解質液としてのフッ酸の導電率を測
定するために用いられる。

【００５８】導電率計の電極１は、図１などに示すよう
に、測定部２と、支持部４と、電解質液の温度に応じた
情報を取り出す温度検出部５と、を備えている。測定部
２は、導体柱としての感温筒３と、絶縁性のホルダ８
と、導電パイプ１４と、第１電極部材９ａと、第２電極
部材９ｂと、を備えている。

【００５９】感温筒３は、導電性を有する金属などから
なり、有底筒状に形成されている。感温筒３は、円板状
の円板部３ａと、該円板部３ａから立設した円筒状の筒
部３ｂと、を一体に備えている。円板部３ａと筒部３ｂ
とは、互いに同軸的でかつ直列に連結している。円板部
３ａの外径は、筒部３ｂの外径より大きく形成されてい
る。このため、円板部３ａの外縁部３ｃは、図１及び図
２に示すように、筒部３ｂの外周面より外方向に突出し
ている。筒部３ｂの外周面より突出した外縁部３ｃに
は、外表面にシール体１３が貼り付けられている。

【００６０】シール体１３は、殆ど弾性変形しない低エ
ラストマ（Elastomer）性でかつ前述した電解質液に対
し耐食性の合成樹脂からなる。シール体１３は、後述す
るように、コイルばね１７によって測定部２が基端側に
付勢された際の弾性変形量が、問題とならない程小さ
い。また、シール体１３は、エラストマ性を殆ど有して
いない高プラストマ（Plastomer）性の合成樹脂である
のが望ましい。この場合、前述した弾性変形量が、より
非常に小さい。図示例では、シール体１３は、周知のフ
ッ素樹脂からなる。

【００６１】感温筒３は、前記円板部３ａが導電率計の
電極１の測定部２の先端側に位置しかつ筒部３ｂが基端
側に位置した状態でホルダ８内に嵌合する。即ち、感温
筒３はホルダ８内に挿入される。このため、筒部３ｂ内
には、感温筒３の基端部３ｄ側に位置する端面３ｅと前
記感温筒３の先端部３ｆとに亘って、孔３ｇが形成され
ている。感温筒３は、例えばニッケルとクロムとモリブ
デンとを多く含んだ耐食合金から形成されるのが望まし
い。

【００６２】ホルダ８は、殆ど弾性変形しない低エラス
トマ（Elastomer）性であるとともに前述した電解質液
中で非溶出性の合成樹脂からなる。ホルダ８は、内径
が、前記感温筒３の外径と略等しい円管状に形成されて
いる。

【００６３】ホルダ８は、外径が比較的小さい第１小径
部８ａと第２小径部８ｂと、外径が比較的大きい大径部
８ｃと、を備えている。大径部８ｃは、外径が、小径部
８ａ，８ｂの外径より大きい。

【００６４】ホルダ８は、小径部８ａ，８ｂを軸芯方向
の端部に位置させかつ大径部８ｃを軸芯方向の中央に位
置させている。ホルダ８は、小径部８ａ，８ｂと大径部
８ｃとを互いに同軸的でかつ直列に連結している。ま
た、ホルダ８は、第１小径部８ａが測定部２の先端側に
位置し、第２小径部８ｂが測定部の基端側に位置してい
る。

【００６５】第１小径部８ａは、第１電極部材９ａの厚
みより軸芯方向に沿った長さが短く、第２小径部８ｂ
は、第２電極部材９ｂの厚みより軸芯方向に沿った長さ
が長く形成されている。第１小径部８ａは、外周に第１
電極部材９ａが嵌合する。こうして、第１小径部８ａは
第１電極部材９ａの内側を通る。第２小径部８ｂは、外
周に導電パイプ１４が嵌合する。該導電パイプ１４の外
周に第２電極部材９ｂが嵌合する。こうして、第２小径
部８ｂは、第２電極部材９ｂの内側を通る。ホルダ８
は、電極部材９ａ，９ｂの内側を通って、これらの電極
部材９ａ，９ｂを同軸的に支持する。

【００６６】また、ホルダ８の第１小径部８ａと大径部
８ｃとの間の段差面８ｄと、ホルダ８の第２小径部８ｂ
と大径部８ｃとの間の段差面８ｅと、はシール面をなし
ている。ホルダ８は、後述するように、コイルばね１７
によって測定部２が基端側に付勢された際の弾性変形量
が、問題とならない程小さい。

【００６７】また、ホルダ８は、エラストマ性を殆ど有
していない高プラストマ（Plastomer）性の合成樹脂で
あるのが望ましい。この場合、前述した弾性変形量が、
より非常に小さい。図示例では、ホルダ８は、周知のフ
ッ素樹脂からなる。

【００６８】導電パイプ１４は、導電性を有する金属か
らなり、円管状に形成されている。導電パイプ１４は、
内径が第２小径部８ｂの外径と略等しい。導電パイプ１
４は、外径が第１小径部８ａの外径と略等しい。導電パ
イプ１４は、外径が第２電極部材９ｂの内径より若干大
きい。また、導電パイプ１４は、外周面から外方向に突
出した鍔１４ａを一体に備えている。

【００６９】電極部材９ａ，９ｂは、それぞれ、ガラス
状カーボンからなる中実材である。電極部材９ａ，９ｂ
は、それぞれ円環状に形成されている。電極部材９ａ，
９ｂは、内径が、第１小径部８ａと導電パイプ１４との
双方の外径と略等しい。前記第１電極部材９ａは、本明
細書に記した後述する測定部ホルダ１１から離れた電極
部材をなしている。第２電極部材９ｂは、本明細書に記
した測定部ホルダ１１寄りの電極部材をなしている。

【００７０】なお、これらの電極部材９ａ，９ｂを構成
するガラス状カーボンは、実用新案登録第２５２８０２
５号公報に示されているように、セルロースや樹脂など
を熱分解して炭素化することにより得られる。ガラス状
カーボンは、高密度でありかつ気孔率が非常に小さく、
化学的に極端に不活性であって、しかもガラスと同等の
硬度並びに金属と同程度の電気抵抗値を有する。

【００７１】前述した構成の測定部２は、以下のように
組み立てられる。図５に示すように、まず、導電パイプ
１４の外周に第２電極部材９ｂを嵌合させ、該導電パイ
プ１４を第２小径部８ｂの外周に嵌合させる。即ち、第
２電極部材９ｂの内側に導電パイプ１４を通し、導電パ
イプ１４の内側にホルダ８を通す。第１小径部８ａの外
周に第１電極部材９ａを嵌合させる。このとき、第２電
極部材９ｂは、ホルダ８などの軸芯方向に沿って、前記
鍔１４ａと段差面８ｅとの間に位置している。導電パイ
プ１４の外周面は、第２電極部材９ｂの内周面に接触す
る。

【００７２】その後、第１電極部材９ａが、外縁部３ｃ
に形成されたシール体１３と接触するように、感温筒３
の外周にホルダ８を嵌合させる。このとき、前記感温筒
３とホルダ８と導電パイプ１４と各電極部材９ａ，９ｂ
とは、互いに同軸的に配される。ホルダ８は、電極部材
９ａ，９ｂを先端部８ｇ（図１に示す）から基端部８ｆ
に向かって並べて支持する。測定部２は、このように組
み立てられて、前記感温筒３とホルダ８の基端部３ｄ，
８ｆが支持部４の測定部ホルダ１１に支持される。

【００７３】第１電極部材９ａが第１小径部８ａに嵌合
して段差面８ｄに接触し、第２電極部材９ｂが導電パイ
プ１４に嵌合して段差面８ｅに接触することによって、
電極部材９ａ，９ｂは、感温筒３とホルダ８との軸芯方
向に沿った間隔が所定間隔ｔ（図１に示す）に保たれ
る。

【００７４】また、前述した測定部２は、接続手段とし
ての導電スプリング１５を備えている。導電スプリング
１５は、図２及び図６に示すように、内側に感温筒３の
筒部３ｂを通し、かつ第１電極部材９ａ内を通っている
とともに、前記第１小径部８ａと外縁部３ｃとの間に配
される。導電スプリング１５は、導電性を有する金属か
らなり、円環状に形成されている。

【００７５】導電スプリング１５は、図６などに示すよ
うに、断面がＶ字状に形成されている。導電スプリング
１５は、外縁部に切欠１５ａ（図６に示す）を複数形成
している。切欠１５ａは、外縁から内方向に向かって、
導電スプリング１５を切り欠いている。切欠１５ａは、
導電スプリング１５の周方向に沿って等間隔に配されて
いる。導電スプリング１５は、切欠１５ａを前記外縁部
と同様に内縁部に設けても良く、前記切欠１５ａを内外
縁部双方に設けることもできる。

【００７６】導電スプリング１５は、内径と外径との双
方が伸縮する方向に、弾性変形自在となっている。導電
スプリング１５を構成する金属として、例えばニッケル
とクロムとモリブデンとを多く含んだ耐食合金や、ＳＵ
Ｓ３１６Ｌ鋼や、ＳＵＳ３０４鋼及び銅、銅合金などを
用いることができる。

【００７７】導電スプリング１５は、前記感温筒３と第
１電極部材９ａなどと同軸的に配される。導電スプリン
グ１５は、内側に感温筒３の筒部３ｂを通し、第１電極
部材９ａの内側に配されると、筒部３ｂの外周面と第１
電極部材９ａの内周面とを互いに離す方向に弾性復元力
を生じる。そして、導電スプリング１５は、内縁が前記
筒部３ｂの外周面に接触し、かつ外縁が第１電極部材９
ａの内周面に接触する。こうして、導電スプリング１５
は、第１電極部材９ａと感温筒３とを電気的に接続す
る。

【００７８】前記支持部４は、測定部２の基端部即ち、
感温筒３とホルダ８の基端部３ｄ，８ｆを支持してい
る。支持部４は、図１に示すように、第２ホルダとして
の絶縁性の測定部ホルダ１１と、基端キャップ１２など
を備えている。

【００７９】測定部ホルダ１１は、殆ど弾性変形しない
低エラストマ（Elastomer）性であり、かつ前述した電
解質液に対し耐食性の合成樹脂からなる。測定部ホルダ
１１は、円板状の底部１１ａと、該底部１１ａの外縁に
連なる円筒状の筒部１１ｂと、を一体に備えて有底筒状
に形成されている。

【００８０】底部１１ａは、外径が電極部材９ａ，９ｂ
の外径より大きく形成されている。底部１１ａの両表面
は、平坦に形成されている。底部１１ａは、図１及び図
３に示すように、中央に孔１１ｃを設けている。孔１１
ｃは、平面形状が円形に形成されかつ内径が導電パイプ
１４の外径と略等しく形成されている。筒部１１ｂは、
内径が電極部材９ａ，９ｂの外径より大きい円筒状に形
成されている。筒部１１ｂは、内径が軸芯方向に沿って
一定に形成されている。

【００８１】測定部ホルダ１１は、底部１１ａの孔１１
ｃ内に導電パイプ１４を通して、測定部２の基端部を支
持する。測定部２の基端部を支持した際に、第２電極部
材９ｂと接触する測定部ホルダ１１の底部１１ａの表面
１１ｄは、第２シール面と規制手段をなしている。

【００８２】測定部ホルダ１１は、後述するように、コ
イルばね１７によって測定部２が基端側に付勢された際
の弾性変形量が、問題とならない程小さい。また、測定
部ホルダ１１は、エラストマ性を殆ど有していない高プ
ラストマ（Plastomer）性の合成樹脂であるのが望まし
い。この場合、前述した弾性変形量が、より非常に小さ
い。図示例では、測定部ホルダ１１は、周知のフッ素樹
脂からなる。

【００８３】基端キャップ１２は、内側に温度検出部５
の後述する電線束３０を通す丸孔を備えている。基端キ
ャップ１２などの内側には、図示しないＯリングが設け
られている。Ｏリングは、内側に電線束３０を通して、
前記測定部ホルダ１１の内側即ち基端キャップ１２の内
側に配される。前記基端キャップ１２とＯリングは、前
記電線束３０と測定部ホルダ１１の内周面と、の間を液
密に保ち、後述する空間１６内に電解質液が侵入するこ
とを防止する。

【００８４】また、前記支持部４は、測定部ホルダ１１
の底部１１ａの表面と、筒部１１ｂの内周面等で囲まれ
た空間１６を、内部に形成している。この空間１６に
は、前記孔３ｇが開口している。

【００８５】また、支持部４は、挿入部材としての導電
ホルダ１８と、環状部材としての導電止め輪１９と、絶
縁ワッシャ２０と、第１の止め輪２１と、付勢手段とし
てのコイルばね１７と、を備えている。これらの導電ホ
ルダ１８と、導電止め輪１９と、絶縁ワッシャ２０と、
第１の止め輪２１と、コイルばね１７とは、図１、図３
及び図４に示すように、前記空間１６内に収容されてい
る。

【００８６】導電ホルダ１８は、導電性を有する金属か
らなり、円環状の環状部１８ａと円筒状の筒部１８ｂと
を一体に備えている。環状部１８ａと筒部１８ｂとは、
外径が、測定部ホルダ１１の内径と略等しい。筒部１８
ｂは、環状部１８ａの外縁に連なっている。環状部１８
ａと筒部１８ｂとは、互いに同軸的に連結している。

【００８７】導電ホルダ１８は、環状部１８ａの中央に
孔１８ｃを設けている。孔１８ｃは、平面形状が円形に
形成されており、内径が導電パイプ１４の外径と略等し
い。導電ホルダ１８は、環状部１８ａが測定部ホルダ１
１の底部１１ａに重なり、かつ筒部１８ｂが測定部ホル
ダ１１の筒部１１ｂ内に嵌合した状態で、空間１６内に
収容される。

【００８８】このとき、前記孔１８ｃ内に導電パイプ１
４とホルダ８の基端部８ｆと感温筒３の基端部３ｄとを
通して、測定部２の基端部を支持する。即ち、空間１６
内に、感温筒３とホルダ８の基端部３ｄ，８ｆが位置し
ている。そして、環状部１８ａの内縁が導電パイプ１４
の外周面に接触する。

【００８９】導電止め輪１９は、ステンレス鋼などの導
電性を有する周知の鋼などからなる。導電止め輪１９
は、図７に示すように、円環状の環状部１９ｂと、複数
の係止爪１９ａと、を備えている。環状部１９ｂは、外
径が、導電ホルダ１８の筒部１８ｂの内径と略等しく形
成されている。

【００９０】係止爪１９ａは、環状部１９ｂの内縁に連
なっている。即ち、係止爪１９ａは、導電止め輪１９の
内縁部に設けられている。複数の係止爪１９ａは、環状
部１９ｂの周方向に沿って等間隔に設けられている。複
数の係止爪１９ａのうち互いに相対する係止爪１９ａ相
互間の間隔は、導電パイプ１４の外径より若干小さく形
成されている。

【００９１】係止爪１９ａは、前記環状部１９ｂから離
れた先端間の間隔が伸縮自在に前記環状部１９ｂに支持
されている。即ち、導電止め輪１９は、内径が伸縮する
方向に弾性変形自在である。係止爪１９ａは、前記環状
部１９ｂから離れた先端が導電パイプ１４の外周面に係
止する。即ち、導電止め輪１９の内縁は導電パイプ１４
の外周面に接触することとなる。

【００９２】導電止め輪１９は、環状部１９ｂの内側に
導電パイプ１４を通して導電ホルダ１８の環状部１８ａ
に重ねられ、かつ前記係止爪１９ａが該導電パイプ１４
に係止して、前記空間１６内に収容される。導電止め輪
１９は、係止爪１９ａが導電パイプ１４の外周に係止
し、導電パイプ１４を内方向に押す弾性復元力を生じて
いる。

【００９３】なお、前述した導電パイプ１４と導電止め
輪１９と導電ホルダ１８とは、本明細書に記した第２接
続手段を構成している。

【００９４】絶縁ワッシャ２０は、絶縁性を有する合成
樹脂からなり、かつ円環状に形成されている。絶縁ワッ
シャ２０は、図１及び図４などに示すように、内径が感
温筒３の筒部３ｂの外径より若干大きく、外径が導電ホ
ルダ１８の筒部１８ｂの内径と略等しく形成されてい
る。絶縁ワッシャ２０は、内側に感温筒３の筒部３ｂを
通しかつ前記環状部１８ａと間隔を存して前記筒部１８
ｂ内即ち空間１６内に収容される。

【００９５】第１の止め輪２１は、ステンレス鋼などの
周知の鋼などからなり円環状に形成されている。第１の
止め輪２１は、外径が導電ホルダ１８の筒部１８ｂの内
径より小さく形成されている。第１の止め輪２１は、内
縁が、感温筒３の筒部３ｂの外周に係止する。第１の止
め輪２１は、図１及び図４などに示すように、絶縁ワッ
シャ２０に重ねられかつ内側に感温筒３の筒部３ｂを通
した格好で、内縁が筒部３ｂの外周に係止する。

【００９６】第１の止め輪２１は、絶縁ワッシャ２０に
重なりかつ内縁が前記筒部３ｂの外周に係止して、前記
筒部１８ｂ内即ち空間１６内に収容される。第１の止め
輪２１は、内縁が感温筒３の筒部３ｂの外周に係止する
ことによって、前記絶縁ワッシャ２０が筒部３ｂの基端
部３ｄ側から抜け出ることを防止する。

【００９７】コイルばね１７は、前述したハステロイＣ
−２２などの耐食合金や、ＳＵＳ３１６Ｌ鋼や、ＳＵＳ
３０４鋼などの金属からなる。コイルばね１７は、内径
が導電パイプ１４の外径より大きく、外径が導電ホルダ
１８の筒部１８ｂの内径より小さく形成されている。コ
イルばね１７は、前記導電止め輪１９と絶縁ワッシャ２
０との間で、かつ内側に導電パイプ１４を通した状態
で、前記筒部１８ｂ内即ち空間１６内に収容される。

【００９８】コイルばね１７は、前記導電止め輪１９と
絶縁ワッシャ２０との間に位置し、前記空間１６内に収
容されると、互いに離れる方向に、前記導電止め輪１９
と絶縁ワッシャ２０を付勢する。すると、第１の止め輪
２１によって絶縁ワッシャ２０が筒部３ｂの基端部３ｄ
側から抜け出ることが防止されているので、コイルばね
１７は、感温筒３を基端部３ｄに向かって付勢する。さ
らに、コイルばね１７は、導電止め輪１９を環状部１８
ａに向かって付勢する。

【００９９】そして、感温筒３の円板部３ａの外縁部３
ｃによって、第１電極部材９ａとホルダ８と第２電極部
材９ｂが、基端部３ｄ側に付勢される。こうして、コイ
ルばね１７は、感温筒３とホルダ８とを基端部３ｄに向
かって付勢する。すると、底部１１ａの表面１１ｄが第
２電極部材９ｂと接触して、感温筒３及びホルダ８が基
端部３ｄに向かって変位することが規制される。

【０１００】シール体１３と第１電極部材９ａとは隙間
無く密接し、第１電極部材９ａと段差面８ｄとが隙間無
く密接し、第２電極部材９ｂと段差面８ｅとが隙間無く
密接し、第２電極部材９ｂと測定部ホルダ１１の底部１
１ａとが隙間無く密接する。

【０１０１】前記シール体１３とホルダ８と測定部ホル
ダ１１とが、低エラストマ性の合成樹脂からなるので、
前記シール体１３とホルダ８と測定部ホルダ１１とが若
干弾性変形する。

【０１０２】そして、前記シール体１３と第１電極部材
９ａとの間と、第１電極部材９ａと段差面８ｄとの間
と、第２電極部材９ｂと段差面８ｅとの間と、第２電極
部材９ｂと測定部ホルダ１１の底部１１ａとの間と、が
それぞれ液密に保たれる。こうして、感温筒３と第１電
極部材９ａとの間が液密に保たれ、各電極部材９ａ，９
ｂとホルダ８との間が液密に保たれ、第２電極部材９ｂ
と支持部４との間が液密に保たれる。

【０１０３】前記温度検出部５は、図１などに示すよう
に、温度補償用の温度センサ素子２２と、印刷配線板２
４と、円管ばね部材２５と、第２の止め輪２６と、前記
第１電極部材９ａと電気的に接続する第１電極ケーブル
２７と、前記第２電極部材９ｂと電気的に接続する第２
電極ケーブル２８と、複数のケーブル２９と、を備えて
いる。

【０１０４】温度検出部５は、前記温度センサ素子２２
と、印刷配線板２４とが、感温筒３の先端部３ｆから基
端部３ｄに向かって順に位置した状態で、前記孔３ｇ内
に配されている。

【０１０５】温度センサ素子２２は、前記孔３ｇ内でか
つ前記感温筒３の先端部３ｆに配されている。温度セン
サ素子２２は、ディスク形、ペレット形、ビード形ある
いはそれに類似した面部を有する形状のサーミスタや巻
線、薄膜技術などにより形成された金属測温抵抗体など
により構成されている。温度センサ素子２２は、印刷配
線板２４に電気的に接続している。

【０１０６】印刷配線板２４は、温度センサ素子２２と
各ケーブル２７，２８，２９と円管ばね部材２５とを、
予め定められるパターンにしたがって、電気的に接続す
る。印刷配線板２４の基端部には、第１電極ケーブル２
７と第２電極ケーブル２８とケーブル２９とが接続され
る。

【０１０７】円管ばね部材２５は、内外径が伸縮する方
向に、弾性変形自在となっている。円管ばね部材２５
は、内側に印刷配線板２４を通した格好で、前記孔３ｇ
内に挿入される。すると、円管ばね部材２５は、弾性復
元力によって、孔３ｇの内面に接触するとともに、印刷
配線板２４の配線パターンなどと接触する。

【０１０８】第２の止め輪２６は、導電性を有する鋼な
どからなりかつ円環状に形成されている。第２の止め輪
２６は、内側に温度検出部５の電線束３０を通し、かつ
外縁が前記導電ホルダ１８の筒部１８ｂの内周面に係止
して、前記空間１６内に収容されている。

【０１０９】第１電極ケーブル２７は、一端が印刷配線
板２４に固定されている。こうして、第１電極ケーブル
２７は、印刷配線板２４の配線パターンと、円管ばね部
材２５と、感温筒３と、導電スプリング１５を介して、
第１電極部材９ａと電気的に接続する。第１電極ケーブ
ル２７は、前記ケーブル２９とともに電線束３０として
基端キャップ１２まで導かれ、前記丸孔を通って外部に
導かれる。第１電極ケーブル２７は、前述した図示しな
い演算装置などに電気的に接続している。

【０１１０】第２電極ケーブル２８は、一端が印刷配線
板２４に固定され、かつ他端が第２の止め輪２６に固定
されている。第２電極ケーブル２８は、第２の止め輪２
６と導電ホルダ１８と導電止め輪１９と導電パイプ１４
を介して、第２電極部材９ｂと印刷配線板２４の配線パ
ターンとを電気的に接続する。

【０１１１】複数のケーブル２９は、それぞれ、一端
が、印刷配線板２４に固定されている。複数のケーブル
２９のうち一つのケーブル２９は、印刷配線板２４の配
線パターンを介して、第２電極ケーブル２８と電気的に
接続する。他のケーブル２９は、印刷配線板２４の配線
パターンを介して、温度センサ素子２２と電気的に接続
する。

【０１１２】ケーブル２９は、前記第１電極ケーブル２
７とともに電線束３０として基端キャップ１２まで導か
れ、前記丸孔内を通って外部に導かれる。ケーブル２９
は、前述した図示しない演算装置などに電気的に接続し
ている。

【０１１３】こうして、前記演算装置は、前記第１電極
ケーブル２７などを介して第１電極部材９ａと電気的に
接続し、ケーブル２９と第２電極ケーブル２８などを介
して第２電極部材９ｂと電気的に接続し、ケーブル２９
などを介して温度センサ素子２２と電気的に接続する。
なお、前記第１電極ケーブル２７は、本明細書に記した
第１電線をなしており、前記第２電極ケーブル２８は、
本明細書に記した第２電線をなしている。

【０１１４】また、導電率計の電極１は、電極カバー１
０を備えている。電極カバー１０は、内径が電極部材９
ａ，９ｂの外径より大きい円管状に形成されている。電
極カバー１０は、内側に前述した構成の測定部２を収容
して、支持部４の測定部ホルダ１１に取り付けられる。

【０１１５】電極カバー１０は、測定部２の感温筒３と
ホルダ８と各電極部材９ａ，９ｂなどと同軸的な状態
で、前記支持部４の測定部ホルダ１１に取り付けられ
る。電極カバー１０は、ねじや、互いに嵌合する溝と突
起などによって、前記測定部ホルダ１１に着脱自在とな
っている。

【０１１６】前述した構成によれば、導電率計の電極１
は、前記測定部２の少なくとも先端部を、計測対象の電
解質液の流路中に配置して、前記電極部材９ａ，９ｂを
該計測対象の電解質液の流路中に配置する。なお、これ
らの電極部材９ａ，９ｂは、互いに所定間隔ｔ離れて電
解質液中に配置される。

【０１１７】導電率計の電極１は、前記電極部材９ａ，
９ｂ間に例えば交流電圧を印加して、各ケーブル２７，
２８，２９などを介して前記演算装置などに伝えられる
前記電解質液内を流れる電流に基いて、前記電解質液の
導電率を測定する。

【０１１８】このとき、前記温度センサ素子２２から前
記ケーブル２９などを介して前記電解質液の温度に応じ
た情報が、前記演算装置に伝えられる。そして、この演
算装置などが電解質液の温度の補償を行い、この電解質
液のあらかじめ定められた温度における導電率を算出す
る。

【０１１９】本実施形態の導電率計の電極１によれば、
電極部材９ａ，９ｂが、金属と同程度の電気抵抗値を有
しかつ化学的に極端に不活性なガラス状カーボンからな
るため、該電極部材９ａ，９ｂを直接腐食性の電解質液
中に露出できる。したがって、腐食性の電解質液の導電
率を、感度を低下させることなく確実に測定できる。

【０１２０】導電スプリング１５が、内径と外径との双
方が伸縮自在となっており、内側に感温筒３を通し、第
１電極部材９ａの内側を通っている。導電スプリング１
５が、感温筒３の外周面を内方向に押しかつ第１電極部
材９ａの内周面を外方向に押す弾性復元力を生じてい
る。

【０１２１】このため、導電スプリング１５が、第１電
極部材９ａと感温筒３との双方に確実に接触し、該第１
電極部材９ａと感温筒３とを確実に電気的に接続する。
感温筒３には、円管ばね部材２５と印刷配線板２４など
を介して第１電極ケーブル２７が電気的に接続してい
る。したがって、第１電極ケーブル２７が第１電極部材
９ａと確実に電気的に接続する。

【０１２２】導電パイプ１４が第２電極部材９ｂの内側
に嵌合し、導電パイプ１４の外周に導電止め輪１９の係
止爪１９ａが係止している。導電止め輪１９が導電ホル
ダ１８の環状部１８ａに重なり、導電ホルダ１８の筒部
１８ｂの内周に、第２電極ケーブル２８が接続した第２
の止め輪２６が係止している。

【０１２３】このため、第２電極部材９ｂは、導電パイ
プ１４と導電止め輪１９と導電ホルダ１８などを介し
て、第２電極ケーブル２８と電気的に接続する。したが
って、第２電極ケーブル２８が第２電極部材９ｂと確実
に電気的に接続する。

【０１２４】したがって、第１電極ケーブル２７と第２
電極ケーブル２８とを介して、第１電極部材９ａと第２
電極部材９ｂとの間に電圧を確実に印加でき、前記電極
部材９ａ，９ｂ間即ち電解質液内を流れる電流（電流
値）を確実に得ることができる。したがって、電極部材
９ａ，９ｂを介して、前記電解質液の導電率に応じた情
報を確実に得ることができる。

【０１２５】本実施形態の導電率計の電極１は、導電ス
プリング１５を、断面Ｖ字状の円環状に形成している。
しかしながら、本実施形態では、導電スプリング１５を
図８ないし図１１に示すように形成しても良い。図８
（Ａ）ないし（Ｃ）に示す導電スプリング１５は、段階
的または連続的に、内外径が変化する円環状に形成され
ている。

【０１２６】図８（Ａ）と図８（Ｃ）に示す導電スプリ
ング１５は、小径部３１と大径部３２とが互いに同軸的
に連結された格好に形成されている。図８（Ｂ）に示す
導電スプリング１５は、内外径が軸芯に沿って徐々に変
化する。図８（Ａ）ないし（Ｃ）に示す導電スプリング
１５は、大径側の縁部に、前記切欠１５ａが周方向に沿
って複数設けられている。

【０１２７】図８（Ａ）ないし（Ｃ）に示す導電スプリ
ング１５は、内側に感温筒３を通しかつ第１電極部材９
ａの内側に通される。導電スプリング１５は、小径側が
感温筒３の外周面に接触するとともに該外周面を内方向
に押し、かつ大径側が第１電極部材９ａの内周面に接触
するとともに該内周面を外方向に押す弾性復元力を生じ
る。

【０１２８】導電スプリング１５は、前記小径側の縁部
に、切欠を周方向に沿って複数設けても良い。該切欠
は、前記導電スプリング１５の小径側の外縁から内方向
に向かって、導電スプリング１５を切り欠いているのが
望ましい。

【０１２９】図９（Ａ）に示す導電スプリング１５は、
円環状に形成されかつ内外径が軸芯に沿って一定の環部
３３と、該環部３３の一方の縁に連なる第１爪３４と、
該環部３３の他方の縁に連なる第２爪３５と、を備えて
いる。第１爪３４と第２爪３５とは、環部３３の周方向
に沿って複数設けられている。

【０１３０】第１爪３４は、環部３３から離れるのにし
たがって、環部３３の内方向に徐々に傾斜している。第
２爪３５は、環部３３から離れるのにしたがって、環部
３３の外方向に徐々に傾斜している。図９（Ａ）に示す
導電スプリング１５は、第１爪３４が感温筒３の外周面
に係止し、第２爪３５が第１電極部材９ａの内周面に係
止する。

【０１３１】こうして、図９（Ａ）に示す導電スプリン
グ１５は、感温筒３の外周面に接触するとともに該外周
面を内方向に押し、かつ第１電極部材９ａの内周面に接
触するとともに該内周面を外方向に押す弾性復元力を生
じる。

【０１３２】また、図９（Ｂ）に示すように、導電スプ
リング１５は、環部３３が軸芯に沿って内外径が徐々に
変化する円環状に形成され、第１爪３４と第２爪３５と
の双方が環部３３の軸芯に沿って延在しても良い。な
お、図９（Ｂ）中に一点鎖線ＩＸＡで囲んだ部分は、図
９（Ａ）中に一点鎖線ＩＸＡで囲んだ部分に相当する。
図９（Ｂ）中に一点鎖線ＩＸＢで囲んだ部分は、図９
（Ａ）中に一点鎖線ＩＸＢで囲んだ部分に相当する。

【０１３３】この場合でも、導電スプリング１５は、第
１爪３４が感温筒３の外周面に係止し、第２爪３５が第
１電極部材９ａの内周面に係止する。そして、導電スプ
リング１５は、感温筒３の外周面に接触するとともに該
外周面を内方向に押し、かつ第１電極部材９ａの内周面
に接触するとともに該内周面を外方向に押す弾性復元力
を生じる。

【０１３４】図１０に示す導電スプリング１５は、軸芯
に沿って内外径が一定の円環状に形成されており、両縁
に、複数の切欠１５ａを設けて、第１爪３４と第２爪３
５とを形成している。図１０（Ａ）に示す例では、爪３
４，３５は、周方向に沿って多数設けられており、図１
０（Ｂ）に示す例では、爪３４，３５は、周方向に沿っ
て４箇所に設けられている。図１０に示す導電スプリン
グ１５は、爪３４，３５のうち一方が、導電スプリング
１５の内方向に曲げられ、爪３４，３５のうち他方が、
導電スプリング１５の外方向に曲げられるのが望まし
い。

【０１３５】図１０に示す導電スプリング１５において
も、爪３４，３５のうち一方が感温筒３の外周面に係止
し、爪３４，３５のうち他方が第１電極部材９ａの内周
面に係止する。そして、導電スプリング１５は、感温筒
３の外周面に接触するとともに該外周面を内方向に押
し、かつ第１電極部材９ａの内周面に接触するとともに
該内周面を外方向に押す弾性復元力を生じる。

【０１３６】図１１に示す導電スプリング１５は、円環
状に形成されかつ、内外径が徐々に変化するように、外
凸部３７と内凸部３８とが交互に配されて、周壁３６が
波状に形成されている。外凸部３７は、内凸部３８よ
り、周壁３６の外方に突出している。

【０１３７】図１１に示す導電スプリング１５は、内側
に感温筒３を通しかつ第１電極部材９ａの内側に配され
る。このとき、導電スプリング１５は、外凸部３７が第
１電極部材９ａの内周面に接触するとともに該内周面を
外方向に押し、かつ内凸部３８が感温筒３の外周面に接
触するとともに該外周面を内方向に押す弾性復元力を生
じる。また、図１１に示す導電スプリング１５は、図中
に点線で示すように、前記周壁３６の一部を該周壁３６
の両縁に亘って切り欠く切欠３９を設けても良い。

【０１３８】この切欠３９を設けることによって、導電
スプリング１５は、内外径がより確実に伸縮自在とな
る。導電スプリング１５は、切欠３９を設けることによ
って、第１電極部材９ａの内周面を外方向に押しかつ感
温筒３の外周面を内方向に押す弾性復元力をより確実に
生じる。そして、導電スプリング１５は、第１電極部材
９ａと感温筒３とをより確実に電気的に接続できる。

【０１３９】前述した図８ないし図１１に示す導電スプ
リング１５も、第１電極部材９ａの内周面と感温筒３の
外周面との双方に確実に接触し、第１電極部材９ａと感
温筒３とを確実に電気的に接続する。こうして、前述し
た図８ないし図１１に示す導電スプリング１５も、第１
電極部材９ａと第１電極ケーブル２７とを確実に電気的
に接続できる。

【０１４０】また、本実施形態の導電率計の電極１は、
導電止め輪１９を、環状部１９ｂと係止爪１９ａとから
形成している。しかしながら、本実施形態では、導電止
め輪１９を、図１２ないし図１４に示すように形成して
も良い。

【０１４１】図１２に示す導電止め輪１９は、円環状に
形成されかつ、内縁と外縁とに亘って導電止め輪１９の
母材を切り欠いた切欠４０を備えている。導電止め輪１
９の内径は、導電パイプ１４の外径より若干小さく形成
されている。図１２に示す導電止め輪１９は、前記切欠
４０の幅を伸縮自在に、内外径が伸縮する方向に弾性変
形自在となっている。

【０１４２】図１２に示す導電止め輪１９は、内側に導
電パイプ１４を通した格好で、導電ホルダ１８の環状部
１８ａに重ねられる。このとき、導電止め輪１９は、導
電パイプ１４の外周面に接触しかつ該外周面を内方向に
押す弾性復元力を生じる。このため、導電止め輪１９
は、内縁が導電パイプ１４の外周面に確実に接触する。

【０１４３】図１３に示す導電止め輪１９は、円環状の
円環部４１と、円筒状の円筒部４２と、内縁と外縁とに
亘って円環部４１と円筒部４２との双方を切り欠いた切
欠４３と、を備えている。円環部４１と円筒部４２の内
径は、導電パイプ１４の外径より若干小さく形成されて
いる。円環部４１と円筒部４２とは、互いに同軸的に連
結している。図１３に示す導電止め輪１９は、前記切欠
４３の幅を伸縮自在に、円環部４１と円筒部４２の内外
径が伸縮する方向に弾性変形自在となっている。

【０１４４】図１３に示す導電止め輪１９は、円環部４
１と円筒部４２の内側に導電パイプ１４を通した格好
で、円環部４１が導電ホルダ１８の環状部１８ａに重ね
られる。このとき、図１３に示す導電止め輪１９は、導
電パイプ１４の外周面に接触するとともに該外周面を内
方向に押す弾性復元力を生じる。このため、導電止め輪
１９は、円環部４１の内縁と円筒部４２の内周面との双
方が導電パイプ１４の外周面に確実に接触する。

【０１４５】図１４に示す導電止め輪１９は、円環状に
形成されている。導電止め輪１９の内径は、導電パイプ
１４の外径より若干小さく形成されている。図１４に示
す導電止め輪１９は、内側に導電パイプ１４を圧入した
格好で、導電ホルダ１８の環状部１８ａに重ねられる。
このとき、導電止め輪１９は、内縁が導電パイプ１４の
外周面に確実に接触する。

【０１４６】図１２ないし図１４に示す導電止め輪１９
は、内縁が導電パイプ１４の外周面に確実に接触し、前
記コイルばね１７の付勢力によって前記導電ホルダ１８
の環状部１８ａに確実に接触する。このため、導電止め
輪１９は、導電パイプ１４と導電ホルダ１８とを確実に
電気的に接続できる。したがって、導電止め輪１９は、
第２電極部材９ｂと第２電極ケーブル２８とを確実に電
気的に接続できる。

【０１４７】さらに、本実施形態の導電率計の電極１
は、導電パイプ１４を、鍔１４ａを有する円管状に形成
している。しかしながら、本実施形態では、導電パイプ
１４を、図１５に示すように形成しても良い。

【０１４８】図１５（Ａ）に示す導電パイプ１４は、軸
芯に沿って内外径が一定の円筒状に形成されている。図
１５（Ａ）に示す導電パイプ１４は、外径が前記第２電
極部材９ｂの内径より若干大きく形成されている。図１
５（Ａ）に示す導電パイプ１４は、第２電極部材９ｂの
内側に圧入されて、該第２電極部材９ｂの内周に嵌合す
る。導電パイプ１４は、第２電極部材９ｂと確実に接触
し、第２電極部材９ｂと確実に電気的に接続する。

【０１４９】図１５（Ｂ）と図１５（Ｃ）とに示す導電
パイプ１４は、内周面と外周面とに亘って導電パイプ１
４を構成する母材を切り欠いた切欠４４を備えている。
切欠４４は、導電パイプ１４の両縁に亘って設けられて
いる。図１５（Ｂ）に示す例では、切欠４４は、導電パ
イプ１４の軸芯に沿って一直線に形成されており、図１
５（Ｃ）に示す例では、切欠４４は、ジグザグ状に形成
されている。

【０１５０】図１５（Ｂ）と図１５（Ｃ）とに示す導電
パイプ１４は、前記切欠４４の幅が増減するように、即
ち内外径が伸縮する方向に弾性変形自在となっている。
図１５（Ｂ）と図１５（Ｃ）とに示す導電パイプ１４
は、弾性変形していない初期状態において、外径が第２
電極部材９ｂの内径より若干大きく形成されている。

【０１５１】図１５（Ｂ）と図１５（Ｃ）とに示す導電
パイプ１４は、第２電極部材９ｂの内側に嵌合する。導
電パイプ１４は、第２電極部材９ｂの内側に嵌合する
と、第２電極部材９ｂの内周面を外方向に押す弾性復元
力を生じる。導電パイプ１４は、第２電極部材９ｂと確
実に接触し、第２電極部材９ｂと確実に電気的に接続す
る。

【０１５２】図１５（Ａ）ないし図１５（Ｃ）に示す導
電パイプ１４は、第２電極部材９ｂの内周面に接触する
ため、該第２電極部材９ｂと導電止め輪１９とを確実に
電気的に接続できる。したがって、導電パイプ１４は、
第２電極部材９ｂと第２電極ケーブル２８とを確実に電
気的に接続できる。

【０１５３】次に、本発明の第２の実施形態にかかる導
電率計の電極を、図１６及び図１７を参照して説明す
る。なお、前述した第１の実施形態と同一構成部分に
は、同一符号を付して説明を省略する。本実施形態の導
電率計の電極１は、導電スプリング１５を用いずに接続
手段として、第２導電パイプ４５を用いている。

【０１５４】第２導電パイプ４５は、図１６及び図１７
に示すように、円管状の円管部４６と、円環状のフラン
ジ４７と、切欠４８と、を備えている。即ち、第２導電
パイプ４５は、円管状に形成されている。円管部４６と
フランジ４７とは互いに同軸的に連結している。フラン
ジ４７は、円管部４６の一方の縁から外方向に突出して
いる。切欠４８は、円管部４６とフランジ４７との双方
の内周面と外周面とに亘って、第２導電パイプ４５の母
材を切り欠いている。切欠４８は、円管部４６の長手方
向の両縁に亘って、第２導電パイプ４５の母材を切り欠
いている。

【０１５５】第２導電パイプ４５は、前記切欠４８の幅
が増減するように、即ち内外径が伸縮する方向に、弾性
変形自在となっている。第２導電パイプ４５は、弾性変
形していない初期状態において、円管部４６の内径が感
温筒３の外径より若干小さく形成され、フランジ４７近
辺の外径が第１電極部材９ａの内径より若干大きく形成
されている。第２導電パイプ４５を構成する金属とし
て、例えばニッケルとクロムとモリブデンとを多く含ん
だ耐食合金や、ＳＵＳ３１６Ｌ鋼や、ＳＵＳ３０４鋼及
び銅、銅合金などを用いることができる。

【０１５６】また、本実施形態のホルダ８は、内径が第
２導電パイプ４５の外径と略等しく形成されている。さ
らに、本実施形態の第１電極部材９ａは、図１６に示す
ように、内縁部に、前記フランジ４７と合致する段部４
９が設けられている。

【０１５７】本実施形態の導電率計の電極１は、第２導
電パイプ４５の内側に感温筒３を通し、かつ段部４９と
フランジ４７とが合致するように、該第２導電パイプ４
５の外側に、第１電極部材９ａが嵌合したホルダ８を通
す。すなわち、第２導電パイプ４５は、第１電極部材９
ａの内側を通り、内側に感温筒３の筒部３ｂを通す。す
ると、図１６に示すように、第１電極部材９ａがフラン
ジ４７に重ねられる。また、第２導電パイプ４５が、感
温筒３の外周面を内方向に押す弾性復元力を生じて、該
第２導電パイプ４５が感温筒３の外周面に確実に接触す
る。

【０１５８】本実施形態の導電率計の電極１によれば、
第２導電パイプ４５の円管部４６の内周面が感温筒３の
外周面と第１電極部材９ａの内周面に確実に接触し、か
つフランジ４７に第１電極部材９ａが重なるので、該フ
ランジ４７と第１電極部材９ａの内周面と第１電極部材
９ａの凹溝の円板平面とが確実に接触する。このため、
第２導電パイプ４５は、第１電極部材９ａと感温筒３と
を確実に電気的に接続する。

【０１５９】したがって、本実施形態の導電率計の電極
１においても、前述した第１の実施形態と同様に、第１
電極ケーブル２７と第１電極部材９ａとを確実に電気的
に接続でき、第２電極ケーブル２８と第２電極部材９ｂ
とを確実に電気的に接続できる。

【０１６０】このため、第１電極ケーブル２７と第２電
極ケーブル２８とを介して、第１電極部材９ａと第２電
極部材９ｂとの間に電圧を確実に印加でき、前記電極部
材９ａ，９ｂ間即ち電解質液内を流れる電流を確実に得
ることができる。したがって、電極部材９ａ，９ｂを介
して、前記電解質液の導電率に応じた情報を確実に得る
ことができる。

【０１６１】さらに、本実施形態においても、前述した
第１の実施形態と同様に、導電止め輪１９を、図１２な
いし図１４に示すように形成しても良く、導電パイプ１
４を図１５に示すように形成しても良い。

【０１６２】次に、本発明の第３の実施形態にかかる導
電率計の電極１を、図１８及び図１９を参照して説明す
る。なお、前述した第１の実施形態と同一構成部分に
は、同一符号を付して説明を省略する。本実施形態の導
電率計の電極１は、図１８及び図１９に示すように、導
電パイプ１４が、円管状の円管部５０と前記切欠４４と
第２フランジ５１とを備えている。

【０１６３】円管部５０と第２フランジ５１とは互いに
同軸的に連結している。第２フランジ５１は、円管部５
０の一方の縁から外方向に突出している。切欠４４は、
円管部５０と第２フランジ５１との双方の内周面と外周
面とに亘って、導電パイプ１４の母材を切り欠いてい
る。切欠４４は、円管部５０の長手方向の両縁に亘っ
て、導電パイプ１４の母材を切り欠いている。

【０１６４】導電パイプ１４は、前記切欠４４の幅が増
減するように、即ち内外径が伸縮する方向に、弾性変形
自在となっている。第２導電パイプ４５は、弾性変形し
ていない初期状態において、円管部５０の外径が第２電
極部材９ｂの内径より若干小さく形成されている。ま
た、本実施形態の第２電極部材９ｂは、図１８に示すよ
うに、内縁部に、前記第２フランジ５１と合致する段部
５２が設けられている。

【０１６５】本実施形態の導電率計の電極１は、段部５
２と第２フランジ５１とが合致するように、導電パイプ
１４の外周に第２電極部材９ｂを嵌合させる。そして、
該導電パイプ１４を第２小径部８ｂの外周に嵌合させる
などして、測定部２を組み立てる。すると、図１８に示
すように、第２電極部材９ｂが第２フランジ５１に重ね
られる。また、導電パイプ１４が、第２電極部材９ｂの
内周面を外方向に押す弾性復元力を生じて、該導電パイ
プ１４が第２電極部材９ｂに確実に接触する。

【０１６６】本実施形態の導電率計の電極１によれば、
導電パイプ１４の円管部５０の外周面が第２電極部材９
ｂの内周面に確実に接触し、かつ第２フランジ５１に第
２電極部材９ｂが重なる。このため、導電パイプ１４
は、第２電極部材９ｂと導電止め輪１９とを確実に電気
的に接続する。

【０１６７】したがって、本実施形態の導電率計の電極
１においても、前述した第１の実施形態と同様に、第１
電極ケーブル２７と第１電極部材９ａとを確実に電気的
に接続でき、第２電極ケーブル２８と第２電極部材９ｂ
とを確実に電気的に接続できる。

【０１６８】このため、第１電極ケーブル２７と第２電
極ケーブル２８とを介して、第１電極部材９ａと第２電
極部材９ｂとの間に電圧を確実に印加でき、前記電極部
材９ａ，９ｂ間即ち電解質液内を流れる電流を確実に得
ることができる。したがって、電極部材９ａ，９ｂを介
して、前記電解質液の導電率に応じた情報を確実に得る
ことができる。

【０１６９】また、本実施形態においても、前述した第
１の実施形態と同様に、導電スプリング１５を図８ない
し図１１に示すように形成しても良く、導電止め輪１９
を図１２ないし図１４に示すように形成しても良い。さ
らに、第２の実施形態のように、導電スプリング１５を
用いずに、第２導電パイプ４５を用いて、第２電極部材
９ｂに段部５２を形成しても良い。

【０１７０】また、前述した第１ないし第３の実施形態
の導電率計の電極１は、図２０に示すように、導電ホル
ダ１８を用いなくても良い。この場合、図２０に示すよ
うに、導電止め輪１９に、直接電線５３を取り付け、該
電線５３を第２の止め輪２６に取り付ける。

【０１７１】図２０では、電線５３は、はんだなどを用
いたろう付けによって、導電止め輪１９と第２の止め輪
２６とに取り付けられている。また、図２０では、図１
４に示した導電止め輪１９を用いている。しかしなが
ら、本発明では、図７などに示した導電止め輪１９や図
１２及び図１３に示した導電止め輪１９を用いても良い
ことは勿論である。

【０１７２】また、図２０では、図１５（Ａ）に示した
導電パイプ１４を用いている。しかしながら、本発明で
は、図５に示した導電パイプ１４や図１５（Ｂ）及び図
１５（Ｃ）に示した導電パイプ１４を用いても良いこと
は勿論である。

【０１７３】さらに、前述した第１ないし第２の実施形
態の導電率計の電極１は、図２１に示すように、導電止
め輪１９を用いなくても良い。この場合、導電ホルダ１
８の環状部１８ａの孔１８ｃの内径を、導電パイプ１４
の外径より若干小さく形成する。孔１８ｃ内に導電パイ
プ１４をコイルばね１７の引上げ力以下の力で圧入する
ことにより、導電パイプ１４の外周面と導電ホルダ１８
の環状部１８ａの内周面とを確実に接触させて、導電パ
イプ１４と導電ホルダ１８とを確実に電気的に接続す
る。こうして、第２電極部材９ｂと第２電極ケーブル２
８とを確実に電気的に接続する。

【０１７４】また、図２１では、図１５（Ａ）に示した
導電パイプ１４を用いている。しかしながら、本発明で
は、図５に示した導電パイプ１４や図１５（Ｂ）及び図
１５（Ｃ）に示した導電パイプ１４を用いても良いこと
は勿論である。

【０１７５】さらに、本発明に用いられる接続手段とし
ての導電スプリング１５は、感温筒３の外周面と第１電
極部材９ａの内周面とに接触すれば、内径と外径とのう
ち少なくとも一方が伸縮自在であれば良い。

【０１７６】さらに、本発明の電極１は、電解質液の抵
抗率を測定する抵抗率計にも用いることができるのは勿
論である。

【０１７７】

【発明の効果】以上説明したように請求項１に記載の本
発明は、接続手段が、導体柱と第２ホルダから離れた電
極部材と、を電気的に接続する。前記導体柱には、第１
電線が接続している。したがって、前記第１電線を通し
て、前記第２ホルダから離れた電極部材の電解質液の導
電率に応じた情報を確実に得ることができる。

【０１７８】請求項２に記載の本発明は、第２接続手段
が、第２ホルダ寄りの電極部材と、第２電線と、を電気
的に接続する。したがって、第２電線を通して、前記第
２ホルダ寄りの電極部材の電解質液の導電率に応じた情
報を確実に得ることができる。

【０１７９】請求項３に記載の本発明は、接続手段が、
導体柱と第２ホルダから離れた電極部材とを電気的に接
続する。前記導体柱には、第１電線が接続している。第
２接続手段が、第２ホルダ寄りの電極部材と第２電線と
を電気的に接続する。

【０１８０】したがって、前記第１電線を通して前記第
２ホルダから離れた電極部材の電解質液の導電率に応じ
た情報を確実に得ることができ、第２電線を通して前記
第２ホルダ寄りの電極部材の電解質液の導電率に応じた
情報を確実に得ることができる。

【０１８１】請求項４に記載の本発明は、接続手段は、
内径と外径とのうち少なくとも一方が伸縮自在である。
接続手段は、導体柱の外周面と第２ホルダから離れた電
極部材の内周面とを離す方向の弾性復元力を生じる。こ
のため、接続手段の内縁が導体柱により確実に接触し、
接続手段の外縁が前記第２ホルダから離れた電極部材の
内周面により確実に接触する。

【０１８２】したがって、接続手段は、導体柱と、第２
ホルダから離れた電極部材と、をより確実に電気的に接
続できる。したがって、前記第１電線を通して前記第２
ホルダから離れた電極部材の電解質液の導電率に応じた
情報をより確実に得ることができる。

【０１８３】請求項５に記載の本発明は、接続手段は、
内外径が伸縮自在である。接続手段は、導体柱の外周面
を内方向に押す弾性復元力を生じる。このため、接続手
段は、前記導体柱の外周面により確実に接触する。した
がって、接続手段は、導体柱と、第２ホルダから離れた
電極部材と、をより確実に電気的に接続できる。したが
って、前記第１電線を通して前記第２ホルダから離れた
電極部材の電解質液の導電率に応じた情報をより確実に
得ることができる。

【０１８４】請求項６に記載の本発明は、接続手段が、
外方向に突出しかつ第２ホルダから離れた電極部材が重
なるフランジを備えている。このため、接続手段は、前
記第２ホルダから離れた電極部材とより一層確実に接触
する。したがって、接続手段は、導体柱と、第２ホルダ
から離れた電極部材と、をより一層確実に電気的に接続
できる。したがって、前記第１電線を通して前記第２ホ
ルダから離れた電極部材の電解質液の導電率に応じた情
報をより確実に得ることができる。

【０１８５】請求項７に記載の本発明は、第２接続手段
が、円管状の導電パイプと、第２電線と接続しかつ円環
状の環状部材と、を備えている。導電パイプは、第２ホ
ルダ寄りの電極部材の内側を通りかつ該第２ホルダ寄り
の電極部材と接触している。環状部材は、内側に導電パ
イプを通しかつ該導電パイプと接触している。

【０１８６】このため、第２ホルダ寄りの電極部材と導
電パイプと環状部材とは、確実に電気的に接続する。し
たがって、第２電線を通して前記第２ホルダ寄りの電極
部材の電解質液の導電率に応じた情報をより確実に得る
ことができる。

【０１８７】請求項８に記載の本発明は、第２接続手段
が、円管状の導電パイプと、円環状の環状部材と、第２
電線と接続した挿入部材と、を備えている。導電パイプ
は、第２ホルダ寄りの電極部材の内側を通りかつ該第２
ホルダ寄りの電極部材と接触している。挿入部材は、円
環状の環状部を備えている。該環状部は、内側に導電パ
イプを通している。環状部材は、内側に導電パイプを通
しかつ前記環状部に重なっているとともに、該導電パイ
プと接触している。

【０１８８】このため、第２ホルダ寄りの電極部材と導
電パイプと環状部材と挿入部材とは、確実に電気的に接
続する。したがって、第２電線を通して前記第２ホルダ
寄りの電極部材の電解質液の導電率に応じた情報をより
確実に得ることができる。

【０１８９】請求項９に記載の本発明は、第２接続手段
が、円管状の導電パイプと、第２電線と接続した挿入部
材と、を備えている。導電パイプは、第２ホルダ寄りの
電極部材の内側を通りかつ該第２ホルダ寄りの電極部材
と接触している。挿入部材は、円環状の環状部を備えて
いる。該環状部は、内側に導電パイプを通しかつ該導電
パイプと接触している。

【０１９０】このため、第２ホルダ寄りの電極部材と導
電パイプと挿入部材とは、確実に電気的に接続する。し
たがって、第２電線を通して前記第２ホルダ寄りの電極
部材の電解質液の導電率に応じた情報をより確実に得る
ことができる。

【０１９１】請求項１０に記載の本発明は、環状部材
が、導電パイプの外周に係止する。このため、環状部材
は、導電パイプとより確実に電気的に接続する。したが
って、第２電線を通して前記第２ホルダ寄りの電極部材
の電解質液の導電率に応じた情報をより確実に得ること
ができる。

【０１９２】請求項１１に記載の本発明は、環状部材
が、導電パイプを内方向に押す弾性復元力を生じて、内
側に導電パイプを通している。このため、環状部材は、
導電パイプとより確実に電気的に接続する。したがっ
て、第２電線を通して前記第２ホルダ寄りの電極部材の
電解質液の導電率に応じた情報をより確実に得ることが
できる。

【０１９３】請求項１２に記載の本発明は、導電パイプ
が、第２ホルダ寄りの電極部材を外方向に押す弾性復元
力を生じて、第２ホルダ寄りの電極部材の内側を通って
いる。このため、導電パイプは、第２ホルダ寄りの電極
部材とより確実に電気的に接続する。したがって、第２
電線を通して前記第２ホルダ寄りの電極部材の電解質液
の導電率に応じた情報をより確実に得ることができる。

【０１９４】請求項１３に記載の本発明は、導電パイプ
のフランジに第２ホルダ寄りの電極部材が重なる。この
ため、第２ホルダ寄りの電極部材は、導電パイプとより
確実に電気的に接続する。したがって、第２電線を通し
て前記第２ホルダ寄りの電極部材の電解質液の導電率に
応じた情報をより確実に得ることができる。

【０１９５】請求項１４に記載の本発明は、電極カバー
が、第２ホルダに着脱自在であるので、電極カバーを取
り外すことにより、容易に電極部材とホルダなどを清掃
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態にかかる導電率計の電
極の全体構成を示す断面図である。

【図２】同実施形態の電極の測定部の先端部を拡大して
示す断面図である。

【図３】同実施形態の電極の測定部の基端部などを拡大
して示す断面図である。

【図４】同実施形態の電極の支持部内などを拡大して示
す断面図である。

【図５】同実施形態の電極の電極部材とホルダなどを拡
大して示す斜視図である。

【図６】同実施形態の電極の第１電極部材と感温筒と導
電スプリングを断面にして示す斜視図である。

【図７】（Ａ）は同実施形態の電極の導電止め輪を示す
平面図である。（Ｂ）は図７（Ａ）中の矢印ＶＩＩＢ方
向から見た図である。

【図８】同実施形態の電極の導電スプリングの変形例を
断面にして示す斜視図である。

【図９】同実施形態の電極の導電スプリングの他の変形
例を断面にして示す斜視図である。

【図１０】同実施形態の電極の導電スプリングのさらに
他の変形例を断面にして示す斜視図である。

【図１１】（Ａ）は同実施形態の電極の導電スプリング
のさらに別の変形例を示す斜視図である。（Ｂ）は図１
１（Ａ）中の矢印ＸＩＢ方向から見た図である。

【図１２】（Ａ）は同実施形態の電極の導電止め輪の変
形例を示す平面図である。（Ｂ）は図１２（Ａ）中の矢
印ＸＩＩＢ方向から見た図である。

【図１３】（Ａ）は同実施形態の電極の導電止め輪の他
の変形例を示す平面図である。（Ｂ）は図１３（Ａ）中
の矢印ＸＩＩＩＢ方向から見た図である。

【図１４】（Ａ）は同実施形態の電極の導電止め輪の更
に他の変形例を示す平面図である。（Ｂ）は図１４
（Ａ）中の矢印ＸＩＶＢ方向から見た図である。

【図１５】同実施形態の電極の導電パイプの変形例を示
す斜視図である。

【図１６】本発明の第２の実施形態にかかる導電率計の
電極の一部を拡大して示す断面図である。

【図１７】図１６に示した電極の第２導電パイプと第１
電極部材とを示す斜視図である。

【図１８】本発明の第３の実施形態にかかる導電率計の
電極の一部を拡大して示す断面図である。

【図１９】図１８に示した電極の第２導電パイプと第２
電極部材とを示す斜視図である。

【図２０】本発明の電極の変形例の一部を拡大して示す
断面図である。

【図２１】本発明の電極の他の変形例の一部を拡大して
示す断面図である。

【図２２】従来の導電率計の電極の一例を示す斜視図で
ある。

【図２３】従来の導電率計の電極の他の例を示す断面図
である。

【図２４】従来の導電率計の電極の更に他の例を示す断
面図である。

【符号の説明】

１ 導電率計の電極 ３ 感温筒（導体柱） ３ｄ 基端部 ８ ホルダ ８ｆ 基端部 ９ａ 第１電極部材（第２ホルダから離れた電極部材） ９ｂ 第２電極部材（第２ホルダ寄りの電極部材） １０ 電極カバー １１ 測定部ホルダ（第２ホルダ） １４ 導電パイプ（第２接続手段） １５ 導電スプリング（接続手段） １６ 空間 １８ 導電ホルダ（第２接続手段、挿入部材） １８ａ 環状部 １９ 導電止め輪（第２接続手段、環状部材） １９ａ 係止爪 ２７ 第１電極ケーブル（第１電線） ２８ 第２電極ケーブル（第２電線） ４５ 第２導電パイプ（接続手段） ４７ フランジ ５１ 第２フランジ ｔ 所定間隔

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G011 AA01 AB04 AD01 2G028 AA04 BC04 CG02 HN03 2G060 AA06 AE17 AF08 AG11 AG15 FA01 FA09 FA14

Claims (14)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の電極部材が計測対象の電解質液の
   流路中に所定間隔離れて配置され、電極部材間に電圧を
   印加して、前記電解質液内を流れる電流に基いて前記電
   解質液の導電率を測定する導電率計の電極において、 前記電極部材が、円環状に形成されかつガラス状カーボ
   ンからなる中実材であり、 円管状に形成されかつ前記電極部材それぞれの内側を通
   ってこれらの電極部材を同軸的に支持する絶縁性のホル
   ダと、 前記ホルダの基端部を支持しかつ内部に空間を有する絶
   縁性の第２ホルダと、 円柱状に形成されかつ前記ホルダ内に挿入されるととも
   に基端部が前記空間内に位置する導電性の導体柱と、 前記導体柱に接続しかつ前記空間内に収容される第１電
   線と、 前記電極部材のうち前記第２ホルダから離れた電極部材
   と前記導体柱とを電気的に接続する接続手段と、 を備えたことを特徴とする導電率計の電極。
2. 【請求項２】 複数の電極部材が計測対象の電解質液の
   流路中に所定間隔離れて配置され、電極部材間に電圧を
   印加して、前記電解質液内を流れる電流に基いて前記電
   解質液の導電率を測定する導電率計の電極において、 前記電極部材が、円環状に形成されかつガラス状カーボ
   ンからなる中実材であり、 円管状に形成されかつ前記電極部材それぞれの内側を通
   ってこれらの電極部材を同軸的に支持する絶縁性のホル
   ダと、 前記ホルダの基端部を支持しかつ内部に空間を有する絶
   縁性の第２ホルダと、前記空間内に収容された第２電線
   と、 前記電極部材のうち前記第２ホルダ寄りの電極部材と前
   記第２電線とを電気的に接続する第２接続手段と、 を備えたことを特徴とする導電率計の電極。
3. 【請求項３】 前記空間内に収容された第２電線と、 前記電極部材のうち前記第２ホルダ寄りの電極部材と前
   記第２電線とを電気的に接続する第２接続手段と、 を備えたことを特徴とする請求項１記載の導電率計の電
   極。
4. 【請求項４】 前記接続手段は、円環状に形成されかつ
   内径と外径とのうち少なくとも一方が伸縮する方向に弾
   性変形自在であるとともに、 該接続手段は、内側に導体柱を通しかつ前記第２ホルダ
   から離れた電極部材内を通っているとともに、内縁が前
   記導体柱と接触し外縁が前記第２ホルダから離れた電極
   部材の内周面に接触し、前記導体柱の外周面と前記第２
   ホルダから離れた電極部材の内周面とを互いに離す方向
   の弾性復元力を生じていることを特徴とする請求項１ま
   たは請求項３に記載の導電率計の電極。
5. 【請求項５】 前記接続手段は、円管状に形成されかつ
   内外径が伸縮する方向に弾性変形自在であるとともに、 該接続手段は、内側に導体柱を通しかつ前記第２ホルダ
   から離れた電極部材内を通っているとともに、内周面が
   前記導体柱の外周面に接触し、前記導体柱の外周面を内
   方向に押す弾性復元力を生じていることを特徴とする請
   求項１または請求項３に記載の導電率計の電極。
6. 【請求項６】 前記接続手段は、外方向に突出しかつ前
   記第２ホルダから離れた電極部材が重なるフランジを備
   えていることを特徴とする請求項５に記載の導電率計の
   電極。
7. 【請求項７】 前記第２接続手段は、 円管状に形成されかつ内側に前記ホルダの基端部を通す
   とともに前記第２ホルダ寄りの電極部材の内側を通る導
   電性の導電パイプと、 円環状に形成されかつ前記空間内に収容されているとと
   もに前記第２電線と電気的に接続した導電性の環状部材
   と、を備え、 前記導電パイプは、前記第２ホルダ寄りの電極部材と接
   触し、 前記環状部材は、内側に前記導電パイプを通すととも
   に、内縁が前記導電パイプに接触していることを特徴と
   する請求項２または請求項３記載の導電率計の電極。
8. 【請求項８】 前記第２接続手段は、 円管状に形成されかつ内側に前記ホルダの基端部を通す
   とともに前記第２ホルダ寄りの電極部材の内側を通る導
   電性の導電パイプと、 円環状に形成されかつ前記空間内に収容された導電性の
   環状部材と、 前記第２電線と電気的に接続しかつ前記空間内に収容さ
   れた導電性の挿入部材と、を備え、 前記導電パイプは、前記第２ホルダ寄りの電極部材と接
   触し、 前記挿入部材は、内側に前記ホルダの基端部と前記導電
   パイプとを通した円環状の環状部を有し、 前記環状部材は、前記環状部に重なりかつ内側に前記導
   電パイプを通すとともに、内縁が前記導電パイプに接触
   していることを特徴とする請求項２または請求項３記載
   の導電率計の電極。
9. 【請求項９】 前記第２接続手段は、 円管状に形成されかつ内側に前記ホルダの基端部を通す
   とともに前記第２ホルダ寄りの電極部材の内側を通る導
   電性の導電パイプと、 前記第２電線と電気的に接続しかつ前記空間内に収容さ
   れた導電性の挿入部材と、を備え、 前記導電パイプは、前記第２ホルダ寄りの電極部材と接
   触し、 前記挿入部材は、内側に前記ホルダの基端部と前記導電
   パイプとを通した円環状の環状部を有しているととも
   に、前記環状部の内縁が前記導電パイプに接触している
   ことを特徴とする請求項２または請求項３記載の導電率
   計の電極。
10. 【請求項１０】 前記環状部材は、内縁部に前記導電パ
    イプの外周面に係止する係止爪を備えていることを特徴
    とする請求項７または請求項８記載の導電率計の電極。
11. 【請求項１１】 前記環状部材は、内径が伸縮する方向
    に弾性変形自在であるとともに、前記導電パイプを内方
    向に押す弾性復元力を生じていることを特徴とする請求
    項７または請求項８に記載の導電率計の電極。
12. 【請求項１２】 前記導電パイプは、内外径が伸縮する
    方向に弾性変形自在であるとともに、前記第２ホルダ寄
    りの電極部材の内周面を外方向に押す弾性復元力を生じ
    ていることを特徴とする請求項７ないし請求項１１のう
    ちいずれか一項に記載の導電率計の電極。
13. 【請求項１３】 前記導電パイプは、外方向に突出しか
    つ前記第２ホルダ寄りの電極部材が重なる第２フランジ
    を備えていることを特徴とする請求項７ないし請求項１
    ２のうちいずれか一項に記載の導電率計の電極。
14. 【請求項１４】 筒状に形成され、かつ内側に前記複数
    の電極部材と前記ホルダとを収容して前記第２ホルダに
    取り付けられる電極カバーを備え、前記電極カバーが、
    前記第２ホルダに着脱自在であることを特徴とする請求
    項１ないし請求項１３のうちいずれか一項に記載の導電
    率計の電極。