JP2002235748A - 転がり摺動部品 - Google Patents
転がり摺動部品Info
- Publication number
- JP2002235748A JP2002235748A JP2001035114A JP2001035114A JP2002235748A JP 2002235748 A JP2002235748 A JP 2002235748A JP 2001035114 A JP2001035114 A JP 2001035114A JP 2001035114 A JP2001035114 A JP 2001035114A JP 2002235748 A JP2002235748 A JP 2002235748A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- rolling
- dlc
- rolling sliding
- diamond
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2206/00—Materials with ceramics, cermets, hard carbon or similar non-metallic hard materials as main constituents
- F16C2206/02—Carbon based material
- F16C2206/04—Diamond like carbon [DLC]
Abstract
(57)【要約】
【課題】ＤＬＣ層を被覆する転がり摺動部品を前提と
し、ＤＬＣ層の密着性を高めて、長寿命化を図ること。 【解決手段】金属からなる転がり摺動部品について、金
属母材２，３の表面に対してクロム（Ｃｒ）層７を介し
て、タングステン（Ｗ）を含有したダイアモンドライク
カーボン（Ｗ−ＤＬＣ）層８を積層している。この場
合、金属母材２，３とＷ−ＤＬＣ層８との間に、Ｃｒ層
７が介在しているから、金属母材２，３に対するＷ−Ｄ
ＬＣ層８の密着性が高められることになり、長期にわた
る動作の安定化が可能となる。
し、ＤＬＣ層の密着性を高めて、長寿命化を図ること。 【解決手段】金属からなる転がり摺動部品について、金
属母材２，３の表面に対してクロム（Ｃｒ）層７を介し
て、タングステン（Ｗ）を含有したダイアモンドライク
カーボン（Ｗ−ＤＬＣ）層８を積層している。この場
合、金属母材２，３とＷ−ＤＬＣ層８との間に、Ｃｒ層
７が介在しているから、金属母材２，３に対するＷ−Ｄ
ＬＣ層８の密着性が高められることになり、長期にわた
る動作の安定化が可能となる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、転がり摺動部品に
関する。ここでの転がり摺動部品としては、例えば転が
り軸受、送りねじ装置、直動型軸受などに備える転動
体、軌道面あるいは保持器が挙げられる。
関する。ここでの転がり摺動部品としては、例えば転が
り軸受、送りねじ装置、直動型軸受などに備える転動
体、軌道面あるいは保持器が挙げられる。
【０００２】
【従来の技術】上述した転がり軸受、送りねじ装置、直
動型軸受を、真空、高温、清浄雰囲気など潤滑条件の厳
しい環境で使用する場合、潤滑性を確保するために、転
がり部位または摺動部位に対して、例えば銀（Ａｇ）、
二硫化モリブデン（ＭｏＳ2）やポリテトラフルオロエ
チレン（ＰＴＦＥ）などの固体潤滑剤をコーティングす
るようにしている。
動型軸受を、真空、高温、清浄雰囲気など潤滑条件の厳
しい環境で使用する場合、潤滑性を確保するために、転
がり部位または摺動部位に対して、例えば銀（Ａｇ）、
二硫化モリブデン（ＭｏＳ2）やポリテトラフルオロエ
チレン（ＰＴＦＥ）などの固体潤滑剤をコーティングす
るようにしている。
【０００３】この他、上述したような環境でなく、通常
の環境で貧潤滑状態になる環境では、滑性を良くして耐
摩耗性や耐焼き付き性を高めるために、転がり部位また
は摺動部位に対して、例えばクロムニッケル合金（Ｃｒ
Ｎ）やチタンニッケル合金（ＴｉＮ）などの硬質膜をコ
ーティングするようにしている。
の環境で貧潤滑状態になる環境では、滑性を良くして耐
摩耗性や耐焼き付き性を高めるために、転がり部位また
は摺動部位に対して、例えばクロムニッケル合金（Ｃｒ
Ｎ）やチタンニッケル合金（ＴｉＮ）などの硬質膜をコ
ーティングするようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した固体潤滑剤で
は、潤滑性に優れているものの、摩耗や剥離が早期段階
で発生しやすく、また、硬質膜では、滑性に優れている
ものの、潤滑成分が不足しやすいなど、いずれも寿命が
短くなる。
は、潤滑性に優れているものの、摩耗や剥離が早期段階
で発生しやすく、また、硬質膜では、滑性に優れている
ものの、潤滑成分が不足しやすいなど、いずれも寿命が
短くなる。
【０００５】これに対して、近年では、上述した固体潤
滑剤や硬質膜に代えて、ダイヤモンドライクカーボン
（Diamond Like Carbon：ＤＬＣ）をコーティングする
ことが研究されている。以下、ダイヤモンドライクカー
ボンを、ＤＬＣと略称する。
滑剤や硬質膜に代えて、ダイヤモンドライクカーボン
（Diamond Like Carbon：ＤＬＣ）をコーティングする
ことが研究されている。以下、ダイヤモンドライクカー
ボンを、ＤＬＣと略称する。
【０００６】このＤＬＣは、潤滑性と滑性において優れ
ているものの、金属母材に対する密着性において課題が
残る。
ているものの、金属母材に対する密着性において課題が
残る。
【０００７】このような事情に鑑み、本発明は、ＤＬＣ
を積層した金属からなる転がり摺動部品を前提とし、Ｄ
ＬＣの密着性を高めて、長寿命化を図ることを目的とし
ている。
を積層した金属からなる転がり摺動部品を前提とし、Ｄ
ＬＣの密着性を高めて、長寿命化を図ることを目的とし
ている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明第１の転がり摺動
部品は、相手部材との間で相対的に転がり接触またはす
べり接触が生ずるもので、金属母材の表面に、クロム
（Ｃｒ）層を介してタングステン（Ｗ）を含有したダイ
アモンドライクカーボン層が積層されている、ことを特
徴としている。なお、タングステン（Ｗ）を含有したダ
イアモンドライクカーボン層のことを、Ｗ−ＤＬＣ層と
略称する。
部品は、相手部材との間で相対的に転がり接触またはす
べり接触が生ずるもので、金属母材の表面に、クロム
（Ｃｒ）層を介してタングステン（Ｗ）を含有したダイ
アモンドライクカーボン層が積層されている、ことを特
徴としている。なお、タングステン（Ｗ）を含有したダ
イアモンドライクカーボン層のことを、Ｗ−ＤＬＣ層と
略称する。
【０００９】本発明第２の転がり摺動部品は、上記第１
の構成において、前記ダイヤモンドライクカーボン層に
おけるタングステン（Ｗ）の含有量が、クロム（Ｃｒ）
層側へ向けて豊富となる形態に設定されている、ことを
特徴としている。
の構成において、前記ダイヤモンドライクカーボン層に
おけるタングステン（Ｗ）の含有量が、クロム（Ｃｒ）
層側へ向けて豊富となる形態に設定されている、ことを
特徴としている。
【００１０】本発明第３の転がり摺動部品は、相手部材
との間で相対的に転がり接触またはすべり接触が生ずる
もので、金属母材の表面に、クロム（Ｃｒ）層とタング
ステン・カーバイト（ＷＣ）層とダイアモンドライクカ
ーボン層とがこの記載順に積層されている、ことを特徴
としている。
との間で相対的に転がり接触またはすべり接触が生ずる
もので、金属母材の表面に、クロム（Ｃｒ）層とタング
ステン・カーバイト（ＷＣ）層とダイアモンドライクカ
ーボン層とがこの記載順に積層されている、ことを特徴
としている。
【００１１】本発明第４の転がり摺動部品は、上記第３
の構成において、前記ダイヤモンドライクカーボン層の
表面に、さらにタングステン・カーバイト（ＷＣ）層と
ダイヤモンドライクカーボン層とがこの記載順に交互に
所要数積層されている、ことを特徴としている。
の構成において、前記ダイヤモンドライクカーボン層の
表面に、さらにタングステン・カーバイト（ＷＣ）層と
ダイヤモンドライクカーボン層とがこの記載順に交互に
所要数積層されている、ことを特徴としている。
【００１２】本発明第５の転がり摺動部品は、上記第４
の構成において、前記各タングステン・カーバイト（Ｗ
Ｃ）層の膜厚が、金属母材側から最表面側へ向けて漸次
薄く設定されている、ことを特徴としている。
の構成において、前記各タングステン・カーバイト（Ｗ
Ｃ）層の膜厚が、金属母材側から最表面側へ向けて漸次
薄く設定されている、ことを特徴としている。
【００１３】本発明第６の転がり摺動部品は、上記第４
または第５の構成において、前記各ダイヤモンドライク
カーボン層の膜厚が、金属母材側から最表面側へ向けて
漸次厚く設定されている、ことを特徴としている。
または第５の構成において、前記各ダイヤモンドライク
カーボン層の膜厚が、金属母材側から最表面側へ向けて
漸次厚く設定されている、ことを特徴としている。
【００１４】以上、第１の構成では、金属母材に対して
クロム層を積層し、それに対してタングステン（Ｗ）を
含有してなるＷ−ＤＬＣ層を積層する形態にしているか
ら、Ｗ−ＤＬＣ層の密着性が向上して、剥離しにくくな
る。したがって、耐摩耗性、潤滑性、滑性に優れたＷ−
ＤＬＣ層の耐久性が向上することになる。しかも、タン
グステン（Ｗ）が金属元素であるから、Ｗ−ＤＬＣ層の
最表面と金属母材との間で導電性を持つことになり、通
電される条件で使用される場合に適したものとなる。
クロム層を積層し、それに対してタングステン（Ｗ）を
含有してなるＷ−ＤＬＣ層を積層する形態にしているか
ら、Ｗ−ＤＬＣ層の密着性が向上して、剥離しにくくな
る。したがって、耐摩耗性、潤滑性、滑性に優れたＷ−
ＤＬＣ層の耐久性が向上することになる。しかも、タン
グステン（Ｗ）が金属元素であるから、Ｗ−ＤＬＣ層の
最表面と金属母材との間で導電性を持つことになり、通
電される条件で使用される場合に適したものとなる。
【００１５】また、上記第２の構成のように、Ｗ−ＤＬ
Ｃ層におけるタングステン（Ｗ）や炭素（Ｃ）の含有分
布を規定すれば、ＤＬＣ層の密着性と硬度や耐荷重性ま
たは導電性などとの相関関係を適宜に調整できるように
なり、使用目的に応じて汎用性が広がる。
Ｃ層におけるタングステン（Ｗ）や炭素（Ｃ）の含有分
布を規定すれば、ＤＬＣ層の密着性と硬度や耐荷重性ま
たは導電性などとの相関関係を適宜に調整できるように
なり、使用目的に応じて汎用性が広がる。
【００１６】また、上記第３の構成のように、クロム層
とＤＬＣ層との間に両者に対して結合性に優れたタング
ステン・カーバイト（ＷＣ）層を介在させる構造とすれ
ば、上記第１の構成と同様にＤＬＣ層の密着性が高めら
れる。
とＤＬＣ層との間に両者に対して結合性に優れたタング
ステン・カーバイト（ＷＣ）層を介在させる構造とすれ
ば、上記第１の構成と同様にＤＬＣ層の密着性が高めら
れる。
【００１７】また、上記第４の構成のように、タングス
テン・カーバイト（ＷＣ）層とＤＬＣ層とを交互に積層
する階層構造とすれば、さらに密着性が高められる。こ
れは、薄層を交互に重ねることで、タングステン・カー
バイト（ＷＣ）がＤＬＣ層に含有したものと同様の構造
になるからだと考えられる。
テン・カーバイト（ＷＣ）層とＤＬＣ層とを交互に積層
する階層構造とすれば、さらに密着性が高められる。こ
れは、薄層を交互に重ねることで、タングステン・カー
バイト（ＷＣ）がＤＬＣ層に含有したものと同様の構造
になるからだと考えられる。
【００１８】また、上記第５や第６の構成のように、上
記第４の構成を前提として各タングステン・カーバイト
（ＷＣ）層と各ＤＬＣ層の膜厚を規定すれば、ＤＬＣ層
の密着性と硬度や耐荷重性または導電性などとの相関関
係を適宜に調整できるようになり、使用目的に応じて汎
用性が広がる。
記第４の構成を前提として各タングステン・カーバイト
（ＷＣ）層と各ＤＬＣ層の膜厚を規定すれば、ＤＬＣ層
の密着性と硬度や耐荷重性または導電性などとの相関関
係を適宜に調整できるようになり、使用目的に応じて汎
用性が広がる。
【００１９】
【発明の実施の形態】本発明の詳細を図面に示す実施形
態に基づいて説明する。以下では、転がり摺動部品とし
て、転がり軸受、送りねじとしてのボールねじと、直動
型軸受としての直動型玉軸受を例に挙げる。 〔実施形態１〕図１および図２は本発明の実施形態１を
示している。図１は、転がり軸受の上半分を示す断面
図、図２は、図１の特殊皮膜を拡大した断面図である。
図中、１は転がり軸受の全体を示しており、深溝型玉軸
受と呼ばれる形式を例示している。この転がり軸受１
は、内輪２と、外輪３と、球状の転動体４と、波形の保
持器５とを備えている。
態に基づいて説明する。以下では、転がり摺動部品とし
て、転がり軸受、送りねじとしてのボールねじと、直動
型軸受としての直動型玉軸受を例に挙げる。 〔実施形態１〕図１および図２は本発明の実施形態１を
示している。図１は、転がり軸受の上半分を示す断面
図、図２は、図１の特殊皮膜を拡大した断面図である。
図中、１は転がり軸受の全体を示しており、深溝型玉軸
受と呼ばれる形式を例示している。この転がり軸受１
は、内輪２と、外輪３と、球状の転動体４と、波形の保
持器５とを備えている。
【００２０】上述した内・外輪２，３、転動体４ならび
に保持器５は、各種の金属材で形成される。この金属材
としては、例えばＪＩＳ規格ＳＵＳ４４０Ｃなどのマル
テンサイト系ステンレス鋼、例えばＪＩＳ規格ＳＵＳ６
３０などの析出硬化型ステンレス鋼に適当な硬化熱処理
を施したものの他、ＪＩＳ規格ＳＵＳ３０４などのオー
ステナイト系ステンレス鋼などが挙げられる。
に保持器５は、各種の金属材で形成される。この金属材
としては、例えばＪＩＳ規格ＳＵＳ４４０Ｃなどのマル
テンサイト系ステンレス鋼、例えばＪＩＳ規格ＳＵＳ６
３０などの析出硬化型ステンレス鋼に適当な硬化熱処理
を施したものの他、ＪＩＳ規格ＳＵＳ３０４などのオー
ステナイト系ステンレス鋼などが挙げられる。
【００２１】ここでは、内輪２の外周面および外輪３の
内周面に対して、特殊皮膜６をコーティングする形態を
例に挙げる。
内周面に対して、特殊皮膜６をコーティングする形態を
例に挙げる。
【００２２】前述した特殊皮膜６は、図２に示すよう
に、内・外輪２，３などの金属母材の表面から上に向け
て、クロム（Ｃｒ）層７と、タングステン（Ｗ）を含有
したダイアモンドライクカーボン（Diamond Like Carbo
n：ＤＬＣ）層８とを含むものとすることができる。
に、内・外輪２，３などの金属母材の表面から上に向け
て、クロム（Ｃｒ）層７と、タングステン（Ｗ）を含有
したダイアモンドライクカーボン（Diamond Like Carbo
n：ＤＬＣ）層８とを含むものとすることができる。
【００２３】この実施形態では、上述したタングステン
（Ｗ）を含有したダイアモンドライクカーボン層８のこ
とを、Ｗ−ＤＬＣ層と略称する。
（Ｗ）を含有したダイアモンドライクカーボン層８のこ
とを、Ｗ−ＤＬＣ層と略称する。
【００２４】この場合、Ｗ−ＤＬＣ層８は、クロム（Ｃ
ｒ）層側へ向けてタングステン（Ｗ）量を豊富とする組
成に設定されている。これによって結果的に、表面側へ
向けてカーボン（Ｃ）量が豊富となる。
ｒ）層側へ向けてタングステン（Ｗ）量を豊富とする組
成に設定されている。これによって結果的に、表面側へ
向けてカーボン（Ｃ）量が豊富となる。
【００２５】この特殊皮膜６は、例えば物理蒸着（ＰＶ
Ｄ）法、化学蒸着（ＣＶＤ）法、プラズマＣＶＤ法、イ
オンビーム形成法、イオン化蒸着法などにより形成する
ことができる。その際は、クロム（Ｃｒ）層７と、Ｗ−
ＤＬＣ層８とを、この記載順に順次形成する。
Ｄ）法、化学蒸着（ＣＶＤ）法、プラズマＣＶＤ法、イ
オンビーム形成法、イオン化蒸着法などにより形成する
ことができる。その際は、クロム（Ｃｒ）層７と、Ｗ−
ＤＬＣ層８とを、この記載順に順次形成する。
【００２６】ここで、ＰＶＤ法の一例であるスパッタリ
ング法による特殊皮膜６の生成手法について説明する。
ング法による特殊皮膜６の生成手法について説明する。
【００２７】まず、クロム層７を生成するにあたって
は、ターゲットとしてＣｒを、また、導入ガスとしてＡ
ｒガスを用いる。そして、チャンバ内圧力を１０-3〜１
０〔Ｔｏｒｒ〕程度とし、放電電圧１００〜５００
〔Ｖ〕、電流０．５〜５〔Ａ〕にして放電処理を行う。
これにより、金属母材の表面にクロム層７が０．４〜
０．６μｍの厚みで形成される。
は、ターゲットとしてＣｒを、また、導入ガスとしてＡ
ｒガスを用いる。そして、チャンバ内圧力を１０-3〜１
０〔Ｔｏｒｒ〕程度とし、放電電圧１００〜５００
〔Ｖ〕、電流０．５〜５〔Ａ〕にして放電処理を行う。
これにより、金属母材の表面にクロム層７が０．４〜
０．６μｍの厚みで形成される。
【００２８】次に、Ｗ−ＤＬＣ層８を生成するにあたっ
ては、ターゲットとしてＷＣまたはＷを、また、導入ガ
スとしてＡｒガス、炭化水素ガスを用いる。そして、チ
ャンバ内圧力を１０-3〜１０〔Ｔｏｒｒ〕程度とし、放
電処理を行う。なお、成膜中、炭化水素ガスの量の増加
あるいはシャッターによるターゲットへの遮蔽などによ
ってＣ量を豊富にさせる。
ては、ターゲットとしてＷＣまたはＷを、また、導入ガ
スとしてＡｒガス、炭化水素ガスを用いる。そして、チ
ャンバ内圧力を１０-3〜１０〔Ｔｏｒｒ〕程度とし、放
電処理を行う。なお、成膜中、炭化水素ガスの量の増加
あるいはシャッターによるターゲットへの遮蔽などによ
ってＣ量を豊富にさせる。
【００２９】ところで、上記特殊皮膜６の総膜厚は、例
えば１．５〜３．０μｍ程度に管理され、また、硬さ
は、ビッカース硬さ（Ｈｖ）で１０００〜２０００とさ
れ、さらに、最表面の粗さは、Ｒａ（中心線平均粗さ）
で０．１μｍ以下に管理される。但し、特殊皮膜６を対
象部品に部分的に形成する場合には、適宜マスキングを
施せばよい。
えば１．５〜３．０μｍ程度に管理され、また、硬さ
は、ビッカース硬さ（Ｈｖ）で１０００〜２０００とさ
れ、さらに、最表面の粗さは、Ｒａ（中心線平均粗さ）
で０．１μｍ以下に管理される。但し、特殊皮膜６を対
象部品に部分的に形成する場合には、適宜マスキングを
施せばよい。
【００３０】以上説明した転がり軸受１では、その構成
要素（２〜５）の所要部位に対してクロム（Ｃｒ）層７
と、Ｗ−ＤＬＣ層８とからなる特殊皮膜６を被覆してい
て、各層相互の原子間の結合が強固となるから、耐摩耗
性、潤滑性、滑性に優れたＷ−ＤＬＣ層８を金属母材に
対して強固に密着して被覆させることができる。そのた
め、転動部位あるいは摺動部位に潤滑成分が存在してい
なくても、転動体４の滑性が良好に保たれて転がりが長
期にわたって安定するとともに、Ｗ−ＤＬＣ層８が剥離
しにくくなって耐久性が向上するなど、信頼性向上に大
きく貢献できるようになる。
要素（２〜５）の所要部位に対してクロム（Ｃｒ）層７
と、Ｗ−ＤＬＣ層８とからなる特殊皮膜６を被覆してい
て、各層相互の原子間の結合が強固となるから、耐摩耗
性、潤滑性、滑性に優れたＷ−ＤＬＣ層８を金属母材に
対して強固に密着して被覆させることができる。そのた
め、転動部位あるいは摺動部位に潤滑成分が存在してい
なくても、転動体４の滑性が良好に保たれて転がりが長
期にわたって安定するとともに、Ｗ−ＤＬＣ層８が剥離
しにくくなって耐久性が向上するなど、信頼性向上に大
きく貢献できるようになる。
【００３１】しかも、上記特殊皮膜６では、Ｗ−ＤＬＣ
層８に含有する金属元素であるタングステンの存在によ
って、Ｗ−ＤＬＣ層８の最表面と金属母材（内・外輪
２，３）との間で通電性を持つことになり、通電される
条件で使用される場合に適したものとなる。
層８に含有する金属元素であるタングステンの存在によ
って、Ｗ−ＤＬＣ層８の最表面と金属母材（内・外輪
２，３）との間で通電性を持つことになり、通電される
条件で使用される場合に適したものとなる。
【００３２】ちなみに、次のような試験により、上記密
着性を確かめたので、説明する。
着性を確かめたので、説明する。
【００３３】ここでは、呼び番号６０８の転がり軸受を
用い、その内・外輪２，３の軌道面に対して、ＤＬＣ層
のみを３μｍコーティングした従来例と、内・外輪２，
３の軌道面に対して、図２に示す特殊皮膜６を形成した
実施形態とを例示している。なお、実施形態では、クロ
ム（Ｃｒ）層７を０．５μｍに、Ｗ−ＤＬＣ層８を２．
５μｍにそれぞれ設定している。
用い、その内・外輪２，３の軌道面に対して、ＤＬＣ層
のみを３μｍコーティングした従来例と、内・外輪２，
３の軌道面に対して、図２に示す特殊皮膜６を形成した
実施形態とを例示している。なお、実施形態では、クロ
ム（Ｃｒ）層７を０．５μｍに、Ｗ−ＤＬＣ層８を２．
５μｍにそれぞれ設定している。
【００３４】また、試験条件としては、無潤滑で、面圧
１．６ＧＰａとなるラジアル荷重を付与し、回転速度を
２００ｒ／ｍｉｎに設定し、回転トルクを計測した。そ
して、試験は、従来例と本実施形態とについて、２つず
つ行っており、従来例の２つについては図４の○、□
で、本実施形態の２つについては図４の●、■でそれぞ
れ表している。
１．６ＧＰａとなるラジアル荷重を付与し、回転速度を
２００ｒ／ｍｉｎに設定し、回転トルクを計測した。そ
して、試験は、従来例と本実施形態とについて、２つず
つ行っており、従来例の２つについては図４の○、□
で、本実施形態の２つについては図４の●、■でそれぞ
れ表している。
【００３５】結果を、図４に示している。この図３に示
すグラフにおいて、縦軸には、初期トルクを「１」とし
た場合の回転トルク比を示し、横軸には、運転時間
〔ｈ〕を示している。つまり、実施形態の場合には３０
０時間で打ち切ったが、回転トルクがほぼ一定で変化し
なかったことから、剥離などが発生しなかったと判断で
きる。一方、従来例の場合では、１００時間以内で回転
トルクが急激に上昇したことから、ＤＬＣ層が早期段階
で剥離したと判断できる。このように、本実施形態での
特殊皮膜６は、金属母材に対する密着性が向上すること
が確かめられた。
すグラフにおいて、縦軸には、初期トルクを「１」とし
た場合の回転トルク比を示し、横軸には、運転時間
〔ｈ〕を示している。つまり、実施形態の場合には３０
０時間で打ち切ったが、回転トルクがほぼ一定で変化し
なかったことから、剥離などが発生しなかったと判断で
きる。一方、従来例の場合では、１００時間以内で回転
トルクが急激に上昇したことから、ＤＬＣ層が早期段階
で剥離したと判断できる。このように、本実施形態での
特殊皮膜６は、金属母材に対する密着性が向上すること
が確かめられた。
【００３６】さらに、上記通電性を確かめるために、図
２に示す特殊皮膜６の抵抗値を計測したので、説明す
る。比較として、ＤＬＣ層のみを形成した従来例につい
ても調べた。計測方法としては、ＤＬＣ層およびＷ−Ｄ
ＬＣ層８の表面の適宜２ヶ所に、テスターの一対のプロ
ーブ端子を接触させて、抵抗値を測定する形態にした。
結果としては、従来例の場合には、１０6〔Ω〕とな
り、実施形態の場合には、１０〔Ω〕以下となった。こ
のように、実施形態でのＷ−ＤＬＣ層８は、導電性を持
つと判断できる。
２に示す特殊皮膜６の抵抗値を計測したので、説明す
る。比較として、ＤＬＣ層のみを形成した従来例につい
ても調べた。計測方法としては、ＤＬＣ層およびＷ−Ｄ
ＬＣ層８の表面の適宜２ヶ所に、テスターの一対のプロ
ーブ端子を接触させて、抵抗値を測定する形態にした。
結果としては、従来例の場合には、１０6〔Ω〕とな
り、実施形態の場合には、１０〔Ω〕以下となった。こ
のように、実施形態でのＷ−ＤＬＣ層８は、導電性を持
つと判断できる。
【００３７】ところで、上述した特殊皮膜６について
は、図４に示すような構造とすることができる。図示例
の特殊皮膜６Ａは、内・外輪２，３などの金属母材の表
面から上に向けて、クロム（Ｃｒ）層７と、タングステ
ン・カーバイト（ＷＣ）層９と、ダイヤモンドライクカ
ーボン（Diamond Like Carbon：ＤＬＣ）層８Ａとから
なる。なお、図４には、ＤＬＣ層８Ａの上に、さらに、
タングステン・カーバイト（ＷＣ）層９とＤＬＣ層８Ａ
とを交互に所要数積層することにより、階層構造として
いる。しかも、この実施形態では、図４に誇張して示す
ように、各タングステン・カーバイト（ＷＣ）層９の膜
厚が、金属母材側から最表面側へ向けて漸次薄く設定さ
れていて、各ＤＬＣ層８Ａの膜厚が、金属母材側から最
表面側へ向けて漸次厚く設定されている。
は、図４に示すような構造とすることができる。図示例
の特殊皮膜６Ａは、内・外輪２，３などの金属母材の表
面から上に向けて、クロム（Ｃｒ）層７と、タングステ
ン・カーバイト（ＷＣ）層９と、ダイヤモンドライクカ
ーボン（Diamond Like Carbon：ＤＬＣ）層８Ａとから
なる。なお、図４には、ＤＬＣ層８Ａの上に、さらに、
タングステン・カーバイト（ＷＣ）層９とＤＬＣ層８Ａ
とを交互に所要数積層することにより、階層構造として
いる。しかも、この実施形態では、図４に誇張して示す
ように、各タングステン・カーバイト（ＷＣ）層９の膜
厚が、金属母材側から最表面側へ向けて漸次薄く設定さ
れていて、各ＤＬＣ層８Ａの膜厚が、金属母材側から最
表面側へ向けて漸次厚く設定されている。
【００３８】この特殊皮膜６Ａについても、例えば物理
蒸着（ＰＶＤ）法、化学蒸着（ＣＶＤ）法、プラズマＣ
ＶＤ法、イオンビーム形成法、イオン化蒸着法などによ
り形成することができる。その際は、クロム（Ｃｒ）層
７と、タングステン・カーバイト（ＷＣ）層９と、ＤＬ
Ｃ層８Ａとを、この記載順に順次形成する。
蒸着（ＰＶＤ）法、化学蒸着（ＣＶＤ）法、プラズマＣ
ＶＤ法、イオンビーム形成法、イオン化蒸着法などによ
り形成することができる。その際は、クロム（Ｃｒ）層
７と、タングステン・カーバイト（ＷＣ）層９と、ＤＬ
Ｃ層８Ａとを、この記載順に順次形成する。
【００３９】ここで、ＰＶＤ法の一例であるスパッタリ
ング法による特殊皮膜６の生成手法について説明する。
但し、クロム層７の生成工程については上述しているの
で、説明を割愛する。
ング法による特殊皮膜６の生成手法について説明する。
但し、クロム層７の生成工程については上述しているの
で、説明を割愛する。
【００４０】すなわち、タングステン・カーバイト（Ｗ
Ｃ）層９を生成するにあたっては、ターゲットとしてＷ
ＣまたはＷを、また、導入ガスとしてＡｒガスを用い
る。そして、チャンバ内圧力を１０-3〜１０〔Ｔｏｒ
ｒ〕程度とし、放電電圧２００〜７００〔Ｖ〕、電流２
〜１０〔Ａ〕にして放電処理を行う。これにより、クロ
ム層７上にタングステン・カーバイト（ＷＣ）層９が積
層される。
Ｃ）層９を生成するにあたっては、ターゲットとしてＷ
ＣまたはＷを、また、導入ガスとしてＡｒガスを用い
る。そして、チャンバ内圧力を１０-3〜１０〔Ｔｏｒ
ｒ〕程度とし、放電電圧２００〜７００〔Ｖ〕、電流２
〜１０〔Ａ〕にして放電処理を行う。これにより、クロ
ム層７上にタングステン・カーバイト（ＷＣ）層９が積
層される。
【００４１】次に、ＤＬＣ層８Ａを生成するにあたって
は、導入ガスとしてＡｒガス、炭化水素ガスなどを用
い、放電電圧２００〜７００〔Ｖ〕、電流２〜１０
〔Ａ〕にして放電処理を行う。これにより、タングステ
ン・カーバイト（ＷＣ）層９上に非晶質炭素からなるＤ
ＬＣ層８Ａが積層されることになる。
は、導入ガスとしてＡｒガス、炭化水素ガスなどを用
い、放電電圧２００〜７００〔Ｖ〕、電流２〜１０
〔Ａ〕にして放電処理を行う。これにより、タングステ
ン・カーバイト（ＷＣ）層９上に非晶質炭素からなるＤ
ＬＣ層８Ａが積層されることになる。
【００４２】この後、ＤＬＣ層８Ａ上に、図２に示すよ
うに、タングステン・カーバイト（ＷＣ）層９とＤＬＣ
層８Ａとを交互に所要数積層することにより、階層構造
とする。このとき、各タングステン・カーバイト（Ｗ
Ｃ）層９の膜厚が、金属母材側から最表面側へ向けて漸
次薄く設定されるとともに、各ＤＬＣ層８Ａの膜厚が、
金属母材側から最表面側へ向けて漸次厚く設定される。
うに、タングステン・カーバイト（ＷＣ）層９とＤＬＣ
層８Ａとを交互に所要数積層することにより、階層構造
とする。このとき、各タングステン・カーバイト（Ｗ
Ｃ）層９の膜厚が、金属母材側から最表面側へ向けて漸
次薄く設定されるとともに、各ＤＬＣ層８Ａの膜厚が、
金属母材側から最表面側へ向けて漸次厚く設定される。
【００４３】これら各層７，９，８Ａは、境界面ができ
るものではなく、原子レベルで相互に拡散して結合した
ものになっている。
るものではなく、原子レベルで相互に拡散して結合した
ものになっている。
【００４４】以上説明した特殊皮膜６Ａでも、上述した
図２に示す特殊皮膜６と同様に金属母材に対する密着性
が向上し、最上層であるＤＬＣ層８Ａが持つ耐摩耗性、
潤滑性、滑性が長期にわたって遺憾なく発揮されること
になる。したがって、転がり軸受１としては、転動体４
の転動部位あるいは摺動部位に潤滑成分が存在していな
くても、転動体４の滑性が良好に保たれて転がりが長期
にわたって安定するとともに、ＤＬＣ層８Ａが剥離しに
くくなって耐久性が向上するなど、信頼性向上に大きく
貢献できるようになる。
図２に示す特殊皮膜６と同様に金属母材に対する密着性
が向上し、最上層であるＤＬＣ層８Ａが持つ耐摩耗性、
潤滑性、滑性が長期にわたって遺憾なく発揮されること
になる。したがって、転がり軸受１としては、転動体４
の転動部位あるいは摺動部位に潤滑成分が存在していな
くても、転動体４の滑性が良好に保たれて転がりが長期
にわたって安定するとともに、ＤＬＣ層８Ａが剥離しに
くくなって耐久性が向上するなど、信頼性向上に大きく
貢献できるようになる。
【００４５】なお、言うまでも無いが、ＤＬＣ層８Ａは
グラファイト構造（ＳＰ2）とダイアモンド構造（結
合：ＳＰ3）が共存しており、それを構成する炭素原子
相互の結合力が強いので、それ自身の摩耗や損傷が発生
しにくくなるとともに、硬質であって表面平滑性に優れ
ているから、転動体４の転動動作がきわめて円滑にな
り、摩耗が生じにくくなる。
グラファイト構造（ＳＰ2）とダイアモンド構造（結
合：ＳＰ3）が共存しており、それを構成する炭素原子
相互の結合力が強いので、それ自身の摩耗や損傷が発生
しにくくなるとともに、硬質であって表面平滑性に優れ
ているから、転動体４の転動動作がきわめて円滑にな
り、摩耗が生じにくくなる。
【００４６】このような転がり軸受１であれば、真空、
高温、清浄雰囲気となる半導体製造機器、あるいは貧潤
滑となる環境で使用される機器に好適に用いることがで
きる。
高温、清浄雰囲気となる半導体製造機器、あるいは貧潤
滑となる環境で使用される機器に好適に用いることがで
きる。
【００４７】そして、必要に応じて、上述した転がり軸
受１の内部には、パーフルオロポリエーテル（ＰＦＰ
Ｅ）などの含ふっ素重合体からなる潤滑油やグリースな
どを塗布または封入する形態で使用してもよい。この場
合には、特殊皮膜６Ａが、軸受内部に塗布されるふっ素
系潤滑剤の濡れ性がきわめて良好であるので、仮に転動
体４の滑りが発生しても、内・外輪２，３や転動体４の
表面の潤滑油膜が途切れにくくなる。万一、潤滑油膜が
途切れたとしても、特殊皮膜６Ａによって内・外輪２，
３と転動体４との直接接触を防止することができる。
受１の内部には、パーフルオロポリエーテル（ＰＦＰ
Ｅ）などの含ふっ素重合体からなる潤滑油やグリースな
どを塗布または封入する形態で使用してもよい。この場
合には、特殊皮膜６Ａが、軸受内部に塗布されるふっ素
系潤滑剤の濡れ性がきわめて良好であるので、仮に転動
体４の滑りが発生しても、内・外輪２，３や転動体４の
表面の潤滑油膜が途切れにくくなる。万一、潤滑油膜が
途切れたとしても、特殊皮膜６Ａによって内・外輪２，
３と転動体４との直接接触を防止することができる。
【００４８】なお、上記実施形態１で示した転がり軸受
１については、以下のような変形や応用が考えられる。
１については、以下のような変形や応用が考えられる。
【００４９】（１）上記実施形態１では、特殊皮膜６，
６Ａを内輪２の外周面と外輪３の内周面とに形成してい
るが、軌道面のみあるいは全外表面に形成することがで
きる。
６Ａを内輪２の外周面と外輪３の内周面とに形成してい
るが、軌道面のみあるいは全外表面に形成することがで
きる。
【００５０】（２）上記実施形態１では、特殊皮膜６，
６Ａを内・外輪２，３のみに形成しているが、特殊皮膜
６，６Ａの形成対象としては、内・外輪２，３、転動体
４、保持器５のすべて、あるいはいずれか一つ、あるい
は任意の複数にすることができる。但し、保持器５に特
殊皮膜６，６Ａを形成する場合には、全表面あるいはポ
ケット内面のみに形成してもよい。特殊皮膜６，６Ａを
軸受構成要素１〜４のすべてに形成した場合には、腐食
環境での使用に十分耐え得るものにでき、そのため例え
ば母材を耐食性素材とせずに一般的な金属材などとし
て、コスト低減を図ることが可能になる。
６Ａを内・外輪２，３のみに形成しているが、特殊皮膜
６，６Ａの形成対象としては、内・外輪２，３、転動体
４、保持器５のすべて、あるいはいずれか一つ、あるい
は任意の複数にすることができる。但し、保持器５に特
殊皮膜６，６Ａを形成する場合には、全表面あるいはポ
ケット内面のみに形成してもよい。特殊皮膜６，６Ａを
軸受構成要素１〜４のすべてに形成した場合には、腐食
環境での使用に十分耐え得るものにでき、そのため例え
ば母材を耐食性素材とせずに一般的な金属材などとし
て、コスト低減を図ることが可能になる。
【００５１】（３）上記実施形態１では、軸受形式とし
て深溝型玉軸受を引用しているが、その他の種類の転が
り軸受に本発明を適用できる。
て深溝型玉軸受を引用しているが、その他の種類の転が
り軸受に本発明を適用できる。
【００５２】（４）上記実施形態１の転がり軸受１にお
いて、転動体４については、セラミックス材により形成
することができる。このセラミックス材としては、焼結
助剤として、イットリア（Ｙ2Ｏ3）およびアルミナ（Ａ
ｌ2Ｏ3）、その他、適宜、窒化アルミ（ＡｌＮ）、酸化
チタン（ＴｉＯ2）、スピネル（ＭｇＡｌ2Ｏ4）を用い
た窒化けい素（Ｓｉ3Ｎ4）を主体とするものの他、アル
ミナ（Ａｌ2Ｏ3）や炭化けい素（ＳｉＣ）、ジルコニア
（ＺｒＯ2）、窒化アルミ（ＡｌＮ）などを用いること
ができる。
いて、転動体４については、セラミックス材により形成
することができる。このセラミックス材としては、焼結
助剤として、イットリア（Ｙ2Ｏ3）およびアルミナ（Ａ
ｌ2Ｏ3）、その他、適宜、窒化アルミ（ＡｌＮ）、酸化
チタン（ＴｉＯ2）、スピネル（ＭｇＡｌ2Ｏ4）を用い
た窒化けい素（Ｓｉ3Ｎ4）を主体とするものの他、アル
ミナ（Ａｌ2Ｏ3）や炭化けい素（ＳｉＣ）、ジルコニア
（ＺｒＯ2）、窒化アルミ（ＡｌＮ）などを用いること
ができる。
【００５３】（５）上記実施形態１での保持器５につい
ては、合成樹脂材料により形成することができる。その
場合、保持器５の形状については冠形やもみ抜き形とす
るのが好ましい。この合成樹脂材料としては、耐熱性を
有する熱可塑性樹脂、例えば５〜１０ｗｔ％のＰＴＦＥ
（ポリテトラフルオロエチレン）および１０〜２０ｗｔ
％のグラファイトが充填されたＴＰＩ（熱可塑性ポリイ
ミド）樹脂の他、ポリテトラフルオロエチレン（以下、
ＰＴＦＥと略称する）、エチレンテトラフルオロエチレ
ン（ＥＴＦＥ）などのふっ素系樹脂やポリエーテルエー
テルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリフェニレンサルファイド
（ＰＰＳ）、ポリエーテルサルフォン（ＰＥＳ）、ポリ
エーテルニトリル（ＰＥＮ）、ポリアミドイミド（ＰＡ
Ｉ）、ナイロン４６などのエンジニアリングプラスチッ
クスなどが挙げられる。これらの樹脂には、適宜、ガラ
ス繊維などの強化繊維が添加されてもよい。
ては、合成樹脂材料により形成することができる。その
場合、保持器５の形状については冠形やもみ抜き形とす
るのが好ましい。この合成樹脂材料としては、耐熱性を
有する熱可塑性樹脂、例えば５〜１０ｗｔ％のＰＴＦＥ
（ポリテトラフルオロエチレン）および１０〜２０ｗｔ
％のグラファイトが充填されたＴＰＩ（熱可塑性ポリイ
ミド）樹脂の他、ポリテトラフルオロエチレン（以下、
ＰＴＦＥと略称する）、エチレンテトラフルオロエチレ
ン（ＥＴＦＥ）などのふっ素系樹脂やポリエーテルエー
テルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリフェニレンサルファイド
（ＰＰＳ）、ポリエーテルサルフォン（ＰＥＳ）、ポリ
エーテルニトリル（ＰＥＮ）、ポリアミドイミド（ＰＡ
Ｉ）、ナイロン４６などのエンジニアリングプラスチッ
クスなどが挙げられる。これらの樹脂には、適宜、ガラ
ス繊維などの強化繊維が添加されてもよい。
【００５４】（６）上記実施形態１の転がり軸受１で
は、密封装置を持たない開放形のものを例示している
が、密封装置を装着したものとしてもよい。 〔実施形態２〕図５は本発明の実施形態２に係るボール
ねじを示す断面図である。図中、１０は送りねじの全体
を示しており、１１はねじ軸、１２はナット、１３はボ
ール、１４はサーキュレータチューブである。
は、密封装置を持たない開放形のものを例示している
が、密封装置を装着したものとしてもよい。 〔実施形態２〕図５は本発明の実施形態２に係るボール
ねじを示す断面図である。図中、１０は送りねじの全体
を示しており、１１はねじ軸、１２はナット、１３はボ
ール、１４はサーキュレータチューブである。
【００５５】ねじ軸１１は、その外周面に螺旋溝１５が
形成されている。ナット１２は、ねじ軸１１に所要隙間
を介して外嵌されており、その内周面にねじ軸１１の螺
旋溝１５に対応する螺旋溝１６が形成されている。複数
のボール１３は、ねじ軸１１の螺旋溝１５と、ナット１
２の螺旋溝１６との間に介装されている。サーキュレー
タチューブ１４は、ねじ軸１１またはナット１２のいず
れか一方の回転により両螺旋溝１５，１６間に介装され
るボール１３を転動循環させるためのもので、ナット１
２に取り付けられている。
形成されている。ナット１２は、ねじ軸１１に所要隙間
を介して外嵌されており、その内周面にねじ軸１１の螺
旋溝１５に対応する螺旋溝１６が形成されている。複数
のボール１３は、ねじ軸１１の螺旋溝１５と、ナット１
２の螺旋溝１６との間に介装されている。サーキュレー
タチューブ１４は、ねじ軸１１またはナット１２のいず
れか一方の回転により両螺旋溝１５，１６間に介装され
るボール１３を転動循環させるためのもので、ナット１
２に取り付けられている。
【００５６】ねじ軸１１の螺旋溝１５やナット１２の螺
旋溝１６の断面形状は、詳細に図示しないが、ゴチック
アーチ状（二つの曲率中心の異なる円弧をほぼＶ字形に
組み合わせた形状）あるいは円弧状に形成される。
旋溝１６の断面形状は、詳細に図示しないが、ゴチック
アーチ状（二つの曲率中心の異なる円弧をほぼＶ字形に
組み合わせた形状）あるいは円弧状に形成される。
【００５７】このようなボールねじ１０において、ねじ
軸１１、ナット１２、ボール１３ならびにサーキュレー
タチューブ１４は、例えばＪＩＳ規格ＳＵＳ４４０、Ｓ
ＵＳ４４０Ｃ、ＳＵＳ６３０、ＳＵＳ３０４などの金属
で形成される。但し、ボール１３は、例えば窒化けい素
（Ｓｉ3Ｎ4）、アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）や炭化けい素（Ｓ
ｉＣ）、ジルコニア（ＺｒＯ2）などのセラミックスで
形成してもよい。
軸１１、ナット１２、ボール１３ならびにサーキュレー
タチューブ１４は、例えばＪＩＳ規格ＳＵＳ４４０、Ｓ
ＵＳ４４０Ｃ、ＳＵＳ６３０、ＳＵＳ３０４などの金属
で形成される。但し、ボール１３は、例えば窒化けい素
（Ｓｉ3Ｎ4）、アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）や炭化けい素（Ｓ
ｉＣ）、ジルコニア（ＺｒＯ2）などのセラミックスで
形成してもよい。
【００５８】この実施形態２では、ねじ軸１１の螺旋溝
１５とナット１２の螺旋溝１６とに対して、上記実施形
態１で説明した特殊皮膜６，６Ａが被覆される。この場
合の作用、効果については、上記実施形態１とほぼ同様
である。
１５とナット１２の螺旋溝１６とに対して、上記実施形
態１で説明した特殊皮膜６，６Ａが被覆される。この場
合の作用、効果については、上記実施形態１とほぼ同様
である。
【００５９】なお、上記実施形態２において、特殊皮膜
６，６Ａを、ボール１３やサーキュレータチューブ１４
に対して形成してもよい。 〔実施形態３〕図６から図８に本発明の実施形態３に係
る直動型軸受を示している。図６は、直動型玉軸受の上
半分を断面にした側面図、図７は、図６の一部を断面に
した端面図、図８は、図６中のレールの断面図である。
６，６Ａを、ボール１３やサーキュレータチューブ１４
に対して形成してもよい。 〔実施形態３〕図６から図８に本発明の実施形態３に係
る直動型軸受を示している。図６は、直動型玉軸受の上
半分を断面にした側面図、図７は、図６の一部を断面に
した端面図、図８は、図６中のレールの断面図である。
【００６０】図中、２０は直動型玉軸受の全体を示して
おり、２１は円筒形の軸からなるレール、２２は円筒部
材からなる移動体、２３は保持器、２４は転動体として
のボール、２５は環体である。
おり、２１は円筒形の軸からなるレール、２２は円筒部
材からなる移動体、２３は保持器、２４は転動体として
のボール、２５は環体である。
【００６１】レール２１は、その外周面の円周六箇所に
軸方向に沿う直線状の溝２６が全長に及んで設けられて
いる。
軸方向に沿う直線状の溝２６が全長に及んで設けられて
いる。
【００６２】移動体２２は、その内周面の軸方向中間領
域の円周六箇所にレール２１の溝２６に径方向で対向す
るようにそれぞれ負荷循環ボール列および無負荷循環ボ
ール列用の溝２７，２８が設けられている。
域の円周六箇所にレール２１の溝２６に径方向で対向す
るようにそれぞれ負荷循環ボール列および無負荷循環ボ
ール列用の溝２７，２８が設けられている。
【００６３】保持器２３は、移動体２２の内周面の一部
に沿うように湾曲加工された円筒形状をなす。その両端
部分は、環体２５により支持されている。保持器２３の
軸方向中間領域には、平面的に見ると横長の輪状溝２９
が周方向に合計六つ設けられている。輪状溝２９の軸方
向に沿う片方の直線部２９ａは、底が貫通されて底無し
とされ、残り片方の直線部２９ｂは底有りとされてい
る。
に沿うように湾曲加工された円筒形状をなす。その両端
部分は、環体２５により支持されている。保持器２３の
軸方向中間領域には、平面的に見ると横長の輪状溝２９
が周方向に合計六つ設けられている。輪状溝２９の軸方
向に沿う片方の直線部２９ａは、底が貫通されて底無し
とされ、残り片方の直線部２９ｂは底有りとされてい
る。
【００６４】前述のレール２１側と移動体２２側の対向
する二つの直線状の溝２６，２７がそれぞれ対となって
合計六本の負荷用ボール転送路３０を構成している。こ
のボール転送路３０に、保持器２３の輪状溝２９におい
て底無しの直線部２９ａが位置する。また、移動体２２
の溝２８と保持器２３の輪状溝２９において底有りの直
線部２９ｂとが対となって合計六本の無負荷用ボール循
環路３１を構成している。これら、六本のボール転送路
３０それぞれとそれに近い側に隣り合う六本のボール循
環路３１それぞれとが保持器２３の輪状溝２９の周方向
に沿う部分によって一本ずつ連通連結されていて、それ
でボール循環回路を構成している。このため、レール２
１と移動体２２との相対的な軸方向スライド動作に伴っ
て、このボール転送路３０とボール循環路３１との間で
ボール２４群が転動循環されるようになっている。な
お、レール２１の溝２６と移動体２２の溝２７の横断面
は、例えばＶ字形に形成されていて、これら対向する一
対の溝２６，２７に対してボール２４が２点ずつ計四点
で接触するようになっている。
する二つの直線状の溝２６，２７がそれぞれ対となって
合計六本の負荷用ボール転送路３０を構成している。こ
のボール転送路３０に、保持器２３の輪状溝２９におい
て底無しの直線部２９ａが位置する。また、移動体２２
の溝２８と保持器２３の輪状溝２９において底有りの直
線部２９ｂとが対となって合計六本の無負荷用ボール循
環路３１を構成している。これら、六本のボール転送路
３０それぞれとそれに近い側に隣り合う六本のボール循
環路３１それぞれとが保持器２３の輪状溝２９の周方向
に沿う部分によって一本ずつ連通連結されていて、それ
でボール循環回路を構成している。このため、レール２
１と移動体２２との相対的な軸方向スライド動作に伴っ
て、このボール転送路３０とボール循環路３１との間で
ボール２４群が転動循環されるようになっている。な
お、レール２１の溝２６と移動体２２の溝２７の横断面
は、例えばＶ字形に形成されていて、これら対向する一
対の溝２６，２７に対してボール２４が２点ずつ計四点
で接触するようになっている。
【００６５】直動型玉軸受２０において、レール２１、
移動体２２、保持器２３ならびにボール２４は、例えば
ＪＩＳ規格ＳＵＳ４４０、ＳＵＳ４４０Ｃ、ＳＵＳ６３
０、ＳＵＳ３０４などの金属で形成され、環体２５は、
例えばポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、エチ
レンテトラフルオロエチレン（ＥＴＦＥ）などのふっ素
系樹脂やポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポ
リフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、ポリエーテルサ
ルフォン（ＰＥＳ）、ナイロン（ＰＡ）などのエンジニ
アリングプラスチックスで形成される。但し、ボール２
４は、例えば窒化けい素（Ｓｉ3Ｎ4）、アルミナ（Ａｌ
2Ｏ3）や炭化けい素（ＳｉＣ）、ジルコニア（Ｚｒ
Ｏ2）などのセラミックスで形成してもよい。また、保
持器２３は、例えば黄銅やチタン、あるいは上記合成樹
脂などで形成してもよい。
移動体２２、保持器２３ならびにボール２４は、例えば
ＪＩＳ規格ＳＵＳ４４０、ＳＵＳ４４０Ｃ、ＳＵＳ６３
０、ＳＵＳ３０４などの金属で形成され、環体２５は、
例えばポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、エチ
レンテトラフルオロエチレン（ＥＴＦＥ）などのふっ素
系樹脂やポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポ
リフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、ポリエーテルサ
ルフォン（ＰＥＳ）、ナイロン（ＰＡ）などのエンジニ
アリングプラスチックスで形成される。但し、ボール２
４は、例えば窒化けい素（Ｓｉ3Ｎ4）、アルミナ（Ａｌ
2Ｏ3）や炭化けい素（ＳｉＣ）、ジルコニア（Ｚｒ
Ｏ2）などのセラミックスで形成してもよい。また、保
持器２３は、例えば黄銅やチタン、あるいは上記合成樹
脂などで形成してもよい。
【００６６】この実施形態３では、レール２１の溝２
６、移動体２２の溝２７，２８に対して、上記実施形態
１で説明した特殊皮膜６，６Ａが被覆される。この場合
の作用、効果については、上記実施形態１とほぼ同様で
ある。
６、移動体２２の溝２７，２８に対して、上記実施形態
１で説明した特殊皮膜６，６Ａが被覆される。この場合
の作用、効果については、上記実施形態１とほぼ同様で
ある。
【００６７】なお、上記実施形態３において、特殊皮膜
６，６Ａはボール２４や保持器２３に対して形成しても
よい。
６，６Ａはボール２４や保持器２３に対して形成しても
よい。
【００６８】
【発明の効果】請求項１〜６の発明に係る転がり摺動部
品では、耐摩耗性、潤滑性、滑性に優れたＤＬＣ層を金
属母材に対して強固に密着して被覆させるように工夫し
ているから、ＤＬＣ層が剥離しにくくなって耐久性が向
上し、長期にわたる動作の安定化が可能となり、信頼性
向上に大きく貢献できるようになる。
品では、耐摩耗性、潤滑性、滑性に優れたＤＬＣ層を金
属母材に対して強固に密着して被覆させるように工夫し
ているから、ＤＬＣ層が剥離しにくくなって耐久性が向
上し、長期にわたる動作の安定化が可能となり、信頼性
向上に大きく貢献できるようになる。
【００６９】特に、請求項１の発明では、ＤＬＣ層に金
属元素であるタングステン（Ｗ）を含有させてＷ−ＤＬ
Ｃ層にしているから、その最表面と金属母材との間で導
電性を持つことになり、通電される条件で使用される場
合に適したものとなる。
属元素であるタングステン（Ｗ）を含有させてＷ−ＤＬ
Ｃ層にしているから、その最表面と金属母材との間で導
電性を持つことになり、通電される条件で使用される場
合に適したものとなる。
【００７０】また、請求項２の発明のように、Ｗ−ＤＬ
Ｃ層におけるタングステン（Ｗ）や炭素（Ｃ）の含有分
布を規定すれば、Ｗ−ＤＬＣ層の密着性と硬度や耐荷重
性または導電性などとの相関関係を適宜に調整できるよ
うになり、使用目的に応じて汎用性が広がるようにな
る。
Ｃ層におけるタングステン（Ｗ）や炭素（Ｃ）の含有分
布を規定すれば、Ｗ−ＤＬＣ層の密着性と硬度や耐荷重
性または導電性などとの相関関係を適宜に調整できるよ
うになり、使用目的に応じて汎用性が広がるようにな
る。
【００７１】また、請求項３の発明のように、クロム層
とＤＬＣ層との間に両者に対して結合性に優れたタング
ステン・カーバイト（ＷＣ）層を介在させる構造として
も、ＤＬＣ層の密着性が高められる。
とＤＬＣ層との間に両者に対して結合性に優れたタング
ステン・カーバイト（ＷＣ）層を介在させる構造として
も、ＤＬＣ層の密着性が高められる。
【００７２】また、請求項４の発明のように、上記請求
項３の構成を前提として、タングステン・カーバイト
（ＷＣ）層とＤＬＣ層とを交互に積層する階層構造とす
れば、タングステン・カーバイト（ＷＣ）がＤＬＣ層に
含有したものと同様の構造になるので、さらに密着性が
高められる。
項３の構成を前提として、タングステン・カーバイト
（ＷＣ）層とＤＬＣ層とを交互に積層する階層構造とす
れば、タングステン・カーバイト（ＷＣ）がＤＬＣ層に
含有したものと同様の構造になるので、さらに密着性が
高められる。
【００７３】また、請求項５，６の発明のように、上記
請求項４の構成を前提として各タングステン・カーバイ
ト（ＷＣ）層と各ＤＬＣ層の膜厚を規定すれば、ＤＬＣ
層の密着性と硬度や耐荷重性または導電性などとの相関
関係を適宜に調整できるようになり、使用目的に応じて
汎用性が広がる。
請求項４の構成を前提として各タングステン・カーバイ
ト（ＷＣ）層と各ＤＬＣ層の膜厚を規定すれば、ＤＬＣ
層の密着性と硬度や耐荷重性または導電性などとの相関
関係を適宜に調整できるようになり、使用目的に応じて
汎用性が広がる。
【００７４】このように、本発明の転がり摺動部品は、
長期にわたる動作安定化ならびに長寿命化を達成できる
ようになり、真空、高温、清浄雰囲気あるいは貧潤滑環
境などに配置される各種機器に対して好適に用いること
ができる。
長期にわたる動作安定化ならびに長寿命化を達成できる
ようになり、真空、高温、清浄雰囲気あるいは貧潤滑環
境などに配置される各種機器に対して好適に用いること
ができる。
【図１】本発明の実施形態１に係る転がり軸受の上半分
を示す断面図
を示す断面図
【図２】図１の特殊皮膜を拡大した断面図
【図３】図２に示す特殊皮膜の密着性を確認するための
試験結果を示すグラフ
試験結果を示すグラフ
【図４】特殊皮膜の他の例を示す断面図
【図５】本発明の実施形態２に係るボールねじを示す断
面図
面図
【図６】本発明の実施形態３に係る直動型玉軸受の上半
分を断面にした側面図
分を断面にした側面図
【図７】図６の一部を断面にした端面図
【図８】図６中のレールの断面図
１ 転がり軸受 ２ 内輪 ３ 外輪 ４ 転動体 ５ 保持器 ６，６Ａ 特殊皮膜 ７ クロム層 ８Ａ ＤＬＣ層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｆ１６Ｃ 33/56 Ｆ１６Ｃ 33/56 33/62 33/62 Ｆ１６Ｈ 25/24 Ｆ１６Ｈ 25/24 Ｊ Ｅ Ｆターム(参考） 3J101 AA01 AA32 AA42 AA52 AA62 BA10 BA50 BA70 CA31 CA33 DA05 EA06 EA43 EA78 FA04 FA06 FA31 FA44 GA57 GA60 3J104 AA02 AA23 AA65 AA69 AA75 AA78 BA03 CA03 CA11 CA20 DA14 DA17 EA10 4K029 AA02 BA07 BA34 BD04 CA05 DC03 DC05
Claims (6)
- 【請求項１】相手部材との間で相対的に転がり接触また
はすべり接触が生ずる転がり摺動部品であって、 金属母材の表面に、クロム（Ｃｒ）層を介してタングス
テン（Ｗ）を含有したダイアモンドライクカーボン層が
積層されている、ことを特徴とする転がり摺動部品。 - 【請求項２】請求項１の転がり摺動部品において、 前記ダイヤモンドライクカーボン層におけるタングステ
ン（Ｗ）の含有量が、クロム（Ｃｒ）層側へ向けて豊富
となる形態に設定されている、ことを特徴とする転がり
摺動部品。 - 【請求項３】相手部材との間で相対的に転がり接触また
はすべり接触が生ずる転がり摺動部品であって、 金属母材の表面に、クロム（Ｃｒ）層とタングステン・
カーバイト（ＷＣ）層とダイアモンドライクカーボン層
とがこの記載順に積層されている、ことを特徴とする転
がり摺動部品。 - 【請求項４】請求項３の転がり摺動部品において、 前記ダイヤモンドライクカーボン層の表面に、さらにタ
ングステン・カーバイト（ＷＣ）層とダイヤモンドライ
クカーボン層とがこの記載順に交互に所要数積層されて
いる、ことを特徴とする転がり摺動部品。 - 【請求項５】請求項４の転がり摺動部品において、 前記各タングステン・カーバイト（ＷＣ）層の膜厚が、
金属母材側から最表面側へ向けて漸次薄く設定されてい
る、ことを特徴とする転がり摺動部品。 - 【請求項６】請求項４または５の転がり摺動部品におい
て、 前記各ダイヤモンドライクカーボン層の膜厚が、金属母
材側から最表面側へ向けて漸次厚く設定されている、こ
とを特徴とする転がり摺動部品。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001035114A JP2002235748A (ja) | 2001-02-13 | 2001-02-13 | 転がり摺動部品 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001035114A JP2002235748A (ja) | 2001-02-13 | 2001-02-13 | 転がり摺動部品 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002235748A true JP2002235748A (ja) | 2002-08-23 |
Family
ID=18898606
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001035114A Pending JP2002235748A (ja) | 2001-02-13 | 2001-02-13 | 転がり摺動部品 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002235748A (ja) |
Cited By (26)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005072895A1 (ja) * | 2004-01-30 | 2005-08-11 | Mitsubishi Materials Corporation | 表面被覆超硬合金製切削工具、及びその製造方法 |
| JP2005233267A (ja) * | 2004-02-18 | 2005-09-02 | Daido Metal Co Ltd | 内燃機関用すべり軸受 |
| JP2005238436A (ja) * | 2004-01-30 | 2005-09-08 | Mitsubishi Materials Corp | 潤滑性非晶質炭素系被膜がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具 |
| JP2005324306A (ja) * | 2004-05-17 | 2005-11-24 | Mitsubishi Materials Corp | 潤滑性非晶質炭素系被膜がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具 |
| JP2006022882A (ja) * | 2004-07-07 | 2006-01-26 | Koyo Seiko Co Ltd | 駆動軸 |
| JP2006026867A (ja) * | 2004-07-21 | 2006-02-02 | Mitsubishi Materials Corp | 高速重切削で表面被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具 |
| JP2006116620A (ja) * | 2004-10-19 | 2006-05-11 | Mitsubishi Materials Corp | 潤滑性非晶質炭素系被膜がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製超硬ブローチ |
| JP2006116643A (ja) * | 2004-10-21 | 2006-05-11 | Mitsubishi Materials Corp | 潤滑性非晶質炭素系被膜がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製超硬ブローチ |
| JP2006116642A (ja) * | 2004-10-21 | 2006-05-11 | Mitsubishi Materials Corp | 潤滑性非晶質炭素系被膜がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製超硬ブローチ |
| JP2006177522A (ja) * | 2004-12-24 | 2006-07-06 | Kayaba Ind Co Ltd | スクリュネジ機構 |
| JP2006346777A (ja) * | 2005-06-14 | 2006-12-28 | Mitsubishi Materials Corp | 潤滑性被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具 |
| JP2007170467A (ja) * | 2005-12-20 | 2007-07-05 | Teikoku Piston Ring Co Ltd | ピストンリング |
| CN100369742C (zh) * | 2003-11-11 | 2008-02-20 | 姜立平 | 叠层式复合承载球 |
| JP2008533408A (ja) * | 2005-03-18 | 2008-08-21 | ザ ティムケン カンパニー | 油潤滑のない条件下でローラーベアリングを保護する方法、及びその方法を用いてなるベアリング |
| JP2011002096A (ja) * | 2010-08-31 | 2011-01-06 | Jtekt Corp | 駆動軸 |
| JP2011084721A (ja) * | 2009-09-15 | 2011-04-28 | Idemitsu Kosan Co Ltd | 摺動機構 |
| WO2011089858A1 (ja) * | 2010-01-25 | 2011-07-28 | 株式会社神戸製鋼所 | 半導体検査装置用コンタクトプローブピンの基材上にタングステン含有ダイヤモンドライクカーボン皮膜を製造する方法 |
| JP2012063017A (ja) * | 2011-12-26 | 2012-03-29 | Jtekt Corp | 駆動軸 |
| DE102011050448A1 (de) * | 2011-05-18 | 2012-11-22 | Zf Lenksysteme Gmbh | Kugelgewindetrieb |
| WO2012171897A1 (de) * | 2011-06-15 | 2012-12-20 | Schaeffler Technologies AG & Co. KG | Gleitlager |
| WO2013042765A1 (ja) * | 2011-09-22 | 2013-03-28 | Ntn株式会社 | 硬質膜、硬質膜形成体、および転がり軸受 |
| JP2013079445A (ja) * | 2011-09-22 | 2013-05-02 | Ntn Corp | 硬質膜および硬質膜形成体 |
| US8518863B2 (en) | 2009-02-17 | 2013-08-27 | Jtekt Corporation | Sliding member |
| WO2016140225A1 (ja) * | 2015-03-03 | 2016-09-09 | Ntn株式会社 | 極低温環境用転がり軸受 |
| CN105970215A (zh) * | 2016-05-19 | 2016-09-28 | 无锡铠骏机械制造有限公司 | 一种轴承的复合层制备方法及其轴承 |
| WO2019013220A1 (ja) * | 2017-07-12 | 2019-01-17 | Thk株式会社 | 転動装置 |
-
2001
- 2001-02-13 JP JP2001035114A patent/JP2002235748A/ja active Pending
Cited By (42)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100369742C (zh) * | 2003-11-11 | 2008-02-20 | 姜立平 | 叠层式复合承载球 |
| WO2005072895A1 (ja) * | 2004-01-30 | 2005-08-11 | Mitsubishi Materials Corporation | 表面被覆超硬合金製切削工具、及びその製造方法 |
| JP2005238436A (ja) * | 2004-01-30 | 2005-09-08 | Mitsubishi Materials Corp | 潤滑性非晶質炭素系被膜がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具 |
| JP4530138B2 (ja) * | 2004-01-30 | 2010-08-25 | 三菱マテリアル株式会社 | 潤滑性非晶質炭素系被膜がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具 |
| US7655299B2 (en) | 2004-01-30 | 2010-02-02 | Mitsubishi Materials Corporation | Surface-coated cutting tool made of hard metal and manufacturing method for same |
| JP2005233267A (ja) * | 2004-02-18 | 2005-09-02 | Daido Metal Co Ltd | 内燃機関用すべり軸受 |
| JP2005324306A (ja) * | 2004-05-17 | 2005-11-24 | Mitsubishi Materials Corp | 潤滑性非晶質炭素系被膜がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具 |
| JP4530139B2 (ja) * | 2004-05-17 | 2010-08-25 | 三菱マテリアル株式会社 | 潤滑性非晶質炭素系被膜がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具 |
| JP2006022882A (ja) * | 2004-07-07 | 2006-01-26 | Koyo Seiko Co Ltd | 駆動軸 |
| JP4530142B2 (ja) * | 2004-07-21 | 2010-08-25 | 三菱マテリアル株式会社 | 高速重切削で表面被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具 |
| JP2006026867A (ja) * | 2004-07-21 | 2006-02-02 | Mitsubishi Materials Corp | 高速重切削で表面被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具 |
| JP2006116620A (ja) * | 2004-10-19 | 2006-05-11 | Mitsubishi Materials Corp | 潤滑性非晶質炭素系被膜がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製超硬ブローチ |
| JP4645943B2 (ja) * | 2004-10-19 | 2011-03-09 | 三菱マテリアル株式会社 | 潤滑性非晶質炭素系被膜がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製超硬ブローチ |
| JP2006116642A (ja) * | 2004-10-21 | 2006-05-11 | Mitsubishi Materials Corp | 潤滑性非晶質炭素系被膜がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製超硬ブローチ |
| JP4649946B2 (ja) * | 2004-10-21 | 2011-03-16 | 三菱マテリアル株式会社 | 潤滑性非晶質炭素系被膜がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製超硬ブローチ |
| JP2006116643A (ja) * | 2004-10-21 | 2006-05-11 | Mitsubishi Materials Corp | 潤滑性非晶質炭素系被膜がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製超硬ブローチ |
| JP4645944B2 (ja) * | 2004-10-21 | 2011-03-09 | 三菱マテリアル株式会社 | 潤滑性非晶質炭素系被膜がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製超硬ブローチ |
| JP2006177522A (ja) * | 2004-12-24 | 2006-07-06 | Kayaba Ind Co Ltd | スクリュネジ機構 |
| JP2008533408A (ja) * | 2005-03-18 | 2008-08-21 | ザ ティムケン カンパニー | 油潤滑のない条件下でローラーベアリングを保護する方法、及びその方法を用いてなるベアリング |
| JP2006346777A (ja) * | 2005-06-14 | 2006-12-28 | Mitsubishi Materials Corp | 潤滑性被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具 |
| JP4711177B2 (ja) * | 2005-06-14 | 2011-06-29 | 三菱マテリアル株式会社 | 潤滑性被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具 |
| JP2007170467A (ja) * | 2005-12-20 | 2007-07-05 | Teikoku Piston Ring Co Ltd | ピストンリング |
| US8518863B2 (en) | 2009-02-17 | 2013-08-27 | Jtekt Corporation | Sliding member |
| JP2011084721A (ja) * | 2009-09-15 | 2011-04-28 | Idemitsu Kosan Co Ltd | 摺動機構 |
| WO2011089858A1 (ja) * | 2010-01-25 | 2011-07-28 | 株式会社神戸製鋼所 | 半導体検査装置用コンタクトプローブピンの基材上にタングステン含有ダイヤモンドライクカーボン皮膜を製造する方法 |
| JP2011149897A (ja) * | 2010-01-25 | 2011-08-04 | Kobe Steel Ltd | 半導体検査装置用コンタクトプローブピンの基材上にタングステン含有ダイヤモンドライクカーボン皮膜を製造する方法 |
| TWI418801B (zh) * | 2010-01-25 | 2013-12-11 | Kobe Steel Ltd | Method for manufacturing a tungsten-containing carbon-coated coating on a substrate for a semiconductor inspection device using a probe probe pin |
| JP2011002096A (ja) * | 2010-08-31 | 2011-01-06 | Jtekt Corp | 駆動軸 |
| DE102011050448A1 (de) * | 2011-05-18 | 2012-11-22 | Zf Lenksysteme Gmbh | Kugelgewindetrieb |
| US9062713B2 (en) | 2011-06-15 | 2015-06-23 | Schaeffler Technologies AG & Co. KG | Slide bearing |
| WO2012171897A1 (de) * | 2011-06-15 | 2012-12-20 | Schaeffler Technologies AG & Co. KG | Gleitlager |
| JP2013079445A (ja) * | 2011-09-22 | 2013-05-02 | Ntn Corp | 硬質膜および硬質膜形成体 |
| WO2013042765A1 (ja) * | 2011-09-22 | 2013-03-28 | Ntn株式会社 | 硬質膜、硬質膜形成体、および転がり軸受 |
| CN103814150A (zh) * | 2011-09-22 | 2014-05-21 | Ntn株式会社 | 硬质膜、硬质膜形成体及滚动轴承 |
| CN103814150B (zh) * | 2011-09-22 | 2015-11-25 | Ntn株式会社 | 硬质膜、硬质膜形成体及滚动轴承 |
| US9347491B2 (en) | 2011-09-22 | 2016-05-24 | Ntn Corporation | Hard film, hard film formed body, and rolling bearing |
| JP2012063017A (ja) * | 2011-12-26 | 2012-03-29 | Jtekt Corp | 駆動軸 |
| WO2016140225A1 (ja) * | 2015-03-03 | 2016-09-09 | Ntn株式会社 | 極低温環境用転がり軸受 |
| CN105970215A (zh) * | 2016-05-19 | 2016-09-28 | 无锡铠骏机械制造有限公司 | 一种轴承的复合层制备方法及其轴承 |
| WO2019013220A1 (ja) * | 2017-07-12 | 2019-01-17 | Thk株式会社 | 転動装置 |
| JPWO2019013220A1 (ja) * | 2017-07-12 | 2020-05-07 | Thk株式会社 | 転動装置 |
| JP7016365B2 (ja) | 2017-07-12 | 2022-02-21 | Thk株式会社 | 転動装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2002235748A (ja) | 転がり摺動部品 | |
| US6994474B2 (en) | Rolling sliding member and rolling apparatus | |
| JPWO2006080527A1 (ja) | 薄肉軸受 | |
| JPH10103361A (ja) | 転がり軸受 | |
| JP2003214444A (ja) | 転がり摺動部材および転動装置 | |
| JP3821976B2 (ja) | 通電用途向転がり軸受 | |
| WO2016140225A1 (ja) | 極低温環境用転がり軸受 | |
| JP3761731B2 (ja) | 転がり軸受 | |
| JP2002349577A (ja) | 転がり摺動部材 | |
| JP2007155022A (ja) | 転動装置 | |
| JP3811596B2 (ja) | 転がり運動部品 | |
| JPH10205541A (ja) | 転がり軸受 | |
| JPH07233818A (ja) | 転がり軸受 | |
| JP2002227845A (ja) | 転がり軸受 | |
| JP2000136828A (ja) | 転がり軸受 | |
| JP2004076756A (ja) | すべり軸受 | |
| JP3535896B2 (ja) | 軸受部品 | |
| JP2003222143A (ja) | 転がり摺動部材 | |
| JP2006046373A (ja) | 転がり軸受 | |
| JP2000205280A (ja) | 転がり摺動部品 | |
| JP2000240667A (ja) | 転がり軸受 | |
| JP3654990B2 (ja) | セラミック軸受 | |
| JP3160742B2 (ja) | ボールねじ | |
| JP3761727B2 (ja) | 金属潤滑膜および転がり軸受 | |
| JP2001254803A (ja) | ボールねじ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041102 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20071101 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071106 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080107 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080520 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080722 |
|
| A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20080728 |
|
| A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20080822 |