JP2000136828A - 転がり軸受 - Google Patents
転がり軸受Info
- Publication number
- JP2000136828A JP2000136828A JP10312868A JP31286898A JP2000136828A JP 2000136828 A JP2000136828 A JP 2000136828A JP 10312868 A JP10312868 A JP 10312868A JP 31286898 A JP31286898 A JP 31286898A JP 2000136828 A JP2000136828 A JP 2000136828A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rolling
- rolling element
- bearing
- fluorine
- rolling bearing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2206/00—Materials with ceramics, cermets, hard carbon or similar non-metallic hard materials as main constituents
- F16C2206/02—Carbon based material
- F16C2206/04—Diamond like carbon [DLC]
Landscapes
- Rolling Contact Bearings (AREA)
Abstract
潤滑性ならびに耐摩耗性を向上させて、長寿命化を図る
こと。 【解決手段】ふっ素系潤滑剤を用いる転がり軸受Aにお
いて、内・外輪1,2の軌道面あるいは転動体3の表面
の少なくともいずれかに、ダイヤモンドライクカーボン
膜5が形成されている。ふっ素系潤滑剤はダイヤモンド
ライクカーボン膜5に対するぬれ性が良いから、転動体
3が転がらずに滑ったとしてもふっ素系潤滑剤の油膜が
途切れにくくなる。仮に途切れたとしても、きわめて硬
質なダイヤモンドライクカーボン膜5で転動、摺動部位
が保護されているから、内・外輪1,2と転動体3との
直接接触が回避される。
Description
る。この転がり軸受は、例えば真空、高温、清浄雰囲気
などに配置される各種機器に用いられる。
は、ふっ素系のオイル、グリースあるいは固体状やゲル
状の含ふっ素高分子などの潤滑剤が用いられる。
剤は、金属材に対する濡れ性つまり親和性が悪いため
に、転動体が転がらずに滑ったときに軌道輪や転動体の
表面の潤滑油膜が途切れることがあり、軌道輪と転動体
とが直接接触して摩耗しやすくなる。
て、軌道輪や転動体の表面の潤滑性ならびに耐摩耗性を
向上させて、長寿命化を図ることを目的としている。
転がり軸受は、ふっ素系潤滑剤を用いるもので、軌道輪
の軌道面あるいは転動体表面の少なくともいずれかに、
ダイヤモンドライクカーボン膜が形成されている。
っ素系潤滑剤を用いるもので、軌道輪の軌道面あるいは
転動体表面の少なくともいずれかに、ふっ素を含有した
ダイヤモンドライクカーボン膜が形成されている。
て濡れ性が良いダイヤモンドライクカーボン膜を軌道輪
あるいは転動体の少なくともいずれか一方に形成してい
るから、仮に転動体の滑りが発生しても、軌道輪や転動
体の表面の潤滑油膜が途切れにくくなるとともに、万一
途切れたとしても、軌道輪と転動体との直接接触を防止
することができる。
態に基づいて説明する。
軸受の上半分の縦断面図である。図中、Aは転がり軸受
の全体を示しており、深溝型玉軸受と呼ばれる形式を例
示している。この転がり軸受Aは、内輪1と、外輪2
と、球状の転動体3と、波形の保持器4とを備えてお
り、転動体3が配置されている軸受内部空間には、ふっ
素系潤滑剤が塗布または充填されている。このふっ素系
潤滑剤としては、パーフルオロポリエーテル(PFP
E)などの含ふっ素重合体からなる潤滑油やグリースな
どが挙げられる。
に保持器4は、各種の金属材で形成される。この金属材
としては、例えばJIS規格SUS440Cなどのマル
テンサイト系ステンレス鋼、例えばJIS規格SUS6
30などの析出硬化型ステンレス鋼に適当な硬化熱処理
を施した金属材などが、JIS規格SUS304などの
オーステナイト系ステンレス鋼などが挙げられる。
2の内周面には、ダイヤモンドライクカーボン(Dia
mond Like Carbon:DLC)膜5が形
成されている。このDLC膜5は、例えば化学蒸着(C
VD)法、プラズマCVD法、イオンビーム形成法、イ
オン化蒸着法などにより形成することができる。
合には、例えばCH4などの炭素源またはこれに水素な
どを混合した混合ガスに、必要に応じてキャリアガスと
して適量の不活性ガスを加え、これを1〜10-3Tor
r程度で、200〜1100℃程度に加熱された対象部
品に対して流通する。これにより、対象部品に炭素が付
着されてDLC膜5が生成されることになる。このと
き、DLC膜5の膜厚は、例えば0.1〜1μm程度に
管理され、また、表面粗さは、Ra(中心線平均粗さ)
で0.01μm以下に管理される。なお、DLC膜5を
対象部品に部分的に形成する場合には、適宜マスキング
を施せばよい。
場合には、母材そのものに含まれる炭素に対して上述し
たDLC膜5の炭素が結合することになり、そのため
に、DLC膜5の母材に対する密着性がきわめて高くな
る。しかも、DLC膜5を構成する炭素原子相互の結合
力が強いので、DLC膜5の摩耗や損傷が発生しにくく
なる。また、DLC膜5が天然ダイヤモンドと近似する
レベルに硬質であって表面平滑性に優れているから、転
動体3の転動動作がきわめて円滑になり、摩耗が生じに
くくなる。
れるふっ素系潤滑剤の濡れ性がきわめて良好になるの
で、仮に転動体3の滑りが発生しても、内・外輪1,2
や転動体3の表面の潤滑油膜が途切れにくくなるととも
に、万一途切れたとしても、内・外輪1,2と転動体3
との直接接触を防止することができる。
要素の所要部位にふっ素系潤滑剤に対して濡れ性に優れ
るDLC膜5を形成しているから、転がり軸受Aの長期
にわたる動作安定化を達成できるとともに、長寿命化を
達成できるようになる。しかも、このような転がり軸受
Aであれば、真空、高温、清浄雰囲気となる半導体製造
機器、あるいはそれと同様の雰囲気に配置される機器に
好適に用いることができる。
れるものではなく、種々な応用や変形が考えられる。
て深溝型玉軸受を引用しているが、その他の種類の転が
り軸受に本発明を適用できる。
内・外輪1,2のみに形成しているが、図2に示すよう
に転動体3のみに形成してもよいし、また、図3に示す
ように軸受構成要素1〜4のすべてに形成することがで
きる。また、上記実施形態ではDLC膜5を内輪1の外
周面と外輪2の内周面とに形成しているが、軌道面のみ
あるいは全外表面に形成することができる。また、保持
器4にDLC膜5を形成する場合には、全表面に形成し
ても、あるいはポケット内面のみに形成してもよい。特
に、DLC膜5を軸受構成要素1〜4のすべてに形成し
た場合には、腐食環境での使用に十分耐え得るものにで
き、そのため例えば母材を耐食性素材とせずに一般的な
金属材などとして、コスト低減を図ることが可能にな
る。
ふっ素を含有させてもよい。この場合、膜中に含有する
ふっ素により、軸受内部に使用されるふっ素系潤滑剤の
濡れ性がさらに良好となり、さらに潤滑油膜が途切れに
くくなる。このようなふっ素含有のDLC膜5を得るに
は、上記実施形態でのCVD法での供給ガスにふっ化金
属(例えばシリコンにふっ素を化合させたものなど)を
混合させた状態としたり、あるいはDLC膜5を形成し
た後で当該DLC膜5を例えばプラズマふっ化金属雰囲
気中で処理することが考えられる。なお、ふっ素はハロ
ゲン系のため、単体では腐食性が強く、装置類を損傷す
るなど扱いにくいので、CVD法の供給ガスにはシリコ
ンなどと化合させてふっ化金属としたものを用いたほう
がよい。
おいて、転動体3については、セラミックス材により形
成することができる。このセラミックス材としては、焼
結助剤として、イットリア(Y2O3)およびアルミナ
(Al2O3)、その他、適宜、窒化アルミ(AlN)、
酸化チタン(TiO2)、スピネル(MgAl2O4)を
用いた窒化けい素(Si3N4)を主体とするものの他、
アルミナ(Al2O3)や炭化けい素(SiC)、ジルコ
ニア(ZrO2)、窒化アルミ(AlN)などを用いる
ことができる。また、保持器4については、合成樹脂材
料により形成することができる。その場合、保持器4の
形状については冠形やもみ抜き形とするのが好ましい。
この合成樹脂材料としては、耐熱性を有する熱可塑性樹
脂、例えば5〜10wt%のPTFE(ポリテトラフル
オロエチレン)および10〜20wt%のグラファイト
が充填されたTPI(熱可塑性ポリイミド)樹脂の他、
ポリテトラフルオロエチレン(以下、PTFEと略称す
る)、エチレンテトラフルオロエチレン(ETFE)な
どのふっ素系樹脂やポリエーテルエーテルケトン(PE
EK)、ポリフェニレンサルファイド(PPS)、ポリ
エーテルサルフォン(PES)、ポリエーテルニトリル
(PEN)、ポリアミドイミド(PAI)、ナイロン4
6などのエンジニアリングプラスチックスなどが挙げら
れる。これらの樹脂には、適宜、ガラス繊維などの強化
繊維が添加されてもよい。
として密封装置を持たない開放形のものを例示している
が、密封装置を装着したものとしてもよい。
軸受では、仮に転動体の滑りが発生しても、軌道輪や転
動体の表面のふっ素系潤滑油膜が途切れにくくなるとと
もに、万一途切れたとしても、軌道輪と転動体との直接
接触を防止できるようになるから、回転トルクの安定化
ならびに耐摩耗性を向上できるなど、長寿命化に貢献で
きるようになる。
素を含有させていれば、膜中に含有するふっ素により、
軸受内部に使用されるふっ素系潤滑剤の濡れ性が上記請
求項1よりもさらに良好となり、潤滑油膜をさらに途切
れにくくでき、潤滑性の一層の向上に貢献できる。
期にわたる動作安定化ならびに長寿命化を達成できるよ
うになり、真空、高温、清浄雰囲気などに配置される各
種機器に対して好適に用いることができる。
分の縦断面図
半分の縦断面図
受の上半分の縦断面図
Claims (2)
- 【請求項1】ふっ素系潤滑剤を用いる転がり軸受であっ
て、軌道輪の軌道面あるいは転動体表面の少なくともい
ずれかに、ダイヤモンドライクカーボン膜が形成されて
いる、ことを特徴とする転がり軸受。 - 【請求項2】ふっ素系潤滑剤を用いる転がり軸受であっ
て、軌道輪の軌道面あるいは転動体表面の少なくともい
ずれかに、ふっ素を含有したダイヤモンドライクカーボ
ン膜が形成されている、ことを特徴とする転がり軸受。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10312868A JP2000136828A (ja) | 1998-11-04 | 1998-11-04 | 転がり軸受 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10312868A JP2000136828A (ja) | 1998-11-04 | 1998-11-04 | 転がり軸受 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000136828A true JP2000136828A (ja) | 2000-05-16 |
Family
ID=18034413
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10312868A Pending JP2000136828A (ja) | 1998-11-04 | 1998-11-04 | 転がり軸受 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000136828A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001033091A1 (en) * | 1999-10-29 | 2001-05-10 | The Timken Company | Antifriction bearing for use in a corrosive environment |
JP2002089557A (ja) * | 2000-07-13 | 2002-03-27 | Nsk Ltd | リニアガイド |
DE10259003A1 (de) * | 2002-12-16 | 2004-06-24 | Myonic Gmbh | Wälzlager mit integriertem Schmiermaterial |
EP1262674A3 (en) * | 2001-05-29 | 2006-10-04 | NSK Ltd. | Rolling sliding member and rolling apparatus |
CN1329493C (zh) * | 2003-05-27 | 2007-08-01 | 日产自动车株式会社 | 滚动元件 |
JP2010164038A (ja) * | 2009-01-19 | 2010-07-29 | Daikin Ind Ltd | 膨張機 |
WO2016011223A1 (en) * | 2014-07-16 | 2016-01-21 | Nsk Americas, Inc. | Apparatuses for and methods of imparting a laser surface tretmant to an exposed surface of a bearing component for improving lubricity; corresponding bearing component |
-
1998
- 1998-11-04 JP JP10312868A patent/JP2000136828A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001033091A1 (en) * | 1999-10-29 | 2001-05-10 | The Timken Company | Antifriction bearing for use in a corrosive environment |
JP2002089557A (ja) * | 2000-07-13 | 2002-03-27 | Nsk Ltd | リニアガイド |
EP1262674A3 (en) * | 2001-05-29 | 2006-10-04 | NSK Ltd. | Rolling sliding member and rolling apparatus |
DE10259003A1 (de) * | 2002-12-16 | 2004-06-24 | Myonic Gmbh | Wälzlager mit integriertem Schmiermaterial |
CN1329493C (zh) * | 2003-05-27 | 2007-08-01 | 日产自动车株式会社 | 滚动元件 |
JP2010164038A (ja) * | 2009-01-19 | 2010-07-29 | Daikin Ind Ltd | 膨張機 |
WO2016011223A1 (en) * | 2014-07-16 | 2016-01-21 | Nsk Americas, Inc. | Apparatuses for and methods of imparting a laser surface tretmant to an exposed surface of a bearing component for improving lubricity; corresponding bearing component |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9551419B2 (en) | Coated sliding element | |
JP2002235748A (ja) | 転がり摺動部品 | |
JP2991834B2 (ja) | 転がり軸受 | |
KR100281621B1 (ko) | 무리테이너형 구름 베어링 | |
JP2000136828A (ja) | 転がり軸受 | |
JP3821976B2 (ja) | 通電用途向転がり軸受 | |
JP2007192354A (ja) | 転がり軸受 | |
JP3761731B2 (ja) | 転がり軸受 | |
JP2004036788A (ja) | 転動装置及び転動装置用セパレータ | |
JPH06337016A (ja) | 耐食性転がり軸受 | |
JP2008256197A (ja) | 転がり軸受及びその製造方法 | |
JPH07233818A (ja) | 転がり軸受 | |
JP2006046373A (ja) | 転がり軸受 | |
JP3654990B2 (ja) | セラミック軸受 | |
JP3535896B2 (ja) | 軸受部品 | |
JP3761718B2 (ja) | 転がり軸受 | |
JP2003222143A (ja) | 転がり摺動部材 | |
JP3160742B2 (ja) | ボールねじ | |
JP3931913B2 (ja) | 転がり軸受 | |
JP3887714B2 (ja) | 転がり軸受 | |
JPH06159369A (ja) | 耐食性転がり軸受 | |
WO2017078151A1 (ja) | 極低温環境用転がり軸受 | |
WO2017098886A1 (ja) | 転がり軸受 | |
JP2004068864A (ja) | 転がり軸受 | |
KR20230048869A (ko) | 극저온 회전 베어링 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050622 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050628 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050825 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20051220 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060215 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060323 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20060329 |
|
A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20060714 |