JP2002229220A5 - - Google Patents

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【特許請求の範囲】
【請求項１】 化学増幅型レジスト用樹脂の良溶媒中で当該樹脂の原料単量
体を重合させて得られた反応溶液と、炭素数１〜３のアルコールを接触させ、析
出した当該樹脂を濾別し、得られた樹脂湿粉を炭素数１〜３のアルコール中で３
０〜７０℃の温度において１分間以上分散させた後、当該樹脂を濾別する化学増
幅型レジスト用樹脂の精製方法。
【請求項２】 炭素数１〜３のアルコールがメタノールである請求項１記載の化学増幅型レジスト用樹脂の精製方法。
【請求項３】 化学増幅型レジスト用樹脂が、（メタ）アクリル酸エステル
単量体単位を５０質量％以上含む（共）重合体である請求項１または請求項２に記載の化学増幅型レジスト用樹脂の精製方法。
【請求項４】 請求項１〜３のいずれかに記載の化学増幅型レジスト用樹脂の精製方法により得られた嵩密度が０．１５ｇ／ｃｍ3以上の化学増幅型レジスト用樹脂。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
すなわち本発明は、化学増幅型レジスト用樹脂の良溶媒中で当該樹脂の原料単量体を重合させて得られた反応溶液と、炭素数１〜３のアルコールを接触させ、析出した当該樹脂を濾別し、得られた樹脂湿粉を炭素数１〜３のアルコール中で３０〜７０℃の温度において１分間以上分散させた後、当該樹脂を濾別する化学増幅型レジスト用樹脂の精製方法である。
また本発明は、この際、当該樹脂湿粉を炭素数１〜３のアルコール中で３０〜７０℃の温度において１分間以上分散させた後に当該樹脂を濾別する操作を２回以上繰り返し行うことが好ましい。
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