JP2002204128A - 発振回路および発振用集積回路 - Google Patents

発振回路および発振用集積回路

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JP2002204128A
JP2002204128A JP2001158865A JP2001158865A JP2002204128A JP 2002204128 A JP2002204128 A JP 2002204128A JP 2001158865 A JP2001158865 A JP 2001158865A JP 2001158865 A JP2001158865 A JP 2001158865A JP 2002204128 A JP2002204128 A JP 2002204128A
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Eiichi Hasegawa
栄一 長谷川
Masahisa Kimura
正久 木村
Kazuhisa Oyama
和久 大山
Kunihiko Tsukagoshi
邦彦 塚越
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Nippon Precision Circuits Inc
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    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03KPULSE TECHNIQUE
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    • H03K3/02Generators characterised by the type of circuit or by the means used for producing pulses
    • H03K3/027Generators characterised by the type of circuit or by the means used for producing pulses by the use of logic circuits, with internal or external positive feedback
    • H03K3/03Astable circuits
    • H03K3/0307Stabilisation of output, e.g. using crystal
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03BGENERATION OF OSCILLATIONS, DIRECTLY OR BY FREQUENCY-CHANGING, BY CIRCUITS EMPLOYING ACTIVE ELEMENTS WHICH OPERATE IN A NON-SWITCHING MANNER; GENERATION OF NOISE BY SUCH CIRCUITS
    • H03B5/00Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input
    • H03B5/30Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator
    • H03B5/32Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator being a piezoelectric resonator
    • H03B5/36Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator being a piezoelectric resonator active element in amplifier being semiconductor device

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 発振出力の微弱な高周波数発振用の圧電振動
子に適する発振回路を提供し、発振回路の高速化を図る
こと、また、そのような発振回路を構成可能な発振用集
積回路を提供することにある。 【解決手段】 CMOSインバータ1、2、3を縦続接
続して増幅部4を構成し、最前段から最後段へと各CM
OSインバータを構成するMOSトランジスタのチャネ
ル幅を順に小さくし、高周波数領域における増幅部4の
増幅率を改善し、水晶振動子XLからの微弱な発振出力
の増幅を可能とするとともに、フィルタ回路5によって
負性抵抗のピークの周波数を従来よりも高い周波数領域
において実現可能とし、高周波数の発振動作を可能とす
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、水晶振動子等の圧
電振動子の発振出力を増幅する増幅部を備えた発振回路
および発振用集積回路に関するものであり、特に高周波
数動作に適した発振回路および発振用集積回路に関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】従来、水晶振動子等の圧電振動子の発振
出力を増幅する増幅部を備えた発振回路には例えば、図
17に示すようなものがある。これは、水晶振動子XL
を増幅部としてのCMOSインバータINVの入力端子
in、出力端子out間に接続し、また、同入力端子、
出力端子間に帰還抵抗Rfを接続し、さらに、これら入
力端子in、出力端子outをそれぞれの負荷容量とな
る容量素子CG、CDを介して電源端子VSS(0V)
に接続したものであった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】現在、発振回路では、
動作周波数の高周波化が望まれているが、動作周波数が
上がるにつれて水晶振動子のサイズが小型化し、これに
伴って発振出力、すなわち水晶振動子に流れる水晶電流
が微弱となる。このため、図17の構成においては、3
次オーバートーンの発振周波数で100Hzの水晶振動
子までは発振可能であるが、さらなる高周波数領域、例
えば120MHzを超える周波数領域では、増幅部の増
幅率が小さく発振出力を十分増幅できず、発振回路とし
て動作させることができなかった。
【0004】また、3次オーバートーンより高次のオー
バートーンにて高周波数化をするにしても次のような問
題がある。図17の構成は水晶振動子XL以外の構成は
集積化され、図18の等価回路に示すように、水晶振動
子XLとその他の集積化された構成要素とをそれぞれ、
抵抗RX及びインダクタLXのなす直列回路と、負性抵
抗RL及びキャパシタCLのなす直列回路として表すこ
とができる。負性抵抗RLの周波数特性は図19に示す
ようになり、同図においては縦軸に抵抗値をとり、横軸
に周波数をとって3次オーバートーン発振の負性抵抗R
Lを示してある。また、RO1、RO3、RO5はそれ
ぞれ基本波、3次オーバートオーン、5次オーバートオ
ーンの水晶振動子の抵抗成分の値を示してある。負性抵
抗RLが、抵抗RXのそれより負の方向に大きければ、
発振回路として動作する。図17の構成に3次オーバー
トーンの発振周波数として30MHzの水晶振動子を用
いた場合、図19に示すように負性抵抗RLは、3次オ
ーバートーンの発振周波数30MHz近傍をピークとし
て、周波数が上がるに従ってその値が小さくなる。例え
ば、5次のオーバートーンの発振周波数50MHzでは
負性抵抗RLは水晶振動子の抵抗成分Rのそれより小さ
く、発振回路として動作させることができない。このた
め、図20に示すように容量素子CDと電源端子VSS
との間にコイルLADDと容量素子CADDとを接続して5次
オーバートーンを行わせるものがあったが、外付けのコ
イルLADDと容量素子CADDとを設ける必要があり、回路
面積の増大、これら付加素子の値の制御の手間等の問題
がある。
【0005】そこで、本発明では、発振出力の微弱な高
周波数発振用の圧電振動子に適する発振回路を提供し、
発振回路の高速化を図ること、また、そのような発振回
路を構成可能な発振用集積回路を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明の発振回路では、
縦続接続された複数のCMOSインバータからなる増幅
部と、上記増幅部の入力端子と出力端子との間に接続さ
れた圧電振動子と、上記増幅部の入力端子と出力端子と
の間に接続された帰還抵抗と、上記増幅部の入力端子と
特定電位の端子との間に接続された第1の負荷容量と、
上記増幅部の出力端子と特定電位の端子との間に接続さ
れた第2の負荷容量と、上記増幅部に設けられたフィル
タ回路とを備え、上記各CMOSインバータのゲート面
積を前段から後段にいくに従って次小さくしてある。
【0007】上記フィルタ回路は、上記増幅部と上記帰
還抵抗と上記第1、第2の負荷容量とのなす回路の負性
抵抗が所定の周波数においてピークとなるように定める
ものであることが好ましい。
【0008】上記フィルタ回路は、上記増幅部の入力端
子と出力端子との間の信号路上であって、上記複数のC
MOSインバータの内の少なくとも1つのCMOSイン
バータの入力端子に容量素子を接続し、当該容量素子を
接続したCMOSインバータの入力端子と出力端子との
間には抵抗を接続してなることが好ましい。
【0009】上記フィルタ回路は、上記増幅部の入力端
子と上記増幅部の最前段のCMOSインバータの入力端
子との間に接続された容量素子と、上記最前段のCMO
Sインバータの入力端子と出力端子との間に接続された
抵抗とからなることが好ましい。
【0010】上記増幅部は各CMOSインバータのチャ
ネル長を共通としてチャネル幅を前段から後段にいくに
従って小さくしてあることが好ましい。
【0011】また、本発明の発振回路は、特に第1、第
2、第3のCMOSインバータを縦続接続し、当該第
1、第2、第3のCMOSインバータのゲート面積を前
段から後段にいくに従って小さくしてなる増幅部と、上
記第1のCMOSインバータの入力端子に一方の端子を
接続し、他方の端子を上記増幅部の入力端子とした容量
素子と、上記第1のCMOSインバータの入力端子と出
力端子との間に接続された抵抗とからなるフィルタ回路
と、上記増幅部の入力端子と出力端子との間に接続され
た圧電振動子と、上記増幅部の入力端子と出力端子との
間に接続された帰還抵抗と、上記増幅部の入力端子と特
定電位の端子との間に接続された第1の負荷容量と、上
記増幅部の出力端子と特定電位の端子との間に接続され
た第2の負荷容量とを備えることが好ましい。
【0012】また、上記各発振回路は、上記第1の負荷
容量を接続した上記増幅器の入力端子と上記特定電位と
のなす第1の信号路上および上記第2の負荷容量を接続
した上記増幅器の出力端子と上記特定電位とのなす第2
の信号路上の少なくとも一方に上記圧電振動子に流れる
電流を抑える抵抗を接続することも好ましい。
【0013】また、上記各発振回路は、上記増幅部の各
CMOSインバータを構成する各MOSトランジスタの
ソース及び特定電位の端子は電流制限素子を介して電源
電位に接続することが好ましい。上記定電流制限素子は
MOSトランジスタの複数個を並列に接続してなり、当
該複数の他のMOSトランジスタは上記出力端子から出
力される発振出力の初期状態にあっては全てオンとさ
れ、上記発振出力が安定した状態となるのに従って段階
的にオフとされることも好ましい。
【0014】また、上記発振回路は、上記圧電振動子は
水晶振動子であり、オーバートーン発振を行うことも好
ましい。
【0015】また、上記各発振回路は、上記増幅部の最
後段から1つ前段のCMOSインバータの出力端子に
は、後段回路への出力信号を出力する出力端子が接続さ
れていることが好ましい。
【0016】また、上記各発振回路は、上記増幅部の最
後段から1つ前段のCMOSインバータの入力端子に
は、差動増幅回路の一方の入力端子が接続され、当該C
MOSインバータの出力端子には、上記差動増幅回路の
他方の入力端子が接続され、上記差動増幅回路の出力端
子から後段回路への出力信号が出力されることが好まし
い。
【0017】また、上記発振回路の圧電振動子を除く他
の構成要素を集積化した発振用集積回路装置を構成する
ことも好ましい。特に上記各容量素子は金属間容量であ
り、上記各抵抗は薄膜抵抗であることが好ましい。
【0018】
【発明の実施の形態】次に本発明の発振回路および発振
用集積回路について図1に示す第1の実施例にそって説
明する。同図において圧電振動子としての本例の発振用
集積回路に外付けされる水晶振動子XLは、本例では3
倍のオーバートーンを行うものである。圧電振動子とし
ては、これに限らず、SAW(Surface Acoustic Wav
e)振動子等であっても良く、以降に述べる各実施例に
おいても同様である。最前段から最後段へCMOSイン
バータ1、2、3を順次縦続接続して増幅部4を構成す
る。CMOSインバータ1、2、3はこの順にそれぞれ
を構成するMOSトランジスタのチャネル長を共通な値
とし、チャネル幅を順次小さくしてあり、これらを構成
するMOSトランジスタのゲート面積を小さくしてあ
る。例えば、CMOSインバータ1、2、3のチャネル
幅比は4:2:1としてある。これにより、高周波数領
域における増幅率を改善させる。
【0019】帰還抵抗Rfは増幅部4の入力端子IN、
出力端子OUT間に接続され、本例の発振回路をオーバ
ートーン発振させるべく抵抗値を定めてある。負荷容量
としての容量素子CG、CDはそれぞれ増幅部4の入力
端子INと電源端子VSS(0V)との間、出力端子O
UTと電源端子VSSとの間に接続される。
【0020】抵抗R1はCMOSインバータ1の入力端
子in、出力端子out間に接続されている。容量素子
C1はCMOSインバータ1の入力端子inと増幅部4
の入力端子INに接続され、抵抗R1、容量素子C1に
より、フィルタ回路5が構成される。抵抗R1はCMO
Sインバータ1の動作点を定めるものでもある。
【0021】以上の構成要素から本例の発振回路が構成
され、これらの構成要素のうち、水晶振動子XL以外の
構成要素は本例の発振用集積回路として集積化される。
【0022】次に本例の動作について説明する。増幅部
4のCMOSインバータを多段化し、増幅部を構成する
CMOSインバータ1、2、3のゲート面積をこの順
に、チャネル長を同じくしてチャネル幅比を変えて小さ
くすることにより、高周波数領域における増幅部の増幅
率を向上させる。これについては、特公平2−5288
5号公報(特願昭58−229289号)、「C−MO
S増幅器」に詳細に述べられている。これによれば、次
のように高周波数領域での増幅率の増大が達成される。
【0023】CMOSインバータの低周波数領域におけ
る増幅率は周波数に依らずほぼ一定で、以下の式(1)
で近似される。 A≒(gmP+gmN)/(1/rdsP+1/rdsN)・・・(1) ここで、AはCMOSインバータの増幅率であり、gmP
はPチャネルMOSトランジスタの相互コンダクタンス
であり、gmNはNチャネルMOSトランジスタの相互コ
ンダクタンスであり、rdsPは飽和領域でのPチャネル
MOSトランジスタのドレイン抵抗であり、rdsNは飽
和領域でのNチャネルMOSトランジスタのドレイン抵
抗である。
【0024】CMOSインバータの高周波数領域におけ
る増幅率は周波数にほぼ反比例しており、以下の式
(2)で近似される。 A≒(gmP+gmN)/2πf(CL+Cd)・・・(2) ここで、fは周波数であり、CLはCMOSインバータ
の負荷容量であり、CdはCMOSインバータ自体のも
つドレイン容量である。
【0025】相互コンダクタンスgmP、gmNおよびCd
はPチャネルMOSトランジスタとNチャネルMOSト
ランジスタのチャネル長が等しいとした場合、以下の式
で表される。 ここで、μPはPチャネルMOSトランジスタの移動度
であり、μNはNチャネルMOSトランジスタの移動度
であり、WPはPチャネルMOSトランジスタのチャネ
ル幅であり、WNはNチャネルMOSトランジスタのチ
ャネル幅であり、LはP、NチャネルMOSトランジス
タのチャネル長であり、FP(VDD,VTP)はVD
D、VTPの関数であり、FN(VDD,VTN)はVD
D,VTNの関数であり、VTPはPチャネルMOSトラン
ジスタのしきい値電圧であり、VTNはNチャネルMOS
トランジスタのしきい値電圧であり、VDDは電源端子
VDDの電圧であり、K1〜K4はWP、WNに依らない定
数であり、CJPはPチャネルMOSトランジスタの接合
容量であり、CJNはNチャネルMOSトランジスタの接
合容量である。ここでチャネル幅WP、WNの比を一定の
値rとして固定すると、r=WP/WNだから、 Cd/(gmP+gmN)≒L・(K3・CJP・WP+K4・CJN・WN)/(K1WP+K2WN) ≒L・(K3・CJP・r+K4・CJN)/(K1r+K2)=K5・・・(6) となる。ここで、K5はWP、WNに依らない定数であ
る。上式(6)からCd/(gmP+g mN)は、CMOS
インバータのWP、WNに依らないことがわかる。
【0026】また、CLはCMOSインバータの負荷容
量であり、縦続接続の中間にあるCMOSインバータに
とっては、次段のCMOSインバータのPチャネルMO
Sトランジスタ及びNチャネルMOSトランジスタのゲ
ート容量にほぼ等しい。実際には、金属配線容量等の浮
遊容量CLも含まれているが、ゲート容量の大きさに対
しては無視し得る程度である。したがって、CLはほぼ
次式で近似できる。 CL≒K6・COX・L(WP'+WN')≒K7(WP'+WN')・・・(7) ここで、WP’は次段のPチャネルMOSトランジスタ
のチャネル幅であり、WN’は次段のNチャネルMOS
トランジスタのチャネル幅であり、K6、K7はWP’、
N’に依らない定数である。
【0027】次段のCMOSインバータにおいても、チ
ャネル幅WP’、WN’の比が一定の値rとなっている
と、r=WP’/WN’だから、 CL/(gmP+gmN) ≒K7(WP'+WN')/(K1WP+K2WN) ≒K7(r+1)/(K1・r+K2)・WN'/WN ≒K8・WN'/WN・・・(8) ここで、K8はWN、WN’、WP、WP’に依らない定数
である。したがって、高周波数領域におけるCMOSイ
ンバータの増幅率Aは次式で表される。 A≒1/2π[K8(WN'/WN)+K7]・・・(9)
【0028】この式より、WN’/WNの値が小さい程、
Aの値が大きくなることがわかる。すなわち、縦続接続
されたCMOSインバータの次段のMOSトランジスタ
のチャネル幅を前段のそれより縮小化することによって
増幅率が増大することになる。
【0029】図2は上述の結果を説明するためのもので
あり、横軸に周波数fの対数をとり、縦軸に増幅率Aの
対数をとっている。同図のa、bよりなる折れ線が同一
寸法のCMOSインバータを縦続接続してなる増幅部の
1段当りの増幅率の周波数依存性であるとすると、後段
にいくに従ってMOSトランジスタのチャネル幅を縮小
化した場合の1段当りの増幅率は、高周波数領域で破線
b’のようになり、同一周波数で比較すると増幅率が上
昇する。また、増幅率の対数が0となる周波数もcから
c’に上昇、すなわち、最大動作周波数が上昇する。
【0030】以上のようにCMOSインバータを縦続接
続して前段から後段にいくに従ってMOSトランジスタ
のチャネル幅を順次小さくした増幅部は高周波数領域で
の増幅率が改善されているが、この増幅部を従来のCM
OSインバータINVと置き換えるのみによっては、発
振動作を行わせることは難しい。すなわち、発振を行わ
せるには上述したように負性抵抗の設定が重要な鍵とな
っており、本例ではフィルタ回路5を用いて負性抵抗を
最適化することにより、増幅部の増幅率の向上による効
果と相まってより高周波数領域での発振動作が可能とな
る。この点について以下に述べる。
【0031】図17に示すようにCMSインバータIN
Vを単体で増幅部に用いた従来の発振回路(タイプ
I)、図3のaに示すようにフィルタ回路5を備えず、
単純にゲート面積の等しい3個のCMOSインバータ2
を縦続接続して増幅部に用いた発振回路(タイプI
I)、図3のbに示すようにフィルタ回路5を備えず、
本例のものと同様に3個のCMOSインバータを縦続接
続し、各CMOSインバータを構成する各MOSトラン
ジスタのチャネル長を共通な値とし、チャネル幅比を
4:2:1としてチャネル幅を順次小さくなるように増
幅部に用いた発振回路(タイプIII)及び本例の発振
回路(タイプIV)についてそれぞれの負性抵抗と周波
数の関係を模式的に示すと図4の(I)〜(IV)の特
性となる。また、同図においてRO1、RO3、RO
5、RO7はそれぞれ基本波、3次オーバートオーン、
5次オーバートオーン、7次オーバートオーンの水晶振
動子の抵抗成分の値を示してある。また、これらタイプ
I〜IVの発振回路について、具体的なパラメータを与
えてシミュレーションを行った結果、50MHz〜30
0MHzにおいて負性抵抗は、それぞれ図5の(I)〜
(IV)に示すようになる。各パラメータについては、
電源端子VDDにおける電源電圧を3Vとし、容量素子
CGを10pFとし、容量素子CDを15pFとし、帰
還抵抗Rfを200KΩとし、水晶振動子の容量性分C
Xを1pFとし、これら4タイプの発振回路の各CMO
Sインバータを構成するMOSトランジスタのチャネル
長を共通な値とし、チャネル幅の比率については、タイ
プIのCMOSインバータを構成するMOSトランジス
タのチャネル幅が4、タイプIIの各CMOSインバー
タを構成する各MOSトランジスタのチャネル幅が2と
し、タイプIII及びタイプIVの各CMOSインバー
タを構成する各MOSトランジスタのチャネル幅が前段
から4、2、1としてある。
【0032】タイプIのものでは、図4のIに示すよう
に、3次オーバートオーンでは水晶振動子の抵抗RO3
に対して大きな負性抵抗が得られるが、3次オーバート
オーンでの高周波化に対しては、上述したように高周波
化に従って水晶振動子の発振出力が低下するため、増幅
部の増幅率不足のために対応できない。また3次より高
次のオーバートーンについては、抵抗RO5、RO7に
対して十分な負性抵抗が得られない。
【0033】タイプIIのものでは、図4の(II)に
示すように、基本波、3次オーバートオーン、5次オー
バートオーン、7次オーバートオーンの各水晶振動子の
抵抗成分のいずれに対して大きな負性抵抗が得られず、
発振動作させることが出来ない。
【0034】また、タイプIIIのものでは、図4の
(III)に示すように若干負性抵抗の増加がみられる
ものの、基本波、3次オーバートオーン、5次オーバー
トオーン、7次オーバートオーンのいずれにおいても発
振動作させるのに十分な負性抵抗は得られない。
【0035】これに対してタイプIV、すなわち、本例
の3個のCMOSインバータを縦続接続し、各CMOS
インバータのゲート面積を前段から後段にいくに従って
順次小さくするように増幅部4を構成するとともに、フ
ィルタ回路5を設けたものでは、図4の(IV)3次オ
ーバートオーン、5次オーバートーンでは水晶振動子の
抵抗RO3、RO5に対して大きな負性抵抗が得られ
る。さらに、増幅部4は上述したように高周波数領域に
おいても高い増幅率が得られ、高周波数領域においても
微弱な発振出力を十分に増幅して発振動作を可能とす
る。
【0036】また、従来の3次オーバートーン発振回路
にあっては、基本波と3次オーバートーンの周波数との
間に負性抵抗のピーク(図4のRpeak0)が存在した
が、本例ではフィルタ回路5を設けることにより、3次
オーバートーンの周波数より高い周波数領域にさらなる
負性抵抗のピーク(図4及び図5のRpeak)が得られ
る。この負性抵抗のピークRpeakは図6及び図7に示す
ように容量素子CD、フィルタ回路5の容量素子C1に
よって制御可能である。図6及び図7において右側の縦
軸を周波数としてピークRpeakを三角印で示し、左側の
縦軸を負性抵抗値として周波数160MHzにおける負
性抵抗Rを丸印で示してあり、図6は容量素子CDの値
を横軸にとり、図7はフィルタ回路5の容量素子C1の
値を横軸にとっている。図6に示すように容量素子CD
の値を大きくするに従って負性抵抗のピークRpeakの周
波数が下がり、図7に示すようにフィルタ回路5の容量
素子C1の値を大きくするに従って負性抵抗のピークR
peakの周波数が上がる。
【0037】従って容量素子CD、フィルタ回路5の容
量素子C1のいずれか一方を調整するか、またはこれら
を組み合わせて調整して負性抵抗のピークRpeakを制御
することができ、より高い周波数領域において所望の負
性抵抗を実現できる。これにより、5次以上のオーバー
トーン発振をさせることも可能である。
【0038】なお、その他のパラメータと負性抵抗のピ
ークRpeakとの関係については、図8にフィルタ回路5
の抵抗R1との関係を示し、図9に増幅部4の各CMO
Sインバータを構成する各MOSトランジスタのドレイ
ン長を1として相対比を変化させた関係を示してあり、
図10に増幅部4の各CMOSインバータを構成する各
MOSトランジスタのゲート幅を1として相対比を変化
させた関係を示してあり、電源電圧との関係を図11に
示してある。これらによれば、フィルタ回路5の抵抗R
1によっては負性抵抗のピークRpeakの制御は難しく、
また、増幅部4の各CMOSインバータを構成する各M
OSトランジスタのドレイン長、ゲート幅によっても負
性抵抗のピークRpeakの制御は可能では有るが、回路設
計上の制約から現実的な手法ではなく、また、電源電圧
は仕様によって所定の値に定まっており、これによって
負性抵抗を制御することも現実的な手法ではない。した
がって容量素子CD、フィルタ回路5の容量素子C1を
調整することにより、負性抵抗のピークRpeakを制御す
ることが好ましい。
【0039】以上のように本例では、動作周波数の高周
波化とともに水晶振動子等の圧電振動子の小型化が進
み、これに従って微弱となる発振出力に対しても十分な
増幅動作ができるとともに、より高い周波数領域におい
て必要な負性抵抗が実現できるため、発振回路の動作周
波数の向上が可能となる。
【0040】次に第2の実施例について述べる。上述の
第1の実施例では、フィルタ回路5をCMOSインバー
タ1の入力端子inに接続された容量素子C1とCMO
Sインバータ1の入力端子in、出力端子out間に接
続された抵抗R1とにより構成することとしたが、本発
明はこれに限るものではい。例えば、図12に示すよう
に、抵抗R1、R2、R3をそれぞれCMOSインバー
タ1、2、3の入力端子in、出力端子out間に接続
し、容量素子C1、C2、C3をそれぞれCMOSイン
バータ1、2、3の入力端子inに接続して、抵抗R
1、R2、R3、容量素子C1、C2、C3によりフィ
ルタ回路6を構成しても良い。このようにした場合、図
1の構成と同じ負性抵抗のピークを得ようとした際に図
1のものに比べて全体的に負性抵抗が若干小さくなる
が、上述の第1の実施例と同様に、微弱となる発振出力
に対しても十分な増幅動作ができるとともに、高周波数
領域において必要な負性抵抗が実現できる。
【0041】次に第3の実施例について述べる。さらな
るフィルタ回路としては、図13に示すように、図1の
発振回路の入力端子INと容量素子C1との間に容量素
子C4を接続し、容量素子C1と容量素子C4との接続
点と電源端子VSSとの間に設けられた抵抗R4からフ
ィルタ回路7を追加しても良い。負性抵抗の設定はフィ
ルタ回路7に依存し、容量素子C1はCMOSインバー
タ1の入力の直流成分を遮断するために用いられ、抵抗
R1はCMOSインバータ1動作点を定めるために用い
られる。図13の発振回路によっても、上述の実施例と
同様に、微弱となる発振出力に対しても十分な増幅動作
ができるとともに、より高い周波数領域において必要な
負性抵抗が実現できる。
【0042】次に第4の実施例について述べる。上述の
第1の実施例では、増幅部4には3個のCMOSインバ
ータの縦続接続を用いたが、図14に示すように5個の
CMOSインバータの縦続接続して用いても良い。同図
ではCMOSインバータ3の後段にさらにCMOSイン
バータINV4、INV5を縦続接続してあり、これら
のチャネル幅は、CMOSインバータ3に対して1/
2、1/4としてある。また、5個以上の奇数個のCM
OSインバータの縦続接続して用いても良い。但し、不
必要な多段化は各インバータによる遅延により動作周波
数を落としかねないので、適宜段数を定めることが好ま
しい。また、一般的にリングオシレータは奇数個のイン
バータを縦続接続して、最後段から最前段に帰還をかけ
て構成されるが、各インバータの遅延によって最前段の
インバータにその出力の反転信号となる入力が与えられ
るならば、偶数個のインバータの縦続接続から構成され
ても良く、そのような遅延設定を行えば、本発明におい
ても増幅部に偶数個のCMOSインバータの縦続接続を
用いても良い。
【0043】次に第5の実施例について述べる。水晶振
動子は高周波化に従って小型化され、動作時にそれに流
れる水晶電流によって破壊される恐れが生じ、水晶電流
を抑える必要がある。本発明では上述の通り、増幅部は
高周波数領域においても十分な増幅率を有し、微弱な水
晶電流でも十分発振動作させることが可能である。この
ため、図15に示すように入力端子INと電源端子VS
Sとの間においては容量素子CGに抵抗RGを接続し、
出力端子OUTと電源端子VSSとの間においては容量
素子CDに抵抗RDを接続し、抵抗RG、RDによって
水晶電流値を抑えるような構成に適応しても良い。抵抗
RGは入力端子INと電源端子VSSとの間に接続して
あれば良く、容量素子CGからみて電源端子VSS側
か、入力端子IN側かによらず、抵抗RDは出力端子O
UTと電源端子VSSとの間に接続してあれば良く、容
量素子CDからみて電源端子VSS側か、出力端子OU
T側かによらない。抵抗RD、RGをこの様に接続する
利点は負性抵抗への影響少なく、水晶電流を抑えること
が可能な点にあり、このような抵抗RG、RDを用いる
ものは、特開平10−209755号公報(特願平9−
5765号)、「水晶発振回路及び水晶発振用集積回路
装置」に詳細に述べられている。このようなものに本発
明を適用した場合、増幅部において十分な増幅率が補償
されているため、より積極的に水晶電流を抑えることが
できる。
【0044】次に第6の実施例について述べる。上記第
1の実施例においては、容量素子CG、CDを電源端子
VSSに直接接続し、また、特に述べなかったが通常各
CMOSインバータを構成するNチャネルMOSトラン
ジスタのソースは電源端子VSSに接続されることとし
てあるが、本発明はこれに限るものではない。例えば、
図16のaに示すように容量素子CG、CD、各CMO
Sインバータを構成するNチャネルMOSトランジスタ
のソースを電流制限素子としてのNチャネルMOSトラ
ンジスタを介して電源端子VSSに接続することによ
り、発振回路に供給する電流値を制限し、発振に同期し
た電源電圧の変動を抑え、このような電源電圧の変動に
よる発振動作に対する悪影響をなくし、安定した発振動
作を可能とする構成としても良い。その場合、Nチャネ
ルMOSトランジスタM0はそのゲートには電圧源から
の電圧が印加され、これにより発振回路に供給する電流
値を制御するようにしても良い。
【0045】また、図16のbに示すように、電流制限
素子としてのNチャネル型のMOSトランジスタM0を
複数並列に接続し、出力端子OUTからの発振出力を検
出回路8によりモニタし、制御回路9によって検出回路
8の検出結果に応じてNチャネル型のMOSトランジス
タM0を制御する構成としても良い。これは、発振出力
の振幅の小さい発振動作初期状態ではすべてのMOSト
ランジスタをオンとして多くの電流を発振回路に供給
し、発振動作が安定したものとなるのに従ってMOSト
ランジスタM0を段階的にオフとして電流の供給を制限
して低消費電力化を図るものである。
【0046】このような電流制限素子を用いるものは、
特開平11−150419号公報(特願平9−3130
20号)、「発振回路」に詳細に述べられている。電流
制限素子を用いるものでは、電流制限素子によって水晶
振動子の発振出力も低下するが、本発明を適用した場
合、本発明では上述の通り、増幅部は高周波数領域にお
いても十分な増幅率を有し、微弱な水晶電流でも十分発
振動作させることが可能であるから、より積極的に電流
制限素子を用いることが可能となり、さらなる発振動作
の安定化、低消費電力化が可能となる。しかも本発明で
はより高周波数領域の発振動作においてこれらを実現可
能とする。
【0047】次に、第7の実施例について述べる。上記
第1の実施例(図1)で示した発信回路においては、図
21(a)に示すように、増幅部4の最後段CMOSイ
ンバータ3の出力端子、すなわち増幅部4の出力端子O
UTに後段回路への出力信号を出力する出力端子が接続
されるが、本発明はこれに限るものではない。例えば、
図21(b)に示すように、最後段CMOSインバータ
3から1つ前段のCMOSインバータ2の出力端子ou
t2に後段回路LAへの出力端子を接続し、発信回路の
出力信号を後段回路LAへ出力する構成としても良い。
【0048】ここで、図21(b)の発信回路につい
て、具体的なパラメータを与えてシミュレーションを行
った結果、増幅部4の入力端子IN、CMOSインバー
タ1の入力端子in、CMOSインバータ1の入力端子
out、CMOSインバータ2の出力端子out2およ
び増幅部4の出力端子OUTの各端子における発振信号
の振幅は、それぞれ図22に示すようになる。図22に
示すように、CMOSインバータ2の出力端子out2
における発振信号の振幅が、他の端子と比べて非常に大
きくなっている。すなわち、水晶振動子や負荷容量が接
続された出力端子OUTより、1つ前段のCMOSイン
バータ2の出力端子out2の方が負荷が少なく、その
発振信号の振幅も大きくなっている。
【0049】このように、本実施例の構成を用いると、
後段回路LAへの出力信号を出力する出力端子を増幅部
4の出力端子OUTに接続する場合よりも、大きな振幅
の出力信号を後段回路へと出力できる。
【0050】次に、第8の実施例について述べる。上記
第7の実施例(図21(b))で示した発信回路におい
ては、最後段CMOSインバータ3から1つ前段のCM
OSインバータ2の出力端子out2に後段回路LAへ
の出力端子を接続し、発信回路の出力信号を後段回路L
Aへ出力する構成としたが、本発明はこれに限るもので
はない。例えば、図23に示すように、最後段CMOS
インバータ3から1つ前段のCMOSインバータ2の出
力端子out2に差動増幅回路10の一方の入力端子を
接続し、最前段のCMOSインバータ1の出力端子ou
tに差動増幅回路10の他方の入力端子を接続し、差動
出力回路10から後段回路LAへの出力信号を出力する
構成としても良い。
【0051】上記実施例7(図22)に示すように、C
MOSインバータ2の出力端子out2における発振振
幅は大きく、CMOSインバータ1の出力端子outに
おける発振振幅は小さくなっており、また端子out2
における発振信号は端子outにおける発振信号をほぼ
反転させた形となっているので、この2つの信号の差は
大きくなっている。したがって、本実施例の構成によれ
ば、差動増幅回路10が端子out2における発振信号
と端子outにおける発振信号の差をとって増幅するの
で、上記実施例7と同様に、後段回路への出力信号を出
力する出力端子を増幅部の出力端子に接続する場合より
も、大きな振幅の出力信号を後段回路へと出力できる。
【0052】上述の各実施例では、水晶振動子等の圧電
振動子を除く構成要素を1チップICに集積化すること
が好ましい。このとき、フィルタ回路の各容量素子、負
荷容量となる容量素子CD、CGを金属間容量とし、帰
還抵抗Rf、フィルタ回路の各抵抗等を薄膜抵抗とする
ことにより、これらの値を、要求される発振周波数、圧
電振動子のサイズ、形状、その他の諸元に応じて最適な
値に合わせ込むことができ、これにより、高精度に発振
動作させることが可能となる。
【0053】また、上述の各実施例では、容量素子C
G、CDを電源端子VSS(0V)側に接続したが、電
源端子VDD(3V)側に接続しても良い。その場合、
図15の発振回路においては、抵抗RG、RDも同様に
電源端子VDD(3V)側に接続し、図16のa及びb
の発振回路においては、電流制限素子としての各MOS
トランジスタが電源端子VDD(3V)側に接続された
PチャネルMOSトランジスタとなる。
【0054】
【発明の効果】本発明によれば、発振回路において、複
数のCMOSインバータを縦続接続して増幅部を構成
し、上記CMOSインバータを構成するMOSトランジ
スタのゲート面積を前段から後段へいくに従って順に小
さく、特にチャネル長を等しくしてチャネル幅を順に小
さくし、増幅部の高周波数領域における増幅部の増幅率
を改善し、高周波数領域における圧電振動子の微弱な発
振出力の増幅を可能とするとともに、増幅部にフィルタ
回路を設けることにより、高周波数領域において負性抵
抗のピークを実現可能とする。これにより、発振回路の
動作周波数の向上が可能となる。
【0055】また、フィルタ回路の容量素子の値を制御
することにより、負性抵抗のピークを所望の周波数にお
いて実現可能となり、所望の周波数での安定した発振動
作に必要とされる負性抵抗を得ることが可能となる。圧
電振動子を除く構成要素を1チップICに集積化する場
合には、負性抵抗を決定するフィルタ回路の容量素子の
値等を高精度に設定することが可能であり、安定した発
振動作が可能となる。特に各負荷容量、フィルタ回路の
容量素子を金属間容量、各抵抗を薄膜抵抗にて構成すれ
ば、より高精度にこれらを設定でき、より安定した発振
動作が可能となる。
【0056】また、負性抵抗のピークを高周波数領域で
実現可能となるから、5次以上のオーバートーン発振を
も可能とする。上述の如く1チップICに集積化したも
のでは、従来のように外付けのコイルや容量素子を必要
とせず、これらの装着に伴う回路面積の増大や、これら
の素子の値の設定の手間をなくし、1チップICのみに
よって高次オーバートーン発振を可能とする。
【0057】また、本発明では、上述の如く圧電振動子
からの微弱な発振出力に対しても動作可能であるから、
高周波数領域での発振時に圧電振動子に流れる電流によ
り、圧電振動子が破壊されることを防ぐことができ、負
荷容量に抵抗を接続して圧電振動子に流れる電流を抑制
すれば、このような抵抗を接続することによってさらに
微弱となる発振出力に対しても安定した発振動が作可能
である。このため、高周波発振の際に圧電振動子に流れ
る電流をより抑制することができ、高周波数領域での発
振時に圧電振動子が破壊されるという現象を効果的に抑
えることができる。同じ周波数にあっては破壊の危険性
が低下し、同じ危険性にある周波数を上げることがで
き、発振回路の動作周波数の向上が可能となる。
【0058】また、本発明では、上述の如く圧電振動子
からの微弱な発振出力に対しても動作可能であるから、
容量素子CG、CD、各CMOSインバータを構成する
MOSトランジスタのソースを電流制限素子を介して電
源電位に接続し、低消費電流化、発振に同期した電源電
圧の変動を抑えることによって、このような電流制限素
子を接続することによってさらに微弱となる発振出力に
対しても安定した発振動作が可能である。このため、よ
り電流制限素子の効果を大きくすることができ、電源電
圧の変動の悪影響をさらに抑制し、また、より低消費電
力化を進めることが可能となる。しかも、高周波数領域
の発振動作を行う発振回路においてもこのような効果が
得られる。
【0059】また、本発明では、増幅部の最後段から1
つ前段のCMOSインバータの出力端子に、後段回路へ
の出力信号を出力する出力端子を接続することによっ
て、より大きな振幅の発振信号を後段回路へと出力可能
となる。
【0060】また、本発明では、増幅部の最後段から1
つ前段のCMOSインバータの入力端子には、差動増幅
回路の一方の入力端子を接続し、当該CMOSインバー
タの出力端子には、上記差動増幅回路の他方の入力端子
を接続し、差動増幅回路の出力端子から後段回路への出
力信号を出力することによって、より大きな振幅の発振
信号を後段回路へと出力可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例の発振回路の構成を説明
するための回路図。
【図2】図1の動作説明のための増幅率−周波数特性
図。
【図3】図1の動作説明のために用いるフィルタ回路を
省いた回路構成を示す回路図。
【図4】図1の動作説明のための負性抵抗―周波数特性
図。
【図5】図1の動作説明のための負性抵抗―周波数特性
図。
【図6】図1の動作説明のための負性抵抗―負荷容量特
性図。
【図7】図1の動作説明のための負性抵抗−フィルタ回
路の容量素子特性図。
【図8】図1の動作説明のための負性抵抗−フィルタ回
路の抵抗特性図。
【図9】図1の動作説明のための負性抵抗−各CMOS
インバータを構成するMOSトランジスタのドレイン長
特性図。
【図10】図1の動作説明のための負性抵抗−各CMO
Sインバータを構成するMOSトランジスタのゲート幅
特性図。
【図11】図1の動作説明のための負性抵抗−電源電圧
特性図。
【図12】本発明の第2の実施例の発振回路の構成を説
明するための回路図。
【図13】本発明の第3の実施例の発振回路の構成を説
明するための回路図。
【図14】本発明の第4の実施例の発振回路の構成を説
明するための回路図。
【図15】本発明の第5の実施例の発振回路の構成を説
明するための回路図。
【図16】本発明の第6の実施例の発振回路の構成を説
明するための回路図。
【図17】従来の発振回路の構成を説明するための回路
図。
【図18】図17の等価回路図。
【図19】図17の動作説明のための負性抵抗―周波数
特性図。
【図20】従来の5次オーバートーン発振回路の構成を
説明するための回路図。
【図21】本発明の第7の実施例の発振回路の構成を説
明するための回路図。
【図22】図21の動作説明のための増幅回路の端子電
圧―時間特性図。
【図23】本発明の第8の実施例の発振回路の構成を説
明するための回路図。
【符号の説明】
XL 圧電振動子(水晶振動子) Rf 帰還抵抗 1、2、3 CMOSインバータ(増幅部) INV4、INV5 CMOSインバータ(増幅部) 4 増幅部 5、6、7 フィルタ回路 CG、CD 負荷容量(容量素子) R1、R2、R3 抵抗(フィルタ回路) C1、C2、C3 容量素子(フィルタ回路) RG、RD 圧電振動子に流れる電流を抑えるための
抵抗 M0〜M0 電流制限素子(MOSトランジスタ) 10 差動増幅回路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大山 和久 東京都江東区福住ニ丁目4番3号 日本プ レシジョン・サーキッツ株式会社内 (72)発明者 塚越 邦彦 東京都江東区福住ニ丁目4番3号 日本プ レシジョン・サーキッツ株式会社内 Fターム(参考) 5J043 AA04 AA25 BB01 DD07 DD13 5J079 AA04 BA31 BA47 FA05 FA14 FA21 FB03 FB24 GA05 GA10 GA17 JA02

Claims (25)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 縦続接続された複数のCMOSインバー
    タからなる増幅部と、上記増幅部の入力端子と出力端子
    との間に接続された圧電振動子と、上記増幅部の入力端
    子と出力端子との間に接続された帰還抵抗と、上記増幅
    部の入力端子と特定電位の端子との間に接続された第1
    の負荷容量と、上記増幅部の出力端子と特定電位の端子
    との間に接続された第2の負荷容量と、上記増幅部に設
    けられたフィルタ回路とを備え、 上記各CMOSインバータのゲート面積を前段から後段
    にいくに従って小さくしてあることを特徴とする発振回
    路。
  2. 【請求項2】 上記フィルタ回路は、上記増幅部と上記
    帰還抵抗と上記第1、第2の負荷容量とのなす回路の負
    性抵抗が所定の周波数においてピークとなるように定め
    るものであることを特徴とする請求項1に記載の発振回
    路。
  3. 【請求項3】 上記フィルタ回路は、上記増幅部の入力
    端子と出力端子との間の信号路上であって、上記複数の
    CMOSインバータの内の少なくとも1つのCMOSイ
    ンバータの入力端子に容量素子を接続し、当該容量素子
    を接続したCMOSインバータの入力端子と出力端子と
    の間には抵抗を接続してなることを特徴とする請求項1
    または2に記載の発振回路。
  4. 【請求項4】 上記フィルタ回路は、上記増幅部の入力
    端子と上記増幅部の最前段のCMOSインバータの入力
    端子との間に接続された容量素子と、上記最前段のCM
    OSインバータの入力端子と出力端子との間に接続され
    た抵抗とからなることを特徴とする請求項1または2に
    記載の発振回路。
  5. 【請求項5】 上記増幅部は各CMOSインバータのチ
    ャネル長を共通としてチャネル幅を前段から後段にいく
    に従って小さくしてあることを特徴とする請求項1乃至
    4のいずれかに記載の発振回路。
  6. 【請求項6】 第1、第2、第3のCMOSインバータ
    を縦続接続し、当該第1、第2、第3のCMOSインバ
    ータのゲート面積を前段から後段にいくに従って小さく
    してなる増幅部と、 上記第1のCMOSインバータの入力端子に一方の端子
    を接続し、他方の端子を上記増幅部の入力端子とした容
    量素子と、上記第1のCMOSインバータの入力端子と
    出力端子との間に接続された抵抗とからなるフィルタ回
    路と、 上記増幅部の入力端子と出力端子との間に接続された圧
    電振動子と、 上記増幅部の入力端子と出力端子との間に接続された帰
    還抵抗と、 上記増幅部の入力端子と特定電位の端子との間に接続さ
    れた第1の負荷容量と、 上記増幅部の出力端子と特定電位の端子との間に接続さ
    れた第2の負荷容量とを備えることを特徴とする発振回
    路。
  7. 【請求項7】 上記第1の負荷容量を接続した上記増幅
    器の入力端子と上記特定電位とのなす第1の信号路上お
    よび上記第2の負荷容量を接続した上記増幅器の出力端
    子と上記特定電位とのなす第2の信号路上の少なくとも
    一方に上記圧電振動子に流れる電流を抑える抵抗を接続
    したことを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載
    の発振回路。
  8. 【請求項8】 上記増幅部の各CMOSインバータを構
    成する各MOSトランジスタのソース及び特定電位の端
    子は電流制限素子を介して電源電位に接続されることを
    特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の発振回
    路。
  9. 【請求項9】 上記定電流制限素子はMOSトランジス
    タの複数個を並列に接続してなり、当該複数の他のMO
    Sトランジスタは上記出力端子から出力される発振出力
    の初期状態にあっては全てオンとされ、上記発振出力が
    安定した状態となるのに従って段階的にオフとされるこ
    とを特徴とする請求項8に記載の発振回路。
  10. 【請求項10】 上記圧電振動子は水晶振動子であり、
    オーバートーン発振を行うことを特徴とする請求項1乃
    至9のいずれかに記載の発振回路。
  11. 【請求項11】 上記増幅部の最後段から1つ前段のC
    MOSインバータの出力端子には、後段回路への出力信
    号を出力する出力端子が接続されていることを特徴とす
    る請求項1乃至10のいずれかに記載の発振回路。
  12. 【請求項12】 上記増幅部の最後段から1つ前段のC
    MOSインバータの入力端子には、差動増幅回路の一方
    の入力端子が接続され、当該CMOSインバータの出力
    端子には、上記差動増幅回路の他方の入力端子が接続さ
    れ、上記差動増幅回路の出力端子から後段回路への出力
    信号が出力されることを特徴とする請求項1乃至10の
    いずれかに記載の発振回路。
  13. 【請求項13】 縦続接続された複数のCMOSインバ
    ータからなる増幅部と、上記増幅部の入力端子と出力端
    子との間に接続された帰還抵抗と、上記増幅部の入力端
    子と特定電位の端子との間に接続された第1の負荷容量
    と、上記増幅部の出力端子と特定電位の端子との間に接
    続された第2の負荷容量と、上記増幅部に設けられたフ
    ィルタ回路とを備え、 上記各CMOSインバータのゲート面積を前段から後段
    にいくに従って小さくしてあり、 上記増幅部の入力端子と出力端子との間に圧電振動子を
    接続して発振動作を行うことを特徴とする発振用集積回
    路。
  14. 【請求項14】 上記フィルタ回路は、上記圧電振動子
    を除く発振部の負性抵抗が所定の周波数においてピーク
    となるように定めるものであることを特徴とする請求項
    13に記載の発振用集積回路。
  15. 【請求項15】 上記フィルタ回路は、上記増幅部の入
    力端子と出力端子との間の信号路上であって、上記複数
    のCMOSインバータの内の少なくとも1つのCMOS
    インバータの入力端子に容量素子を接続し、当該容量素
    子を接続したCMOSインバータの入力端子と出力端子
    との間には抵抗を接続してなることを特徴とする請求項
    13または14に記載の発振用集積回路。
  16. 【請求項16】 上記フィルタ回路は、上記増幅部の入
    力端子と上記増幅部の最前段のCMOSインバータの入
    力端子との間に接続された容量素子と、上記最前段のC
    MOSインバータの入力端子と出力端子との間に接続さ
    れた抵抗とからなることを特徴とする請求項13または
    14に記載の発振用集積回路。
  17. 【請求項17】 上記増幅部は各CMOSインバータの
    チャネル長を共通としてチャネル幅を前段から後段にい
    くに従って小さくしてあることを特徴とする請求項13
    乃至16のいずれかに記載の発振用集積回路。
  18. 【請求項18】 第1、第2、第3のCMOSインバー
    タを縦続接続し、当該第1、第2、第3のCMOSイン
    バータのゲート面積を前段から後段にいくに従って小さ
    くしてなる増幅部と、 上記第1のCMOSインバータの入力端子に一方の端子
    を接続するとともに、他方の端子を上記増幅部の入力端
    子とした容量素子と、上記第1のCMOSインバータの
    入力端子と出力端子との間に接続された抵抗とからなる
    フィルタ回路と、上記増幅部の入力端子と出力端子との
    間に接続された帰還抵抗と、上記増幅部の入力端子と特
    定電位の端子との間に接続された第1の負荷容量と、上
    記増幅部の出力端子と特定電位の端子との間に接続され
    た第2の負荷容量とを備え、 上記増幅部の入力端子と出力端子との間に圧電振動子を
    接続して発振動作を行うことを特徴とする発振用集積回
    路。
  19. 【請求項19】 上記第1の負荷容量を接続した上記増
    幅器の入力端子と上記特定電位とのなす第1の信号路上
    および上記第2の負荷容量を接続した上記増幅器の出力
    端子と上記特定電位とのなす第2の信号路上の少なくと
    も一方に上記圧電振動子に流れる電流を抑える抵抗を接
    続したことを特徴とする請求項13乃至18のいずれか
    に記載の発振用集積回路。
  20. 【請求項20】 上記増幅部の各CMOSインバータを
    構成する各MOSトランジスタのソース及び特定電位の
    端子は電流制限素子を介して電源電位に接続されること
    を特徴とする請求項13乃至19のいずれかに記載の発
    振用集積回路。
  21. 【請求項21】 上記電流制限素子はMOSトランジス
    タの複数個が並列に接続されてなり、当該複数の他のM
    OSトランジスタは上記出力端子から出力される発振出
    力の初期状態にあっては全てオンとされ、上記発振出力
    が安定した状態となるのに従って段階的にオフとされる
    ことを特徴とする請求項19に記載の発振回路。
  22. 【請求項22】 上記圧電振動子は水晶振動子であり、
    オーバートーン発振を行うためのものであることを特徴
    とする請求項13乃至21のいずれかに記載の発振用集
    積回路。
  23. 【請求項23】 上記各容量素子は金属間容量であり、
    上記各抵抗は薄膜抵抗であることを特徴とする請求項1
    3乃至22のいずれかに記載の発振用集積回路。
  24. 【請求項24】 上記増幅部の最後段から1つ前段のC
    MOSインバータの出力端子には、後段回路への出力信
    号を出力する出力端子が接続されていることを特徴とす
    る請求項13乃至23のいずれかに記載の発振用集積回
    路。
  25. 【請求項25】 上記増幅部の最後段から1つ前段のC
    MOSインバータの入力端子には、差動増幅回路の一方
    の入力端子が接続され、当該CMOSインバータの出力
    端子には、上記差動増幅回路の他方の入力端子が接続さ
    れ、上記差動増幅回路の出力端子から後段回路への出力
    信号が出力されることを特徴とする請求項13乃至23
    のいずれかに記載の発振用集積回路。
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