JP2002196054A - Ic測定装置 - Google Patents
Ic測定装置Info
- Publication number
- JP2002196054A JP2002196054A JP2000397454A JP2000397454A JP2002196054A JP 2002196054 A JP2002196054 A JP 2002196054A JP 2000397454 A JP2000397454 A JP 2000397454A JP 2000397454 A JP2000397454 A JP 2000397454A JP 2002196054 A JP2002196054 A JP 2002196054A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- data
- strobe
- edge
- timing
- determination
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/317—Testing of digital circuits
- G01R31/3181—Functional testing
- G01R31/319—Tester hardware, i.e. output processing circuits
Abstract
時間がかからないIC測定装置を提供する。 【解決手段】 2つの判定ストローブパルス(S21)
を出力する第1のタイミングジェネレータ(TG21)
と、2つの判定ストローブパルス(S21)に基づい
て、1つのテストサイクル内の2つの時刻におけるデー
タストローブ(DCK2)の状態を検出する第1のエッ
ジ検出手段(E21)と、2つの判定ストローブパルス
(S22)を出力する第2のタイミングジェネレータ
(TG22)と、2つの判定ストローブパルス(S2
2)に基づいて、1つのテストサイクル内の2つの時刻
におけるデータの状態を検出する第2のエッジ検出手段
(E22)と、データの状態と、データストローブの状
態とに基づいて、データストローブを基準としたデータ
のタイミングの合否を判定する判定手段(J22)とを
設けた。
Description
ストローブ付きIC)を試験するIC測定装置に関す
る。
すブロック図であり、図6は、このIC測定装置の動作
を示すタイミングチャートである。まず、IC測定装置
(A1)は被測定IC(B1)にクロック(CK1)を
供給し、このクロック(CK1)の周期であるテストサ
イクル(TC1)に同期するように、被測定IC(B
1)を動作させる。
ストローブ(DCK1)の出力タイミングは、IC測定
装置(A1)内の電圧比較器(V11)を介して論理比
較器(CMP11)内のエッジサーチ回路(E11)に
入力される。エッジサーチ回路(E11)は、タイミン
グジェネレータ(TG11)から出力される判定ストロ
ーブパルス(S11)のタイミングで、データストロー
ブ(DCK1)をラッチする。タイミングジェネレータ
(TG11)から出力される判定ストローブパルス(S
11)のエッジのタイミングは、時刻T21〜T22の
範囲内で、テストサイクル(TC1)毎に、n回変化さ
せられる。すなわち、n回の変化のためには、テストサ
イクル(TC1)のnサイクル分の時間が必要になる。
ーブパルス(S11)のエッジのタイミングで、データ
ストローブ(DCK1)の状態をラッチし、期待値(K
11)と比較する。すなわち、n回、判定ストローブパ
ルス(S11)のエッジのタイミングを変化させつつ、
データストローブ(DCK1)の状態をラッチし、期待
値(K11)と比較する。これにより、データストロー
ブ(DCK1)のエッジが出力されるタイミング、すな
わちクロック(CK1)の立ち上がりエッジが出力され
る時刻T11から、データストローブ(DCK1)のエ
ッジが出力されるまでの時間を検出する。
ジのタイミングを変化させつつ、データ(D11)のエ
ッジが出力されるタイミング、すなわちクロック(CK
1)の立ち上がりエッジが出力される時刻T11から、
データ(D11)のエッジが出力されるまでの時間を検
出する。
測定IC(B1)のPASS/FAIL判定を行う。
は、データストローブ(DCK1)のエッジが出力され
るタイミングを検出するために、判定ストローブパルス
(S11)のエッジのタイミングでデータストローブ
(DCK1)の状態をラッチし、期待値(K11)と比
較する動作をn回繰り返さなければならない。
されるタイミングを検出するために、判定ストローブパ
ルス(S12)のエッジのタイミングでデータ(D1
1)の状態をラッチし、期待値(K12)と比較する動
作をn回繰り返さなければならない。
るデータが、データ(D11)のみではなく、データ
(D11)、データ(D12)、…のように複数ある場
合には、それぞれのデータのタイミングを検出するため
に、上述したn回繰り返される比較動作を、さらにデー
タの数だけ繰り返さなければならない。すなわち、デー
タの数がkである場合には、上述したラッチおよび比較
の動作を、k×n回繰り返さなければならない。
IC(B1)が出力する被測定データ(データストロー
ブまたはデータ)のタイミングを測定するのに時間がか
かるという問題がある。また、各テストサイクル(TC
1)に対して、データストローブ(DCK1)やデータ
(D11)が変動する場合、従来技術では、データスト
ローブ(DCK1)やデータ(D11)が一番遅い場合
の判定しかできず、各テストサイクルごとの判定ができ
ない。
されたもので、被測定IC(B1)が出力する被測定デ
ータ(データストローブまたはデータ)のタイミングを
測定するのに時間がかからないIC試験装置を提供する
ものである。
は、被測定ICから出力されるデータストローブとデー
タとのタイミングの合否を判定するIC測定装置であっ
て、このIC測定装置のテストサイクルに同期した、時
刻の異なる2つの判定ストローブパルスを出力する第1
のタイミングジェネレータと、この第1のタイミングジ
ェネレータが出力した、時刻の異なる2つの判定ストロ
ーブパルスに基づいて、1つのテストサイクル内の2つ
の時刻におけるデータストローブの状態を検出する第1
のエッジ検出手段と、前記IC測定装置のテストサイク
ルに同期した、時刻の異なる2つの判定ストローブパル
スを出力する第2のタイミングジェネレータと、この第
2のタイミングジェネレータが出力した、時刻の異なる
2つの判定ストローブパルスに基づいて、1つのテスト
サイクル内の2つの時刻におけるデータの状態を検出す
る第2のエッジ検出手段と、この第2のエッジ検出手段
が検出したデータの状態と、前記第1のエッジ検出手段
が検出したデータストローブの状態とに基づいて、デー
タストローブを基準としたデータのタイミングの合否を
判定する判定手段とを有することを特徴とするIC測定
装置である。
ミングジェネレータおよび第2のタイミングジェネレー
タがそれぞれ出力する、2つの判定ストローブパルス間
の時間は、前記被測定ICの規格に応じた時間とされて
いることを特徴とする請求項1に記載のIC測定装置で
ある。
ミングジェネレータが出力する判定ストローブパルスの
タイミングと、前記第2のタイミングジェネレータが出
力する判定ストローブパルスのタイミングとの関係は、
前記被測定ICの規格に応じた関係にされていることを
特徴とする請求項1または2に記載のIC測定装置であ
る。
ミングジェネレータ、第2のエッジ検出手段および判定
手段を含む回路ブロックを複数有することを特徴とする
請求項1から3のいずれかに記載のIC測定装置であ
る。
が有する第2のタイミングジェネレータが出力する判定
ストローブパルスどうしの関係は、前記被測定ICの規
格に応じた関係にされていることを特徴とする請求項4
に記載のIC測定装置である。
から1組の判定ストローブパルスが出力されると、2つ
のタイミングにおいて被測定データ(データストローブ
またはデータ)の状態が検出される。
けるIC測定装置(A2)の構成を示すブロック図であ
る。IC測定装置(A2)が、被測定IC(B2)にク
ロック(CK2)を送ると、被測定IC(B2)は、デ
ータストローブ(DCK2)、データ(D21)、デー
タ(D22)、…、データ(Dx)を出力する。被測定
IC(B2)から出力されたデータストローブ(DCK
2)、データ(D21)、データ(D22)、…、デー
タ(Dx)は、再度、IC測定装置(A2)に入力され
る。
ストローブ(DCK2)は、IC測定装置(A2)内の
電圧比較器(V21)を介して、論理比較器(CMP2
1)内のエッジサーチ回路(E21)に入力される。こ
のエッジサーチ回路(E21)には、タイミングジェネ
レータ(TG21)が出力する2系統の判定ストローブ
パルス(S21)も入力される。すなわち、この判定ス
トローブパルス(S21)は、判定ストローブパルス
(S21−1)と、判定ストローブパルス(S21−
2)とによって構成される。そして、エッジサーチ回路
(E21)は、2ビットのエッジ判定結果(R21)を
出力する。すなわち、このエッジ判定結果(R21)
は、エッジ判定結果(R21−1)と、エッジ判定結果
(R21−2)とによって構成される。
(D21)は、IC測定装置(A2)内の電圧比較器
(V22)を介して、論理比較器(CMP22)内のエ
ッジサーチ回路(E22)に入力される。このエッジサ
ーチ回路(E22)には、タイミングジェネレータ(T
G22)が出力する2系統の判定ストローブパルス(S
22)も入力される。すなわち、この判定ストローブパ
ルス(S22)は、判定ストローブパルス(S22−
1)と、判定ストローブパルス(S22−2)とによっ
て構成される。そして、エッジサーチ回路(E22)
は、2ビットのエッジ判定結果(R22)を出力する。
すなわち、このエッジ判定結果(R22)は、エッジ判
定結果(R22−1)と、エッジ判定結果(R22−
2)とによって構成される。
路(J22)に入力される。この判定制御回路(J2
2)には、エッジ判定結果(R21)も入力される。そ
して、判定制御回路(J22)は、Pass/Fail
判定(P22)を出力し、出力されたPass/Fai
l判定(P22)は、CPU(C2)に入力される。
(D22)は、IC測定装置(A2)内の電圧比較器
(V23)を介して、論理比較器(CMP23)内のエ
ッジサーチ回路(E23)に入力される。このエッジサ
ーチ回路(E23)には、タイミングジェネレータ(T
G23)が出力する2系統の判定ストローブパルス(S
23)も入力される。すなわち、この判定ストローブパ
ルス(S23)は、判定ストローブパルス(S23−
1)と、判定ストローブパルス(S23−2)とによっ
て構成される。そして、エッジサーチ回路(E23)
は、2ビットのエッジ判定結果(R23)を出力する。
すなわち、このエッジ判定結果(R23)は、エッジ判
定結果(R23−1)と、エッジ判定結果(R23−
2)とによって構成される。
路(J23)に入力される。この判定制御回路(J2
3)には、エッジ判定結果(R21)も入力される。そ
して、判定制御回路(J23)は、Pass/Fail
判定(P23)を出力し、出力されたPass/Fai
l判定(P23)は、CPU(C2)に入力される。
(D23、D24、…、Dx)についても、上記と同様
である。
入出力の関係を示す表である。なお、判定制御回路(J
23、J24、…、Jx)における入出力の関係も、こ
れと同様である。
ーブ(DCK2)のエッジ判定結果(R21−1、R2
1−2)と、データ(D21)のエッジ判定結果(R2
2−1、R22−2)とを入力し、Pass/Fail
判定(P22)を出力する。例えば、エッジ判定結果
(R21−1)がH、エッジ判定結果(R21−2)が
L、エッジ判定結果(R22−1)がH、エッジ判定結
果(R22−2)がHのとき、PASS/FAIL判定
(P22)はFail(H)になる。
(A2)の動作を示すタイミングチャートである。IC
測定装置(A2)が被測定IC(B2)にクロック(C
K2)を送ると、被測定IC(B2)は、データストロ
ーブ(DCK2)、データ(D21)、データ(D2
2)、…、データ(Dx)を出力する。出力されたデー
タストローブ(DCK2)、データ(D21)、データ
(D22)、…、データ(Dx)が、再度、IC測定装
置(A2)に入力される。データストローブ(DCK
2)、データ(D21)、データ(D22)、…、デー
タ(Dx)の立ち上がりエッジが出力されるタイミング
は、テストサイクル(TC2)内で変化する。
イミングが測定される動作を説明する。被測定IC(B
2)から出力されたデータストローブ(DCK2)は、
IC測定装置(A2)内の電圧比較器(V21)を介し
て、論理比較器(CMP21)内のエッジサーチ回路
(E21)に取り込まれる。
出力され、エッジサーチ回路(E21)に入力される、
2系統の判定ストローブパルス(S21)を構成する判
定ストローブパルス(S21−1)と、判定ストローブ
パルス(S21−2)との立ち上がりエッジのタイミン
グは、期間Aにおいては、それぞれ、テストサイクル
(TC2)内の時刻T41とT42とに設定される。時
刻T41とT42との差の時間は、データストローブ
(DCK2)の立ち上がりエッジのタイミングの許容範
囲(規格)とされる。
1、S21−2)の立ち上がりエッジのタイミングを、
テストサイクルTC2毎に、少しずつずらしてゆき、デ
ータストローブ(DCK2)の立ち上がりエッジを、2
つの判定ストローブパルス(S21−1、S21−2)
の立ち上がりエッジの間に捕捉する。図3に示した期間
Aは、データストローブ(DCK2)の立ち上がりエッ
ジが、2つの判定ストローブパルス(S21−1、S2
1−2)の立ち上がりエッジの間に捕捉された状態であ
り、期間Bは、捕捉されていない状態である。
エッジサーチ回路(E21)は、測定の対象であるデー
タストローブ(DCK2)と、2つの判定ストローブパ
ルス(S21−1、S21−2)とを入力する。そし
て、判定ストローブパルス(S21−1)の立ち上がり
エッジを検出したら、この判定ストローブパルス(S2
1−1)で、データストローブ(DCK2)のレベルの
反転をサンプリングし、エッジ判定結果(R21−1)
として出力する。また、判定ストローブパルス(S21
−2)の立ち上がりエッジを検出したら、この判定スト
ローブパルス(S21−2)で、データストローブ(D
CK2)のレベルの反転をサンプリングし、エッジ判定
結果(R21−2)として出力する。
ブパルス(S21−1)の立ち上がりエッジで、データ
ストローブ(DCK2)の状態はLレベルなので、エッ
ジ判定結果(R21−1)はHレベルになる。
パルス(S21−2)の立ち上がりエッジで、データス
トローブ(DCK2)の状態はHレベルなので、エッジ
判定結果(R21−2)はLレベルになる。
作を、2つの判定ストローブパルス(S21−1、S2
1−2)の立ち上がりエッジ間の時間差を変えずに、両
方の立ち上がりエッジのタイミングを少しずつずらしな
がら行い、エッジ判定結果(R21−1)がHレベル、
エッジ判定結果(R21−2)がLレベルとなるタイミ
ングを探す。
が、エッジ判定結果(R21−1、R21−2)を検出
し、エッジ判定結果(R21−1)がHレベル、エッジ
判定結果(R21−2)がLレベルになったら、CPU
(C2)に送るPass/Fail判定(P21)をP
ass(L)にする。なお、これ以外の場合には、Pa
ss/Fail判定(P21)はFail(H)とす
る。
チ回路(E22)の動作も、上述したエッジサーチ回路
(E21)と同様である。ただし、エッジサーチ回路
(E21)に入力される判定ストローブパルス(S2
1)のタイミングと、エッジサーチ回路(E22)に入
力される判定ストローブパルス(S22)のタイミング
との関係は、被測定IC(B2)の規格によって定まる
所定の関係とされる。
ッジ判定結果(R22−1、R22−2)は、判定制御
回路(J22)に入力される。判定制御回路(J22)
には、さらに、前述したエッジ判定結果(R21−1、
R21−2)も入力される。判定制御回路(J22)
は、これらの4つの入力に基づいて、データストローブ
(DCK2)の立ち上がりエッジを基準とした、データ
(D21)の立ち上がりエッジのタイミングが許容範囲
(規格)内であるか否かを判定し、Pass/Fail
判定(P22)をCPU(C2)へ出力する。判定制御
回路(J22)における入出力の関係は、図2に示した
通りである。
21−1)がH、エッジ判定結果(R21−2)がL、
エッジ判定結果(R22−1)がH、エッジ判定結果
(R22−2)がLのとき、Pass/Fail判定
(P22)はPass(L)となる。
ジ判定結果(R21−2)の両方がHの場合と、エッジ
判定結果(R21−1)およびエッジ判定結果(R21
−2)の両方がLの場合とは、データストローブ(DC
K2)が捕捉されていない状態であるが、Pass/F
ail判定(P22)はPass(L)となる。ただ
し、これらの場合には、前述したPass/Fail判
定(P21)がFail(H)なので、CPU(C2)
は、データストローブ(DCK2)が捕捉されていない
状態であることを認識できる。
ss/Fail判定(P22)はFail(H)とな
る。すなわち、エッジ判定結果(R21−1)がH、エ
ッジ判定結果(R21−2)がL、エッジ判定結果(R
22−1)がH、エッジ判定結果(R22−2)がLの
場合を第1の場合とし、エッジ判定結果(R21−1)
およびエッジ判定結果(R21−2)の両方がHの場合
を第2の場合とし、エッジ判定結果(R21−1)およ
びエッジ判定結果(R21−2)の両方がLの場合を第
3の場合とすると、第1、第2、第3の場合以外の場合
には、Pass/Fail判定(P22)はFail
(H)となる。
4、…、Ex)および判定制御回路(J23、J24、
…、Jx)における動作も、上記のエッジサーチ回路
(E22)および判定制御回路(J22)における動作
と同様である。
る、データストローブ(DCK2)を基準とするデータ
(D21、D22)のタイミングの判定結果、すなわち
Pass/Fail判定(P22、P23)を示す表で
ある。
ては、データストローブ(DCK2)のエッジ判定結果
(R21−1)がH、エッジ判定結果(R21−2)が
L、データ(D1)のエッジ判定結果(R22−1)が
H、エッジ判定結果(R22−2)がLなので、Pas
s/Fail判定(P22)はPass(L)となる。
は、データストローブ(DCK2)のエッジ判定結果
(R21−1)がH、エッジ判定結果(R21−2)が
L、データ(D2)のエッジ判定結果(R23−1)が
H、エッジ判定結果(R23−2)もHなので、Pas
s/Fail判定(P23)はFail(H)となる。
CK2)を基準としたデータ(D21、D22、…、D
x)のタイミングが、許容範囲(規格)内にあるか否か
を、1テストサイクル内で判定することができる。
準とする代わりに、判定ストローブパルス(S21−1
等)を基準としたタイミングを判定することも可能であ
り、例えば、判定ストローブパルス(S21−1)の立
ち上がりエッジの時刻T41を基準としたタイミングを
判定することも可能である。
23、…、Sx)どうしのタイミングを、被測定IC
(B2)の規格によって定まる所定の関係とすれば、デ
ータ(D21、D22、…、Dx)のタイミングを同時
に判定することもできる。
タストローブ付きIC)が出力する被測定データ(デー
タストローブまたはデータ)のタイミングを測定する際
に、1つのテストサイクル内の2つの時刻における被測
定データの状態を、1テストサイクルの期間内で検出す
ることができるので、被測定データのタイミングを高速
で測定することができ、測定時間を大幅に短縮すること
ができる。
(A2)の構成を示すブロック図である。
係を示す表である。
(A2)の動作を示すタイミングチャートである。
トローブ(DCK2)を基準とするデータ(D21、D
22)のタイミングの判定結果を示す表である。
である。
チャートである。
グジェネレータ TG21 タイミングジェネレータ(第1のタイミング
ジェネレータ) TG22 タイミングジェネレータ(第2のタイミング
ジェネレータ) TG23〜TGx タイミングジェネレータ S11、S12、S13、…、Sm 判定ストローブパ
ルス S21、S22、S23、…、Sx 判定ストローブパ
ルス CMP11、CMP12、CMP13、…、CMPm
論理比較器 CMP21、CMP22、CMP23、…、CMPx
論理比較器 E11、E12、E13、…、Em エッジサーチ回路 E21 エッジサーチ回路(第1のエッジ検出手段) E22 エッジサーチ回路(第2のエッジ検出手段) E23〜Ex エッジサーチ回路 J22 判定制御回路(判定手段) J23〜Jx 判定制御回路 V11、V12、V13、…、Vm 電圧比較器 V21、V22、V23、…、Vx 電圧比較器 CK1、CK2 クロック DCK1、DCK2 データストローブ D11、D12、…、Dm データ D21、D22、…、Dx データ
Claims (5)
- 【請求項1】 被測定ICから出力されるデータストロ
ーブとデータとのタイミングの合否を判定するIC測定
装置であって、 このIC測定装置のテストサイクルに同期した、時刻の
異なる2つの判定ストローブパルスを出力する第1のタ
イミングジェネレータと、 この第1のタイミングジェネレータが出力した、時刻の
異なる2つの判定ストローブパルスに基づいて、1つの
テストサイクル内の2つの時刻におけるデータストロー
ブの状態を検出する第1のエッジ検出手段と、 前記IC測定装置のテストサイクルに同期した、時刻の
異なる2つの判定ストローブパルスを出力する第2のタ
イミングジェネレータと、 この第2のタイミングジェネレータが出力した、時刻の
異なる2つの判定ストローブパルスに基づいて、1つの
テストサイクル内の2つの時刻におけるデータの状態を
検出する第2のエッジ検出手段と、 この第2のエッジ検出手段が検出したデータの状態と、
前記第1のエッジ検出手段が検出したデータストローブ
の状態とに基づいて、データストローブを基準としたデ
ータのタイミングの合否を判定する判定手段とを有する
ことを特徴とするIC測定装置。 - 【請求項2】 前記第1のタイミングジェネレータおよ
び第2のタイミングジェネレータがそれぞれ出力する、
2つの判定ストローブパルス間の時間は、前記被測定I
Cの規格に応じた時間とされていることを特徴とする請
求項1に記載のIC測定装置。 - 【請求項3】 前記第1のタイミングジェネレータが出
力する判定ストローブパルスのタイミングと、前記第2
のタイミングジェネレータが出力する判定ストローブパ
ルスのタイミングとの関係は、前記被測定ICの規格に
応じた関係とされていることを特徴とする請求項1また
は2に記載のIC測定装置。 - 【請求項4】 前記第2のタイミングジェネレータ、第
2のエッジ検出手段および判定手段を含む回路ブロック
を複数有することを特徴とする請求項1から3のいずれ
かに記載のIC測定装置。 - 【請求項5】 各回路ブロックが有する第2のタイミン
グジェネレータが出力する判定ストローブパルスどうし
の関係は、前記被測定ICの規格に応じた関係とされて
いることを特徴とする請求項4に記載のIC測定装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000397454A JP2002196054A (ja) | 2000-12-27 | 2000-12-27 | Ic測定装置 |
DE10163274A DE10163274B4 (de) | 2000-12-27 | 2001-12-21 | IC-Messvorrichtung |
US10/033,252 US6892333B2 (en) | 2000-12-27 | 2001-12-26 | IC measuring device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000397454A JP2002196054A (ja) | 2000-12-27 | 2000-12-27 | Ic測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002196054A true JP2002196054A (ja) | 2002-07-10 |
Family
ID=18862574
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000397454A Pending JP2002196054A (ja) | 2000-12-27 | 2000-12-27 | Ic測定装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6892333B2 (ja) |
JP (1) | JP2002196054A (ja) |
DE (1) | DE10163274B4 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005114598A (ja) * | 2003-10-09 | 2005-04-28 | Oki Electric Ind Co Ltd | ストローブタイミングの調整方法及び半導体装置のファンクションテスト装置 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7050507B2 (en) * | 2002-04-22 | 2006-05-23 | Intel Corporation | Adaptive throughput pulse width modulation communication scheme |
US7196534B2 (en) * | 2002-12-20 | 2007-03-27 | Advantest Corp. | Semiconductor test instrument |
US11188114B2 (en) * | 2019-08-06 | 2021-11-30 | Viavi Solutions Inc. | Digital circuit to detect presence and quality of an external timing device |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW343282B (en) * | 1996-06-14 | 1998-10-21 | Adoban Tesuto Kk | Testing device for a semiconductor device |
US5835506A (en) * | 1997-04-29 | 1998-11-10 | Credence Systems Corporation | Single pass doublet mode integrated circuit tester |
TWI238256B (en) * | 2000-01-18 | 2005-08-21 | Advantest Corp | Testing method for semiconductor device and its equipment |
-
2000
- 2000-12-27 JP JP2000397454A patent/JP2002196054A/ja active Pending
-
2001
- 2001-12-21 DE DE10163274A patent/DE10163274B4/de not_active Expired - Fee Related
- 2001-12-26 US US10/033,252 patent/US6892333B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005114598A (ja) * | 2003-10-09 | 2005-04-28 | Oki Electric Ind Co Ltd | ストローブタイミングの調整方法及び半導体装置のファンクションテスト装置 |
JP4564250B2 (ja) * | 2003-10-09 | 2010-10-20 | Okiセミコンダクタ株式会社 | 半導体装置のファンクションテスト方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE10163274A1 (de) | 2003-05-15 |
US20020079917A1 (en) | 2002-06-27 |
US6892333B2 (en) | 2005-05-10 |
DE10163274B4 (de) | 2006-07-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7504896B2 (en) | Methods and apparatus for inline measurement of switching delay history effects in PD-SOI technology | |
US7260493B2 (en) | Testing a device under test by sampling its clock and data signal | |
CN107144781A (zh) | 具有数字边沿触发检测电路的测量系统 | |
JPS62243416A (ja) | スリツプ条件の検出回路 | |
JP2002196054A (ja) | Ic測定装置 | |
JP2000314767A (ja) | クロックジッタの測定方法 | |
US10128828B2 (en) | Synchronous, internal clock edge alignment for integrated circuit testing | |
KR100685081B1 (ko) | 펄스 폭 검출기 | |
JP2985056B2 (ja) | Ic試験装置 | |
JP2002196053A (ja) | Ic測定装置 | |
JP3934384B2 (ja) | 半導体デバイス試験装置 | |
JPH102937A (ja) | Ic試験装置 | |
US11879939B2 (en) | System and method for testing clocking systems in integrated circuits | |
JP2002196051A (ja) | 半導体装置の動作試験装置および動作試験方法 | |
JP3058130B2 (ja) | 高速半導体集積回路装置のテスト回路 | |
JP2527623Y2 (ja) | Ic試験装置 | |
US5831455A (en) | Polarity detector | |
TW577993B (en) | Digital integrated circuit test system with testing capacitor and its testing method | |
JPH04109733A (ja) | 出力回路 | |
JP2944307B2 (ja) | A/dコンバータの非直線性の検査方法 | |
JPH03210480A (ja) | Icの出力パルス幅検査回路 | |
JPH09119963A (ja) | Ic試験装置 | |
JP2002340991A (ja) | 半導体装置及びそのacスペック検査方法 | |
JPH1084262A (ja) | 極性検出器 | |
JPH0389180A (ja) | 期待パターンの後半反転回路 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20041001 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050301 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20050301 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060606 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060613 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060810 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20061107 |