JP2002134253A - 冷却可能な赤外線放射エレメント - Google Patents

冷却可能な赤外線放射エレメント

Info

Publication number
JP2002134253A
JP2002134253A JP2001250640A JP2001250640A JP2002134253A JP 2002134253 A JP2002134253 A JP 2002134253A JP 2001250640 A JP2001250640 A JP 2001250640A JP 2001250640 A JP2001250640 A JP 2001250640A JP 2002134253 A JP2002134253 A JP 2002134253A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cooling
heating
radiating element
heating tube
element according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2001250640A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3530509B2 (ja
Inventor
Stefan Fuchs
フックス シュテファン
Friedhelm Schneider
シュナイダー フリートヘルム
Joachim Scherzer
シェルツァー ヨアヒム
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Heraeus Noblelight GmbH
Original Assignee
Heraeus Noblelight GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Heraeus Noblelight GmbH filed Critical Heraeus Noblelight GmbH
Publication of JP2002134253A publication Critical patent/JP2002134253A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3530509B2 publication Critical patent/JP3530509B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00Ohmic-resistance heating
    • H05B3/40Heating elements having the shape of rods or tubes
    • H05B3/42Heating elements having the shape of rods or tubes non-flexible
    • H05B3/44Heating elements having the shape of rods or tubes non-flexible heating conductor arranged within rods or tubes of insulating material
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01KELECTRIC INCANDESCENT LAMPS
    • H01K1/00Details
    • H01K1/02Incandescent bodies
    • H01K1/04Incandescent bodies characterised by the material thereof
    • H01K1/06Carbon bodies
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01KELECTRIC INCANDESCENT LAMPS
    • H01K1/00Details
    • H01K1/02Incandescent bodies
    • H01K1/14Incandescent bodies characterised by the shape
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01KELECTRIC INCANDESCENT LAMPS
    • H01K1/00Details
    • H01K1/28Envelopes; Vessels
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01KELECTRIC INCANDESCENT LAMPS
    • H01K1/00Details
    • H01K1/28Envelopes; Vessels
    • H01K1/32Envelopes; Vessels provided with coatings on the walls; Vessels or coatings thereon characterised by the material thereof
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01KELECTRIC INCANDESCENT LAMPS
    • H01K1/00Details
    • H01K1/50Selection of substances for gas fillings; Specified pressure thereof
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01KELECTRIC INCANDESCENT LAMPS
    • H01K1/00Details
    • H01K1/58Cooling arrangements
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00Ohmic-resistance heating
    • H05B3/0033Heating devices using lamps
    • H05B3/009Heating devices using lamps heating devices not specially adapted for a particular application
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00Ohmic-resistance heating
    • H05B3/02Details
    • H05B3/04Waterproof or air-tight seals for heaters
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B2203/00Aspects relating to Ohmic resistive heating covered by group H05B3/00
    • H05B2203/032Heaters specially adapted for heating by radiation heating

Landscapes

  • Resistance Heating (AREA)
  • Control Of Resistance Heating (AREA)
  • Light Receiving Elements (AREA)
  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 両端部で各1つの気密な電流ブッシングを有
する、少なくとも1つの加熱管を有し、加熱管内に放射
線源として長く延びる電気的な加熱導体が配置され、液
状の冷却媒体のための少なくとも1つの冷却通路を有す
る少なくとも1つの冷却部材が設けられ、、加熱導体の
領域内で、少なくとも1つの反射面を有する金属製のリ
フレクタが設けられている、シリカガラス製の冷却可能
な赤外線放射エレメントでを改良して、>500kW/
の高いエネルギー集中が得られ、放射線の損失が少
ない、赤外線放射器を提供する。 【解決手段】 少なくとも1つの反射面が、横断面で見
て、1つの面を取り囲む線を描くようになっており、こ
の面の領域内に、液状の冷却媒体の少なくとも一部のた
めの貫流部が設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、シリカガラスより
成る冷却可能な赤外線放射エレメントであって、少なく
とも1つの加熱管が設けられていて、該加熱管はその両
端部でそれぞれ1つの気密な電流ブッシングを有してお
り、加熱管内に放射線源として長く延びる電気的な加熱
導体が配置されており、少なくとも1つの冷却部材が設
けられていて、該冷却部材は、液状の冷却媒体のための
少なくとも1つの冷却通路を有していて、少なくとも前
記加熱導体の領域内で、少なくとも1つの反射面を有す
る金属製のリフレクタが設けられている形式のものに関
する。
【0002】
【従来の技術】このような形式の赤外線放射エレメント
は、ドイツ連邦共和国特許第2637338号明細書に
より公知である。この公知の赤外線放射エレメントは、
加熱管と冷却管とを有する、シリカガラスより成る水冷
式のツイン管を有しており、この場合冷却管の表面にゴ
ールドより成る反射層が取り付けられている。反射層
は、冷却管の外側面に又は、加熱管及び冷却管の共通の
壁面の、加熱導体と反対側の表面に取り付けられてい
る。この放射線のための可能な集中エネルギーは400
kW/mである。
【0003】DD257200A1(旧東ドイツ経済特
許第257200号明細書)によれば、被覆管内に配置
された長く延びる熱放射器(Gluehstrahle
r)を有する赤外線高性能放射源について記載されてい
る。被覆管は、外装管内に配置されていて、外装管に対
して放射方向の平面で3〜15%だけずらされている。
この場合、外套管は液状の冷却媒体及びフィルタ媒体に
よって貫流される。被覆管は、その液状媒体に向いた側
の表面で、反射面としての多数のストリップ状の円筒形
セグメントを有している。これに対して、外套管は、液
状媒体とは反対側の表面でほぼハーフシェル状の反射層
を有している。予加熱方向で最大の放射効率を得るため
に、3つの円筒形セグメントが反射面として被覆管に配
置されており、この場合、2つの円筒形セグメント間の
間隔は、1つの円筒形セグメントの幅に相当し、円筒形
セグメントは反射面に対して平行に外装管に配置されて
いる。
【0004】ヨーロッパ特許第0163348号明細書
によれば、石英容器内に配置された、巻かれたタングス
テン加熱導体を備えた赤外線ランプについて記載されて
いる。石英容器は、ハロゲン循環を形成するためのハロ
ゲンガスで満たされている。ゴールド又はロジウム(R
hodium)より成る赤外光線を反射する層が、石英
容器の表面の有利には全長をハーフシェル状に覆ってい
る。気密な電気的なブッシングは、電気接続部を有す
る、容器の両端部で押しつぶされた薄いモリブデンシー
トによって実現される。
【0005】ドイツ連邦共和国特許第2803122号
明細書によれば、臭素回路を備えたハロゲン白熱ランプ
について記載されており、この場合、白熱ランプは、石
英ガラスより成るガラスバルブと、充填ガスと、タング
ステンより成る白熱コイルとを有している。臭素は、白
熱ランプの運転状態でガラスバルブ内に固体の形状で収
容された臭化金属の分解後に、公知のタングステン・ハ
ロゲン循環のために提供される。臭化金属としては臭化
銅が使用される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、>5
00kW/mの高いエネルギー集中が得られ、放射線
の損失が少ない、赤外線放射器を提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】この課題を解決した本発
明によれば、少なくとも1つの反射面が、横断面で見
て、1つの面を取り囲む線を描くように形成されてお
り、この面の領域内に、液状の冷却媒体の少なくとも一
部のための貫流部が設けられている。
【0008】
【発明の効果】本発明の上記構成において、横断面と
は、反射しようとする面が線として認識される、加熱管
の縦軸線に対して垂直な断面のことである。これらの線
は、横断面において1つの面を形成している。この場
合、これらの線は有利には円である。円以外の線の形
状、例えば正方形、方形、三角形、楕円形、半月形又は
その他の規則的な或いは不規則的な面であってもよい。
それに従って、横断面で認識される表面の少なくとも1
つが、液状の冷却剤のための通路又はこの通路の少なく
とも一部を形成する。このような幾何学的な構成によっ
て、≧1MW/mのエネルギー集中及びわずかな放射
線損失を有する高効率赤外線放射器を実現することがで
きる。この場合、加熱管は、190W/cmまでの特殊
な効率のために設計されなければならない。またこの場
合、約3000Kの範囲内の非常に高い加熱導体温度が
必要である。しかしながらこのような高い加熱導体温度
においては、一方ではシリカガラス加熱管の形状安定性
が脅かされ、他方では冷却水の沸騰若しくは過熱及びひ
いては放射エレメントの破壊の確率が高くなる。シリカ
ガラス製の過熱管の形状安定性は、本発明では冷却のた
めに用いられる液状の冷却媒体特に水の高い熱受容能力
によって得られる。本発明によるリフレクタの構成は、
他方では冷却剤が強く加熱され過ぎることを阻止する。
このように冷却剤が強く加熱され過ぎることは、例えば
従来技術において公知であるように、反射層が冷却管の
外側面に配置されている場合に生じる。
【0009】特殊な反射面をどのように配置できるかに
ついては、勿論種々異なる可能性がある。
【0010】例えば、リフレクタは金属層より形成され
ていてもよく、この場合、冷却部材が、少なくとも1つ
の加熱管に直接隣接する、少なくとも1つの冷却通路を
有する冷却管であって、少なくとも1つの冷却通路が金
属層によって被覆されている。金属層としては有利には
冷却管の内側金メッキが考えられる。
【0011】リフレクタが少なくとも薄壁状の金属部分
より形成されていていてもよい。この場合、冷却部材
が、少なくとも1つの加熱管に直接隣接する、少なくと
も1つの冷却通路を備えた冷却管であって、該冷却通路
が金属部分によって被覆されている。金属部分はシート
又は金属薄板より形成されており、この場合シートはフ
レキシブルであって、冷却管の内側寸法に正確に合致さ
せることができる。
【0012】またリフレクタが薄壁状の金属部分より形
成されており、冷却部材が、少なくとも1つの加熱管を
取り囲む冷却管であって、薄壁状の金属部分が冷却管内
に配置されていてもよい。この場合有利には、中空構造
を有する自己支持構造のリフレクタを冷却管内に配置す
ることができるが、冷却管及び/又は加熱管に施された
反射層と金属部分との組み合わせも用いることができ
る。
【0013】放射器の特別な実施例によれば、冷却エレ
メントが金属製のリフレクタとして構成されている。つ
まり、冷却特性と反射性能とを組み合わせたということ
である。放射のためのリフレクタの非透過性に基づい
て、リフレクタは勿論、少なくとも1つの加熱管の外側
壁部の周囲の最大50%を取り囲んでいる。この場合、
リフレクタは、冷却剤を搬送するための少なくとも2つ
の冷却通路を有している。
【0014】加熱導体がタングステンより形成されてお
り、加熱管が、ハロゲン・ドーピング(Halogen
−Dotierung)を有する不活性ガスで満たされ
ていれば有利である。高い加熱温度において、タングス
テンは強く蒸発されるので、ハロゲン循環プロセスを形
成するために、有利には臭化アンモニウム(Ammon
iumbromid)又は臭化銅(Kupferbro
mid)より成るハロゲン・ドーピングを使用する必要
がある。電気的な電流ブッシングの領域内で臭化アンモ
ニウム又は臭化銅が凝縮するのを避けるために、加熱導
体と気密な電流ブッシングとの間にそれぞれ1つの電気
的な接続導線が配置されており、該接続導線の直径は、
公称電流においてこの接続導線がその電気抵抗に基づい
て600℃〜800℃の温度に加熱されるように寸法設
計されている。
【0015】タングステン加熱導体の代わりに、炭素帯
材より成る加熱導体を使用してもよい。この場合、加熱
管は希ガスで満たされているか、又は排気されている。
【0016】有利には、赤外線放射エレメントが第1の
加熱管と第2の加熱管とを有しており、この場合、第1
の加熱管の壁面が同時に第2の加熱管の壁面である。
【0017】赤外線放射エレメントを有する特別に成形
された部分又は室を加熱又は暖めることができるように
するために、加熱管と冷却部材とが湾曲して構成されて
いる。
【0018】このように湾曲した構成に基づいて、加熱
管の2つの気密な電流ブッシングは、同じ方向に向けら
れ、互いに平行に配置され、それによって例えば炉室の
一方側だけに存在する、赤外線放射エレメントのための
電気的な接続部を使用することができる。
【0019】シリカガラス製の加熱管の形状安定性を保
証するために、加熱管は10〜17mmの内径を有して
構成されている。この場合、巻かれた加熱導体の巻き直
径と加熱管の内径との比は少なくとも1:3である。
【0020】
【発明の実施の形態】図1には、シリカガラス(Kie
selglas)より成る冷却管3と加熱管2とを備え
た赤外線放射エレメント1が示されている。加熱管2内
には長く延びた電気的な加熱導体4が配置されており、
この加熱導体4は、一般的な形式でタングステンより製
造されているスペーサ部材4aによって位置決めされて
いる。加熱導体4は図示の実施例では、コイルの形状の
タングステンより構成されており、この場合、加熱管2
内には不活性ガスが充填されており、この不活性ガスは
ハロゲン・ドーピング(Halogen−Dotier
ung)を有している。不活性ガスとしてアルゴン(A
rgon)が選定されおり、ハロゲン・ドーピングとし
て臭化アンモニウム(Ammoniumbromid)
が選定されている。加熱導体4と、加熱管2を貫通する
気密な電流ブッシング(電流引き込み線)5a,5bと
の間にはそれぞれ1つの電気的な接続導線6a,6bが
配置されており、この場合、接続導線6a,6bの直径
はそれぞれ、公称電流(Nominalstrom)に
おいて接続導線6a,6bがその電気的な抵抗に基づい
て600℃〜800℃の温度に加熱されるように寸法設
計されている。気密な電流ブッシング5a,5bは、加
熱管2の両端部においてシリカガラスを押しつぶし及び
/又は溶融することによって形成される。この場合、薄
いモリブデンシート7a,7bを溶融する公知の方法が
用いられる。冷却管3は冷却通路を有しており、この冷
却通路は金属製のリフレクタ(反射体)によって被覆さ
れている。リフレクタ8は、冷却管3の薄い内側金メッ
キによって形成されている(図1のa)か、又は反射面
を有する酸化されない金属薄板例えば金薄板によって冷
却通路を被覆することによって(図1のb及び図1の
c)形成されている。冷却管3には、冷却剤導管を備え
た冷却管3に接続するための接続部9a,9bが取り付
けられており、この場合、液状の冷却剤として水が設け
られている。
【0021】図1のaには、加熱管2と冷却管3とを備
えた、図1に示した赤外線放射エレメントのA−A′に
沿った横断面図が示されている。冷却管3は液状の冷却
剤のための冷却通路3aを有している。加熱管2内には
コイル状の加熱導体4が入れられており、この加熱導体
4は、スペーサ部材4aによって位置決めされている。
冷却管3は、層状の内側面金メッキの形状のリフレクタ
8aを有している。
【0022】図1のbには、加熱管2及び冷却管3を備
えた、図1に示した赤外線放射エレメントのA−A′に
沿った横断面図が示されている。冷却管3は液状の冷却
剤のための冷却通路3aを有している。加熱管2内には
コイル状の加熱導体4が入れられており、この加熱導体
4はスペーサ部材4aによって位置決めされている。冷
却管3は、冷却管3に直接接触している金箔(Gold
folie)より成る反射面を備えた酸化されない金属
シートの形状のリフレクタ8bを有している。
【0023】図1のcには、加熱管2及び冷却管3を備
えた、図1に示した赤外線放射エレメントのA−A′に
沿った横断面図が示されている。冷却管3は液状の冷却
剤のための冷却通路3aを有している。加熱管2内には
コイル状の加熱導体4が入れられており、この加熱導体
4はスペーサ部材4aによって位置決めされている。冷
却管3は、冷却管3に直接接触している金箔より成る反
射面を備えた酸化されない金属シートの形状のリフレク
タ8cを有している。
【0024】図2には、シリカガラスより成る冷却管3
及び加熱管2を備えた、図1の実施例におけるのと同様
の赤外線放射エレメント1が示されている。加熱管2内
には、ばね10によって緊締された、長く延びた電気的
な加熱導体4が配置されている。加熱導体4は、炭素帯
材として構成されており、この場合、加熱管2は排気さ
れている。気密な電流ブッシング5a,5bは図1に示
されたものと同様に構成されている。冷却管3は、金属
製のリフレクタ8によって被覆された冷却通路を有して
いる。リフレクタ8は、冷却管3の薄い内側面金メッキ
によって形成されているか(図1のa参照)又は、反射
面を備えた酸化されない金属薄板例えば金薄板、或いは
反射面を備えた酸化されない金属シート例えば、冷却通
路を被覆する(図1のb及び図1のc)金箔によって形
成されている。冷却管3には、冷却管3を冷却剤導管に
接続するための接続部9a,9bが取り付けられてお
り、この場合、液状の冷却媒体として水が設けられてい
る。
【0025】図3のaには、シリカガラスより成る2つ
の加熱管2a,2bを備えた赤外線放射エレメント1の
横断面図が示されている。加熱管2a,2b内には、炭
素帯材より成る加熱導体4a,4bがそれぞれ1つ配置
されている。2つの加熱管2a,2bの一方側には、金
属製のリフレクタ8が形状接続(形状による束縛)式に
取り付けられている。このリフレクタ8は、図示の実施
例では反射体の機能だけでなく、同時に冷却エレメント
の機能をも有している。リフレクタ8は、液状の冷却剤
を受容するための2つの冷却通路3a,3bを有してい
る。
【0026】図3のbには、シリカガラスより成る2つ
の加熱管2a,2bを備えた赤外線放射エレメント1の
横断面図が示されており、これらの加熱管2a,2b内
にはタングステンコイルの形状の加熱導体4a,4bが
それぞれ1つ配置されている。2つの加熱管2a,2b
の一方側には、金属製のリフレクタ8が形状接続式に取
り付けられており、このリフレクタ8はこの実施例で
は、反射体の機能だけでなく、同時に冷却エレメントと
しての機能をも有している。リフレクタ8は、液状の冷
却剤を受容するための2つの冷却通路3a,3bを有し
ている。
【0027】図4のaには、シリカガラスより成る加熱
管2を備えた赤外線放射エレメント1の横断面図が示さ
れている。加熱管2内には、タングステンコイルの形状
の加熱導体4が配置されている。加熱管2の一方側に
は、金属製のリフレクタ8が形状接続式に取り付けられ
ている。このリフレクタ8は、この実施例では反射体の
機能だけでなく、同時に冷却エレメントの機能をも行
う。リフレクタ8は、液状の冷却剤を受容するための2
つの冷却通路3a,3bを有している。
【0028】図4のbには、シリカガラスより成る2つ
の加熱管2を備えた赤外線放射エレメント1の横断面図
が示されており、この加熱管2内にはタングステンコイ
ルの形状の加熱導体4が配置されている。加熱管2の一
方側には、金属製のリフレクタ8が形状接続式に取り付
けられており、このリフレクタ8はこの実施例では、反
射体の機能だけでなく、同時に冷却エレメントとしての
機能をも有している。リフレクタ8は、液状の冷却剤を
受容するための2つの冷却通路3a,3bを有してい
る。
【0029】図5のaには、シリカガラスより成る冷却
管3内に配置された、タングステンコイルを収容する2
つの加熱管を備えた、赤外線放射エレメント1の、図5
のbのB−B′線に沿った断面図が示されている。冷却
管3は冷却通路3aを有しており、この冷却通路3a内
に加熱管が配置されていて、それによって加熱管はその
周囲が、液状の冷却媒体の流れによって洗浄されるよう
になっている。加熱管の一方側では金属製のリフレクタ
8が冷却通路3a内に配置されていて、このリフレクタ
8は半月形の中空横断面形状を有していて、それによっ
て冷却媒体が貫流するようになっている。冷却管3を冷
却媒体導管に接続するために接続部9a(及び9b;図
5のb参照)が設けられている。
【0030】図5のbには、図5のaに示した赤外線放
射エレメント1の側面図が示されており、この図5のb
の側面図ではリフレクタ8は見えていないが、加熱管2
a,2b並びにタングステンコイル4a,4bが示され
ている。加熱導体4a,4bと気密な電流ブッシング5
a,5bとの間で、加熱管2a,2bを通してそれぞれ
1つの電気的な接続導線6a,6b,6c,6dが配置
されており、この場合、接続導線6a,6b,6c,6
dの直径はそれぞれ、各接続導線6a,6b,6c,6
dが公称電流においてその電気抵抗に基づいて600℃
〜800℃の温度に加熱するように寸法設計されてい
る。気密な電流ブッシング5a,5bは、加熱管2a,
2bにおいて、シリカガラスを押しつぶし及び/又は溶
融することによって形成されている。冷却管3は、間隔
を保って2つの加熱管2a,2bを取り囲んでいて、冷
却媒体のための接続部9a,9bを介して冷却媒体導管
に接続されるようになっている。
【0031】図6のaには、シリカガラスより成る冷却
管3内に配置された2つの加熱管2a,2bを備えた赤
外線放射エレメント1が図示されており、この赤外線放
射エレメント1は、液状の冷却媒体のための2つの接続
部9a,9bを有している。加熱管2a,2b内には、
炭素帯材の形状の加熱導体4a,4bがそれぞれ1つ配
置されており、この加熱導体4a,4bはそれぞればね
10a,10bを介して緊締される。さらに加熱管2
a,2bは気密な電流ブッシング5a,5bを有してい
る。
【0032】図6のbには、図6のaに示した赤外線放
射エレメントのC−C′線に沿った横断面図が示されて
おり、この場合、半月形の中空形状を有するリフレクタ
8が冷却通路3a内に配置されている。勿論、リフレク
タ8はその他の形状、例えば加熱管2a,2b並びに冷
却管3に形状接続的に合致した形状で構成されていても
よい。
【0033】図6のcには、図6のaに示した赤外線放
射エレメント1の縦断面図が示されている。冷却管3
と、この冷却管3内に配置された加熱管2aとが示され
ている。加熱管2a内には、炭素帯材の形状の加熱導体
4aが配置されており、この加熱導体4aは、ばね10
aによって緊締されている。また気密な電流ブッシング
5a,5bが示されている。リフレクタは図面に示され
ていない。
【0034】図7では、湾曲された加熱管2及び湾曲さ
れた冷却管3を備えた赤外線放射エレメント1が示され
ている。この場合、加熱管2の2つの気密な電流ブッシ
ング5a,5bは、同じ方向で互いに平行に配置されて
いる。この装置の機械的な強度を高めるために、電流ブ
ッシング5a,5bは互いに溶融結合されている。加熱
管2内にはタングステンコイルの形状の加熱導体4が配
置されており、一方、冷却管3の冷却通路3aは、内側
金メッキが施されたリフレクタ8によって取り囲まれて
いる。冷却管3と冷却媒体導管とを接続するために接続
部9a,9bが設けられている。
【図面の簡単な説明】
【図1】加熱管と冷却管と加熱導体としてのタングステ
ンコイルとを備えた赤外線放射エレメントの概略的な断
面図である。
【図1a】内側金メッキされた冷却管を有する、図1に
示した赤外線放射エレメントの横断面図である。
【図1b】反射式の金属シートを有する冷却管の被覆部
を備えた、図1に示した赤外線放射エレメントの横断面
図である。
【図1c】反射式の金属薄板を有する冷却管の被覆部を
備えた、図1に示した赤外線放射エレメントの横断面図
である。
【図2】加熱管と冷却管と、炭素帯材として構成された
加熱導体とを有する赤外線放射エレメントの概略的な断
面図である。
【図2a】図2に示した赤外線放射エレメントの側面図
である。
【図3a】2つの加熱管と、2つの冷却通路と、加熱導
体としての炭素帯材とを備えた赤外線放射エレメントの
横断面図である。
【図3b】2つの加熱管と、2つの冷却通路と、加熱導
体としてのタングステンコイルとを備えた赤外線放射エ
レメントの横断面図である。
【図4a】1つの加熱管と、2つの冷却通路と、加熱導
体としてのタングステンコイルとを備えた赤外線放射エ
レメントの横断面図である。
【図4b】1つの加熱管と、2つの冷却通路と、加熱導
体としての炭素帯材とを備えた赤外線放射エレメントの
横断面図である。
【図5a】冷却体内に配置された2つの加熱管と、加熱
導体としてのタングステンコイルとを備えた赤外線放射
エレメントの横断面図である。
【図5b】図5のaの赤外線放射エレメントの側面図で
ある。
【図6a】冷却管内に配置された2つの加熱管を備えた
赤外線放射エレメントの側面図である。
【図6b】図6のaに示した赤外線放射エレメントの横
断面図である。
【図6c】図6のaに示した赤外線放射エレメントの別
の側面図である。
【図7】湾曲された加熱管及び冷却管を備えた赤外線放
射エレメントを示す図である。
【符号の説明】
1 赤外線放射エレメント、 2 加熱管、 3 冷却
管、 3a 冷却通路、 4,4a,4b 加熱導体、
5a,5b 電流ブッシング、 6a,6b,6c,
6d 電気的な接続導線、 8 リフレクタ、 9a,
9b 接続部、10 ばね
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 フリートヘルム シュナイダー ドイツ連邦共和国 ゲルンハウゼン ゲル ンホイザー シュトラーセ 16 (72)発明者 ヨアヒム シェルツァー ドイツ連邦共和国 ブルーフケーベル エ ミール−ベーリング−シュトラーセ 15 Fターム(参考) 3K058 AA81 AA87 BA00 CE02 CE03 CE12 CE17 EA01 EA23 3K092 PP20 QA01 QB02 QB26 RA03 RC02 RC26 RC27 RD11 RD20 SS15 SS32 TT13

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 シリカガラスより成る冷却可能な赤外線
    放射エレメントであって、少なくとも1つの加熱管が設
    けられていて、該加熱管はその両端部でそれぞれ1つの
    気密な電流ブッシングを有しており、加熱管内に放射線
    源として長く延びる電気的な加熱導体が配置されてお
    り、少なくとも1つの冷却部材が設けられていて、該冷
    却部材は、液状の冷却媒体のための少なくとも1つの冷
    却通路を有していて、少なくとも前記加熱導体の領域内
    で、少なくとも1つの反射面を有する金属製のリフレク
    タが設けられている形式のものにおいて、 少なくとも1つの反射面が、横断面で見て、1つの面を
    取り囲む線を描くように形成されており、この面の領域
    内に、液状の冷却媒体の少なくとも一部のための貫流部
    が設けられていることを特徴とする、冷却可能な赤外線
    放射エレメント。
  2. 【請求項2】 リフレクタが金属層を有しており、冷却
    部材が、少なくとも1つの加熱管に直接隣接する、少な
    くとも1つの冷却通路を有する冷却管であって、少なく
    とも1つの冷却通路が金属層によって被覆されている、
    請求項1記載の赤外線放射エレメント。
  3. 【請求項3】 リフレクタが少なくとも薄壁状の金属部
    分より形成されており、冷却部材が、少なくとも1つの
    加熱管に直接隣接する、少なくとも1つの冷却通路を備
    えた冷却管であって、該冷却通路が金属部分によって被
    覆されている、請求項1記載の赤外線放射エレメント。
  4. 【請求項4】 リフレクタが薄壁状の金属部分より形成
    されており、冷却部材が、少なくとも1つの加熱管を取
    り囲む冷却管であって、薄壁状の金属部分が冷却管内に
    配置されている、請求項1記載の赤外線放射エレメン
    ト。
  5. 【請求項5】 冷却エレメントが金属製のリフレクタと
    して構成されており、リフレクタが、少なくとも1つの
    加熱管の外側壁部の周囲の最大50%を取り囲んでい
    る、請求項1記載の赤外線放射エレメント。
  6. 【請求項6】 リフレクタが、冷却剤を搬送するための
    少なくとも2つの冷却通路を有している、請求項5記載
    の赤外線放射エレメント。
  7. 【請求項7】 加熱導体がタングステンより形成されて
    おり、加熱管が、ハロゲン・ドーピングを有する不活性
    ガスで満たされている、請求項1から6までのいずれか
    1項記載の赤外線放射エレメント。
  8. 【請求項8】 ハロゲン・ドーピングが臭化アンモニウ
    ム又は臭化銅より形成されている、請求項7記載の赤外
    線放射エレメント。
  9. 【請求項9】 加熱導体と気密な電流ブッシングとの間
    にそれぞれ1つの電気的な接続導線が配置されており、
    該接続導線の直径は、公称電流においてこの接続導線が
    その電気抵抗に基づいて600℃〜800℃の温度に加
    熱されるように寸法設計されている、請求項7から8ま
    でのいずれか1項記載の赤外線放射エレメント。
  10. 【請求項10】 加熱導体が炭素帯材より形成されてお
    り、加熱管が希ガスで満たされている、請求項1から6
    までのいずれか1項記載の赤外線放射エレメント。
  11. 【請求項11】 加熱導体が炭素帯材より形成されてお
    り、加熱管が排気されている、請求項1から6までのい
    ずれか1項記載の赤外線放射エレメント。
  12. 【請求項12】 第1の加熱管と第2の加熱管とが設け
    られており、第1の加熱管の壁面が同時に第2の加熱管
    の壁面である、請求項1から11までのいずれか1項記
    載の赤外線放射エレメント。
  13. 【請求項13】 加熱管と冷却部材とが湾曲して構成さ
    れている、請求項1から12までのいずれか1項記載の
    赤外線放射エレメント。
  14. 【請求項14】 加熱管の2つの気密な電流ブッシング
    が同じ方向に向けられていて、互いに平行に配置されて
    いる、請求項13記載の赤外線放射エレメント。
  15. 【請求項15】 加熱管が10〜17mmの内径を有し
    ている、請求項1から14までのいずれか1項記載の赤
    外線放射エレメント。
  16. 【請求項16】 加熱導体が巻かれていて、巻き直径と
    加熱管の内径との比が少なくとも1:3である、請求項
    15記載の赤外線放射エレメント。
JP2001250640A 2000-08-24 2001-08-21 冷却可能な赤外線放射エレメント Expired - Lifetime JP3530509B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10041564.4 2000-08-24
DE10041564A DE10041564C2 (de) 2000-08-24 2000-08-24 Kühlbares Infrarotstrahlerelement

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2002134253A true JP2002134253A (ja) 2002-05-10
JP3530509B2 JP3530509B2 (ja) 2004-05-24

Family

ID=7653630

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001250640A Expired - Lifetime JP3530509B2 (ja) 2000-08-24 2001-08-21 冷却可能な赤外線放射エレメント

Country Status (5)

Country Link
US (1) US6713945B2 (ja)
EP (1) EP1182689B1 (ja)
JP (1) JP3530509B2 (ja)
AT (1) ATE465508T1 (ja)
DE (2) DE10041564C2 (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006108526A (ja) * 2004-10-08 2006-04-20 Ushio Inc 加熱ユニット
JP2007027124A (ja) * 2005-07-14 2007-02-01 Lg Electronics Inc 発熱体
JP2009277868A (ja) * 2008-05-14 2009-11-26 Sumitomo Electric Ind Ltd 加熱装置および半導体基板の製造方法
EP2256166A1 (en) 2003-02-04 2010-12-01 Sony Corporation Resin composition and process for producing resin molding
JP2015149216A (ja) * 2014-02-07 2015-08-20 日本碍子株式会社 赤外線ヒーター及び赤外線ヒーターユニット
KR20180129908A (ko) * 2015-11-16 2018-12-05 헤레우스 노블라이트 게엠베하 적외선 가열 유닛

Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003074199A2 (fr) * 2002-03-06 2003-09-12 Solaronics Technologies Procede de photopolymerisation d'un revetement polymerisable, installation pour la mise en oeuvre de de procede et produit portant un revetement obtenu
DE10211249B4 (de) * 2002-03-13 2004-06-17 Heraeus Noblelight Gmbh Verwendung eines Glanzedelmetallpräparats
FR2843629B1 (fr) * 2002-08-14 2005-05-06 Joint Industrial Processors For Electronics Dispositif de traitement thermique rapide comportant a l'interieur de la chambre de reaction des lampes infrarouges halogenes a paroi froide
JP2004273453A (ja) 2003-03-04 2004-09-30 Heraeus Noblelight Gmbh 赤外線放射エレメントおよびその使用
DE102004002357A1 (de) * 2004-01-15 2005-08-11 Heraeus Noblelight Gmbh Verfahren zum Betreiben eines Infrarotstrahlerelements sowie Verwendung
DE102004029364B4 (de) * 2004-01-28 2012-12-20 Advanced Photonics Technologies Ag Halogenlampe für das nahe Infrarot und Verfahren zur Herstellung einer solchen
DE102005034627A1 (de) * 2005-07-19 2007-02-01 Takata-Petri Ag Vorrichtung und Verfahren zum Entfernen eines längs erstreckten Grates an einem Formteil
JP5959198B2 (ja) * 2008-04-14 2016-08-02 ヘムロック・セミコンダクター・コーポレーション 材料を蒸着するための製造装置及び当該装置において使用される電極
RU2503905C2 (ru) * 2008-04-14 2014-01-10 Хемлок Семикондактор Корпорейшн Производственная установка для осаждения материала и электрод для использования в ней
AU2009236678B2 (en) * 2008-04-14 2014-02-27 Hemlock Semiconductor Corporation Manufacturing apparatus for depositing a material on an electrode for use therein
JP5251398B2 (ja) * 2008-09-26 2013-07-31 ウシオ電機株式会社 フィラメントランプ
CN201599867U (zh) * 2010-01-27 2010-10-06 任建华 一种防水电暖器
JP4790092B1 (ja) * 2010-04-30 2011-10-12 日本碍子株式会社 塗膜乾燥炉
KR101036509B1 (ko) * 2010-09-30 2011-05-24 정광호 탄소히터를 이용한 온수생성장치
DE102011115841A1 (de) * 2010-11-19 2012-05-24 Heraeus Noblelight Gmbh Bestrahlungsvorrichtung
ES2390141B1 (es) * 2011-03-21 2013-07-19 Jesús Francisco Barberán Latorre Calefactor para termoconformado de folios de recubrimiento.
ES2727875T3 (es) * 2013-06-26 2019-10-21 Nestle Sa Dispositivo de calentamiento volumétrico para la preparación de bebidas o alimentos
DE102015101511B3 (de) * 2015-02-03 2016-04-07 Heraeus Noblelight Gmbh Vorrichtung zur Bestrahlung eines zylinderförmigen Substrats
CN109874182B (zh) * 2017-12-01 2021-05-07 中国飞机强度研究所 一种新型石英灯加热装置
CN111757564A (zh) * 2019-03-26 2020-10-09 临沂华庚新材料科技有限公司 加热设备
US11963268B2 (en) * 2019-06-19 2024-04-16 Oregon State University Resistance heater rod and method of making such
US11370213B2 (en) 2020-10-23 2022-06-28 Darcy Wallace Apparatus and method for removing paint from a surface

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE257200C (ja)
US3627989A (en) * 1969-12-11 1971-12-14 Thermal Quarr Schmelze Gmbh Infrared surface heater
DE2637338C3 (de) * 1976-08-19 1979-08-09 Heraeus Quarzschmelze Gmbh, 6450 Hanau KUhlbares Infrarotstrahlerelement
US4125493A (en) 1977-04-01 1978-11-14 The Gates Rubber Company Fibrated admix or polymer and process therefore
DE2803122A1 (de) * 1978-01-25 1979-07-26 Original Hanau Quarzlampen Halogen-gluehlampe und verfahren zu ihrer herstellung
GB8308103D0 (en) * 1983-03-24 1983-05-05 Emi Plc Thorn Quartz infra-red lamps
US4588923A (en) * 1983-04-29 1986-05-13 General Electric Company High efficiency tubular heat lamps
DD257200B1 (de) * 1987-01-19 1991-05-23 Ardenne Forschungsinst Infrarot-hochleistungsstrahlungsquelle
US4839559A (en) * 1988-02-22 1989-06-13 General Electric Company Radiant energy incandescent lamp
DE8913683U1 (ja) * 1989-11-20 1990-01-11 Heraeus Quarzschmelze Gmbh, 6450 Hanau, De
GB2278722A (en) * 1993-05-21 1994-12-07 Ea Tech Ltd Improvements relating to infra-red radiation sources
US5382805A (en) * 1993-11-01 1995-01-17 Fannon; Mark G. Double wall infrared emitter
DE4419285C2 (de) * 1994-06-01 1999-01-28 Heraeus Noblelight Gmbh Infrarotstrahler
DE19722215A1 (de) * 1996-06-05 1997-12-11 Heraeus Noblelight Gmbh Infrarotstrahler und Herstellungsverfahren dafür
DE19822829A1 (de) * 1998-05-20 1999-11-25 Heraeus Noblelight Gmbh Kurzwelliger Infrarot-Flächenstrahler
ATE256960T1 (de) * 1998-11-04 2004-01-15 Advanced Photonics Tech Ag Lampen- und reflektoranordnung
WO2000049641A2 (en) * 1999-02-19 2000-08-24 Fannon Mark G Emitter and method for heating an object with infrared energy
DE20020149U1 (de) * 2000-09-18 2001-03-22 Advanced Photonics Tech Ag Strahlungsquelle und Bestrahlungsanordnung
DE20020148U1 (de) * 2000-09-18 2001-03-22 Advanced Photonics Tech Ag Strahlungsquelle und Bestrahlungsanordnung
DE10058950B4 (de) * 2000-10-17 2006-04-06 Advanced Photonics Technologies Ag Erwärmungsstrecke und Verfahren zum Streckblasen
DE20020320U1 (de) * 2000-10-18 2001-03-15 Advanced Photonics Tech Ag Bestrahlungsanordnung
DE20020319U1 (de) * 2000-10-18 2001-03-15 Advanced Photonics Tech Ag Bestrahlungsanordnung

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2256166A1 (en) 2003-02-04 2010-12-01 Sony Corporation Resin composition and process for producing resin molding
JP2006108526A (ja) * 2004-10-08 2006-04-20 Ushio Inc 加熱ユニット
JP4734885B2 (ja) * 2004-10-08 2011-07-27 ウシオ電機株式会社 加熱ユニット
JP2007027124A (ja) * 2005-07-14 2007-02-01 Lg Electronics Inc 発熱体
JP2009277868A (ja) * 2008-05-14 2009-11-26 Sumitomo Electric Ind Ltd 加熱装置および半導体基板の製造方法
JP2015149216A (ja) * 2014-02-07 2015-08-20 日本碍子株式会社 赤外線ヒーター及び赤外線ヒーターユニット
KR20180129908A (ko) * 2015-11-16 2018-12-05 헤레우스 노블라이트 게엠베하 적외선 가열 유닛
KR102222601B1 (ko) * 2015-11-16 2021-03-08 헤레우스 노블라이트 게엠베하 적외선 가열 유닛

Also Published As

Publication number Publication date
DE10041564C2 (de) 2002-06-27
EP1182689B1 (de) 2010-04-21
JP3530509B2 (ja) 2004-05-24
DE10041564A1 (de) 2002-03-21
ATE465508T1 (de) 2010-05-15
EP1182689A1 (de) 2002-02-27
US20020024277A1 (en) 2002-02-28
US6713945B2 (en) 2004-03-30
DE50115441D1 (de) 2010-06-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3530509B2 (ja) 冷却可能な赤外線放射エレメント
US6591062B2 (en) Infrared radiator with carbon fiber heating element centered by spacers
USRE44712E1 (en) Lamp for rapid thermal processing chamber
EP3361493B1 (en) Lamp for rapid thermal processing chamber
JP2004273453A (ja) 赤外線放射エレメントおよびその使用
EP1744594B1 (en) Heating body
US20100109505A1 (en) Dielectric Barrier Discharge Lamp Configured as a Double Tube
US6087775A (en) Exterior shroud lamp
US20030031471A1 (en) Infrared radiator with a twin envelope tube
JP4022966B2 (ja) 発熱体
JP2004327442A (ja) 赤外線放射器
JPH06223791A (ja) ハロゲン封入白熱ランプ用内在電流導体
JP3954985B2 (ja) 電気炉
JP5757193B2 (ja) 加熱炉
JP4022981B2 (ja) 発熱体
JP2002170654A (ja) 赤外線電球及びその製造方法並びにそれを用いた加熱或いは暖房装置
JP4324453B2 (ja) 赤外線電球及び加熱装置
JP3864680B2 (ja) ヒータランプ
CA1229867A (en) Radiant heater
KR200200444Y1 (ko) 히터용 필라멘트
JP2003217804A (ja) 管状ヒータ及びその製造方法
JPH05258722A (ja) 管 球
JP2000200676A (ja) 管形電熱線ヒ―タおよび加熱装置
JPH04209488A (ja) シーズヒーター
KR20020096850A (ko) 원형 발열체

Legal Events

Date Code Title Description
TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20040130

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20040227

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080305

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090305

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100305

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100305

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110305

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120305

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120305

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130305

Year of fee payment: 9