JP2002127308A - 複合基板及びその製造方法 - Google Patents
複合基板及びその製造方法Info
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Abstract
を介して薄膜基板を貼り合わせて複合基板を製造するよ
うな場合に、機能性材料,基板あるいは接着剤の種類や
物性の違いに左右されることなく、常に、2枚の基板間
における接着剤層の膜厚を均一な値とし、かつ、高い繰
り返し再現性をもって製造することを可能とする。 【解決手段】 第2の基板20に粒子径のそろったビー
ズ31を分散した接着剤30を塗布し、その上から機能
性材料11を積層した第1の基板10を該機能性材料積
層面側を第2の基板20に向けて積層する。その後、遠
心力によりあるいは押圧して、ビーズ31により接着剤
層30の厚みが規制されるまで第1と第2の基板10,
20を接近させる。その後、接着剤30の硬化処理を行
い複合基板とする。
Description
を積層した第1の基板と第2の基板とを接着剤層を介し
て貼り合わせて作られる複合基板及びその製造方法に関
する。
せた複合基板は種々の分野で知られている。例えば、電
子部品や光学部品においては、機能性材料を積層した基
板の表面に薄板ガラス等を被覆材として貼り合わせたも
のが用いられる。例えば、ガラス基板の上に機能性材料
としてホログラム感材層を設け、その上に透光性接着剤
を介して薄板ガラス等の別の基板を貼り合わせたホログ
ラムカラーフィルタ等がある。
の高い平行性と接着剤層の膜厚の均一性に加え、製造に
際して、その繰り返し再現性も必須となる。従来、これ
ら薄板ガラス等で被覆された複合基板を製造するには、
例えば、基板と薄板とを接着剤を介して重ねた後、平面
性の高い一対の板で挟み、接着剤層の厚みが所定の厚み
になるまで加圧し、その後、接着剤を硬化させていた。
しかし、この方法では加圧により基板に偏った応力がか
かり、不必要な変形が生じる場合があり、十分平行性、
均一な接着剤層の膜厚、及び、繰り返し再現性を得るこ
とは困難であった。
した第1の基板をスピンナーの真空チャック上に装着
し、液状の接着剤を滴下し、その上に薄板ガラス等の第
2の基板を載置し、その後、スピンナーを回転させて第
1と第2の基板間に接着剤を均一な厚さに拡散させたの
ち、硬化させる方法が提案されている(例えば、特開2
000−160107公報等参照)。
いる製造方法は、遠心力による接着剤の拡散であること
から、1つ1つの製品における接着剤層の膜厚は均一な
ものとなる。しかし、接着剤の種類よる粘性の違い、基
板や機能性材料の種類による表面特性の違い等により、
2枚の基板間での接着剤の流動性が変化することから、
基板や接着剤の種類を変更したときに、スピンナーの回
転数を慎重に調整しないと、膜厚の均一性について高い
再現性を確保することは困難となる。同じ条件で多数個
を複製する場合であっても、温度環境の違いにより接着
剤の粘性が変化することから、膜厚の均一性について再
現性を確保するには、やはりスピンナーの慎重な調整が
必要となる。
のであり、その目的は、表面に機能性材料を積層した第
1の基板と第2の基板とが接着剤層を介して貼り合わせ
てなる複合基板において、基板及び接着剤の種類や物性
の違いに左右されることなく、容易に2枚の基板間の接
着剤層の膜厚の均一さとその繰り返し再現性を確保でき
るようにした複合基板、及びその製造方法を提供するこ
とにある。
めの本発明による複合基板は、表面に機能性材料を積層
した第1の基板と第2の基板とが接着剤層を介して貼り
合わせてなる複合基板であって、2枚の基板の間には粒
子径のそろった複数のビーズが配置され、該ビーズによ
り接着剤層の厚みが規制されていることを特徴とする。
本発明による複合基板では、接着剤層の厚みは最終的に
ビーズの粒径によって規制されるので、基板や接着剤の
種類を問わず、また、製造工程の如何を問わず、接着剤
層の厚みが均一である複合基板を高い繰り返し再現性の
もとで得ることができる。
の基板の間の高い平行性や接着剤層の均一性が求められ
ることから、機能性材料が感光剤であり、かつ、2枚の
基板、接着剤、及びビーズはともに透光性であるような
光学系の複合基板は本発明を適用する複合基板として特
に好適となる。その際に、2枚の基板、接着剤、及びビ
ーズの光の屈折率は同じであることが最も好ましいが、
屈折率の違いが5%の範囲内のものであれば十分に実用
に供しうる複合基板となる。より具体的には、機能性材
料がホログラム感材層であり、ビーズの粒径は3μm〜
100μmの範囲のものであるような複合基板、特に、
ホログラムカラーフィルタを挙げることができる。ビー
ズとしては、SiO2のような無機材料あるいは有機材
料からなる微粒子を挙げることができる。
のそろったビーズを分散した接着剤を塗布するか、ビー
ズを散布したのちにその上から接着剤を塗布し、その上
から機能性材料を積層した第1の基板を該機能性材料積
層面側を第2の基板に向けて積層し、該ビーズにより接
着剤層の厚みが規制されるまで第1と第2の基板を接近
させ、その後、接着剤の硬化処理を行うことを特徴とす
る複合基板の製造方法をも開示する。その際に、前記第
1と第2の基板の接近を、第1と第2の基板を互いに接
近する方向に押圧することによって行うようにしてもよ
く、スピンナーなどを使用して第1と第2の基板を回転
させ、接着剤に遠心力を与えて拡散させることにより行
うようにしてもよい。
1の基板の全面にではなく、隙間をおいてあけた状態で
複数枚の機能性材料を第1の基板の一部にのみ積層して
複合基板を製造することが行われる。その場合には、ビ
ーズの散布を、第2の基板における第1の基板の機能性
材料が積層されていない箇所に相当する部分にのみ行う
ようにすることが望ましい。それにより、機能性材料の
厚みに起因する接着剤層の厚みのばらつきを確実に回避
することが可能となる。
を詳細に説明する。図1は、本発明による複合基板及び
その製造方法の一実施の形態を説明するための概念図で
あり、図1aに示すように、最初に、適宜の手段により
機能性材料11を積層した第1の基板10の該機能性材
料11を積層した面側に、粒子径のそろった(例えば平
均粒子直径tが10μm程度)複数のビーズ31を内部
に分散させている接着剤30を配置し、その上に第2の
基板20を載置する。次に、図1bに示すように、第1
の基板10と第2の基板20が近接する方向の力Fを加
え、第1の基板10と第2の基板20とが該ビーズ31
により移動が規制されるまで接近させる。それにより、
接着剤30は次第には拡散していき、第1の基板10と
第2の基板20とは、互いに平行であり、かつ、その間
に均一な厚さt(10μm)の接着剤層を形成した状態
で保持される。その状態で接着剤の硬化処理を行うこと
により、本発明による複合基板Aが製造される。
によれば、機能性材料11,第1の基板10,第2の基
板20あるいは接着剤30の種類や物性の違いに左右さ
れることなく、常に、2枚の基板10,20間における
接着剤層30の膜厚がビーズ31の直径tに依存した均
一な値とされた複合基板Aを高い繰り返し再現性をもっ
て製造することが可能なる。
第1の基板10の他の態様を示している。図2aでは、
複数枚の機能性材料11が間隔を置いて、かつ、第1の
基板10の中央近傍に積層されており、図2bでは、1
枚の機能性材料11が第1の基板10の中央近傍に積層
されている。いずれの場合であっても、本発明による製
造方法は適用可能である。
製造方法の他の態様を示している。この態様では、接着
剤30の拡散に遠心力を利用している。最初に、図3に
示すように、回転塗布機に設置されているエアチャック
としても機能するスピンナー1上に真空吸着により定盤
2を固定する。通常、スピンナー1は、図示しない駆動
装置と制御機構とにより、停止状態から10000rp
m程度の高速回転までの間の任意の回転数で回転できる
ようにされている。定盤2の固定は、機械的に行う等、
真空吸着以外の手段であってもかまわない。
固定したのとは反対側の面は、平面性を高めた平坦面と
されており、好ましくは、平面度が5μm以下のもの
で、材質は例えば、石英ガラスのものを使用する。この
ように平面性を高めることにより、後に説明する本発明
でいう第2の基板20との密着工程で、定盤2と第2の
基板20とは隙間無しに接することとなり、定盤2と第
2の基板20との真空密着が保たれる。
(スピンナー1)及び定盤2を用いて、本発明よる複合
基板を製造する手順を示している。なお、図4a〜hで
は単に図示の都合からスピンナー1を省略している。最
初に、第2の基板20を定盤2の上に運び(図4a)、
定盤2の上に載置する(図4b)。前記のように、定盤
2と第2の基板20とは真空密着状態となる。定盤2の
大きさは、接着剤の被塗布体である第2の基板20の6
0〜90%程度が好ましい。また、定盤2はエアチャッ
クなどの固定手段によりたわむことがないよう、十分厚
い方がよい。この例において、第2の基板20は150
mm×150mm、厚み50μmの薄板ガラスであり、
定盤2は、好ましくは、140mm×140mm、厚み
6mm程度である。
20の上に、前記したと同様のビーズ31を適宜の手段
により散布し(図4c)、その上から、液状の接着剤3
0を滴下する(図4d)。なお、液状接着剤30をデイ
スペンサーなどを使用して滴下する際、貼り合わせに十
分かつ過剰でない量となるよう、吐出条件を設定してお
き、気泡が混入しないよう注意して行う。
の基板10を機能性材料11が接着剤30側となるよう
にして載置する。この例において、第1の基板10は1
713ガラスのような材料であり、150mm×150
mm、厚み1.1mmのような寸法である。図4dに示
すように、滴下した接着剤30は当初は山なりの状態に
あり、第1の基板10はその影響を受けて傾斜した状態
になるのが普通である。そこで、この状態でしばらく放
置し、第1の基板10の重量により接着剤30が延伸し
て、接着剤30が第2の基板20と第1の基板10の間
にその周辺部近傍にまで行き渡らせるようにする(図4
e)。それにより、接着剤30は第2の基板20と第1
の基板10との間に均一な厚さで広がり、かつ、第2の
基板20と第1の基板10との平行度もある程度は確保
される。
板20と第1の基板10の間にその周辺部近傍にまで広
がった段階で、制御機構を操作し、スピンナー1を高速
回転(例えば、1000〜5000rpm程度)させる
と、遠心力により接着剤30は拡散し、接着剤30の第
2の基板20と第1の基板10との間の厚みが均一に減
少していくとともに、ビーズ31も上下に重畳しない状
態に拡散する。余剰の接着剤30やビーズ31は周囲よ
りはみ出して、遠心力により振り切られる(図4f、な
お、図で30aは振り切られた接着剤を示している)。
を特に加えることなく、第1の基板10は第2の基板2
0に接近していき、ビーズ31により移動が規制された
時点で停止する。その状態では、第1の基板10と第2
の基板20は、互いに平行であり、かつ、その間にビー
ズ31の平均粒子直径であるt(例えば10μm)の均
一な厚さの接着剤層を形成した状態となる。この厚みは
ビーズ31の平均粒子直径tに一義的に依存するもので
あり、基板の材質や接着剤の粘度、経過時間に対する回
転数(rpm)および回転時間などに左右されることは
ない。
し、接着剤30が熱硬化性のものであれば、ヒーターま
たは温風等で加熱し、接着剤が電離放射線硬化性のもの
であれば、電離放射線放射線(例えば、電子線や紫外
線)を照射して、接着剤を硬化させる(図4g)。この
後、第1の基板10と第2の基板20が一体になった複
合基板を定盤2から剥がすことにより、本発明による複
合基板Aが得られる。
1の基板10の全面に積層されているものを示したが、
図2に示したような第1の基板10の一部にのみ機能性
材料11を積層しているものを用いることもできる。そ
の場合には、図4cにおけるビーズ31の散布を、第2
の基板20における機能性材料11が存在しない第1の
基板10の領域に相当する部分にのみ行うようにしても
よい。その場合には、機能性材料11が存在しない部分
での接着剤層の厚みが均一になることで、2枚の基板全
体の間での接着剤層厚の均一性や平行性が向上するとい
う利点がもたらされる。また、図4に示した例におい
て、ビーズ31と接着剤30とを別々に散布及び塗布す
ることなく、最初からビーズを均一に分散させた接着剤
を用いることもできる。
45:ショット社製、屈折率1.52,熱膨張係数45
×10−7/℃、厚さ50μm、140mm角)を定盤
2(ALガラス:旭硝子社製、熱膨張係数37×10
−7/℃、厚さ6.35mm、140mm角、平坦性5
μm以下)に貼り付け、第2の基板20側を上にして、
平坦性を有する定盤2をスピンナー1上に固定した。定
盤2、第2の基板20の双方共、洗浄済のものを使用
し、貼り付け時に、異物等の混入を防ぐためクリーンル
ーム内の清浄度の高いクリーンベンチ内で行った。
ル直径10μm、屈折率1.57)を接着剤30(長瀬
チバ社製:液体屈折率1.531(20℃)、粘性90
0cps)中に混入し超音波分散器で均一に分散させた
後、第2の基板20の中央部に3g滴下した。滴下後、
その上にホログラム感材層を機能性材料として積層した
第1の基板10(1737ガラス:コー二ング社製、屈
折率1.52,厚さ1.1mm、150mm角、)を積
載した。第1の基板10を積載後は、スピンナー1を低
速(100〜500rpm)で回転させ、第2の基板2
0と第1の基板10の間で接着剤30が複合基板の4辺
の周辺部近傍までに行き渡るようにした。
0〜5000rpm)させると接着剤は完全に複合基板
全体に均一に行き渡り、それに伴って接着剤の厚みがビ
ーズ31の直径に規制されるまで減少し、短時間で精度
よくまた再現性よく膜厚が制御された。複合基板からは
み出た接着剤は複合基板を汚すことなく周辺に振り切れ
た。接着剤30の硬化後、定盤2から複合基板を剥離
し、複合基板Aが完成した。上記の方法により製造した
ホログラムカラーフィルタにおいて高品質な画像が得ら
れた。
表面に付与された基板に接着剤を介して薄膜基板を貼り
合わせて複合基板を製造するような場合に、機能性材
料,基板あるいは接着剤の種類や物性の違いに左右され
ることなく、常に、2枚の基板間における接着剤層の膜
厚がビーズの直径に依存した均一な値とされた複合基板
を高い繰り返し再現性をもって製造することができる。
施の形態を説明するための概念図。
す図。
定盤を説明する図。
造する際での、各工程を説明する図。
機能性材料、20…第2の基板、30…接着剤、31…
ビーズ、A…複合基板
Claims (10)
- 【請求項1】 表面に機能性材料を積層した第1の基板
と第2の基板とが接着剤層を介して貼り合わせてなる複
合基板であって、2枚の基板の間には粒子径のそろった
複数のビーズが配置され、該ビーズにより接着剤層の厚
みが規制されていることを特徴とする複合基板。 - 【請求項2】 機能性材料が感光剤であり、かつ、2枚
の基板、接着剤、及びビーズはともに透光性であってそ
れらの屈折率の違いは屈折率差5%の範囲内のものであ
ることを特徴とする請求項1記載の複合基板。 - 【請求項3】 機能性材料がホログラム感材層であり、
ビーズの粒径は3μm〜100μmの範囲のものである
ことを特徴とする請求項2記載の複合基板。 - 【請求項4】 複合基板がホログラムカラーフィルタで
ある請求項3記載の複合基板。 - 【請求項5】 第2の基板に粒子径のそろったビーズを
分散した接着剤を塗布し、その上から機能性材料を積層
した第1の基板を該機能性材料積層面側を第2の基板に
向けて積層し、該ビーズにより接着剤層の厚みが規制さ
れるまで第1と第2の基板を接近させ、その後、接着剤
の硬化処理を行うことを特徴とする複合基板の製造方
法。 - 【請求項6】 第2の基板に粒子径のそろったビーズを
散布し、その上から接着剤を塗布したのち、その上から
機能性材料を積層した第1の基板を該機能性材料積層面
側を第2の基板に向けて積層して、該ビーズにより接着
剤層の厚みが規制されるまで第1と第2の基板を接近さ
せ、その後、接着剤の硬化処理を行うことを特徴とする
複合基板の製造方法。 - 【請求項7】 機能性材料は第1の基板の一部にのみ積
層されており、ビーズの散布は第2の基板における第1
の基板の機能性材料が積層されていない箇所に相当する
部分にのみ行うことを特徴とする請求項6記載の複合基
板の製造方法。 - 【請求項8】 前記第1と第2の基板の接近を、第1と
第2の基板を互いに接近する方向に押圧することによっ
て行うことを特徴とする請求項5又は6記載の複合基板
の製造方法。 - 【請求項9】 前記第1と第2の基板の接近を、第1と
第2の基板を回転させ、接着剤に遠心力を与えて拡散さ
せることにより行うことを特徴とする請求項5又は6記
載の複合基板の製造方法。 - 【請求項10】 第1及び第2の基板、接着剤、及びビ
ーズはともに透光性であり、かつ、屈折率の違いは屈折
率差5%の範囲内のものを用いることを特徴とする請求
項5又は6記載の複合基板の製造方法。
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- 2000-10-19 JP JP2000319795A patent/JP4568417B2/ja not_active Expired - Fee Related
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