JP2001246716A - 積層体の製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 回転テーブルの回転中に飛散する接着剤が保
持ピン外面に付着することのない積層体の製造装置を提
供する。 【解決手段】 積層体の製造装置は、回転テーブル１
と、回転テーブル１上に設けられ第１基板３を載置する
定盤２と、回転テーブル１上に設けられ積層体１０の第
２基板５と当接する保持ピン６とを備えている。保持ピ
ン６は第２基板５とのみ当接する突出部６ａを有し、垂
直断面は略Ｌ字状をなしている。また保持ピン６の突出
部６ａの水平断面は、外方に向って末広状に形成されて
いる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光学フィルム等を
貼り合わせた基板に、接着剤を介して薄いガラスを貼り
合わせてなる積層体の製造装置に係り、とりわけ基板を
保持する保持ピンの汚れを防止することができる積層体
の製造装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】電子部品や光学部品において、種々の機
能を付与した基板の表面に薄板ガラスを被覆して形成さ
れた積層体が知られている。

【０００３】従来、これら基板を薄板で被覆した積層体
を製造するには、例えば、基板と薄板とを接着剤を介し
て重ねた後、平面性の高い一対の加圧板で挟み、接着剤
層の厚みが所定の厚みになるまで加圧し、その後、接着
剤を硬化させている。しかし、この方法では、重ねた基
板と薄板との間からはみ出して接着剤が基板や薄板の接
着とは関係のない加圧板側面に回り込むため、加圧に使
用する平面性の高い加圧板を再利用するのに支障を生じ
ている。また接着剤層の厚みの制御の精度が不十分であ
り、各部分の加圧を一定圧に保つことも難しい。さら
に、基板と薄板が一対の加圧板により加圧されているた
め、基板および薄板と、一対の加圧板との密着度が高ま
って剥離も容易ではない等の不利がある。

【０００４】そこで、基板をスピンナー（回転テーブ
ル）の真空チャック上に装着し、液状の接着剤を滴下
し、その上に薄いガラスを重ねてエアーにより加圧して
接着剤を全面に行き渡らせ、その後、スピンナーを回転
させて余剰の接着剤を飛散させて、両者を密着させ、真
空チャックより取り外す方法が考えられている（特開昭
５５−６８０４０号公報）。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上述のように、スピン
ナーを回転させて接着剤を飛散させ、基板と薄板ガラス
とを積層して積層体を製造する方法が開発されている。
この場合、スピンナーに配置された基板と薄板ガラス
は、スピンナーに設けられた保持ピンにより保持され
る。

【０００６】しかしながらスピンナーの回転中に接着剤
が保持ピンの外面に付着し、保持ピンに付着した接着剤
が次回製造される積層体の外面に移り積層体を汚してし
まうことがある。

【０００７】本発明はこのような点を考慮してなされた
ものであり、接着剤が保持ピンに付着することを抑制す
ることができる積層体の製造装置を提供することを目的
とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、第１基板と、
第１基板に接着剤を介して積層された第２基板とを有す
る積層体の製造装置において、回転テーブルと、回転テ
ーブル上に設けられ第１基板を載置する定盤と、回転テ
ーブルに設けられ、第２基板を保持する保持ピンとを備
え、保持ピンは第２基板に当接する突出部を有し、垂直
断面が略Ｌ字状をなすことを特徴とする積層体の製造装
置である。

【０００９】本発明によれば、保持ピンはその突出部に
おいて第２基板とのみ当接するよう垂直断面が略Ｌ字状
をなしているので、回転テーブルの回転中に保持ピン外
面に接着剤が付着することを防止できる。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。

【００１１】図１乃至図６は、本発明による積層体の製
造装置を示す図である。まず、図４により積層体の製造
装置により製造される積層体について説明する。

【００１２】積層体１０は、薄板ガラス（第１基板）３
と、薄板ガラス３上に設けられた接着剤４と、接着剤４
上に順次設けられたホログラム層８および基板ガラス
（第２基板）５とを備えている。

【００１３】このような層構成からなる積層体１０は、
積層体の製造装置により製造される。この製造装置は、
スピンナー（回転テーブル）１と、回転テーブル１上に
設けられ積層体１０のうち基板ガラス５と当接し、この
基板ガラス５を保持する保持ピン６とを備えている。

【００１４】また回転テーブル１上には平面性を有する
定盤２が載置されており、さらに回転テーブル１には定
盤２を真空吸引するためのエアチャック１ａが設けられ
ている。

【００１５】また保持ピン６は突出部６ａを有するよう
垂直断面が略Ｌ字状に形成されている。この突出部６ａ
は基板ガラス５とのみ当接し、積層体１０の他の層とは
当接しないようになっている。

【００１６】また保持ピン６の突出部６ａは外方へ向っ
て末広状の水平断面を有しており、この末広状水平断面
により保持ピン６外面に接着剤４が付着しにくくなって
いる。

【００１７】次にこのような構成からなる本実施の形態
の作用について説明する。

【００１８】まず、図１に示すように、アルミニウム製
等の回転テーブル１上に定盤２をエアチャック１ａによ
り固定する。定盤２の固定は、機械的に行なってもよ
い。

【００１９】定盤２の表側の面、即ち、エアチャック１
ａで固定した面とは反対側の面は、平面性を高めた平坦
面である事が望ましく、フラットネス（平担度）が０．
５μｍ以下のもので、材質は例えば、石英ガラスのもの
を使用する。このように平面性を高めると、後述する薄
板ガラス３の密着工程（図２参照）で、定盤２と薄板ガ
ラス３が隙間無しに接するので、エアチャック１ａによ
り真空吸引を続けるような操作を伴うこと無く、密着が
保たれる。すなわち、定盤２の平面性により、貼り合わ
せ後の積層体１０の表面の平面性を容易に形成すること
ができ、かつ、密着により薄板ガラス３を定盤２に固定
することができる。このとき、薄板ガラス３が定盤２以
外に何も接触することがないため、回転テーブル１の回
転時に薄板ガラス３へ余計な応力がかからず、安定した
回転が得られる。

【００２０】定盤２の大きさは非塗布体である薄板ガラ
ス３の大きさに匹敵するものである。ただし、定盤２
は、図２に示すように、被塗布体である薄板ガラス３よ
りもひとまわり小さい方が、滴下された接着剤４が、回
転テーブル１の回転により振り切られて飛び散り、定盤
２側に回り込み定盤に付着する煩雑さが生じない。逆に
定盤２があまり小さいと、被塗布体である薄板ガラス３
を密着させる能力が減るとともに、定盤２からはみ出し
た部分の薄板ガラス３を規制するものがなくなってしま
い、平面性が低下する。

【００２１】定盤２の大きさは、薄板ガラス３の６０〜
９０％程度が好ましい。また、定盤２はエアチャック１
ａ等の固定手段によりたわむことがないよう、十分厚い
方がよい。

【００２２】一例として、６５ｍｍ×６５ｍｍ、厚み１
００μｍの薄板ガラス３を置くための定盤２は、５３ｍ
ｍ×５３ｍｍ、厚み６ｍｍとなっており、また、基板ガ
ラス５の大きさは、６５ｍｍ×６５ｍｍ、厚み１．１ｍ
ｍである。

【００２３】次に図２に示すように、固定された定盤２
の上に薄板ガラス３を置いて密着させる。密着のため
に、薄板ガラス３上から加圧することが望ましく、
（１）重量のあるものを置く、（２）プレス手段を用い
てプレスする、または（３）エアブロウを適用する等の
手段を行なう。このうち、非接触で圧力をかける事がで
きる（３）のエアブロウによるのが望ましい。

【００２４】あるいは、定盤２と薄板ガラス３との間
に、異物を排除したキシレン等の溶剤や純水等の液体を
塗布して、容易に密着面を形成することもでき、このよ
うな液体の適用とエアブロウを併用してもよい。液体を
使用した際には、貼り合わせが終了した後に乾燥や洗浄
を行なって、液体を除去する必要がある。

【００２５】定盤２と薄板ガラス３との密着により、定
盤２の表面は高度の平面性が保たれているために、ここ
に密着した薄板ガラス３は、薄板ガラス３自身の厚みム
ラや多少のたわみがあっても、定盤２により矯正され、
薄板ガラス３の下面、即ち、定盤２に接している面が、
定盤２の持つ平面性を持つようになる。

【００２６】次に図３に示すように、薄板ガラス３の表
面に、液状の接着剤４を滴下し、その上に貼り合わせる
べきホログラム層８と基板ガラス５を載置する。

【００２７】液状の接着剤４をディスペンサー等を使用
して滴下する際、貼り合わせに十分かつ過剰でない量に
なるよう、吐出条件を設定しておき、気泡が混入しない
よう注意して行なう。基板ガラス５の重量、接着剤４の
吐出量にもよるが、基板ガラス５の自重により接着剤４
が多少広がって、図３に示すような状態になる。この場
合、基板ガラス５は、保持ピン６の突出部６ａにより４
箇所で保持される。

【００２８】続いて、図４に示すように回転テーブル１
を高速回転させると、接着剤４が薄板ガラス３と基板ガ
ラス５との間の周囲まで行き渡り、それに伴って接着剤
４の厚みが減少し、あまった接着剤４が周囲よりはみ出
す。この余剰の接着剤４は遠心力により振り切られる。

【００２９】このとき、接着剤４の粘度、経過時間に対
する回転数（＝回転数／分）、および回転時間を調整す
る事により、接着剤４の厚みの制御を行なうことができ
る。

【００３０】以上の工程により、薄板ガラス３と、ホロ
グラム層８および基板ガラス５が接着剤４により積層さ
れ、このようにして積層体１０が得られる。

【００３１】接着剤４の種類によっては、その後、回転
を停止させるか、あるいは所定の時間だけ高速回転させ
た後に、回転数を落として低回転数で回転させる。この
間、接着剤４が熱硬化性のものであれば、ヒーターまた
は温風等で加熱する。また接着剤４が電離放射線硬化性
のものであれば、電離放射線（例えば、電子線や紫外
線）を照射して、接着剤を硬化させる。この後の工程
で、基板ガラス５と、ホログラム層８と、薄板ガラス３
が一体になった積層体１０を定盤２から剥がす必要があ
る。このため、接着剤４としては電離放射線硬化性のも
のを使用し、電離放射線照射により十分硬化させておく
事が望ましい。

【００３２】回転テーブル１の回転中、積層体１０を構
成する基板ガラス５は保持ピン６により保持されるの
で、基板ガラス５のずれを防止することができる。また
回転テーブル１の回転中、接着剤４の余剰分が遠心力に
より飛散するが、保持ピン６は突出部６ａにおいて基板
ガラス５とのみ当接するようになっており、更に突出部
６ａの水平断面が外方に向って末広状となっているの
で、接着剤４が保持ピン６に付着することを抑制するこ
とができる。このように保持ピン６外面に接着剤４が付
着することを防止できるので、次回以降に製造される積
層体１０の外面が接着剤４により汚れることはない。

【００３３】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、回転テー
ブルの回転中に飛散する接着剤が保持ピンに付着するこ
とを防止できる。このため、次回以降に製造される積層
体に保持ピンから接着剤が付着し、これにより積層体を
汚すことはない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による積層体製造装置において、回転テ
ーブルに定盤を固定した状態を示す断面図。

【図２】定盤に薄板ガラスを密着させた状態を示す断面
図。

【図３】薄板ガラス上に接着剤を滴下し、基板ガラスと
ホログラム層を重ねた状態を示す断面図。

【図４】回転テーブルを回転して得られた積層体を示す
断面図。

【図５】本発明による積層体の製造装置を示す斜視図。

【図６】本発明による積層体の製造装置を示す平面図。

【符号の説明】

１ 回転テーブル ２ 定盤 ３ 薄板ガラス ４ 接着剤 ５ 基板ガラス ６ 保持ピン ６ａ 突出部 ８ ホログラム層

フロントページの続き Ｆターム(参考） 4F100 AG00 AG00A AG00B AT00A AT00B BA02 BA03 BA06 CB00 EC18 EH01 EJ42 EJ53 EJ54 EK00 GB41 GB90 JB13G JB14G JL06

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】第１基板と、第１基板に接着剤を介して積
   層された第２基板とを有する積層体の製造装置におい
   て、 回転テーブルと、 回転テーブル上に設けられ第１基板を載置する定盤と、 回転テーブルに設けられ、第２基板を保持する保持ピン
   とを備え、 保持ピンは第２基板に当接する突出部を有し、垂直断面
   が略Ｌ字状をなすことを特徴とする積層体の製造装置。
2. 【請求項２】保持ピンの突出部は水平断面が外方へ向っ
   て末広状となっていることを特徴とする請求項１記載の
   積層体の製造装置。