JP2002122750A - 光導波路接続構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】光導波路の導波モードのスポットサイズが異な
る光導波路同士の接続損失や、反射減衰量を小さくする
ことが可能で、接続のための装置や作業に高い精度を必
要とすることなく、しかも集積回路製造プロセス技術に
より容易に製造可能な光導波路接続構造を提供すること
を課題とする。 【解決手段】 光を導波伝搬する第１コア３、この第１
コアよりも屈折率が小さいクラッド２を有する第１光導
波路ａと、この第1光導波路の第１コアの屈折率よりも
屈折率が大きい第２コア４を有する第２光導波路ｂとを
光学的に接続する光導波路接続構造において、前記第２
光導波路の第２コアは、長手方向の断面高さを維持した
状態で、その幅方向の寸法をその第２導波路の端部に向
かって小さくなるテーパ部７を形成し、前記第1光導波
路の第１コアと、前記第２光導波路の第２コアにおける
前記テーパ部とが長手方向に接触または平行な状態で光
学的に近接するように配置されている光導波路接続構造
とした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光を導波伝搬する
光導波路同士を接続する光導波路接続構造に係り、特
に、屈折率の異なる光導波路を互いに接続する場合に適
した光導波路接続構造に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、平面光導波路を配線部材とし
て、発光素子、受光素子、光変調器等の光回路素子を集
積して形成される光集積回路は、高度な光信号処理が可
能であり、量産性、安定性、コスト性等の観点から、光
通信における主要な部品となりつつある。この光集積回
路に用いられる光回路素子の多くは、内部に屈折率によ
る光閉じこめ構造にもとづく導波路構造を持ち、配線部
材である光導波路との高効率な結合が求められている。

【０００３】一方、光集積回路内の配線部材である平面
導波路においても、従来の石英系の素材から、シリコン
を素材に用いる構造が研究されており、既存の石英系あ
るいはポリマー導波路等との接続が求められている。

【０００４】ところが、シリコンをはじめとする半導体
の屈折率は、光通信にもっぱら用いられる近赤外域にお
いて石英系素材やポリマー系素材のそれと比較して約２
倍から３倍程度大きな値を持っている。そのため、シリ
コン材料よりなるシングルモード条件を満たすコアの断
面は、例えば、クラッドの材料が石英で、コア断面が厚
さ０．２μｍの矩形である場合、幅が０．４μｍ程度あ
るいはそれ以下となり単に導波路端面を突きあわせるだ
けでは、高効率な結合を実現することが困難である。し
たがって、結合される導波路コアは、その先端部を厚み
方向にテーパ状に加工することによりモードフィールド
径の拡大を図り、高効率な結合を実現している。この従
来技術を図４により示す。図４（ａ）、（ｂ）は従来の
光導波路接続構造の側面状態を示す概略図である。

【０００５】図４（ａ）、（ｂ）に示すように、導波路
コア先端部１００は、平面基板１２６の上に、アンダー
クラッド１２５、オーバークラッド１２３に挟み込まれ
る形で、周囲より屈折率の高いコア部１２４となめらか
に断面積の変化するテーパ部１２９が形成されている。
なお、導波路コア先端部１００に接続される光導波路
（光ファイバ等）１０１は、石英系素材よりなるクラッ
ド１２７と、このクラッド１２７の内側に形成された石
英系素材よりなるコア部１２８とを備えており、コア部
１２８はクラッド１２７よりわずかに大きな屈折率を有
している。

【０００６】そのため、光導波路であるコア部１２４の
左端から入射した光は、断面積の小さいテーパ部１２９
の右端ではモードフィールド径が拡大され、石英系素材
よりなるコア部１２８に低損失で結合される。この時の
接続損失は、たとえば「ＯＮＵ（光ネットワークユニッ
ト）の光技術」（光学 第２４巻 第５号（１９９５年
５月））では、計算値で０.５ｄＢ程度、実験値で０.７
５ｄＢ程度の数値が示されている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかし、前記した従来
の光導波路接続構造ではテーパ部分の形状・特に先端部
での断面形状は高精度で加工することが要求されること
になった。また、前記の結合構造では接続する二つの導
波路端面のどちらも高い精度での研磨が必要であり、研
磨作業が大変であった。さらに、前記の光導波路接続構
造では、屈折率の低い方のコア径における１０分の１程
度の精度で位置決めを行う必要があり、位置決め操作が
大変であった。

【０００８】また、前記の光導波路接続構造では、屈折
率の高いコアと、屈折率の低いコアの中心軸を同一平面
上とする事が必要であるため、同一の平面基板上に二つ
の導波路を複合して形成するためには、高さ方向の加工
を伴う複雑な手順が要求されることになった。さらに、
前記の光導波路接続構造では、両端面間での反射損失を
低減させるため、端面に無反射コーティング等の加工を
行う必要があった。

【０００９】本発明は、前記の問題点に鑑み創案された
ものであり、その目的は、光導波路の導波モードのスポ
ットサイズが異なる光導波路同士の接続損失や、反射減
衰量を小さくすることが可能で、接続のための装置や作
業に高い精度を必要とすることなく、しかも集積回路製
造プロセス技術により容易に製造可能な光導波路接続構
造を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するた
め、本発明ではつぎのように構成した。すなわち、光を
導波伝搬する第１コアおよびこの第１コアよりも屈折率
が小さいクラッドを有する第１光導波路と、この第1光
導波路の第１コアの屈折率よりも屈折率が大きい第２コ
アを有する第２光導波路とを光学的に接続する光導波路
接続構造において、前記第２光導波路の第２コアは、長
手方向の断面高さを維持した状態で、その幅方向の寸法
をその第２光導波路の端部に向かって小さくなるテーパ
部を形成し、前記第1光導波路の第１コアと、前記第２
導波路の第２コアにおける前記テーパ部とが長手方向に
接触または平行な状態で光学的に近接するように配置さ
れている光導波路接続構造とした。

【００１１】このように構成されることにより、この第
１コアおよび第２コアの接続部分における導波モードが
光を入力する側から光を出力する側へ行くに従い、光を
入力する側の光導波路のコアを通過する光パワーが、出
力する側の光導波路のコアを通過する光パワーより大き
い状態から、光を出力する側の光導波路のコアを通過す
る光パワーが、入力する側の光導波路のコアを通過する
光パワーより大きい状態へ徐々に変化するようになる。

【００１２】また、前記した光導波路接続構造におい
て、前記第１光導波路と前記第２光導波路とが同一の基
板に形成され、かつ、前記基板に形成されるクラッドが
連続した同一素材よりなるように構成した光導波路接続
構造とした。このように構成することにより、低損失で
接続できるという利点がある。また、テーパ部の高さ方
向の加工を必要としない利点がある。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明にかかる光導波路接
続構造を、図面を参照して詳細に説明する。図１は本発
明にかかる第一の実施の形態である。図１（ａ）は、光
導波路接続構造の正面状態を示す模式図、（ｂ）は
（ａ）の平面状態を示す模式図、（ｃ）は（ａ）の右側
面状態を示す模式図である。

【００１４】図１（ａ）,（ｂ）,（ｃ）に示すように、
第１光導波路ａは、平面基板１と、この平面基板１の一
方面に形成される石英系素材よりなるアンダークラッド
２と、このアンダークラッド２の一方面の中央に沿って
形成される石英系素材よりなる光導波路コア３（第１コ
ア）とを備えている。

【００１５】また、第２光導波路ｂは、平面基板６と、
この平面基板６の一方面に形成される石英系素材よりな
るアンダークラッド５と、このアンダークラッド５の一
方面で中央に沿って形成されるシリコンよりなる光導波
路コア４（第２コア）と、この光導波路コア４の端部
に、その光導波路コア４の断面高さ（厚さ）を維持した
状態で幅寸法を先端に向かうに従って細くなるように連
続的に変化して形成されたテーパ部７とを備えている。

【００１６】そして、第２光導波路ｂのテーパ部７は、
第１光導波路ａの光導波路コア３と長手方向に接触また
は平行な状態で光学的に近接するように配置された状態
で配置されている。なお、ここでは、第１光導波路ａ
と、第２光導波路ｂとを光硬化樹脂などの接続部材を介
して結合させた状態としている。テーパ部７と光導波路
コア３との位置関係は、軸線同士が一致していることが
望ましいが、光導波路コア３の幅内で平行にズレる状態
や、あるいは光導波路コア３の幅内にテーパ部７が収ま
る程度の状態であれば良く、厳密な整合性を必要とする
ものではない。また、平行な状態で光学的に近接すると
は、伝搬する光が許容範囲の損失内で適切に一方から他
方に伝わることができる状態である。

【００１７】アンダークラッド２および光導波路コア
３、アンダークラッド５の屈折率は、添加不純物および
使用波長帯域により異なるが近赤外光の領域において
は、いずれもおおむね１．４から１．５程度である。一
方、光導波路コア４の屈折率は、おおむね３．４程度で
ある。光導波路コア４の厚さは０．２μｍ程度、幅は
０．４μｍ程度であり、光導波路コア３の厚さと幅はい
ずれも２１μｍ〜１０μｍ程度である。

【００１８】また、テーパ部７は、その幅が左端（光導
波路コア４側）においては光導波路コア４の幅から右端
（先端）に向かうにしたがって０．１μｍあるいはそれ
以下となるように形成されている。このテーパ部７の長
さは数十μｍ程度から１ｍｍ程度に形成されている。こ
のテーパ部７の幅および長さは、接続する側の光導波路
コアに対して位置決めなどを行う場合に操作が容易とな
る寸法に形成されていれば、特に限定されるものではな
い。なお、前記した各構成の寸法は、ここで挙げた寸法
以外であっても構わない。

【００１９】つぎに、光導波路接続構造における光の伝
搬状態を説明する。光導波路コア４の左端面から入射し
た光は、光導波路コア４を伝搬しテーパ部７の左端位置
に到達する。光導波路コア３の左端において光導波路コ
ア４のクラッドの役割をする空気と光導波路コア３の屈
折率の違いにより、一部の光が反射するが、空気と光導
波路コア３との屈折率の違いは、光導波路コア４と空気
あるいはテーパ部７と光導波路コア３の屈折率の違いに
くらべると相対的に小さいので、この反射光強度は弱
い。

【００２０】光がテーパ部７を図１における右方向に伝
搬するにつれて、コア幅が徐々に狭まり光の閉じこめが
弱くなりモードフィールドが周囲に広がろうとする。と
ころが、このときアンダークラッド２、５より屈折率の
高い光導波路コア３が隣接して存在するため、光パワー
の分布は光導波路コア４から光導波路コア３のみへ徐々
に移っていく。

【００２１】テーパ部７の右端部（先端）でも一部反射
が起きるが、断面が十分小さく、有効屈折率が小さくな
っているため、この場所で発生する反射光はわずかであ
る。前記とは逆に光導波路コア３の右端部から入射した
場合には、ちょうど逆に、右から左へ光が進行するにつ
れて光導波路コア３、テーパ部７を介して、光導波路コ
ア４へ光の分布が移動する。このように、テーパ部７を
介して光導波路コア３と光導波路コア４を接続すること
で屈折率のことなる光導波路を接続する場合に適した光
導波路接続構造を構成することができる。

【００２２】なお、テーパ部７は、長手方向の断面の高
さをほぼ保ったまま幅のみを変化させているので、高さ
方向の加工を必要としない。これによって、リソグラフ
ィやエッチング等を用いた加工が容易にできるという利
点がある。また、テーパ部７のテーパ部分は、その面状
態が、その伝搬される波長に比して十分なめらかである
必要があるが、作成上の必要に応じて、十分に微細な凹
凸であれば存在しても構わない。また、図１ではテーパ
は直線で表しているが、なめらかな曲線であっても構わ
ない。

【００２３】さらに、テーパ部７の高さは、ほぼ一定と
したが、加工の結果テーパ先端部で幅が細くなる部分に
おいて、高さが減少する方向で多少変化しても、これが
連続的かつゆるやかであるなら構わない。また、ここで
は導波路を構成する素材としてシリコンおよび石英を挙
げたが、これは一つの例示に過ぎず、ガリウム砒素やイ
ンジウム燐等他の半導体材料やガラス素材、ポリマー素
材等であっても構わない。

【００２４】つぎに図２を参照して本発明における第２
の実施の形態を説明する。図２（ａ）は、光導波路接続
構造の正面状態を示す模式図、（ｂ）は（ａ）の平面状
態を示す模式図、（ｃ）は（ａ）の右側面状態を示す模
式図である。

【００２５】図２（ａ）,（ｂ）,（ｃ）に示すように、
光導波路Ａは、平面基板１２と、この平面基板１２の一
方面に形成された石英系素材よりなるアンダークラッド
９と、このアンダークラッド９の一方面で中央位置に沿
って矩形断面に形成された光導波路コア１０（第２コ
ア）と、この光導波路コア１０の長手方向の端部に、そ
の先端に向かうに従って幅寸法が小さくなるように形成
されたテーパ部１３と、このテーパ部１３の一方面に接
触するように石英系素材よりなる矩形断面に形成された
光導波路コア１１（第１コア）と、この光導波路コア１
１および前記光導波路コア１０の一面に接触するように
形成された石英素材よりなるオーバークラッド８とを備
えている。

【００２６】なお、テーパ部１３と光導波路コア１１の
整合状態は、長手方向に沿ってその光導波路コア１１お
よびテーパ部１３の軸線が一致する状態で整合されてい
ることが望ましいが、光導波路コア１１の幅内で平行方
向にズレる状態であることや、また、光導波路コア１１
の幅内にテーパ部１３が配置され、伝搬する光が許容範
囲の損失内で適切に一方から他方に伝わることができる
状態であれば良い。

【００２７】オーバークラッド８、およびアンダークラ
ッド９、および光導波路コア１１の屈折率は、添加不純
物および使用波長帯域により異なるが近赤外光の領域で
はいずれもおおむね１．４から１．５程度である。一
方、光導波路コア１０の屈折率は、おおむね３．４程度
である。

【００２８】光導波路コア１０は、その厚さが０．２μ
ｍ程度、幅が０．４μｍ程度に構成されている。また、
光導波路コア１１は、その厚さと幅がいずれも２μｍ〜
１０μｍ程度に構成されている。

【００２９】テーパ部１３は、その幅が、左端側（光導
波路コア１０側）では光導波路コア１０の幅と等しく、
先端側（右側）においては０．１μｍあるいはそれ以下
となるように構成されている。そして、このテーパ部１
３は、その長さが数十μｍ程度から１ｍｍ程度になるよ
うに構成されている。なお、前記した各構成の寸法は、
ここで挙げた寸法以外であっても構わない。

【００３０】また、図２では、アンダークラッド９の上
面に凸をもうけて光導波路コア１１の下面をフラットと
したが、光導波路コア１０の厚さは、光導波路コア１１
の厚さと比較すると十分に小さいので、アンダークラッ
ド９ではなく光導波路コア１１の側に下方に凸となるよ
うに凸部を設けて、アンダークラッド９の上面を平らで
あるようにしても、本発明による効果に変化はないし、
リソグラフィプロセス技術による製造がより容易とな
る。

【００３１】本実施例は、同一基板上に材質やスポット
サイズの異なる第１と第２の導波路を構成し、これらを
接続する部分も同一基板上に構成するものであり、低損
失で接続できるという利点がある。また、テーパ部の高
さ方向の加工を必要としないので、加工が容易で作りや
すいという利点もある。

【００３２】つぎに、光導波路コア１０から光導波路コ
ア１１に伝達される光の伝達状態を説明する。光導波路
コア１０の左端面から入射した光は光導波路コア１０を
伝搬してテーパ部１３の左端面に到達する。オーバーク
ラッド８と光導波路コア１１の境目で一部の光が反射す
るが、オーバークラッド８と光導波路コア１１の屈折率
の違いは、光導波路コア１０とオーバークラッド８ある
いは、テーパ部１３と光導波路コア１１の屈折率の違い
に比べると極めてわずかであるので、この場所で発生す
る反射光はごくわずかである。

【００３３】光は、テーパ部１３の幅が徐々に狭まるに
従って閉じこめが弱くなり、モードフィールドが周囲に
広がろうとするが、オーバークラッド８、アンダークラ
ッド９より屈折率の高い光導波路コア１１が隣接して存
在するため、光パワーの分布が光導波路コア１０からテ
ーパ部１３を介して光導波路コア１１のみへ徐々に移っ
ていく。光は、テーパ部１３の先端部でも一部反射を発
生するが、テーパ部１３の断面が十分小さく、有効屈折
率が小さくなっているため、この場所で発生する反射光
はごくわずかである。

【００３４】前記とは逆に光導波路コア１１の右端部か
ら光が入射した場合には、ちょうど逆に、右から左へ進
行するにつれて光導波路コア１１からテーパ部１３を介
して光導波路コア１０へ光パワーの分布が移動する。

【００３５】テーパ部１３は、そのテーパ（傾斜）部分
の面状態が、波長と比較して十分なめらかである必要が
あるが、製造上の必要に応じて、十分に微細な凹凸であ
れば存在しても構わない。また、図２ではテーパは直線
で表しているが、なめらかな曲線であっても構わない。

【００３６】つぎに、図３を参照して本発明における第
３の実施の形態を説明する。図３（ａ）は光導波路接続
構造の正面状態を示す模式図、（ｂ）は（ａ）の光導波
路接続構造の平面状態を示す模式図、（ｃ）は（ａ）の
光導波路接続構造の右側面状態を示す模式図である。な
お、図３では、平面基板２１の左右に離間して一体に形
成された第１光導波路ｃおよび第２光導波路ｄを有する
第１モジュールと、両光導波路ｃ、ｄとは別体に形成し
た第３光導波路ｅである第２モジュールとを接続する構
成について説明する。

【００３７】第３光導波路ｅは、平面基板１４と、この
平面基板１４の一方面に形成された石英系素材よりなる
アンダークラッド１５と、このアンダークラッド１５の
一方面で中央に沿って形成された矩形断面の光導波路コ
ア２２（第２コア）と、この光導波路コア２２の左右に
端部に向かうに従って幅が狭くなるように形成された第
１テーパ部１６および第２テーパ部１７とを備えてい
る。

【００３８】また、第１光導波路ｃおよび第２光導波路
ｄは、平面基板２１およびこの平面基板２１の一方面に
形成した石英系素材からなるアンダークラッド２０を共
通して備えており、このアンダークラッド２０の所定位
置に形成した凸部分２０ａの左右で中央に沿って矩形断
面に形成された第１光導波路コア１８（第１コア）と、
第２光導波路コア１９（第１コア）とを備えている。

【００３９】そして、第３光導波路ｅの第１テーパ部１
６と第２テーパ部１７が、第１光導波路ｃおよび第２光
導波路ｄの第１光導波路コア１８と第２光導波路コア１
９の上に重なり合うように第１モジュールと第２モジュ
ールとを精密位置決めを行い、光硬化樹脂などの接合部
材を介して接合する。

【００４０】このとき、製造誤差と位置決め誤差を合わ
せた第１テーパ部１６と第１光導波路コア１８、第２テ
ーパ部１７と第２光導波路コア１９の位置ズレの許容範
囲量は、第１光導波路コア１８および第２光導波路コア
１９の幅内に収まる程度であり、従来技術を用いた方法
より格段にゆるやかである。そのため、複数の入出力光
導波路を持つ半導体光回路部品を、石英型光導波路上に
集積する事が容易となる。

【００４１】なお、図３では、二つの光導波路の組が同
一直線上で平面基板に一体に結合しているが、３つある
いはそれ以上の光導波路の組であってもかまわないし、
結合される光導波路が別々に形成される構成であっても
よく、さらに、各々の光導波路の位置関係が、クラッド
に形成されるテーパ部を備えるコアを複数平行・放射状
などに形成し、それぞれのテーパ部に、接続するための
光導波路を接触させる構成としてもよい。なお、接続さ
せる光導波路の位置関係は、他の任意の位置関係であっ
てもかまわない。また、光導波路コア２２は、任意の光
機能部であればよく、例えば、光スイッチの構成や、あ
るいは、光フィルタの構成であってもよく、特に、導波
路構造を持つ必要はなく、波長分散プリズム等であって
も構わない。さらに、図１ないし図３では、光導波路接
続構造として、それぞれの光導波路の断面形状を矩形断
面として説明したが、それ以外の断面形状であっても、
本発明のテーパ部を備える構成であれば、特に、その断
面形状を限定されるものではない。

【００４２】

【発明の効果】本発明によれば、２つの光導波路の光結
合を行う光導波路接続構造は、幅方向にテーパを形成す
るテーパ部を介して、入力側の光導波路の導波モードか
ら出力側の光導波路の導波モードヘ徐々に変化するた
め、入力側の光導波路の導波モードが出力側の光導波路
の導波モードに断続的に変換される。これによって、入
力側及び出力側の光導波路のスポットサイズが整合しな
い場合においても損失の少ない接続が可能となり、ま
た、光の伝搬方向において反射の要因となる急激な導波
路構造の変化がないため、接続部分の結合部における反
射戻り光を極めて少なくでき、反射減衰量を従来技術と
比べてそれ以下まで小さくすることができる。そして、
光導波路接続構造は、厚さ方向の変化を伴う構造を有し
ないためリソグラフィプロセス技術等による製造に適
し、高精度加工や大量生産が容易となる。

【００４３】また、光導波路接続構造は、接続部分の結
合部における２つの光導波路は等価屈折率を特定の値に
正確に調整する必要がないので、光導波路の横造を厳密
に制御する必要がなく、さらにまた、結合における二つ
の光導波路の相対的な位置ズレ量は、コアとクラッドの
比屈折率差が小さい光導波路すなわちコア断面積が大き
な光導波路のコア断面積と同等程度で良いため、接続の
ための作業に高い精度を必要としない。

【００４４】さらに、光導波路接続構造は、同一基板上
に材質やスポットサイズの異なる複数の光回路を作りこ
れらを同基板上で相互に接続する場合、低損失の接続構
造を容易な加工で製作できるという利点がある。したが
って、光導波路接続構造は、ハイブリット集積回路に最
適に使用することができる。なお、光導波路接続構造
は、複数の入出力光導波路を持つ半導体光回路部品を、
石英型光導波路上に集積する事が容易となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 （ａ）は本発明にかかる第１の実施の形態に
おける光導波路接続構造の正面状態を示す模式図、
（ｂ）は（ａ）の平面状態を示す模式図、（ｃ）は
（ａ）の右側面状態を示す模式図である。

【図２】 （ａ）は、本発明にかかる第２の実施の形態
における光導波路接続構造の正面状態を示す模式図、
（ｂ）は（ａ）の平面状態を示す模式図、（ｃ）は
（ａ）の右側面状態を示す模式図である。

【図３】 （ａ）は、本発明にかかる第３の実施の形態
における光導波路接続構造の正面状態を示す模式図、
（ｂ）は（ａ）の平面状態を示す模式図、（ｃ）は
（ａ）の右側面状態を示す模式図である。

【図４】 （ａ）、（ｂ）は従来の光導波路接続構造の
概略図である。

【符号の説明】

ａ 第１光導波路 ｂ 第２光導波路 ｃ 第１光導波路 ｄ 第２光導波路 ｅ 第３光導波路 Ａ 光導波路（第１光導波路、第２光導波路） １，６，１２，２１ 平面基板 ２，５，１５，２０ アンダークラッド ３ 光導波路コア（第１コア） ４ 光導波路コア（第２コア） ７，１３，１６，１７ テーパ部 ８ オーバークラッド ９ アンダークラッド １０ 光導波路コア（第２コア） １１ 光導波路コア（第１コア） １８ 第１光導波路コア（第１コア） １９ 第２光導波路コア（第１コア） ２０ａ 凸部 ２２ 光導波路（第２コア）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 森田 博文 東京都千代田区大手町二丁目３番１号 日 本電信電話株式会社内 (72)発明者 納富 雅也 東京都千代田区大手町二丁目３番１号 日 本電信電話株式会社内 (72)発明者 新家 昭彦 東京都千代田区大手町二丁目３番１号 日 本電信電話株式会社内 (72)発明者 横浜 至 東京都千代田区大手町二丁目３番１号 日 本電信電話株式会社内 Ｆターム(参考） 2H037 AA01 BA24 CA00 2H047 KA03 KA13 KB08 RA08 TA32

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光を導波伝搬する第１コアおよびこの第
   １コアよりも屈折率が小さいクラッドを有する第１光導
   波路と、この第1光導波路の第１コアの屈折率よりも屈
   折率が大きい第２コアを有する第２光導波路とを光学的
   に接続する光導波路接続構造において、 前記第２光導波路の第２コアは、長手方向の断面高さを
   維持した状態で、その幅方向の寸法をその第２導波路の
   端部に向かって小さくなるテーパ部を形成し、前記第1
   光導波路の第１コアと、前記第２光導波路の第２コアに
   おける前記テーパ部とが長手方向に接触または平行な状
   態で光学的に近接するように配置されていることを特徴
   とする光導波路接続構造。
2. 【請求項２】前記第１光導波路と前記第２光導波路とが
   同一の基板に形成され、かつ、前記基板に形成されるク
   ラッドが連続した同一素材よりなることを特徴とする請
   求項１に記載の光導波路接続構造。