JP2017134317A - 光導波路、光導波路結合体、及び光導波路の製造方法 - Google Patents
光導波路、光導波路結合体、及び光導波路の製造方法 Download PDFInfo
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液状脂肪族エポキシ樹脂(ダイセル化学工業株式会社製のセロキサイド2021P)25質量部、3官能の芳香族エポキシ樹脂(株式会社プリンテック製のVG3101)20質量部、固形ビスフェノールA型エポキシ樹脂(三菱化学株式会社製の1006FS)55質量部、及び光カチオン硬化開始剤(株式会社アデカ製のSP−170)1質量部の各配合成分を、ガラス容器内に秤量した。このガラス容器内に、溶剤として、2−ブタノンとトルエンとの混合溶剤を加えた。このガラス容器内の配合物を、80℃の還流下で攪拌した。そうすることによって、固形分が全て溶解されたワニスが得られた。得られたワニスを、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)製の孔径1μmのメンブランフィルタで濾過して、固形状の異物を除去した後、減圧脱泡した。このように調製したワニスを、株式会社ヒラノテクシード製のコンマコータヘッドのマルチコータを用いて、PETフィルム(東洋紡績株式会社製のA4100)に塗布した。この塗布されたPETフィルムを、125℃で乾燥させ、所定厚みの樹脂層とした。その樹脂層の上に、カバーフィルム(離型フィルム)として、配向性ポリプロピレンフィルム(OPP)を熱ラミネートした。そうすることによって、クラッド用樹脂フィルムを得た。このとき、上記塗布時の厚み(塗布厚)を調整することで、得られたクラッド用樹脂フィルムの厚みが、8μmのものと、10μmのものを製造した。
用いる材料として、液状脂肪族エポキシ樹脂(ダイセル化学工業株式会社製のセロキサイド2021P)19質量部、3官能の芳香族エポキシ樹脂(株式会社プリンテック製のVG3101)23質量部、固形ビスフェノールA型エポキシ樹脂(三菱化学株式会社製の1006FS)58質量部、光カチオン硬化開始剤(株式会社アデカ製のSP−170)1質量部、及び酸化防止剤(株式会社アデカ製のAO−60)1質量部を用いる以外、上記クラッド用樹脂フィルムと同様にして、コア用樹脂フィルムを製造した。このとき、布時の厚み(塗布厚)を調整することで、得られたコア用樹脂フィルムの厚みが、10μmのものを製造した。
まず、140mm×120mmのガラスエポキシ基板(パナソニック株式会社製のR1766)の、両面の銅箔をエッチングにより除去した。このエッチオフしたものを基板として用いた。この基板の表面に、上述の方法により製造した、厚み10μmのクラッド用樹脂フィルムを、真空ラミネーター(V−130)を用いて、60℃、0.2MPaの条件でラミネートした。そして、超高圧水銀灯を用いて、2J/cm2の条件で紫外光を、ラミネートしたクラッド用樹脂フィルムに照射した。その後、クラッド用樹脂フィルムの離型フィルムを剥離した。その後、150℃で30分間熱処理した。そうすることによって、基板上に、クラッド用樹脂フィルムが硬化した第1クラッド層(下部クラッド層)が形成された。
第2クラッド層を製造する際の、クラッド用樹脂フィルムのラミネートが、80℃、0.3MPa、90秒間の条件で行うこと以外、光導波路Aの製造方法と同様にした。そうすることによって得られた光導波路Bの断面形状を観察したところ、図1に示すような光導波路であって、コア部上に存在する上部クラッド層(薄厚部)の厚みT1が0.5μmであった。
第2クラッド層を製造する際のクラッド用樹脂フィルムとして、厚み10μmのクラッド用樹脂フィルムを用いること以外、光導波路Aの製造方法と同様にした。そうすることによって得られた光導波路Cの断面形状を観察したところ、図1に示すような光導波路であって、コア部上に存在する上部クラッド層(薄厚部)の厚みT1が2μmであった。
第2クラッド層を製造する際、クラッド用樹脂フィルムをラミネートした後、幅10μm、長さ120mmの直線パターンだけがマスクされたガラスマスクを、クラッド用樹脂フィルムの表面に載置した。その後、照射光が略平行光になるように調整された超高圧水銀灯で2J/cm2の光量で紫外光を、クラッド用樹脂フィルムに照射して、クラッド用樹脂フィルムを光硬化させた。その後、クラッド用樹脂フィルムの離型フィルムを剥離した。その後、140℃で10分間熱処理した。そうすることによって得られた光導波路Dの断面形状を観察したところ、図2に示すような光導波路であって、コア部上に存在する上部クラッド層(薄厚部)の厚みT1が0μmであった。
図4〜6に示すように、上記光導波路A〜Dのうちの、2つの光導波路の前記コア部上に存在する上部クラッド層(薄厚部)同士を、接触距離L3が10cmになるように接触させた。その際、光導波路としては、表1に示す組合せで接触させた。そして、このようにして得られた光導波路結合体の結合効率を、以下のように測定した。
12 コア部
13 クラッド層
14 第1クラッド層
15 第2クラッド層
15a 薄厚部
17 基板
18 コア材料層
19 フォトマスク
22 樹脂フィルム
41 光導波路結合体
Claims (6)
- 長尺状のコア部と、前記コア部を囲むように配置されるクラッド層とを備え、
前記コア部の短手方向に存在する前記クラッド層の内の最も薄い薄厚部の厚みが、0〜0.5μmであることを特徴とする光導波路。 - 前記クラッド層が、前記コア部を支持する第1クラッド層と、前記第1クラッド層上の前記コア部を囲むように配置される第2クラッド層とを備え、
前記薄厚部が、前記第2クラッド層の、前記コア部の前記第1クラッド層と接触している面と対向する面上に存在する部分である請求項1に記載の光導波路。 - 請求項1又は請求項2に記載の光導波路を2個備え、
前記薄厚部同士を接触させることを特徴とする光導波路結合体。 - 一方の前記光導波路と他方の前記光導波路とのコア部間の距離が、0〜0.5μmである請求項3に記載の光導波路結合体。
- 第1クラッド層の表面上に、コア部を形成する工程と、
前記第1クラッド層の、前記コア部が形成された側に、前記コア部の厚みに0.5μmを加えた厚み以下になるように、第2クラッド層を形成するクラッド層形成工程とを備えることを特徴とする光導波路の製造方法。 - 前記クラッド層形成工程が、前記第1クラッド層の、前記コア部が形成された側に、ドライフィルム状の材料を積層する工程である請求項5に記載の光導波路の製造方法。
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