JP5463646B2 - 光モジュール - Google Patents
光モジュール Download PDFInfo
- Publication number
- JP5463646B2 JP5463646B2 JP2008261608A JP2008261608A JP5463646B2 JP 5463646 B2 JP5463646 B2 JP 5463646B2 JP 2008261608 A JP2008261608 A JP 2008261608A JP 2008261608 A JP2008261608 A JP 2008261608A JP 5463646 B2 JP5463646 B2 JP 5463646B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical
- circuit board
- light emitting
- optical waveguide
- module according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16225—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
Description
更に、光電気複合配線部品100には受光素子203と信号増幅IC204とからなる光−電気変換(O/E)部106が、他方の電気コネクタ103の近傍に設けられており、光−電気変換(O/E)部106の受光素子203及び信号増幅IC204は可撓性及び光透過性を有する基板101上にフリップチップ実装され、電気配線109を介して電気コネクタ103の一端子107に電気的に接続されている。
すなわち、本発明は、ICチップとアンテナ及び電力受電用コイルが形成された回路基板、該ICチップと電気的に接続された受発光素子、及び該受発光素子に光結合される光伝送路を有してなる光モジュールを提供するものである。
また、光導波路などの光伝送路によって送信された情報を電気信号に変え、ICチップ中のデータ領域に保存することができるとともに、リーダライタから送信される電気信号を該データ領域に保存することもできる。
なお、回路基板10としてFPC(Flexible Printed Circuit)基板を用いることもできる。FPC基板の基板材料としては、ポリイミド、ポリアミド、ポリエーテルイミド、ポリエチレンテレフタレート、液晶ポリマーなどが用いられるが、一般的には耐熱性や入手のしやすさの観点からポリイミドが用いられる。
また、受発光素子14は図2に示すように、回路基板10上に実装されていてもよい。
また、本発明で用いる受光素子としては、フォトダイオードを用いることが好ましい。
特に、光伝送路として光導波路を用いる場合には、光導波路と受発光素子を物理的に接着させて光学的に結合させることができる。物理的に接着させることで、衝撃や振動によっても結合効率が低下することがない。具体的には、ポリマー光導波路を用い、光導波路の端部を溶融して受発光素子と融着させる方法や、紫外線硬化型樹脂からなる光導波路を用い、UV照射によって硬化させて受発光素子と結合させる方法、さらには光導波路と受発光素子を位置合わせした後にエポキシ系の接着剤で結合させる方法などが挙げられる。更には、光導波路内に受発光素子を内蔵させる方法などが挙げられる。
光導波路と受発光素子の結合の態様としては、例えば、図3〜5に示すようなものが挙げられる。図3〜5に示す態様は、図2に示すような、ICチップ11、アンテナ12、電力受電用コイル13、及び受発光素子14が実装された回路基板10を用いたものであり、図3は光導波路の途中に、図4は光導波路の端部に回路基板10を設置し、光導波路のコア部と受発光素子を結合させるものである。また、図5は光導波路内に受発光素子を内蔵させる態様を示すものである。
図3に示す様態は、導波路20にダイシングやドライエッチング、レーザー加工などによって窪みを形成し、該窪みに回路基板10を収めて接着剤で固定したものである。また、接着剤で固定する代わりに、窪みの形状と回路基板10の形状をコネクタのメスとオスとなるように設計し、受発光素子の位置と光伝送路の位置を合わせることで、光伝送路を着脱可能とする態様をとることもできる。例えば、図3において、窪みを光導波路20のコア部22付近までの深さで設け、回路基板10の先端に近い部分に受発光素子を配置すれば、回路基板10を窪みの奥まで差し込むだけで、光導波路と受発光素子を結合させることができる。
さらに、回路基板として、Siを用いると、その上に光素子を動作・制御させるためのICチップ11、アンテナ12及び電力受電用コイル13が全てをモノリシックに形成できる。素子もフリップチップ実装したり、Si基板に形成することで回路基板を非常に小さくすることが出来る。
(基材)
基材24としては、可撓性を付与するために高分子フィルムが好ましく、特に、透明性、柔軟性、及び強靭性を有するとの観点から、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリアミド、ポリカーボネート、ポリフェニレンエーテル、ポリエーテルサルファイド、ポリアリレート、液晶ポリマー、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリアミドイミド、ポリイミドなどが好適に挙げられる。
フィルムの厚さは、目的とする柔軟性により適宜変えてよいが、5〜250μmであることが好ましい。5μm以上であると強靭性が得易いという利点があり、250μm以下であると十分な柔軟性が得られる。
また、基材24として上記支持体フィルムとは別の基材を用いる場合、支持体フィルム上にクラッド層形成用樹脂が製膜されたクラッド層形成用樹脂フィルムを基材24上にラミネート法などにより転写してもよい。この場合、該支持体フィルム上には、接着処理を行っていないことが好ましい。
本発明で用いるクラッド層形成用樹脂としては、コア層より低屈折率で、光又は熱により硬化する樹脂組成物であれば特に限定されず、熱硬化性樹脂組成物や感光性樹脂組成物を好適に使用することができる。より好適にはクラッド層形成用樹脂が、(A)ベースポリマー、(B)光重合性化合物および(C)光重合開始剤を含有する樹脂組成物により構成されることが好ましい。なお、クラッド層形成用樹脂に用いる樹脂組成物は、上部クラッド層23と下部クラッド層21において、該樹脂組成物に含有する成分が同一であっても異なっていてもよく、該樹脂組成物の屈折率が同一であっても異なっていてもよい。
分子内にエチレン性不飽和基を有する化合物としては、(メタ)アクリレート、ハロゲン化ビニリデン、ビニルエーテル、ビニルピリジン、ビニルフェノール等が挙げられるが、これらの中で、透明性と耐熱性の観点から、(メタ)アクリレートが好ましい。
(メタ)アクリレートとしては、1官能性のもの、2官能性のもの、3官能性以上の多官能性のもののいずれをも用いることができる。なお、ここで(メタ)アクリレートとは、アクリレートおよびメタクリレートを意味するものである。
この(A)成分および(B)成分の配合量として、(A)成分が5質量%以上であり、(B)成分が95質量%以下であると、樹脂組成物を容易にフィルム化することができる。一方、(A)成分が80質量%以下であり、(B)成分が20質量%以上であると、(A)ベースポリマーを絡み込んで硬化させることが容易にでき、光導波路を形成する際に、パターン形成性が向上し、かつ光硬化反応が十分に進行する。以上の観点から、この(A)成分および(B)成分の配合量として、(A)成分10〜85質量%、(B)成分90〜15質量%がより好ましく、(A)成分20〜70質量%、(B)成分80〜30質量%がさらに好ましい。
(C)光重合開始剤の配合量は、(A)成分および(B)成分の総量100質量部に対して、0.1〜10質量部とすることが好ましい。この配合量が0.1質量部以上であると、光感度が十分であり、一方10質量部以下であると、露光時に感光性樹脂組成物の表層での吸収が増大することがなく、内部の光硬化が十分となる。さらに、光導波路として使用する際には、重合開始剤自身の光吸収の影響により伝搬損失が増大することもなく好適である。以上の観点から、(C)光重合開始剤の配合量は、0.2〜5質量部とすることがより好ましい。
クラッド層形成用樹脂フィルムの製造過程で用いられる支持体フィルムは、その材料については特に限定されず、種々のものを用いることができる。支持体フィルムとしての柔軟性および強靭性の観点から、上記した基材24のフィルム材料として例示したものが同様に挙げられる。
支持体フィルムの厚さは、目的とする柔軟性により適宜変えてよいが、5〜250μmであることが好ましい。5μm以上であると強靭性が得易いという利点があり、250μm以下であると十分な柔軟性が得られる。
このとき、クラッド層形成用樹脂フィルムの保護やロール状に製造するときの巻き取り性などの観点から、必要に応じクラッド層形成用樹脂フィルムに保護フィルムを貼り合わせてもよい。保護フィルムとしては、支持体フィルムとして例に挙げたものと同様なものが使用でき、必要に応じ離型処理や帯電防止処理がされていてもよい。
ここで用いる溶媒としては、該樹脂組成物溶解し得るものであれば特に限定されず、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、トルエン、N,N−ジメチルアセトアミド、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、シクロヘキサノン、N−メチル−2−ピロリドン等の溶媒またはこれらの混合溶媒を用いることができる。樹脂溶液中の固形分濃度は30〜80質量%程度であることが好ましい。
次に、本発明で使用するコア層形成用樹脂フィルムについて詳述する。
コア層形成用樹脂フィルムを構成するコア層形成用樹脂としては、コア層がクラッド層21及び23より高屈折率であるように設計され、活性光線によりコアパターンを形成し得る樹脂組成物を用いることができ、感光性樹脂組成物が好適である。具体的には、前記クラッド層形成用樹脂で用いたのと同様の樹脂組成物を用いることが好ましい。すなわち、前記(A)、(B)および(C)成分を含有し、必要に応じて前記任意成分を含有する樹脂組成物である。
該支持体フィルムの厚さは、5〜50μmであることが好ましい。5μm以上であると、支持体フィルムとしての強度が得やすいという利点があり、50μm以下であると、パターン形成時のマスクとのギャップが小さくなり、より微細なパターンが形成できるという利点がある。以上の観点から、該支持体フィルムの厚さは10〜40μmの範囲であることがより好ましく、15〜30μmであることが特に好ましい。
コア層形成用樹脂フィルムの保護やロール状に製造するときの巻き取り性などの観点から、必要に応じコア層形成用樹脂フィルムに保護フィルムを貼り合わせてもよい。保護フィルムとしては、支持体フィルムとして例に挙げたものと同様なものが使用でき、必要に応じ離型処理や帯電防止処理がされていてもよい。
以下、本発明の光導波路の製造方法について詳述する(図7参照)。なお、以下の製造例では、クラッド層形成用樹脂フィルム及びコア層形成用樹脂フィルムを用いた場合の実施形態の一例を具体的に説明する。
まず、第1の工程として、クラッド層形成用樹脂と支持体フィルムから構成されたクラッド層形成用樹脂フィルムを用いて、該クラッド層形成用樹脂を光または加熱により硬化し、下部クラッド層21を形成する(図7(a))。このとき、上記支持体フィルムが、図7(a)に示す下部クラッド層21の基材24となる。
この下部クラッド層21は、後述するコア層との密着性の観点から、コア層積層側の表面において段差がなく平坦であることが好ましい。また、クラッド層形成用樹脂フィルムを用いることにより、クラッド層21の表面平坦性を確保することができる。
クラッド層形成用樹脂フィルムの支持体フィルムの反対側に保護フィルムを設けている場合には、該保護フィルムを剥離後、クラッド層形成用樹脂を光または加熱により硬化し、クラッド層21を形成する。このとき、クラッド層形成用樹脂は接着処理を施した支持体フィルム上に製膜されていることが好ましい。一方、保護フィルムは、クラッド層形成用樹脂フィルムからの剥離を容易にするため接着処理は行っていないことが好ましく、必要に応じ離型処理が施されていてもよい。
具体的には、第2の工程として、下部クラッド層21上にコア層形成用樹脂フィルムを、ロールラミネータ等により加熱圧着してコア層22’を積層する(図7(b))。加熱圧着することによって、密着性および追従性が向上する。ラミネート温度は、30℃〜100℃の範囲が好ましい。30℃より高い温度であると、下部クラッド層とコア層との密着性が向上し、40℃以上であると、更に密着力を向上させることができる。一方、100℃以下であると、コア層がロールラミネート時に流動することなく、必要とする膜厚が得られる。以上の観点から、40〜70℃の範囲がより好ましく、50℃〜60℃の範囲がさらに好ましい。圧力は0.2〜0.9MPaが好ましい。ラミネート速度は0.1〜3m/minが好ましいが、これらの条件には特に制限はない。
コア層形成用樹脂フィルムの基材の反対側に保護フィルムを設けている場合には、該保護フィルムを剥離後、コア層形成用樹脂フィルムをラミネートする。このとき、保護フィルム及び支持体フィルムは、コア層形成用樹脂フィルムからの剥離を容易にするため接着処理は行っていないことが好ましく、必要に応じ離型処理が施されていてもよい。
これらの塩基は、単独で又は2種類以上を組み合わせて使用することができる。
現像に用いるアルカリ性水溶液のpHは9〜14であることが好ましい。また、アルカリ性水溶液中には、表面活性剤、消泡剤などを混入させてもよい。
有機溶剤の濃度は、通常、2〜90質量%であることが好ましい。また、アルカリ性準水系現像液中には、界面活性剤、消泡剤などを少量混入させてもよい。
現像後の処理として、必要に応じて60〜250℃程度の加熱または0.1〜1000mJ/cm2程度の露光を行うことにより、コアパターン86をさらに硬化して用いてもよい。
具体的には、第4の工程として、コアパターン22上にクラッド層形成用樹脂フィルムを、真空加圧式ラミネータを用いて減圧雰囲気下において加熱圧着する(図7(e))。ここで、第4の工程は、密着性および追従性向上の観点から、平板型ラミネータを用いて減圧雰囲気下で加熱圧着することが好ましい。
なお、本発明において平板型ラミネータとは、積層材料を一対の平板の間に挟み、平板を加圧することにより圧着させるラミネータのことをいう。平板型ラミネータとしては、真空加圧式ラミネータを好適に用いることができる。減圧の尺度である真空度の上限は、10000Pa以下が好ましく、さらには1000Pa以下が好ましい。真空度は、密着性および追従性の見地から低い方が望ましい。一方、真空度の下限は、生産性の観点(真空引きにかかる時間)から、10Pa程度であることが好ましい。加熱温度は、40〜130℃とすることが好ましく、圧着圧力は、0.1〜1.0MPa(1〜10kgf/cm2)とすることが好ましいが、これらの条件には特に制限はない。
クラッド層形成用樹脂フィルムの支持体フィルムの反対側に保護フィルムを設けている場合には、該保護フィルムを剥離後、クラッド層形成用樹脂フィルムをラミネートして光または加熱により硬化することによりクラッド層23を形成する。
実施例1
図2に示されるような回路基板10を送信用及び受信用として2つ準備した。該回路基板はSi基板内に光素子動作・制御用IC11、アンテナ12及びコイル13が形成されており、送信側は発光素子14として裏面発光VCSELがフリップチップ実装されており、受信側は受光素子14としてGeフォトダイオードがSi基板に直接形成されているものを用いた。この回路基板はアンテナなどを含めても0.5mm角以下の小さいものとすることができた。
これらの回路基板10を図10に示すように光導波路20と接続し、光導波路のコア22と回路基板の光素子を位置合せして貼り付けた。光導波路20は樹脂からできており、回路基板10と光導波路20は180℃で圧着するだけで固定することができた。
次いで、図10に示すように、2つのLSI(Large Scale Integration)28間を上記回路基板が実装された光導波路でつないだ。ここでLSIはCPUとメモリから構成されている。LSIが載った配線板29にはLSIの近傍にリーダライタとなる電気配線が形成されており、この配線板29に上記回路基板が実装された光導波路を、上記リーダライタ30の上に回路基板10が来るように実装した。回路基板10とリーダライタ30は数100μmと小さくすることができ、効率良く回路基板10とリーダライタ30をつなぐことが可能であり、その分、回路基板を小さくすることができた。
11 ICチップ
12 アンテナ
13 電力受電用コイル
14 受発光素子
15 電気配線
20 光導波路
21 下部クラッド層
22 コア部
22’ コア層
23 上部クラッド層
24 基材
25 支持体フィルム
26 フォトマスクパターン
27 支持体フィルム
28 LSI(Large Scale Integration)
29 配線板
30 リーダライタ
100 光電気複合配線部品
101 フレキシブル基板
102 電気配線
103 電気コネクタ
104 電気−光変換(E/O)部
105、107 端子
106 光−電気変換(O/E)部
110 電子モジュール
201 発光素子
202 ドライバIC
203 受光素子
204 信号増幅IC
205 光導波路(コア層)
206、207 クラッド層
208、211 端面(45度傾斜面)
209 光導波路部
210 空気層
Claims (13)
- ICチップとアンテナ及び電力受電用コイルが形成された回路基板、該ICチップと電気的に接続され、前記回路基板に実装される受発光素子、及び該受発光素子に光結合される光伝送路を有し、
前記光伝送路には、それぞれに送信側の発光素子、受信側の受光素子が実装される一対の前記回路基板が実装されており、
前記アンテナ及び電力受電用コイルに電力供給とデータの送受を行い、かつ配線板に形成された一対のリーダライタが設けられ、
前記一対の回路基板が実装された光伝送路が、前記リーダライタそれぞれの上に前記各回路基板が配置されるように、前記配線板に実装されている光モジュール。 - 前記アンテナがコイル形状を有し、電力受電用コイルを兼ねる請求項1に記載の光モジュール。
- 前記受発光素子が端面発光レーザー、面発光レーザー、発光ダイオード及びフォトダイオードから選ばれる少なくとも1種を搭載するものである請求項1又は2に記載の光モジュール。
- 前記回路基板がSi基板であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の光モジュール。
- 前記光伝送路が光ファイバー又は光導波路であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の光モジュール。
- 前記光ファイバー及び前記光導波路が石英又はポリマーからなる請求項5に記載の光モジュール。
- 前記光導波路が下部クラッド層、パターン化されたコア層、及び上部クラッド層からなるポリマー光導波路である請求項5又は6に記載の光モジュール。
- 前記光伝送路が前記受発光素子と物理的に接着される請求項1〜7のいずれかに記載の光モジュール。
- 前記光伝送路が、前記回路基板と着脱可能に形成されてなる請求項1〜8のいずれかに記載の光モジュール。
- 前記受発光素子の位置が前記光伝送路の位置に合わせられるように、前記回路基板が前記光導波路の端部に圧着されている請求項7に記載の光モジュール。
- 前記受発光素子が前記光導波路内に内蔵され、かつ前記受発光素子の位置が前記光伝送路の位置に合わせられるように、前記回路基板が前記下部クラッド層上に搭載されている請求項7に記載の光モジュール。
- 前記光伝送路に窪みが設けられ、前記受発光素子の位置と前記光伝送部の位置を合わせるように、前記回路基板を前記窪みに差し込んでいる請求項1〜11のいずれかに記載の光モジュール。
- 前記配線板には、一対のLSIが載せられ、
前記一対のLSIが前記光伝送路を介して接続される請求項1〜12のいずれかに記載の光モジュール。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008261608A JP5463646B2 (ja) | 2008-10-08 | 2008-10-08 | 光モジュール |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008261608A JP5463646B2 (ja) | 2008-10-08 | 2008-10-08 | 光モジュール |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010093059A JP2010093059A (ja) | 2010-04-22 |
JP5463646B2 true JP5463646B2 (ja) | 2014-04-09 |
Family
ID=42255509
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008261608A Expired - Fee Related JP5463646B2 (ja) | 2008-10-08 | 2008-10-08 | 光モジュール |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5463646B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5693986B2 (ja) * | 2011-02-03 | 2015-04-01 | 日東電工株式会社 | 光センサモジュール |
JP6370892B2 (ja) * | 2013-06-06 | 2018-08-08 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェKoninklijke Philips N.V. | 蛍光体シートとラミネートされた発光ダイオード及びその製造方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000278172A (ja) * | 1999-03-23 | 2000-10-06 | Omron Corp | 非接触媒体 |
JP2002049820A (ja) * | 2000-08-03 | 2002-02-15 | Dainippon Printing Co Ltd | 非接触icタグを用いたキャンペーンエントリー方法とそれに使用するキャンペーンエントリー用非接触icタグ |
JP2006011046A (ja) * | 2004-06-25 | 2006-01-12 | Sony Corp | 光導波路及びその光導波モジュール、並びに光伝送モジュール |
JP2006091241A (ja) * | 2004-09-22 | 2006-04-06 | Hitachi Cable Ltd | 光電気複合配線部品及びこれを用いた電子機器 |
US7965186B2 (en) * | 2007-03-09 | 2011-06-21 | Corning Cable Systems, Llc | Passive RFID elements having visual indicators |
US7547150B2 (en) * | 2007-03-09 | 2009-06-16 | Corning Cable Systems, Llc | Optically addressed RFID elements |
-
2008
- 2008-10-08 JP JP2008261608A patent/JP5463646B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010093059A (ja) | 2010-04-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20120219251A1 (en) | Optical waveguide substrate and method for manufacturing same | |
CN105452919B (zh) | 光波导用干膜和使用该光波导用干膜的光波导的制造方法以及光波导 | |
US9069128B2 (en) | Opto-electric combined circuit board and electronic devices | |
JP5211940B2 (ja) | 光導波路、光電気混載基板及び光モジュール | |
TW200922432A (en) | Printed circuit board element and method of producing the same | |
KR20100110350A (ko) | 광전기 혼재기판 및 전자기기 | |
JPWO2008035658A1 (ja) | 光導波路の製造方法 | |
JP2008040003A (ja) | フレキシブル光導波路フィルム、光送受信モジュール、マルチチャンネル光送受信モジュール及びフレキシブル光導波路フィルムの製造方法 | |
JP5212141B2 (ja) | フレキシブル光導波路の製造方法 | |
JP5463646B2 (ja) | 光モジュール | |
KR101665740B1 (ko) | 광도파로의 제조방법, 광도파로 및 광전기 복합배선판 | |
JP2008124418A (ja) | 電気回路基板及びこれを用いた光電気複合回路基板 | |
JP5036444B2 (ja) | 光導波路構造体とその製造方法および光モジュール | |
JP5386999B2 (ja) | 光モジュール及び電気接続方法 | |
JP6857835B2 (ja) | 光導波路結合体 | |
JP4999594B2 (ja) | 光導波路構造体とその製造方法 | |
JP2010079058A (ja) | 光電気複合基板の製造方法 | |
JP2011221288A (ja) | 光導波路及び光電気複合基板の製造方法、並びにそれにより得られる光導波路及び光電気複合基板 | |
JP2010271371A (ja) | フレキシブル光導波路 | |
JP5309950B2 (ja) | 光導波路の製造方法 | |
JP5458682B2 (ja) | 光導波路形成用樹脂フィルム及びこれを用いた光導波路、その製造方法並びに光電気複合配線板 | |
JP2013142717A (ja) | 光導波路 | |
JP2010271369A (ja) | フレキシブル光導波路 | |
JP2010271370A (ja) | フレキシブル光導波路 | |
JP2013137468A (ja) | 光電気複合配線板、及び光電気複合配線板の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110906 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121128 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130219 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130418 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20130730 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131030 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20131107 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131224 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140106 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |