JP2002100002A - 磁気ヘッドおよびその製造方法およびそれらを用いた磁気記録再生装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 磁気ヘッドが磁気テープにダメージを与える
ことがなく、磁気ヘッドと磁気テープの安定した接触を
実現でき、多量の信号を効率よく記録再生できる高性能
で信頼性の高い磁気ヘッドおよび磁気記録再生装置を供
給することを目的とする。 【解決手段】 磁気テープと接触を開始する磁気ヘッド
摺動面端面角部が、磁気ヘッドが取り付けられている磁
気記録再生装置の回転シリンダーの表面よりも突出しな
いように除去する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、デジタルＶＴＲや
データストリーマ等のシステムで用いられる高保磁力磁
気記録媒体に対して多量の磁気情報の記録・再生を行う
のに適する磁気ヘッドの製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、磁気記録の分野において、一対の
板状フェライト製の磁気コア半体を突き合わせて磁気ギ
ャップを形成し、磁気ギャップ部の両側をガラス等の非
磁性材料で溶着したフェライトヘッドや、磁気ギャップ
部に飽和密度の高い金属磁性膜を配したメタル・イン・
ギャップ型ヘッド（以下ＭＩＧヘッドと記す）や、磁性
膜を一対の非磁性材料からなる基板で挟み込んだ薄膜積
層型ヘッド等が実用化されている。特にメタルテープや
蒸着テープといった高保磁力の磁気記録媒体に対して高
密度に情報記録するシステムでは、前記のＭＩＧヘッド
や薄膜積層型ヘッドが主として用いられる。

【０００３】ＭＩＧヘッドは、通常、図１６に示すよう
に、フェライト等の強磁性酸化物１に飽和磁束密度の高
い金属磁性膜２を形成した磁気コア半体ブロック３を突
き合わせ、金属磁性膜２間に磁気ギャップ４を設けた構
造を有している。従来、磁気ギャップ４を構成するギャ
ップ材料は、ＭＩＧヘッドのテープ摺動面５の拡大図で
ある図１７に示すように、金属磁性膜２上に順次ＳｉＯ
２や珪酸ガラスからなるＳｉＯ２を主成分とする非磁性
酸化物層６と、ＣｒやＣｒ２Ｏ３からなるガラス流動層
７の二層から構成されている。そして磁気コア半体ブロ
ック３は低融点ガラスである鉛ガラス８により接合一体
化されている。

【０００４】従来のＭＩＧヘッドの製造方法を図１８〜
図２６に基づいて説明する。まず、図１８に示す一対の
フェライトコア１１に図１９に示す巻線溝１２およびバ
ックガラス溝１３を形成する。次にフェライトコア１１
に図２０に示すトラック溝１４を形成し、ギャップ面１
５を研磨する。さらに、図２１に示すようにフェライト
コア１１のギャップ面１５を含む領域に、金属磁性膜２
とＳｉＯ２を主成分とする非磁性酸化物層６とガラス流
動層７とをこの順にスパッタリング法などにより形成す
る。このようにしてギャップ材料を形成した一対の磁気
コア半体ブロック３を図２２に示すようにギャップ面が
対向するように突き合わせ、鉛ガラス８を溝部に載置す
る。さらに熱処理により図２３に示すように鉛ガラス８
をガラス流動層７上に流し込んで一対の磁気コア半体ブ
ロック３をギャップで接合一体化し、図２４に示すよう
に一つのギャップドバー２０を作製する。

【０００５】この工程の後、図２５に示すようにギャッ
プドバー２０のテープ摺動面２１の端面角部除去を行な
う。次に、図２６のようにギャップドバー２０を所定の
ヘッドチップコア厚、アジマス角度で切断し、ヘッドチ
ップが完成する。

【０００６】図２５に示したギャップドバー２０のテー
プ摺動面の端面角部除去は、以下の理由に基づいて行わ
れる。ビデオデッキのようなヘリカルスキャン方式の場
合は、図２のように回転シリンダー３１の外周部に沿っ
て所定の間隔を隔てて設けられたヘッド用窓３２に、図
１３に示すように磁気ヘッド３３の磁気ギャップ４が回
転シリンダー表面３６よりも一定量突出すように位置決
めして取り付けられている。図３に示す磁気ヘッド摺動
面端面角部３５を、磁気ヘッドのテープ摺動面２１と磁
気ヘッドの厚み方向の側面３７（紙面に垂直な面）が交
わった部分と定義すると、仮に磁気ヘッド摺動面端面角
部３５が図３に示すように、磁気ヘッドが取り付けられ
る磁気記録再生装置の回転シリンダー表面３６よりも突
出した形で残っていると、磁気記録再生装置にて磁気テ
ープの走行時あるいは挿入・取り出し時に、磁気ヘッド
摺動面端面角部３５によって磁気テープにダメージを与
える場合が生じる。従って従来の製造方法では図２５に
示したように、ギャップドバー２０が形成された後にテ
ープ摺動面２１の端面角部除去を行なう。その結果、磁
気ヘッド摺動面端面角部３５は回転シリンダー表面３６
よりも突出しないように、図１３の鎖線で示すように除
去される。

【０００７】図２５に示すようにギャップドバーのテー
プ摺動面の両端面角部を除去しなければならないのは、
片側だけを除去すると、後述するように磁気ヘッドと磁
気テープとの接触状態を最適にして良好な記録再生を実
現する為に、研磨テープ等を用いて磁気ヘッドのテープ
摺動面に磁気ヘッドの用途に応じた特定の曲率半径で曲
面加工を施す際に、曲面の頂点が磁気ヘッドの磁気ギャ
ップ近傍からずれるためである。また、ギャップドバー
のテープ摺動面の端面角部除去を行なう別の理由とし
て、磁気ヘッドの端面角部が残っていると、特定の曲率
半径で曲面加工を施す際に端面角部の研磨に時間がかか
ってしまい、生産性が落ちることが挙げられる。

【０００８】ヘッドチップを完成させた後にベース接着
・巻線等の処理、および磁気ヘッドと磁気テープとの接
触状態を最適にして良好な記録再生を実現する為に、研
摩テープ等を用いてテープ摺動面の仕上げ曲面加工を行
い、電磁変換特性に大きな影響を及ぼす磁気ヘッドの磁
気ギャップ部の深さ（図１３中の寸法ＧＤ）を一定の範
囲内に納め、ＭＩＧヘッドが完成する。以上の工程をフ
ローチャートにまとめると、図１４のようになる。

【０００９】薄膜積層型ヘッドは通常、図２７および薄
膜積層型ヘッドのテープ摺動面３９の拡大図である図２
８に示すように、金属磁性膜４０と絶縁層４１を交互に
積層した磁気コア４２の両側を非磁性基板４３で挟持し
た構造を有する。磁気ギャップを形成するギャップ材料
はＳｉＯ２等の非磁性層４４と結晶化ガラス４５の二層
から構成されている。

【００１０】従来の薄膜積層型ヘッドの製造方法を図２
９〜図３６に基づいて説明する。まず非磁性基板４３上
に、図２９のＡ部の拡大図である図３０に示すように、
スパッタリング法などによって順次形成された高飽和磁
束密度および高透磁率を有する金属磁性膜４０とＳｉＯ
２等の絶縁層４１から成る磁気コア４２を形成し、非磁
性基板４３の反対側に接着ガラス層４６を形成して図２
９に示すようにヘッドコア４７を作製する。このように
して得られた複数のヘッドコア４７を重ねあわせ、加圧
熱処理することによって図３１に示す積層ブロック４８
を作製する。その後、積層ブロック４８を所定の寸法に
加工することによって、図３２に示す一対の磁気コア半
体ブロック４９ａ、４９ｂを得る。続いて、図３３、図
３４に示すように必要に応じて磁気コア半体ブロック４
９ａに巻線溝５０を形成し、ギャップ面５１ａ、５１ｂ
を平滑に研磨し、所定の厚みのＳｉＯ２等の非磁性層４
４をスパッタリング法等によって形成し、その上に所定
の厚みの結晶化ガラス４５をスパッタリング法等によっ
て形成する。そして、図３５に示すように各磁気コア半
体ブロック４９ａ、４９ｂのギャップ面５１ａ、５１ｂ
を突き合わせて加熱処理してギャップを接合一体化さ
せ、ギャップドバーを作製する。その後、図３５に示す
ようにＭＩＧヘッドと同様にギャップドバーのテープ摺
動面の端面角部を除去し、所定のヘッドチップコア厚に
切断し、図２７に示すヘッドチップが完成する。図２
７、図３５ではアジマス角度をゼロとした場合の薄膜積
層型ヘッドについて示したが、アジマス角度を付与する
場合は図３２に示した一対の磁気コア半体ブロック４９
ａ、４９ｂを得る工程にて垂直に切断するのではなく、
図３６に示すようにアジマス角度分だけ斜めに切断し、
その後は上記の工程に従って作製する。この後、ＭＩＧ
ヘッドと同様にベース接着・巻線等およびテープ摺動面
の曲面加工を行い、薄膜積層型ヘッドが完成する。以上
の工程をフローチャートにまとめると、図１５のように
なる。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の様
に、まずギャップドバーでテープ摺動面の端面角部除去
を行ない、その後に研磨テープを用いてヘッドのテープ
摺動面に特定の曲率半径で曲面加工を施す方法では、端
面角部除去部分の体積が大きく変化すると曲面加工を施
すテープ摺動面の面積も同様に大きく変化し、通常の加
工条件で曲面加工を施すと所望の曲率半径が得られない
場合が発生する。その結果、磁気ヘッドと磁気テープと
の接触状態が不安定となり、磁気ヘッドと磁気テープの
スペーシングロスによる出力の低下や記録データの微小
な欠落等が生じ、効率的な磁気記録再生に支障が起こる
ことになる。

【００１２】また、安定した電磁変換特性を有する磁気
ヘッドを供するためには、前述したように電磁変換特性
に大きな影響を及ぼす磁気ヘッドの磁気ギャップ部の深
さ（図１３中の寸法ＧＤ）を一定の範囲に収める必要が
ある。従来の方法ではギャップドバーの状態でテープ摺
動面の端面角部除去を行ない、ベース接着・巻線等の処
理後に研摩テープ等を用いてテープ摺動面の曲面加工を
行い、磁気ヘッドと磁気テープとの接触状態を最適にす
ると同時に、磁気ヘッドの磁気ギャップ部の深さを一定
の範囲に収めるように加工を行なっている。従って従来
の方法では、ギャップドバーでの端面角部の除去におけ
る精度だけではなく、巻線溝の加工精度等の充分な精
度、すなわちテープ摺動面の端面角部除去部分と磁気ギ
ャップ深さの相対的な位置精度が求められる。この精度
が確保されていない場合、例えば端面角部の除去が不十
分な場合は、磁気ヘッドの端面角部が磁気記録再生装置
の回転シリンダー表面よりも突出した形で残り、製造歩
留の低下等の問題が生じる。

【００１３】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、記録再生特性が優れ、信頼性の高い磁気ヘッドおよ
び磁気記録再生装置を歩留り良く提供することを目的と
する。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに、本発明の磁気ヘッドは、磁気テープと接触を開始
する磁気ヘッド摺動面端面角部が、磁気ヘッドが取り付
けられている磁気記録再生装置の回転シリンダーの表面
よりも突出しないように除去されていることを特徴とす
る磁気ヘッドである。

【００１５】また、本発明の磁気ヘッドの製造法は、強
磁性酸化物からなる一対の磁気コア半体ブロックを、非
磁性材料からなる磁気ギャップ材料を介して接合一体化
し、所定のヘッドチップコア厚、アジマス角度で切断し
て磁気ヘッドチップとする第一の工程と、磁気ヘッドチ
ップを端子板が設けられたヘッドベース材に接着、巻線
処理を行い、磁気ヘッド摺動面を曲面加工して磁気ヘッ
ドとする第二の工程と、磁気ヘッド摺動面端部が、磁気
ヘッドが取り付けられている磁気記録再生装置の回転シ
リンダーの表面よりも突出しないように、磁気ヘッド摺
動面端面角部を除去する第三の工程を有することを特徴
としたものである。

【００１６】また、本発明は上記磁気ヘッドを用いたこ
とを特徴とする磁気記録再生装置に関するものである。

【００１７】本発明の磁気ヘッドおよびその製造方法お
よびそれらを用いた磁気記録再生装置により、磁気ヘッ
ドが磁気テープにダメージを与えることがなく、磁気ヘ
ッドと磁気テープの安定した接触を実現でき、多量の信
号を効率よく記録再生できる高性能で信頼性の高い磁気
ヘッドおよび磁気記録再生装置を供給することができ
る。

【００１８】

【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、磁気テープと接触を開始する磁気ヘッド摺動面端面
角部が、磁気ヘッドが取り付けられている磁気記録再生
装置の回転シリンダーの表面よりも突出しないように除
去されていることを特徴とする磁気ヘッドである。

【００１９】本発明の請求項２に記載の発明は、時計回
り方向にアジマス角度を有する磁気ヘッド摺動面端面角
部が、磁気ヘッドが取り付けられている磁気記録再生装
置の回転シリンダーの表面よりも突出しないように除去
されていることを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッ
ドである。

【００２０】本発明の請求項３に記載の発明は、強磁性
酸化物からなる一対の磁気コア半体ブロックを、非磁性
材料からなる磁気ギャップ材料を介して接合一体化し、
所定のヘッドチップコア厚、アジマス角度で切断して磁
気ヘッドチップとする第一の工程と、磁気ヘッドチップ
を端子板が設けられたヘッドベース材に接着、巻線処理
を行い、磁気ヘッド摺動面を曲面加工して磁気ヘッドと
する第二の工程と、磁気ヘッド摺動面端部が、磁気ヘッ
ドが取り付けられている磁気記録再生装置の回転シリン
ダーの表面よりも突出しないように、磁気ヘッド摺動面
端面角部を除去する第三の工程を有することを特徴とす
る磁気ヘッドの製造方法である。

【００２１】本発明の請求項４に記載の発明は、強磁性
酸化物からなる一対の磁気コア半体ブロックを、非磁性
材料からなる磁気ギャップ材料を介して接合一体化して
得られたギャップドバーの磁気テープ摺動面を曲面一次
加工する第一の工程と、ギャップドバーを所定のヘッド
チップコア厚、アジマス角度で切断して磁気ヘッドチッ
プとする第二の工程と、磁気ヘッドチップを端子板が設
けられたヘッドベース材に接着、巻線処理を行い、磁気
ヘッド摺動面を曲面二次加工して磁気ヘッドとする第三
の工程と、磁気ヘッド摺動面端部が、磁気ヘッドが取り
付けられている磁気記録再生装置の回転シリンダーの表
面よりも突出しないように、磁気ヘッド摺動面端面角部
を除去する第四の工程を有することを特徴とする磁気ヘ
ッドの製造方法である。

【００２２】本発明の請求項５に記載の発明は、磁気コ
ア半体ブロックがフェライトであることを特徴とする、
請求項３もしくは４に記載の磁気ヘッドの製造方法であ
る。

【００２３】本発明の請求項６に記載の発明は、磁気コ
ア半体ブロックの少なくとも一方の磁気ギャップ形成面
近傍に、金属磁性膜を配したことを特徴とする、請求項
３もしくは４に記載の磁気ヘッドの製造方法である。

【００２４】本発明の請求項７に記載の発明は、金属磁
性膜と絶縁膜を交互に積層して形成した積層膜を一対の
非磁性材料からなる基板で挟み込んで得た一対の磁気コ
ア半体ブロックを非磁性材料からなる磁気ギャップ材料
を介して接合一体化し、所定のヘッドチップコア厚、ア
ジマス角度で切断して磁気ヘッドチップとする第一の工
程と、磁気ヘッドチップを端子板が設けられたヘッドベ
ース材に接着、巻線処理を行い、磁気ヘッド摺動面を曲
面加工して磁気ヘッドとする第二の工程と、磁気ヘッド
摺動面端部が、磁気ヘッドが取り付けられている磁気記
録再生装置の回転シリンダーの表面よりも突出しないよ
うに、磁気ヘッド摺動面端面角部を除去する第三の工程
を有することを特徴とする磁気ヘッドの製造方法であ
る。

【００２５】本発明の請求項８に記載の発明は、金属磁
性膜と絶縁膜を交互に積層して形成した積層膜を一対の
非磁性材料からなる基板で挟み込んで得た一対の磁気コ
ア半体ブロックを非磁性材料からなる磁気ギャップ材料
を介して接合一体化して得られたギャップドバーの磁気
テープ摺動面を曲面一次加工する第一の工程と、ギャッ
プドバーを所定のヘッドチップコア厚、アジマス角度で
切断して磁気ヘッドチップとする第二の工程と、磁気ヘ
ッドチップを端子板が設けられたヘッドベース材に接
着、巻線処理を行い、磁気テープ摺動面を曲面加工して
磁気ヘッドとする第三の工程と、磁気ヘッド摺動面端部
が、磁気ヘッドが取り付けられている磁気記録再生装置
の回転シリンダーの表面よりも突出しないように、磁気
ヘッド摺動面端面角部を除去する第四の工程を有するこ
とを特徴とする磁気ヘッドの製造方法である。

【００２６】本発明の請求項９に記載の発明は、磁気テ
ープと接触を開始する磁気ヘッド摺動面端面角部のみを
除去することを特徴とする、請求項３、４、５、６、７
もしくは８のいずれかに記載の磁気ヘッドの製造方法で
ある。

【００２７】本発明の請求項１０に記載の発明は、時計
回り方向にアジマス角度を有する磁気ヘッド摺動面端面
角部のみを除去することを特徴とする、請求項３、４、
５、６、７、８もしくは９のいずれかに記載の磁気ヘッ
ドの製造方法である。

【００２８】本発明の請求項１１に記載の発明は、請求
項１もしくは２に記載の磁気ヘッドを用いた磁気記録再
生装置である。

【００２９】以下、本発明の実施の形態について図面を
用いて説明するが、本発明はこれらの実施例に限定され
るものではない。

【００３０】（実施の形態１）本発明によるＭＩＧヘッ
ドの実施の形態１における製造方法を図５を用いて説明
する。まず、図１４に示した従来のＭＩＧヘッドの製造
方法と同様の方法でギャップドバーを形成（ステップ８
０１〜８０４）した後に、ギャップドバーのテープ摺動
面の端面角部除去を行なわずに、ギャップドバーを切断
（ステップ８０６）することによりテープ摺動方向の幅
が１ｍｍ、厚みが１６０μｍのヘッドチップを完成させ
た後（ステップ８０７）、従来工法と同様の工程でベー
ス接着・巻線等の処理（ステップ８０８）、およびテー
プ摺動面の曲面加工（ステップ８０９）を行う。

【００３１】最後に、図１０に示すように２つの支柱６
１によって支えられ、かつ矢印Ａ方向へ走行している研
磨テープ６０に対して磁気ヘッド摺動面の片側の端面角
部を矢印Ｂのように押さえつけ、磁気ヘッド摺動面端部
が磁気記録再生装置の回転シリンダー表面よりも突出し
ないように端面角部を除去し（ステップ８１０）、磁気
ヘッドを研磨テープから遠ざける。その後、同様の方法
でもう一方の端面角部を除去する。

【００３２】（実施の形態２）本発明によるＭＩＧヘッ
ドの実施の形態２における製造方法を図６を用いて説明
する。実施の形態１と異なる点は、ギャップドバーを形
成した後にギャップドバーのテープ摺動面の曲面一次加
工を行なう点である（ステップ８０５）。この一次加工
は粗い研磨テープを用いて行なっても良いし、回転する
砥石にギャップドバーを揺動させながら曲面加工を行な
う揺動加工でも良い。本実施形態では揺動加工により、
曲面一次加工を行なった。その後は、実施の形態１と同
じ方法でヘッドの作製を行なった。

【００３３】（実施の形態３）本発明によるＭＩＧヘッ
ドの実施の形態３における製造方法を図７を用いて説明
する。実施の形態１と異なる点は、磁気ヘッドの記録再
生時に、磁気テープと接触を開始するヘッド摺動面端面
（磁気テープが磁気ヘッドに対して侵入してくる部分な
ので、以下はヘッド入り側端面と記す）角部のみを除去
する点である（ステップ９０９）。このようにして作ら
れた磁気ヘッドと、この磁気ヘッドを取り付ける回転シ
リンダーの相対的な位置関係を図１に示す。

【００３４】（実施の形態４）本発明によるＭＩＧヘッ
ドの実施の形態４における製造方法を図８を用いて説明
する。実施の形態１と異なる点は、時計回り方向にアジ
マス角度を有する磁気ヘッド摺動面端面角部のみを除去
する点である。

【００３５】このように実施の形態１、２、３、４にお
ける磁気ヘッドの製造では、磁気ヘッドとしてＭＩＧヘ
ッドを例に挙げたが、フェライトヘッドでも薄膜積層型
ヘッドでも、同様に適用できる。実施の形態２では、ギ
ャップドバーを形成した後にギャップドバーのテープ摺
動面の曲面一次加工を行なったが、この様に予め所望の
曲率半径で粗加工をした後に、曲面二次加工として研磨
テープ等を用いて加工を行なうと、磁気ヘッドのテープ
摺動面最終曲面形状の曲率半径は、一次加工で得た曲率
半径から大きくずれることが避けられ、所望のヘッド摺
動面曲面形状を安定して得ることが可能となる。

【００３６】また実施の形態３および４では、それぞれ
磁気ヘッドの記録再生時に、ヘッド入り側端面角部の
み、あるいは磁気ヘッド摺動面端面が時計回り方向にア
ジマス角度を有する磁気ヘッド摺動面の端面角部のみを
除去している。なぜならば、磁気記録再生装置に磁気テ
ープをローディングすると、図４に示すように磁気ヘッ
ド３３が取り付けられた回転シリンダー３１が回転を始
め、同時に磁気テープ７０がシリンダー取付け面の斜め
上方から斜め下方に下降を始める（実際にはシリンダー
は斜めに取り付けられ、磁気テープ７０が垂直に降下し
てくる）ので、磁気ヘッド３３と磁気テープ７０が接触
を始める際に、磁気テープ７０と接触を開始する磁気ヘ
ッド摺動面端面角部が磁気記録再生装置の回転シリンダ
ー表面よりも突出していると、ヘッド入り側端面角部が
磁気テープ７０の下端にダメージを与える場合が多いた
めである。

【００３７】従来の技術にて説明したように、磁気ヘッ
ド３３はギャップ部にアジマス角をつけてギャップドバ
ーから切出されるため、磁気テープ摺動面から見た形状
は平行四辺形となっている。すなわち、時計回りのアジ
マス角度をつけると図１２（ａ）（ｂ）のようになり、
逆に反時計回りのアジマス角度をつけると、図１２
（ｃ）（ｄ）のようになる。従って図４のように磁気ヘ
ッド摺動面端面が時計回り方向にアジマス角度を有する
磁気ヘッド７１では、磁気テープ７０のローディング時
に最初に接触を開始するヘッド入り側端面角部７２の上
部７３は鋭角に尖っているので、この部分を除去して磁
気ヘッド摺動面端面部がシリンダー表面よりも突出しな
いようにすることは、磁気ヘッドによる磁気テープへの
ダメージを回避し、かつ生産性を上げる有効な手段であ
る。

【００３８】

【実施例】次に、本発明の具体例を示す。

【００３９】（実施例１）図５に示した工程に従ってＭ
ＩＧヘッドを製造した。ＭＩＧヘッドのテープ摺動方向
の幅は１ｍｍ、ヘッド摺動面端面角部除去時の傾斜角度
は４５°とし、ヘッド摺動面の両端面角部の除去を行な
った。この時、ヘッド摺動面端面角部除去後の摺動面端
部は、シリンダー表面よりも７０μｍ内部に潜り込んだ
状態となっていた。

【００４０】（実施例２）ギャップドバー状態で磁気テ
ープ摺動面を曲面一次加工する工程を追加した以外は、
実施例１と同様にしてＭＩＧヘッドを作製した。

【００４１】（実施例３）ヘッド入り側端面角部のみを
除去した以外は、実施例１と同様にしてＭＩＧヘッドを
作製した。

【００４２】（実施例４）磁気ヘッド摺動面端面が時計
回り方向にアジマス角度を有する磁気ヘッド摺動面の両
端面角部を除去し、傾斜角を形成する以外は、実施例１
と同様にしてＭＩＧヘッドを作製した。

【００４３】（実施例５）磁気ヘッド摺動面端面が時計
回り方向にアジマス角度を有する磁気ヘッド摺動面のヘ
ッド入り側端面角部のみを除去した以外は、実施例１と
同様にしてＭＩＧヘッドを作製した。

【００４４】次に、本発明の比較例を示す。

【００４５】（比較例１）図１４のＭＩＧヘッドの従来
の製造プロセスに示すように、ヘッド状態でのテープ摺
動面の端面角部除去を行なわずに、ギャップドバー形成
後にギャップドバーのテープ摺動面の端面角部除去を行
なった以外は、実施例１と同様にしてＭＩＧヘッドを作
製した。

【００４６】次に、本発明の別の具体例を示す。

【００４７】（実施例６）図９に示した工程に従って薄
膜積層型ヘッドを製造した。薄膜積層型ヘッドのテープ
摺動方向の幅は１ｍｍ、ヘッド摺動面端面角部除去時の
傾斜角度は４５°とし、ヘッド摺動面の両端面角部の除
去を行なった。この時、ヘッド摺動面端面角部除去後の
摺動面端部は、シリンダー表面よりも７０μｍ内部に潜
り込んだ状態となっていた。

【００４８】（実施例７）ギャップドバー状態で磁気テ
ープ摺動面を曲面一次加工する工程を追加した以外は、
実施例６と同様にして薄膜積層型ヘッドを作製した。

【００４９】（実施例８）ヘッド入り側端面角部のみを
除去した以外は、実施例６と同様にして薄膜積層型ヘッ
ドを作製した。

【００５０】（実施例９）磁気ヘッド摺動面端面が時計
回り方向にアジマス角度を有する磁気ヘッド摺動面の両
端面角部を除去し、傾斜角を形成する以外は、実施例６
と同様にして薄膜積層型ヘッドを作製した。

【００５１】（実施例１０）磁気ヘッド摺動面端面が時
計回り方向にアジマス角度を有する磁気ヘッド摺動面の
ヘッド入り側端面角部のみを除去した以外は、実施例６
と同様にして薄膜積層型ヘッドを作製した。

【００５２】次に、本発明の別の比較例を示す。

【００５３】（比較例２）図１５の薄膜積層ヘッドの従
来の製造プロセスに示すように、ヘッド状態でのテープ
摺動面の端面角部除去を行なわずに、ギャップドバー形
成後にギャップドバーのテープ摺動面の端面角部除去を
行なった以外は、実施例６と同様にして薄膜積層型ヘッ
ドを作製した。

【００５４】以上の各実施例および各比較例で得られた
磁気ヘッドについて、市販の金属蒸着テープ（以下ＭＥ
テープと記す）を用いて、市販のＤＶフォーマットのビ
デオカメラによりエラー訂正回路をオフにした時のビッ
トエラーレート（以下ＢＥＲと記す）を測定した。ま
た、ＤＶフォーマットのビデオカメラに磁気テープを１
００回ロード／アンロードさせた後の、ＭＥテープ上の
磁気ヘッドによるダメージ（傷）の有無も調査した。各
実施例および各比較例においては、６本のギャップドバ
ーを作製し、各々のギャップドバーから４個の磁気ヘッ
ドを無作為抽出し、評価を行なった。ＢＥＲの平均値と
標準偏差と最大値および磁気テープに生じた傷の有無を
（表１）に各々示す。

【００５５】

【表１】

【００５６】（表１）から明らかなように、本発明の製
造方法によって作製した磁気ヘッドのＢＥＲのバラツキ
が大幅に減少し、平均値および最大値が小さくなってい
ることがわかる。従来のようにまずギャップドバーでテ
ープ摺動面の端面角部除去を行ない、その後に研磨テー
プを用いてヘッドのテープ摺動面に特定の曲率半径で曲
面加工を施す場合は、端面角部除去部分が変動すると残
存するテープ摺動面面積も同様に変動し、その後の曲面
加工で得られる曲率半径がばらつく場合が発生する。

【００５７】しかし、本発明のように磁気ヘッド摺動面
の曲面加工を行なった後に磁気ヘッド端面角部の除去を
行なえば、バラツキの少ない曲面加工が可能となり、安
定した磁気ヘッドと磁気テープの接触が実現され、その
結果ＢＥＲの悪い磁気ヘッドが少なくなり、ＢＥＲのバ
ラツキの減少、平均値および最大値の良化につながる。

【００５８】また、ＭＥテープ上の磁気ヘッドによる傷
の有無の調査では、比較例では共に２件のテープ上の傷
が認められたのに対して、実施例ではテープ上の傷は認
められず、これらの磁気ヘッドを用いた磁気記録再生装
置が優れた信頼性を示すことがわかる。４件のテープ上
の傷が認められた比較例の磁気ヘッドについて、端面角
部除去部分を検査すると、磁気ヘッド摺動面端面が回転
シリンダーの表面よりも突出していることが確認され
た。また、磁気テープと接触を開始する磁気ヘッド摺動
面端面角部あるいは磁気ヘッド摺動面端面が時計回りに
アジマス角度を有する磁気ヘッド摺動面端面角部を除去
する製造方法によって、良好な信頼性を得ると共に生産
性を向上させることが可能となる。特に磁気ヘッド摺動
面端面が時計回りにアジマス角度を有する磁気ヘッドの
ヘッド入り側端面角部を除去する製造方法では、大幅な
生産性向上が達成できる。

【００５９】なお、上記実施例ではＭＩＧヘッドと薄膜
積層型ヘッドを例に挙げたが、本発明の磁気ヘッドの製
造方法はこれに限ることはなく、フェライトヘッドや薄
膜ヘッドでも同様の効果が得られる。

【００６０】また、端面角部の除去方法として図１０に
は複数個の支柱６１で支えた研摩テープ６０に磁気ヘッ
ドの端面角部を押さえつける方法を示したが、図１１に
示すように一つの支柱８０にテープを巻き付けて端面角
部の除去を行なっても同様の効果が得られる。特にこの
方法では、ヘッドチップを貼り付けるヘッドベースの角
が研摩テープと接触しない利点がある。

【００６１】また、この方法では支柱の径を変更するこ
とにより、端面角部の形状を変更することができる。支
柱の材料としては、金属を用いても良いし、硬度の決ま
ったゴム等の高分子材料、あるいはセラミックを用いて
も良い。また、固定支柱ではなく、回転ローラーでも良
い。

【００６２】また、端面除去部は平面で構成されていて
も曲面で構成されていても、端面除去後のヘッド摺動面
端面角部が、磁気ヘッドが取り付けられている磁気記録
再生装置の回転シリンダーよりも突出していなければ、
同じ効果が得られる。

【００６３】

【発明の効果】以上のように本発明の磁気ヘッドおよび
磁気ヘッドの製造方法およびそれらを用いた磁気記録再
生装置によれば、従来の磁気ヘッドの製造方法で課題で
あった磁気ヘッド摺動面曲面加工のバラツキの低減が可
能となる。その結果、磁気テープとの接触状態が常に安
定で記録再生特性が優れ、かつ磁気テープにダメージを
与えることのない信頼性の高い磁気ヘッドおよび磁気記
録再生装置を歩留り良く得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明における磁気テープと接触を開始する磁
気ヘッド摺動面端面各部が除去されている磁気ヘッド
と、回転シリンダーの相対的な位置関係を示す模式図

【図２】磁気ヘッドが取り付けられた回転シリンダーの
斜視図と磁気ヘッドの拡大図

【図３】摺動面端部が除去されていない磁気ヘッドと、
回転シリンダー表面の相対的な位置関係を示す模式図

【図４】磁気記録再生装置に磁気テープをローディング
する際の、磁気ヘッドが取り付けられた回転シリンダー
と磁気テープの相対的な位置関係を示す斜視図と磁気ヘ
ッド摺動面の拡大図

【図５】本発明の実施の形態１におけるＭＩＧヘッドの
製造プロセスを示すフローチャート

【図６】本発明の実施の形態２におけるＭＩＧヘッドの
製造プロセスを示すフローチャート

【図７】本発明の実施の形態３におけるＭＩＧヘッドの
製造プロセスを示すフローチャート

【図８】本発明の実施の形態４におけるＭＩＧヘッドの
製造プロセスを示すフローチャート

【図９】本発明の実施例６における薄膜積層型ヘッドの
製造プロセスを示すフローチャート

【図１０】本発明における磁気ヘッド摺動面端面角部の
除去方法の一例を示す図

【図１１】本発明における磁気ヘッド摺動面端面角部の
除去方法の他の一例を示す図

【図１２】従来のアジマス角度のついた磁気ヘッドのテ
ープ摺動面を示す模式図

【図１３】従来の磁気ヘッドと、回転シリンダー表面の
相対的な位置関係を示す模式図

【図１４】従来のＭＩＧヘッドの製造プロセスを示す図

【図１５】従来の薄膜積層型ヘッドの製造プロセスを示
す図

【図１６】従来のＭＩＧヘッドの構造を示す斜視図

【図１７】従来のＭＩＧヘッドのテープ摺動面を示す拡
大図

【図１８】従来のＭＩＧヘッドの製造方法を示す斜視図

【図１９】従来のＭＩＧヘッドの製造方法を示す斜視図

【図２０】従来のＭＩＧヘッドの製造方法を示す斜視図

【図２１】従来のＭＩＧヘッドのギャップ面を含む領域
の膜構成を示す断面図

【図２２】従来のＭＩＧヘッドの製造方法を示す断面図

【図２３】従来のＭＩＧヘッドの製造方法を示す断面図

【図２４】従来のＭＩＧヘッドの製造方法を示す斜視図

【図２５】従来のＭＩＧヘッドの製造方法を示す斜視図

【図２６】従来のＭＩＧヘッドの製造方法を示す斜視図

【図２７】従来の薄膜積層型ヘッドの構造を示す斜視図

【図２８】従来の薄膜積層型ヘッドのテープ摺動面を示
す拡大図

【図２９】従来の薄膜積層型ヘッドの製造方法を示す斜
視図

【図３０】図２９中のＡ部の拡大図

【図３１】従来の薄膜積層型ヘッドの製造方法を示す斜
視図

【図３２】従来の薄膜積層型ヘッドの製造方法を示す斜
視図

【図３３】従来の薄膜積層型ヘッドの製造方法を示す斜
視図

【図３４】従来の薄膜積層型ヘッドの製造方法を示す斜
視図

【図３５】従来の薄膜積層型ヘッドの製造方法を示す斜
視図

【図３６】アジマス角度を有する従来の薄膜積層型ヘッ
ドの製造方法を示す斜視図

【符号の説明】

３１ 回転シリンダー ３３ 磁気ヘッド ３５ 磁気ヘッド摺動面端面角部 ３６ 回転シリンダー表面 ６０ 研磨テープ ６１，８０ 支柱 ７０ 磁気テープ ７１ 磁気ヘッド摺動面端面が時計回りにアジマス角度
を有する磁気ヘッド ７２ ヘッド入り側端面角部 ７３ ヘッド入り側端面角部の上部

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 磁気テープと接触を開始する磁気ヘッド
   摺動面端面角部が、磁気ヘッドが取り付けられている磁
   気記録再生装置の回転シリンダーの表面よりも突出しな
   いように除去されていることを特徴とする磁気ヘッド。
2. 【請求項２】 時計回り方向にアジマス角度を有する磁
   気ヘッド摺動面端面角部が、磁気ヘッドが取り付けられ
   ている磁気記録再生装置の回転シリンダーの表面よりも
   突出しないように除去されていることを特徴とする請求
   項１に記載の磁気ヘッド。
3. 【請求項３】 強磁性酸化物からなる一対の磁気コア半
   体ブロックを、非磁性材料からなる磁気ギャップ材料を
   介して接合一体化し、所定のヘッドチップコア厚、アジ
   マス角度で切断して磁気ヘッドチップとする第一の工程
   と、 磁気ヘッドチップを端子板が設けられたヘッドベース材
   に接着、巻線処理を行い、磁気ヘッド摺動面を曲面加工
   して磁気ヘッドとする第二の工程と、 磁気ヘッド摺動面端部が、磁気ヘッドが取り付けられて
   いる磁気記録再生装置の回転シリンダーの表面よりも突
   出しないように、磁気ヘッド摺動面端面角部を除去する
   第三の工程とを有することを特徴とする磁気ヘッドの製
   造方法。
4. 【請求項４】 強磁性酸化物からなる一対の磁気コア半
   体ブロックを、非磁性材料からなる磁気ギャップ材料を
   介して接合一体化して得られたギャップドバーの磁気テ
   ープ摺動面を曲面一次加工する第一の工程と、 ギャップドバーを所定のヘッドチップコア厚、アジマス
   角度で切断して磁気ヘッドチップとする第二の工程と、 磁気ヘッドチップを端子板が設けられたヘッドベース材
   に接着、巻線処理を行い、磁気ヘッド摺動面を曲面二次
   加工して磁気ヘッドとする第三の工程と、 磁気ヘッド摺動面端部が、磁気ヘッドが取り付けられて
   いる磁気記録再生装置の回転シリンダーの表面よりも突
   出しないように、磁気ヘッド摺動面端面角部を除去する
   第四の工程とを有することを特徴とする磁気ヘッドの製
   造方法。
5. 【請求項５】 磁気コア半体ブロックがフェライトであ
   ることを特徴とする、請求項３もしくは４に記載の磁気
   ヘッドの製造方法。
6. 【請求項６】 磁気コア半体ブロックの少なくとも一方
   の磁気ギャップ形成面近傍に、金属磁性膜を配したこと
   を特徴とする、請求項３もしくは４に記載の磁気ヘッド
   の製造方法。
7. 【請求項７】 金属磁性膜と絶縁膜を交互に積層して形
   成した積層膜を一対の非磁性材料からなる基板で挟み込
   んで得た一対の磁気コア半体ブロックを非磁性材料から
   なる磁気ギャップ材料を介して接合一体化し、所定のヘ
   ッドチップコア厚、アジマス角度で切断して磁気ヘッド
   チップとする第一の工程と、 磁気ヘッドチップを端子板が設けられたヘッドベース材
   に接着、巻線処理を行い、磁気ヘッド摺動面を曲面加工
   して磁気ヘッドとする第二の工程と、 磁気ヘッド摺動面端部が、磁気ヘッドが取り付けられて
   いる磁気記録再生装置の回転シリンダーの表面よりも突
   出しないように、磁気ヘッド摺動面端面角部を除去する
   第三の工程を有することを特徴とする磁気ヘッドの製造
   方法。
8. 【請求項８】 金属磁性膜と絶縁膜を交互に積層して形
   成した積層膜を一対の非磁性材料からなる基板で挟み込
   んで得た一対の磁気コア半体ブロックを非磁性材料から
   なる磁気ギャップ材料を介して接合一体化して得られた
   ギャップドバーの磁気テープ摺動面を曲面一次加工する
   第一の工程と、 ギャップドバーを所定のヘッドチップコア厚、アジマス
   角度で切断して磁気ヘッドチップとする第二の工程と、 磁気ヘッドチップを端子板が設けられたヘッドベース材
   に接着、巻線処理を行い、磁気テープ摺動面を曲面加工
   して磁気ヘッドとする第三の工程と、 磁気ヘッド摺動面端部が、磁気ヘッドが取り付けられて
   いる磁気記録再生装置の回転シリンダーの表面よりも突
   出しないように、磁気ヘッド摺動面端面角部を除去する
   第四の工程とを有することを特徴とする磁気ヘッドの製
   造方法。
9. 【請求項９】 磁気テープと接触を開始する磁気ヘッド
   摺動面端面角部のみを除去することを特徴とする、請求
   項３、４、５、６、７もしくは８のいずれかに記載の磁
   気ヘッドの製造方法。
10. 【請求項１０】 時計回り方向にアジマス角度を有する
    磁気ヘッド摺動面端面角部のみを除去することを特徴と
    する、請求項３、４、５、６、７、８もしくは９のいず
    れかに記載の磁気ヘッドの製造方法。
11. 【請求項１１】 請求項１もしくは２に記載の磁気ヘッ
    ドを用いた磁気記録再生装置。