JP2002064122A - ワイヤボンダの駆動軸制御方法及び回路 - Google Patents
ワイヤボンダの駆動軸制御方法及び回路Info
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- JP2002064122A JP2002064122A JP2000249306A JP2000249306A JP2002064122A JP 2002064122 A JP2002064122 A JP 2002064122A JP 2000249306 A JP2000249306 A JP 2000249306A JP 2000249306 A JP2000249306 A JP 2000249306A JP 2002064122 A JP2002064122 A JP 2002064122A
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- feedback circuit
- speed control
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ワイヤボンダの駆動軸を静止保持する際に、
従来の制御方法よりも前記残留振動が抑制され、且つ十
分な精度で駆動軸を静止保持することができる駆動軸制
御方法を提供すること。 【解決手段】 速度制御帰還信号と位置制御帰還信号を
利用した静止保持に際し、予め設定した時間内は速度制
御帰還信号の出力を大きくし、設定時間後は出力を小さ
くして制御するようにしたものである。また、静止保持
回路２０として速度制御帰還回路と位置制御帰還回路と
を備えたワイヤボンダの駆動軸制御回路において、前記
速度制御帰還回路を、帰還の出力信号が小さい第１の速
度制御帰還回路２３と出力信号が大きい第２の速度制御
帰還回路２４とで構成し、予め設定した時間内は第２の
速度制御帰還回路２４から出力して制御し、設定時間後
は第１の速度制御帰還回路２３から出力して制御するよ
うにしたものである。
従来の制御方法よりも前記残留振動が抑制され、且つ十
分な精度で駆動軸を静止保持することができる駆動軸制
御方法を提供すること。 【解決手段】 速度制御帰還信号と位置制御帰還信号を
利用した静止保持に際し、予め設定した時間内は速度制
御帰還信号の出力を大きくし、設定時間後は出力を小さ
くして制御するようにしたものである。また、静止保持
回路２０として速度制御帰還回路と位置制御帰還回路と
を備えたワイヤボンダの駆動軸制御回路において、前記
速度制御帰還回路を、帰還の出力信号が小さい第１の速
度制御帰還回路２３と出力信号が大きい第２の速度制御
帰還回路２４とで構成し、予め設定した時間内は第２の
速度制御帰還回路２４から出力して制御し、設定時間後
は第１の速度制御帰還回路２３から出力して制御するよ
うにしたものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置にワイ
ヤボンディングを行うワイヤボンダの駆動軸の制御方
法、特に、前記駆動軸を静止保持するための制御方法に
関するものである。
ヤボンディングを行うワイヤボンダの駆動軸の制御方
法、特に、前記駆動軸を静止保持するための制御方法に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤボンダは、半導体メモリなどの半
導体装置の組立工程において、ＩＣチップの接続電極
（パッド）とパッケージの外部引出し用電極（リード）
との間を金線などのボンディングワイヤによって接続す
る装置である。半導体装置がワイヤボンダに搬送されて
ボンド点の位置合わせなどのための認識が行われた後、
全てのワイヤのボンディングが行われる。
導体装置の組立工程において、ＩＣチップの接続電極
（パッド）とパッケージの外部引出し用電極（リード）
との間を金線などのボンディングワイヤによって接続す
る装置である。半導体装置がワイヤボンダに搬送されて
ボンド点の位置合わせなどのための認識が行われた後、
全てのワイヤのボンディングが行われる。
【０００３】ワイヤボンダにおいて、例えば、ワイヤボ
ンディングを行う時のボンディングツールを移動するた
めのＸＹテーブルの静止保持制御は、図５に示すよう
に、前記ＸＹテーブルの移動等を行う駆動軸に接続され
たモータ５１を静止保持回路６０により制御することに
より駆動軸の制御が行われる。先ず、前記半導体装置に
おけるボンド点の位置合わせなどのための認識を行う、
前記ＸＹテーブルに固定された位置センサ５２からの信
号を静止保持回路６０の波形成形器６１で波形成形し、
出力信号の一つは微分回路６２を経た後、速度制御帰還
回路（以下、ＶＦ／Ｂ３）６３から速度制御帰還信号
（以下、速度Ｆ／Ｂ３）として、出力信号のもう一つは
位置制御帰還回路（以下、ＰＦ／Ｂ３）６４から位置制
御帰還信号（以下、位置Ｆ／Ｂ３）として、静止保持回
路６０からの電流出力信号（電流指令）を制御する。
ンディングを行う時のボンディングツールを移動するた
めのＸＹテーブルの静止保持制御は、図５に示すよう
に、前記ＸＹテーブルの移動等を行う駆動軸に接続され
たモータ５１を静止保持回路６０により制御することに
より駆動軸の制御が行われる。先ず、前記半導体装置に
おけるボンド点の位置合わせなどのための認識を行う、
前記ＸＹテーブルに固定された位置センサ５２からの信
号を静止保持回路６０の波形成形器６１で波形成形し、
出力信号の一つは微分回路６２を経た後、速度制御帰還
回路（以下、ＶＦ／Ｂ３）６３から速度制御帰還信号
（以下、速度Ｆ／Ｂ３）として、出力信号のもう一つは
位置制御帰還回路（以下、ＰＦ／Ｂ３）６４から位置制
御帰還信号（以下、位置Ｆ／Ｂ３）として、静止保持回
路６０からの電流出力信号（電流指令）を制御する。
【０００４】前記電流出力信号（電流指令）は、電流増
幅回路（以下、アンプ回路）７０で増幅されるが、増幅
された出力信号の一部を帰還（電流Ｆ／Ｂ）して、アン
プ回路７０の電流増幅度を精密に調整しながら、増幅さ
れた電流出力信号により駆動軸を制御するためのモータ
５１を制御する。このようにして前記駆動軸が静止保持
されることにより、前記ＸＹテーブルは所定位置に静止
して保持される。
幅回路（以下、アンプ回路）７０で増幅されるが、増幅
された出力信号の一部を帰還（電流Ｆ／Ｂ）して、アン
プ回路７０の電流増幅度を精密に調整しながら、増幅さ
れた電流出力信号により駆動軸を制御するためのモータ
５１を制御する。このようにして前記駆動軸が静止保持
されることにより、前記ＸＹテーブルは所定位置に静止
して保持される。
【０００５】尚、ワイヤボンディングを行う時の静止保
持回路６０のオン・オフタイミングは、図６に示すよう
に、前記ＸＹテーブルがワイヤボンディング位置に在る
ことを示すインポジション信号がオンの状態の時に、前
記ＸＹテーブルの駆動軸を静止保持するための静止保持
回路６０がオンの状態、即ち、速度Ｆ／Ｂ３と位置Ｆ／
Ｂ３の両帰還信号がオンの状態になる。
持回路６０のオン・オフタイミングは、図６に示すよう
に、前記ＸＹテーブルがワイヤボンディング位置に在る
ことを示すインポジション信号がオンの状態の時に、前
記ＸＹテーブルの駆動軸を静止保持するための静止保持
回路６０がオンの状態、即ち、速度Ｆ／Ｂ３と位置Ｆ／
Ｂ３の両帰還信号がオンの状態になる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来の静止保持回路６０では、駆動軸を停止すると振動す
る残留振動があるために、その残留振動が減衰して駆動
軸が静止するまでに時間がかかる場合があり、また駆動
軸を十分な精度で静止保持することができない場合があ
るという問題点があった。そこで、駆動軸停止直後の振
動を抑えることが残留振動を低減するのに効果的である
ことから、前記静止保持回路６０における前記ＶＦ／Ｂ
３ ６３の出力信号の利得をある程度高めに設定して出
力信号を大きくして、前記残留振動を低減し、静止保持
に対しては前記ＰＦ／Ｂ３ ６５の出力信号の利得を高
くして出力信号を大きくすることが有効であることか
ら、そのように設定していた。しかしながら、残留振動
を更に低減する必要がある場合に、前記ＶＦ／Ｂ３ ６
３の出力信号の利得を更に上げて出力信号を大きくする
と、負荷側の共振点で発振することがあり、この発振を
抑えるためにフィルター回路を追加すると、全体の制御
性が悪くなるという問題点があった。
来の静止保持回路６０では、駆動軸を停止すると振動す
る残留振動があるために、その残留振動が減衰して駆動
軸が静止するまでに時間がかかる場合があり、また駆動
軸を十分な精度で静止保持することができない場合があ
るという問題点があった。そこで、駆動軸停止直後の振
動を抑えることが残留振動を低減するのに効果的である
ことから、前記静止保持回路６０における前記ＶＦ／Ｂ
３ ６３の出力信号の利得をある程度高めに設定して出
力信号を大きくして、前記残留振動を低減し、静止保持
に対しては前記ＰＦ／Ｂ３ ６５の出力信号の利得を高
くして出力信号を大きくすることが有効であることか
ら、そのように設定していた。しかしながら、残留振動
を更に低減する必要がある場合に、前記ＶＦ／Ｂ３ ６
３の出力信号の利得を更に上げて出力信号を大きくする
と、負荷側の共振点で発振することがあり、この発振を
抑えるためにフィルター回路を追加すると、全体の制御
性が悪くなるという問題点があった。
【０００７】本発明は前記問題点を解決するためになさ
れたもので、ワイヤボンダにおいて駆動軸を静止保持す
る際に、従来の制御方法よりも前記残留振動が抑制さ
れ、且つ十分な精度で駆動軸を静止保持することができ
る駆動軸制御方法及びその回路を提供することである。
れたもので、ワイヤボンダにおいて駆動軸を静止保持す
る際に、従来の制御方法よりも前記残留振動が抑制さ
れ、且つ十分な精度で駆動軸を静止保持することができ
る駆動軸制御方法及びその回路を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
ワイヤボンダを駆動する駆動軸を静止保持するときに、
速度制御帰還信号と位置制御帰還信号を利用して静止保
持の制御を行うようにしたワイヤボンダの駆動軸制御方
法であって、静止保持に際し、予め設定した時間内は速
度制御帰還信号の出力を大きくし、設定時間後は出力を
小さくして制御するようにしたものである。
ワイヤボンダを駆動する駆動軸を静止保持するときに、
速度制御帰還信号と位置制御帰還信号を利用して静止保
持の制御を行うようにしたワイヤボンダの駆動軸制御方
法であって、静止保持に際し、予め設定した時間内は速
度制御帰還信号の出力を大きくし、設定時間後は出力を
小さくして制御するようにしたものである。
【０００９】また、請求項２記載の発明は、ワイヤボン
ダを駆動する駆動軸を静止保持するときに、速度制御帰
還信号と位置制御帰還信号を利用して静止保持の制御を
行うようにしたワイヤボンダの駆動軸制御方法であっ
て、静止保持に際し、予め設定した時間内は速度制御帰
還信号の出力を大きくし、設定時間後は出力を小さくし
て制御するとともに、位置制御帰還信号についても予め
設定した時間内は出力を大きくし、設定時間後は出力を
小さくして制御するようにしたものである。
ダを駆動する駆動軸を静止保持するときに、速度制御帰
還信号と位置制御帰還信号を利用して静止保持の制御を
行うようにしたワイヤボンダの駆動軸制御方法であっ
て、静止保持に際し、予め設定した時間内は速度制御帰
還信号の出力を大きくし、設定時間後は出力を小さくし
て制御するとともに、位置制御帰還信号についても予め
設定した時間内は出力を大きくし、設定時間後は出力を
小さくして制御するようにしたものである。
【００１０】また、請求項３記載の発明は、ワイヤボン
ダを駆動する駆動軸を静止保持する制御のための静止保
持回路として速度制御帰還回路と位置制御帰還回路とを
備えたワイヤボンダの駆動軸制御回路において、前記速
度制御帰還回路を、帰還の出力信号が小さい第１の速度
制御帰還回路と出力信号が大きい第２の速度制御帰還回
路とで構成し、予め設定した時間内は第２の速度制御帰
還回路から出力して制御し、設定時間後は第１の速度制
御帰還回路から出力して制御するようにしたものであ
る。
ダを駆動する駆動軸を静止保持する制御のための静止保
持回路として速度制御帰還回路と位置制御帰還回路とを
備えたワイヤボンダの駆動軸制御回路において、前記速
度制御帰還回路を、帰還の出力信号が小さい第１の速度
制御帰還回路と出力信号が大きい第２の速度制御帰還回
路とで構成し、予め設定した時間内は第２の速度制御帰
還回路から出力して制御し、設定時間後は第１の速度制
御帰還回路から出力して制御するようにしたものであ
る。
【００１１】尚、この場合前記第１の速度制御帰還回路
と前記第２の速度制御帰還回路を一体に形成して内部利
得の変化により出力の大きさを変えるようにしたもので
もよい。
と前記第２の速度制御帰還回路を一体に形成して内部利
得の変化により出力の大きさを変えるようにしたもので
もよい。
【００１２】また、請求項５記載の発明は、ワイヤボン
ダを駆動する駆動軸を静止保持する制御のための静止保
持回路として速度制御帰還回路と位置制御帰還回路とを
備えたワイヤボンダの駆動軸制御回路において、前記速
度制御帰還回路を、帰還の出力信号が小さい第１の速度
制御帰還回路と出力信号が大きい第２の速度制御帰還回
路とで構成するとともに、前記位置制御帰還回路を、帰
還の出力信号が小さい第１の位置制御帰還回路と出力信
号が大きい第２の位置制御帰還回路とで構成し、予め設
定した時間内は第２の速度制御帰還回路及び第２の位置
制御帰還回路から出力して制御し、設定時間後は第１の
速度制御帰還回路及び第１の位置制御帰還回路から出力
して制御するようにしたものである。
ダを駆動する駆動軸を静止保持する制御のための静止保
持回路として速度制御帰還回路と位置制御帰還回路とを
備えたワイヤボンダの駆動軸制御回路において、前記速
度制御帰還回路を、帰還の出力信号が小さい第１の速度
制御帰還回路と出力信号が大きい第２の速度制御帰還回
路とで構成するとともに、前記位置制御帰還回路を、帰
還の出力信号が小さい第１の位置制御帰還回路と出力信
号が大きい第２の位置制御帰還回路とで構成し、予め設
定した時間内は第２の速度制御帰還回路及び第２の位置
制御帰還回路から出力して制御し、設定時間後は第１の
速度制御帰還回路及び第１の位置制御帰還回路から出力
して制御するようにしたものである。
【００１３】この場合に、前記第１の速度制御帰還回路
と前記第２の速度制御帰還回路を一体に形成して内部利
得の変化により出力の大きさを変えるようにするととも
に、前記第１の位置制御帰還回路と前記第２の位置制御
帰還回路を一体に形成して内部利得の変化により出力の
大きさを変えるようにしたものでもよい。
と前記第２の速度制御帰還回路を一体に形成して内部利
得の変化により出力の大きさを変えるようにするととも
に、前記第１の位置制御帰還回路と前記第２の位置制御
帰還回路を一体に形成して内部利得の変化により出力の
大きさを変えるようにしたものでもよい。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、図面等を参照して、本発明
の実施形態について説明する。図１は、本発明によるワ
イヤボンダの駆動軸制御回路の実施形態を示すブロック
図である。図２は、本発明の実施形態の静止保持回路に
おけるオン・オフタイミングの説明図である。図３は、
本発明によるワイヤボンダの駆動軸制御回路の他の実施
形態を示すブロック図である。図４は、本発明の他の実
施形態の静止保持回路におけるオン・オフタイミングの
説明図である。尚、図２、４、６においては、横軸は時
間軸である。
の実施形態について説明する。図１は、本発明によるワ
イヤボンダの駆動軸制御回路の実施形態を示すブロック
図である。図２は、本発明の実施形態の静止保持回路に
おけるオン・オフタイミングの説明図である。図３は、
本発明によるワイヤボンダの駆動軸制御回路の他の実施
形態を示すブロック図である。図４は、本発明の他の実
施形態の静止保持回路におけるオン・オフタイミングの
説明図である。尚、図２、４、６においては、横軸は時
間軸である。
【００１５】図１に示すように、ワイヤボンダは、ボン
ディングツールを移動するためのＸＹテーブルの移動、
静止及び保持等を行う駆動軸を制御するためのモータ１
１、前記半導体装置のボンド点の認識などを行う前記Ｘ
Ｙテーブルに固定された位置センサ１２、前記モータ１
１を制御するための静止保持回路２０、静止保持回路２
０からの電流出力信号を増幅するための電流増幅回路
（以下、アンプ回路）３０を備えている。
ディングツールを移動するためのＸＹテーブルの移動、
静止及び保持等を行う駆動軸を制御するためのモータ１
１、前記半導体装置のボンド点の認識などを行う前記Ｘ
Ｙテーブルに固定された位置センサ１２、前記モータ１
１を制御するための静止保持回路２０、静止保持回路２
０からの電流出力信号を増幅するための電流増幅回路
（以下、アンプ回路）３０を備えている。
【００１６】静止保持回路２０は、位置センサ１２から
の信号を波形成形器２１で波形成形した後、出力信号の
一つは微分回路２２を経た後、速度制御帰還回路２３、
２４から出力信号である速度制御帰還信号として、波形
成形器２１の出力信号のもう一つは位置制御帰還回路２
５、２６から出力信号である位置制御帰還信号として、
静止保持回路２０の電流出力信号（電流指令）を制御す
る。
の信号を波形成形器２１で波形成形した後、出力信号の
一つは微分回路２２を経た後、速度制御帰還回路２３、
２４から出力信号である速度制御帰還信号として、波形
成形器２１の出力信号のもう一つは位置制御帰還回路２
５、２６から出力信号である位置制御帰還信号として、
静止保持回路２０の電流出力信号（電流指令）を制御す
る。
【００１７】速度制御帰還回路は、出力が小さい信号、
即ち、低利得の速度制御帰還信号（以下、速度Ｆ／Ｂ
１）を出力する速度制御帰還回路（以下、ＶＦ／Ｂ１）
２３と前記残留振動抑制に効果的な出力が大きい信号、
即ち、高利得の速度制御帰還信号（以下、速度Ｆ／Ｂ
２）を出力する速度制御帰還回路（以下、ＶＦ／Ｂ２）
２４とから構成され、この２回路を切り換えて速度Ｆ／
Ｂ１と速度Ｆ／Ｂ２とを得る。また、位置制御帰還回路
は、出力が小さい信号、即ち、低利得の位置制御帰還信
号（以下、位置Ｆ／Ｂ１）を出力する位置制御帰還回路
（以下、ＰＦ／Ｂ１）２５と静止直後の振動を抑えるの
に有効な出力が大きい信号、即ち、高利得の位置制御帰
還信号（位置Ｆ／Ｂ２）を出力する位置制御帰還回路
（以下、ＰＦ／Ｂ２）２６とから構成され、この２回路
を切り換えて位置Ｆ／Ｂ１と位置Ｆ／Ｂ２とを得る。
即ち、低利得の速度制御帰還信号（以下、速度Ｆ／Ｂ
１）を出力する速度制御帰還回路（以下、ＶＦ／Ｂ１）
２３と前記残留振動抑制に効果的な出力が大きい信号、
即ち、高利得の速度制御帰還信号（以下、速度Ｆ／Ｂ
２）を出力する速度制御帰還回路（以下、ＶＦ／Ｂ２）
２４とから構成され、この２回路を切り換えて速度Ｆ／
Ｂ１と速度Ｆ／Ｂ２とを得る。また、位置制御帰還回路
は、出力が小さい信号、即ち、低利得の位置制御帰還信
号（以下、位置Ｆ／Ｂ１）を出力する位置制御帰還回路
（以下、ＰＦ／Ｂ１）２５と静止直後の振動を抑えるの
に有効な出力が大きい信号、即ち、高利得の位置制御帰
還信号（位置Ｆ／Ｂ２）を出力する位置制御帰還回路
（以下、ＰＦ／Ｂ２）２６とから構成され、この２回路
を切り換えて位置Ｆ／Ｂ１と位置Ｆ／Ｂ２とを得る。
【００１８】静止保持回路２０からの電流出力信号（電
流指令）は、アンプ回路３０により電流増幅されるが、
増幅された電流出力信号の一部を帰還（電流Ｆ／Ｂ）し
てアンプ回路３０の電流増幅度を精密に調整しながら、
増幅された電流出力信号により駆動軸を制御するための
モータ１１を制御する。
流指令）は、アンプ回路３０により電流増幅されるが、
増幅された電流出力信号の一部を帰還（電流Ｆ／Ｂ）し
てアンプ回路３０の電流増幅度を精密に調整しながら、
増幅された電流出力信号により駆動軸を制御するための
モータ１１を制御する。
【００１９】次に、静止保持回路２０における各回路の
出力信号のタイミングについて図２を用いて説明する。
図２（ａ）に示すように、前記ＸＹテーブルの位置情報
を表すインポジション信号がオンの状態の時に、図２
（ｂ）〜（ｅ）に示すように、前記ＸＹテーブルの駆動
軸を制御するための静止保持回路がオンの状態になる。
出力信号のタイミングについて図２を用いて説明する。
図２（ａ）に示すように、前記ＸＹテーブルの位置情報
を表すインポジション信号がオンの状態の時に、図２
（ｂ）〜（ｅ）に示すように、前記ＸＹテーブルの駆動
軸を制御するための静止保持回路がオンの状態になる。
【００２０】前記インポジション信号がオンになると、
図２（ｂ）に示すように、静止保持回路２０のＶＦ／Ｂ
２ ２４が予め設定された時間Ｔ１だけオンの状態にな
る。尚、Ｔ１は駆動軸が発振に至らない時間に設定さ
れ、可変である。ＶＦ／Ｂ１２３は、図２（ｃ）に示す
ように、ＶＦ／Ｂ２ ２４がオンの状態にある時からイ
ンポジション信号がオンの状態にある時間内でオンの状
態になる。尚、ＶＦ／Ｂ１ ２３がオンの状態である時
間は可変であり、効果的に駆動軸の残留振動が低減され
る時間に設定される。以上のように速度制御帰還回路２
３、２４を設定して２回路２３、２４を切り換えて用い
ることにより、静止保持回路２０がオンになり駆動軸の
制御を開始すると、先ず短時間だけ速度Ｆ／Ｂ２で制御
して前記残留振動を抑制し、その後速度Ｆ／Ｂ１に切り
換えて制御するので、駆動軸は発振することなく前記残
留振動が効果的に低減される。
図２（ｂ）に示すように、静止保持回路２０のＶＦ／Ｂ
２ ２４が予め設定された時間Ｔ１だけオンの状態にな
る。尚、Ｔ１は駆動軸が発振に至らない時間に設定さ
れ、可変である。ＶＦ／Ｂ１２３は、図２（ｃ）に示す
ように、ＶＦ／Ｂ２ ２４がオンの状態にある時からイ
ンポジション信号がオンの状態にある時間内でオンの状
態になる。尚、ＶＦ／Ｂ１ ２３がオンの状態である時
間は可変であり、効果的に駆動軸の残留振動が低減され
る時間に設定される。以上のように速度制御帰還回路２
３、２４を設定して２回路２３、２４を切り換えて用い
ることにより、静止保持回路２０がオンになり駆動軸の
制御を開始すると、先ず短時間だけ速度Ｆ／Ｂ２で制御
して前記残留振動を抑制し、その後速度Ｆ／Ｂ１に切り
換えて制御するので、駆動軸は発振することなく前記残
留振動が効果的に低減される。
【００２１】位置制御帰還回路のオン・オフタイミング
についても前記と同様であり、インポジション信号がオ
ンになると、図２（ｄ）に示すように、静止保持回路２
０のＰＦ／Ｂ２ ２６が予め設定された時間Ｔ２だけオ
ンの状態になる。尚、Ｔ２は駆動軸が発振に至らない時
間に設定され、可変である。ＰＦ／Ｂ１ ２５は、図２
（ｅ）に示すように、ＰＦ／Ｂ２ ２６がオンの状態に
ある時からインポジション信号がオンの状態にある時間
内でオンの状態になる。尚、ＰＦ／Ｂ１ ２５がオンの
状態である時間は可変であり、効果的に駆動軸を静止保
持できる時間に設定される。以上のように位置制御帰還
回路２５、２６を設定して２回路２５、２６を切り換え
て用いることにより、静止保持回路２０がオンになり駆
動軸の制御を開始すると、先ず短時間だけ位置Ｆ／Ｂ２
で制御するので効果的に静止直後の振動を抑えることが
でき、その後位置Ｆ／Ｂ１に切り換えて制御するので、
駆動軸は効果的に高精度に静止保持される。
についても前記と同様であり、インポジション信号がオ
ンになると、図２（ｄ）に示すように、静止保持回路２
０のＰＦ／Ｂ２ ２６が予め設定された時間Ｔ２だけオ
ンの状態になる。尚、Ｔ２は駆動軸が発振に至らない時
間に設定され、可変である。ＰＦ／Ｂ１ ２５は、図２
（ｅ）に示すように、ＰＦ／Ｂ２ ２６がオンの状態に
ある時からインポジション信号がオンの状態にある時間
内でオンの状態になる。尚、ＰＦ／Ｂ１ ２５がオンの
状態である時間は可変であり、効果的に駆動軸を静止保
持できる時間に設定される。以上のように位置制御帰還
回路２５、２６を設定して２回路２５、２６を切り換え
て用いることにより、静止保持回路２０がオンになり駆
動軸の制御を開始すると、先ず短時間だけ位置Ｆ／Ｂ２
で制御するので効果的に静止直後の振動を抑えることが
でき、その後位置Ｆ／Ｂ１に切り換えて制御するので、
駆動軸は効果的に高精度に静止保持される。
【００２２】また、上記の方法以外にも、位置制御帰還
回路を従来通りにした場合でも、効果を挙げることが可
能である。それを以下に示す。図３に示すように、静止
保持回路４０における速度制御帰還回路は、出力信号が
小さい低利得の速度制御帰還信号（以下、速度Ｆ／Ｂ
１）を出力する速度制御帰還回路（以下、ＶＦ／Ｂ１）
４３と前記残留振動抑制に効果的な出力信号が大きい高
利得の速度制御帰還信号（以下、速度Ｆ／Ｂ２）を出力
する速度制御帰還回路（以下、ＶＦ／Ｂ２）４４とを備
え、この２回路を切り換えて速度Ｆ／Ｂ２と速度Ｆ／Ｂ
１とを得る。一方、位置制御帰還回路（ＰＦ／Ｂ１）４
５は、適当な利得に設定された位置制御帰還信号（以
下、位置Ｆ／Ｂ１）を出力する。従って、速度Ｆ／Ｂ２
と速度Ｆ／Ｂ１及び位置Ｆ／Ｂ１とで駆動軸の静止保持
を制御する。
回路を従来通りにした場合でも、効果を挙げることが可
能である。それを以下に示す。図３に示すように、静止
保持回路４０における速度制御帰還回路は、出力信号が
小さい低利得の速度制御帰還信号（以下、速度Ｆ／Ｂ
１）を出力する速度制御帰還回路（以下、ＶＦ／Ｂ１）
４３と前記残留振動抑制に効果的な出力信号が大きい高
利得の速度制御帰還信号（以下、速度Ｆ／Ｂ２）を出力
する速度制御帰還回路（以下、ＶＦ／Ｂ２）４４とを備
え、この２回路を切り換えて速度Ｆ／Ｂ２と速度Ｆ／Ｂ
１とを得る。一方、位置制御帰還回路（ＰＦ／Ｂ１）４
５は、適当な利得に設定された位置制御帰還信号（以
下、位置Ｆ／Ｂ１）を出力する。従って、速度Ｆ／Ｂ２
と速度Ｆ／Ｂ１及び位置Ｆ／Ｂ１とで駆動軸の静止保持
を制御する。
【００２３】次に、前記静止保持回路４０における各回
路の出力信号のタイミングについて図４を用いて説明す
る。図４（ａ）に示すように、ボンディングツール移動
用ＸＹテーブルの位置情報を表すインポジション信号が
オンの状態の時に、図４（ｂ）〜（ｄ）に示すように、
前記ＸＹテーブルの駆動軸の制御に用いられる静止保持
回路がオンの状態になる。
路の出力信号のタイミングについて図４を用いて説明す
る。図４（ａ）に示すように、ボンディングツール移動
用ＸＹテーブルの位置情報を表すインポジション信号が
オンの状態の時に、図４（ｂ）〜（ｄ）に示すように、
前記ＸＹテーブルの駆動軸の制御に用いられる静止保持
回路がオンの状態になる。
【００２４】前記インポジション信号がオンになると、
図４（ｂ）に示すように、静止保持回路４０のＶＦ／Ｂ
２ ４４が予め設定された時間Ｔ３だけオンの状態にな
る。尚、Ｔ３は駆動軸が発振に至らない時間に設定さ
れ、可変である。ＶＦ／Ｂ１４３は、図４（ｃ）に示す
ように、インポジション信号がオンの状態にある時オン
の状態になる。ＰＦ／Ｂ１ ４５は、図４（ｄ）に示す
ように、インポジション信号がオンの状態にある時オン
の状態になる。以上のように速度制御帰還回路であるＶ
Ｆ／Ｂ１ ４３とＶＦ／Ｂ２ ４４及び位置制御帰還回
路であるＰＦ／Ｂ１ ４５を適宜設定することにより、
静止保持回路４０がオンになり駆動軸の制御を開始する
と、先ず短時間だけ速度Ｆ／Ｂ２で制御して前記残留振
動を抑制し、その後速度Ｆ／Ｂ１に切り換えて制御し、
その間位置Ｆ／Ｂ１で静止保持に関して制御するので、
駆動軸は発振することなく前記残留振動が効果的に低減
されて静止保持される。
図４（ｂ）に示すように、静止保持回路４０のＶＦ／Ｂ
２ ４４が予め設定された時間Ｔ３だけオンの状態にな
る。尚、Ｔ３は駆動軸が発振に至らない時間に設定さ
れ、可変である。ＶＦ／Ｂ１４３は、図４（ｃ）に示す
ように、インポジション信号がオンの状態にある時オン
の状態になる。ＰＦ／Ｂ１ ４５は、図４（ｄ）に示す
ように、インポジション信号がオンの状態にある時オン
の状態になる。以上のように速度制御帰還回路であるＶ
Ｆ／Ｂ１ ４３とＶＦ／Ｂ２ ４４及び位置制御帰還回
路であるＰＦ／Ｂ１ ４５を適宜設定することにより、
静止保持回路４０がオンになり駆動軸の制御を開始する
と、先ず短時間だけ速度Ｆ／Ｂ２で制御して前記残留振
動を抑制し、その後速度Ｆ／Ｂ１に切り換えて制御し、
その間位置Ｆ／Ｂ１で静止保持に関して制御するので、
駆動軸は発振することなく前記残留振動が効果的に低減
されて静止保持される。
【００２５】尚、前記予め設定した時間Ｔ１，Ｔ２、Ｔ
３を設定するタイマーとして、ハードウェアあるいはソ
フトウェアのいずれかによるものを選択して用いること
ができるようにしてもよい。また、前記速度制御帰還回
路及び位置制御帰還回路から高利得及び低利得の帰還信
号を出力するのに、それぞれ２回路を用いてそれらの回
路を切り換えて高利得及び低利得の帰還信号を得ていた
が、それぞれ１回路として利得の変化により出力の大き
さを変えるようにしてもよい。いずれにせよ、速度帰還
信号と位置帰還信号の利得の変更及び利得を切り換える
タイミングを独立して行うことができるので、前記帰還
信号の最適化が容易である。
３を設定するタイマーとして、ハードウェアあるいはソ
フトウェアのいずれかによるものを選択して用いること
ができるようにしてもよい。また、前記速度制御帰還回
路及び位置制御帰還回路から高利得及び低利得の帰還信
号を出力するのに、それぞれ２回路を用いてそれらの回
路を切り換えて高利得及び低利得の帰還信号を得ていた
が、それぞれ１回路として利得の変化により出力の大き
さを変えるようにしてもよい。いずれにせよ、速度帰還
信号と位置帰還信号の利得の変更及び利得を切り換える
タイミングを独立して行うことができるので、前記帰還
信号の最適化が容易である。
【００２６】
【発明の効果】本発明によれば、ワイヤボンダにおい
て、ボンディングツール移動用ＸＹテーブルの駆動軸を
制御する際に、従来の制御方法よりも残留振動が抑制さ
れ、且つ十分な精度で駆動軸を静止保持することができ
るワイヤボンダの駆動軸制御方法及びその回路が得られ
る。
て、ボンディングツール移動用ＸＹテーブルの駆動軸を
制御する際に、従来の制御方法よりも残留振動が抑制さ
れ、且つ十分な精度で駆動軸を静止保持することができ
るワイヤボンダの駆動軸制御方法及びその回路が得られ
る。
【図１】本発明によるワイヤボンダの駆動軸制御回路の
実施形態を示すブロック図である。
実施形態を示すブロック図である。
【図２】本発明の実施形態の静止保持回路におけるオン
・オフタイミングの説明図である。
・オフタイミングの説明図である。
【図３】本発明によるワイヤボンダの駆動軸制御回路の
他の実施形態を示すブロック図である。
他の実施形態を示すブロック図である。
【図４】本発明の他の実施形態の静止保持回路における
オン・オフタイミングの説明図である。
オン・オフタイミングの説明図である。
【図５】従来のワイヤボンダの駆動軸制御回路を示すブ
ロック図である。
ロック図である。
【図６】従来の静止保持回路におけるオン・オフタイミ
ングの説明図である。
ングの説明図である。
１１、５１ モータ １２、５２ 位置センサ ２０、４０、６０ 静止保持回路 ２１、４１、６１ 波形成形器 ２２、４２、６２ 微分回路 ２３、４３ 低利得な帰還信号を出力する速度制御帰還
回路 ２４、４４ 高利得な帰還信号を出力する速度制御帰還
回路 ２５、４５ 低利得な帰還信号を出力する位置制御帰還
回路 ２６ 高利得な帰還信号を出力する位置制御帰還回路 ３０、５０、７０ 電流増幅回路 ６３ 速度制御帰還回路 ６５ 位置制御帰還回路
回路 ２４、４４ 高利得な帰還信号を出力する速度制御帰還
回路 ２５、４５ 低利得な帰還信号を出力する位置制御帰還
回路 ２６ 高利得な帰還信号を出力する位置制御帰還回路 ３０、５０、７０ 電流増幅回路 ６３ 速度制御帰還回路 ６５ 位置制御帰還回路
Claims (6)
- 【請求項１】 ワイヤボンダを駆動する駆動軸を静止保
持するときに、速度制御帰還信号と位置制御帰還信号を
利用して静止保持の制御を行うようにしたワイヤボンダ
の駆動軸制御方法であって、 静止保持に際し、予め設定した時間内は速度制御帰還信
号の出力を大きくし、設定時間後は出力を小さくして制
御するようにしたことを特徴とするワイヤボンダの駆動
軸制御方法。 - 【請求項２】 ワイヤボンダを駆動する駆動軸を静止保
持するときに、速度制御帰還信号と位置制御帰還信号を
利用して静止保持の制御を行うようにしたワイヤボンダ
の駆動軸制御方法であって、 静止保持に際し、予め設定した時間内は速度制御帰還信
号の出力を大きくし、設定時間後は出力を小さくして制
御するとともに、位置制御帰還信号についても予め設定
した時間内は出力を大きくし、設定時間後は出力を小さ
くして制御するようにしたことを特徴とするワイヤボン
ダの駆動軸制御方法。 - 【請求項３】 ワイヤボンダを駆動する駆動軸を静止保
持する制御のための静止保持回路として速度制御帰還回
路と位置制御帰還回路とを備えたワイヤボンダの駆動軸
制御回路において、 前記速度制御帰還回路を、帰還の出力信号が小さい第１
の速度制御帰還回路と出力信号が大きい第２の速度制御
帰還回路とで構成し、予め設定した時間内は第２の速度
制御帰還回路から出力して制御し、設定時間後は第１の
速度制御帰還回路から出力して制御するようにしたこと
を特徴とするワイヤボンダの駆動軸制御回路。 - 【請求項４】 前記第１の速度制御帰還回路と前記第２
の速度制御帰還回路を一体に形成して内部利得の変化に
より出力の大きさを変えるようにしたことを特徴とする
請求項３に記載のワイヤボンダの駆動軸制御回路。 - 【請求項５】 ワイヤボンダを駆動する駆動軸を静止保
持する制御のための静止保持回路として速度制御帰還回
路と位置制御帰還回路とを備えたワイヤボンダの駆動軸
制御回路において、 前記速度制御帰還回路を、帰還の出力信号が小さい第１
の速度制御帰還回路と出力信号が大きい第２の速度制御
帰還回路とで構成するとともに、前記位置制御帰還回路
を、帰還の出力信号が小さい第１の位置制御帰還回路と
出力信号が大きい第２の位置制御帰還回路とで構成し、
予め設定した時間内は第２の速度制御帰還回路及び第２
の位置制御帰還回路から出力して制御し、設定時間後は
第１の速度制御帰還回路及び第１の位置制御帰還回路か
ら出力して制御するようにしたことを特徴とするワイヤ
ボンダの駆動軸制御回路。 - 【請求項６】 前記第１の速度制御帰還回路と前記第２
の速度制御帰還回路を一体に形成して内部利得の変化に
より出力の大きさを変えるようにするとともに、前記第
１の位置制御帰還回路と前記第２の位置制御帰還回路を
一体に形成して内部利得の変化により出力の大きさを変
えるようにしたことを特徴とする請求項５に記載のワイ
ヤボンダの駆動軸制御回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000249306A JP2002064122A (ja) | 2000-08-21 | 2000-08-21 | ワイヤボンダの駆動軸制御方法及び回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000249306A JP2002064122A (ja) | 2000-08-21 | 2000-08-21 | ワイヤボンダの駆動軸制御方法及び回路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002064122A true JP2002064122A (ja) | 2002-02-28 |
Family
ID=18739066
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000249306A Pending JP2002064122A (ja) | 2000-08-21 | 2000-08-21 | ワイヤボンダの駆動軸制御方法及び回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002064122A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100716595B1 (ko) * | 2005-09-12 | 2007-05-10 | 이상호 | 조리용기용 착탈식 손잡이 |
| US7353976B2 (en) | 2004-09-30 | 2008-04-08 | Unaxis International Trading Ltd. | Wire bonder |
| CN113478132A (zh) * | 2021-08-10 | 2021-10-08 | 航天科工深圳（集团）有限公司 | 一种龙门焊线机振动抑制方法 |
-
2000
- 2000-08-21 JP JP2000249306A patent/JP2002064122A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7353976B2 (en) | 2004-09-30 | 2008-04-08 | Unaxis International Trading Ltd. | Wire bonder |
| KR100716595B1 (ko) * | 2005-09-12 | 2007-05-10 | 이상호 | 조리용기용 착탈식 손잡이 |
| CN113478132A (zh) * | 2021-08-10 | 2021-10-08 | 航天科工深圳（集团）有限公司 | 一种龙门焊线机振动抑制方法 |
| CN113478132B (zh) * | 2021-08-10 | 2022-10-28 | 航天科工深圳（集团）有限公司 | 一种龙门焊线机振动抑制方法 |
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