KR100231830B1 - 초음파 진동 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 초음파 진동 장치는, 소정의 알고리듬(algorithm)에 따라 동작 시간 데이터를 발생시키는 주 제어기; 상기 주 제어기로부터의 동작 시간 데이터를 처리하여 프로파일(profile) 데이터를 발생시키는 프로파일 제어기; 입력되는 주파수 제어 신호에 따라 초음파 신호를 발생시키는 주파수 발생기; 상기 프로파일 제어기로부터의 프로파일 데이터를 아날로그 신호로 변환시킨 후, 변환된 아날로그 신호와 상기 주파수 발생기로부터의 초음파 신호와의 합성 신호를 발생시키는 디지털/아날로그 변환기(Digital to Analog Converter); 상기 디지털/아날로그 변환기로부터의 합성 신호를 증폭하는 증폭기; 및 상기 증폭기의 출력 신호에 따라 진동하는 진동자;를 포함하는 초음파 진동 장치에 있어서, 상기 주 제어기는, 상기 알고리듬에 따라 출력 전압 선택 신호를 발생시키고, 상기 증폭기는, 서로 다른 전압들을 발생시키는 복수의 출력 단자들이 마련되어 있고, 상기 증폭기와 상기 진동자 사이에는, 상기 주 제어기로부터의 출력 전압 선택 신호에 따라 상기 증폭기의 출력 단자를 선택하는 스위치 회로가 마련된 것을 그 특징으로 한다. 이에 따라, 상기 진동자에 인가되는 전압을 가변 제어할 수 있으므로, 보다 빠른 제어 및 동작이 수행될 수 있다.

Description

초음파 진동 장치
본 발명은 반도체 제조 장비에 속하는 와이어 본더(Wire bonder) 또는 테이프 본더(Tape Bonder) 등에 사용되는 초음파 진동 장치에 관한 것이다.
도 1은 종래의 초음파 진동 장치를 나타낸 블록도이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 초음파 진동 장치는, 소정의 알고리듬에 따라 동작 시간 데이터를 발생시키는 주 제어기(10); 주 제어기(10)로부터의 동작 시간 데이터를 처리하여 프로파일 데이터를 발생시키는 프로파일 제어기(11); 입력되는 주파수 제어 신호에 따라 초음파 신호를 발생시키는 주파수 발생기(12); 상기 프로파일 제어기(11)로부터의 프로파일 데이터를 아날로그 신호로 변환시킨 후, 변환된 아날로그 신호와 상기 주파수 발생기(12)로부터의 초음파 신호와의 합성 신호를 발생시키는 디지털/아날로그 변환기(13); 상기 디지털/아날로그 변환기(13)로부터의 합성 신호를 증폭하는 증폭기(141 및 142); 및 상기 증폭기(141 및 142)의 출력 신호에 따라 진동하는 진동자(15);를 갖추고 있다. 여기서, 증폭기(141 및 142)는, 상기 디지털/아날로그 변환기(13)로부터의 합성 신호를 1차 증폭하는 증폭 회로(141)와, 상기 증폭 회로(141)의 출력 전압을 2차 증폭하는 변압기(142)로 구성된다. 부호 16은, 증폭 회로(141)로부터의 전압 신호와 변압기(142)의 2차 전압에 따른 주파수 제어 신호를 발생시키는 주파수 제어기를 나타낸다. 한편, 진동자(15)의 구동 코일(151)에 전류가 흐르면, 진동자(15)는 화살표 방향과 같이 상하 진동하게 된다. 진동자(15)의 진동자(15)의 끝부분에 결합된 엑튜에이터(17)는 예를 들어, 와이어 본더의 캐필러리를 나타낸다.
도 1의 초음파 진동 장치의 동작 원리를 살펴 보면 다음과 같다. 주 제어기(10)는 소정의 알고리듬 예를 들어, 입력된 본딩 프로그램에 따라 동작 시간 데이터를 발생시킨다. 이 동작 시간 데이터는 프로파일 제어기(11)에서 처리되어, 프로파일 데이터의 형식으로 변환된다. 한편, 주파수 발생기(12)는, 입력되는 주파수 제어 신호에 따라 초음파 신호를 발생시킨다. 디지털/아날로그 변환기(13)는, 프로파일 제어기(11)로부터의 프로파일 데이터를 아날로그 신호로 변환시킨 후, 변환된 아날로그 신호와 상기 주파수 발생기(12)로부터의 초음파 신호와의 합성 신호를 발생시킨다. 디지털/아날로그 변환기(13)로부터의 아날로그 신호는, 증폭 회로(141)에서 1차 증폭된 후, 변압기(142)에서 2차 증폭된다. 변압기(142)의 출력 신호가 진동자(15)의 구동 코일(151)에 인가되어 전류가 흐름에 따라, 진동자(15) 및 진동자(15)의 끝부분에 결합된 캐필러리(17)가 상하 진동하게 된다.
도 2는 도 1의 장치의 한 동작 주기에서의 제어 타이밍도이다. 여기서 한 동작 주기는, 예를 들어, 와이어 본더가 한 와이어를 본딩하는데 소요되는 시간을 의미한다. 와이어 본더의 경우, 도 2의 1차 진동 영역에서 볼(Ball) 본딩이 수행되고, 2차 진동 영역에서 스티치(Stitch) 본딩이 수행된다. 일반적으로 2차 진동 에너지가 1차 진동 에너지보다 높아야 하므로, 도 2에 도시된 초음파 파형과 같이, 2차 진동 시간(t2)이 1차 진동 시간(t1)보다 길어지게 된다. 왜냐하면, 변압기(142)의 출력 전압이 고정되어, 1차 진폭(V1)과 2차 진폭(V2)이 같기 때문이다.
이와 같이 종래의 초음파 진동 장치에서는, 주 제어기(10)가 단순히 동작 시간 데이터만을 발생시켜서, 진동 시간에 의하여 초음파 진동 에너지를 제어함에 따라, 동작 주기가 길어지는 문제점이 있다. 예를 들어, 와이어 본더의 경우, 2차 진동 시간(t2)이 1차 진동 시간(t1)보다 5 내지 10 mS(milli-second) 길어지게 된다.
본 발명은 상기와 같은 문제점들을 개선하기 위하여 창안된 것으로서, 초음파 진동 에너지를 진동 시간 및 진폭에 의하여 제어할 수 있는 초음파 진동 장치를 제공하는 것에 그 목적이 있다.
도 1은 종래의 초음파 진동 장치를 나타낸 블록도이다.
도 2는 도 1의 장치의 한 동작 주기에서의 제어 타이밍도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 진동 장치를 나타낸 블록도이다.
도 4는 도 3의 장치의 한 동작 주기에서의 제어 타이밍도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10, 30...주 제어기,11, 31...프로파일 제어기,
12, 32...주파수 발생기,13, 33...디지털/아날로그 변환기,
141, 341...증폭 회로,142, 342...변압기,
15, 35...진동자,151, 351...구동 코일,
16, 36...주파수 제어기,37...스위치 회로.
상기 목적을 이루기 위하여 본 발명에 의한 초음파 진동 장치는, 소정의 알고리듬에 따라 동작 시간 데이터를 발생시키는 주 제어기; 상기 주 제어기로부터의 동작 시간 데이터를 처리하여 프로파일 데이터를 발생시키는 프로파일 제어기; 입력되는 주파수 제어 신호에 따라 초음파 신호를 발생시키는 주파수 발생기; 상기 프로파일 제어기로부터의 프로파일 데이터를 아날로그 신호로 변환시킨 후, 변환된 아날로그 신호와 상기 주파수 발생기로부터의 초음파 신호와의 합성 신호를 발생시키는 디지털/아날로그 변환기; 상기 디지털/아날로그 변환기로부터의 합성 신호를 증폭하는 증폭기; 및 상기 증폭기의 출력 신호에 따라 진동하는 진동자;를 포함하는 초음파 진동 장치에 있어서, 상기 주 제어기는, 상기 알고리듬에 따라 출력 전압 선택 신호를 발생시키고, 상기 증폭기는, 서로 다른 전압들을 발생시키는 복수의 출력 단자들이 마련되어 있고, 상기 증폭기와 상기 진동자 사이에는, 상기 주 제어기로부터의 출력 전압 선택 신호에 따라 상기 증폭기의 출력 단자를 선택하는 스위치 회로가 마련된 것을 그 특징으로 한다.
여기서 상기 증폭기는, 상기 디지털/아날로그 변환기로부터의 합성 신호를 1차 증폭하는 증폭 회로; 및 상기 증폭 회로의 출력 전압을 2차 증폭하는 변압기;를 포함하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 증폭 회로로부터의 전압 신호와 상기 변압기의 2차 유기 전압에 따른 주파수 제어 신호를 발생시키는 주파수 제어기를 더 포함하는 것이 바람직하다.
이하 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 설명하기로 한다.
도 3에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 초음파 진동 장치는, 소정의 알고리듬에 따라 동작 시간 데이터 및 출력 전압 선택 신호를 발생시키는 주 제어기(30); 주 제어기(30)로부터의 동작 시간 데이터를 처리하여 프로파일 데이터를 발생시키는 프로파일 제어기(31); 입력되는 주파수 제어 신호에 따라 초음파 신호를 발생시키는 주파수 발생기(32); 상기 프로파일 제어기(31)로부터의 프로파일 데이터를 아날로그 신호로 변환시킨 후, 변환된 아날로그 신호와 상기 주파수 발생기(32)로부터의 초음파 신호와의 합성 신호를 발생시키는 디지털/아날로그 변환기(33); 상기 디지털/아날로그 변환기(33)로부터의 합성 신호를 증폭하고, 서로 다른 전압들을 발생시키는 복수의 출력 단자들이 마련된 증폭기(341 및 342); 상기 주 제어기(30)로부터의 출력 전압 선택 신호에 따라 상기 증폭기(341 및 342)의 출력 단자를 선택하는 스위치 회로(37); 및 상기 스위치 회로(37)에 의하여 선택된 출력 신호에 따라 진동하는 진동자(35);를 포함하고 있다. 여기서, 증폭기(341 및 342)는, 상기 디지털/아날로그 변환기(33)로부터의 합성 신호를 1차 증폭하는 증폭 회로(341)와, 상기 증폭 회로(341)의 출력 전압을 2차 증폭하는 변압기(342)를 포함한다. 변압기(342)에는, 서로 다른 전압들이 유기되는 제1 출력 단자(a) 및 제2 출력 단자(b)가 마련되어 있다. 부호 36은, 증폭 회로(341)로부터의 전압 신호와 변압기(342)의 2차 유기 전압에 따른 주파수 제어 신호를 발생시키는 주파수 제어기를 나타낸다. 한편, 진동자(35)의 구동 코일(351)에 전류가 흐르면, 진동자(35)는 화살표 방향과 같이 상하 진동하게 된다. 진동자(35)의 진동자(35)의 끝부분에 결합된 엑튜에이터(17)는 예를 들어, 와이어 본더의 캐필러리를 나타낸다.
도 3의 초음파 진동 장치의 동작 원리를 살펴 보면 다음과 같다. 주 제어기(30)는 소정의 알고리듬 예를 들어, 입력된 본딩 프로그램에 따라 동작 시간 데이터 및 출력 전압 선택 신호를 발생시킨다. 이 동작 시간 데이터는 프로파일 제어기(31)에서 처리되어, 프로파일 데이터의 형식으로 변환된다. 한편, 주파수 발생기(32)는, 입력되는 주파수 제어 신호에 따라 초음파 신호를 발생시킨다. 디지털/아날로그 변환기(33)는, 프로파일 제어기(31)로부터의 프로파일 데이터를 아날로그 신호로 변환시킨 후, 변환된 아날로그 신호와 상기 주파수 발생기(32)로부터의 초음파 신호와의 합성 신호를 발생시킨다. 디지털/아날로그 변환기(33)로부터의 아날로그 신호는, 증폭 회로(341)에서 1차 증폭된 후, 변압기(342)에서 2차 증폭된다. 스위치 회로(37)에서는, 주 제어기(30)로부터의 출력 전압 선택 신호에 따라 변압기(342)의 제1 출력 단자(a) 및 제2 출력 단자(b) 중의 어느 하나를 연결시킨다. 이에 따라, 연결된 변압기(342)의 출력 신호가 진동자(35)의 구동 코일(351)에 인가되어 전류가 흐름에 따라, 진동자(35) 및 진동자(35)의 끝부분에 결합된 캐필러리(37)가 상하 진동하게 된다.
도 4는 도 3의 장치의 한 동작 주기에서의 제어 타이밍도이다. 여기서 한 동작 주기는, 예를 들어, 와이어 본더가 한 와이어를 본딩하는데 소요되는 시간을 의미한다. 와이어 본더의 경우, 도 4의 1차 진동 영역에서 볼(Ball) 본딩이 수행되고, 2차 진동 영역에서 스티치(Stitch) 본딩이 수행된다. 일반적으로 2차 진동 에너지가 1차 진동 에너지보다 높아야 하므로, 도 4에 도시된 초음파 파형과 같이, 2차 진폭(V2')이 1차 진폭(V1')보다 높아지게 한다. 따라서, 2차 진동 시간(t2')이 1차 진동 시간(t1')보다 상대적으로 짧아지므로, 동작 주기가 상대적으로 짧아진다.
본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고, 당업자의 수준에서 그 변형 및 개량이 가능하다. 예를 들어, 상기 진동자(35)를 2단 구동 코일형으로 하여 회로를 구성함으로써, 진동 에너지를 다양하게 제어할 수 있다.
이상 설명된 바와 같이, 본 발명에 따른 초음파 진동 장치에 의하면, 초음파 진동 에너지를 진동 시간 및 진폭에 의하여 제어할 수 있으므로, 보다 빠른 제어 및 동작이 수행될 수 있다.

Claims (5)

  1. 소정의 알고리듬에 따라 동작 시간 데이터를 발생시키는 주 제어기; 상기 주 제어기로부터의 동작 시간 데이터를 처리하여 프로파일 데이터를 발생시키는 프로파일 제어기; 입력되는 주파수 제어 신호에 따라 초음파 신호를 발생시키는 주파수 발생기; 상기 프로파일 제어기로부터의 프로파일 데이터를 아날로그 신호로 변환시킨 후, 변환된 아날로그 신호와 상기 주파수 발생기로부터의 초음파 신호와의 합성 신호를 발생시키는 디지털/아날로그 변환기; 상기 디지털/아날로그 변환기로부터의 합성 신호를 증폭하는 증폭기; 및 상기 증폭기의 출력 신호에 따라 진동하는 진동자;를 포함하는 초음파 진동 장치에 있어서,
    상기 주 제어기는 상기 알고리듬에 따라 출력 전압 선택 신호를 발생시키고,
    상기 증폭기는 서로 다른 전압들을 발생시키는 복수의 출력 단자들이 마련되어 있고,
    상기 증폭기와 상기 진동자 사이에는, 상기 주 제어기로부터의 출력 전압 선택 신호에 따라 상기 증폭기의 출력 단자를 선택하는 스위치 회로가 마련된 것을 그 특징으로 하는 초음파 진동 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 증폭기는,
    상기 디지털/아날로그 변환기로부터의 합성 신호를 1차 증폭하는 증폭 회로; 및
    상기 증폭 회로의 출력 전압을 2차 증폭하는 변압기;를 포함하는 것을 그 특징으로 하는 초음파 진동 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 변압기에는,
    서로 다른 전압들이 유기되는 제1 출력 단자 및 제2 출력 단자가 마련된 것을 그 특징으로 하는 초음파 진동 장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 증폭 회로로부터의 전압 신호와 상기 변압기의 2차 유기 전압에 따른 주파수 제어 신호를 발생시키는 주파수 제어기;를 더 포함하는 것을 그 특징으로 하는 초음파 진동 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 진동자는,
    2단 구동 코일형인 것을 그 특징으로 하는 초음파 진동 장치.
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