JP2002062499A - 走査光学装置 - Google Patents
走査光学装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 結像レンズと平面レンズを備える走査光学系
において、ｆθ特性等の他の光学性能を低下させること
なく光線の入射位置や走査線の曲がりを調整可能とす
る。 【解決手段】 走査光学装置は、光源１、集光光学系
２、偏向器３及び偏向器３により偏向された光線を被走
査面９ａに集光し、等速走査させるための走査光学系４
を備える。走査光学系４は、主走査方向と副走査方向に
パワーを有する少なくとも１枚の結像ミラー１１Ａ，１
１Ｂと、少なくとも１枚の平面ミラー１２Ａを備える。
走査光学系４は、平面ミラー１２Ａのうち少なくとも１
枚の姿勢を調整するための調整機構１６を備える
において、ｆθ特性等の他の光学性能を低下させること
なく光線の入射位置や走査線の曲がりを調整可能とす
る。 【解決手段】 走査光学装置は、光源１、集光光学系
２、偏向器３及び偏向器３により偏向された光線を被走
査面９ａに集光し、等速走査させるための走査光学系４
を備える。走査光学系４は、主走査方向と副走査方向に
パワーを有する少なくとも１枚の結像ミラー１１Ａ，１
１Ｂと、少なくとも１枚の平面ミラー１２Ａを備える。
走査光学系４は、平面ミラー１２Ａのうち少なくとも１
枚の姿勢を調整するための調整機構１６を備える
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プリンタ、複写機
等の画像形成装置において画像書き込みに使用される走
査光学装置に関するものである。
等の画像形成装置において画像書き込みに使用される走
査光学装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】この種の走査光学装置は、光源と、この
光源が発生する光線を線状集光するための集光光学系
と、この集光光学系により線状集光された光線を偏向す
る偏向器と、この偏向器により偏向された光線を被走査
面に集光し、等速走査させるための走査光学系とを備え
ている。従来、走査光学系は、fθレンズを含むレンズ
により構成されたものが一般的であった。しかし、マル
チビームタイプの半導体レーザ光源を使用した場合、レ
ーザ光線の波長のばらつきを避けることができないた
め、走査光学系に倍率色収差を補正するための高価な色
消しレンズを使用する必要がある。
光源が発生する光線を線状集光するための集光光学系
と、この集光光学系により線状集光された光線を偏向す
る偏向器と、この偏向器により偏向された光線を被走査
面に集光し、等速走査させるための走査光学系とを備え
ている。従来、走査光学系は、fθレンズを含むレンズ
により構成されたものが一般的であった。しかし、マル
チビームタイプの半導体レーザ光源を使用した場合、レ
ーザ光線の波長のばらつきを避けることができないた
め、走査光学系に倍率色収差を補正するための高価な色
消しレンズを使用する必要がある。
【０００３】これに対して、ｆθミラー（結像ミラー）
と、平面ミラーとにより構成した走査光学系（ミラー走
査光学系）を備える走査光学装置が提供されている（特
開平１−２００２２１号公報参照）。このミラー走査光
学系であれば、上記色消しレンズを使用する必要はな
い。
と、平面ミラーとにより構成した走査光学系（ミラー走
査光学系）を備える走査光学装置が提供されている（特
開平１−２００２２１号公報参照）。このミラー走査光
学系であれば、上記色消しレンズを使用する必要はな
い。
【０００４】しかし、このミラー走査光学系では、光線
がｆθミラーの母線を通過しないように設定する必要が
ある。また、レンズのみで構成した走査光学系の場合と
比較して被走査面上の光線の軌跡（走査線）が曲線とな
りやすい。さらに、ｆθミラーの配置誤差や振動が、光
学性能に大きな影響を受ける。そのため、上記ｆθミラ
ーと平面ミラーとにより走査光学系を構成し、かつ、ｆ
θミラーの姿勢を調整する調整機構を設けた走査光学装
置が提案されている（特開平７−５３８４号公報参
照）。
がｆθミラーの母線を通過しないように設定する必要が
ある。また、レンズのみで構成した走査光学系の場合と
比較して被走査面上の光線の軌跡（走査線）が曲線とな
りやすい。さらに、ｆθミラーの配置誤差や振動が、光
学性能に大きな影響を受ける。そのため、上記ｆθミラ
ーと平面ミラーとにより走査光学系を構成し、かつ、ｆ
θミラーの姿勢を調整する調整機構を設けた走査光学装
置が提案されている（特開平７−５３８４号公報参
照）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、ｆθミラーに
調整機構を設けた場合、以下の問題がある。
調整機構を設けた場合、以下の問題がある。
【０００６】まず、光線の入射位置や走査線の曲がりを
調整するためにｆθミラーの姿勢を調整すると、ｆθ特
性、光線径、収差等の走査光学系の他の光学特性が影響
を受ける。すなわち、ｆθミラーの姿勢と光学性能は一
対一に対応していないため、好適な調整を行うことは困
難である。
調整するためにｆθミラーの姿勢を調整すると、ｆθ特
性、光線径、収差等の走査光学系の他の光学特性が影響
を受ける。すなわち、ｆθミラーの姿勢と光学性能は一
対一に対応していないため、好適な調整を行うことは困
難である。
【０００７】また、誤差感度の高い光学素子であるｆθ
ミラーに調整機構を設けるため、偏向器を回転駆動する
ためのモータ等の振動の影響で光学性能が損なわれるお
それがある。
ミラーに調整機構を設けるため、偏向器を回転駆動する
ためのモータ等の振動の影響で光学性能が損なわれるお
それがある。
【０００８】さらに、一般に、ｆθミラーは所望の曲面
形状を得るために加工が比較的容易な樹脂製であるの
で、剛性が比較的低い。そのため、調整作業時に変形
し、光学性能が損なわれるおそれもある。
形状を得るために加工が比較的容易な樹脂製であるの
で、剛性が比較的低い。そのため、調整作業時に変形
し、光学性能が損なわれるおそれもある。
【０００９】本発明は、上記従来の走査光学装置におけ
る問題を解決するためになされたものであり、結像レン
ズと平面レンズとを備える走査光学系において、他の光
学性能を低下させることなく光線の入射位置や走査線の
曲がりを調整可能とし、かつ、振動や調整作業に起因す
る光学性能低下を防止することを課題としている。
る問題を解決するためになされたものであり、結像レン
ズと平面レンズとを備える走査光学系において、他の光
学性能を低下させることなく光線の入射位置や走査線の
曲がりを調整可能とし、かつ、振動や調整作業に起因す
る光学性能低下を防止することを課題としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、光源と、この光源が発生する光線を線状
集光するための集光光学系と、この集光光学系により線
状集光された光線を偏向する偏向器と、この偏向器によ
り偏向された光線を被走査面に集光し、等速走査させる
ための走査光学系とを備える走査光学装置であって、上
記走査光学系は、主走査方向と副走査方向の少なくとも
いずれか一方にパワーを有する少なくとも１枚の結像ミ
ラーと、少なくとも１枚の平面ミラーと、平面ミラーの
うち少なくとも１枚の姿勢を調整するための調整機構と
を備える走査光学装置を提供するものである。
に、本発明は、光源と、この光源が発生する光線を線状
集光するための集光光学系と、この集光光学系により線
状集光された光線を偏向する偏向器と、この偏向器によ
り偏向された光線を被走査面に集光し、等速走査させる
ための走査光学系とを備える走査光学装置であって、上
記走査光学系は、主走査方向と副走査方向の少なくとも
いずれか一方にパワーを有する少なくとも１枚の結像ミ
ラーと、少なくとも１枚の平面ミラーと、平面ミラーの
うち少なくとも１枚の姿勢を調整するための調整機構と
を備える走査光学装置を提供するものである。
【００１１】本発明の走査光学装置は、主走査方向にも
副走査方向にもパワーを有しない平面ミラーの姿勢を調
整機構により調整するため、ｆθ特性、光線径、収差等
の走査光学系の他の光学特性に影響を与えることなく、
被走査面又は結像ミラーへの光線の入射位置や被走査面
上での走査線の曲がりを調整することができる。
副走査方向にもパワーを有しない平面ミラーの姿勢を調
整機構により調整するため、ｆθ特性、光線径、収差等
の走査光学系の他の光学特性に影響を与えることなく、
被走査面又は結像ミラーへの光線の入射位置や被走査面
上での走査線の曲がりを調整することができる。
【００１２】また、結像ミラーと平面ミラーのみにより
走査光学系を構成した場合には、誤差感度の高い光学素
子である結像ミラーや平面ミラーを、振動源である偏向
器の駆動機構から離れた位置に配置することができるた
め、振動に起因する走査光学系の光学性能低下を防止す
ることができる。
走査光学系を構成した場合には、誤差感度の高い光学素
子である結像ミラーや平面ミラーを、振動源である偏向
器の駆動機構から離れた位置に配置することができるた
め、振動に起因する走査光学系の光学性能低下を防止す
ることができる。
【００１３】さらに、平面ミラーは、曲面形状を有する
結象ミラーと比較して剛性が高いため、調整時の変形に
よる走査光学系の光学性能低下を防止することができ
る。
結象ミラーと比較して剛性が高いため、調整時の変形に
よる走査光学系の光学性能低下を防止することができ
る。
【００１４】具体的には、上記調整機構は、主走査面に
平行であって光軸に対して垂直な方向の軸回りの平面ミ
ラーの回転角度位置、平面ミラーの光軸方向の位置、及
び平面ミラーの主走査面に対して垂直な方向の位置のう
ち、少なくとも一つを調整可能である。
平行であって光軸に対して垂直な方向の軸回りの平面ミ
ラーの回転角度位置、平面ミラーの光軸方向の位置、及
び平面ミラーの主走査面に対して垂直な方向の位置のう
ち、少なくとも一つを調整可能である。
【００１５】また、上記走査光学系は、結像ミラーと被
走査面との間の光路、２枚の結像ミラー間の光路、又は
上記偏向器と上記結像ミラーとの間の光路に配設された
平面ミラーと、この平面ミラーの姿勢を調整するための
上記調整機構とを備えることが好ましい。
走査面との間の光路、２枚の結像ミラー間の光路、又は
上記偏向器と上記結像ミラーとの間の光路に配設された
平面ミラーと、この平面ミラーの姿勢を調整するための
上記調整機構とを備えることが好ましい。
【００１６】さらに、走査光学系は、複数の結像ミラー
を備え、結像ミラーのうち副走査方向のパワーが最も大
きい結像ミラーの前に配置された平面ミラーと、この平
面ミラーの姿勢を調整するための調整機構とを備えるこ
とが好ましい。
を備え、結像ミラーのうち副走査方向のパワーが最も大
きい結像ミラーの前に配置された平面ミラーと、この平
面ミラーの姿勢を調整するための調整機構とを備えるこ
とが好ましい。
【００１７】
【発明の実施の形態】次に、図面に示す本発明の実施形
態について詳細に説明する。 （第１実施形態）図１及び図２に示す本発明の第１実施
形態の走査光学装置は、光源１、集光光学系２、ポリゴ
ンミラー（偏向器）３及び走査光学系４を備えている。
態について詳細に説明する。 （第１実施形態）図１及び図２に示す本発明の第１実施
形態の走査光学装置は、光源１、集光光学系２、ポリゴ
ンミラー（偏向器）３及び走査光学系４を備えている。
【００１８】上記光源１はマルチファイバータイプのレ
ーザ光源であり、一次光源である複数の半導体レーザに
それぞれ結合レンズを介して光ファイバーの入射端を結
合し、二次光源である各光ファイバーの出射端をアライ
ンメントブロックにより直線状に配列してなる。
ーザ光源であり、一次光源である複数の半導体レーザに
それぞれ結合レンズを介して光ファイバーの入射端を結
合し、二次光源である各光ファイバーの出射端をアライ
ンメントブロックにより直線状に配列してなる。
【００１９】上記集光光学系２は、光源１が発生する光
線（レーザ光）をポリゴンミラー３の偏向面上で主走査
方向（被走査面９ａ上では図においてＸ方向）に長い線
状に集光するためのものであり、光源１が射出するレー
ザ光を所定光束幅の略平行光とするコリメータレンズ６
と、副走査方向（被走査面９ａ上では図においてＹ方
向）に正のパワーを有するシリンドリカルレンズ７を備
えている。なお、集光光学系２は、開口規制板等の他の
光学素子を備えていてもよい。
線（レーザ光）をポリゴンミラー３の偏向面上で主走査
方向（被走査面９ａ上では図においてＸ方向）に長い線
状に集光するためのものであり、光源１が射出するレー
ザ光を所定光束幅の略平行光とするコリメータレンズ６
と、副走査方向（被走査面９ａ上では図においてＹ方
向）に正のパワーを有するシリンドリカルレンズ７を備
えている。なお、集光光学系２は、開口規制板等の他の
光学素子を備えていてもよい。
【００２０】上記ポリゴンミラー３は、駆動用モータ
（駆動機構）８により副走査方向に平行な軸線回りに等
角速度で回転駆動され、光線を等角速度で走査する。
（駆動機構）８により副走査方向に平行な軸線回りに等
角速度で回転駆動され、光線を等角速度で走査する。
【００２１】上記走査光学系４は、ポリゴンミラー３に
より偏向された光線を感光体９の表面である被走査面９
ａに集光させる機能と、光線を被走査面９ａ上で等速走
査させる機能とを有している。
より偏向された光線を感光体９の表面である被走査面９
ａに集光させる機能と、光線を被走査面９ａ上で等速走
査させる機能とを有している。
【００２２】本実施形態における走査光学系４は、それ
ぞれ主走査方向及び副走査方向にパワーを有する第１及
び第２のｆθミラー（結像ミラー）１１Ａ，１１Ｂと、
主走査方向にも副走査方向にもパワーを有しない１枚の
平面レンズ１２Ａとを備えている。第１及び第２のｆθ
ミラー１１Ａ，１１Ｂの副走査方向のパワーは、第２の
ｆθミラー１１Ｂのほうが、第１のｆθミラー１１Ａよ
りも大きくなるように設定されている。
ぞれ主走査方向及び副走査方向にパワーを有する第１及
び第２のｆθミラー（結像ミラー）１１Ａ，１１Ｂと、
主走査方向にも副走査方向にもパワーを有しない１枚の
平面レンズ１２Ａとを備えている。第１及び第２のｆθ
ミラー１１Ａ，１１Ｂの副走査方向のパワーは、第２の
ｆθミラー１１Ｂのほうが、第１のｆθミラー１１Ａよ
りも大きくなるように設定されている。
【００２３】また、これらのｆθミラー１１Ａ，１１Ｂ
及び平面ミラー１２は、ポリゴンミラー３から被走査面
９ａに到る光路上に、ポリゴンミラー３側から、第１の
ｆθミラー１１Ａ、平面ミラー１２Ａ、及び第２のｆθ
ミラー１１Ｂの順で配置されている。すなわち、本実施
形態では、第１のｆθミラー１１Ａと、第２のｆθミラ
ー１１Ｂとの間の光路に平面ミラー１２Ａが配置されて
いる。また、これらのｆθミラー１１Ａ，１１Ｂ及び平
面ミラー１２Ａは、ポリゴンミラー３による光線より下
側に被走査面９ａが位置するように配置されている。
及び平面ミラー１２は、ポリゴンミラー３から被走査面
９ａに到る光路上に、ポリゴンミラー３側から、第１の
ｆθミラー１１Ａ、平面ミラー１２Ａ、及び第２のｆθ
ミラー１１Ｂの順で配置されている。すなわち、本実施
形態では、第１のｆθミラー１１Ａと、第２のｆθミラ
ー１１Ｂとの間の光路に平面ミラー１２Ａが配置されて
いる。また、これらのｆθミラー１１Ａ，１１Ｂ及び平
面ミラー１２Ａは、ポリゴンミラー３による光線より下
側に被走査面９ａが位置するように配置されている。
【００２４】ｆθミラー１１Ａ，１１Ｂ及び平面ミラー
１２Ａを上記の配置としたため、上記ポリゴンミラー３
により反射された光線は、まず、第１のｆθミラー１１
Ａの反射面１４で図２おいてポリゴンミラー３側へ反射
され、平面ミラー１２Ａに入射する。平面ミラー１２Ａ
に入射した光線は、その反射面１３により再びポリゴン
ミラー３の反射方向と同方向に反射され、第２のｆθミ
ラー１１Ｂに入射する。第２のｆθミラー１１Ｂの反射
面１４で反射された光線が、被走査面９ａに入射する。
１２Ａを上記の配置としたため、上記ポリゴンミラー３
により反射された光線は、まず、第１のｆθミラー１１
Ａの反射面１４で図２おいてポリゴンミラー３側へ反射
され、平面ミラー１２Ａに入射する。平面ミラー１２Ａ
に入射した光線は、その反射面１３により再びポリゴン
ミラー３の反射方向と同方向に反射され、第２のｆθミ
ラー１１Ｂに入射する。第２のｆθミラー１１Ｂの反射
面１４で反射された光線が、被走査面９ａに入射する。
【００２５】走査光学系４は、上記平面ミラー１２Ａの
姿勢を調整するための調整機構１６を備えている。この
調整機構１６は、軸Ｌに対する平面ミラー１２Ａの回転
角度位置と、平面ミラー１２Ａの光軸方向の位置とを調
整することができる。軸Ｌは、主走査面（ポリゴンミラ
ー３により偏向される光線を含む面）に対して平行であ
り、光軸に対して垂直である。
姿勢を調整するための調整機構１６を備えている。この
調整機構１６は、軸Ｌに対する平面ミラー１２Ａの回転
角度位置と、平面ミラー１２Ａの光軸方向の位置とを調
整することができる。軸Ｌは、主走査面（ポリゴンミラ
ー３により偏向される光線を含む面）に対して平行であ
り、光軸に対して垂直である。
【００２６】図３及び図４に示すように、調整機構１６
は平面ミラー１２Ａの長手方向両端部を支持する一対の
スライド部材２０Ａ，２０Ｂを備えている。このスライ
ド部材２０Ａ，２０Ｂは、矢印Ａで示すように、図示し
ないレール上を移動させて所望の位置で固定することが
できる。よって、このスライド部材２０Ａ，２０Ｂの位
置を調整することにより、平面ミラー１２Ａの光軸方向
の位置を調整することができる。
は平面ミラー１２Ａの長手方向両端部を支持する一対の
スライド部材２０Ａ，２０Ｂを備えている。このスライ
ド部材２０Ａ，２０Ｂは、矢印Ａで示すように、図示し
ないレール上を移動させて所望の位置で固定することが
できる。よって、このスライド部材２０Ａ，２０Ｂの位
置を調整することにより、平面ミラー１２Ａの光軸方向
の位置を調整することができる。
【００２７】各スライド部材２０Ａ，２０Ｂの上面側に
は、図４に示すように、切欠２１が設けられており、こ
の切欠２１に平面ミラー１２Ａの下側部が配置される。
また、切欠２１の近傍にはそれぞれ支持金具２３Ａ，２
３Ｂが固定されている。各支持金具２３Ａ，２３Ｂは、
スライド部材２０Ａ，２０Ｂにねじにより固定された基
部２４と、この基部２４から所定角度をなして図におい
て上方に延びる支持部２５とを備えている。この支持部
２５には平面ミラー１２Ａの面頂点と当接する突起２５
ａが設けられている。また、支持部２５は基部２４との
接続部を支点として弾性的に回動できるようになってい
る。
は、図４に示すように、切欠２１が設けられており、こ
の切欠２１に平面ミラー１２Ａの下側部が配置される。
また、切欠２１の近傍にはそれぞれ支持金具２３Ａ，２
３Ｂが固定されている。各支持金具２３Ａ，２３Ｂは、
スライド部材２０Ａ，２０Ｂにねじにより固定された基
部２４と、この基部２４から所定角度をなして図におい
て上方に延びる支持部２５とを備えている。この支持部
２５には平面ミラー１２Ａの面頂点と当接する突起２５
ａが設けられている。また、支持部２５は基部２４との
接続部を支点として弾性的に回動できるようになってい
る。
【００２８】図４に示すように、一方のスライド部材２
０Ａには支持金具２３Ａと切欠２１を挟んで対向するよ
うに、ねじ用金具２７が固定されている。このねじ用金
具２７は、スライド部材２０Ａにねじにより固定された
基部２８と、この基部２８から所定角度をなして図にお
いて上方に延びるねじ保持部２９を備えている。このね
じ保持部２９に設けられたねじ孔に調整ねじ３０が螺合
しており、ねじ保持部２９を貫通する調整ねじ２０の先
端が平面ミラー１２Ａと当接している。
０Ａには支持金具２３Ａと切欠２１を挟んで対向するよ
うに、ねじ用金具２７が固定されている。このねじ用金
具２７は、スライド部材２０Ａにねじにより固定された
基部２８と、この基部２８から所定角度をなして図にお
いて上方に延びるねじ保持部２９を備えている。このね
じ保持部２９に設けられたねじ孔に調整ねじ３０が螺合
しており、ねじ保持部２９を貫通する調整ねじ２０の先
端が平面ミラー１２Ａと当接している。
【００２９】このように平面ミラー１２は、支持金具２
３Ａ，２３Ｂの突起２５ａと、調整ねじ３０の先端によ
り、いわゆる三点支持の状態でスライド部材２０Ａ，２
０Ｂに対して固定されている。そして、調整ねじ３０を
回転させて、その先端を前進又は後退させることによ
り、平面ミラー１２Ａの軸Ｌ回りの回転角度位置を調整
することができる。
３Ａ，２３Ｂの突起２５ａと、調整ねじ３０の先端によ
り、いわゆる三点支持の状態でスライド部材２０Ａ，２
０Ｂに対して固定されている。そして、調整ねじ３０を
回転させて、その先端を前進又は後退させることによ
り、平面ミラー１２Ａの軸Ｌ回りの回転角度位置を調整
することができる。
【００３０】本実施形態の走査光学装置では、走査光学
系４をｆθミラー１１Ａ，１１Ｂと平面ミラー１２Ａに
より構成しているため、倍率色収差を補正するための光
学要素を走査光学系４に設ける必要がない。
系４をｆθミラー１１Ａ，１１Ｂと平面ミラー１２Ａに
より構成しているため、倍率色収差を補正するための光
学要素を走査光学系４に設ける必要がない。
【００３１】また、調整機構１６により、平面ミラー１
２Ａの軸Ｌ回りの回転角度位置と光軸方向の位置を調整
することができ、それによって第２のｆθミラー１１Ｂ
への光線の入射位置を調整することができる。また、平
面ミラー１２Ａの姿勢を調整することにより、被走査面
９ａ上における走査線の曲がりを修正することができ
る。
２Ａの軸Ｌ回りの回転角度位置と光軸方向の位置を調整
することができ、それによって第２のｆθミラー１１Ｂ
への光線の入射位置を調整することができる。また、平
面ミラー１２Ａの姿勢を調整することにより、被走査面
９ａ上における走査線の曲がりを修正することができ
る。
【００３２】さらに、平面ミラー１２Ａは主走査方向に
も副走査方向にもパワーを有していないため、光線径、
ｆθ特性、収差等の走査光学系４の他の光学特性に影響
を与えることなく、光線の入射位置や走査線の曲がりを
調整することができる。
も副走査方向にもパワーを有していないため、光線径、
ｆθ特性、収差等の走査光学系４の他の光学特性に影響
を与えることなく、光線の入射位置や走査線の曲がりを
調整することができる。
【００３３】さらにまた、一般にｆθミラーは副走査方
向のパワーが大きいほど光線の入射位置を正確に設定す
る必要があるが、本実施形態では、調整機構１６により
姿勢を調整することができる平面ミラー１２Ａを副走査
方向のパワーが大きい第２のｆθミラー１１Ｂの前に配
置しているので、この第２のｆθミラー１１Ｂへの光線
の入射位置を高精度で調整することができる。
向のパワーが大きいほど光線の入射位置を正確に設定す
る必要があるが、本実施形態では、調整機構１６により
姿勢を調整することができる平面ミラー１２Ａを副走査
方向のパワーが大きい第２のｆθミラー１１Ｂの前に配
置しているので、この第２のｆθミラー１１Ｂへの光線
の入射位置を高精度で調整することができる。
【００３４】一般に、平面ミラーは湾曲形状のｆθミラ
ーと比較して剛性が高く、上記調整機構１６により姿勢
を調整しても変形することがない。そのため、調整時の
ミラーの変形に起因する走査光学系の光学性能低下を防
止することができる。
ーと比較して剛性が高く、上記調整機構１６により姿勢
を調整しても変形することがない。そのため、調整時の
ミラーの変形に起因する走査光学系の光学性能低下を防
止することができる。
【００３５】また、誤差感度の高い光学素子であるｆθ
ミラー１１Ａ，１１Ｂ及び平面ミラー１２を振動源であ
るポリゴンミラー３の駆動用モータ８から離れた位置に
配置できるため、振動に起因する走査光学系４の光学性
能の低下を防止することができる。
ミラー１１Ａ，１１Ｂ及び平面ミラー１２を振動源であ
るポリゴンミラー３の駆動用モータ８から離れた位置に
配置できるため、振動に起因する走査光学系４の光学性
能の低下を防止することができる。
【００３６】（第２実施形態）図５は、本発明の第２実
施形態の走査光学装置を示している。この走査光学装置
における光源１及び集光光学系２（図１参照）やポリゴ
ンミラー３は、第１実施形態のものと同一である。この
走査光学装置では、第２のｆθミラー１１Ｂと被走査面
９ａとの間の光路に、２枚の平面ミラー１２Ｂ，１２Ｃ
を配置している。また、これらの平面ミラー１２Ｂ，１
２Ｃのうち、被走査面９ａ側の平面ミラー１２Ｃに、軸
Ｌ回りの回転角度位置及び光軸方向の位置を調整するた
めの調整機構１６を設け、走査光学系４の光路の他の部
分に影響を与えることなく、被走査面９ａにおける光線
の照射位置を調整できるようにしている。第２実施形態
のその他の構成及び作用は第１実施形態と同様であるの
で、同一の要素には同一の符号を付して説明を省略す
る。
施形態の走査光学装置を示している。この走査光学装置
における光源１及び集光光学系２（図１参照）やポリゴ
ンミラー３は、第１実施形態のものと同一である。この
走査光学装置では、第２のｆθミラー１１Ｂと被走査面
９ａとの間の光路に、２枚の平面ミラー１２Ｂ，１２Ｃ
を配置している。また、これらの平面ミラー１２Ｂ，１
２Ｃのうち、被走査面９ａ側の平面ミラー１２Ｃに、軸
Ｌ回りの回転角度位置及び光軸方向の位置を調整するた
めの調整機構１６を設け、走査光学系４の光路の他の部
分に影響を与えることなく、被走査面９ａにおける光線
の照射位置を調整できるようにしている。第２実施形態
のその他の構成及び作用は第１実施形態と同様であるの
で、同一の要素には同一の符号を付して説明を省略す
る。
【００３７】（第３実施形態）図６に示す本発明の第３
実施形態の走査光学装置では、第２のｆθミラー１１Ｂ
と被走査面９ａとの間の光路に、平面ミラー１２Ａを配
置している。また、この平面ミラー１２Ａに軸Ｌ回りの
回転角度位置及び光軸方向の位置を調整するための調整
機構１６を設け、走査光学系４の光路の他の部分に影響
を与えることなく、ｆθミラー１１Ｂへの光線の入射位
置や走査線の曲がりを調整できるようにしている。第３
実施形態のその他の構成及び作用は第１実施形態と同様
であるので、同一の要素には同一の符号を付して説明を
省略する。
実施形態の走査光学装置では、第２のｆθミラー１１Ｂ
と被走査面９ａとの間の光路に、平面ミラー１２Ａを配
置している。また、この平面ミラー１２Ａに軸Ｌ回りの
回転角度位置及び光軸方向の位置を調整するための調整
機構１６を設け、走査光学系４の光路の他の部分に影響
を与えることなく、ｆθミラー１１Ｂへの光線の入射位
置や走査線の曲がりを調整できるようにしている。第３
実施形態のその他の構成及び作用は第１実施形態と同様
であるので、同一の要素には同一の符号を付して説明を
省略する。
【００３８】（第４実施形態）図７及び図８は、本発明
の第４実施形態を示している。本実施形態における走査
光学系４は、第１及び第２のｆθミラー１１Ａ，１１Ｂ
を備えている。第１及び第２のｆθミラー１１Ａ，１１
Ｂの副走査方向のパワーは、第１のｆθミラー１１Ａの
ほうが、第２のｆθミラー１１Ｂよりも大きくなるよう
に設定されている。また、走査光学系４は、１枚の平面
ミラー１２Ａを備えている。これらのｆθミラー１１
Ａ，１１Ｂ及び平面ミラー１２Ａは、ポリゴンミラー３
から被走査面９ａに到る光路上に、ポリゴンミラー３側
から、平面ミラー１２Ａ、第１のｆθミラー１１Ａ及び
第２のｆθミラー１１Ｂの順で配置されている。すなわ
ち、本実施形態では、ポリゴンミラー３と第１のｆθミ
ラー１１Ａとの間の光路に平面ミラー１２Ａが配置され
ている。また、これらのｆθミラー１１Ａ，１１Ｂ及び
平面ミラー１２Ａは、ポリゴンミラー３による光線より
も下側に被走査面９ａが位置するように配置されてい
る。さらに、上記第１及び第２のｆθミラー１１Ａ，１
１Ｂは、収差特性を良好にするために、反射角度θ１，
θ２がほぼ等しくなるように配置されている。
の第４実施形態を示している。本実施形態における走査
光学系４は、第１及び第２のｆθミラー１１Ａ，１１Ｂ
を備えている。第１及び第２のｆθミラー１１Ａ，１１
Ｂの副走査方向のパワーは、第１のｆθミラー１１Ａの
ほうが、第２のｆθミラー１１Ｂよりも大きくなるよう
に設定されている。また、走査光学系４は、１枚の平面
ミラー１２Ａを備えている。これらのｆθミラー１１
Ａ，１１Ｂ及び平面ミラー１２Ａは、ポリゴンミラー３
から被走査面９ａに到る光路上に、ポリゴンミラー３側
から、平面ミラー１２Ａ、第１のｆθミラー１１Ａ及び
第２のｆθミラー１１Ｂの順で配置されている。すなわ
ち、本実施形態では、ポリゴンミラー３と第１のｆθミ
ラー１１Ａとの間の光路に平面ミラー１２Ａが配置され
ている。また、これらのｆθミラー１１Ａ，１１Ｂ及び
平面ミラー１２Ａは、ポリゴンミラー３による光線より
も下側に被走査面９ａが位置するように配置されてい
る。さらに、上記第１及び第２のｆθミラー１１Ａ，１
１Ｂは、収差特性を良好にするために、反射角度θ１，
θ２がほぼ等しくなるように配置されている。
【００３９】ｆθミラー１１Ａ，１１Ｂ及び平面ミラー
１２Ａを上記の配置としたため、上記ポリゴンミラー３
により反射された光線は、まず、平面ミラー１２Ａの反
射面１３で図８おいてポリゴンミラー３側へ反射され、
第１のｆθミラー１１Ａに入射する。第１のｆθミラー
１１Ａに入射した光線は、その反射面１４により再びポ
リゴンミラー３の反射方向と同方向に反射され、第２の
ｆθミラー１１Ｂに入射する。第２のｆθミラー１１Ｂ
の反射面１４で反射された光線が、被走査面９ａに入射
する。
１２Ａを上記の配置としたため、上記ポリゴンミラー３
により反射された光線は、まず、平面ミラー１２Ａの反
射面１３で図８おいてポリゴンミラー３側へ反射され、
第１のｆθミラー１１Ａに入射する。第１のｆθミラー
１１Ａに入射した光線は、その反射面１４により再びポ
リゴンミラー３の反射方向と同方向に反射され、第２の
ｆθミラー１１Ｂに入射する。第２のｆθミラー１１Ｂ
の反射面１４で反射された光線が、被走査面９ａに入射
する。
【００４０】本実施形態の走査光学装置では、走査光学
系４をｆθミラー１１Ａ，１１Ｂと平面ミラー１２とに
より構成しているため、倍率色収差を補正するための光
学要素を走査光学系４に設ける必要がない。
系４をｆθミラー１１Ａ，１１Ｂと平面ミラー１２とに
より構成しているため、倍率色収差を補正するための光
学要素を走査光学系４に設ける必要がない。
【００４１】また、上記のように調整機構１６により平
面ミラー１２の姿勢を調整することができるため、光線
径、ｆθ特性、収差等の走査光学系の他の光学特性に影
響を与えることなく、ｆθミラー１１Ａへの光線の入射
位置や走査線の曲がりを調整することができる。
面ミラー１２の姿勢を調整することができるため、光線
径、ｆθ特性、収差等の走査光学系の他の光学特性に影
響を与えることなく、ｆθミラー１１Ａへの光線の入射
位置や走査線の曲がりを調整することができる。
【００４２】さらに、調整機構１６により姿勢を調整す
ることができる平面ミラー１２Ａを、副走査方向のパワ
ーが大きく入射位置を正確に設定する必要がある第１の
ｆθミラー１１Ａの前に配置しており、この第１のｆθ
ミラー１１Ａへの光線の入射位置を高精度で調整するこ
とができる。
ることができる平面ミラー１２Ａを、副走査方向のパワ
ーが大きく入射位置を正確に設定する必要がある第１の
ｆθミラー１１Ａの前に配置しており、この第１のｆθ
ミラー１１Ａへの光線の入射位置を高精度で調整するこ
とができる。
【００４３】さらにまた、ｆθミラー１１Ａ，１１Ｂよ
りも剛性の高い平面ミラー１２Ａの姿勢を調整するた
め、調整時のミラーの変形に起因する走査光学系４の光
学性能低下を防止することができる。
りも剛性の高い平面ミラー１２Ａの姿勢を調整するた
め、調整時のミラーの変形に起因する走査光学系４の光
学性能低下を防止することができる。
【００４４】上記のように収差の点からは、第１及び第
２のｆθミラー１１Ａ，１１Ｂは、反射角度θ１，θ２
がほぼ等しくなるように配置することが好ましい。図９
は、平面ミラー１２Ａがない場合に、この反射角度θ
１，θ２がほぼ等しく、かつ、ポリゴンミラー３による
光線の反射方向に対して、被走査面９ａへの光線の入射
方向が直角に近い角度をなすように、第１及び第２のｆ
θミラー１１Ａ，１１Ｂを配置した比較例である。この
比較例では、第１のｆθミラー１１Ａをポリゴンミラー
３及びモータ８に対して比較的接近して配置する必要が
ある。
２のｆθミラー１１Ａ，１１Ｂは、反射角度θ１，θ２
がほぼ等しくなるように配置することが好ましい。図９
は、平面ミラー１２Ａがない場合に、この反射角度θ
１，θ２がほぼ等しく、かつ、ポリゴンミラー３による
光線の反射方向に対して、被走査面９ａへの光線の入射
方向が直角に近い角度をなすように、第１及び第２のｆ
θミラー１１Ａ，１１Ｂを配置した比較例である。この
比較例では、第１のｆθミラー１１Ａをポリゴンミラー
３及びモータ８に対して比較的接近して配置する必要が
ある。
【００４５】これに対して、平面ミラー１２Ａを備える
本実施形態における走査光学系４では、反射角度θ１，
θ２がほぼ等しく、かつ、ポリゴンミラー３による光線
よりも下側に被走査面９ａが配置されているが、誤差感
度の高い光学素子であるｆθミラー１１Ａ，１１Ｂ及び
平面ミラー１２は、振動源であるポリゴンミラー３のモ
ータ８から比較的離れた位置に配置されている。従っ
て、本実施形態では、振動に起因する走査光学系４の光
学性能の低下を防止することができる。
本実施形態における走査光学系４では、反射角度θ１，
θ２がほぼ等しく、かつ、ポリゴンミラー３による光線
よりも下側に被走査面９ａが配置されているが、誤差感
度の高い光学素子であるｆθミラー１１Ａ，１１Ｂ及び
平面ミラー１２は、振動源であるポリゴンミラー３のモ
ータ８から比較的離れた位置に配置されている。従っ
て、本実施形態では、振動に起因する走査光学系４の光
学性能の低下を防止することができる。
【００４６】（第５実施形態）図１０は、本発明の第５
実施形態の走査光学装置を示している。この走査光学装
置における光源１及び集光光学系２（図７参照）やポリ
ゴンミラー３は、第４実施形態のものと同一である。
実施形態の走査光学装置を示している。この走査光学装
置における光源１及び集光光学系２（図７参照）やポリ
ゴンミラー３は、第４実施形態のものと同一である。
【００４７】この走査光学装置では、第２のｆθミラー
１１Ｂと被走査面９ａとの間の光路に、２枚の平面ミラ
ー１２Ｂ，１２Ｃを配置している。また、これらの平面
ミラー１２Ｂ，１２Ｃのうち、被走査面９ａ側の平面ミ
ラー１２Ｃに、軸Ｌ回りの回転角度位置及び光軸方向の
位置を調整するための調整機構１６を設けている。この
ように被走査面９ａの直前に配置した平面ミラー１２Ｂ
の調整機構１６を設ければ、走査光学系４の光路の他の
部分に影響を与えることなく、被走査面９ａにおける光
線の照射位置（副走査方向）を調整することができる。
第５実施形態のその他の構成及び作用は第４実施形態と
同様であるので、同一の要素には同一の符号を付して説
明を省略する。
１１Ｂと被走査面９ａとの間の光路に、２枚の平面ミラ
ー１２Ｂ，１２Ｃを配置している。また、これらの平面
ミラー１２Ｂ，１２Ｃのうち、被走査面９ａ側の平面ミ
ラー１２Ｃに、軸Ｌ回りの回転角度位置及び光軸方向の
位置を調整するための調整機構１６を設けている。この
ように被走査面９ａの直前に配置した平面ミラー１２Ｂ
の調整機構１６を設ければ、走査光学系４の光路の他の
部分に影響を与えることなく、被走査面９ａにおける光
線の照射位置（副走査方向）を調整することができる。
第５実施形態のその他の構成及び作用は第４実施形態と
同様であるので、同一の要素には同一の符号を付して説
明を省略する。
【００４８】（第６実施形態）図１１に示すように、本
発明の第６実施形態の走査光学装置における走査光学系
４は、それぞれ主走査方向及び副走査方向にパワーを有
する第１及び第２のｆθミラー１１Ａ，１１Ｂを備えて
いる。第１及び第２のｆθミラー１１Ａ，１１Ｂの副走
査方向のパワーは、第１のｆθミラー１１Ａのほうが、
第２のｆθミラー１１Ｂよりも大きくなるように設定さ
れている。また、走査光学系４は、主走査方向にも副走
査方向にもパワーを有しない２枚の平面ミラー１２Ａ，
１２Ｂを備えている。これらのｆθミラー１１Ａ，１１
Ｂ及び平面ミラー１２Ａ，１２Ｂは、ポリゴンミラー３
から被走査面９ａに到る光路上に、ポリゴンミラー３側
から、第１の平面ミラー１２Ａ、第１のｆθミラー１１
Ａ、第２のｆθミラー１１Ｂ及び第２の平面ミラー１２
Ｂの順で配置されている。すなわち、本実施形態では、
ポリゴンミラー３と第１のｆθミラー１１Ａとの間の光
路に平面ミラー１２Ａが配置されている。また、これら
のｆθミラー１１Ａ，１１Ｂ及び平面ミラー１２Ａ，１
２Ｂは、ポリゴンミラー３による光線の反射方向に対し
て、被走査面９ａへの光線の入射方向がほぼ同方向とな
るように配置されている。さらに、上記第１及び第２の
ｆθミラー１１Ａ，１１Ｂは、収差特性を良好にするた
めに、反射角度θ１，θ２がほぼ等しくなるように配置
されている。
発明の第６実施形態の走査光学装置における走査光学系
４は、それぞれ主走査方向及び副走査方向にパワーを有
する第１及び第２のｆθミラー１１Ａ，１１Ｂを備えて
いる。第１及び第２のｆθミラー１１Ａ，１１Ｂの副走
査方向のパワーは、第１のｆθミラー１１Ａのほうが、
第２のｆθミラー１１Ｂよりも大きくなるように設定さ
れている。また、走査光学系４は、主走査方向にも副走
査方向にもパワーを有しない２枚の平面ミラー１２Ａ，
１２Ｂを備えている。これらのｆθミラー１１Ａ，１１
Ｂ及び平面ミラー１２Ａ，１２Ｂは、ポリゴンミラー３
から被走査面９ａに到る光路上に、ポリゴンミラー３側
から、第１の平面ミラー１２Ａ、第１のｆθミラー１１
Ａ、第２のｆθミラー１１Ｂ及び第２の平面ミラー１２
Ｂの順で配置されている。すなわち、本実施形態では、
ポリゴンミラー３と第１のｆθミラー１１Ａとの間の光
路に平面ミラー１２Ａが配置されている。また、これら
のｆθミラー１１Ａ，１１Ｂ及び平面ミラー１２Ａ，１
２Ｂは、ポリゴンミラー３による光線の反射方向に対し
て、被走査面９ａへの光線の入射方向がほぼ同方向とな
るように配置されている。さらに、上記第１及び第２の
ｆθミラー１１Ａ，１１Ｂは、収差特性を良好にするた
めに、反射角度θ１，θ２がほぼ等しくなるように配置
されている。
【００４９】ｆθミラー１１Ａ，１１Ｂ及び平面ミラー
１２Ａ，１２Ｂを上記の配置としたため、上記ポリゴン
ミラー３により反射された光線は、まず、平面ミラー１
２Ａの反射面１３で図１１おいてポリゴンミラー３側へ
反射され、第１のｆθミラー１１Ａに入射する。第１の
ｆθミラー１１Ａに入射した光線は、その反射面１４に
より再びポリゴンミラー３の反射方向と同方向に反射さ
れ、第２のｆθミラー１１Ｂに入射する。第２のｆθミ
ラー１１Ｂの反射面１４で反射された光線は、さらに平
面ミラー１２Ｂで反射され、被走査面９ａに入射する。
１２Ａ，１２Ｂを上記の配置としたため、上記ポリゴン
ミラー３により反射された光線は、まず、平面ミラー１
２Ａの反射面１３で図１１おいてポリゴンミラー３側へ
反射され、第１のｆθミラー１１Ａに入射する。第１の
ｆθミラー１１Ａに入射した光線は、その反射面１４に
より再びポリゴンミラー３の反射方向と同方向に反射さ
れ、第２のｆθミラー１１Ｂに入射する。第２のｆθミ
ラー１１Ｂの反射面１４で反射された光線は、さらに平
面ミラー１２Ｂで反射され、被走査面９ａに入射する。
【００５０】また、本実施形態における走査光学系４
は、上記平面ミラー１２Ａの軸Ｌに対する回転角度位置
と、光軸方向の位置とを調整するための調整機構１６を
備えている。
は、上記平面ミラー１２Ａの軸Ｌに対する回転角度位置
と、光軸方向の位置とを調整するための調整機構１６を
備えている。
【００５１】本実施形態の走査光学装置では、走査光学
系４をｆθミラー１１Ａ，１１Ｂと平面ミラー１２Ａ，
１２Ｂにより構成しているため、倍率色収差を補正する
ための光学要素を走査光学系４に設ける必要がない。
系４をｆθミラー１１Ａ，１１Ｂと平面ミラー１２Ａ，
１２Ｂにより構成しているため、倍率色収差を補正する
ための光学要素を走査光学系４に設ける必要がない。
【００５２】また、上記のように調整機構１６により主
走査方向にも副走査方向にもパワーを有しない平面ミラ
ー１２Ａの姿勢を調整することができるため、光線径、
ｆθ特性、収差等の走査光学系の他の光学特性に影響を
与えることなく、ｆθミラー１１Ａへの光線の入射位置
や走査線の曲がりを調整することができる。
走査方向にも副走査方向にもパワーを有しない平面ミラ
ー１２Ａの姿勢を調整することができるため、光線径、
ｆθ特性、収差等の走査光学系の他の光学特性に影響を
与えることなく、ｆθミラー１１Ａへの光線の入射位置
や走査線の曲がりを調整することができる。
【００５３】さらに、調整機構１６により姿勢を調整す
ることができる平面ミラー１２Ａを、副走査方向のパワ
ーが大きく入射位置を正確に設定する必要がある第１の
ｆθミラー１１Ａの前に配置しており、この第１のｆθ
ミラー１１Ａへの光線の入射位置を高精度で調整するこ
とができる。
ることができる平面ミラー１２Ａを、副走査方向のパワ
ーが大きく入射位置を正確に設定する必要がある第１の
ｆθミラー１１Ａの前に配置しており、この第１のｆθ
ミラー１１Ａへの光線の入射位置を高精度で調整するこ
とができる。
【００５４】さらにまた、ｆθミラー１１Ａ，１１Ｂよ
りも剛性の高い平面ミラーの姿勢を調整するため、調整
時のミラーの変形に起因する走査光学系４の光学性能低
下を防止することができる。
りも剛性の高い平面ミラーの姿勢を調整するため、調整
時のミラーの変形に起因する走査光学系４の光学性能低
下を防止することができる。
【００５５】上記のように収差特性の点からは、第１及
び第２のｆθミラー１１Ａ，１１Ｂは、反射角度θ１，
θ２がほぼ等しくなるように配置することが好ましい
が、図１２に示すように、平面ミラー１２Ａがない場合
に、この反射角度θ１，θ２がほぼ等しく、かつ、ポリ
ゴンミラー３による光線の反射方向に対して、被走査面
９ａへの光線の入射方向が同方向となるようにするに
は、第２のｆθミラー１１Ｂをポリゴンミラー３及びモ
ータ８に対して比較的接近して配置する必要がある。
び第２のｆθミラー１１Ａ，１１Ｂは、反射角度θ１，
θ２がほぼ等しくなるように配置することが好ましい
が、図１２に示すように、平面ミラー１２Ａがない場合
に、この反射角度θ１，θ２がほぼ等しく、かつ、ポリ
ゴンミラー３による光線の反射方向に対して、被走査面
９ａへの光線の入射方向が同方向となるようにするに
は、第２のｆθミラー１１Ｂをポリゴンミラー３及びモ
ータ８に対して比較的接近して配置する必要がある。
【００５６】これに対して、平面ミラー１２Ａ，１２Ｂ
を備える本実施形態における走査光学系４では、反射角
度θ１，θ２がほぼ等しく、かつ、ポリゴンミラー３に
よる光線の反射方向に対して、被走査面９ａへの光線の
入射方向が同方向であるが、誤差感度の高い光学素子で
あるｆθミラー１１Ａ，１１Ｂ及び平面ミラー１２Ａ，
１２Ｂは、振動源であるポリゴンミラー３のモータ８か
ら比較的離れた位置に配置されている。従って、本実施
形態では、振動に起因する走査光学系４の光学性能の低
下を防止することができる。
を備える本実施形態における走査光学系４では、反射角
度θ１，θ２がほぼ等しく、かつ、ポリゴンミラー３に
よる光線の反射方向に対して、被走査面９ａへの光線の
入射方向が同方向であるが、誤差感度の高い光学素子で
あるｆθミラー１１Ａ，１１Ｂ及び平面ミラー１２Ａ，
１２Ｂは、振動源であるポリゴンミラー３のモータ８か
ら比較的離れた位置に配置されている。従って、本実施
形態では、振動に起因する走査光学系４の光学性能の低
下を防止することができる。
【００５７】本発明は、上記実施形態に限定されず、種
々の変形が可能である。走査光学系は、少なくとも１枚
の結像ミラーと、少なくとも１枚の平面ミラーと、少な
くとも１枚の平面ミラーの姿勢を調整するための調整機
構とを備えていればよく、結像ミラー及び平面ミラーの
配置は上記のものに限定されない。また、走査光学系
は、結像ミラー及び平面ミラー以外に、トーリックレン
ズ、シリンダレンズ、ハーフミラー等の他の光学素子を
備えていてもよい。さらに、調整機構は、平面ミラーの
主走査面に平行であって光軸に対して垂直な方向の軸回
りの回転角度位置、平面ミラーの光軸方向の位置、及び
平面ミラーの主走査面に対して垂直な方向の位置のう
ち、少なくとも一つを調整可能であれは゛、その構造は
特に限定されない。さらにまた、結像レンズは、主走査
方向と副走査方向のいずれか一方にパワーを有するもの
であってもよい。
々の変形が可能である。走査光学系は、少なくとも１枚
の結像ミラーと、少なくとも１枚の平面ミラーと、少な
くとも１枚の平面ミラーの姿勢を調整するための調整機
構とを備えていればよく、結像ミラー及び平面ミラーの
配置は上記のものに限定されない。また、走査光学系
は、結像ミラー及び平面ミラー以外に、トーリックレン
ズ、シリンダレンズ、ハーフミラー等の他の光学素子を
備えていてもよい。さらに、調整機構は、平面ミラーの
主走査面に平行であって光軸に対して垂直な方向の軸回
りの回転角度位置、平面ミラーの光軸方向の位置、及び
平面ミラーの主走査面に対して垂直な方向の位置のう
ち、少なくとも一つを調整可能であれは゛、その構造は
特に限定されない。さらにまた、結像レンズは、主走査
方向と副走査方向のいずれか一方にパワーを有するもの
であってもよい。
【００５８】光源は、マルチビームタイプの半導体レー
ザ光源に限定されず、単一光源の半導体レーザ等であっ
てもよい。また、偏向器は、ポリゴンミラーに限定され
ず、ガルバノミラー等の他の偏向器であってもよい。
ザ光源に限定されず、単一光源の半導体レーザ等であっ
てもよい。また、偏向器は、ポリゴンミラーに限定され
ず、ガルバノミラー等の他の偏向器であってもよい。
【００５９】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の走査光学装置では、走査光学系が少なくとも１枚の結
像ミラーと少なくとも１枚の平面ミラーを備え、主走査
方向にも副走査方向にもパワーを有しない平面ミラーの
姿勢を調整機構により調整することができるため、ｆθ
特性、光線径、収差等の走査光学系の他の光学特性に影
響を与えることなく、光線の入射位置や被走査面上での
走査線の曲がりを調整することができる。
の走査光学装置では、走査光学系が少なくとも１枚の結
像ミラーと少なくとも１枚の平面ミラーを備え、主走査
方向にも副走査方向にもパワーを有しない平面ミラーの
姿勢を調整機構により調整することができるため、ｆθ
特性、光線径、収差等の走査光学系の他の光学特性に影
響を与えることなく、光線の入射位置や被走査面上での
走査線の曲がりを調整することができる。
【００６０】また、結像ミラーと平面ミラーのみにより
走査光学系を構成した場合には、誤差感度の高い光学素
子である結像ミラーや平面ミラーを、振動源である偏向
器の駆動機構から離れた位置に配置することができるた
め、振動に起因する走査光学系の光学性能低下を防止す
ることができる。
走査光学系を構成した場合には、誤差感度の高い光学素
子である結像ミラーや平面ミラーを、振動源である偏向
器の駆動機構から離れた位置に配置することができるた
め、振動に起因する走査光学系の光学性能低下を防止す
ることができる。
【００６１】さらに、平面ミラーは、曲面形状を有する
結象ミラーと比較して剛性が高いため、調整時の変形に
よる走査光学系の光学性能低下を防止することができ
る。
結象ミラーと比較して剛性が高いため、調整時の変形に
よる走査光学系の光学性能低下を防止することができ
る。
【図１】 本発明の第１実施形態に係る走査光学装置を
示す概略斜視図である。
示す概略斜視図である。
【図２】 本発明の第１実施形態に係る走査光学装置を
示す主走査方向から見た概略図である。
示す主走査方向から見た概略図である。
【図３】 調整機構を示す斜視図である。
【図４】 図３のIV-IV線での拡大断面図である。
【図５】 本発明の第２実施形態に係る走査光学装置を
示す主走査方向から見た概略図である。
示す主走査方向から見た概略図である。
【図６】 本発明の第３実施形態に係る走査光学装置を
示す主走査方向から見た概略図である。
示す主走査方向から見た概略図である。
【図７】 本発明の第４実施形態に係る走査光学装置を
示す概略斜視図である。
示す概略斜視図である。
【図８】 本発明の第４実施形態に係る走査光学装置を
示す主走査方向から見た概略図である。
示す主走査方向から見た概略図である。
【図９】 第４実施形態の効果を説明するための比較例
を示す主走査方向から見た概略図である。
を示す主走査方向から見た概略図である。
【図１０】 本発明の第５実施形態に係る走査光学装置
を示す主走査方向から見た概略図である。
を示す主走査方向から見た概略図である。
【図１１】 本発明の第６実施形態に係る走査光学装置
を示す主走査方向から見た概略図である。
を示す主走査方向から見た概略図である。
【図１２】 第６実施形態の効果を説明するための比較
例を示す主走査方向から見た概略図である。
例を示す主走査方向から見た概略図である。
１ 光源 ２ 集光光学系 ３ ポリゴンミラー ４ 走査光学系 ６ コリメータレンズ ７ シリンドリカルレンズ ８ モータ（駆動機構） ９ 感光体 ９ａ 被走査面 １１Ａ，１１Ｂ ｆθミラー（結像ミラー） １２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ 平面ミラー １３，１４ 反射面 １６ 調整機構 ２０Ａ，２０Ｂ スライド部材 ２１ 切欠 ２３Ａ，２３Ｂ 支持金具 ２５ａ 突起 ２７ ねじ用金具 ３０ 調整ねじ Ｌ 軸
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2C362 AA47 AA48 AA49 BA87 BA90 BB14 DA04 2H043 BC02 BC03 2H045 AA01 BA02 BA22 BA32 CA02 CA33 CA53 CA62 DA02 2H087 KA19 TA01 TA03 TA05 TA06
Claims (6)
- 【請求項１】 光源と、この光源が発生する光線を線状
集光するための集光光学系と、この集光光学系により線
状集光された光線を偏向する偏向器と、この偏向器によ
り偏向された光線を被走査面に集光し、等速走査させる
ための走査光学系とを備える走査光学装置であって、 上記走査光学系は、主走査方向と副走査方向の少なくと
もいずれか一方にパワーを有する少なくとも１枚の結像
ミラーと、少なくとも１枚の平面ミラーと、平面ミラー
のうち少なくとも１枚の姿勢を調整するための調整機構
とを備える走査光学装置。 - 【請求項２】 上記調整機構は、主走査面に平行であっ
て光軸に対して垂直な方向の軸回りの平面ミラーの回転
角度位置、平面ミラーの光軸方向の位置、及び平面ミラ
ーの主走査面に対して垂直な方向の位置のうち、少なく
とも一つを調整可能である請求項１に記載の走査光学装
置。 - 【請求項３】 上記走査光学系は、結像ミラーと被走査
面との間の光路に配置された平面ミラーと、この平面ミ
ラーの姿勢を調整するための上記調整機構とを備える請
求項１又は請求項２に記載の走査光学装置。 - 【請求項４】 上記走査光学系は、２枚の結像ミラー間
の光路に配置された平面ミラーと、この平面ミラーの姿
勢を調整するための上記調整機構とを備える請求項１又
は請求項２に記載の走査光学装置。 - 【請求項５】 上記走査光学系は、上記偏向器と上記結
像ミラーとの間の光路に配置された平面ミラーと、この
平面ミラーの姿勢を調整するための上記調整機構とを備
える請求項１又は請求項２に記載の走査光学装置。 - 【請求項６】 上記走査光学系は、複数の結像ミラーを
備え、結像ミラーのうち副走査方向のパワーが最も大き
い結像ミラーの前に配置された平面ミラーと、この平面
ミラーの姿勢を調整するための調整機構とを備える請求
項１又は請求項２に記載の走査光学装置。
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Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1367425A2 (en) * | 2002-05-31 | 2003-12-03 | Sony Corporation | Light scanning apparatus and two-dimensional image forming apparatus |
| JP2006078773A (ja) * | 2004-09-09 | 2006-03-23 | Oki Electric Ind Co Ltd | 光路調整素子、光路調整方法、光素子集積モジュール及び光素子集積モジュールの製造方法 |
| JP2006171116A (ja) * | 2004-12-13 | 2006-06-29 | Canon Inc | 光走査装置及び画像形成装置 |
| JP2007313378A (ja) * | 2006-05-23 | 2007-12-06 | Keio Gijuku | 光学的物質操作装置 |
| WO2008006957A2 (fr) * | 2006-07-13 | 2008-01-17 | Beamind | Procede et dispositif de deflexion d'un faisceau lumineux pour balayer une surface cible |
| JP2008139343A (ja) * | 2006-11-29 | 2008-06-19 | Konica Minolta Business Technologies Inc | 光走査光学装置 |
| JP2008139342A (ja) * | 2006-11-29 | 2008-06-19 | Konica Minolta Business Technologies Inc | 光走査光学装置 |
| JP2008191555A (ja) * | 2007-02-07 | 2008-08-21 | Canon Inc | 光走査装置および光走査装置における反射部材の取り付け方法 |
| JP2010008605A (ja) * | 2008-06-25 | 2010-01-14 | Fuji Xerox Co Ltd | 光走査装置及び画像形成装置 |
Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06148490A (ja) * | 1992-11-12 | 1994-05-27 | Minolta Camera Co Ltd | 光学部材保持機構及び光ビーム走査光学系 |
| JPH06208069A (ja) * | 1993-01-13 | 1994-07-26 | Fuji Xerox Co Ltd | 光学走査装置 |
| JPH06214174A (ja) * | 1993-01-19 | 1994-08-05 | Fuji Xerox Co Ltd | 光学走査装置 |
| JPH08234129A (ja) * | 1994-11-09 | 1996-09-13 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置 |
| JPH10311960A (ja) * | 1997-05-13 | 1998-11-24 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置 |
| JPH1114931A (ja) * | 1997-06-20 | 1999-01-22 | Fuji Xerox Co Ltd | 光学走査装置及び画像形成装置 |
| JPH11231240A (ja) * | 1998-02-19 | 1999-08-27 | Fuji Xerox Co Ltd | 光走査装置 |
| JPH11249040A (ja) * | 1998-02-27 | 1999-09-17 | Fuji Xerox Co Ltd | 光走査装置 |
| JP2000147408A (ja) * | 1998-11-09 | 2000-05-26 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置 |
-
2000
- 2000-08-17 JP JP2000247491A patent/JP4677657B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06148490A (ja) * | 1992-11-12 | 1994-05-27 | Minolta Camera Co Ltd | 光学部材保持機構及び光ビーム走査光学系 |
| JPH06208069A (ja) * | 1993-01-13 | 1994-07-26 | Fuji Xerox Co Ltd | 光学走査装置 |
| JPH06214174A (ja) * | 1993-01-19 | 1994-08-05 | Fuji Xerox Co Ltd | 光学走査装置 |
| JPH08234129A (ja) * | 1994-11-09 | 1996-09-13 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置 |
| JPH10311960A (ja) * | 1997-05-13 | 1998-11-24 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置 |
| JPH1114931A (ja) * | 1997-06-20 | 1999-01-22 | Fuji Xerox Co Ltd | 光学走査装置及び画像形成装置 |
| JPH11231240A (ja) * | 1998-02-19 | 1999-08-27 | Fuji Xerox Co Ltd | 光走査装置 |
| JPH11249040A (ja) * | 1998-02-27 | 1999-09-17 | Fuji Xerox Co Ltd | 光走査装置 |
| JP2000147408A (ja) * | 1998-11-09 | 2000-05-26 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置 |
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1367425A3 (en) * | 2002-05-31 | 2004-08-18 | Sony Corporation | Light scanning apparatus and two-dimensional image forming apparatus |
| US6924936B2 (en) | 2002-05-31 | 2005-08-02 | Sony Corporation | Light scanning apparatus and two-dimensional image forming apparatus |
| EP1367425A2 (en) * | 2002-05-31 | 2003-12-03 | Sony Corporation | Light scanning apparatus and two-dimensional image forming apparatus |
| JP4513470B2 (ja) * | 2004-09-09 | 2010-07-28 | 沖電気工業株式会社 | 光路調整素子、光路調整方法、光素子集積モジュール及び光素子集積モジュールの製造方法 |
| JP2006078773A (ja) * | 2004-09-09 | 2006-03-23 | Oki Electric Ind Co Ltd | 光路調整素子、光路調整方法、光素子集積モジュール及び光素子集積モジュールの製造方法 |
| JP2006171116A (ja) * | 2004-12-13 | 2006-06-29 | Canon Inc | 光走査装置及び画像形成装置 |
| JP2007313378A (ja) * | 2006-05-23 | 2007-12-06 | Keio Gijuku | 光学的物質操作装置 |
| WO2008006957A2 (fr) * | 2006-07-13 | 2008-01-17 | Beamind | Procede et dispositif de deflexion d'un faisceau lumineux pour balayer une surface cible |
| WO2008006957A3 (fr) * | 2006-07-13 | 2008-03-13 | Beamind | Procede et dispositif de deflexion d'un faisceau lumineux pour balayer une surface cible |
| FR2903785A1 (fr) * | 2006-07-13 | 2008-01-18 | Beamind Soc Par Actions Simpli | Procede et dispositif de deflexion d'un faisceau lumineux pour balayer une surface cible |
| JP2008139343A (ja) * | 2006-11-29 | 2008-06-19 | Konica Minolta Business Technologies Inc | 光走査光学装置 |
| JP2008139342A (ja) * | 2006-11-29 | 2008-06-19 | Konica Minolta Business Technologies Inc | 光走査光学装置 |
| JP2008191555A (ja) * | 2007-02-07 | 2008-08-21 | Canon Inc | 光走査装置および光走査装置における反射部材の取り付け方法 |
| JP2010008605A (ja) * | 2008-06-25 | 2010-01-14 | Fuji Xerox Co Ltd | 光走査装置及び画像形成装置 |
| JP4650526B2 (ja) * | 2008-06-25 | 2011-03-16 | 富士ゼロックス株式会社 | 光走査装置 |
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| Publication number | Publication date |
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