WO2008006957A3 - Procede et dispositif de deflexion d'un faisceau lumineux pour balayer une surface cible - Google Patents
Procede et dispositif de deflexion d'un faisceau lumineux pour balayer une surface cible Download PDFInfo
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Abstract
L' invention concerne un dispositif de déflexion d'un faisceau lumineux (11) perpendiculairement à une surface cible (5), comprenant : un premier miroir concave (4), pour dévier un premier faisceau lumineux (11), un second miroir concave de focalisation (1) pour dévier le premier faisceau lumineux après réflexion sur le premier miroir concave, le second miroir étant disposé de manière à réfléchir le premier faisceau lumineux parallèlement à une direction de réflexion (D1) du second miroir concave, et à le focaliser sur la surface cible (5), et un miroir plan (2, 3) pour dévier le premier faisceau lumineux (11) avant et/ou entre les premier et second miroirs concaves.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR0606410A FR2903785B1 (fr) | 2006-07-13 | 2006-07-13 | Procede et dispositif de deflexion d'un faisceau lumineux pour balayer une surface cible |
FR0606410 | 2006-07-13 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
WO2008006957A2 WO2008006957A2 (fr) | 2008-01-17 |
WO2008006957A3 true WO2008006957A3 (fr) | 2008-03-13 |
Family
ID=37820592
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
PCT/FR2007/001099 WO2008006957A2 (fr) | 2006-07-13 | 2007-06-29 | Procede et dispositif de deflexion d'un faisceau lumineux pour balayer une surface cible |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
FR (1) | FR2903785B1 (fr) |
TW (1) | TW200813478A (fr) |
WO (1) | WO2008006957A2 (fr) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102009000724A1 (de) * | 2009-02-09 | 2010-08-12 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung zum Ablenken von Lichtstrahlen |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO1992002838A1 (fr) * | 1990-07-28 | 1992-02-20 | Medical Research Council | Systeme de formation d'images a foyer commun utilise en microscopie |
JP2002062499A (ja) * | 2000-08-17 | 2002-02-28 | Minolta Co Ltd | 走査光学装置 |
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US20060007362A1 (en) * | 2004-06-09 | 2006-01-12 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Apparatus for and method of scaling a scanning angle and image projection apparatus incorporating the same |
-
2006
- 2006-07-13 FR FR0606410A patent/FR2903785B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-06-29 WO PCT/FR2007/001099 patent/WO2008006957A2/fr active Application Filing
- 2007-07-13 TW TW96125705A patent/TW200813478A/zh unknown
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EP1610099A2 (fr) * | 2004-06-22 | 2005-12-28 | Robert Bosch Gmbh | Indicateur scanner à diode lumineuse |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2903785B1 (fr) | 2008-10-31 |
TW200813478A (en) | 2008-03-16 |
WO2008006957A2 (fr) | 2008-01-17 |
FR2903785A1 (fr) | 2008-01-18 |
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NENP | Non-entry into the national phase |
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|
NENP | Non-entry into the national phase |
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|
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|
122 | Ep: pct application non-entry in european phase |
Ref document number: 07803808 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A2 |