JP2002056542A - 光学式記録媒体並びにその製造方法及び製造装置 - Google Patents

光学式記録媒体並びにその製造方法及び製造装置

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 情報再生時の読取信号に波形歪みが少ない読
取信号が得られる光学式記録媒体を提供する。 【解決手段】 互いに対となって周期的に屈曲しつつ並
設されたグルーブ情報トラック及びランド情報トラック
と、ランド情報トラックに予め形成されかつグルーブ情
報トラックに関連する情報を担持する複数のランドプリ
ピットと、少なくともグルーブ情報トラック及びランド
情報トラック上に形成された記録層と、を備える光学式
記録媒体であって、ランドプリピットはその非存在区間
でのグルーブ情報トラックの側面の平均曲率半径より小
なる平均曲率半径を有しかつグルーブ情報トラックの側
面から連続する曲面により画定され、ランドプリピット
の連続する曲面に対向するグルーブ情報トラックの側面
はグルーブ情報トラックを狭窄する曲面であり、ランド
プリピットの深さがグルーブ情報トラックの深さより大
である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明が属する技術分野】本発明は、光ディスク、光カ
ードなどの光学式記録媒体並びにその製造方法及び製造
装置に関する。
【0002】
【従来の技術】記録可能な光学式記録媒体、特に追記型
のDVD−R(Digital Versatile Disc-Recordable)
や、書換可能型のDVD−RW(Digital Versatile Dis
c-Re-recordable)など(以下、これら媒体を単にDVD
と総称する)が既に製品化されている。DVDにおい
て、画像情報などのデータの記録時の位置検索などに必
要なアドレス情報やウォブリング信号などのディスクの
回転制御に用いられる回転制御情報など(以下、これら
を総称してプリ情報という。)が予め記録されている。
【0003】回転制御情報は、製造時のプリフォーマッ
トの段階で、データを記録する情報トラック(グルーブ
トラック又はランドトラック)を、予め定められた周波
数(ウォブリング周波数)で一定の振幅の波型に予めウ
ォブリングさせることにより、記録されている。よっ
て、DVDに対して実際にデータを記録する際には、当
該ウォブリングされているトラックのウォブリング周波
数を検出し、これに基づいてDVDを回転制御するため
の基準クロックを抽出し、当該抽出した基準クロックに
基づいてDVDを回転させるスピンドルモータを回転制
御するための駆動信号を生成すると共に、DVDの回転
に同期したタイミング情報を含む記録用クロック信号を
生成している。
【0004】更に、データの記録時に必要なDVD上の
アドレスを示すアドレス情報については、二つの情報ト
ラックの間にあるトラック(例えば、ランドトラック)
に当該プリ情報に対応するプリピットを形成することに
よって記録されている。更に、必要に応じて当該プリピ
ットからも基準クロックが再生できるようにするため
に、当該プリピットはDVDの全面に渡ってほぼ均等に
形成されている。
【0005】図1は、DVDの一例の記録層及び断面の
構造を示す。図示されるように、DVDの例えば相変化
材料からなる記録層上には、予め、凸状のグルーブトラ
ックGV(グルーブ情報トラック)及び凹状のランドト
ラックLD(ランド情報トラック)が螺旋状もしくは同
心円状に交互に形成され、すなわち、予め両情報トラッ
クが1対となって繰り返し並設されている。
【0006】ランドトラックLD上には、グルーブトラ
ックGV上の位置を示すアドレス及び記録タイミングを
担う複数のランドプリピットLPPなどの関連する情報
が予め形成されている。ランドプリピットLPPの各々
は、隣接する両グルーブトラックGV間を連結する形態
で形成されており、ランドプリピットの表面は、グルー
ブトラックGVの表面と同一平面上に位置している。
【0007】なお、図1においては、情報記録再生装置
によって記録されるべきデータ(音声データ、映像デー
タ、及びコンピュータデータ)の記録が行われる前の形
態を示している。図1では各グルーブトラックGVは直
線的に示しているが、実際にはDVDの回転速度に対応
した周波数でウォブリングされている。すなわち、ラン
ドトラックLD及びグルーブトラックGVは互いに対と
なって周期的に屈曲しつつ並設されている。
【0008】ここで、かかるDVDに対してデータの記
録を行う情報記録再生装置は、このDVDからランドプ
リピットLPPを検出することによりグルーブトラック
GV上の位置を認識しつつ、図2に示すようにデータに
応じた記録光ビームをグルーブトラックGV上に集光照
射する。この際、かかる記録光ビームが照射された部分
を加熱し、グルーブトラックGVの部分に、周囲の反射
率とは異なる反射率の記録マーク部Mを形成する。な
お、1つのグルーブトラックについてのアドレスなどの
情報を備えたランドプリピットLPPは、そのグルーブ
トラックの外周側に形成されたものであるので、図2に
示したように各トラックの外周側のランドプリピットL
PPが検出されている。
【0009】情報記録再生装置は、ランドプリピットL
PPを検出するプリピット検出装置を有しており、プリ
ピット検出装置には図3に示すような4分割光検出器1
が含まれる。4分割光検出器1はDVDのグルーブトラ
ックGVに沿った方向と、そのグルーブトラックに直交
する方向とによって4分割された受光面1a〜1dを有
する光電変換素子からなる。受光面1a,1dはディス
ク外周側に位置し、受光面1b,1cはディスク内周側
に位置する。
【0010】スピンドルモータによって回転駆動される
DVDに対して読取光ビーム発生装置から読取光ビーム
が照射され、その記録層上に光スポットが形成される。
かかる光電変換素子は、その情報読取スポットによるD
VDからの反射光を4つの受光面1a〜1d各々によっ
て受光し、受光面1a〜1d各々の受光量に応じた電気
信号である受光信号Ra〜Rdを出力する。ディスク外
周側に位置する受光面1a,1dに対応した受光信号R
a,Rdは加算器2に供給され、ディスク内周側に位置
する受光面1b,1cに対応した受光信号Rb,Rcは
加算器3に供給される。加算器2は受光信号Ra,Rd
を加算し、加算器3は受光信号Rb,Rcを加算する。
更に、加算器2の出力信号から加算器3の出力信号が減
算器4にて差し引かれ、減算器4の出力信号がラジアル
プッシュプル信号として得られている。
【0011】図2に示すように照射された光スポット
が、データが記録されていないグルーブトラックGVを
中心としたランドプリピットLPPを含む位置にある場
合には、光ビームの回折により光検出器1の受光面1
a,1dへの反射光量が減少し、受光面1b,1cへの
反射光量が増加するので、加算器2の出力信号のレベル
が加算器3の出力信号のレベルより低下する。よって、
ランドプリピットLPPの位置に対応して減算器4から
出力されるラジアルプッシュプル信号は図4に示すよう
に急峻な谷部を示す波形となる。このラジアルプッシュ
プル信号は2値化回路5に供給され、予め定められた閾
値で2値化されることによりランドプリピットLPPが
検出されることになる。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】ところで、データを担
う記録マーク部Mを形成するため記録光ビームがランド
プリピットLPPの位置に照射される場合、記録光ビー
ムを照射した際の熱がグルーブトラックGVからランド
プリピットLPPの一部にも伝導され、図2に示すよう
に、ランドプリピットの非存在区間でのグルーブトラッ
クの記録マーク部Mより面積の大きい記録マーク部M1
が形成される。
【0013】従って、記録された状態のDVDから情報
データの再生を行うと、ランドプリピットLPP近傍の
記録マーク部M1を読み取った際の読取信号に波形歪み
が生じる場合があり、読み取りエラー率が高くなるとい
う問題があった。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述した点
に鑑みなされたものであり、情報再生時の読取信号に波
形歪みが少ない読取信号が得られる光学式記録媒体並び
にその製造方法及び製造装置を提供することを目的とす
る。
【0015】
【課題を解決するための手段】本発明の光学式記録媒体
は、互いに対となって周期的に屈曲しつつ並設されたグ
ルーブ情報トラック及びランド情報トラックと、前記ラ
ンド情報トラックに予め形成されかつ前記グルーブ情報
トラックに関連する情報を担持する複数のランドプリピ
ットと、少なくとも前記グルーブ情報トラック及びラン
ド情報トラック上に形成された記録層と、を備える光学
式記録媒体であって、前記ランドプリピットは、前記ラ
ンドプリピットの非存在区間での前記グルーブ情報トラ
ックの側面の平均曲率半径より小なる平均曲率半径を有
しかつ前記グルーブ情報トラックの側面から連続する曲
面により画定されていること、及び前記ランドプリピッ
トの前記連続する曲面に対向する前記グルーブ情報トラ
ックの側面は、前記グルーブ情報トラックを狭窄する曲
面であること、及び前記ランドプリピットの深さが前記
グルーブ情報トラックの深さより大であることを特徴と
する。
【0016】本発明の光学式記録媒体においては、前記
グルーブ情報トラックの深さに対する前記ランドプリピ
ットの深さの比率Rは1.0<R≦2.0であることを
特徴とする。本発明の光学式記録媒体においては、前記
グルーブ情報トラックは第1振幅の側面を有し、前記ラ
ンドプリピットは前記第1振幅よりも大なる第2振幅の
側面を有することを特徴とする。
【0017】本発明の光学式記録媒体においては、前記
ランドプリピットは、隣接するグルーブ情報トラックと
は離間していることを特徴とする。本発明の光学式記録
媒体においては、前記ランドプリピットのトラック接線
方向の長さと前記ランドプリピットのトラック接線方向
に垂直な方向の幅とは、前記ランドプリピットによる前
記グルーブ情報トラックから再生される情報信号のオフ
セットレベルが所定値未満でかつ前記ランドプリピット
の信号レベルが所定の範囲を満たす値に設定されている
ことを特徴とする。
【0018】本発明の光学式記録媒体においては、前記
所定値は0.05であり、前記所定の範囲は0.18〜
0.27であることを特徴とする。本発明の光学式記録
媒体の製造方法は、互いに対となって周期的に屈曲しつ
つ並設されたグルーブ情報トラック及びランド情報トラ
ックと、前記ランド情報トラックに予め形成されかつ前
記グルーブ情報トラックに関連する情報を担持する複数
のランドプリピットと、少なくとも前記グルーブ情報ト
ラック及びランド情報トラック上に形成された記録層
と、を備える光学式記録媒体の製造方法であって、記録
原盤に形成されたフォトレジスト層上に、前記記録原盤
に対して相対移動するカッティング光ビームをスポット
状に照射して、伸長する前記グルーブ情報トラックを形
成する工程と、前記カッティング光ビームの強度を増加
させつつ前記スポットを、前記グルーブ情報トラックが
伸長する方向に対し垂直な方向に偏倚させ、偏倚した前
記スポットを、前記グルーブ情報トラックが伸長すべき
位置に復帰させて、前記グルーブ情報トラックの側面か
ら連続する曲面により画定される側面を有する前記ラン
ドプリピットを形成するとともに、前記ランドプリピッ
トの側面に対向する前記グルーブ情報トラックの側面
を、前記グルーブ情報トラックを狭窄する曲面となすと
ともに、前記ランドプリピットの深さを前記グルーブ情
報トラックの深さより大とする工程と、を含むことを特
徴とする。
【0019】本発明の光学式記録媒体の製造方法におい
ては、前記グルーブ情報トラックの深さに対する前記ラ
ンドプリピットの深さの比率Rは1.0<R≦2.0で
あることを特徴とする。本発明の光学式記録媒体の製造
方法においては、前記ランドプリピットの側面は、前記
ランドプリピットの非存在区間での前記グルーブ情報ト
ラックの側面の平均曲率半径より小なる平均曲率半径を
有することを特徴とする。
【0020】本発明の光学式記録媒体の製造方法におい
ては、前記グルーブ情報トラックを形成する工程におい
て前記スポットを第1振幅で揺動せしめ、前記グルーブ
情報トラックを狭窄する曲面側面及び前記ランドプリピ
ットを画定する曲面側面を形成する工程において前記ス
ポットを前記第1振幅よりも大なる第2振幅で揺動せし
めることを特徴とする。
【0021】本発明の光学式記録媒体の製造方法におい
ては、前記ランドプリピットのトラック接線方向の長さ
と前記ランドプリピットのトラック接線方向に垂直な方
向の幅とは、前記ランドプリピットによる前記グルーブ
情報トラックから再生される情報信号のオフセットレベ
ルが所定値未満でかつ前記ランドプリピットの信号レベ
ルが所定の範囲を満たす値に設定されていることを特徴
とする。
【0022】本発明の光学式記録媒体の製造方法におい
ては、前記所定値は0.05であり、前記所定の範囲は
0.18〜0.27であることを特徴とする。本発明の
光学式記録媒体の製造装置は、互いに対となって周期的
に屈曲しつつ並設されたグルーブ情報トラック及びラン
ド情報トラックと、前記ランド情報トラックに予め形成
されかつ前記グルーブ情報トラックに関連する情報を担
持する複数のランドプリピットと、少なくとも前記グル
ーブ情報トラック及びランド情報トラック上に形成され
た記録層と、を備える光学式記録媒体の製造装置であっ
て、記録原盤に形成されたフォトレジスト層上に、前記
記録原盤に対して相対移動するカッティング光ビームを
スポット状に照射して、伸長する前記グルーブ情報トラ
ックを形成するトラック形成部と、前記カッティング光
ビームの強度を増加させつつ前記スポットを、前記グル
ーブ情報トラックが伸長する方向に対し垂直な方向に偏
倚させ、偏倚した前記スポットを、前記グルーブ情報ト
ラックが伸長すべき位置に復帰させて、前記グルーブ情
報トラックの側面から連続する曲面により画定される側
面を有する前記ランドプリピットを形成するとともに、
前記ランドプリピットの側面に対向する前記グルーブ情
報トラックの側面を、前記グルーブ情報トラックを狭窄
する曲面となすとともに、前記ランドプリピットの深さ
を前記グルーブ情報トラックの深さより大とするランド
プリピット形成部と、を含むことを特徴とする。
【0023】本発明の光学式記録媒体の製造装置におい
ては、前記グルーブ情報トラックの深さに対する前記ラ
ンドプリピットの深さの比率Rは1.0<R≦2.0で
あることを特徴とする。本発明の光学式記録媒体の製造
装置においては、前記ランドプリピットの側面は、前記
ランドプリピットの非存在区間での前記グルーブ情報ト
ラックの側面の平均曲率半径より小なる平均曲率半径を
有することを特徴とする。
【0024】本発明の光学式記録媒体の製造装置におい
ては、前記トラック形成部において、前記スポットを第
1振幅で揺動せしめ、前記ランドプリピット形成部にお
いて、前記スポットを前記第1振幅よりも大なる第2振
幅で揺動せしめることを特徴とする。本発明の光学式記
録媒体の製造装置においては、前記ランドプリピットの
トラック接線方向の長さと前記ランドプリピットのトラ
ック接線方向に垂直な方向の幅とは、前記ランドプリピ
ットによる前記グルーブ情報トラックから再生される情
報信号のオフセットレベルが所定値未満でかつ前記ラン
ドプリピットの信号レベルが所定の範囲を満たす値に設
定されていることを特徴とする。
【0025】本発明の光学式記録媒体の製造装置におい
ては、前記所定値は0.05であり、前記所定の範囲は
0.18〜0.27であることを特徴とする。
【0026】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照しつつ詳細に説明する。図5は、書き換え可能な
相変化型光ディスクの一例を示す。この光ディスク(D
VD−RW)11は、例えば、Ag−In−Sb−Te
などの相変化材料からなる媒体層及びこれを挟む例え
ば、ZnS−SiO2などのガラス質保護層からなる積
層構造の記録層15を備えている。記録層15上にグル
ーブトラック12とランドトラック13が形成されてい
る。この並設されたランド及びグルーブにより、再生光
又は記録光としてのレーザ光ビーム(B)を誘導する。
また、光ディスク11は光ビーム(B)を反射するため
の反射層16、透明基板(ポリカーボネート)18及び
接着層19を備えている。更に、光ビーム(B)の入射
面側にはそれらを保護するための透明膜(ポリカーボネ
ート)17が設けられている。
【0027】光ディスク11のランドトラック13に
は、プリ情報に対応するランドプリピット14が予め形
成されている。図5に示すように、ランドプリピット1
4の側面14aは、その非存在区間でのグルーブトラッ
ク12の側面12aの平均曲率半径より小なる平均曲率
半径の曲面であり、ランドプリピット非存在区間のグル
ーブトラック12の側面12aから連続するように形成
されている。グルーブトラック12は所定周波数でウォ
ブリングしているので、図6に示すように、グルーブト
ラックの側面はほぼ平面に近い、すなわちディスク平面
上では大きい曲率半径12Rの比較的緩やかな曲線で切
削され、プリ情報の一部がランドプリピット非存在区間
にウォブル周波数として記録されている。従って、グル
ーブトラック12の側面12aの平均曲率半径も比較的
大きいものとなる。この実施形態では、図6及び図7に
示すように、ランドプリピット14の側面14aは、グ
ルーブトラック12の大きい曲率半径12Rより遙かに
小さい急峻な曲線(ランドプリピット14の曲率半径1
4R)で切削されている。このように、グルーブトラッ
ク12は中心線(二点差線)から第1振幅A1の側面を
有し、ランドプリピット14は第1振幅よりも大なる第
2振幅A2の側面を有している。
【0028】ランドプリピット14の側面14aに対向
するグルーブトラック12の側面12bは、グルーブト
ラック12を狭窄する曲面である。このグルーブトラッ
ク12の側面12bは、対向するグルーブトラック12
の側面の延長線(図7の破線で示す)に到達しない程度
で狭窄するように形成することが好ましい。後に記録さ
れた記録マークMがランドプリピット隣接部に形成され
た場合に、記録マークMからの反射光量が減少するから
である。
【0029】本実施形態の更なる特徴は、図8に示すよ
うに、ランドプリピット14の深さGrをグルーブトラ
ック12の深さGdより大きくすることである。これに
より再生信号の特性、特にRFオフセットのレベルを低
減できる。次に、本実施形態の相変化型光ディスクへの
記録動作を説明する。図5に示すように、光ディスク1
1にユーザーデータ(プリ情報以外のユーザーなどが後
から記録する画像情報などのデータをいう)を記録する
際には、情報記録装置においてこのグルーブトラック1
2のウォブリング周波数を抽出することにより、光ディ
スク11を所定の回転速度で回転制御する。同時に、ラ
ンドプリピット14を検出することにより、予めプリ情
報を取得し、それに基づいて記録用光ビーム(B)の最
適出力などが設定される。また、ランドプリピット14
を検出することによりユーザーデータを記録すべき光デ
ィスク11上の位置を示すアドレス情報などが取得さ
れ、このアドレス情報に基づいてユーザーデータが対応
する位置に記録される。なお、光ディスク11に記録さ
れるユーザーデータはグルーブトラック12の中心線上
に反射率の異なる記録マーク部として記録される。
【0030】ユーザーデータの記録時には、光ビーム
(B)をその中心がグルーブトラック12の中心と一致
するように照射してグルーブトラック12上にユーザー
データに対応する記録マーク部を形成することにより、
ユーザーデータを記録する。この時、光スポット(S
P)の大きさは、その一部がグルーブトラック12だけ
ではなくランドトラック13にも照射されるように設定
される。
【0031】ランドトラック13に照射された光スポッ
ト(SP)の一部の反射光を用い、例えば、図3に示す
グルーブ12の接線(トラック方向)に平行な分割線に
より分割された光検出器を用いたラジアルプッシュプル
方式により、ランドプリピット14からプリ情報を取得
すると共にグルーブトラック12からウォブル信号を抽
出してディスクの回転に同期した記録用クロック信号を
検出する。
【0032】次に、実施例の光ディスクの製造装置及び
製造方法について説明する。まず、図9に相変化型光デ
ィスクのための原盤形成用の光ディスクカッティング装
置を示す。Krレーザ発振器201は露光用光ビームを
発生する。レーザ発振器201から発せられた光ビーム
は反射ミラー203,204にて各々反射されて対物レ
ンズ205に入射し、対物レンズ205を通過した光ビ
ームは記録原盤206上に照射される。反射ミラー20
2及び203間にはAO変調器(Acoustic Optical Modu
lator)207aが設けられており、FM変調器207か
ら供給される記録すべき映像信号や音声信号などの信号
をAO変調器207aによって、光ビームが該信号に応
じて変調を受ける。
【0033】AO変調器207aとして、非平行面を出
入射面とするウェッジプリズム、AOD(光響光学偏向
器)又は回転ミラーが使用される。AO変調器207a
は例えば、約300MHzの中心周波数の高周波電気信
号を入力し、その中心周波数を変化させることによっ
て、1次回折光の回折角度が変化することを利用するも
のである。一方、ウェッジプリズム及び回転ミラーを使
用するものとしては、これらを回動駆動するDCモー
タ、ステッピングモータ、ピエゾ素子などの駆動系を制
御して、その屈折光及び反射光の偏向を用いる。変調さ
れた露光用光ビームにより、回転する記録原盤6上のポ
ジ型フォトレジスト層が露光される。また、反射ミラー
203及び204間には光ビームエキスパンダ208が
設けられており、これによって対物レンズ205のレン
ズ一杯にビームを入射させるために光ビーム径が拡大さ
れる。
【0034】一方、対物レンズ5を駆動しフォーカスサ
ーボをなすためにHeNeレーザ発振器210を含むフ
ォーカスサーボ用光学系が光ディスクカッティング装置
に用いられている。レーザ発振器210から発せられた
光ビームは反射ミラー211及びダイクロイックミラー
212によって各々反射され露光用光ビームに合流後、
反射ミラー204に入射する。対物レンズ208を通過
した光ビームは記録原盤206上に照射される。なお、
レーザ発振器210のフォーカス用光ビームは、記録原
盤206を露光することがないよう、その波長及び強度
が選定されている。反射ミラー211及びダイクロイッ
クミラー212間には偏光ビームスプリッタ213が設
けられており、記録原盤206からの反射光は対物レン
ズ205を通過して反射ミラー204及びダイクロイッ
クミラー212によって反射され、偏光ビームスプリッ
タ213によって反射されてシリンドリカルレンズ21
4を介して4分割光ディテクタ215に供給される。光
ディテクタ215の各出力信号はフォーカスサーボ制御
回路216に供給され、フォーカスサーボ制御回路21
6は光ディテクタ215の各出力信号に応じて対物レン
ズ205のアクチュエータ217を駆動する。
【0035】さらにまた、記録原盤206を保持しこれ
を回転せしめるターンテーブル219を回転せしめるス
ピンドルモータ220の回転を制御するスピンドルサー
ボ回路221と、対物レンズ205を含む光学系などを
担持する光ヘッドを記録原盤206の半径方向において
移動せしめる駆動モータ222の回転を制御するする光
ヘッド送りサーボ回路223とが、光ディスクカッティ
ング装置に備えられている。
【0036】かかる光ディスクカッティング装置におい
ては、コントローラ260がレーザ発振器201、変調
器207、サーボ系216,221,223を制御す
る。これによって、LPP信号を重畳したウォブリング
信号で変調された1つの光ビームで、記録原盤のポジ型
フォトレジスト層に照射露光し、所定グルーブ及びプリ
ピットすなわちグルーブ情報トラック及びランドプリピ
ットの潜像を記録原盤に形成する。
【0037】このように光ディスクカッティング装置
は、グルーブ情報トラックを形成するトラック形成部
と、グルーブ情報トラックの側面から連続する曲面によ
り画定される側面を有するランドプリピットを形成する
ランドプリピット形成部とを含んでいる。トラック形成
部としてのコントローラ260は、変調器207へ入力
するLPP信号を重畳したウォブリング信号のウォブリ
ング信号成分期間においては、レーザ発振器201へ一
定出力光を射出する信号を供給する。一方、ランドプリ
ピット形成部としてのコントローラ260は、カッティ
ング光ビームの強度を増加させつつスポットを、グルー
ブ情報トラックが伸長する方向に対し垂直な方向に偏倚
させ、偏倚したスポットを、グルーブ情報トラックが伸
長すべき位置に復帰させて、同時に、ランドプリピット
の側面に対向するグルーブ情報トラックの側面を、グル
ーブ情報トラックを狭窄する曲面となすとともに、LP
P信号重畳ウォブリング信号のLPP信号成分期間に同
期してレーザ発振器201へ強度変調した出力光を射出
させる信号を供給して、ランドプリピットの深さをグル
ーブ情報トラックの深さより大とするような潜像を形成
する。
【0038】次に、かかる光ディスクカッティング装置
を用いた製造方法について説明する。まず、光ディスク
カッティング装置に、ガラス円盤206aの主面上にフ
ォトレジスト層206bを形成した記録原盤206を、
レーザーカッティング装置のターンテーブル219に載
置する。なお、フォトレジスト層206bの膜厚は光ビ
ームにより貫通して露光されない十分な膜厚から選定さ
れる。その後、テーブルを回転させ、図9に示すよう
に、LPP信号重畳ウォブリング信号のウォブリング信
号成分で変調された光ビームLa1を、原盤上を螺旋又
は同心円状に相対移動させつつ、フォトレジスト層20
6b上に集光せしめ、グルーブトラック12用潜像を形
成する。次に、LPP信号重畳ウォブリング信号のLP
P信号成分によりAO変調器207aでカッティング光
ビームLa2のスポットを、グルーブトラック12が伸
長する方向に対し垂直な方向に偏倚させ、偏倚したスポ
ットを、グルーブトラック12が伸長すべき位置に復帰
させ、ランドプリピットの潜像をフォトレジスト層20
6bに形成する。この時、LPP信号重畳ウォブリング
信号を用いているので、図6に示すように、カッティン
グ光ビームLa2のスポットは一定間隔第1振幅(光ビ
ームLa1)よりも大なる第2振幅で揺動する。
【0039】実施形態においては、未露光原盤に強度変
調した光ビームを照射してフォトレジスト層206bを
露光させる。グルーブトラック12の形成期間おいて
は、強度の弱い光ビームLa1を照射すると、フォトレ
ジスト層206bの表層近傍(深さGd)が露光され
る。一方、ランドプリピット14の形成期間において
は、光ビームLa1よりも強度の強い光ビームLa2を
照射する。光ビームLa2は、光ビームLa1の場合よ
りも、さらにガラス円盤206aの方向へ深く(深さG
r、Gr>Gd)、フォトレジスト層206bを露光す
る。レーザ光の光強度分布は、光ビームの中心を最大強
度とするガウス分布を有している。光ビームLa1の光
強度分布における最大強度は、光ビームLa2の光強度
分布における最大強度よりも低い。したがって、光ビー
ムLa1によってフォトレジスト層206bに形成され
る潜像の幅W1(すなわち、グルーブトラック12の
幅)は、光ビームLaによってフォトレジスト層206
に形成される潜像の幅W2(すなわち、ランドプリピッ
ト14の幅)よりも狭い。よって、グルーブトラック1
2(深さGd)とランドプリピット14(深さGr)を
形成する際に、それらの深さの異なるとともにランドプ
リピット14の幅は、グルーブトラック12の幅よりも
広くなる。
【0040】次に、露光した記録原盤を現像装置(図示
せず)に装着し、これを現像して潜像部分を除去し、現
像された記録原盤を得る。図11に示すように、原盤に
おいて、グルーブトラック12の側面から連続する曲面
により画定される側面を有するランドプリピットを形成
するとともに、ランドプリピットの側面に対向するグル
ーブトラック12の側面によって、グルーブトラック1
2を狭窄する曲面として形成する。このようにして、ラ
ンドプリピット14の側面は、ランドプリピットの非存
在区間におけるグルーブトラック12の側面の平均曲率
半径より小なる平均曲率半径を有することになる。さら
に、ランドプリピット14は、グルーブトラック12の
深さGdより深い深さGrを有することになる。
【0041】次に、ポストベークで定着させた後、フォ
トレジスト層206b上にニッケル又は銀などの導電膜
をスパッタリング又は蒸着などによって形成し、例えば
ニッケル電鋳によりニッケルスタンパを形成して、該ス
タンパをガラス盤206aから分離して、ニッケルスタ
ンパを得る。該スタンパによって、例えば射出成形法
や、いわゆる2P法により、図10に示すものと同一の
所定プリ情報を有した樹脂光ディスク基板17のレプリ
カが作成される。
【0042】このようにして得られた光ディスク基板上
に、例えば保護膜、相変化材料媒体層、保護膜、反射膜
を順次積層し、接着層により他の基板に貼り合わせ、図
5に示す光ディスクが作成される。次に、本発明におけ
るランドプリピット14のトラック接線方向の長さ(L
PP length (μm))とトラック接線方向に
垂直な方向への偏倚量(シフト量)(LPP shif
t (μm))の最適値について説明する。
【0043】上述したようにして本発明の光学式記録媒
体によれば、ランドプリピット14は、グルーブトラッ
ク12をトラック伸張方向に対して垂直方向に急激に偏
倚することにより形成されている。このため、ランドプ
リピット14の長さ及びシフト量(図7)は、ランドプ
リピット自体の検出信号レベルに影響を及ぼすだけでな
く、グルーブトラック12に記録される情報ピットの再
生信号(RF信号)にも大きな影響を及ぼす。
【0044】DVDの記録フォーマットによれば、グル
ーブトラック上に形成される情報ピットは3T〜11T
と14Tの何れかの長さを取り得る。3T〜11Tは主
に8−16変調された情報信号によるものであり、14
Tは情報信号の各シンクフレームの先頭に付加された同
期信号(シンクコード)によるものである。周知のよう
に3Tの情報ピットに対するRF信号の変化幅は一番小
さく、発明者の実験確認によると、ランドプリピットに
よるRF信号レベルのオフセットレベル(RFオフセッ
ト)が0.05以上になると、この一番短い3Tの情報
ピットを読み誤り始めることを確認した。なお、未記録
のグルーブトラックを再生するときの全反射光量レベル
をレベル1としている。また、DVDフォーマットによ
れば、ランドプリピットの検出信号レベル(LPPレベ
ル)は0.18〜0.27でなければならないと規定さ
れている。
【0045】従って、本発明によるランドプリピットの
長さ及びシフト量は、RFオフセットが0.05未満で
あり、且つLPPレベルが0.18〜0.27となる値
に設定される。図12はこの2条件を満たすランドプリ
ピット14の長さ及びシフト量の取り得る範囲の一例を
示している。なお、同図におけるグルーブトラック12
の幅Gwは0.25μm、その深さGdは0.030μ
mとされている。
【0046】図12において、実線AはLPPレベルが
0.18となる条件ライン、実線BはLPPレベルが
0.21となる条件ライン、そして実線CはLPPレベ
ルが0.24となる条件ラインである。本例において、
LPPレベルが0.27以上となる条件ラインは存在し
ない。よって、LPPレベルが0.18〜0.27とな
るランドプリピット14の長さ及びシフト量の取り得る
範囲は、実線Aより右上側のエリアとなる。
【0047】一方、破線DはRFオフセットが0.02
となる条件ライン、破線EはRFオフセットが0.05
となる条件ライン、破線FはRFオフセットが0.08
となる条件ラインである。よって、RFオフセットが
0.05未満となるランドプリピット14の長さ及びシ
フト量の取り得る範囲は、実線Eより左下側のエリアと
なる。
【0048】以上のことから、上述した2条件(RFオ
フセット<0.05、LPPレベル=0.18〜0.2
7)を満たすランドプリピットの長さ及びシフト量は、
図12の実線Aと破線Eとの間によって示されるエリア
となり、このエリア内で自由に設定される。例えば、点
P1に示されるように、ランドプリピットの長さを0.
80μm、シフト量を0.36μm、点P2に示される
ように、ランドプリピットの長さを1.2μm、シフト
量を0.24μm、或いは点P3に示されるように、ラ
ンドプリピットの長さを2.0μm、シフト量を0.2
0μmに設定される。
【0049】なお、図12に示される各条件ラインは、
グルーブトラック幅Gw及びグルーブトラック深さGd
の値によって移動するため、注意が必要である。LPP
レベルの条件ラインA〜Cは、グルーブトラック幅Gw
を0.30μm、0.35μmと広げると、同図左下方
向に移動し、逆に狭くすれば、同図右上方向に移動す
る。また、条件ラインA〜Cは、グルーブトラック深さ
Gdを0.25μmから深くしても同図左下方向に移動
し、浅くすると同図右上方向に移動する。一方、RFオ
フセットの条件ラインD〜Fは、グルーブトラック幅G
wを広げると同図右上方向に移動し、逆に狭くすれば同
図左下方向に移動する。また、条件ラインD〜Fは、グ
ルーブトラック深さGdを深くすると同図左下方向に移
動し、逆に浅くすれば同図右上方向に移動する。
【0050】次に、本発明におけるランドプリピット1
4の深さの最適値について説明する。ランドプリピット
14の深さとグルーブクラック12の深さの比率(以
下、LPP/Gr深さ比率Rと述べる)に対するRFオ
フセットの変化の関係を調査した。図13は図12と同
様にグルーブクラック12を幅Gw=0.25μm、深
さGd=0.030μmとし、図12の点P1に示され
るようにランドプリピット14の長さを0.80μm、
シフト量を0.36μm、点P2に示されるようにその
長さを1.2μm、シフト量を0.24μm、点P3に
示されるようにその長さを2.0μm、シフト量を0.
20μm、また点P4に示されるようにその長さを1.
8μm、シフト量を0.32μmに設定した場合のLP
P/Gr深さ比率Rに対するRFオフセットの変化を測
定した。
【0051】図13に示されるように、点P1に示され
る条件でのRFオフセットは、LPP/Gr深さ比率R
が1、即ちランドプリピット14の深さとグルーブクラ
ック12の深さが同一の時、略0.04存在するが、L
PP/Gr深さ比率Rが大きく設定されるにつれて減少
し、LPP/Gr深さ比率Rが略1.15の時、ゼロに
なることが分かる。
【0052】同様に点P2及びP3に示される条件での
RFオフセットは、略同様に変化し、LPP/Gr深さ
比率Rが1の時、略0.035存在するが、LPP/G
r深さ比率Rが略1.1の時、ゼロになることが分か
る。そして、点P4に示されるように例えランドプリピ
ットの長さ及びシフト量が上述した2条件(RFオフセ
ット<0.05、LPPレベル=0.18〜0.27)
を満足しない値に設定されている場合であっても、LP
P/Gr深さ比率Rを略1.3に設定することにより、
RFオフセットをゼロに出来ることが分かる。
【0053】なお、図13に示される結果は、グルーブ
クラックの幅、深さにより変わることは勿論、グルーブ
クラック及びランドプリピットの底部の形状(実際のデ
ィスクにおいてはV字溝に近い形状で形成される)によ
って大きく変化し、各種条件によってはRFオフセット
をゼロにするLPP/Gr深さ比率Rは1.0<R≦
2.0を取り得る。
【0054】
【発明の効果】以上の如く、本発明によれば、ランドプ
リピットがその非存在区間におけるグルーブ情報トラッ
クの側面の平均曲率半径より小なる平均曲率半径を有し
かつグルーブ情報トラックの側面から連続する曲面によ
り画定されて、さらに、ランドプリピットの連続する曲
面に対向するグルーブ情報トラックの側面がグルーブ情
報トラックを狭窄する曲面でありかつランドプリピット
の深さがグルーブ情報トラックの深さより大きいので、
得られるRFオフセットが低減されランドプリピットの
信号を正確に検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】DVDの一部切欠部分斜視図。
【図2】DVDの部分平面図。
【図3】プリピット検出装置の構成を示すブロック図。
【図4】ラジアルプッシュプル信号を示すグラフ。
【図5】本発明によるDVDの一部切欠部分斜視図。
【図6】本発明によるDVDの部分平面図。
【図7】本発明によるDVDの部分平面図。
【図8】図7の線AAに沿った断面図。
【図9】本発明による光ディスク原盤形成用の光ディス
クカッティング装置を示すブロック図。
【図10】本発明による光ディスク原盤基板の一部切欠
部分斜視図。
【図11】本発明による光ディスク原盤基板の一部切欠
部分斜視図。
【図12】本発明による光ディスクで得られる或るラン
ドプリピット信号レベル範囲を示すグラフ。
【図13】本発明による光ディスクのグルーブトラック
の深さに対するランドプリピットの深さの比率と、得ら
れるランドプリピットからのRFオフセットの信号レベ
ルとの関係を示すグラフ。
【主要部分の符号の説明】
11 DVD−RW 12 グルーブトラック 13 ランドトラック 14 ランドプリピット 15 記録層 16 反射層 17 透明膜 18 透明基板 19 接着層
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G11B 7/26 501 G11B 7/26 501 (72)発明者 山口 淳 埼玉県所沢市花園4丁目2610番地 パイオ ニア株式会社所沢工場内 (72)発明者 谷口 昭史 埼玉県所沢市花園4丁目2610番地 パイオ ニア株式会社所沢工場内 (72)発明者 大島 清朗 山梨県中巨摩郡田富町西花輪2680番地 パ イオニアビデオ株式会社内 (72)発明者 松川 真 山梨県中巨摩郡田富町西花輪2680番地 パ イオニアビ デオ株式会社内 (72)発明者 田切 孝夫 山梨県甲府市大里町465番地 パイオニア ビデオ株式会社内 (72)発明者 山登 一広 山梨県甲府市大里町465番地 パイオニア ビデオ株式会社内 (72)発明者 米 竜大 埼玉県所沢市花園4丁目2610番地 パイオ ニア株式会社所沢工場内 Fターム(参考) 5D029 WA02 WA21 WA33 WB17 WC10 WD11 5D090 AA01 AA03 CC14 DD03 DD05 EE11 GG09 GG10 GG27 5D121 BB21 BB22 BB26 BB38

Claims (18)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 互いに対となって周期的に屈曲しつつ並
    設されたグルーブ情報トラック及びランド情報トラック
    と、前記ランド情報トラックに予め形成されかつ前記グ
    ルーブ情報トラックに関連する情報を担持する複数のラ
    ンドプリピットと、少なくとも前記グルーブ情報トラッ
    ク及びランド情報トラック上に形成された記録層と、を
    備える光学式記録媒体であって、 前記ランドプリピットは、前記ランドプリピットの非存
    在区間での前記グルーブ情報トラックの側面の平均曲率
    半径より小なる平均曲率半径を有しかつ前記グルーブ情
    報トラックの側面から連続する曲面により画定されてい
    ること、及び前記ランドプリピットの前記連続する曲面
    に対向する前記グルーブ情報トラックの側面は、前記グ
    ルーブ情報トラックを狭窄する曲面であること、及び前
    記ランドプリピットの深さが前記グルーブ情報トラック
    の深さより大であることを特徴とする光学式記録媒体。
  2. 【請求項2】 前記グルーブ情報トラックの深さに対す
    る前記ランドプリピットの深さの比率Rは1.0<R≦
    2.0であることを特徴とする請求項1記載の光学式記
    録媒体。
  3. 【請求項3】 前記グルーブ情報トラックは第1振幅の
    側面を有し、前記ランドプリピットは前記第1振幅より
    も大なる第2振幅の側面を有することを特徴とする請求
    項1記載の光学式記録媒体。
  4. 【請求項4】 前記ランドプリピットは、隣接するグル
    ーブ情報トラックとは離間していることを特徴とする請
    求項1記載の光学式記録媒体。
  5. 【請求項5】 前記ランドプリピットのトラック接線方
    向の長さと前記ランドプリピットのトラック接線方向に
    垂直な方向の幅とは、前記ランドプリピットによる前記
    グルーブ情報トラックから再生される情報信号のオフセ
    ットレベルが所定値未満でかつ前記ランドプリピットの
    信号レベルが所定の範囲を満たす値に設定されているこ
    とを特徴とする請求項1記載の光学式記録媒体。
  6. 【請求項6】 前記所定値は0.05であり、前記所定
    の範囲は0.18〜0.27であることを特徴とする請
    求項5記載の光学式記録媒体。
  7. 【請求項7】 互いに対となって周期的に屈曲しつつ並
    設されたグルーブ情報トラック及びランド情報トラック
    と、前記ランド情報トラックに予め形成されかつ前記グ
    ルーブ情報トラックに関連する情報を担持する複数のラ
    ンドプリピットと、少なくとも前記グルーブ情報トラッ
    ク及びランド情報トラック上に形成された記録層と、を
    備える光学式記録媒体の製造方法であって、 記録原盤に形成されたフォトレジスト層上に、前記記録
    原盤に対して相対移動するカッティング光ビームをスポ
    ット状に照射して、伸長する前記グルーブ情報トラック
    を形成する工程と、 前記カッティング光ビームの強度を増加させつつ前記ス
    ポットを、前記グルーブ情報トラックが伸長する方向に
    対し垂直な方向に偏倚させ、偏倚した前記スポットを、
    前記グルーブ情報トラックが伸長すべき位置に復帰させ
    て、前記グルーブ情報トラックの側面から連続する曲面
    により画定される側面を有する前記ランドプリピットを
    形成するとともに、前記ランドプリピットの側面に対向
    する前記グルーブ情報トラックの側面を、前記グルーブ
    情報トラックを狭窄する曲面となすとともに、前記ラン
    ドプリピットの深さを前記グルーブ情報トラックの深さ
    より大とする工程と、を含むことを特徴とする製造方
    法。
  8. 【請求項8】 前記グルーブ情報トラックの深さに対す
    る前記ランドプリピットの深さの比率Rは1.0<R≦
    2.0であることを特徴とする請求項7記載の製造方
    法。
  9. 【請求項9】 前記ランドプリピットの側面は、前記ラ
    ンドプリピットの非存在区間での前記グルーブ情報トラ
    ックの側面の平均曲率半径より小なる平均曲率半径を有
    することを特徴とする請求項7記載の製造方法。
  10. 【請求項10】 前記グルーブ情報トラックを形成する
    工程において前記スポットを第1振幅で揺動せしめ、前
    記グルーブ情報トラックを狭窄する曲面側面及び前記ラ
    ンドプリピットを画定する曲面側面を形成する工程にお
    いて前記スポットを前記第1振幅よりも大なる第2振幅
    で揺動せしめることを特徴とする請求項7記載の製造方
    法。
  11. 【請求項11】 前記ランドプリピットのトラック接線
    方向の長さと前記ランドプリピットのトラック接線方向
    に垂直な方向の幅とは、前記ランドプリピットによる前
    記グルーブ情報トラックから再生される情報信号のオフ
    セットレベルが所定値未満でかつ前記ランドプリピット
    の信号レベルが所定の範囲を満たす値に設定されている
    ことを特徴とする請求項7記載の製造方法。
  12. 【請求項12】 前記所定値は0.05であり、前記所
    定の範囲は0.18〜0.27であることを特徴とする
    請求項11記載の製造方法。
  13. 【請求項13】 互いに対となって周期的に屈曲しつつ
    並設されたグルーブ情報トラック及びランド情報トラッ
    クと、前記ランド情報トラックに予め形成されかつ前記
    グルーブ情報トラックに関連する情報を担持する複数の
    ランドプリピットと、少なくとも前記グルーブ情報トラ
    ック及びランド情報トラック上に形成された記録層と、
    を備える光学式記録媒体の製造装置であって、 記録原盤に形成されたフォトレジスト層上に、前記記録
    原盤に対して相対移動するカッティング光ビームをスポ
    ット状に照射して、伸長する前記グルーブ情報トラック
    を形成するトラック形成部と、 前記カッティング光ビームの強度を増加させつつ前記ス
    ポットを、前記グルーブ情報トラックが伸長する方向に
    対し垂直な方向に偏倚させ、偏倚した前記スポットを、
    前記グルーブ情報トラックが伸長すべき位置に復帰させ
    て、前記グルーブ情報トラックの側面から連続する曲面
    により画定される側面を有する前記ランドプリピットを
    形成するとともに、前記ランドプリピットの側面に対向
    する前記グルーブ情報トラックの側面を、前記グルーブ
    情報トラックを狭窄する曲面となすとともに、前記ラン
    ドプリピットの深さを前記グルーブ情報トラックの深さ
    より大とするランドプリピット形成部と、を含むことを
    特徴とする製造装置。
  14. 【請求項14】 前記グルーブ情報トラックの深さに対
    する前記ランドプリピットの深さの比率Rは1.0<R
    ≦2.0であることを特徴とする請求項13記載の製造
    装置。
  15. 【請求項15】 前記ランドプリピットの側面は、前記
    ランドプリピットの非存在区間での前記グルーブ情報ト
    ラックの側面の平均曲率半径より小なる平均曲率半径を
    有することを特徴とする請求項13記載の製造装置。
  16. 【請求項16】 前記トラック形成部において、前記ス
    ポットを第1振幅で揺動せしめ、前記ランドプリピット
    形成部において、前記スポットを前記第1振幅よりも大
    なる第2振幅で揺動せしめることを特徴とする請求項1
    3記載の製造装置。
  17. 【請求項17】 前記ランドプリピットのトラック接線
    方向の長さと前記ランドプリピットのトラック接線方向
    に垂直な方向の幅とは、前記ランドプリピットによる前
    記グルーブ情報トラックから再生される情報信号のオフ
    セットレベルが所定値未満でかつ前記ランドプリピット
    の信号レベルが所定の範囲を満たす値に設定されている
    ことを特徴とする請求項13記載の製造装置。
  18. 【請求項18】 前記所定値は0.05であり、前記所
    定の範囲は0.18〜0.27であることを特徴とする
    請求項17記載の製造装置。
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