JP2000113521A - 原盤ディスクの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 光ディスクを製造する原盤ディスクを良好に
得ることができるようにすることを目的とする。 【解決手段】 スパイラル状に形成されたランド部１ａ
とグルーブ部１ｂとの両方に情報記録領域が設けられ、
このランド部１ａとこのグルーブ１ｂとが光学ディスク
の１周毎に交互につなぎ合わされて１本のトラックを形
成し、さらにこのトラックが記録情報単位毎にセクタ分
割されて、これらセクタは夫々このセクタを特定するた
めのアドレス情報３がプリフォーマットされたヘッダ部
２ａ，２ｂとデータを記録するためのデータ部とからな
り、またこのヘッダ部２ａ，２ｂはこのアドレス情報３
がトラック中心から半径方向に一定量ウォブルされて配
置されている光学ディスクを製造する原盤ディスクの製
造方法において、この原盤ディスクのグルーブ部を回転
させながら露光する際に、露光ビームを光軸中心とは異
なる方向にウォブルさせると共に多重露光するようにし
たものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、スパイラル状に形
成されたランド部とグルーブ部との両方に情報記録領域
が設けられ、このランド部とグルーブ部とが光学ディス
クの１周毎に交互につなぎ合わされて１本のトラックを
形成し、さらに、このトラックが記録情報単位毎にセク
タ分割されて、これらのセクタは夫々このセクタを特定
するためのアドレス情報がプリフォーマットされたヘッ
ダ部とデータを記録するためのデータ部とからなり、ま
たこのヘッダ部はこのアドレス情報がトラック中心から
半径方向に一定量ウォブルされて配置されている光学デ
ィスクを製造する原盤ディスクの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、図７に示す如き、スパイラル状
に形成されたランド部１ａとグルーブ部１ｂとの両方に
情報記録領域が設けられ、このランド部１ａとグルーブ
部１ｂとが光学ディスク１の１周毎に交互につなぎ合わ
されて１本のトラックを形成し、さらに、このトラック
が記録情報単位毎にセクタ分割されて、これらのセクタ
は夫々このセクタを特定するためのアドレス情報がプリ
フォーマットされたヘッダ部２ａ，２ｂと、データを記
録するデータ部２ｃとからなり、またこのヘッダ部２
ａ，２ｂは図８（図８はヘッダ部２ａに対応）に示す如
くこのアドレス情報３がトラック中心から半径方向に一
定量ウォブルされて配置されている光学ディスク１を製
造する原盤ディスクを製造する方法として先に特開平９
−２９３２４２号公報に記載されている如きものが提案
されている。

【０００３】斯る従来の原盤ディスクの製造方法は表面
に所定厚のフォトレジストが塗布された原盤ディスクを
形成するディスク原盤（図７、図８の光ディスクと対応
する部分には同一符号を付して示す）を露光ビームで露
光（カッティング動作）するのにディスク原盤の１回転
毎にランド部１ａの露光（露光ビームなし）動作とグル
ーブ部１ｂの露光動作を交互に切り替えて行うととも
に、ヘッダ部２ａ，２ｂごとに露光ビームをトラック中
心に対して半径方向の内側及び外側に一定量変位させ
て、アドレス情報３をプリフォーマットするようにして
いる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】斯る、従来の原盤ディ
スクの製造方法の露光工程では、図９に示す如く露光ビ
ームの光軸中心４がちょうどグルーブ部１ｂもしくはラ
ンド部１ａの中心と一致するように設定され、アドレス
情報３のピットがグルーブ部１ｂに対して±１／２×Ｆ
_P ウォブルされて形成される。ここで、Ｆ_P は露光ビー
ムの送りピッチである。

【０００５】この場合、ヘッダ部２ａにおいて、３個所
の露光ビームの光軸切替え部分５，６，７が存在するが
特に真中部分６は他の部分５，７よりもウォブル量が大
きいため、長めの遷移時間を要し、冗長度増加の要因と
なる不都合があった。一般に光軸を切り替えるには音響
光学変調素子（ＡＯＤ）等が使用されるが、この音響光
学変調素子（ＡＯＤ）は、実際に光軸がずれるまでに時
間を有することや、光軸がずれている間にそのまま露光
ビームを照射すれば、原盤ディスク上に斜めにピットが
形成されてしまう問題がある。

【０００６】また原盤ディスクの露光工程においては、
グルーブ部１ｂの露光ビームの直径ａ₀ はトラックピッ
チＴ_P の半分と幅広であり、アドレス情報３のピットの
露光ビームの直径ａ₁ は略グルーブ部１ｂの幅の半分程
度としていた。

【０００７】この従来の露光工程で、この露光ビームの
形状差を作るには、このグルーブ部１ｂとアドレス情報
３のピットとで、径の異なる露光ビームを個別に用いる
か、１本の露光ビームを異なるパワーで照射する方法が
考えられる。

【０００８】ところで、径の異なる露光ビームを個別に
用いるときには、複数の露光ビームを使うため、露光装
置の光学調整が複雑になり実用的ではない。

【０００９】また、１本の露光ビームを異なるパワーで
照射する方法は、光学調整は容易であるが、極端な幅狭
のアドレス情報３のピットと極端な幅広のグルーブ部１
ｂとの両立が難しいことや、光軸切替えと同じようにパ
ワー切替えの新たな遷移領域が必要となり、更に冗長度
が増加する不都合があった。

【００１０】本発明は斯る点に上述不都合を改善し、上
述光ディスクを製造する原盤ディスクを良好に得ること
ができるようにすることを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明原盤ディスクの製
造方法は、スパイラル状に形成されたランド部とグルー
ブ部との両方に情報記録領域が設けられ、このランド部
とこのグルーブ部とが光学ディスクの１周毎に交互につ
なぎ合わされて１本のトラックを形成し、さらにこのト
ラックが記録情報単位毎にセクタ分割されて、これらセ
クタは夫々このセクタを特定するためのアドレス情報が
プリフォーマットされたヘッダ部とデータを記録するた
めのデータ部とからなり、また、このヘッダ部はこのア
ドレス情報がトラック中心から半径方向に一定量ウォブ
ルされて配置されている光学ディスクを製造する原盤デ
ィスクの製造方法において、この原盤ディスクのグルー
ブ部を回転させながら露光する際に、露光ビームを光軸
中心とは異なる方向にウォブルさせると共に多重露光す
るようにしたものである。

【００１２】斯る本発明によれば、原盤ディスクの露光
工程でグルーブ部を露光ビームを光軸中心とは異なる方
向にウォブルさせると共に多重露光するようにしたの
で、ヘッダ部のアドレス情報のピットをウォブルするこ
となく形成することができ、新たな遷移領域を設ける必
要がない。

【００１３】また、本発明によればアドレス情報のピッ
トを１重露光とし、グルーブ部を多重露光により形成す
るようにしているので、このアドレス情報のピット及び
グルーブ部を同一の露光ビームを使用して形成できる。

【００１４】更に本発明によればグルーブ部を露光する
ときの露光ビームのウォブル量を調整することによりグ
ルーブ部の幅を任意の幅とすることができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明原
盤ディスクの製造方法の実施の形態の例につき説明す
る。

【００１６】本例においては、図７、図８に示す如きス
パイラル状に形成されたランド部１ａとグルーブ部１ｂ
との両方に情報記録領域が設けられ、このランド部１ａ
とグルーブ部１ｂとが光学ディスク１の１周毎に交互に
つなぎ合わされて１本のトラックを形成し、さらにこの
トラックが記録情報単位毎に、セクタ分割されて、これ
らのセクタは夫々このセクタを特定するためのアドレス
情報がプリフォーマットされたヘッダ部２ａ，２ｂと、
データを記録するデータ部２ｃとからなり、またこのヘ
ッダ部２ａ，２ｂはアドレス情報３がトラック中心から
半径方向に一定量ウォブルされて配置されている光学デ
ィスク１を製造する原盤ディスクを製造する露光工程で
図１〜図３に示す如く行う如くする。図１は図７のヘッ
ダ部２ａの前後の露光ビームの走査を示し、図２はヘッ
ダ部２ｂの前後の露光ビームの走査を示す。

【００１７】図４はこの図１〜図３に示す如き露光ビー
ムの走査を得るのに使用される露光装置の例を示す。

【００１８】先ず、この図４の露光装置につき説明する
に、図４において、１０は装置全体のコントローラ、１
１はカッティング用の露光ビームを得るための第１の光
源、１２は第１のミラー、１３は光量検出手段、１４は
第２のミラー、１５は第２の光源、１６はビームスプリ
ッタ、１７は光検出器（ＰＤ）、１８は集光レンズ、１
９はフォーカス制御手段、２０はフォーカスアクチュエ
ータ、２１は表面にフォトレジスト２１ａが塗布された
原盤ディスク形成用のディスク原盤、２２はこの原盤デ
ィスク形成用のディスク原盤２１を回転するスピンドル
モータである。

【００１９】また、この図４において、２３はこのスピ
ンドルモータ２２の回転を制御する回転制御手段、２４
は送り制御手段、３０は光量調整手段、３１はヘッダ部
記録パターン発生手段、３２はタイミング発生手段、３
３は変調制御手段、３４は光変調手段、３５は偏向制御
手段、３６は光偏向手段である。

【００２０】斯る図４に示す如き露光装置においては、
コントローラ１０は、回転制御手段２３を介してスピン
ドルモータ２２をコントロールし、原盤ディスクを形成
するディスク原盤２１が所定の回転数となるように高精
度な回転制御を行う。また、コントローラ１０は、この
ディスク原盤２１を高精度で回転させたまま、送り制御
手段２４によりディスク原盤２１のフォトレジスト２１
ａの露光ビームとディスク原盤２１の相対位置を高精度
に位置決め制御し、スパイラルのトラックを露光（カッ
ティング）できる如くする。

【００２１】本例においては、この送り制御手段２４に
よる送りピッチをＦ_P とし、光ディスク１の半径方向に
隣接するランド部１ａ間、もしくはグルーブ部１ｂ間の
距離をトラックピッチＴ_P としたとき、 Ｔ_P ＝２Ｆ_Ｐ となる如くする。

【００２２】また、第２の光源１５は、露光ビームをデ
ィスク原盤２１上に集光するための集光レンズ１８の位
置制御を行うためのものであり、例えばヘリウム−ネオ
ン（Ｈｅ−Ｎｅ）レーザが用いられる。この第２の光源
１５からの光ビームはビームスプリッタ１６を通過し、
第２のミラー１４で反射され、集光レンズ１８でディス
ク原盤２１上に集光される。

【００２３】このディスク原盤２１からの戻り光はビー
ムスプリッタ１６まで同一経路を戻り、このビームスプ
リッタ１６で反射され、光検出器（ＰＤ）１７に入射さ
れる。

【００２４】フォーカス制御手段１９は、この光検出器
（ＰＤ）１７からの出力信号により、集光レンズ１８の
焦点方向のずれ量を検出し、後述露光ビームが絶えずデ
ィスク原盤２１上に焦点を結ぶようにフォーカスアクチ
ュエータ２０を制御し、集光レンズ１８の焦点方向の位
置を制御する。また、フォーカス制御手段１９の動作の
ＯＮ／ＯＦＦはコントローラ１０から制御される。

【００２５】次に本例によるディスク原盤２１のフォト
レジスト２１ａを露光する露光ビームの制御につき説明
する。このフォトレジスト２１ａを露光する露光ビーム
用光源である第１の光源１１は、例えばアルゴンレーザ
を用い、この第１の光源１１の出力光を光量調整手段３
０、光変調手段３４、光偏向手段３６、第１のミラー１
２及び第２のミラー１４及び集光レンズ１８を介して露
光ビームとしてディスク原盤２１のフォトレジスト２１
ａを露光する如くする。

【００２６】この光量調整手段３０は、この露光ビーム
用光源である第１の光源１１からの光ビームの出力パワ
ーをコントローラ１０により設定される値に調整し、光
変調手段３４に最適露光パワーを有する露光ビームを出
力する。

【００２７】ヘッダ部記録パターン発生手段３１は、コ
ントローラ１０から入力される記録用基準クロックＣＫ
及びパラレル又はシリアル形態で送られるデータパター
ン（アドレス情報）を受け、また、後述するタイミング
発生手段３２から図５Ｂに示す如き、１周毎に所定数本
例では４個の等間隔のヘッダ部識別ゲート信号Ｈ／Ｄを
受け、ヘッダ部２ａ，２ｂに記録するための図５Ｃに示
す如き所定の記録データ（アドレス情報）を発生する。

【００２８】この場合、本例においては、この記録デー
タ（アドレス情報）が図５Ｃに示す如く、１回転毎にヘ
ッダ部２ａ，２ｂの前半位置及び後半位置に対応する如
く切り替わる如くする。

【００２９】このタイミング発生手段３２は、コントロ
ーラ１０から記録用基準クロックＣＫと、ヘッダ部２
ａ，２ｂ領域を指定するための制御信号と、グルーブ部
１ｂとランド部１ａとを指定するための制御信号と、グ
ルーブ部１ｂのウォブル方向を設定する制御信号を受
け、また回転制御手段２３からディスク原盤２１の１回
転につき１回出力されるＰＧパルスを得、図５Ｂに示す
如きヘッダ部識別ゲート信号Ｈ／Ｄと、図５Ａに示す如
きディスク原盤２１の１周毎に極性が変わるランド部と
グルーブ部とが識別できるランド部／グルーブ部識別信
号Ｇ／Ｌと、図５Ｄに示す如きウォブル制御信号Ｗを発
生する如くする。

【００３０】本例においては、このウォブル制御信号Ｗ
は図５Ｄに示す如く、ヘッダ部２ａ，２ｂにおいてはウ
ォブルはなしとし、ディスク原盤２１の１周毎に、ウォ
ブル方向がディスク原盤２１の半径方向に異なる方向と
するようにすると共にこのウォブル量Ｗ_Ｐ を本例にお
いては１／４×Ｆ_P とする如くする。

【００３１】このウォブル方向が変化するのはヘッダ部
２ａ，２ｂの前端及び後端とする如くする。この場合、
ヘッダ部２ａ，２ｂにおいては露光ビームをウォブルし
ないので、ヘッダ部２ａ，２ｂのアドレス情報３のピッ
トの中心と光軸中心とが一致する。

【００３２】また本例においては、このウォブル制御信
号Ｗによるウォブル量Ｗ_P を露光ビームの送りピッチを
前述の如くＦ_P とし、この露光ビームの直径をａとした
とき ｜Ｆ_P −２Ｗ_P ｜≦ａ とする如くする。

【００３３】このようにすることによりディスク原盤２
１のグルーブ部２ｂにおいて多重露光、本例では２重露
光することができる。このとき形成できるグルーブ部１
ｂの幅ＧＷは ＧＷ＝｜Ｆ_a ＋ａ−２Ｗ_P ｜ となる。この場合、グルーブ部２ｂが最大幅（２×ａ）
となるのは Ｗ_P ＝１／２×｜Ｆ_P −ａ｜ のときである。

【００３４】即ち、この場合、このウォブル量Ｗ_P を適
宜選択することにより、このグルーブ部１ｂの幅をａ〜
２×ａとすることができる。また、このウォブル量Ｗ_P
は、Ｗ_P ＜１／２×Ｔ_P の範囲で設定することが望まし
い。

【００３５】このヘッダ部記録パターン発生手段３１に
得られる図５Ｃに示す如きヘッダ部記録データ（アドレ
ス情報）を変調制御手段３３を介して光変調手段３４に
供給し、この光変調手段３４において、この図５Ｃに示
す如きヘッダ部記録データ（アドレス情報）に応じて、
光量調整手段３０から出力される光ビームを強度変調
し、これを光偏向手段３６に供給する。

【００３６】また、タイミング発生手段３２よりの図５
Ｄに示す如きウォブル制御信号Ｗを偏向制御手段３５を
介して、光偏向手段３６に供給し、この光偏向手段３６
において、この図５Ｄに示す如きウォブル制御信号Ｗが
プラス側のときは光変調手段３４からの光ビームをディ
スク原盤２１の半径方向の例えば内側に１／４×Ｆ_Ｐ偏
位させ、またこのウォブル制御信号Ｗがマイナス側のと
きは、光変調手段３４からの光ビームをこのディスク原
盤２１の半径方向の例えば外側に１／４×Ｆ_Ｐ偏位させ
る如くする。この光偏向手段３６よりの光ビームを露光
ビームとしてディスク原盤２１の表面のフォトレジスト
２１ａに照射して、露光する如くし、原盤ディスクを形
成する。

【００３７】本例による図４に示す如き露光装置を使用
したときには、1 つの露光ビームで且つ露光ビームの直
径ａを変えることなく、図７、図８に示す如き、スパイ
ラル状に形成されたランド部１ａとグルーブ部１ｂとの
両方に情報記録領域が設けられ、このランド部１ａとグ
ルーブ部１ｂとが光学ディスク１の１周毎に交互につな
ぎ合わされて１本のトラックを形成し、さらにこのトラ
ックが記録情報単位毎にセクタ分割されて、これらのセ
クタは夫々このセクタを特定するためのアドレス情報３
がプリフォーマットされたヘッダ部２ａ，２ｂとデータ
を記録するデータ部２ｃとからなり、またこのヘッダ部
２ａ，２ｂはアドレス情報３がトラック中心から半径方
向に一定量±１／４×Ｆ_P ウォブルされて配置されてい
る光学ディスクを製造する原盤ディスクを製造すること
ができる。

【００３８】この場合、ディスク原盤２１上の露光ビー
ムの軌跡は図１、図２に破線で示す如くで、この露光ビ
ームの例えばｎ回転目のランド部１ａとグルーブ部１ｂ
との切り替え部のヘッダ部２ａにおいては図１に示す如
くこのヘッダ部２ａの前半にアドレス情報３のピットを
形成し、このヘッダ部２ａの後半はなにも形成せず、こ
のヘッダ部２ａの後端で内側に１／４×Ｆ_P ウォブル
し、このｎ回転目の露光ビームで図３に示す如くグルー
ブ部１ｂの外周側を露光形成（カッティング）する如く
する。この場合ウォブルは１／４×Ｆ_P なので、特別な
遷移領域を設けなくても良い。

【００３９】また、この露光ビームのｎ回転目のヘッダ
部２ｂにおいては図２に示す如く、ヘッダ部２ｂの前端
で露光ビームのウォブルをやめて、１／４×Ｆ_P だけ外
周側にもどり、このヘッダ部２ｂの前半にアドレス情報
３のピットを形成し、このヘッダ部２ｂの後半はなにも
形成せず、このヘッダ部２ｂの後端で内側に１／４×Ｆ
_P ウォブルし、このｎ回転目の露光ビームで図３に示す
如くグルーブ部１ｂの外周側を露光形成（カッティン
グ）する如くする。この場合ウォブル量は１／４×Ｆ_P
なので、特別な遷移領域を設けなくても良い。

【００４０】次にこの露光ビームのｎ＋１回転目のラン
ド部１ａとグルーブ部１ｂとの切り替え部のヘッダ部２
ａにおいては図１に示す如く、ヘッダ部２ａの前端で露
光ビームのウォブルをやめて、１／４×Ｆ_P だけ外周側
にもどり、このヘッダ部２ａの前半はなにも形成せず、
このヘッダ部２ａの後半にアドレス情報３のピットを形
成し、このヘッダ部２ａの後端で外周側に１／４×Ｆ_P
ウォブルし、このｎ＋１回転目の露光ビームで、図３に
示す如く、グルーブ部１ｂの内周側を露光形成（カッテ
ィング）する如くする。この場合ウォブルは１／４×Ｆ
_P なので特別な遷移領域を設けなくて良い。

【００４１】また、この露光ビームのｎ＋１回転目のヘ
ッダ部２ｂにおいては、図２に示す如く、ヘッダ部２ｂ
の前端で露光ビームのウォブルをやめて、１／４×Ｆ_P
だけ内側にもどり、このヘッダ部２ｂの前半はなにも形
成せず、このヘッダ部２ｂの後半にアドレス情報３のピ
ットを形成し、このヘッダ部２ｂの後端で外周側に１／
４×Ｆ_P ウォブルし、このｎ＋１回転目の露光ビームで
図３に示す如く、グルーブ部１ｂの内周側を露光形成
（カッティング）する如くする。この場合ウォブル量は
１／４×Ｆ_P なので特別な遷移領域を設けなくて良い。

【００４２】本例は上述の如くしてｎ回転目及びｎ＋１
回転目の露光ビームで１周毎のグルーブ部１ｂを形成
し、本例では上述を繰り返し、１周毎のグルーブ部１ｂ
を形成すると共にこのグルーブ１ｂとグルーブ１ｂとの
間にランド部１ａを形成する如くする。

【００４３】本例においては上述の如く、原盤ディスク
を形成するディスク原盤２１の露光工程でグルーブ部１
ｂを露光ビームを１周毎に異なる方向に１／４×Ｆ_P ウ
ォブルさせると共に２重露光するようにしたので、ヘッ
ダ部２ａ，２ｂのアドレス情報３のピットをウォブルす
ることがなく形成することができ、新たな遷移領域を設
ける必要がない。

【００４４】また、本例によればアドレス情報３のピッ
トを１重露光とし、グルーブ部１ｂを２重露光により形
成するようにしているので、このアドレス情報３のピッ
ト及びグルーブ部１ｂを同一の露光ビームを使用して形
成できる。

【００４５】更に、本例によれば、グルーブ部１ｂを露
光するときの露光ビームのウォブル量Ｗ_P を調整するこ
とにより、グルーブ部１ｂの幅即ちトラック幅を任意の
幅とすることができる。

【００４６】また、上述例においては、ヘッダ部２ａ，
２ｂのアドレス情報３をトラック中心から半径方向に一
定量ウォブルして、このヘッダ部２ａ，２ｂの前半及び
後半に千鳥状配置とした例につき述べたが、このヘッダ
部２ａ，２ｂのアドレス情報３を図６に示す如く片側配
置とするようにしても良い。

【００４７】このアドレス情報３を片側配置とするとき
にはヘッダ部記録データ（アドレス情報）を１周おきと
し、このヘッダ部記録データ（アドレス情報）をヘッダ
部２ａ，２ｂの全域に亘って記録するようにすれば良
い。その他は上述と同様とする。

【００４８】このアドレス情報３を片側配置とした場合
にも上述と同様の作用効果が得られることは勿論であ
る。

【００４９】尚、本発明は上述例に限ることなく、本発
明の要旨を逸脱することなく、その他種々の構成が採り
得ることは勿論である。

【００５０】

【発明の効果】本発明によれば原盤ディスクを形成する
ディスク原盤の露光工程でグルーブ部を露光ビームを１
周毎に異なる方向にウォブルさせると共に多重露光する
ようにしたので、ヘッダ部のアドレス情報のピットをウ
ォブルすることがなく形成することができ、新たな遷移
領域を設ける必要がない。

【００５１】また、本発明によればアドレス情報のピッ
トを１重露光とし、グルーブ部を多重露光により形成す
るようにしているので、このアドレス情報のピット及び
グルーブ部を同一の露光ビームを使用して形成できる。

【００５２】更に、本発明によれば、グルーブ部を露光
するときの露光ビームのウォブル量Ｗ_P を調整すること
により、グルーブ部の幅即ちトラック幅を任意の幅とす
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明原盤ディスクの製造方法の実施の形態の
例の説明に供する線図である。

【図２】本発明の実施の形態の例の説明に供する線図で
ある。

【図３】本発明の実施の形態の例の説明に供する線図で
ある。

【図４】露光装置の例を示す構成図である。

【図５】図４の説明に供する線図である。

【図６】本発明の実施の形態の他の例の説明に供する線
図である。

【図７】光ディスクの例の説明に供する線図である。

【図８】図７の要部の例を示す線図である。

【図９】図７の説明に供する線図である。

【符号の説明】

１‥‥光ディスク、１ａ‥‥ランド部、１ｂ‥‥グルー
ブ部、２ａ，２ｂ‥‥ヘッダ部、３‥‥アドレス情報、
１０‥‥コントローラ、１１‥‥第１の光源、１３‥‥
光量検出手段、１５‥‥第２の光源、１７‥‥光検出
器、１８‥‥集光レンズ、１９‥‥フォーカス制御手
段、２０‥‥フォーカスアクチュエータ、２１‥‥ディ
スク原盤、２１ａ‥‥フォトレジスト、２２‥‥スピン
ドルモータ、２３‥‥回転制御手段、２４‥‥送り制御
手段、３０‥‥光量調整手段、３１‥‥ヘッダ部記録パ
ターン発生手段、３２‥‥タイミング発生手段、３４‥
‥光変調手段、３６‥‥光偏向手段

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 スパイラル状に形成されたランド部とグ
   ルーブ部との両方に情報記録領域が設けられ、前記ラン
   ド部と前記グルーブ部とが光学ディスクの１周毎に交互
   につなぎ合わされて１本のトラックを形成し、さらに、
   このトラックが記録情報単位毎にセクタ分割されて、こ
   れらのセクタは夫々当該セクタを特定するためのアドレ
   ス情報がプリフォーマットされたヘッダ部とデータを記
   録するためのデータ部とからなり、また前記ヘッダ部は
   前記アドレス情報がトラック中心から半径方向に一定量
   ウォブルされて配置されている光学ディスクを製造する
   原盤ディスクの製造方法において、前記原盤ディスクの
   グルーブ部を回転させながら露光する際に、露光ビーム
   を光軸中心とは異なる方向にウォブルさせると共に多重
   露光するようにしたことを特徴とする原盤ディスクの製
   造方法。
2. 【請求項２】 請求項１記載の原盤ディスクの製造方法
   において、 前記ウォブルを１周毎に異なる方向としたことを特徴と
   する原盤ディスクの製造方法。
3. 【請求項３】 請求項１記載の原盤ディスクの製造方法
   において、 前記ウォブルをヘッダ部において行なうようにしたこと
   を特徴とする原盤ディスクの製造方法。
4. 【請求項４】 請求項１記載の原盤ディスクの製造方法
   において、 前記ウォブルの量として、前記露光ビームの送りピッチ
   をＦ_P 、前記露光ビームの直径をａ、原盤ディスク上で
   のウォブル量をＷ_P としたとき、 ｜Ｆ_P −２Ｗ_P ｜≦ａ が成立するようにしたことを特徴とする原盤ディスクの
   製造方法。
5. 【請求項５】 請求項１記載の原盤ディスクの製造方法
   において、 前記原盤ディスクを回転させながら露光する際に、前記
   アドレス情報のピットの中心と光軸中心とを一致させる
   ようにしたことを特徴とする原盤ディスクの製造方法。
6. 【請求項６】 請求項５記載の原盤ディスクの製造方法
   において、 前記アドレス情報のピットを露光する露光ビームと、前
   記グルーブ部を露光するときの露光ビームとの寸法を同
   じものとしたことを特徴とする原盤ディスクの製造方
   法。
7. 【請求項７】 請求項５記載の原盤ディスクの製造方法
   において、 前記アドレス情報のピットのフォーマットが千鳥状の配
   置である場合、半径方向または、同一セクタ内で周方向
   に隣接するアドレス情報のピット同士が異なる周回露光
   ビームで露光するようにしたことを特徴とする原盤ディ
   スクの製造方法。