KR100464216B1 - 기록매체와 이를 제조하기 위한 장치 및 방법 - Google Patents

기록매체와 이를 제조하기 위한 장치 및 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 기록매체는 기판상에 주기적으로 나란히 형성된 곡면 부분을 갖는 홈트랙과 랜드 트랙쌍들과, 상기 랜드트랙 상에 미리 형성되어 있으며 상기 홈트랙에 관한 정보를 가지고 있는 다수개의 랜드 프리피트들 및 적어도 상기 홈트랙 및 상기 랜드트랙 상에 형성된 기록층을 포함한다. 랜드 프리피트는 랜드 프리피트가 존재하지 않는 영역에서 상기 홈트랙의 측면의 평균 곡률반경보다 작은 평균 곡률반경을 가지며, 상기 홈트랙의 측면으로부터 연속적으로 확장되는 곡면에 의해 정의된다. 랜드 프리피트의 연속적인 곡면과 대향하는 홈트랙의 측면은 홈트랙을 구속하는 곡면이다. 랜드 프리피트의 깊이는 홈트랙의 깊이보다 깊다.

Description

기록매체와 이를 제조하기 위한 장치 및 방법{RECORDING MEDIUM AND APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}
본 발명은 광디스크(optical disc) 또는 광카드(optical card)와 같은 기록매체와 이 기록매체를 제조하는 장치 및 방법에 관한 것이다.
기록가능한 기록매체, 특히 1회 기록용 DVD-R(Digital Versatile Disc-Recordable) 및 재기록 가능한 DVD-RW(Digital Versatile Disc-Re-Writable) (이하, 이들 기록매체를 일반적으로 DVD라고 하기로 한다)는 이미 제조되고 있다. DVD에는 데이터를 기록할 때 목표위치를 찾는데 필요한 화상정보와 같은 어드레스 정보와 디스크의 회전을 제어하는데 이용되는 워블링(wobbling) 신호와 같은 회전제어 정보가 미리 기록된다(이하, 이러한 정보를 일반적으로 사전정보(pre-information)라 하기로 한다).
회전제어 정보는 DVD의 제조시에 프리포맷(preformat) 위상으로 소정 주파수(워블링 주파수)의 소정의 진폭을 가진 파형으로 워블링 데이터 기록트랙(홈트랙(groove track) 또는 랜드트랙(land track))에 의해 기록된다.
따라서 DVD에 실제로 데이터를 기록하는 경우, 워블링된 트랙의 워블링 주파수가 검출되고, DVD의 회전을 제어하기 위한 기준클럭이 워블링 주파수에 따라 추출되며, DVD를 회전시키는 스핀들 모터의 회전을 제어하는 구동신호가 상기 추출된 기준클럭과 DVD의 회전과 동기되는 타이밍 정보를 포함하는 기록 클럭신호에 따라 생성된다.
또한, 데이터를 기록할 때 필요한 DVD상의 어드레스를 나타내는 어드레스정보는 상기 사전정보에 해당하는 프리피트(prepits)를 형성함으로써 기록된다. 상기 어드레스정보는 두 개의 트랙 사이에 위치하는 트랙(즉, 랜드트랙)에 형성된다. 또한, 상기 프리피트는 DVD의 전면에 걸쳐 거의 균일하게 형성되므로 필요에 따라서는 기준클럭을 프리피트로부터도 생성할 수 있다.
도1은 DVD상의 기록층의 일례 및 DVD의 단면을 나타낸 것이다. 도시된 바와 같이 볼록한 홈트랙(GV)과 오목한 랜드트랙(LD)을 예컨대 위상변화물질(phase change material)로 DVD상의 기록층상에 사전에 번갈아가면서 나선형 또는 동심원 형태로 형성한다. 즉, 홈트랙과 랜드트랙의 쌍들이 반복적으로 나란히 형성된다.
랜드트랙(LD)상에는 홈트랙(GV)상의 위치를 나타내는 어드레스와 기록 타이밍을 포함하고 있는 다수개의 랜드 프리피트(LPP)와 같은 관련정보가 미리 형성된다. 각각의 랜드 프리피트(LPP)는 인접한 두 개의 홈트랙(GV)을 연결하도록 형성되며, 각각의 랜드 프리피트의 표면은 이와 관련된 홈트랙들의 표면과 같은 레벨을 가진다.
도1은 정보기록 및 재생장치에 의해 기록할 데이터(오디오 데이터, 화상데이터 및 컴퓨터 데이터)를 기록하기 전의 모드를 나타낸 것이다. 도1에는 각각의 홈트랙(GV)을 선형태로 나타내었으나, 이 홈트랙은 DVD의 회전속도에 해당하는 주파수에서 워블링된다. 즉, 랜드트랙(LD)과 홈트랙(GV)의 쌍들은 주기적으로 휘면서 나란히 위치하게 된다.
DVD에 데이터를 기록하는 정보기록 및 재생장치는 도2에 나타낸 바와 같이 DVD로부터 랜드 프리피트(LPP)를 검출함으로써 홈트랙(GV)상의 위치를 확인해가면서 홈트랙상의 데이터에 따라 기록광(recording light beam)을 조사한다. 이때, 기록광이 조사된 부분이 가열됨으로써 기록 표시부분(M)이 형성된다. 이 기록 표시부분의 반사율은 홈트랙(GV)의 기록 표시부분상의 주위 반사율과 다르다. 어드레스와 같은 정보를 포함하는 랜드 프리피트(LPP)로서 대략 하나의 홈트랙이 홈트랙의 외부 트랙측에 형성되므로 각각의 트랙의 외부 트랙 상의 랜드 프리피트(LPP)는 도2에 나타낸 바와 같이 검출된다.
상기 정보기록 및 재생장치는 랜드 프리피트(LPP)를 검출하는 프리피트 검출장치를 구비하고 있다. 이 프리피트 검출장치는 도3에 나타낸 바와 같이 4-사분면(quadrant) 광검출기(1)를 포함한다. 4-사분면 광검출기(1)는 DVD의 홈트랙(GV)의 방향과 이 홈트랙의 방향과 직교하는 방향으로 4개의 부분으로 분리된 4개의 광수신 표면들(1a-1d)을 가진 광전 변환소자를 갖추고 있다. 광수신 표면(1a)과 광수신 표면(1d)은 DVD의 외부트랙 상에 위치하며, 표면(1b)와 표면(1c)은 DVD의 내부트랙 상에 위치한다.
리드빔(read right beam) 생성장치는 스핀들 모터에 의해 회전하는 DVD상에리드빔을 조사함으로써 기록층상에 빔스폿을 형성한다. 상기 광전 변환소자는 4개의 광수신 표면들(1a-1d)에서 DVD로부터 정보 리딩 스폿(information reading spot)의 반사광을 검출하고 광수신 표면들(1a-1d)에 의해 각각 검출된 양에 해당하는 수신신호(Ra-Rd) 또는 전기신호를 출력한다. DVD의 외부트랙 상에 위치하는 광수신 표면들(1a,1d)과 관련된 수신신호들(Ra,Rd)은 가산기(2)에 공급되며, DVD의 내부트랙 상에 위치하는 광수신 표면들(1b,1c)과 관련된 수신신호들(Rb,Rc)은 가산기(3)로 공급된다. 가산기(2)는 수신신호들(Ra,Rd)을 더하고, 가산기(3)는 수신신호들(Rb,Rc)을 더한다. 또한, 감산기(4)는 가산기(2)의 출력신호에서 가산기(3)의 출력신호를 감산하여 그 출력신호를 래디얼 푸쉬풀 신호(radial push-pull signal)로서 제공한다.
상기 조사된 빔스폿이 도2에 나타낸 바와 같이 중심에 데이터를 가지고 있지 않은 홈트랙(GV)의 중심에 위치하고 랜드 프리피트(LPP)를 포함하는 위치에 있으면, 빔의 회절에 의해 광검출기(1)의 광수신 표면들(1a,1d)로 반사된 광의 양은 감소하고 광수신 표면들(1b,1c)로 반사된 광의 양은 증가한다. 결과적으로 가산기(2)의 출력신호의 레벨은 가산기(3)의 출력신호의 레벨보다 낮아진다. 그러므로 랜드 프리피트(LPP)의 위치와 관련된 감산기(4)로부터 출력되는 래디얼 푸쉬풀 신호는 도4에 나타낸 바와 같이 날카로운 골의 모양을 갖는 파형을 가지게 된다. 래디얼 푸쉬풀 신호는 2진화 회로(5)로 공급되어 소정의 문턱값으로 2진화되어 랜드 프리피트(LPP)를 검출한다.
기록광이 랜드 프리피트(LPP)에 조사되어 데이터를 포함하는 기록표시부분(M)을 형성하면, 기록광의 조사에 의해 생성된 열이 홈트랙(GV)에서 랜드 프리피트(LPP)의 일부로 전달된다. 이에 따라 도2에 나타낸 바와 같이 랜드 프리피트가 존재하지 않는 영역에 홈트랙의 기록 표시부분(M)의 면적보다 큰 면적의 기록 표시부분(M1)이 형성된다.
따라서 정보데이터를 데이터가 기록된 DVD로부터 재생할 경우, 랜드 프리피트(LPP) 근처의 기록 표시부분(M1)을 읽어서 얻어지는 리드신호의 파형이 왜곡될 수 있으며 이는 높은 리드 에러율을 초래한다.
본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 정보의 재생시에 파형 왜곡을 덜 수반하는 리드신호를 제공하는 기록매체와 이 기록매체를 제작하는 장치 및 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
도1은 DVD의 부분적인 절단 사시도.
도2는 DVD의 부분적인 평면도.
도3은 프리피트 검출장치의 구조를 나타낸 블록도.
도4는 래디얼 푸쉬풀 신호(Radial push-pull signal)를 나타낸 그래프.
도5는 본 발명에 따른 DVD의 부분적인 절단 사시도.
도6은 본 발명에 따른 DVD상에 형성된 홈(groove)을 나타낸 부분적인 평면도.
도7은 본 발명에 따른 DVD를 나타낸 부분적인 확대 평면도.
도8은 도7의 A-A선에 따른 단면도.
도9는 본 발명에 따른 광디스크를 위한 마스터 디스크를 제조하기 위한 광디스크 절단장치를 나타낸 블록도.
도10은 본 발명에 따른 프리마스터(pre-master) 디스크 상에 형성된 잠상(latent image)을 나타낸 부분적인 절단 사시도.
도11은 본 발명에 따른 마스터 디스크의 부분적인 절단 사시도.
도12는 본 발명에 따른 광디스크로부터 얻어지는 랜드 프리피트(landprepit) 신호의 레벨범위를 나타낸 그래프.
도13은 얻어진 랜드 프리피트에 의한 RF신호 레벨과 본 발명에 따른 광디스크의 홈 깊이에 대한 랜드 프리피트의 깊이비율 간의 관계를 나타낸 그래프.
<도면 내 주요부분에 대한 부호의 설명>
1 : 광검출기 1a~1d : 광수신 표면들
2, 3 : 가산기 4 : 감산기
5 : 2진화 회로 11 : 광디스크
12 : 홈 트랙 12a, 12d, 14a : 측면
12r, 14r : 곡률반경 13 : 랜드 트랙
14 : 랜드 프리피트 15 : 기록층
16 : 반사층 17 : 투명막
18 : 투명 기판 19 : 접착층
201 : 발진기 202 : 반사거울
203 : 반사거울 205 : 대물렌즈
206 : 기록 마스터 디스크 206a : 유리 디스크
206b : 포토레지스트층 207 : 변조기
207a : AO변조기 208 : 빔 확장기
210 : 레이저 발진기 211 : 반사 거울
212 : 다이크로익 거울 213 : 편광빔 분리기
214 : 원통형 렌즈 215 : 광검출기
217 : 액츄에이터 216 : 포커스 서보 제어회로
216,221,223 : 서보 시스템들 260 : 제어장치
A1, A2 : 제1, 2진폭 B : 기록광
Gr, Gd : 깊이 Ra, Rd : 수신신호들
Sp : 빔스폿
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 기록매체는 기판상에 주기적으로 나란히 형성된 곡면 부분을 갖는 홈트랙과 랜드 트랙쌍들과, 상기 랜드트랙 상에 미리 형성되어 있으며 상기 홈트랙에 관한 정보를 가지고 있는 다수개의 랜드 프리피트들 및 적어도 상기 홈트랙 및 상기 랜드트랙 상에 형성된 기록층을 포함하되, 상기 랜드 프리피트는 상기 랜드 프리피트가 존재하지 않는 영역에서 상기 홈트랙의 측면의 평균 곡률반경보다 작은 평균 곡률반경을 가지며, 상기 홈트랙의 측면으로부터 연속적으로 확장되는 곡면에 의해 정의되며, 상기 랜드 프리피트의 연속적인 곡면과 대향하는 상기 홈트랙의 측면은 상기 홈트랙을 제한하는 곡면이며, 상기 랜드프리피트의 깊이는 홈트랙의 깊이보다 깊은 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의한 기록매체의 한 양상에 있어서, 상기 홈트랙에 대한 상기 랜드 프리피트의 깊이비 R은 1.0<R≤2.0의 범위내에 포함된다.
본 발명에 의한 기록매체의 다른 양상에 있어서, 상기 홈트랙은 제1진폭의 측면을 가지며, 상기 랜드 프리피트는 상기 제1진폭보다 큰 제2진폭의 측면을 가진다.
본 발명에 의한 기록매체의 다른 양상에 의하면, 상기 랜드 프리피트는 인접한 홈트랙으로부터 떨어져 위치한다.
본 발명에 의한 기록매체의 또 다른 양상에 의하면, 상기 트랙에 대한 접선방향의 상기 랜드 프리피트의 길이와 상기 트랙에 대한 접선방향과 직교하는 방향의 상기 랜드 프리피트의 폭은 랜드 프리피트에 의해 상기 홈트랙으로부터 재생되는 정보신호의 오프셋 레벨이 소정의 값보다 작고 상기 랜드 프리피트의 신호레벨이 소정 범위내에 있도록 하는 값으로 설정된다.
본 발명에 의한 기록매체의 또 다른 양상에 있어서, 상기 소정의 값은 0.05이고 소정의 범위는 0.18내지 0.27이다.
본 발명에 의한 기록매체의 제조방법은 기판상에 주기적으로 나란히 형성된 곡면 부분을 갖는 홈트랙과 랜드 트랙쌍들, 상기 랜드트랙 상에 미리 형성되어 있으며 상기 홈트랙에 관한 정보를 가지고 있는 다수개의 랜드 프리피트들 및 적어도 상기 홈트랙 및 상기 랜드트랙 상에 형성된 기록층을 포함하여 구성되는 기록매체를 제조하는 방법에 있어서, 기록 마스터 디스크상에 형성된 포토레지스트층상에상대적으로 상기 기록 마스터 디스크로 이동하는 커팅빔의 스폿을 조사하여 상기 홈트랙을 형성하는 단계와, 상기 커팅빔의 강도를 증가시킴과 동시에 상기 절단빔의 스폿을 상기 홈트랙이 확장되는 방향과 직교하는 방향으로 이동시키고, 상기 이동된 스폿을 상기 홈트랙이 확장되어야 할 위치로 되돌림으로써 상기 홈트랙의 측면으로부터 연속적으로 확장되는 곡면에 의해 정의되는 측면을 가진 상기 랜드 프리피트를 형성하고, 상기 홈트랙을 제한하는 곡면을 가진 랜드 프리피트의 상기 측면과 대향하는 상기 홈트랙의 측면을 형성하여 상기 랜드 프리피트의 깊이가 상기 홈트랙의 깊이보다 깊게 되도록 하는 단계를 포함하여 이루어진다.
본 발명에 의한 제조방법의 한 양상에 있어서, 상기 홈트랙에 대한 상기 랜드 프리피트의 깊이비율 R은 1.0<R≤2.0의 범위내에 포함된다.
본 발명에 의한 제조방법의 다른 양상에 있어서, 상기 랜드 프리피트의 측면은 상기 랜드 프리피트가 존재하지 않는 영역에서 상기 홈트랙의 측면의 평균 곡률반경보다 작은 평균 곡률반경을 가진다.
본 발명에 의한 제조방법의 다른 양상에 있어서, 상기 스폿은 상기 홈트랙을 형성하는 단계에서 제1진폭으로 워블링되도록 하고, 상기 홈트랙을 제한하는 곡면과 상기 랜드 프리피트를 정의하는 곡면을 형성하는 단계에서 상기 제1진폭보다 큰 제2진폭으로 워블링되도록 한다.
본 발명에 의한 제조방법의 또 다른 양상에 있어서, 상기 트랙에 대한 접선방향의 상기 랜드 프리피트의 길이와 상기 트랙에 대한 접선방향과 직교하는 방향의 상기 랜드 프리피트의 폭은 랜드 프리피트에 의해 상기 홈트랙으로부터 재생되는 정보신호의 오프셋 레벨이 소정의 값보다 작고 상기 랜드 프리피트의 신호레벨이 소정 범위내에 있도록 하는 값으로 설정된다.
본 발명에 의한 제조방법의 또 다른 양상에 있어서, 상기 소정의 값은 0.05이고 소정의 범위는 0.18내지 0.27이다.
본 발명에 의한 기록매체를 제조하기 위한 장치는, 기판상에 주기적으로 나란히 형성된 곡면 부분을 갖는 홈트랙과 랜드 트랙쌍들, 상기 랜드트랙 상에 미리 형성되어 있으며 상기 홈트랙에 관한 정보를 가지고 있는 다수개의 랜드 프리피트들 및 적어도 상기 홈트랙 및 상기 랜드트랙 상에 형성된 기록층을 포함하여 구성되는 기록매체를 제조하기 위한 장치에 있어서, 기록 마스터 디스크상에 형성된 포토레지스트층상에 상대적으로 상기 기록 마스터 디스크로 이동하는 절단빔의 스폿을 조사하여 상기 홈트랙을 형성하는 트랙 형성부와, 상기 절단빔의 강도를 증가시킴과 동시에 상기 절단빔의 스폿을 상기 홈트랙이 확장되는 방향과 직교하는 방향으로 이동시키고, 상기 이동된 스폿을 상기 홈트랙이 확장되어야 할 위치로 되돌림으로써 상기 홈트랙의 측면으로부터 연속적으로 확장되는 곡면에 의해 정의되는 측면을 가진 상기 랜드 프리피트를 형성하고, 상기 홈트랙을 제한하는 곡면을 가진 랜드 프리피트의 상기 측면과 대향하는 상기 홈트랙의 측면을 형성하여 상기 랜드 프리피트의 깊이가 상기 홈트랙의 깊이보다 깊게 되도록 만드는 랜드 프리피트 형성부를 포함하여 구성된다.
본 발명에 의한 제조장치의 한 양상에 있어서, 상기 홈트랙에 대한 상기 랜드 프리피트의 깊이비율 R은 1.0<R≤2.0의 범위내에 포함된다.
본 발명에 의한 제조장치의 다른 양상에 있어서, 상기 랜드 프리피트의 측면은 상기 랜드 프리피트가 존재하지 않는 영역에서 상기 홈트랙의 측면의 평균 곡률반경보다 작은 평균 곡률반경을 가진다.
본 발명의 의한 제조장치의 다른 양상에 있어서, 상기 스폿은 상기 홈트랙 형성부에서 제1진폭으로 워블링되도록 하고, 상기 랜드 프리피트 형성부에서 상기 제1진폭보다 큰 제2진폭으로 워블링되도록 한다.
본 발명에 의한 제조장치의 또 다른 양상에 있어서, 상기 트랙에 대한 접선방향의 상기 랜드 프리피트의 길이와 상기 트랙에 대한 접선방향과 직교하는 방향의 상기 랜드 프리피트의 폭은 랜드 프리피트에 의해 상기 홈트랙으로부터 재생되는 정보신호의 오프셋 레벨이 소정의 값보다 작고 상기 랜드 프리피트의 신호레벨이 소정 범위내에 있도록 하는 값으로 설정된다.
본 발명에 의한 제조장치의 다른 양상에 있어서, 상기 소정의 값은 0.05이고 소정의 범위는 0.18내지 0.27이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도5는 재기록 가능한 위상변화형 광디스크의 일례를 도시한 것이다. 광디스크(DVD-RW)(11)는 Ag-In-Sb-Te와 같은 위상변화물질로 형성된 매체층을 가진 기록층(15)과 상기 매체층의 상하에 형성된 예컨대 ZnS-SiO2로 이루어진 유리 보호층을 포함한다. 홈 트랙(12)과 랜드 트랙(13)은 상기 기록층(15)상에 형성된다. 나란히 위치하는 랜드 트랙과 홈트랙 쌍은 재생 또는 기록광으로서 레이저 빔(B)을 유도한다. 광디스크(11)는 레이저 빔(B)을 반사시키기 위한 반사층(16)과, 투명 기판(폴리카보네이트)(18) 및 접착층(19)을 갖추고 있다. 빔 조사면상에는 상기 층들을 보호하는 투명막(폴리카보네이트)(17)이 형성된다.
사전정보에 해당하는 랜드 프리피트(14)는 광디스크(11)상의 랜드트랙(13)상에 미리 형성된다. 도5에 나타낸 바와 같이 각각의 랜드 프리피트(14)의 측면(14a)은 랜드 프리피트가 존재하지 않는 영역에서 각각의 홈트랙(12)의 측면(12a)의 평균 곡률반경보다 작은 평균 곡률반경의 곡면을 가지며, 상기 랜드 프리피트가 존재하지 않는 영역에서 홈트랙(12)의 측면(12a)으로부터 연속되는 형태로 형성된다. 홈트랙(12)이 소정의 주파수에서 워블링됨에 따라 홈트랙(12)의 측면은 도6에 나타낸 바와 같이 거의 평탄하게 절단되거나 디스크의 평탄한 표면상에서 큰 곡률반경의 비교적 완만한 곡선으로 절단되며, 사전정보의 일부는 상기 랜드 프리피트가 존재하지 않는 영역에서 워블링 주파수로서 기록된다. 따라서 홈트랙(12)의 측면(12a)의 평균 곡률반경은 비교적 커지게 된다. 이에 따라 랜드 프리피트(14)의 측면(14a)은 도6 및 도7에 나타낸 바와 같이 홈트랙(12)의 곡률반경(12R)보다 상당히 작은 곡률반경(14R)의 곡선으로 절단된다. 각각의 홈트랙(12)은 중심선(도6의 점선)으로부터 제1진폭(A1)의 측면을 가지며, 각각의 랜드 프리피트(14)는 상기 제1진폭(A1)보다 큰 제2진폭(A2)의 측면을 갖는다.
랜드 프리피트(14)의 측면(14a)과 대향하는 홈트랙(12)의 측면(12b)은 홈트랙(12)을 구속하거나 좁아지게 만드는 곡면으로 이루어진다. 홈트랙(12)의 측면(12b)은 대향하는 홈트랙(12)의 측면의 확장선(도7의 파선)과 만나지 않을 정도로 만곡되게 형성하는 것이 바람직하다. 이것은 나중에 기록할 기록 표시(M)가 랜드 프리피트에 인접한 부분에 형성될 경우, 이 기록표시(M)로부터 반사되는 광의 양이 감소하기 때문이다.
본 실시예의 또 다른 특징은 도5 및 도6에 나타낸 바와 같이 랜드 프리피트(14)의 깊이(Gr)가 홈트랙(12)의 깊이(Gd)보다 깊다는 것이다. 이러한 특징은 재생된 신호의 특성을 향상시킨다. 즉, 재생된 신호의 RF 오프셋 레벨을 감소시킨다.
이제 위상변화형 광디스크의 동작을 설명한다. 광디스크(11)에 사용자 데이터(사전정보가 아닌 사용자에 의해 나중에 기록되는 화상데이터와 같은 데이터)를 기록할 경우, 도5에 나타낸 바와 같이 정보기록장치가 홈트랙(12)의 워블링주파수를 추출함으로써 광디스크(11)가 소정의 회전속도로 회전한다. 이와 동시에 랜드 프리피트(14)가 검출되어 기록광(B)의 최적파워의 설정 유무에 따라 사전정보가 얻어진다. 랜드 프리피트(14)가 검출됨에 따라 사용자 데이터가 기록될 광디스크(11)상의 영역을 나타내는 어드레스 정보가 구해지고 사용자 데이터가 이 어드레스 정보에 기초하여 상기 영역에 기록된다. 광디스크(11)에 기록되는 사용자 데이터는 다른 반사율을 가진 기록 표시부분으로서 홈트랙(12)의 중심선상에 기록된다.
사용자 데이터는 기록광(B)의 중심이 홈트랙(12)의 중심과 일치하도록 기록광(B)을 조사하여 사용자 데이터에 해당하는 기록 표시부분을 홈트랙(12)상에 형성함으로써 기록한다. 이때, 기록광의 빔스폿(SP)은 빔스폿(SP)의 일부가 홈트랙(12)뿐만 아니라 랜드 트랙(13)상에도 조사되도록 설정한다.
랜드 트랙(13)상에 조사되는 빔스폿(SP)의 일부의 반사광을 이용함으로써 예컨대 도3에 나타낸 바와 같이 접선(tangential line)(트랙방향)과 평행한 분리선에 의해 분리된 광수신 표면을 가진 광검출기를 이용하는 래디얼 푸쉬풀 시스템에 의해 랜드 프리피트(14)로부터 사전정보를 얻으며, 홈트랙(12)에서 워블링신호를 추출하여 광디스크의 회전에 동기되는 기록 클록신호를 검출한다.
본 발명의 일실시예를 이하에 상세히 설명한다.
도9는 위상변화형 광디스크를 위한 마스터 디스크를 제조하기 위한 광디스크 커팅장치를 나타낸 것이다. Kr 레이저 발진기(201)는 노광빔을 생성한다. 레이저 발진기(201)로부터 방출되는 노광빔은 반사거울(203,204)에서 반사되어 대물렌즈(205)로 입사된다. 대물렌즈(205)를 통과한 빔은 기록 마스터 디스크(206)에 조사된다. 반사거울(202)과 반사거울(203) 사이에는 AO변조기(Acoustic Optical modulator)(207a)가 위치하여 FM변조기(207)로부터 공급되는 화상신호 및 오디오신호에 따라 상기 빔을 변조시킨다.
상기 AO변조기로는 비평형면들이 광입사 및 출사면이 되는 웨지 프리즘(wedge prism), 즉, AOD(Acoustic Optical Deflector)(207a) 또는 회전거울이 사용된다. AOD(207a)는 예컨대 약 300MHz의 중심주파수를 가진 고주파 전기신호를 수신하고, 상기 중심주파수를 변화하면 1차 회절광의 회절각도가 변화하는 현상을 이용하여 변조를 수행한다. 웨지 프리즘 또는 회전거울을 사용하는 형태의 변조기는 DC모터, 스테핑모터 또는 피에조 소자와 같은 웨지 프리즘 또는 회전거울을 회전시키는 구동시스템을 제어하며, 굴절광과 반사광의 편향을 이용한다. 변조된노광빔은 회전하는 기록 마스터 디스크(206)상의 양성(positive) 포토레지스트층을 노광시킨다. 반사거울(203)과 반사거울(204) 사이에는 빔 확장기(208)가 마련되어 노광빔의 크기를 확장시켜 대물렌즈(205)를 채우는 빔이 렌즈(205)로 입사되도록 한다.
상기 광디스크 커팅장치는 포커스 서보(focus servo)를 위해 대물렌즈(205)를 작동시키기 위해 HeNe 레이저 발진기(210)를 포함하는 포커스 서보 광시스템을 이용한다. 레이저 발진기(210)로부터 방출되는 광은 반사거울(211)과 다이크로익(dichroic)거울(212)에 의해 반사되어 상기 노광빔과 합해진다. 이와 같이 합해진 빔은 반사거울(204)로 입사된다. 대물렌즈(205)를 통과한 광은 기록 마스터 디스크(206)에 조사된다. 레이저 발진기(210)로부터의 포커스광의 파장과 강도는 기록 마스터 디스크(206)를 노광시키지 않도록 선택된다. 반사거울(211)과 다이크로익 거울(212) 사이에는 편광빔 분리기(213)가 마련되어 있다. 기록 마스터 디스크(206)로부터 반사된 광은 대물렌즈(205)를 통과하여 반사거울(204)과 다이크로익 거울(212)에 의해 반사된 다음 상기 편광빔 분리기(213)에 의해 반사된다. 이와 같이 반사된 광은 원통형 렌즈(214)를 거쳐 4-사분면 광검출기(215)로 공급된다. 광검출기(215)의 각각의 출력신호는 광검출기(215)의 출력신호에 따라 대물렌즈(205)의 액츄에이터(217)를 구동하는 포커스 서보 제어회로(216)로 전달된다.
상기 광디스크 커팅장치는 그 상부에 탑재된 기록 마스터 디스크(206)를 회전시키는 턴테이블(219)을 회전시키기 위한 스핀들모터(220)의 회전을 제어하는 스핀들 서보회로(221)와, 대물렌즈(205)를 포함하는 광학 시스템을 갖춘 광학 헤드를기록 마스터 디스크(206)의 방사 방향으로 이동시키는 구동모터(222)의 회전을 제어하는 광학 헤드 공급 서보회로(223)를 더 포함한다.
제어장치(260)는 광디스크 커팅장치의 레이저 발진기(201), FM변조기(207) 및 서보 시스템들(216,221,223)을 제어한다. 제어장치(260)의 제어하에 LPP신호와 중첩되는 워블링신호로 변조된 단일광으로 기록 마스터 디스크(206)의 양성 포토레지스트층을 노광하고 이 양성 포토레지스트층의 노광된 부분을 피트(pit)로서 식각하고 현상하여 적어도 하나의 트랙을 형성한다.
다시 말하면, 광디스크 커팅장치는 홈트랙을 형성하기 위한 트랙 형성부와, 홈트랙의 측면으로부터 연속적으로 확장되는 곡면에 의해 정의되는 측면을 가진 랜드 프리피트를 형성하기 위한 랜드 프리피트 형성부를 포함한다.
트랙형성부의 역할을 하는 상기 제어장치(260)는 LPP신호와 중첩되는 워블링신호내의 워블링신호 성분의 주기동안 레이저 발진기(201)로 일정하게 광을 출력하고 변조기(207)로 광을 입력하기 위한 신호를 제공한다. 또한, 랜드 프리피트 형성부의 역할을 하는 제어장치(260)는 커팅빔(cutting light beam)의 강도를 증가시키며, 이와 동시에 상기 커팅빔의 조사된 스폿(irradiated spot)을 홈트랙(12)의 확장방향과 직교하는 방향으로 이동시킨 다음, 이 이동된 스폿을 홈트랙이 확장되어 홈트랙의 측면으로부터 연속적으로 확장되는 곡면에 의해 정의되는 측면들을 가진 랜드 프리피트를 형성하는 지점으로 되돌림으로써 곡면을 가진 랜드 프리피트의 측면과 대향하는 홈트랙의 측면이 홈트랙을 제한하도록 한다. 이와 동시에 도9의 상부에 도시한 두 개의 그래프로부터 명백하게 알 수 있는 바와 같이 제어장치(260)는 LPP신호와 중첩되는 워블링신호내의 LPP신호성분의 주기와 동기되는 레이저 발진기(201)로의 강도 변조(intensity-modulation)를 위한 신호를 제공하여 랜드 프리피트의 깊이가 홈트랙의 깊이보다 커지도록 잠상을 형성한다.
이러한 광디스크 출력장치를 이용한 마스터 디스크의 제조를 위한 기록방법을 이하에 설명한다.
우선, 유리 디스크(206a)의 주표면상에 형성된 포토레지스트층(206b)을 갖는 블랭크 기록 마스터 디스크(blank recording master disc)(206)를 레이저 커팅장치의 턴테이블(219)상에 장착한다. 포토레지스트층(206b)은 조사된 광이 포토레지스트층을 통과하는 무반응 조건을 회피하기 위하여 광과 반응하는데 충분한 두께를 가지도록 설계한다. 그런 다음, 도9에 나타낸 바와 같이 테이블(219)을 회전시키고, LPP신호와 중첩되는 워블링신호로 변조되는 커팅빔(La)을 나선형 또는 동심원 형태로 마스터디스크 상에서 이동시키면서 상기 포토레지스트층(206b)에 조사하여 홈트랙(12)을 위한 잠상을 형성한다. 소정의 타이밍에서 상기 커팅빔(La)의 스폿을 홈트랙(12)의 세로 확장방향과 직교하는 방향으로 이동시킨 다음, 이 이동된 스폿을 홈트랙(12)이 확장될 지점으로 되돌림으로써 포토레지스트층(206b)상에 트랙의 잠상을 형성한다. 이때 도6에 나타낸 바와 같이 LPP신호와 중첩된 워블링신호가 사용되기 때문에 절단빔 스폿은 제1진폭(A1)과 제1진폭보다 큰 제2진폭(A2)을 갖는 소정의 간격으로 워블링된다.
도10에 나타낸 바와 같이 강도변조된 광은 비노광된 부분에 조사되어 포토레지스트층(206b)을 부분적으로 변화시킨다. 워블링되는 홈트랙(12)의 형성시 낮은강도의 광(La1)이 포토레지스트층(206b)상에 공급되어 얕은 지점(도8의 깊이Gd)에서 포토레지스트층의 표면을 통과한다. 랜드 프리피트(14)의 형성시 광(La1)의 강도보다 높은 강도를 갖는 광(La2)은 포토레지스트층(206b)상에 공급되어 유리 디스크(206a) 근처의 깊은 지점(도8의 깊이Gr, Gr>Gd)에서 포토레지스트층의 표면을 깊게 통과한다. 레이저빔은 중심부가 최대강도가 되는 가우시안 광강도 분포를 갖는다. 광(La1)의 최대강도는 광(La2)의 최대강도보다 낮다. 그러므로 도10에 나타낸 바와 같이 포토레지스트층(206b)상에서의 광(La1)의 스폿 반경은 광(La2)의 스폿 반경보다 작으므로 워블링되는 홈트랙(12)의 잠상 폭(W1)은 랜드 프리피트(14)의 잠상 폭(W2)보다 좁다. 또한, 홈트랙(12)의 워블링되는 부분은 깊이와 폭이 랜드 프리피트(14)와 다르다. 랜드 프리피트(14)의 폭은 홈트랙(14)의 워블링 부분의 폭보다 넓다.
이어서 노광된 포토레지스트 마스터 디스크를 현상장치(도시하지 않은)내에 넣고 현상하여 잠상 부분을 제거함으로써 현상된 마스터 디스크를 얻는다.
도10에 나타낸 바와 같이 홈트랙(12)의 측면으로부터의 연속적인 곡면에 의해 정의되는 측면을 갖는 랜드 프리피트(14)를 홈트랙(12)의 측면에 의해 랜드 프리피트(14)의 측면과 대향되는 홈트랙(12)을 제한하는 곡면으로서 마스터 디스크상에 형성한다. 따라서 랜드 프리피트(14)의 측면은 랜드 프리피트가 존재하지 않는 영역에서 홈트랙(12)의 측면의 평균 곡률반경보다 작은 평균 곡률반경을 가진다. 랜드 프리피트(14)는 깊이(Gd)가 얕고 폭(W1)이 좁은 워블링 홈트랙(12)에 비해 그 깊이(Gr)가 깊고 폭(W2)이 넓다.
이어서 후속 베이킹(post baking)을 수행하여 마스터 디스크를 고정시킨 후, 니켈 또는 은으로 이루어진 도전막을 스퍼터링 또는 기상 증착법에 의해 포토레지스트층(206b)상에 형성하고 니켈 스탬퍼(stamper)를 예컨대 전기주조(electroforming)에 의해 형성한다. 니켈 스탬퍼는 유리 디스크(206a)와 분리시킨다. 스탬퍼를 이용함으로써 예컨대 사출성형(injection molding) 또는 이른바 2P 기구(scheme)에 의해 도10에 나타낸 것과 같은 소정의 사전정보를 갖는 수지로 이루어진 광디스크 기판을 복사한다.
예컨대 보호막, 위상변화물질로 이루어진 매체층, 보호막 및 반사막을 상기와 같이 얻어진 광디스크 기판상에 형성하고, 이와 같이 얻어진 기판에 접착층을 이용하여 다른 기판을 접착함으로써 도5에 나타낸 바와 같은 광디스크를 제조한다.
트랙에 대한 접선방향의 랜드 프리피트(14)의 길이(LPP 길이(㎛))와 트랙에 대한 접선방향과 직교하는 방향으로의 랜드 프리피트의 이동량(LPP 이동거리(㎛))에 대한 최적값을 이하에 설명한다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따른 기록매체에 의하면, 랜드 프리피트(14)는 트랙 확장방향과 직교하는 방향으로 홈트랙(12)을 재빠르게 이동시킴으로써 형성한다. 따라서 랜드 프리피트(14)의 길이와 이동량(도7에 도시함)은 랜드 프리피트의 검출신호 레벨뿐만 아니라 홈트랙(12)상에 기록된 피트의 재생신호(RF신호)에 크게 영향을 미친다.
DVD의 기록 포맷에 의하면, 홈트랙 상에 형성될 피트는 3T내지 11T 및 14T중의 어느 한 길이를 가질 수 있다. 3T내지 11T는 주로 8-16변조를 거친 정보신호에의해 주어지며, 14T는 정보신호의 각각의 동기 프레임의 헤드에 부가되는 동기신호(동기 코드)에 의해 주어진다.
잘 알려진 바와 같이 길이가 3T인 피트에 대한 RF신호에 있어서의 변화의 폭이 가장 작다. 본 발명자는 랜드 프리피트에 의한 RF신호의 오프셋 레벨(RF 오프셋)이 0.05와 같거나 0.05보다 클 때 가장 짧은 3T 피트의 리딩시에 오류가 발생하기 시작한다는 것을 실험을 통해 확인하였다. 레벨1은 기록되지 않은 홈트랙이 재생될 때의 반사광 전체의 양의 레벨을 나타낸다는데 주목하자. DVD 포맷은 랜드 프리피트의 검출신호 레벨(LPP 레벨)이 0.18내지 0.27이 되도록 규정한다.
따라서 본 발명에 의한 랜드 프리피트의 길이와 이동량은 RF 오프셋이 0.05 이하가 되고 LPP 레벨이 0.18내지 0.27의 범위 내에 있도록 설정한다.
도12는 상기 두 조건을 만족시키는 랜드 프리피트(14)의 길이 및 이동량의 가능한 범위를 예시한 것이다. 도면에서 홈트랙(12)의 폭(Gw)과 깊이(Gd)는 각각 0.25㎛와 0.030㎛로 설정한다.
도12에서 실선A는 LPP레벨이 0.18이 되는 조건적인 선(conditional line)이고, 실선B는 LPP레벨이 0.21이 되는 조건선이며, 실선C는 LPP레벨이 0.24가 되는 조건적인 선이다. 본 실시예에 있어서, LPP레벨이 0.27과 같거나 0.27보다 크게 되는 조건적인 선은 존재하지 않는다. LPP레벨이 0.18내지 0.27의 범위가 되도록 허용하는 랜드 프리피트(14)의 길이와 이동량의 가능한 범위는 실선A의 우측 상부의 영역이 될 것은 명백하다.
파선D는 RF 오프셋이 0.02가 되는 조건적인 선이고, 파선E는 RF 오프셋이0.05가 되는 조건선이며, 파선F는 RF 오프셋이 0.08가 되는 조건선이다. 따라서 RF 오프셋이 0.05보다 작아지도록 허용하는 랜드 프리피트(14)의 길이와 이동량의 가능한 범위는 파선E의 좌측 하부의 영역이 된다.
상술한 바와 같이 상기한 두 개의 조건(RF 오프셋<0.05, LPP레벨=0.18-0.27)을 만족시키는 랜드 프리피트(14)의 길이 및 이동량의 가능한 범위는 도12의 실선A와 파선E 사이에 위치하는 영역이 되며, 랜드 프리피트(14)의 길이와 이동량은 이 영역내에서 자유롭게 설정할 수 있다. 예를 들면, 랜드 프리피트의 길이는 점P1으로 나타낸 바와 같이 0.80㎛고 설정하고, 그 이동량은 0.36㎛로 설정한다. 또는 점P2로 나타낸 바와 같이 랜드 프리피트의 길이를 1.2㎛로 설정하고 그 이동량을 0.24㎛로 설정하거나 점P3로 나타낸 바와 같이 랜드 프리피트의 길이를 2.0㎛로 설정하고 그 이동량을 0.20㎛로 설정한다.
홈트랙의 폭(Gw)과 깊이(Gd)에 따라 도12에 도시된 각각의 조건선이 변화한다는 데 주목해야 한다. 홈트랙의 폭(Gw)이 0.30㎛, 0.35㎛ 등으로 넓어질수록 LPP레벨에 대한 조건선 A,B,C는 도면에서 아래쪽의 왼쪽으로 이동하며, 폭(Gw)이 좁아질수록 위쪽 오른쪽으로 이동한다. 또한, 홈트랙의 깊이(Gd)가 0.25㎛보다 깊어질수록 조건선 A,B,C는 도면에서 아래쪽 왼쪽으로 이동하며, 깊이(Gd)가 얕아질수록 위쪽의 오른쪽으로 이동한다. RF 오프셋에 대한 조건선 D,E,F는 홈트랙의 폭(Gw)이 넓어질수록 도면에서 위쪽 우측으로 이동하며, 폭(Gw)이 좁아질수록 아래쪽 왼쪽으로 이동한다. 홈트랙의 깊이(Gd)가 깊어질수록 조건선 D,E,F는 도면에서 아래쪽의 왼쪽으로 이동하며, 깊이(Gd)가 얕아질수록 위쪽 오른쪽으로 이동한다.
랜드 프리피트(14)의 바람직한 깊이를 첨부된 도면을 참조하여 이하에 설명한다.
본 발명자는 랜드 프리피트(14)와 홈트랙(12)의 깊이비(depth ratio)(이하, LPP/Gr 깊이비율R이라 함)에 대한 본 발명에 의해 얻어지는 광디스크의 RF 오프셋 레벨의 의존도를 조사하였다. LPP/Gr 깊이비 R에 따른 RF 오프셋 레벨을 도12의 조건과 유사한 조건에서 측정한다. 즉, 홈트랙(12)의 폭 Gw=0.25㎛, 깊이 Gd=0.030㎛이고, 랜드 프리피트의 길이는 도12의 점P1로 나타낸 바와 같이 0.80㎛, 그 이동량은 0.36㎛로 설정하거나, 도12의 점P2로 나타낸 바와 같이 랜드 프리피트의 길이를 1.2㎛, 그 이동량을 0.24㎛로 설정하거나, 도12의 점P3로 나타낸 바와 같이 랜드 프리피트의 길이를 2.0㎛, 그 이동량을 0.20㎛로 설정한다.
도13은 LPP/Gr 깊이비 R에 대한 RF 오프셋 레벨의 의존도를 나타낸 것이다. 여기서, 점P1의 조건 곡선은 LPP/Gr 깊이비 R이 1일 때, 즉, 랜드 프리피트(14)의 깊이와 홈트랙(12)의 깊이가 같을 경우, 약 0.04의 RF 오프셋에 위치한다. RF 오프셋 레벨은 LPP/Gr 깊이비 R이 증가할수록 감소하며, LPP/Gr 깊이비 R이 약 1.15가 되면 RF 오프셋 레벨은 0이 된다.
도13의 점P2 및 P3의 조건곡선은 점P1의 조건곡선과 유사하게 변화한다. LPP/Gr 깊이비 R이 1.0이 되면 RF 오프셋 레벨은 약 0.035가 되고, LPP/Gr 깊이비 R이 약 1이 되면 RF 오프셋 레벨은 대략 0이 된다.
예컨대 도12의 점P4의 조건곡선과 같이 랜드 프리피트의 길이와 이동량이 상술한 두 가지 조건(RF 오프셋<0.05, LPP레벨=0.18-0.27)을 만족시키는데 불충분할지라도 LPP/Gr 깊이비 R을 약 1.3으로 설정하면 RF 오프셋 레벨이 0이 되도록 할 수 있다.
또한, 도13에 도시한 결과는 홈트랙의 깊이와 폭 그리고 랜드 프리피트의 하부 모양에 의해 바뀔 수 있다. 랜드 프리피트의 하부 모양은 실제 광디스크에서 V형 단면으로 형성할 수 있다. RF 오프셋 레벨을 0으로 만들기 위해서는 LPP/Gr 깊이비R이 1.0＜R≤2.0의 범위내가 되도록 하는 것이 바람직하다.
상술한 바와 같이 본 발명에 의하면, 랜드 프리피트가 존재하지 않는 영역에서 랜드 프리피트는 홈트랙 측면의 평균 곡률반경보다 작은 평균 곡률반경을 가지며, 홈트랙의 측면으로부터 연속적으로 확장되는 곡면에 의해 정의되고 랜드 프리피트의 연속적인 곡면과 대향하는 홈트랙의 측면은 홈트랙을 제한하는 곡면이 된다. 랜드 프리피트의 깊이가 홈트랙의 깊이보다 깊기 때문에 광디스크이 RF 오프셋 레벨은 감소한다. 이러한 구조는 프리피트의 정확한 검출을 보장한다.
상기한 설명과 첨부된 도면은 본 발명의 바람직한 실시예들을 설명한 것이며, 본 발명의 기술 분야의 통상의 전문가라면 본 발명의 기술 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 다양한 변형, 추가 및 대안적인 설계가 가능함을 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명은 상술한 실시예에 의해 제한되는 것이 아니고 특허청구범위내에서 다양하게 실행될 수 있다는 것을 알아야 한다.

Claims (18)

  1. 기판과; 워블링 주파수에서 주기적으로 워블링하도록 상기 기판상에 주기적으로 나란히 형성된 곡면 부분을 갖는 홈트랙과 랜드 트랙쌍들; 상기 랜드트랙 상에 미리 형성되어 있으며 상기 홈트랙에 관한 정보를 가지고 있는 다수개의 랜드 프리피트들; 및 적어도 상기 홈트랙 및 상기 랜드트랙 상에 형성된 기록층을 포함하는 기록매체에 있어서,
    상기 랜드 프리피트는 상기 랜드의 둥근 노치부분이 되도록 상기 랜드 프리피트가 존재하지 않는 영역에서 상기 홈트랙의 측면의 평균 곡률반경보다 작은 평균 곡률반경을 갖는 측면을 가지며, 상기 각 랜드프리피트는 홈트랙 측면으로부터 상기 둥근 노치부분에 까지 돌출한 대향면을 가지며, 상기 랜드 프리피트의 깊이는 홈트랙의 깊이보다 깊은 것을 특징으로 하는 기록매체.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 홈트랙에 대한 상기 랜드 프리피트의 깊이비 R은 1.0＜R≤2.0의 범위내에 포함되는 것을 특징으로 하는 기록매체.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 홈트랙은 제1진폭의 측면을 가지며, 상기 랜드 프리피트는 상기 제1진폭보다 큰 제2진폭의 측면을 갖는 것을 특징으로 하는 기록매체.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 랜드 프리피트는 인접한 홈트랙으로부터 떨어져 위치하는 것을 특징으로 하는 기록매체.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 트랙에 대한 접선방향의 상기 랜드 프리피트의 길이와 상기 트랙에 대한 접선방향과 직교하는 방향의 상기 랜드 프리피트의 폭은 랜드 프리피트에 의해 상기 홈트랙으로부터 재생되는 정보신호의 오프셋 레벨이 0.05 보다 작고 상기 랜드 프리피트의 신호레벨이 0.18내지 0.27 내에 있도록 하는 값으로 설정되는 것을 특징으로 하는 기록매체.
  6. 삭제
  7. 기판상에 주기적으로 나란히 형성된 곡면 부분을 갖는 홈트랙과 랜드 트랙쌍들, 상기 랜드트랙 상에 미리 형성되어 있으며 상기 홈트랙에 관한 정보를 가지고 있는 다수개의 랜드 프리피트들 및 적어도 상기 홈트랙 및 상기 랜드트랙 상에 형성된 기록층을 포함하여 구성되는 기록매체를 제조하는 방법에 있어서,
    기록 마스터 디스크상에 형성된 포토레지스트층상에 상대적으로 상기 기록 마스터 디스크로 이동하는 커팅빔의 스폿을 조사하여 상기 홈트랙을 형성하는 단계와;
    상기 커팅빔의 강도를 증가시킴과 동시에 상기 절단빔의 스폿을 상기 홈트랙이 확장되는 방향과 직교하는 방향으로 이동시키고, 상기 이동된 스폿을 상기 홈트랙이 확장되어야 할 위치로 되돌림으로써 상기 홈트랙의 측면으로부터 연속적으로 확장되는 곡면에 의해 정의되는 측면을 가진 상기 랜드 프리피트를 형성하고, 상기 홈트랙을 제한하는 곡면을 가진 랜드 프리피트의 상기 측면과 대향하는 상기 홈트랙의 측면을 형성하여 상기 랜드 프리피트의 깊이가 상기 홈트랙의 깊이보다 깊게 되도록 하는 단계를 포함하는 기록매체의 제조방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 홈트랙에 대한 상기 랜드 프리피트의 깊이비율 R은 1.0＜R≤2.0의 범위내에 포함되는 것을 특징으로 하는 기록매체의 제조방법.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 랜드 프리피트의 측면은 상기 랜드 프리피트가 존재하지 않는 영역에서상기 홈트랙의 측면의 평균 곡률반경보다 작은 평균 곡률반경을 가지는 것을 특징으로 하는 기록매체의 제조방법.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 스폿은 상기 홈트랙을 형성하는 단계에서 제1진폭으로 워블링되도록 하고, 상기 홈트랙을 제한하는 곡면과 상기 랜드 프리피트를 정의하는 곡면을 형성하는 단계에서 상기 제1진폭보다 큰 제2진폭으로 워블링되도록 하는 것을 특징으로 하는 기록매체의 제조방법.
  11. 제7항에 있어서,
    상기 트랙에 대한 접선방향의 상기 랜드 프리피트의 길이와 상기 트랙에 대한 접선방향과 직교하는 방향의 상기 랜드 프리피트의 폭은 랜드 프리피트에 의해 상기 홈트랙으로부터 재생되는 정보신호의 오프셋 레벨이 0.05 보다 작고 상기 랜드 프리피트의 신호레벨이 0.18 내지 0.27 내에 있도록 하는 값으로 설정되는 것을 특징으로 하는 기록매체의 제조방법.
  12. 삭제
  13. 기판상에 주기적으로 나란히 형성된 곡면 부분을 갖는 홈트랙과 랜드 트랙쌍들, 상기 랜드트랙 상에 미리 형성되어 있으며 상기 홈트랙에 관한 정보를 가지고 있는 다수개의 랜드 프리피트들 및 적어도 상기 홈트랙 및 상기 랜드트랙 상에 형성된 기록층을 포함하여 구성되는 기록매체를 제조하기 위한 장치에 있어서,
    기록 마스터 디스크상에 형성된 포토레지스트층상에 상대적으로 상기 기록 마스터 디스크로 이동하는 절단빔의 스폿을 조사하여 상기 홈트랙을 형성하는 트랙 형성부와;
    상기 절단빔의 강도를 증가시킴과 동시에 상기 절단빔의 스폿을 상기 홈트랙이 확장되는 방향과 직교하는 방향으로 이동시키고, 상기 이동된 스폿을 상기 홈트랙이 확장되어야 할 위치로 되돌림으로써 상기 홈트랙의 측면으로부터 연속적으로 확장되는 곡면에 의해 정의되는 측면을 가진 상기 랜드 프리피트를 형성하고, 상기 홈트랙을 제한하는 곡면을 가진 랜드 프리피트의 상기 측면과 대향하는 상기 홈트랙의 측면을 형성하여 상기 랜드 프리피트의 깊이가 상기 홈트랙의 깊이보다 깊게 되도록 만드는 랜드 프리피트 형성부를 포함하는 기록매체 제조장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 홈트랙에 대한 상기 랜드 프리피트의 깊이비율 R은 1.0＜R≤2.0의 범위내에 포함되는 것을 특징으로 하는 기록매체 제조장치.
  15. 제13항에 있어서,
    상기 랜드 프리피트의 측면은 상기 랜드 프리피트가 존재하지 않는 영역에서 상기 홈트랙의 측면의 평균 곡률반경보다 작은 평균 곡률반경을 가지는 것을 특징으로 하는 기록매체 제조장치.
  16. 제13항에 있어서,
    상기 스폿은 상기 홈트랙 형성부에서 제1진폭으로 워블링되도록 하고, 상기 랜드 프리피트 형성부에서 상기 제1진폭보다 큰 제2진폭으로 워블링되도록 하는 것을 특징으로 하는 기록매체 제조장치.
  17. 제13항에 있어서,
    상기 트랙에 대한 접선방향의 상기 랜드 프리피트의 길이와 상기 트랙에 대한 접선방향과 직교하는 방향의 상기 랜드 프리피트의 폭은 랜드 프리피트에 의해 상기 홈트랙으로부터 재생되는 정보신호의 오프셋 레벨이 0.05 보다 작고 상기 랜드 프리피트의 신호레벨이 0.18 내지 0.27 내에 있도록 하는 값으로 설정되는 것을 특징으로 하는 기록매체 제조장치.
  18. 삭제
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