JP2002050669A - 無人搬送システム及びその制御方法 - Google Patents

無人搬送システム及びその制御方法

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JP2002050669A
JP2002050669A JP2001074875A JP2001074875A JP2002050669A JP 2002050669 A JP2002050669 A JP 2002050669A JP 2001074875 A JP2001074875 A JP 2001074875A JP 2001074875 A JP2001074875 A JP 2001074875A JP 2002050669 A JP2002050669 A JP 2002050669A
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    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • B23P21/00—Machines for assembling a multiplicity of different parts to compose units, with or without preceding or subsequent working of such parts, e.g. with programme control
    • G—PHYSICS
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    • G05B2219/30—Nc systems
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Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 ウェーハを一枚ずつロード及びアンロードで
きるように中央制御装置と無人搬送車との間の通信を可
能にした無人搬送システム及びその制御方法を提供す
る。 【解決手段】 設備ライン上を走行し、車体の走行のた
めの駆動装置と、カセットに／からウェーハを移送する
ための移送装置を有する無人搬送車１と、無人搬送車１
の作業を制御する中央制御装置１００とを含む無人搬送
システムにおいて、中央制御装置１００は無人搬送車１
と所定の通信プロトコルで通信する中央通信部１１０を
有し、無人搬送車１は、プロトコルに従って中央通信部
と通信する無線通信部３と、無線通信部に受信された命
令に従って移送装置２０を作動させてウェーハを移送
し、駆動装置の作動を制御する制御部５とを有すること
を特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、無人搬送システム
及びその制御方法に係り、より詳細には、ウェーハを一
枚ずつロード及びアンロードできるように中央制御装置
と無人搬送車との間の通信を可能にした無人搬送システ
ム及びその制御方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】無人搬送車は、生産工場などで使用され
る自動化設備の一つであって、生産工場内で設備の位置
した場所、即ち設定されたレイアウトに沿って移動しな
がら作業を行う。
【０００３】無人搬送車は四角筒形の車体と、車体を駆
動させるための駆動装置とを有する。駆動装置は、車体
の下部領域に設置されて車体を駆動する複数の駆動輪
(図示せず)と、車体を支持する複数のキャスターとを含
み、各駆動輪の側部には、バッテリーから提供された駆
動力によって駆動輪を駆動するホイール駆動モータが各
々取り付けられている。
【０００４】車体の前方には、障害物を感知するための
障害物センサーが設置され、駆動輪の前方には、軌道上
の被感知部からの信号を感知する一対のトラック感知セ
ンサーが設けられている。一方、無人搬送車は、外部の
中央制御装置との通信のための無人通信部と、無人通信
部に送信された中央制御装置からの命令に従って障害物
センサー及びトラック感知センサーから感知された信号
に基づいて各々のホイール駆動モータの駆動を制御する
制御部とを有する。
【０００５】このような無人搬送車のうち、設備間のウ
ェーハ移送のためのウェーハ移送用の無人搬送車は、図
４に示すように、車体の上部にカセット６０が安着され
る複数の安着板６５が形成されており、車体の一側上部
にはカセット６０のロード／アンロードのためのロボッ
トアーム５５が設けられている。
【０００６】かかる構成を有するウェーハ移送用の無人
搬送車５１は、ウェーハの検査のための検査装置が設け
られた設備ライン内で運行し、中央制御装置からの命令
に従って検査装置に／からカセット６０をロード／アン
ロードする。一般に、設備ライン内には同種の検査装置
が多数配置されており、無人搬送車５１に積載されたウ
ェーハはカセット６０単位に各検査装置に移送される。
カセット６０が移送されると各検査装置は、カセット６
０内に収容された各ウェーハを検査し、全てのウェーハ
に対する検査が完了されると、検査結果と検査完了信号
を中央制御装置に送信する。中央制御装置は各検査装置
からの検査結果に基づいて各ウェーハの異常有無を判断
し、次の工程にカセット６０を移送するように命令す
る。
【０００７】しかし、このような従来の無人搬送車５１
は、カセット６０単位にウェーハを検査装置に移送する
ため、検査装置でカセット６０内のウェーハを全て検査
しないと、各々のウェーハに対する検査結果が把握でき
なく、従って、ウェーハの検査結果を把握するまで比較
的長時間がかかった。また、検査するカセットが一つで
ある場合にもカセット内のウェーハが単一の検査装置に
よって検査されるため、カセット６０内の全てのウェー
ハの検査が完了されるまで他の検査装置は停止しなけれ
ばならなかった。従って、検査装置の効用性が低下し、
検査時間も遅延されるという問題があった。
【０００８】これらの問題を解決するために、単一のカ
セットを有し、ウェーハを一枚ずつ検査装置に積載する
移送装置が設けられた無人搬送車が提案された。このよ
うな無人搬送車の開発に伴って、一枚ずつウェーハを移
送するために中央制御装置と無人搬送車と間の通信を可
能にする新規の通信プロトコルシステムが必要となって
きた。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、ウェ
ーハを一枚ずつロード／アンロードできるように中央制
御装置と無人搬送車間の通信のためのプロトコルシステ
ムを有する無人搬送システム及びその制御方法を提供す
ることにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を解
決するため、 設備ライン上を走行し、車体の走行のた
めの駆動装置と、カセットに／からウェーハを移送する
ための移送装置を有する無人搬送車と、前記無人搬送車
の作業を制御する中央制御装置とを含む無人搬送システ
ムにおいて、前記中央制御装置は前記無人搬送車と所定
の通信プロトコルで通信する中央通信部を有し、前記無
人搬送車は、前記プロトコルに従って前記中央通信部と
通信する無線通信部と、前記無線通信部に受信された命
令に従って前記移送装置を作動させて前記ウェーハを移
送し、前記駆動装置の作動を制御する制御部とを有する
ことを特徴とする無人搬送システムを提供する。
【００１１】ここで、前記中央制御装置は、前記無人搬
送車のウェーハを前記設備ライン上の装備に積載するよ
うに要請する積載命令を送信し、前記積載命令は前記カ
セットのスロット内に収容されたウェーハのスロット番
号、前記ウェーハの回転位置、及び前記無人搬送車の充
電状態のうち少なくとも一つの情報を含むことが望まし
い。
【００１２】また、前記中央制御装置は、前記装備に積
載されたウェーハを前記無人搬送車に移送するように要
請する移送命令を送信し、前記移送命令は前記カセット
のスロット内に収容されたウェーハのスロット番号、前
記ウェーハの回転位置、及び前記無人搬送車の充電状態
のうち少なくとも一つの情報を含むことが望ましい。
【００１３】また、前記中央制御装置は、前記無人搬送
車の作業状態を報告するように要求する状態報告命令を
送信し、この状態報告命令は、前記無人搬送車の運行モ
ード、前記無人搬送車の作業状態、前記カセット内のウ
ェーハの積載状態、及びバッテリーの消費量のうち少な
くとも一つの情報を含むことが望ましい。
【００１４】さらに、本発明の他の様態によれば、設備
ライン上を走行し、車体の走行のための駆動装置と、カ
セットに／からウェーハを移送するための移送装置とを
有する無人搬送車と、前記無人搬送車の作業を制御する
中央制御装置とを含む無人搬送システムの制御方法にお
いて、前記中央制御装置から前記無人搬送車に所定の通
信プロトコルによる命令を送信する段階と、前記中央制
御装置から送信された命令に従って前記移送装置を作動
させて前記ウェーハを移送し、前記駆動装置の作動を制
御する段階と、を含むことを特徴とする無人搬送システ
ムの制御方法が提供される。
【００１５】ここで、前記命令を送信する段階は、前記
無人搬送車のウェーハを前記設備ライン上の装備に積載
するように要請する積載命令、前記装備に積載されたウ
ェーハを前記無人搬送車に移送するように要請する移送
命令、前記無人搬送車の作業状態の報告を要求する状態
報告命令のうち少なくとも一つを送信する段階であるこ
とが望ましい。
【００１６】前記積載命令と移送命令は、前記カセット
のスロット内に収容されたウェーハのスロット番号、前
記ウェーハの回転位置、及び前記無人搬送車の充電状態
のうち少なくとも一つの情報を含むことが望ましい。
【００１７】前記状態報告命令は、前記無人搬送車の運
行モード、前記無人搬送車の作業状態、前記カセット内
のウェーハの積載状態、及びバッテリーの消費量のうち
少なくとも一つの情報を含むことが望ましい。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、添付した図面を参照して本
発明の実施形態を詳しく説明する。本発明の無人搬送シ
ステムは、図１に示すように、設備ライン上を走行しな
がらウェーハを移送する無人搬送車１と、無人搬送車１
の作業を制御する中央制御装置１００とからなる。
【００１９】中央制御装置１００は、設備ライン内の各
検査装置(図示せず)と無人搬送車１からの情報に基づい
て無人搬送車１と各検査装置の作動を制御し、この中央
制御装置１００には、無人搬送車１に無線で命令を送信
し、無人搬送車１からの応答を受信する中央通信部１１
０が設けられている。
【００２０】無人搬送車１は、図１及び図２に示すよう
に、車体１３の上部にウェーハ３０を積載するためのカ
セット１０と、カセット１０に／からウェーハ３０をロ
ード／アンロードするための移送装置２０が設けられて
おり、移送装置２０は、車体１３の上部に安着された四
角筒形のケーシング１５内に収容されている。また、無
人搬送車１は、中央制御装置１００との通信のための無
線通信部３と、無線通信部３に送信された中央制御装置
１００からの命令に従って移送装置２０と他の部品の作
動を制御する制御部５とを有する。
【００２１】カセット１０は、多数のウェーハ３０が積
載されるように垂直方向に多数のスロット１１が形成さ
れており、各スロット１１は所定の間隔に離隔されてい
る。これにより、ウェーハ３０のロード／アンロード時
に後述する水平アームの出入りが容易になる。このよう
なカセット１０にはウェーハ３０の出入りのためにケー
シング１５に向いてオープンされた出入口が形成されて
いる。そして、ケーシング１５にはカセット１０の出入
口に対向して開口が形成されており、ケーシング１５の
側部には、ウェーハ３０を検査装置に移送するための移
送スリット９が形成されている。
【００２２】移送装置２０は、本体２１と、本体２１の
上部に設けられてウェーハ３０をピックアップしケーシ
ング１５の内外部に移送するための水平アーム２５と、
水平アーム２５を駆動させるための水平アーム駆動部と
を含む。水平アーム駆動部は、本体２１に形成されて水
平アーム２５のスライディングを案内する案内レール２
８と、水平アーム２５を駆動させるための水平アームモ
ータ(図示せず)とからなる。本体２１の下部には本体２
１を回動させるために垂直方向に設けられた回動軸３５
と、回動軸３５を回動させるための回動モータ(図示せ
ず)が設けられており、回動軸３５は昇降駆動部によっ
て昇降する。昇降駆動部は、回動軸３５の下部を取り囲
む中空軸４０と、回動軸３５を昇降させる昇降モータ
(図示せず)とを含む。水平アームモータ、回動モータ及
び昇降モータはステップモータから構成される。
【００２３】一方、水平アーム２５の自由端部には、中
央領域が半円状に切られて相互離隔された一対のウェー
ハ安着部２６が形成されており、ウェーハ安着部２６に
はウェーハ３０のロード／アンロード時にウェーハが安
着される。水平アーム２５の上部領域にはウェーハ安着
部２６の一部領域を覆うように長く延長されたカバー板
２９が設置されており、カバー板２９の底面にはウェー
ハ３０の位置を感知するウェーハ感知センサー２４が水
平アーム２５に隣接して設けられている。ウェーハ感知
センサー２４は、光によってウェーハ３０の位置を感知
し、水平アーム２５の長さ方向に従って長く配置されて
いる。
【００２４】水平アーム２５の下部には、ウェーハ３０
を把持する円板状のチャック２７が設けられており、チ
ャック２７は水平アーム２５を引っ込める時両ウェーハ
安着部２６との間に位置するように本体２１に設けられ
ている。チャック２７は、ウェーハ３０の安着時に真空
状態でウェーハ３０を把持し、昇降及び回転可能であ
る。
【００２５】チャック２７の前方には、カセット１０の
各スロット１１にウェーハが積載されているか否かを感
知し、光センサーからなるスキャナー部２３が設けられ
ている。スキャナー部２３は、例えばカセット１０を無
人搬送車１に装着する時、制御部５からの信号に応じて
作動する。また、カセット１０に隣接したケーシング１
５内の上部領域にはカセット１０に／からロード／アン
ロードされるウェーハ３０の識別番号を読み取る読取り
部(図示せず)が設けられており、読取り部はＯＣＲ(Opt
ical Character Reader)から構成される。
【００２６】このような構成を有する無人搬送車１を用
いてウェーハ３０を指定された検査装置に移送する場合
の移送装置２０の作動は次のようである。まず、任意の
スロット１１に装着された任意の識別番号を有するウェ
ーハ３０を検査装置に移送しろという命令が中央制御装
置１００から無人搬送車１に伝送されると、無人搬送車
１の作動を制御する制御部５は、水平アーム２５を昇降
させて水平アーム２５を該当スロット１１に装着された
ウェーハ３０の下部に挿入される位置に配置させる。そ
の後、水平アーム２５を移動させて水平アーム２５をウ
ェーハ３０の下部に挿入させ、回動軸３５を上昇させて
ウェーハ３０が水平アーム２５のウェーハ安着部２６に
安着されるようにする。その後、水平アーム２５を本体
２１に引っ込まし、読取り部は水平アーム２５に安着さ
れたウェーハ３０の識別番号を撮像し、制御部５は撮像
結果に基づいて所望のウェーハ３０が引出されたか否か
判断する。
【００２７】水平アーム２５を引っ込めるとウェーハ安
着部２６に安着されたウェーハ３０はチャック２７の上
部に位置し、制御部５はチャック２７を上昇させてウェ
ーハを把持するようにする。チャック２７にウェーハ３
０が把持されると、制御部５は、チャック２７が回転す
るように制御し、ウェーハ感知センサー２４はウェーハ
３０による光の反射を感知する。制御部５はウェーハ感
知センサー２４からの感知結果に基づいてウェーハ３０
の偏心度を判断し、ウェーハ３０の偏心度が最大になっ
た瞬間チャック２７の回転を停止させる。その後、チャ
ック２７を下降させてウェーハ３０をウェーハ安着部２
６に安着させ、水平アーム２５の長さを調節してウェー
ハ３０の中心にチャック２７を位置させた後、チャック
２７を昇降させてウェーハ３０を把持するようにする。
制御部５は、チャック２７を回転させてウェーハ３０の
回転位置を検査装置から要求する角度に調節するプリア
ライメント作業を行い、再びチャック２７を下降させて
ウェーハ３０をウェーハ安着部２６に安着させる。
【００２８】このようにカセット１０から引出されたウ
ェーハ３０の回転位置が調節されると、制御部５は、回
動軸３５を回転させて水平アーム２５を検査装置に向か
せ、回動軸３５を昇降させて水平アーム２５を移送スリ
ット９と平行な位置に配置する。その後、制御部５は、
図３に示すように、水平アーム２５が移送スリット９を
通してウェーハを引出し検査装置に達するようにし、検
査装置では移送されたウェーハ３０をピックアップして
検査装置内に移送する。
【００２９】ウェーハ３０を検査装置からカセット１０
に移送する過程は、ウェーハ３０をカセット１０から検
査装置内に積載する過程と逆順に行われる。このように
無人搬送システムでウェーハ３０を検査装置に移送する
ためには、中央制御装置１００から無人搬送車１にウェ
ーハ３０の移送及び積載作業に必要な基本情報を伝送す
べきであり、無人搬送車１の作業状況を点検するために
は中央制御装置１００と無人搬送車１との通信を可能に
する通信プロトコルが必要とされる。
【００３０】このような通信プロトコルを無人搬送車１
によるウェーハの移送過程に従って説明すれば次のよう
である。設備ライン上の検査装置から無人搬送車１のカ
セット１０にウェーハ３０を移送するとき、中央制御装
置１００はカセット１０内のウェーハ３０のスロット番
号、ウェーハ３０の回転位置、移送作業中無人搬送車１
の充電命令などを含む命令を無人搬送車１に送信する。
移送命令は次の表１及び表２のように伝送される。
【００３１】
【表１】
【００３２】
【表２】
【００３３】ここで、＄は移送命令の開始を表す符号で
あり、Ｙは送信する命令が移送命令であるのを表す記号
である。ＩＤには送信される命令が何番目の命令かに対
する情報が表示される。Ｎ１とＮ２は無人搬送車１のウ
ェーハ３０が装着されたカセット１０のスロット番号を
計算するための情報であり、カセット１０のスロット番
号はＮ１*１０＋Ｎ２の式によって算出される。Ｍは検
査装置でウェーハ３０が移送されるステージの番号を表
し、Ａはウェーハ３０の回転位置を表す。通常、ウェー
ハ３０の回転位置は０°、９０°、１８０°、２７０°
に設定され、ウェーハ３０の回転位置が０°なら０、９
０°なら３、１８０°なら５、２７０°なら７がＡに各
々表示される。Ｃには移送作業時無人搬送車１の充電作
業を同時に行うか否かが表示され、同時充電が必要な場
合はＴで表し、同時充電が不要な場合はＦで表す。Ｂは
ウェーハ３０の識別番号を使用するか否かを表し、識別
番号を使用する場合にはＢで示し、ウェーハ３０の識別
番号を使用する場合Ｂ１からＢ１６まで識別番号が表示
される。識別番号を使用しない場合には表２のようにＸ
で表す。ＣＲとＬＦは移送命令が終了されたのを表す表
示である。
【００３４】無人搬送車１に前記移送命令が受信される
と、無人搬送車１は表３のような移送応答を中央制御装
置１００に送信する。
【００３５】
【表３】
【００３６】ここで、ｙは移送応答であるのを表す符号
であり、ＩＤには移送命令と同様に受信された命令が何
番目の命令かが表示される。Ｘは無人搬送車１の状態を
表し、Ａ(Acknowledged)は移送命令を認識したことを、
Ｂ(Busy)は他の作業を進行していることを、Ｅ(Error S
tate)は無人搬送車１がエラー状態であることを、Ｐ(Pr
otocol Error)は移送命令に異常があることを、Ｄ(Data
Logic Error)は移送命令が不可な作業又は無意味な作
業であることを各々表す。Ｄで示される代表的な例に
は、充電位置でなく作業位置に充電命令が与えられた場
合がある。
【００３７】このような中央制御装置１００からの移送
命令の実例は次の表４のようである。
【００３８】
【表４】
【００３９】ここでは、ＩＤが６なので移送命令が６番
目の命令であるのを表し、Ｎ１とＮ２が各々０と１なの
で、Ｎ１*１０＋２によってスロット番号は２になる。
そして、検査装置のステージ番号は１であり、ウェーハ
３０の回転位置は３なので９０°になる。Ｆは充電しな
いという表示であり、Ｂはウェーハ３０の識別番号を使
用するという表示であり、ＴＥＳＴ・・・は識別番号であ
る。一方、ＣＲとＬＦは実は特殊文字で表示される。
【００４０】これら移送命令に対する無人搬送車１から
の移送応答は次の表５のようである。
【００４１】
【表５】
【００４２】ここで、移送命令と同様に移送応答でもＩ
Ｄは６である。Ａは移送命令が認識され、移送命令を行
うという表示である。一方、無人搬送車１のカセット１
０から検査装置のステージにウェーハ３０を積載させる
場合には、中央制御装置１００から無人搬送車１に表６
及び表７のような積載命令が送信される。
【００４３】
【表６】
【００４４】
【表７】
【００４５】ここで、Ｊは積載命令を表し、その他の情
報の内容及び順序は移送命令の場合と同様である。この
ような積載命令を受信した無人搬送車１は表８のような
積載応答を中央制御装置１００に伝達する。
【００４６】
【表８】
【００４７】ここで、ｊは積載応答を表し、その他の情
報の内容及び順序は移送応答の場合と同様である。一
方、これらの中央制御装置１００からの移送命令及び積
載命令に従って無人搬送車１が移送及び積載作業を行う
間、中央制御装置１００では無人搬送車１の作業状態を
点検するために無人搬送車１に表９のような状態報告命
令を続いて送信する。
【００４８】
【表９】
【００４９】ここで、Ｓは本命令が無人搬送車１の作業
状態を報告するように要請する状態報告命令を表す。無
人搬送車１は前記状態報告命令を受信すると、表１０の
ような状態報告応答を中央制御装置１００に送信する。
【００５０】
【表１０】
【００５１】ここで、ｓは状態報告応答を表す。Ｍは無
人搬送車１の作業モードであって、手動作業を表し、Ｍ
の代わりにＡが表示されると自動作業を、Ｃが表示され
ると充電作業を各々表す。Ｓは無人搬送車１の状態を表
し、無人搬送車１が走行しているか、移送及び積載作業
を行っているか、又は移送及び積載作業を完了したかな
どの無人搬送車１の状態を詳細に表示する。Ｎ１、Ｎ
２、Ｎ３は無人搬送車１が最近経由した設備ラインの番
号を表し、Ｂはバッテリー消費量を表示する。Ｃはカセ
ット１０の有無を表示する位置であり、Ｗ１からＷ５は
各スロット内のウェーハ３０が装着されたか否かを表示
する位置であり、Ｗ１からＷ５には次の表１１のように
データが表示される。
【００５２】
【表１１】
【００５３】一般にカセット１０には２５枚のウェーハ
３０が装着され、表１１で各々の１００は無意味なデー
タであり、ｘで表示されたデータ位置には各スロットに
ウェーハ３０が装着されているか否かを表示する。最初
のＷ１には１番から５番までのスロットにウェーハ３０
が装着されているか否かを表し、最後のＷ５には２１番
から２５番までのスロットにウェーハ３０が装着されて
いるか否かを表し、装着されている場合には１、装着さ
れていない場合には０で表示する。
【００５４】また、ＩＤ１は無人搬送車１が前に完了し
た作業の命令番号を表し、ＩＤ２は現在行っている作業
の命令番号を表す。ここで、ＩＤ２の次には無人搬送車
１のエラーを表すエラーデータと、指定されなかった命
令を受信した場合に使用されるデバギングデータが表示
できる。
【００５５】このように本発明では、中央制御装置１０
０と無人搬送車１との通信プロトコルを定義しており、
この通信プロトコルによってウェーハ３０を一枚ずつ検
査装置に移送できる。また、中央制御装置１００と無人
搬送車１との通信で中央制御装置１００からの命令が無
人搬送車１でうまく行われているかなどの作業遂行状態
が把握できる。これにより、中央制御装置１００では作
業遂行状態に従って好適な作業命令が下せるため、作業
時無人搬送車１の動作を有効に制御できる。
【００５６】
【発明の効果】前述したように、本発明によると、本通
信プロトコルによってウェーハを一枚ずつ移送できるよ
うに中央制御装置と無人搬送車との通信が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明による無人搬送システムの構成図であ
る。
【図２】 図１の無人搬送車の斜視図である。
【図３】 図２の無人搬送車の移送装置の斜視図であ
る。
【図４】 従来の無人搬送車の斜視図である。
【符号の説明】
１ 無人搬送車 ３ 無線通信部 ５ 制御部 １０ カセット ２０ 移送装置 ２５ 水平アーム ２７ チャック ３０ ウェーハ ３５ 回動軸 ４０ 昇降アーム １００ 中央制御装置 １１０ 中央通信部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０５Ｄ 1/02 Ｇ０５Ｄ 1/02 Ｐ

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 設備ライン上を走行し、車体の走行のた
    めの駆動装置と、カセットに／からウェーハを移送する
    ための移送装置を有する無人搬送車と、前記無人搬送車
    の作業を制御する中央制御装置とを含む無人搬送システ
    ムにおいて、前記中央制御装置は、前記無人搬送車と所
    定の通信プロトコルで通信する中央通信部を有し、前記
    無人搬送車は、前記プロトコルに従って前記中央通信部
    と通信する無線通信部と、前記無線通信部に受信された
    命令に従って前記移送装置を作動させて前記ウェーハを
    移送し、前記駆動装置の作動を制御する制御部とを有す
    ることを特徴とする無人搬送システム。
  2. 【請求項２】 前記中央制御装置は、前記無人搬送車の
    ウェーハを前記設備ライン上の装備に積載するように要
    請する積載命令を送信し、前記積載命令は前記カセット
    のスロット内に収容されたウェーハのスロット番号、前
    記ウェーハの回転位置、及び前記無人搬送車の充電状態
    のうち少なくとも一つの情報を含むことを特徴とする請
    求項１記載の無人搬送システム。
  3. 【請求項３】 前記中央制御装置は、前記装備に積載さ
    れたウェーハを前記無人搬送車に移送するように要請す
    る移送命令を送信し、前記移送命令は前記カセットのス
    ロット内に収容されたウェーハのスロット番号、前記ウ
    ェーハの回転位置、及び前記無人搬送車の充電状態のう
    ち少なくとも一つの情報を含むことを特徴とする請求項
    ２記載の無人搬送システム。
  4. 【請求項４】 前記中央制御装置は、前記無人搬送車の
    作業状態を報告するように要求する状態報告命令を送信
    し、この状態報告命令は前記無人搬送車の運行モード、
    前記無人搬送車の作業状態、前記カセット内のウェーハ
    の積載状態、及びバッテリーの消費量のうち少なくとも
    一つの情報を含むことを特徴とする請求項３記載の無人
    搬送システム。
  5. 【請求項５】 設備ライン上を走行し、車体の走行のた
    めの駆動装置と、カセットに／からウェーハを移送する
    ための移送装置とを有する無人搬送車と、前記無人搬送
    車の作業を制御する中央制御装置とを含む無人搬送シス
    テムの制御方法において、 前記中央制御装置から前記無人搬送車に所定の通信プロ
    トコルによる命令を送信する段階と、 前記中央制御装置から送信された命令に従って前記移送
    装置を作動させて前記ウェーハを移送し、前記駆動装置
    の作動を制御する段階と、を含むことを特徴とする無人
    搬送システムの制御方法。
  6. 【請求項６】 前記命令を送信する段階は、前記無人搬
    送車のウェーハを前記設備ライン上の装備に積載するよ
    うに要請する積載命令、前記装備に積載されたウェーハ
    を前記無人搬送車に移送するように要請する移送命令、
    前記無人搬送車の作業状態の報告を要求する状態報告命
    令のうち少なくとも一つを送信する段階であることを特
    徴とする請求項５記載の無人搬送システムの制御方法。
  7. 【請求項７】 前記積載命令と移送命令は、前記カセッ
    トのスロット内に収容されたウェーハのスロット番号、
    前記ウェーハの回転位置、及び前記無人搬送車の充電状
    態のうち少なくとも一つの情報を含むことを特徴とする
    請求項６記載の無人搬送システムの制御方法。
  8. 【請求項８】 前記状態報告命令は、前記無人搬送車の
    運行モード、前記無人搬送車の作業状態、前記カセット
    内のウェーハの積載状態、及びバッテリーの消費量のう
    ち少なくとも一つの情報を含むことを特徴とする請求項
    ６記載の無人搬送システムの制御方法。
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