KR20000055597A - 웨이퍼 캐리어 이송시스템에 있어서 수동대차 도킹상태 감지시스템 및 그 제어방법 - Google Patents

웨이퍼 캐리어 이송시스템에 있어서 수동대차 도킹상태 감지시스템 및 그 제어방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 수동대차(PGV; personal guided vehicle)가 반도체 제조장치의 로드포트(loadport)에 도킹시 수동대차가 로드포트에 정확히 도킹되도록 하고 그 도킹상태를 표시할 수 있도록 된 웨이퍼 캐리어 이송시스템에 있어서 수동대차 도킹상태 감지시스템 및 그 제어방법을 제공하기 위한 것이다. 이를 위해 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어 이송시스템에 있어서 수동대차 도킹상태 감지시스템 및 그 제어방법은 자동반송장치(AMHS; automated material handling system)와, 수동대차, 도킹장치, 로드포트 및, 반도체 제조장치로 구성된다. 상기 자동반송장치는 호스트 컴퓨터에 의해 제어되고, 웨이터 캐리어를 상기 로드포트에 안착시키게 된다. 상기 수동대차는 웨이퍼 캐리어가 탑재되고, 작업자에 의해 이동되게 된다. 상기 도킹장치에는 상기 수동대차의 수동대차부 포트가 결합되고, 상기 수동대차부 포트의 결합상태 및 이탈상태를 감지하는 복수개의 감지수단이 설치되게 된다. 상기 로드포트는 상기 도킹장치에 결합되고, 상기 수동대차로부터 상기 웨이퍼 캐리어를 받아들이게 된다. 그리고, 상기 반도체 제조장치는 상기 감지수단으로부터 결합상태 및 이탈상태 감지신호에 의해 상기 수동대차의 도킹상태와 도킹 가능상태를 표시하고, 상기 수동대차의 도킹상태에 따라 상기 자동반송장치로부터의 웨이퍼 캐리어의 이송을 제어하게 된다.

Description

웨이퍼 캐리어 이송시스템에 있어서 수동대차 도킹상태 감지시스템 및 그 제어방법 {System for sensing state of docking of personal guided vehicle in wafer carrier transfer system and control method thereof}
본 발명은 웨이퍼 캐리어 이송시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 제조장치의 로드포트(load port)와 수동대차(PGV; personal guided vehicle)간의 도킹상태를 감지할 수 있는 웨이퍼 캐리어 이송시스템에 있어서 수동대차 도킹상태 감지시스템 및 그 제어방법에 관한 것이다.
일반적으로, 웨이퍼 이송공정에 있어서는 호스트 컴퓨터의 제어에 의한 자동반송장치(AMHS; automated material handling system)에 의해 웨이퍼 캐리어가 반도체 장치간으로 이송되고, 또한 수동대차(PGV; personal guided vehicle)에 의해 웨이퍼 캐리어가 이송되게 된다.
종래 수동대차에 의해 웨이퍼 캐리어를 이송시키기 위해 상기 수동대차가 반도체 제조장치의 로드포드(loadport)에 도킹(docking)되는 경우 도킹이 정확하게 수행되었는지를 확인하는 방법이 없었고, 또한 도킹상태의 정보를 작업자에게 알려주는 방법이 없어 상당한 불편함이 있었다.
이와 같이, 수동대차가 반도체 제조장치의 로드포트에 정확히 도킹되었는지의 여부에 따라 도킹상태가 "OK"인지 "NG"인지를 작업자에게 정확히 인식시켜 줄 수 있는 방법이 없었다. 따라서, 작업자가 웨이퍼 캐리어를 수동대차로부터 로드포트로 정확한 시점에 이송할 수 없어 잘못된 이송이 수행되었고, 또한 수동대차의 도킹이 완료된 상태에서도 반도체 제조장치가 수동대차의 도킹상태를 정확히 인식하지 못하여 반도체 제조장치에 의한 작업의 효율성이 저하되었다.
또한, 반도체 제조장치가 수동대차로부터 웨이퍼 캐리어를 이송받는 도중에 자동반송장치로부터도 웨이퍼 캐리어의 이송 요청을 받아들이는 경우가 발생하여 수동대차로부터의 웨이퍼 캐리어와 자동반송장치로부터의 웨이퍼 캐리어가 동시에 작업을 수행하게 됨으로써 상호 충돌하는 문제점이 있었다.
이에 본 발명은 상기한 사정을 고려하여 이루어진 것으로, 수동대차(PGV; personal guided vehicle)가 반도체 제조장치의 로드포트(loadport)에 도킹시 수동대차가 로드포트에 정확히 도킹되도록 하고 그 도킹상태를 표시할 수 있도록 된 웨이퍼 캐리어 이송시스템에 있어서 수동대차 도킹상태 감지시스템 및 그 제어방법을 제공하고자 함에 그 목적이 있다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 수동대차가 로드포드에 도킹된 상태에서는 반도체 제조장치가 자동반송장치(AMHS; automated material handling system)로부터의 웨이퍼 캐리어의 이송요구를 거부하여 수동대차와 자동반송장치의 충돌이 방지될 수 있도록 된 웨이퍼 캐리어 이송시스템에 있어서 수동대차 도킹상태 감지시스템 및 그 제어방법에 관한 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어 이송시스템에 있어서 수동대차(PGV; personal guided vehicle) 도킹상태 감지시스템을 나타낸 사시도,
도 2는 도 1에 도시된 수동대차 도킹상태 감지시스템의 측면도,
도 3은 도 1에 도시된 수동대차 도킹상태 감지시스템에 있어서 로드포트의 정면도,
도 4는 도 1에 도시된 표시부를 상세히 나타낸 도면,
도 5는 도 1에 도시된 웨이퍼 캐리어 이송시스템에 있어서 수동대차 도킹상태 감지시스템의 블록도,
도 6은 본 발명에 따른 장치 제어부와 자동반송장치간의 신호흐름을 설명하기 위한 도면,
도 7은 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어 이송시스템에 있어서 수동대차 도킹상태 감지시스템의 동작흐름도이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
10: 장치 제어부
14: 병렬 입출력(PIO; parallel input output) 통신부
20: 호스트 컴퓨터 90,91: 제 1 및 제 2 광센서
100: 자동반송장치(AMHS; automated material handling system)
102: 반도체 제조장치
104: 수동대차(PGV; personal guided vehicle)
105: 도어 106: 로드포트(loadport)
107,108: 캐리어 110: 도킹장치
111: 정위치 핀 112: 로드포트 하단부
114: 로드부 포트 116: 수동대차 하단부
118: 수동대차부 포트 120: 결합홈
130: 표시부
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어 이송시스템에 있어서 수동대차 도킹상태 감지시스템은, 자동반송장치와, 수동대차, 도킹장치, 로드포트 및, 반도체 제조장치로 구성된다. 상기 자동반송장치는 호스트 컴퓨터에 의해 제어되고, 웨이터 캐리어를 상기 로드포트에 안착시키게 된다. 상기 수동대차는 웨이퍼 캐리어가 탑재되고, 작업자에 의해 이동되게 된다. 상기 도킹장치에는 상기 수동대차의 수동대차부 포트가 결합되고, 상기 수동대차부 포트의 결합상태 및 이탈상태를 감지하는 복수개의 감지수단이 설치되게 된다. 상기 로드포트는 상기 도킹장치에 결합되고, 상기 수동대차로부터 상기 웨이퍼 캐리어를 받아들이게 된다. 그리고, 상기 반도체 제조장치는 상기 감지수단으로부터 결합상태 및 이탈상태 감지신호에 의해 상기 수동대차의 도킹상태와 도킹 가능상태를 표시하고, 상기 수동대차의 도킹상태에 따라 상기 자동반송장치로부터의 웨이퍼 캐리어의 이송을 제어하게 된다.
또한, 웨이퍼 캐리어 이송시스템에 있어서 수동대차 도킹상태 감지시스템 제어방법은 다음과 같다. 먼저, 제 1 단계에서는 도킹장치에 설치된 복수개의 감지수단으로부터 수동대차부 포트의 결합상태 및 이탈상태 감지신호에 의해 수동대차가 도킹 가능상태인가를 판단한다.
그리고, 제 2 단계에서는 상기 제 1 단계에서의 판단결과 상기 수동대차가 도킹 불가능상태인 경우 대기상태를 유지하고, 상기 수동대차가 도킹 가능상태인 경우 수동대차의 도킹을 수행한다. 다음에, 제 3 단계에서는 상기 수동대차의 도킹 수행결과 상기 수동대차의 도킹이 정확히 수행되었는가를 판단한다. 그리고, 제 4 단계에서는 상기 제 3 단계에서의 판단결과 상기 수동대차의 도킹이 정확히 수행되지 않은 경우 도킹 불완전 상태를 표시한 후 다시 도킹을 수행하고, 상기 수동대차의 도킹이 정확히 수행된 경우 자동반송장치의 캐리어 이송불가능 모드를 설정한다.
다음에, 제 5 단계에서는 상기 자동반송장치의 캐리어 이송불가능 모드시 상기 자동반송장치와 통신을 수행하여 상기 자동반송장치로부터 웨이퍼 캐리어의 이송을 정지시키고, 상기 자동반송장치의 캐리어 이송가능 모드시에는 상기 자동반송장치로부터 상기 웨이퍼 캐리어의 이송을 진행시키게 된다.
상기와 같이 구성된 본 발명은, 도킹장치의 감지수단으로부터의 도킹상태 감지신호가 반도체 제조장치로 입력되어 상기 반도체 제조장치가 도킹상태 감지신호에 의해 상기 수동대차의 도킹상태와 도킹 가능상태를 표시하고, 또한 상기 수동대차로부터의 웨이퍼 캐리어의 로드 및 언로드 상태를 표시하게 된다.
그리고, 수동대차의 작업상태 및 비정상 도킹상태인 경우 자동반송장치로부터 상기 로드포트로의 웨이퍼 캐리어의 이송이 정지되고, 상기 수동대차의 작업완료상태 및 정상 도킹상태인 경우 상기 자동반송장치로부터 상기 로드포트로의 웨이퍼 캐리어의 이송이 수행될 수 있게 된다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어 이송시스템에 있어서 수동대차 도킹상태 감지시스템 및 그 제어방법에 대해 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어 이송시스템에 있어서 수동대차 도킹상태 감지시스템을 나타낸 사시도이다. 동 도면에 있어서, 상기 웨이퍼 캐리어 이송시스템은 자동반송장치(100; AMHS: automated material handling system)와, 반도체 제조장치(102), 수동대차(104; PGV: personal guided vehicle) 및, 로드포트(106; loadport)로 구성되어 있다. 상기 자동반송장치(100)는 호스트 컴퓨터(도시되지 않음)에 의해 제어되고, 웨이퍼가 적재된 캐리어(107)를 홀드(hold)한 후 소정 장치, 예를 들면 반도체 제조장치(102)간을 이송시키게 된다.
그리고, 상기 반도체 제조장치(102)는 상기 자동반송장치(100)로부터의 웨이퍼 캐리어(107)와 상기 수동대차(104)로부터의 웨이퍼 캐리어(108)가 로드포트(106)에 안착되게 되면, 상기 캐리어(107, 108)내의 웨이퍼를 도어(105)를 통해 받아들여 가공 및 측정하게 된다.
또한, 상기 로드포트(106)는 상기 반도체 제조장치(102)의 전면에 위치되고, 상기 캐리어(107, 108)가 상기 반도체 제조장치(102)의 도어(105)로 용이하게 접근될 수 있도록 설치되게 된다. 그리고, 상기 로드포트(106)의 하단부(112)에는 로드부 포트(114)가 구성되고, 이 로드부 포트(114)는 실내 바닥면에 설치된 도킹장치(110)와 결합되게 된다. 상기 도킹장치(110)에는 그 중앙부에 정위치 핀(111)이 설치되어 있고, 상기 도킹장치(110)의 이면에는 본 발명에 따른 감지수단, 예를 들면 광센서 또는 리미트 센서가 설치되어 있다.
그리고, 상기 수동대차(104)는 이동 가능하게 구성되고, 이 수동대차(104)에는 웨이퍼 캐리어(108)가 적재됨으로써 작업자에 의해 웨이퍼 캐리어(108)가 이동되게 된다. 상기 수동대차(104)의 하단부(116)에는 상기 도킹장치(110)와 결합되도록 구성된 수동대차부 포트(118)가 설치되어 있다. 이 수동대차부 포트(118)의 가운데에는 상기 도킹장치(110)의 정위치 핀(111)과 결합되도록 결합홈(120)이 형성되어 있다.
한편, 상기 수동대차(104)가 작업자에 의해 이동되어 상기 로드포트(106)에 도킹되는 경우에는 상기 수동대차(104)의 수동대차부 포트(118)가 상기 도킹장치(110)에 결합됨으로써 도킹이 수행되게 된다. 이때, 상기 도킹장치(110)의 정위치 핀(111)에는 상기 수동대차부 포트(118)의 결합홈(120)이 삽입됨으로써 도킹이 완료되게 된다.
이와 동시에, 도 2와 도 3에 도시된 감지수단, 예를 들면 제 2 광센서(91)가 결합상태, 즉 결합시작, 결합완료, 결합이탈을 감지함으로써 상기 반도체 제조장치(102)가 상기 결합상태에 따른 상기 수동대차의 도킹상태와 도킹 가능상태를 표시수단(130)을 통해 표시하게 된다.
또한, 상기 반도체 제조장치(102)는 제 1 광센서(91)로부터의 감지신호에 의해 상기 수동대차의 작업상태 및 비정상 도킹상태가 감지되는 경우 상기 자동반송장치로부터 상기 로드포트로의 웨이퍼 캐리어의 이송을 정지시키고, 상기 수동대차의 작업완료상태 및 정상 도킹상태가 감지되는 경우 상기 자동반송장치로부터 상기 로드포트로의 웨이퍼 캐리어의 이송을 진행시키게 된다.
도 2는 도 1에 도시된 수동대차 도킹상태 감지시스템의 측면도이고, 도 3은 도 1에 도시된 수동대차 도킹상태 감지시스템에 있어서 로드포트의 정면도이다.
도 2와 도 3에 있어서, 바닥면에는 도킹장치(110)가 설치되어 있고, 이 도킹장치(110)의 전단부에는 정위치 핀(111)이 설치되어 있다. 그리고, 상기 도킹장치(110)의 중앙부분에는 감지수단인 제 1 광센서(90)가 설치되어 있다. 상기 광센서(90)가 설치된 도킹장치(110)의 전면벽에는 개구(93)가 형성되어 있고, 이 개구(93)를 통해 상기 광센서(90)로부터의 광신호가 투사되게 된다. 따라서, 상기 광센서(90)는 접근해 오는 수동대차부 포트(118)의 상태를 감지함으로써 도킹상태가 감지되어 감지된 신호가 반도체 제조장치(102)로 전송되게 된다.
동 도면에 있어서, 도킹장치(110)의 이면 양쪽에는 제 2 센서(91)가 설치되고, 상기 광센서(91)가 설치된 도킹장치(110)의 전면벽에는 개구(93)가 형성되어 있고, 이 개구(93)를 통해 상기 광센서(91)로부터의 광신호가 투사되게 된다. 따라서, 상기 광센서(91)에 의해 수동대차(104)의 도킹 시작과 종료가 감지되어 감지된 신호가 반도체 제조장치(102)로 전송되게 된다.
이후, 상기 반도체 제조장치(102)는 상기 도킹장치(110)의 제 1 및 제 2 센서(90, 91)로부터의 감지정보에 의해 수동대차(104)의 도킹상태를 파악하여 도 1에 도시된 표시부(130)에 표시하게 된다. 이때, 상기 표시부(130)는 작업자에 의해 용이하게 인지될 수 있도록 소정 위치, 예를 들면 작업자로부터의 정면위치에 설치되게 된다.
도 4는 도 1에 도시된 표시부를 상세히 나타낸 도면이다. 동 도면에 있어서, 수동대차의 도킹이상 표시등은 현재 반도체 제조장치(102)가 수동대차의 사용 불가능 모드이거나 자동반송장치가 상기 반도체 제조장치(102)의 로드포트(106)로 캐리어(107)를 이송 중인 경우에 상기 반도체 제조장치(102)에 의해 적색등이 점등되게 된다. 따라서, 작업자가 상기 적색등의 점등을 보고 수동대차(104)의 도킹이 수행될 수 없는 상태임을 인식함으로써 상기 반도체 제조장치(102)의 로드포트(106)로의 도킹을 수행하지 않게 된다.
또한, 수동대차의 도킹이상 표시등은 현재 반도체 제조장치(102)가 수동대차의 사용모드이거나 자동반송장치가 상기 반도체 제조장치(102)의 로드포트(106)로의 캐리어(107) 이송을 위한 통신이 없을 경우에 상기 반도체 제조장치(102)에 의해 녹색등이 점등되게 된다. 따라서, 작업자가 상기 녹색등의 점등을 보고 수동대차(104)의 도킹이 수행될 수 있는 상태임을 인식함으로써 상기 반도체 제조장치(102)의 로드포트(106)로의 도킹을 수행하게 된다.
한편, 수동대차의 도킹상태 표시등은 상기 수동대차(104)가 도킹장치(110)에 정확히 도킹된 경우에 제 1 센서(90)가 온상태로 되어 녹색등이 점등되게 된다. 따라서, 작업자가 상기 녹색등의 점등을 보고 다음 작업을 계속할 수 있는 상태임을 인식하게 된다.
또한, 수동대차 도킹상태 표시등은 상기 수동대차(104)가 도킹장치(110)에 정확히 도킹되지 않은 경우에 제 1 센서(90)가 오프상태로 되어 적색등이 점등되게 된다. 따라서, 작업자가 상기 적색등의 점등을 보고 수동대차(104)의 도킹을 다시 시도하게 된다.
그리고, 상기 로드포트(106)에 웨이퍼 캐리어 유무감지센서(도시하지 않음)를 설치한 후 수동대차 도킹상태 표시등이 녹색등 점등상태인 경우 반도체 제조장치(102)는 상기 캐리어 유무감지센서의 정보를 인식하게 된다. 이후, 상기 반도체 제조장치(102)는 상기 로드포트(106)에 캐리어가 있으면 "CARRIER UNLOAD 가능"을 출력하고, 상기 캐리어가 없으면 "CARRIER LOAD 가능"을 출력함으로써 작업자가 상기 로드포트(106)의 캐리어 상태를 인식하게 된다.
또한, 수동대차 도킹상태 표시등이 적색등 점등상태인 경우 "CARRIER 이송 불가능"을 출력함으로써 작업자가 이를 인식하여 수동대차의 캐리어를 로드 및 언로드하는 것을 방지하게 된다.
도 5는 도 1에 도시된 웨이퍼 캐리어 이송시스템에 있어서 수동대차 도킹상태 감지시스템의 블록도이다. 동 도면에 있어서, 도면중 참조부호 10은 장치 제어부, 14는 병렬 입출력(PIO; parallel input output) 통신부, 20은 호스트 컴퓨터, 100은 자동반송장치, 102는 반도체 제조장치, 130은 표시부를 나타낸다.
도시된 바와 같이, 상기 자동반송장치(100)는 상기 호스트 컴퓨터(20)의 제어에 의해 소정 반도체 제조장치(102)로 이동되고, 상기 호스트 컴퓨터(20)는 상기 자동반송장치(100)의 이동을 상기 반도체 제조장치(102)로 알려주게 된다. 따라서, 본 발명에 따른 수동대차의 도킹시에는 상기 자동반송장치(100)는 반도체 제조장치(102)의 병렬 입출력 통신, 즉 무선통신 프로토콜(E23)에 의해 상기 반도체 제조장치(102)로부터 제어되게 된다.
한편, 상기 장치 제어부(10)는 제 1 및 제 2 센서(90, 91)로부터의 감지신호를 입력받고, 상기 수동대차(104)가 도킹시일 때에는 상기 장치 제어부(10)는 자동반송장치(100)로 무선신호, 즉 PIO신호를 이용하여 "캐리어 이송 불가능"을 출력하게 된다. 이때, 상기 "캐리어 이송 불가능" 신호가 "온"되어 상기 자동반송장치(100)로 출력됨으로써 상기 자동반송장치(100)가 로드포트(106)로의 캐리어 이송을 정지시켜 수동대차(104)로부터의 캐리어와의 충돌이 방지되게 된다.
상기와 같은 과정을 도 6의 장치 제어부와 자동반송장치간의 신호흐름을 나타낸 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다. 상기 자동반송장치(100)가 반도체 제조장치(102)로 이동되게 되면, 무선통신 프로토콜(E23)에 의해 상기 자동반송장치(100)가 자동반송개시를 위한 PIO신호를 출력하게 된다. 이때, 상기 PIO신호에는 CS(cassette stage) 번호(number)가 설정되고, 이 설정된 CS 번호가 "VALID ON"으로 출력되게 된다. 이후, 상기 반도체 제조장치(102)는 캐리어 이송불능신호 "ON"을 출력하게 된다.
따라서, 상기 자동반송장치(100)는 자동반송개시 거부를 위한 PIO신호를 출력하게 된다. 이때, 상기 PIO신호에서의 CS 번호가 "VALID OFF"로 출력되게 된다. 이후, 상기 반도체 제조장치(102)는 캐리어 이송불능신호 "OFF"를 출력하여 상기 자동반송장치(100)로부터의 캐리어 이송을 정지시키게 된다.
도 7은 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어 이송시스템에 있어서 수동대차 도킹상태 감지시스템의 동작흐름도이다. 먼저, 반도체 제조장치(102)가 대기상태(S1)중에 수동대차(PGV)의 도킹이 가능한 상태인지를 판단하게 된다(S2). 이후, 상기 반도체 제조장치(102)의 상태가 수동대차의 도킹 가능상태가 아닌 경우에는 상기 단계 S1로 이동하여 대기상태를 유지하고, 상기 수동대차의 도킹 가능상태인 경우에는 도킹을 수행하게 된다(S3).
다음에, 상기 반도체 제조장치(102)는 도킹장치에 설치된 광센서를 통해 상기 수동대차의 도킹이 정확히 수행되었는지의 여부를 판단하게 된다(S4). 이후, 상기 수동대차의 도킹이 정확히 수행되지 않은 경우에는 표시부를 통해 도킹 불완전상태를 표시하고(S5), 단계 S3으로 이동하여 도킹을 다시 시도하게 된다.
그리고, 상기 수동대차의 도킹이 정확히 수행된 경우에는 상기 반도체 제조장치(102)가 자동반송장치(100)에 대해 캐리어 이송불가능 모드로 설정하게 된다(S6). 이후, 상기 반도체 제조장치(102)는 로드포트(106)에 캐리어가 있는지의 여부를 판단하게 된다(S7). 상기 로드포트(106)에 캐리어가 있는 경우에는 상기 반도체 제조장치(102)는 표시부를 통해 캐리어 언로드 가능을 표시하고(S8), 이후 작업자가 수동대차로부터 상기 캐리어를 로드포트(106)로 언로드를 수행하게 된다(S9).
그후, 상기 로드포트(106)에 캐리어가 없는 경우에는 상기 반도체 제조장치(102)는 표시부를 통해 캐리어 로드 가능을 표시하고(S10), 이후 작업자가 수동대차로부터 상기 캐리어를 로드포트(106)로 로드를 수행하게 된다(S11).
한편, 본 발명은 상기한 특정 실시예에 한정되는 것이 아니라 본원의 요지와 범주를 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지로 변형 및 수정하여 실시할 수 있는 것이다.
상기한 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어 이송시스템에 있어서 수동대차 도킹상태 감지시스템 및 그 제어방법은, 수동대차가 반도체 제조장치의 로드포트에 도킹시 수동대차가 로드포트에 정확히 도킹되고 그 도킹상태가 표시되어 작업자가 용이하게 인식할 수 있게 된다.
또한, 수동대차가 로드포드에 도킹된 상태에서는 반도체 제조장치가 자동반송장치로부터의 웨이퍼 캐리어 이송요구를 거부하고, 이에 따라 수동대차로부터의 웨이퍼 캐리어가 자동반송장치로부터의 웨이퍼 캐리어와 충돌되지 않게 된다.

Claims (5)

  1. 웨이퍼 캐리어 이송시스템에 있어서,
    호스트 컴퓨터에 의해 제어되고, 웨이터 캐리어를 상기 로드포트에 안착시키는 자동반송장치와;
    웨이퍼 캐리어가 탑재되고, 작업자에 의해 이동되는 수동대차;
    이 수동대차의 수동대차부 포트가 결합되고, 상기 수동대차부 포트의 결합상태 및 이탈상태를 감지하는 복수개의 감지수단이 설치된 도킹장치;
    이 도킹장치에 결합되고, 상기 수동대차로부터 상기 웨이퍼 캐리어를 받아들이는 로드포트 및;
    상기 감지수단으로부터 결합상태 및 이탈상태 감지신호에 의해 상기 수동대차의 도킹상태와 도킹 가능상태를 표시하고, 상기 수동대차의 도킹상태에 따라 상기 자동반송장치로부터의 웨이퍼 캐리어의 이송을 제어하는 반도체 제조장치로 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어 이송시스템에 있어서 수동대차 도킹상태 감지시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 반도체 제조장치는 상기 감지수단으로부터 결합상태 및 이탈상태 감지신호를 입력받고, 상기 호스트 컴퓨터로부터 상기 자동반송장치의 위치신호를 입력받는 장치 제어부와;
    이 장치 제어부로부터의 결합상태 및 이탈상태 감지신호에 의해 상기 수동대차의 도킹상태와 도킹 가능상태를 표시하고, 상기 수동대차로부터의 웨이퍼 캐리어의 로드 및 언로드 상태를 표시하는 표시수단 및;
    상기 장치 제어부로부터 상기 수동대차 작업상태 및 비정상 도킹상태의 제어신호가 입력되는 경우 상기 자동반송장치로부터 상기 로드포트로 웨이퍼 캐리어의 이송을 정지시키고, 상기 수동대차 작업완료상태 및 정상 도킹상태의 제어신호가 입력되는 경우 상기 자동반송장치로부터 상기 로드포트로 웨이퍼 캐리어의 이송을 진행시키는 통신을 수행하는 병렬 입출력 통신부로 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어 이송시스템에 있어서 수동대차 도킹상태 감지시스템.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 병렬 입출력 통신부는 무선통신 프로토콜(E23)에 의해 상기 자동반송장치를 제어하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어 이송시스템에 있어서 수동대차 도킹상태 감지시스템.
  4. 도킹장치에 설치된 복수개의 감지수단으로부터 수동대차부 포트의 결합상태 및 이탈상태 감지신호에 의해 수동대차가 도킹 가능상태인가를 판단하는 단계와;
    상기 단계에서의 판단결과 상기 수동대차가 도킹 불가능상태인 경우 대기상태를 유지하고, 상기 수동대차가 도킹 가능상태인 경우 수동대차의 도킹을 수행하는 단계;
    상기 수동대차의 도킹 수행결과 상기 수동대차의 도킹이 정확히 수행되었는가를 판단하는 단계;
    상기 단계에서의 판단결과 상기 수동대차의 도킹이 정확히 수행되지 않은 경우 도킹 불완전 상태를 표시한 후 다시 도킹을 수행하고, 상기 수동대차의 도킹이 정확히 수행된 경우 자동반송장치의 캐리어 이송불가능 모드를 설정하는 단계 및;
    상기 자동반송장치의 캐리어 이송불가능 모드시 상기 자동반송장치와 통신을 수행하여 상기 자동반송장치로부터 웨이퍼 캐리어의 이송을 정지시키고, 상기 자동반송장치의 캐리어 이송가능 모드시에는 상기 자동반송장치로부터 상기 웨이퍼 캐리어의 이송을 진행시키는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어 이송시스템에 있어서 수동대차 도킹상태 감지시스템 제어방법.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 자동반송장치와의 통신단계는 무선통신 프로토콜(E23)에 의해 상기 자동반송장치로부터 자동반송개시를 위한 PIO신호를 출력하고, 상기 PIO신호에는 CS(cassette stage) 번호(number)가 설정되고 이 설정된 CS 번호가 "VALID ON"으로 출력되는 단계와;
    상기 반도체 제조장치가 캐리어 이송불능신호 "ON"을 출력하는 단계;
    상기 자동반송장치가 자동반송개시 거부를 위한 PIO신호를 출력하고, 상기 PIO신호에서의 CS 번호가 " VALID OFF"로 출력되는 단계 및;
    상기 반도체 제조장치가 캐리어 이송불능신호 "OFF"를 출력하여 상기 자동반송장치로부터의 캐리어 이송을 정지시키는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어 이송시스템에 있어서 수동대차 도킹상태 감지시스템 제어방법.
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