JP2002031655A - ナノチューブ端子を用いた四端子測定装置 - Google Patents

ナノチューブ端子を用いた四端子測定装置

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 極小サイズの被測定物の低抵抗や低インピー
ダンスを精度よく測定できる四端子測定装置を実現す
る。 【解決手段】 本発明に係るナノチューブ端子４を用い
た四端子測定装置は、定電流電源４３から被測定物３０
に定電流を流す２本の電流端子Ｃｉ１、Ｃｉ２と、被測
定物３０の両端電圧を測定する２本の電圧端子Ｃｖ１、
Ｃｖ２とからなる四端子測定装置において、ナノチュー
ブ１２の先端部１２ａをホルダー１０から突出させるよ
うにナノチューブ１２の基端部１２ｂをホルダー１０に
固定してナノチューブ端子４を形成し、前記四端子の
内、所望の端子にナノチューブ端子４を接続して構成す
ることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は被測定物の微小抵抗
や微小インピーダンスを測定する四端子測定装置に関
し、更に詳細には、ナノチューブ端子を用いて、被測定
物の極微小領域を測定したり、極微小サイズの被測定物
を測定できるナノチューブ端子を用いた四端子測定装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、被測定物の抵抗Ｒｘを測定す
るには、被測定物の両端に電圧を印加して、被測定物を
流れる電流Ｉと被測定物の両端電圧Ｖを測定し、Ｒｘ＝
Ｖ／Ｉを通して抵抗Ｒｘを導出していた。この場合に、
問題となっていたのは、リード線などの接続線の抵抗
や、接続端子と被測定物との接触抵抗により測定誤差を
生じる点であった。
【０００３】図６は被測定物の直流抵抗を測定する従来
の二端子測定装置を示している。被測定物３０の両端の
接続端子Ｃ１、Ｃ２に測定用リード線などの接続線３
２、３４を結線し、この接続線３２、３４に電圧計３
６、電流計３８及び直流電源４０を接続する。被測定物
３０の抵抗をＲｘ、接続線３２、３４の抵抗をＲｃ１、
Ｒｃ２及び接触抵抗をＲｃとすると、測定される電圧
Ｖ、電流Ｉから被測定物の測定抵抗Ｒｍは、Ｒｍ＝Ｖ／
Ｉ＝Ｒｃ１＋Ｒｘ＋Ｒｃ２＋Ｒｃとして求められる。
【０００４】しかし、この測定抵抗Ｒｍには接続線抵抗
Ｒｃ１、Ｒｃ２及び接触抵抗Ｒｃが誤差として混入して
いることが分かる。Ｒｍ／Ｒｘの比率から、誤差率は
（Ｒｃ１＋Ｒｃ２＋Ｒｃ）／Ｒｘで与えられ、被測定物
抵抗Ｒｘが微小になればなるほど誤差率は急激に増加し
て行くことが分かる。従って、二端子測定法は低抵抗測
定には妥当でないことが理解できる。
【０００５】そこで、低抵抗を測定する装置として、四
端子測定装置が開発された。図７は４端子測定装置の回
路図で、図６と同一部分には同一符号を付し、異なる部
分だけを説明する。接続端子Ｃ１、Ｃ２をそれぞれ二分
割して電流端子Ｃｉ１、Ｃｉ２と電圧端子Ｃｖ１、Ｃ
ｖ２を設け、これら端子に電流接続線４２、４４と、電
圧接続線４６、４８を測定用リード線として結線する。
電流接続線４２、４４の抵抗をＲｉ１、Ｒｉ２とし、電
圧接続線４６、４８の抵抗をＲｖ１、Ｒｖ２とする。
【０００６】電流端子Ｃｉ１、Ｃｉ２と電圧端子
Ｃｖ１、Ｃｖ２を設けることによって次のような効用が
現れる。矢印方向に流れる電流Ｉは電流計３８、電流接
続線４２、被測定物３０、電流接続線４４、直流電源４
０を流れて元に帰還する。電圧計３６の内部抵抗は極め
て大きいので、電流Ｉは電圧計３６にはほとんど分流せ
ず、被測定物３０にそのまま流れる。従って、被測定物
３０に流れる電流Ｉが電流計３８で測定されると考えて
よい。
【０００７】他方、電圧計３６の内部抵抗は電圧接続線
４６、４８の抵抗Ｒｖ１、Ｒｖ２よりもはるかに大きい
から、電圧接続線４６、４８による電圧降下はほとんど
無視することができる。従って、電圧計３６によって測
定される電圧Ｖは、被測定物３０の両端電圧であると考
えてよい。
【０００８】従って、四端子測定装置によって測定され
た電流Ｉと電圧Ｖから、被測定物３０の抵抗ＲｘはＶ／
Ｉによって精度よく導出できるようになる。二端子を四
端子化することによって、接続線抵抗や接触抵抗が無視
できるようになり、四端子測定装置が低抵抗測定の有力
な手段となったのである。
【０００９】確かに、被測定物３０が一定以上のサイズ
を有している場合には、四端子測定装置は低抵抗測定の
有力な装置である。図８は四端子測定装置を用いた板状
被測定物の抵抗測定図である。直流電源４０と定電流抵
抗４１により定電流電源４３を構成する。リード線であ
る電流接続線４２、４４の先端を板状被測定物３０の電
流端子Ｃｉ１、Ｃｉ２に接触させ、これらの端子
Ｃｉ１、Ｃｉ２の間に設けられた電圧端子Ｃｖ１、Ｃ
ｖ２に電圧接続線４６、４８の先端を接触させ、電圧端
子Ｃｖ１、Ｃｖ２間の被測定物抵抗ＲｘをＶ／Ｉによっ
て導出する。この例では、電流端子Ｃｉ１、Ｃｉ２と電
圧端子Ｃｖ１、Ｃｖ２は、電流接続線４２、４４と電圧
接続線４６、４８が被測定物３０に接触する接点を意味
している。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】電流接続線４２、４４
や電圧接続線４６、４８は被測定物３０にその先端を接
触させるリード線である。従って、被測定物３０のサイ
ズが小さくなるに従ってリード線のサイズを小さくする
必要性が生じてくる。電流端子Ｃｉ１、Ｃｉ２について
は、電圧端子Ｃｖ１、Ｃｖ２間に一定電流Ｉを流せばよ
いだけであるから、電流端子Ｃｉ１、Ｃｉ２が被測定物
３０の表面と面接触状態にあってもそれほど問題は生じ
ない。しかし、電圧端子Ｃｖ１、Ｃｖ２は被測定抵抗の
両端を与えるため精度上の要請から一点であることが必
要になる。
【００１１】つまり、電圧接続線の先端をサイズ的に小
さくすることが必要となるが、従来の測定装置では当然
限界があった。例えば、金属針の先端を電解研磨などで
先鋭化処理したり、半導体技術を用いたエッティング処
理を行っても、その先端をナノ領域まで極微小化するこ
とは困難であった。一方、半導体技術における超高密度
化の進展に従って、被測定物は益々極小化している。例
えば、ナノサイズの電子回路が作られようとする今日、
ナノ領域の抵抗測定やインピーダンス測定がどうしても
必要になってくる。このような極小抵抗測定に対して
は、従来の四端子測定装置で対応することは全く不可能
であった。
【００１２】従って、本発明の目的は、極小のナノチュ
ーブ端子を用いることにより、被測定物自体が極小化し
たり、被測定領域が極小化した場合でも、これらの極小
抵抗や極小インピーダンスを精度よく測定できる四端子
測定装置を提供することである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、四端
子測定装置の接触端子先端部の少なくとも一つ以上がナ
ノチューブで構成されたことを特徴とするナノチューブ
端子を用いた四端子測定装置である。
【００１４】請求項２の発明は、定電流電源から被測定
物に定電流を流す２本の電流端子と、被測定物の両端電
圧を測定する電圧端子とからなる四端子測定装置におい
て、ナノチューブの先端部をホルダーから突出させるよ
うにナノチューブの基端部をホルダーに固定してナノチ
ューブ端子を形成し、前記四端子の内、所望の端子にナ
ノチューブ端子を接続して構成することを特徴とするナ
ノチューブ端子を用いた四端子測定装置である。
【００１５】請求項３の発明は、前記四端子の内、少な
くとも電圧端子にナノチューブ端子を接続して構成する
請求項２記載のナノチューブ端子を用いた四端子測定装
置である。
【００１６】請求項４の発明は、前記ホルダーはＡＦＭ
用カンチレバーのピラミッド部である請求項２記載のナ
ノチューブ端子を用いた四端子測定装置である。
【００１７】請求項５の発明は、前記定電流電源を直流
電源、前記電圧計を直流電圧計で構成し、被測定物の微
小抵抗を測定する請求項２、３又は４記載のナノチュー
ブ端子を用いた四端子測定装置である。
【００１８】請求項６の発明は、前記定電流電源を交流
電源、前記電圧計を交流電圧計で構成し、被測定物の微
小インピーダンスを測定する請求項２、３又は４記載の
ナノチューブ端子を用いた四端子測定装置である。
【００１９】
【発明の実施の形態】本発明者等は、四端子測定装置の
測定用端子を超微小化するために鋭意研究した結果、ナ
ノチューブを測定用端子として用いることを想到するに
到った。ナノチューブの断面直径はｎｍオーダーであ
り、しかも軸長はナノサイズからミクロンサイズに亘っ
ているから、微小被測定物の表面に接触させる測定用端
子として最適である。
【００２０】最初に発見されたナノチューブはカーボン
ナノチューブ（ＣＮＴとも云う）であり、カーボンを用
いたアーク放電の堆積物中に発見された。カーボンナノ
チューブは導電性を有し、断面直径は約１ｎｍ〜数十ｎ
ｍに分布し、その軸長はナノサイズからミクロンサイズ
に亘っている。従って、本発明の測定用端子として最適
である。
【００２１】カーボンナノチューブの合成に続いてＢＣ
Ｎ系ナノチューブが合成された。例えば、非晶質ホウ素
とグラファイトの混合粉末をグラファイト棒に詰め込
み、窒素ガス中で蒸発させる。また、焼結ＢＮ棒をグラ
ファイト棒に詰め込み、ヘリウムガス中で蒸発させる。
更に、ＢＣ４Ｎを陽極、グラファイトを陰極にしてヘリ
ウムガス中でアーク放電させる。これらの方法で、ＣＮ
Ｔ中のＣ原子の一部がＢ原子とＮ原子に置換されたＢＣ
Ｎ系ナノチューブが合成された。
【００２２】また、ＢＮ系ナノチューブも合成された。
これはＣ原子をほとんど含まないナノチューブである。
例えば、ＣＮＴとＢ２Ｏ３粉末をるつぼの中に入れて窒
素ガス中で加熱する。この結果、ＣＮＴ中のＣ原子のほ
とんどがＢ原子とＮ原子に置換されたＢＮ系ナノチュー
ブが合成される。
【００２３】ＢＣＮ系ナノチューブやＢＮ系ナノチュー
ブはＣＮＴとほぼ同様の物質構造をとっているから、直
径に対する軸長比、即ちアスペクト比は極めて高い。ま
た、これらのナノチューブの表面に金属皮膜を形成する
ことにより導電性を付与することができるから、カーボ
ンナノチューブとともに本発明の測定用端子として利用
できる。
【００２４】本発明では、ナノチューブの先端部を突出
させるようにナノチューブの基端部をホルダーに固定し
てナノチューブ端子を構成し、このナノチューブ端子を
測定用端子として用いる。ナノチューブをホルダーに強
力に固定するには、ナノチューブの基端部をコーティン
グ膜によって被覆したり、ナノチューブの基端部をホル
ダーに熱融着させるなどの手段がとられる。
【００２５】前記固定方法を詳述すると、ナノチューブ
とホルダーを例えば電子顕微鏡の中に配置し、両者の結
合状態を拡大撮像しながら、ナノチューブの基端部近傍
を電子ビーム照射する。この結果、顕微鏡内の不純物ガ
スが分解されて、基端部を被覆するようにカーボン膜が
形成され、このコーティング膜により基端部がホルダー
に固定される。また、ナノチューブの基端部を直接的に
電子ビーム照射すれば、基端部がホルダーに熱融着して
固定される。
【００２６】ナノチューブを固定するホルダーとして
は、例えばＡＦＭ用カンチレバーのピラミッド部が利用
できる。このピラミッド部はカンチレバーにおける測定
用の突出部を総称する用語で、ピラミッド部の形状には
円錐状、三角錐状、四角錐状など種々ある。つまり、Ａ
ＦＭ用カンチレバーに用いられている突出部の全ての形
状を総称するものである。ホルダーとしては、ＡＦＭ用
カンチレバー以外に、ＳＴＭ等の他の走査型プローブ顕
微鏡用のホルダーや他の部材を利用することもできる。
【００２７】
【実施例】以下に、本発明に係るナノチューブ端子を用
いた四端子測定装置の実施例を図面に従って詳細に説明
する。図１は本発明に係るナノチューブ端子を用いた四
端子測定装置の第１実施例の概略構成図で、電圧降下法
を用いる場合を示す。電流端子Ｃｉ１、Ｃｉ２から被測
定物３０の表面に金属針からなる通常端子５、５が接触
配置されており、この通常端子５、５は被測定物３０の
表面に対し固定されている。電圧端子Ｃｖ１、Ｃｖ２か
らは本発明に係るナノチューブ端子４、４が被測定物３
０の表面に接触配置され、このナノチューブ端子４、４
は表面に対し移動自在に設けられているため先端が矢印
状に図示されている。
【００２８】定電流電源４３から矢印方向に電流Ｉが流
れ、この電流は電流計３８により測定され、電圧端子Ｃ
ｖ１、Ｃｖ２間の電圧は電圧計３６により測定される。
標準抵抗２は他の電流測定手段で、この標準抵抗２の両
端間の電圧を測定して電流を導出するものである。
【００２９】図２はナノチューブ端子４の概略斜視図で
ある。ＡＦＭ測定用のカンチレバー６が用いられてお
り、そのカンチレバー部８の先端にある測定用の突出
部、いわゆるピラミッド部がホルダー１０となり、この
ホルダー１０の表面にナノチューブ１２の基端部１２ｂ
を固定し、その先端部１２ａを突出させる構造になって
いる。この先端部１２ａがナノチューブ端子４の先端矢
印に対応している。
【００３０】このナノチューブ１２はカーボンナノチュ
ーブからなるため導電性を有している。また、ホルダー
１０の表面には金属膜１０ａが形成され、カンチレバー
部８の側面には電極膜８ａが形成されている。従って、
ナノチューブ１２から電極膜８ａまでは電気的に導通し
ている。カンチレバー部８は図示しない部材で電圧端子
Ｃｖ１、Ｃｖ２に接続されているから、ナノチューブ１
２は図１の回路に導通接続されていることになる。
【００３１】図３は電圧端子Ｃｖ１、Ｃｖ２に接続され
たナノチューブ端子４の駆動構成図である。被測定物３
０は試料台１５の上に載置され、被測定物３０の表面３
０ａに先端部１２ａが接触するようにナノチューブ１２
が配置されている。ナノチューブ端子４はＸＹＺ走査回
路２６によってＸＹＺ方向に走査され、被測定物３０の
表面３０ａの任意の位置にナノチューブ１２を移動する
ことができる。
【００３２】表面３０ａに対するナノチューブ１２の接
触の程度はレーザ光によって調整される。半導体レーザ
装置１６からカンチレバー部８の背面にレーザビームＬ
Ｂを照射し、この反射光を反射ミラー１８により二分割
光検出器２０に導入する。この二分割光検出器２０は上
検出器２０ａと下検出器２０ｂからなり、これらの検出
器への入射光量によりカンチレバー部８の撓み量を測定
して、前記接触度を測定する。言い換えれば、カンチレ
バー部８の撓み量が常に一定になるようにナノチューブ
端子４のＺ軸調整を行う。
【００３３】被測定物３０の表面３０ａは凹凸状態にあ
るから、ナノチューブ端子４をＸＹ方向に移動する際
に、常に前記Ｚ軸調整を行い、Ｚ軸移動量をＺ軸検出回
路２２により測定し、ＸＹＺ走査回路２６とＺ軸検出回
路２２のデータから表示装置２４に被測定物３０の表面
３０ａの凹凸状態が表示される。
【００３４】電圧端子Ｃｖ１、Ｃｖ２に接続される２本
のナノチューブ端子４、４がそれぞれ図３に示す駆動装
置により駆動される。従って、被測定物３０の任意位置
間の抵抗が精密に測定できる。被測定物３０が半導体で
あれば、半導体の任意位置間の抵抗が設計通りに製造さ
れているかどうかのチェックになる。ナノチューブ１２
は断面直径が１ｎｍから数十ｎｍであるから、２本のナ
ノチューブ１２、１２を最小でも数ｎｍだけ離間して対
向させることができ、被測定物３０の数ｎｍ間の極小抵
抗を測定することも可能になる。
【００３５】図４は本発明に係るナノチューブ端子を用
いた四端子測定装置の第２実施例の概略構成図で、電位
差計法を用いる場合を示す。抵抗Ｒｘを有する被測定物
３０の両端には電流端子Ｃｉ１、Ｃｉ２、電圧端子Ｃ
ｖ１、Ｃｖ２があり、同様に抵抗Ｒｓを有する標準抵抗
２の両端には電流端子Ｃｉ３、Ｃｉ４、電圧端子
Ｃｖ３、Ｃｖ４がある。
【００３６】電流端子Ｃｉ１、Ｃｉ４間には抵抗ｒの接
続線２５が結線されている。被測定物３０の両端にある
電圧端子Ｃｖ１、Ｃｖ２には本発明のナノチューブ端子
４、４が連結され、標準抵抗２の両端にある電圧端子Ｃ
ｖ３、Ｃｖ４には通常端子５、５が連結されている。
【００３７】連動スイッチ２７により被測定物３０と標
準抵抗２の両端が切り替えられ、電位差計２８と検流計
２９によりそれらの両端電圧Ｖｘ、Ｖｓが測定される。
定電流電源４３からは定電流Ｉが流れるから、Ｖｘ＝Ｉ
Ｒｘ、Ｖｓ＝ＩＲｓが成立する。従って、Ｒｘ＝ＲｓＶ
ｘ／Ｖｓにより被測定物抵抗Ｒｘが求められる。接続線
２５の抵抗ｒは表式には現れない。
【００３８】図５は第２実施例におけるナノチューブ端
子４の駆動構成図である。ナノチューブ端子４はナノチ
ューブ１２を平板状のホルダー１０に固定して構成さ
れ、ホルダー１０はホルダーセット部１３の切り溝１３
ａに挿入固定されている。ホルダーセット部１３は走査
駆動部１４に連結され、この走査駆動部１４はＸピエゾ
１４ｘ、Ｙピエゾ１４ｙ、Ｚピエゾ１４ｚから構成され
ている。これらのピエゾ素子の伸縮により、ナノチュー
ブ１２の先端１２ａを被測定物３０の任意位置に移動す
ることができる。
【００３９】ＸＹ走査回路２６ａでナノチューブ端子４
をＸＹ位置に移動させ、この位置でナノチューブ１２を
Ｚ方向に移動させて被測定物３０の表面３０ａに接近さ
せる。一定位置まで接近させるとトンネル電流が流れる
ので、このトンネル電流をトンネル電流検出回路２３で
検出し、このトンネル電流が一定値になるようにＺ軸走
査回路２６ｂでナノチューブ１２のＺ方向移動を停止さ
せる。これらのＸＹＺ信号を表示装置２４に送り、被測
定物３０の表面凹凸像を表示装置２４に撮像する。この
位置から、更にナノチューブ１２を接近させ、ナノチュ
ーブ１２を被測定物３０の表面３０ａに接触させて、抵
抗測定を行う。
【００４０】このように、第２実施例では、被測定物３
０の表面３０ａの凹凸像を撮像しながら、ナノチューブ
端子４、４をその表面の任意位置に設定でき、それらの
位置間の抵抗を測定することが可能となる。ナノチュー
ブ１２の断面直径が１ｎｍ〜数十ｎｍであるから、最小
でも数ｎｍ間の抵抗測定が可能である。
【００４１】前記実施例では、直流電源、直流電圧計及
び直流電流計を用いていたから、被測定物の直流抵抗を
測定できた。しかし、交流電源、交流電圧計及び交流電
流計を用いれば、被測定物の低インピーダンス測定がで
き、インダクタンスＬや電気容量Ｃの測定が可能とな
る。従って、本発明は低抵抗測定や低インピーダンス測
定を正確に行うことができる四端子測定装置を提供する
ものである。
【００４２】また、前記実施例では、電圧端子にのみナ
ノチューブ端子を接続したが、電流端子にもナノチュー
ブ端子を接続することができる。こうすれば被測定物表
面上で電流端子と電圧端子を接近させることが容易にな
り、抵抗測定の精度を向上できる。つまり、被測定物が
平面物質の場合には、電流が拡散して流れやすく、電圧
端子間に流れる電流と電流端子間に流れる電流が等しい
とは限らない。従って、電流端子と電圧端子を接近させ
て測定することが抵抗測定の精度の向上につながる。
【００４３】被測定物３０の表面に接触する電圧端子と
電流端子を総称して接触端子と呼ぶ。この用語を用いれ
ば、本発明は、この接触端子の少なくとも１本以上にナ
ノチューブ端子を用いるものである。被測定物や測定環
境に応じて、ナノチューブ端子の本数を可変にできる。
【００４４】本発明は上記実施例に限定されるものでは
なく、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲における種
々の変形例、設計変更などをその技術的範囲内に包含す
るものである。
【００４５】
【発明の効果】請求項１の発明によれば、少なくとも一
つ以上の接触端子の先端にナノチューブを用いるから、
被測定物や測定環境に応じて、高精度の抵抗・インピー
ダンス測定が可能になる。
【００４６】請求項２の発明によれば、電圧端子と電流
端子の内、所望の端子にナノチューブ端子を接続して構
成するから、ナノチューブ端子によりナノサイズの被測
定物やナノサイズの被測定領域の抵抗測定が可能にな
る。
【００４７】請求項３の発明によれば、少なくとも電圧
端子をナノチューブ端子から構成するから、ナノサイズ
の被測定物やナノサイズの被測定領域の電圧測定を正確
に行うことができ、結果として抵抗測定を高精度に行う
ことができる。
【００４８】請求項４の発明によれば、ナノチューブを
固定するホルダーとしてＡＦＭ用カンチレバーのピラミ
ッド部を利用するから、ナノチューブ端子の作成が容易
で、しかもカンチレバーの駆動装置をそのまま抵抗測定
に適用できる利点がある。
【００４９】請求項５の発明によれば、直流電源、直流
電流計、直流電圧計を用いて、被測定物の直流微小抵抗
を測定することができる。
【００５０】請求項６の発明によれば、交流電源、交流
電流計、交流電圧計を用いて、被測定物の微小インピー
ダンスを測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るナノチューブ端子を用いた四端子
測定装置の第１実施例の概略構成図である。
【図２】本発明におけるナノチューブ端子の概略斜視図
である。
【図３】電圧端子に接続されたナノチューブ端子の駆動
構成図である。
【図４】本発明に係るナノチューブ端子を用いた四端子
測定装置の第２実施例の概略構成図である。
【図５】第２実施例におけるナノチューブ端子の駆動構
成図である。
【図６】被測定物の直流抵抗を測定する従来の二端子測
定装置を示している。
【図７】従来の４端子測定装置の回路図である。
【図８】従来の四端子測定装置を用いた板状被測定物の
抵抗測定図である。
【符号の説明】
２・・・標準抵抗 ４・・・ナノチューブ端子 ５・・・通常端子 ６・・・カンチレバー ８・・・カンチレバー部 １０・・・ホルダー １２・・・ナノチューブ １２ａ・・先端部 １２ｂ・・基端部 １３・・・ホルダーセット部 １３ａ・・切り溝 １４・・・走査駆動部 １４ｘ・・Ｘピエゾ １４ｙ・・Ｙピエゾ １４ｚ・・Ｚピエゾ １５・・・試料台 １６・・・半導体レーザ装置 １８・・・反射ミラー ２０・・・２分割光検出器 ２０ａ・・上検出器 ２０ｂ・・下検出器 ２２・・・Ｚ軸検出回路 ２３・・・トンネル電流検出回路 ２４・・・表示装置 ２５・・・接続線 ２６・・・ＸＹＺ走査回路 ２６ａ・・ＸＹ走査回路 ２６ｂ・・Ｚ軸走査回路 ２７・・・連動スイッチ ２８・・・電位差計 ２９・・・検流計 ３０・・・被測定物 ３２・・・接続線 ３４・・・接続線 ３６・・・電圧計 ３８・・・電流計 ４０・・・直流電源 ４１・・・定電流抵抗 ４２・・・電流接続線 ４３・・・定電流電源 ４４・・・電流接続線 ４６・・・電圧接続線 ４８・・・電圧接続線 Ｃｉ１、Ｃｉ２、Ｃｉ３、Ｃｉ４・・・電流端子 Ｃｖ１、Ｃｖ２、Ｃｖ３、Ｃｖ４・・・電圧端子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 原田 昭雄 大阪府大阪市城東区放出西２丁目７番19号 大研化学工業株式会社内 (72)発明者 大川 隆 大阪府大阪市城東区放出西２丁目７番19号 大研化学工業株式会社内 (72)発明者 野坂 俊紀 大阪府和泉市いぶき野３丁目５−12−301 Ｆターム(参考） 2G011 AA02 AB04 AC14 AE01 AF07 2G028 AA04 BB20 CG02 CG08 DH03 DH04 DH13 HM08 HN11

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 四端子測定装置の接触端子先端部の少な
    くとも一つ以上がナノチューブで構成されたことを特徴
    とするナノチューブ端子を用いた四端子測定装置。
  2. 【請求項２】 定電流電源４３から被測定物３０に定電
    流を流す２本の電流端子Ｃｉ１、Ｃｉ２と、被測定物３
    ０の両端電圧を測定する電圧端子Ｃｖ１、Ｃｖ２とから
    なる四端子測定装置において、ナノチューブ１２の先端
    部１２ａをホルダー１０から突出させるようにナノチュ
    ーブ１２の基端部１２ｂをホルダー１０に固定してナノ
    チューブ端子４を形成し、前記四端子の内、少なくとも
    一つ以上の端子にナノチューブ端子４を接続して構成す
    ることを特徴とするナノチューブ端子を用いた四端子測
    定装置。
  3. 【請求項３】 前記四端子の内、少なくとも電圧端子Ｃ
    ｖ１、Ｃｖ２にナノチューブ端子４を接続する請求項２
    記載のナノチューブ端子を用いた四端子測定装置。
  4. 【請求項４】 前記ホルダー１０はＡＦＭ用カンチレバ
    ー６のピラミッド部である請求項２記載のナノチューブ
    端子を用いた四端子測定装置。
  5. 【請求項５】 前記定電流電源４３を直流電源、前記電
    圧計３６を直流電圧計で構成し、被測定物３０の微小抵
    抗を測定する請求項２、３又は４記載のナノチューブ端
    子を用いた四端子測定装置。
  6. 【請求項６】 前記定電流電源４３を交流電源、前記電
    圧計３６を交流電圧計で構成し、被測定物３０の微小イ
    ンピーダンスを測定する請求項２、３又は４記載のナノ
    チューブ端子を用いた四端子測定装置。
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