JP4676224B2 - プローブ針及びその製造方法 - Google Patents
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このようなプローブ針としては、タングステン針にロジウム外被を設けたもの(例えば、特許文献1参照。)や、銅針に鋼外被を設けたもの(例えば、特許文献2参照。)などが知られている。
他方、繊維径φ≒150nm,繊維長L=10〜20μmの微細炭素繊維であるカーボンナノファイバーが市販されている(例えば、非特許文献1参照。)
また、被測定体の電極が半田電極(半田ボールが着いた電極)である場合、被測定体の電極にプロープ針を接触させたときに半田がプロープ針に転写されてしまうことがある問題点があった。
そこで、本発明の目的は、被測定体の電極表面に酸化膜等の絶縁膜が形成されていた場合でも正確に測定を行うことが出来ると共に被測定体の電極が半田電極である場合でも半田の転写が起こらないプロープ針及びその製造方法を提供することにある。
上記第1の観点によるプローブ針では、プローブ針先端部から一部が出ている微細炭素繊維が鋭利な刃や針の働きをする。このため、被測定体の電極表面に酸化膜等の絶縁膜が形成されていた場合でも、微細炭素繊維が絶縁膜を容易に切り破ったり、突き破ったりする。その結果、被測定体の電極とプロープ針の接触抵抗値が低くなり、測定の正確性を向上させることが出来る。また、微細炭素繊維は、導電性,強度特性,摺動性(潤滑性),復元性に優れ、その性質はプローブ針に好適である。さらに、微細炭素繊維の表面は化学的に安定で、比表面積が小さく、半田が非常に付着しにくい特性を発見した。これにより、被測定体の電極が半田電極である場合でも、プローブ針の先端に半田の転写が起こらず、接触抵抗値が低い状態で安定して測定できる。
上記第2の観点によるプローブ針では、プローブ針先端部から放射状に出ている微細炭素繊維の先端が鋭利な針の働きをする。このため、被測定体の電極表面に酸化膜等の絶縁膜が形成されていた場合でも、微細炭素繊維が絶縁膜を容易に突き破る。その結果、被測定体の電極とプロープ針の接触抵抗値が低くなり、測定の正確性を向上させることが出来る。
上記第3の観点によるプローブ針の製造方法では、電線の製造設備を利用して、プローブ針を製造することが出来る。
本発明のプローブ針の製造方法によれば、電線の製造設備を利用して、プローブ針を製造することが出来る。
このプローブ針11は、先端部がドーム形状の金属製ピン2と、金属製ピン2の先端部表面に一端側が埋設され他端側が先端部表面から放射状に出ている微細炭素繊維3とから構成されている。
微細炭素繊維3を混合した金属めっき液4をめっき槽5に満たし、金属製ピン2の先端部を金属めっき液4に浸漬し、電気めっきすることにより、プローブ針11を製造できる。
金属製ピン2の先端部には電界の集中が生じ、金属めっき液4中に均一に分散浮遊している微細炭素繊維3は良導電性であるため、微細炭素繊維3は金属製ピン2の先端部に集まる。そして、一部が銅めっき層に埋設され、残りの一部が銅めっき層から出ている状態となる。
このとき、電気めっきのための電界を調整することにより、微細炭素繊維3の一端側をめっき金属層に埋設し、他端側を金属製ピン2の先端部から放射状に立つように出すことができる。
微細炭素繊維(昭和電工株式会社製カーボンナノファイバー:商品名VGCF:平均直径150nm,長さ10〜20μm)が2g/L、CuSO4・5H2Oが0.85モル、H2SO4が0.55モル、微細炭素繊維を分散させるための分子量5000のポリアクリル酸が2×10-4モルのめっき浴中にて、金属製ピン(直径0.10mmのベリリウム銅)の先端部に、電流密度4A/dm2・電気量5C/cm2,めっき浴温30℃のめっき条件で、銅めっき層厚約1.5μmの微細炭素繊維複合銅めっきを行った。
この結果、微細炭素繊維の一端側は銅めっき層に埋設され、他端側は金属製ピンの先端部から放射状に出ていた。金属製ピンの先端部から放射状に出ていた微細炭素繊維の長さは、全長の1/2〜1/10くらいであった。
このプローブ針12は、先端部がフラット形状の金属製ピン2と、金属製ピン2の先端部表面に一端または両端または中央部が埋設されると共に残りの部分が金属製ピン2の先端部表面から出ている微細炭素繊維3とから構成されている。
電気めっきのための電界を調整することにより、微細炭素繊維3の一部が金属製ピン2の先端部表面から放射状に立たずに出るような状態とすることができる。
微細炭素繊維(昭和電工株式会社製カーボンナノファイバー:商品名VGCF:平均直径150nm,長さ10〜20μm)が2g/L、(H2NSO3)2Ni・4H2Oが1.55モル、NiCl2・6H2Oが0.06モル、H3BO3が0.5モル、微細炭素繊維を分散させるための分子量5000のポリアクリル酸が2×10-4モルのめっき浴中にて、金属製ピン(直径0.10mmのベリリウム銅)の先端部に、電流密度1A/dm2・電気量5C/cm2,めっき浴温50℃のめっき条件で、ニッケルめっき層厚約1.5μmの微細炭素繊維複合ニッケルめっきを行った。
この結果、微細炭素繊維の一部はニッケルめっき層に埋設され、残りの一部は金属製ピンの先端部から出ていた。
2 金属製ピン
3 微細炭素繊維
Claims (3)
- 金属製ピンの先端部を被測定体の電極に接触させて前記被測定体の電気的特性を測定するためのプローブ針であって、前記金属製ピンの先端部表面にめっき層が形成され、複数の微細炭素繊維のそれぞれの一部が前記めっき層に埋設され残りの部分が前記めっき層表面から放射状に立たずに出ており、前記めっき層表面から出ている微細炭素繊維の部分で前記被測定体の電極表面に形成された酸化膜等の絶縁膜を破って前記金属製ピンの先端部表面を前記被測定体の電極に接触させうるようにしたことを特徴とするプローブ針。
- 金属製ピンの先端部を被測定体の電極に接触させて前記被測定体の電気的特性を測定するためのプローブ針であって、前記金属製ピンの先端部表面にめっき層が形成され、複数の微細炭素繊維のそれぞれの一部が前記めっき層に埋設され残りの部分が前記めっき層表面から放射状に出ており、前記めっき層表面から出ている微細炭素繊維の部分で前記被測定体の電極表面に形成された酸化膜等の絶縁膜を破って前記金属製ピンの先端部表面を前記被測定体の電極に接触させうるようにしたことを特徴とするプローブ針。
- 金属製ピンの先端部表面に、複数の微細炭素繊維を混合した金属めっき液により電気めっきを施し、電気めっきのための電界を調整することにより、請求項1または請求項2に記載のプローブ針を製造することを特徴とするプローブ針の製造方法。
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