JP2015502521A - ナノ電極及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
このうちの原子間力顕微鏡はカンチレバー(cantilever)と呼ばれる小さい棒端にピラミッド形状の尖った探針が形成されており、探針の形状と大きさによって原子間力顕微鏡のイメージ分解能と再現性が決定される。
このような探針はエッチングなどの方法を用いて探針の端部を尖鋭にすることができるが、エッチングを用いて探針の大きさ及び形状を制御するのが容易でなく、このような方法を用いることができる物質も制約的である。
このように探針の大きさがナノサイズに小さくなることにより、探針は微細領域で電気化学的反応を分析して機能性原子間力顕微鏡または走査型トンネル顕微鏡などに使用することができる。
微細領域、特に液体を含む領域での電気的反応及び化学的反応を検査するためには電極の大きさを最小化してこそ正確な測定が可能である。
従って、本発明は電極を数百ナノメートル水準で製作して微細領域の電気化学的反応を正確に測定することができるナノ電極及びその製造方法を提供するものである。
前記ナノ線の上面に位置する電極をさらに含むことができ、電極は、金、白金、アルミニウム、タングステン、銅またはニッケルのうちのいずれか一つからなり得る。
前記絶縁膜は、パリレン、酸化窒化膜、電気泳動ペイントのうちの少なくとも一つを含むことができる。
前記ナノ線の断面の上に電極を形成する段階をさらに含むことができ、電極はメッキで形成することができる。
前記メッキは、金、白金、アルミニウムまたはニッケルのうちのいずれか一つで形成することができる。
前記絶縁膜は、パリレン、酸化窒化膜、電気泳動ペイントで形成することができる。
前記ナノ線は、炭素ナノチューブまたは導電性高分子からなり得る。
前記導電性高分子は、ポリピロール(polypyrrole)またはポリアニリン(polyaniline)を含むことができる。
前記切断は、集束イオンビームで切断することができる。
前記ナノ線を付着する段階は、誘電泳動法で付着することができる。
図面で様々な層及び領域を明確に表現するために厚さを拡大して示した。明細書全体にわたって類似の部分については同一図面符号を付けた。層、膜、領域、板などの部分が他の部分の“上部に”あるという時、これは他の部分の“直ちに上部に”ある場合だけでなく、その中間にまた他の部分がある場合も含む。反対に、ある部分が他の部分の“直ちに上部に”あるという時には中間に他の部分がないことを意味する。
図1は本発明の一実施形態によるナノ探針の形態を概略的に示した断面図である。
図1に示したように、本発明によるナノ電極は本体100と、本体から突出している探針200、探針200の端に付着されているナノ線300、ナノ線300を囲んでいる絶縁膜400、ナノ線300の上面に形成されているナノ電極500を含む。
本体100は探針が付着される所で、原子間力顕微鏡のカンチレバーであり得る。
探針200は本体100に対して垂直方向に突出しており、端部に行くほど幅が狭くなるピラミッド形態にタングステンチップ(tip)または原子間力顕微鏡のチップ(tip)であり得る。
ナノ線は棒状で探針の端部に一端が付着されて突出した探針の長さを延長させて探針の端部をさらに尖鋭にする。ナノ線300は数十nm乃至数百nmの直径を有する。
絶縁膜400はナノ線300の側壁を囲んでおり、ナノ線300の上面を露出する切開部を含む。
電極500は200nm以下の大きさで形成することができ、ナノ線300の断面直径によって変わる。
図2は図1のナノ電極を形成するための製造方法を説明するためのフローチャートであり、図3乃至図7は図2の順序によって図1のナノ電極を形成する各工程でのSEM写真である。
まず、探針200を含む本体100を準備する(S10)。探針は端部が尖った形態を有するようにタングステンワイヤーを電気化学的にエッチングするか、本体100にシリコン窒化膜を蒸着した後にエッチングし、その後に金属を蒸着して形成することができる。
ナノ線300は、炭素ナノチューブ、または導電性高分子(一例として、ポリピロール(polypyrrole)、ポリアニリン(polyaniline))を含む溶液に強い電場を加える誘電泳動(dielectrophoresis)などの方法で探針にナノ線を付着することができる。
ナノ電極の大きさは絶縁膜400の厚さによって変わるので、絶縁膜の厚さを最少化してナノ電極の大きさを縮小することができる。絶縁膜400の厚さが薄いほどナノ電極の大きさは縮小されるが、ナノ電極の絶縁特性が減少するので、絶縁膜400は絶縁特性を維持することができるように500nm以上の厚さで形成するのが好ましい。
切断はレーザのように集束された高エネルギービームを用いる集束イオンビーム(focused ion beam、FIB)を用いるか、ナノ線の両側に探針が連結された状態で電流を加えれば発生する抵抗熱を用いて切断するか、熱線の上にナノ線を位置させて熱線の熱によって絶縁膜を除去してナノ線を切断することもできる。
その後、ナノ線300の断面にメッキで電極500を形成して図7のようにナノ電極を完成する(S50)。メッキはナノ線の断面にのみ形成されるので絶縁膜に比べて電極が突出して形成される。
メッキは金、白金、アルミニウム、ニッケルなどで形成することができる。本発明の一実施形態でのメッキは10mM K2PtCl4溶液で2分間行った。
図8は本発明の一実施形態によって形成したナノ電極に対してCV(cyclic voltammetry)を測定したグラフである。この時、溶液はフェリシアン化合物(Ferricyanide)10mM、KCl0.5Mの混合溶液を使用し、混合溶液は−0.4V乃至−0.3Vで酸化還元反応が起こる。
図8のように前記混合溶液を用いてCVを測定すれば前記混合溶液の酸化還元反応が起こることが分かる。
以上で本発明の好ましい実施形態について詳細に説明したが、本発明の権利範囲はこれに限定されるのではなく、次の請求範囲で定義している本発明の基本概念を利用した当業者の様々な変形及び改良形態も本発明の権利範囲に属するのである。
200:探針
300:ナノ線
400:絶縁膜
500:電極
Claims (13)
- 突出した探針を有する本体、
前記探針に付着されているナノ線、
前記ナノ線を囲んでおり前記ナノ線の上面を露出する開口部を含む絶縁膜
を含むナノ電極。 - 前記ナノ線の上面に位置する電極
をさらに含む請求項1に記載のナノ電極。 - 前記電極は、金、白金、アルミニウム、タングステン、銅またはニッケルのうちのいずれか一つからなる請求項1に記載のナノ電極。
- 前記絶縁膜は、パリレン、酸化窒化膜、電気泳動ペイントのうちの少なくとも一つを含む請求項1に記載のナノ電極。
- 探針を含む本体を準備する段階、
前記探針の端にナノ線を付着する段階、
前記ナノ線上に絶縁膜を形成する段階、
前記ナノ線及び絶縁膜を切断して前記ナノ線の断面を露出して断面電極を形成する段階
を含むナノ電極の製造方法。 - 前記ナノ線の断面の上に電極を形成する段階
をさらに含む請求項5に記載のナノ電極の製造方法。 - 前記電極はメッキで形成する請求項6に記載のナノ電極の製造方法。
- 前記メッキは、金、白金、アルミニウムまたはニッケルのうちのいずれか一つで形成する請求項7に記載のナノ電極の製造方法。
- 前記絶縁膜は、パリレン、酸化窒化膜、電気泳動ペイントで形成する請求項5に記載のナノ電極の製造方法。
- 前記ナノ線は、炭素ナノチューブまたは導電性高分子からなる請求項5に記載のナノ電極の製造方法。
- 前記導電性高分子は、ポリピロール(polypyrrole)またはポリアニリン(polyaniline)を含む請求項10に記載のナノ電極の製造方法。
- 前記切断は、集束イオンビームで切断する請求項5に記載のナノ電極の製造方法。
- 前記ナノ線を付着する段階は、誘電泳動法で付着する請求項5に記載のナノ電極の製造方法。
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