JP2002022042A - 逆止弁及び逆止弁継ぎ手 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 大気側から簡単に真空破壊することができる
リーク機能を有する逆止弁を提供する。 【解決手段】 逆止弁本体１１０の流路部１１２を閉塞
解放することができる弁体１２０を強磁性体で構成し、
磁石４００で大気側から後退させて真空破壊できる構造
とする。あるいは、弁体を第１弁体２２０と第２弁体２
３０で構成し、通常は第１弁体２２０と第２弁体２３０
とを一体に作動させ、真空破壊するときは、大気側から
第２弁体２３０を押して前進させる構造とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、逆止弁に関し、特
に、大気側から真空破壊が行えるリーク機構を有する逆
止弁に関する。

【０００２】

【従来の技術】板状のワークを搬送するために、従来よ
りバキューム吸着装置が用いられている。図６にバキュ
ーム吸着装置の構成を示す。バキューム吸着装置６００
は、ワーク６０１を吸着保持するバキュームパッド６０
２と真空ポンプなどの負圧源６０３とが配管で接続さ
れ、配管の途中には逆止弁６０４が設けられている。ま
た、逆止弁６０４とバキュームパッド６０２の配管の途
中には真空破壊バルブ６０５が設けられている。

【０００３】ワーク６０１を吸着保持するときは、負圧
源６０３を作動させながらバキュームパッド６０２をワ
ーク６０１に密着させ、バキュームパッド６０２とワー
ク６０２の間の空隙の空気を抜いて減圧し、ワーク６０
１を吸着保持する。逆止弁６０４の作用で、バキューム
パッド６０２とワーク６０１の間の空隙の減圧が保た
れ、吸着保持が維持される。

【０００４】ワーク６０１を開放するときは、真空破壊
バルブ６０５を開放してバキュームパッド６０２の吸着
力をなくす。

【０００５】また、ワーク６０１の種類によってバキュ
ームパッド６０２でワーク６０１を吸着保持している状
態で逆止弁６０４と負圧源６０３と間の接続を継ぎ手６
０６で切り離し、バキュームパッド６０２を加工装置に
取り付け、ワーク６０１を加工することがある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うにバキュームパッド６０２を加工装置に取り付けると
きは、真空破壊バルブ６０５がじゃまになる場合があ
る。

【０００７】そのため、逆止弁６０４自体がリーク機能
を有し、真空破壊を行えるようにすることが必要である
が、従来、このような要求を満たす逆止弁は存在しなか
った。

【０００８】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、リーク機構を有する逆止弁を提供することを目的と
する。

【０００９】また、本発明は、リーク機構を有する逆止
弁を継ぎ手として構成した逆止弁継ぎ手を提供すること
を目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の逆止弁
は、上記目的を達成するため、第１の側と第２の側とを
連通させる流路部を備える逆止弁本体と、常時は前記流
路部を閉塞して前記第１の側と前記第２の側との連通を
遮断し、前記第１の側の圧力が前記第２の側より高いと
きに前記流路部を開放して前記第１の側と前記第２の側
とを連通させる弁体とを備え、前記弁体が、前記流路部
を閉塞しているときに前記第２の側からの作用力により
前記第１の側と前記第２の側とを連通させるように構成
されている。

【００１１】即ち、例えば減圧されている第１の側と大
気に開放されている第２の側とを連通させる流路部を閉
塞している弁体を、例えば大気側から引張って流路部を
開放することができるように構成するか、又は弁体の中
に更に補助弁体を設け、この補助弁体を大気側から押す
ことにより流路部を開放するように構成することによ
り、逆止弁にリーク機構を付加することができる。

【００１２】請求項２記載の逆止弁は、上記目的を達成
するため、第１の側と第２の側とを連通させる流路部を
備え、前記流路部に弁座を有する逆止弁本体と、前記流
路部内に前進後退可能に配置され、前記第１の側へ前進
したときに前記弁座に当接して前記流路部を閉塞して前
記第１の側と前記第２の側との連通を遮断し、前記第２
の側へ後退したときに前記弁座との間に隙間を形成して
前記第１の側と前記第２の側とを前記流路部を介して連
通させる弁体と、前記弁体を前進させるように付勢する
付勢手段とを備え、前記弁体が、前記第２の側から後退
させることができるように構成されている。

【００１３】請求項３記載の逆止弁は、上記目的を達成
するため、請求項２記載の逆止弁において、前記第２の
側から磁石を前記弁体に接近させたときに、前記弁体が
前記磁石の磁力により後退するように構成されている。

【００１４】即ち、常時は弁体が付勢手段の付勢力によ
って前進して流路部を閉塞している。第１の側を減圧す
るときは、第２の側を減圧すると、第１の側の方が圧力
が高いので、その圧力差で弁体が付勢手段の付勢力に逆
らって後退し、弁座との間に隙間を形成して、第１の側
と第２の側とが連通し、第１の側の空気が第２の側に引
かれ、減圧される。第１の側を減圧した後、第２の側を
大気圧に戻すと、弁体は大気圧と付勢手段の付勢力で前
進し、流路部を閉塞し、第１の側の減圧を維持する。第
１の側の減圧を真空破壊するときは、弁体を第２の側か
ら後退させる。例えば請求項３のように、弁体を強磁性
体などで構成すれば、大気側から磁石を近づけると、弁
体が磁石に引きつけられて後退し、弁座との間に隙間が
生じ、第１の側と第２の側（大気側）とが連通し、第２
の側から空気が第１の側へ流入して真空破壊される。

【００１５】このような構造の逆止弁は、通常とほとん
ど同じ構造の逆止弁に、リーク機構が付加され、大気側
から真空破壊が可能である。

【００１６】請求項４記載の逆止弁は、上記目的を達成
するため、第１の側と第２の側とを連通させる流路部を
備え、前記流路部に第１弁座を有する逆止弁本体と、前
記流路部内に前進後退可能に配置され、前記第１の側に
前進したときに前記第１弁座に当接して前記流路部を閉
塞して前記第１の側と第２の側との連通を遮断し、前記
第２の側に後退したときに前記第１弁座との間に隙間を
形成して前記第１の側と第２の側とを連通させる弁体
と、前記弁体を前進させるように付勢する第１付勢手段
とを備え、前記弁体が、前記第１付勢手段によって付勢
されて前記第１弁座と当接し、前記流路部と前記第１の
側と前記第２の側とを連通させる空隙部を備え、前記空
隙部に第２弁座を有する筒状の第１弁体と、前記空隙部
内に前進及び後退可能に配置され、前記空隙部と第２の
側とを連通させる連通部を備え、前進したときに、前記
第２弁座との間に隙間を形成して前記空隙部と前記連通
部とを介して前記第１の側と前記第２の側とを連通さ
せ、後退したときに前記第２弁座と当接して前記空隙部
を閉塞して前記空隙部を介する前記第１の側と前記第２
の側との連通を遮断する第２弁体と、前記第２弁体を後
退させるように付勢する第２付勢手段とを有する構成で
ある。

【００１７】即ち、常時は第１弁体と第２弁体とが一体
になって請求項１の弁体と同様に動作する。第１の側を
減圧するときは、第１弁体と第２弁体とが一体になって
後退し、流路部、空隙部、連通部を介して第１の側と第
２の側とが連通する。第１の側を減圧した後は、第１弁
体と第２弁体とが一体となって前進し、流路部を閉塞す
る。真空破壊するときは、第２弁体を第２の側（大気
側）から押すと、第２弁体が第２付勢手段に抗して前進
し、第２弁座との間に隙間が生じ、連通部を介して第１
の側と第２の側（大気側）とが連通し、空気が第２の側
から第１の側に流入して真空破壊される。

【００１８】請求項５記載の逆止弁継ぎ手は、上記目的
を達成するため、請求項１記載の逆止弁における前記逆
止弁本体が、管継ぎ手に構成されている。

【００１９】請求項６記載の逆止弁継ぎ手は、上記目的
を達成するため、請求項２記載の逆止弁における前記逆
止弁本体が、管継ぎ手に構成されている。

【００２０】請求項７記載の逆止弁継ぎ手は、上記目的
を達成するため、請求項３記載の逆止弁における前記逆
止弁本体が、管継ぎ手に構成されている。

【００２１】請求項８記載の逆止弁継ぎ手は、上記目的
を達成するため、請求項４記載の逆止弁における前記逆
止弁本体が、管継ぎ手に構成されている。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の逆止弁及び逆止弁
継ぎ手の実施の形態について図面を参照しながら説明す
るが、本発明は以下の実施の形態に制限されるものでは
ない。

【００２３】図１は、本発明の逆止弁の第１実施形態を
示す断面図である。この逆止弁１００は、短軸円筒型の
逆止弁本体１１０を有する。逆止弁本体１１０の前端部
にはフランジ１１１が設けられている。逆止弁本体１１
０の流路部１１２は、逆止弁１００前方の第１の側１
（ワークを吸着保持する側、減圧される側、あるいは加
圧側）と逆止弁１００後方の第２の側２（減圧源側又は
大気側）とを連通している。流路部１１２の前端部は第
１の側１に通じる円形の開口部１１３となっていて、開
口部１１３から後部側には第２の側２に向かって漸次拡
径するテーパー状の弁座１１４が設けられている。流路
部１１２内には流路部１１２内を前進及び後退可能に摺
動する短軸円柱状の弁体１２０が収納されている。流路
部１１２の後端部にはリング状の嵌め込み部材１１５が
流路部１１２内に嵌めこまれ、弁体１２０が流路部１１
２から抜けることを防止している。弁体１２０の前面部
のリング状溝１２１にはリング状のパッキン１２２が装
着されている。このパッキン１２２が弁座１１４に当接
すると、流路部１１２を閉塞し、第１の側１と第２の側
２との連通が遮断される。弁体１２０のリング状溝１２
１の後方側の対向する側面相互を貫通している横方向連
通孔１２３と、中心軸に沿って横方向連通孔１２３と後
端面とを連通させる縦方向連通孔１２４が穿設されてい
る。弁体１２０の後端部は嵌め込み部材１１５の内面を
摺動する。また、弁体１２０の中央部は膨出して膨出部
１２５となっており、弁体１２０が後退したときに膨出
部１２５が嵌め込み部材１１５に突き当たって後退が停
止するようになっており、弁体１２０が流路部１１２よ
り抜け出ないようになっている。更に、弁体１２０の横
方向連通孔１２３の後方には流路部１１２の内面を摺動
するフランジ部１２６が突出している。フランジ部１２
６と嵌め込み部材１１５との間に付勢手段としての圧縮
バネ１３０が介装されている。圧縮バネ１３０の付勢力
により、弁体１２０は前進する方向に、即ち第１の側１
に向かって付勢されている。そのため、図１に示すよう
に、常時はパッキン１２２が弁座１１４に当接し、流路
部１１２は閉塞され、第１の側１と第２の側２との連通
が遮断されている。

【００２４】逆止弁本体１１０の外面にはネジ１１６が
設けられ、被取り付け部材３００のネジ穴３０１にフラ
ンジ１１１が被取り付け部材３００に当接するまでねじ
込むことにより被取り付け部材３００に逆止弁１００を
取り付けることができる。また、逆止弁本体１１０のフ
ランジ１１１の下方にはリング状溝１１７が設けられ、
このリング状溝１１７にパッキン３０２を装着し、逆止
弁１００と被取り付け部材３００との空気の漏れを防止
できるようになっている。

【００２５】また、本実施形態の逆止弁１００において
は、弁体１２０は、強磁性体で構成され、磁石を第２の
側２から近づけると、磁石との磁力で弁体１２０が圧縮
バネ１３０の付勢力に抗して磁石に引き寄せられるよう
になっている。その一方、逆止弁本体１１０は、非磁性
体で構成されている。強磁性体としては、例えば、鉄、
コバルト、ニッケル、これらの合金が代表的である。強
磁性体の合金としては、例えばＳＵＳ４１５を例示する
ことができる。

【００２６】次に、第１実施形態の逆止弁１００の動作
について図２を参照して説明する。第１実施形態の逆止
弁は、常時は図１に示したように、圧縮バネ１３０の付
勢力で弁体１２０が弁座１１４に着座している。

【００２７】第１の側１を減圧するときは、逆止弁１０
０の第２の側２を減圧源に接続して減圧する。第１の側
１と第２の側２との圧力差が生じ、弁体１２０は、図２
（ａ）に示すように、圧縮バネ１３０の付勢力に抗して
後退する。弁体１２０が後退すると、パッキン１２２と
弁座１１４との間に隙間が生じ、第１の側１と第２の側
２とは流路部１１２と横方向連通孔１２３、縦方向連通
孔１２４を介して連通し、第１の側１の空気は圧力差で
減圧源側２に引かれ、減圧される。第１の側１の圧力が
減少し、第１の側１と第２の側２との圧力差が少なくな
ると、弁体１２０は圧縮バネ１３０の付勢力で前進し、
図１に示すような位置に戻り、弁体１２０が弁座１１４
に着座する。

【００２８】第２の側２を大気圧に戻すと、弁体１２０
は更に第２の側２の大気圧と第１の側１減圧との圧力差
により押圧され、パッキン１２２が弁座１１４に押圧さ
れ、図１に示すように、第１の側１と第２の側２との連
通を遮断し、第１の側１の圧力を維持する。

【００２９】第１の側１を大気圧に戻す真空破壊を行う
時は、図２（ｂ）に示すように、弁体１２０の後端面と
ほぼ同じ直径を有する磁石４００を弁体１２０に近づ
け、あるいは接触させると、強磁性体の弁体１２０が磁
石４００に引きつけられ、圧縮バネ１３０の付勢力に抗
して後退させることができる。弁体１２０が後退する
と、パッキン１２２と弁座１１４との間に隙間が生じ、
第１の側１と大気側２とは流路部１１２、横方向連通孔
１２３、縦方向連通孔１２４を介して連通し、第２の側
２から空気が第１の側１へ流入し、真空破壊される。

【００３０】このように、第１実施形態の逆止弁１００
は、弁体１２０がリーク弁を兼用した簡単な構造で、全
長を短くできると共に、第２の側（大気側）２から磁石
４００を弁体に近づけることにより、簡単に真空破壊を
行うことができる。

【００３１】また、第１の側１の圧力が増加して第２の
側２の大気圧より高くなった場合は、通常の逆止弁と同
様に、弁体１２０が第１の側１と第２の側２の圧力差で
押されて圧縮バネ１３０の付勢力に抗して後退し、第１
の側１と第２の側２とを連通させて第１の側１の圧力を
低下させることができる。このように、本実施形態の逆
止弁１００は、圧力調整弁としても機能する。

【００３２】上記説明では、磁石で弁体を吸引して後退
させていたが、例えば弁体の後端面にアーチ状の引っか
け部を設け、この引っかけ部に先端が鈎部になっている
棒状の治具の鈎部で引っかけて弁体を後退させるように
しても良い。

【００３３】次に、本発明の逆止弁の第２実施形態につ
いて図３を参照しながら説明する。この逆止弁２００は
短軸筒状の逆止弁本体２１０を有し、逆止弁本体２１０
の前端面にフランジ２１１が設けられている。逆止弁本
体２１０の流路部２１２は、第１の側１と第２の側２と
を連通させる。流路部２１２の前端部は第１の側１に通
じる円形の開口部２１３となっていて、開口部２１３か
ら後部側には第２の側２に向かって漸次拡径するテーパ
ー状の第１弁座２１４が設けられている。

【００３４】流路部２１２内には流路部２１２の内面を
摺動する短軸円筒型の第１弁体２２０が流路部２１２内
で前進及び後退可能に収納されている。第１弁体２２０
は、空隙部２２１を備え、この空隙部２２１は、流路部
２１２と第１の側１と第２の側２とを連通させる。空隙
部２２１内には空隙部２２１内を前進及び後退可能に第
２弁体２３０が収納されている。逆止弁本体２１０の流
路部２１２の後端の内面に嵌め込み部材２１５が嵌め込
まれている。この嵌め込み部材２１５は、流路部２１２
の内面より径が小さい短軸円筒部２１６の後端部に外方
に膨出する膨出部２１７を有し、その膨出部２１７が流
路部２１２後端部の内面に嵌め込まれている。嵌め込み
部材２１５の短軸円筒部２１６の外面と流路部２１２の
内面との間にはリング状の空隙が設けられている。この
空隙に第１弁体２２０の後端部が侵入しており、第１弁
体２２０の後端部の内面が嵌め込み部材２１５の円筒部
２１６外面を摺動するようになっている。第１弁体２２
０の軸方向略中央部には、フランジ部２２２が突出して
設けられている。フランジ部２２２は流路部２１２の内
面を摺動するようになっている。このフランジ部２２２
と嵌め込み部材２１５の膨出部２１７上面との間には第
１付勢手段としての第１圧縮バネ２４０が介装されてい
る。そのため、第１弁体２２０は、常時は第１圧縮バネ
２４０の付勢力によって前進するようになっている。第
１弁体２２０の前面部のリング状溝２２３にはリング状
の第１パッキン２２４が装着されている。この第１パッ
キン２２４は第１弁座２１４に当接して第２弁体２３０
と協同で流路部２１２を閉塞する。また、第１弁体２２
０のフランジ部のやや前方には、流路部２１２と空隙部
２２１とを連通させる貫通孔２２５が穿設されている。
更に、第１弁体２２０の前部の内面には第１の側１に向
かって漸次拡径するテーパー状の第２弁座２２６が設け
られている。この第２弁座２２６は内面側に向かって突
出している。

【００３５】第２弁体２３０は円柱状であり、前部のリ
ング状溝２３１にはリング状の第２パッキン２３２が装
着されている。この第２パッキン２３２が第１弁体２２
０の第２弁座２２６に当接すると共に前述した第１パッ
キン２２４が第１弁座２１４と当接すると、第１弁体２
２０と第２弁体２３０とで流路部２１２を閉塞するよう
になっている。第２弁体２３０の後端縁にはフランジ部
２３３が突出して設けられ、このフランジ部２３３は嵌
め込み部材２１５の円筒部２１６内面を摺動するように
なっている。また、第２弁体２３０には、側面相互を貫
通する横方向の第１連通部２３４及び第１連通部２３４
と後端面とを連通させる縦方向の第２連通部２３５がそ
れぞれ穿設されている。第１連通部２３４は第２弁体２
３０が前進したときに、第２弁座２２６の後端縁より前
方に位置し、第１の側１と第２の側２とを連通させるこ
とができるようになっている。更に、第１弁体２２０の
突出している第２弁座２２６の下面と第２弁体２３０の
フランジ部２３３との間に第２付勢手段としての第２圧
縮バネ２５０が介装されている。そのため、第２弁体２
３０は、第２圧縮バネ２５０の付勢力で、常時は後退す
るように付勢され、第２パッキン２３２は第２弁体２２
６と当接するようになっている。その結果、第１弁体２
２０と第２弁体２３０とは、通常は一つの弁体として一
体に動作する。

【００３６】また、第１実施形態と同様に、逆止弁本体
２１０の外面にはネジ２１８が設けられ、被取り付け部
材３００のネジ穴３０１にフランジ２１１が被取り付け
部材３００に当接するまでねじ込むことにより被取り付
け部材３００に逆止弁２００を取り付けることができ
る。また、逆止弁本体２１０のフランジ２１１の下方に
はリング状溝２１９が設けられ、パッキン３０２を装着
し、逆止弁２００と被取り付け部材３００との空気の漏
れを防止できるようになっている。

【００３７】次に、第２実施形態の逆止弁の動作につい
て図４を参照しながら説明する。第１弁体２２０と第２
弁体２３０は通常は一体に動作する。常時は図３に示し
たように、第１圧縮バネ２４０の付勢力で第１パッキン
２２４と第１弁座２１４が当接し、第２圧縮バネ２５０
の付勢力で第２パッキン２３２と第２弁座２２６とが当
接し、これにより逆止弁本体２１０の流路部２１２は閉
塞され、第１の側１と第２の側２との連通が遮断されて
いる。

【００３８】第１の側１を減圧するときは、逆止弁２０
０の第２の側を減圧源に接続し第２の側２を減圧する。
第１の側１と第２の側２との圧力差が生じ、図４（ａ）
に示すように、第１弁体２２０と第２弁体２３０は一体
となって第１圧縮バネ２４０の付勢力に抗して後退す
る。第１弁体２２０が後退すると、第１パッキン２２４
と第１弁座２１４との間に隙間が生じ、第１の側１と第
２の側２とは流路部２１２、貫通孔２２５、第１連通部
２３４、第２連通部２３５を介して連通し、第１の側１
の空気は圧力差で第２の側２に引かれ、減圧される。第
１の側１の空気が減少し、第１の側１と第２の側２との
圧力差が少なくなると、第１弁体２２０と第２弁体２４
０とは一体となって第１圧縮バネ２４０の付勢力で前進
し、図３に示すような位置に戻り、逆止弁本体２１０の
流路部２１２は閉塞される。

【００３９】減圧源側２を大気圧に戻すと、第１弁体２
２０は更に大気圧と第１の側１との圧力差により押圧さ
れ、第１パッキン２２４が第１弁座２１４に押圧され
る。また、第２圧縮バネ２５０は大気圧の圧力に負けな
いような付勢力となっているので、大気圧に押されて第
２パッキン２３２と第２弁座２２６との間に隙間が生じ
ないようになっている。これにより、図３に示すよう
に、第１の側１と第２の側２との連通を遮断し、第１の
側１の圧力を維持する。

【００４０】第１の側１を大気圧に戻す真空破壊を行う
時は、図４（ｂ）に示すように、第２弁体２３０の径よ
りやや小径の棒４１０を用いて、第２弁体２３０の後端
面を押し、第２弁体２３０を強制的に第２圧縮バネ２５
０の付勢力に抗して前進させる。第２弁体２３０が前進
すると、第２パッキン２３２と第２弁座２２６との間に
隙間が生じ、第１の側１と大気側２とは空隙部２２１、
第１連通部２３４、第２連通部２３５を介して連通し、
大気側２から空気が第１の側１へ流入し、真空破壊が行
われる。

【００４１】このように、第２実施形態の逆止弁２００
は、第１実施形態と比較すると複雑な構造であるが、通
常の逆止弁にリーク機構として第２弁体２３０を付加し
た構造であり、全長を短くできると共に、第２の側２
（大気側）から棒４１０で第２弁体２３０を押すことに
よって簡単に真空破壊を行うことができる。

【００４２】また、第１の側１の圧力が増加して第２の
側２の大気圧より高くなった場合は、通常の逆止弁と同
様に、第１弁体２２０と第２弁体２３０とが一体になっ
て第１の側１と第２の側２の圧力差で押されて第１圧縮
バネ２４０の付勢力に抗して後退し、第１の側１と第２
の側２とを連通させて第１の側１の圧力を低下させるこ
とができる。このように、第２実施形態の逆止弁２００
は、圧力調整弁としても機能する。

【００４３】本発明の逆止弁が取り付けられる被取り付
け部材３００としては、バキューム吸着装置のバキュー
ムパッド等が例示される。このバキュームパッドは、ワ
ークを吸着保持したまま工作機械に取り付けるような用
途に用いることができる。

【００４４】また、上述した説明では、逆止弁本体１１
０、２１０は被取り付け部材３００と別体になっている
が、被取り付け部材３００が逆止弁本体を兼用しても良
い。

【００４５】本発明の逆止弁を配管に用いる場合は、例
えば図５に示すような逆止弁本体を両端に管を接続でき
る継ぎ手に構成することで、逆止弁継ぎ手とすることが
できる。図５（ａ）に示す逆止弁継ぎ手５１０は、上述
した第１実施形態の逆止弁１００又は第２実施形態の逆
止弁２００の逆止弁を内蔵し、逆止弁本体１１０、２１
０を円筒型とし、第１の側に接続する方の端部外面にネ
ジ５１１を設け、第２の側に接続する方の端部外面にワ
ンタッチ継ぎ手に接続できるリング状突部５１２を設け
た構造となっている。また、図５（ｂ）に示す逆止弁継
ぎ手５２０は、上述した第１実施形態の逆止弁１００又
は第２実施形態の逆止弁２００の逆止弁を内蔵し、逆止
弁本体１１０、２１０を円筒型とし、両端にフランジ５
２１を設けたフランジ継ぎ手に構成されている。

【００４６】

【発明の効果】本発明の逆止弁は、全長を短く、コンパ
クトにできると共に、リーク機構を備え、大気側から簡
単に真空破壊することができる。

【００４７】また、本発明の逆止弁継ぎ手は、かかる逆
止弁を配管に接続することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の逆止弁の第１実施形態を示す断面図で
ある。

【図２】本発明の逆止弁の第１実施形態の動作を示す断
面図であり、（ａ）は真空引きを行う場合、（ｂ）は真
空破壊を行う状態を示す。

【図３】本発明の逆止弁の第２実施形態を示す断面図で
ある。

【図４】本発明の逆止弁の第２実施形態の動作を示す断
面図であり、（ａ）は真空引きを行う場合、（ｂ）は真
空破壊を行う状態を示す。

【図５】（ａ）、（ｂ）は本発明の逆止弁継ぎ手の外観
を示す正面図である。

【図６】バキューム吸着装置の配管を示す概念図であ
る。

【符号の説明】

１ 第１の側 ２ 第２の側 １００ 逆止弁 １１０ 逆止弁本体 １１２ 流路部 １１４ 弁座 １２０ 弁体 １２２ パッキン １２３ 横方向連通孔 １２４ 縦方向連通孔 １３０ 圧縮バネ ２００ 逆止弁 ２１０ 逆止弁本体 ２１２ 流路部 ２１４ 第１弁座 ２２０ 第１弁体 ２２１ 空隙部 ２２４ 第１パッキン ２２５ 貫通孔 ２２６ 第２弁座 ２３０ 第２弁体 ２３２ 第２パッキン ２３４ 第１連通部 ２３５ 第２連通部 ２４０ 第１圧縮バネ ２５０ 第２圧縮バネ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3H058 AA05 BB22 CD05 DD12 DD15 DD16 DD18 EE24 3H059 AA06 BB22 CD05 CF14 DD12 DD13 DD15 EE01 FF11 3H063 AA01 BB32 DA01 GG02 GG15 3H106 DA07 DA13 DA29 DC02 EE34 KK24 KK25

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１の側と第２の側とを連通させる流路
   部を備える逆止弁本体と、常時は前記流路部を閉塞して
   前記第１の側と前記第２の側との連通を遮断し、前記第
   １の側の圧力が前記第２の側より高いときに前記流路部
   を開放して前記第１の側と前記第２の側とを連通させる
   弁体とを備え、 前記弁体が、前記流路部を閉塞しているときに前記第２
   の側からの作用力により前記第１の側と前記第２の側と
   を連通させるように構成されていることを特徴とする逆
   止弁。
2. 【請求項２】 第１の側と第２の側とを連通させる流路
   部を備え、前記流路部に弁座を有する逆止弁本体と、前
   記流路部内に前進後退可能に配置され、前記第１の側へ
   前進したときに前記弁座に当接して前記流路部を閉塞し
   て前記第１の側と前記第２の側との連通を遮断し、前記
   第２の側へ後退したときに前記弁座との間に隙間を形成
   して前記第１の側と前記第２の側とを前記流路部を介し
   て連通させる弁体と、前記弁体を前進させるように付勢
   する付勢手段とを備え、 前記弁体が、前記第２の側から後退させることができる
   ように構成されていることを特徴とする逆止弁。
3. 【請求項３】 請求項２記載の逆止弁において、 前記第２の側から磁石を前記弁体に接近させたときに、
   前記弁体が前記磁石の磁力により後退するように構成さ
   れていることを特徴とする逆止弁。
4. 【請求項４】 第１の側と第２の側とを連通させる流路
   部を備え、前記流路部に第１弁座を有する逆止弁本体
   と、前記流路部内に前進後退可能に配置され、前記第１
   の側に前進したときに前記第１弁座に当接して前記流路
   部を閉塞して前記第１の側と第２の側との連通を遮断
   し、前記第２の側に後退したときに前記第１弁座との間
   に隙間を形成して前記第１の側と第２の側とを連通させ
   る弁体と、前記弁体を前進させるように付勢する第１付
   勢手段とを備え、 前記弁体が、前記第１付勢手段によって付勢されて前記
   第１弁座と当接し、前記流路部と前記第１の側と前記第
   ２の側とを連通させる空隙部を備え、前記空隙部に第２
   弁座を有する筒状の第１弁体と、前記空隙部内に前進及
   び後退可能に配置され、前記空隙部と第２の側とを連通
   させる連通部を備え、前進したときに、前記第２弁座と
   の間に隙間を形成して前記空隙部と前記連通部とを介し
   て前記第１の側と前記第２の側とを連通させ、後退した
   ときに前記第２弁座と当接して前記空隙部を閉塞して前
   記空隙部を介する前記第１の側と前記第２の側との連通
   を遮断する第２弁体と、前記第２弁体を後退させるよう
   に付勢する第２付勢手段とを有する構成であることを特
   徴とする逆止弁。
5. 【請求項５】 請求項１記載の逆止弁における前記逆止
   弁本体が、管継ぎ手に構成されていることを特徴とする
   逆止弁継ぎ手。
6. 【請求項６】 請求項２記載の逆止弁における前記逆止
   弁本体が、管継ぎ手に構成されていることを特徴とする
   逆止弁継ぎ手。
7. 【請求項７】 請求項３記載の逆止弁における前記逆止
   弁本体が、管継ぎ手に構成されていることを特徴とする
   逆止弁継ぎ手。
8. 【請求項８】 請求項４記載の逆止弁における前記逆止
   弁本体が、管継ぎ手に構成されていることを特徴とする
   逆止弁継ぎ手。